專利名稱：四龍門式檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種面板影像檢測(cè)技術(shù)，特別是一種四龍門式檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
由于全球大尺寸基板的需求量與日俱增，使得針對(duì)檢測(cè)8. 5代以下的基板的影像 所設(shè)計(jì)的雙龍門式檢測(cè)裝置，在檢測(cè)8. 5代以上基板的影像時(shí)，檢測(cè)的速度明顯變得緩慢。在TFT LCD的檢測(cè)過(guò)程中，在視覺(jué)檢測(cè)裝置后有雙龍門式檢測(cè)裝置，其在龍門機(jī)構(gòu) 上置設(shè)檢測(cè)設(shè)備。請(qǐng)參閱圖1，其為現(xiàn)有技術(shù)的雙龍門式檢測(cè)裝置(10)，如圖所示，其包括 第一移動(dòng)臂(12)和第二移動(dòng)臂(14)，該第一移動(dòng)臂(12)和第二移動(dòng)臂(14)上各設(shè)有檢測(cè) 單元。經(jīng)由運(yùn)輸設(shè)備將基板(16)導(dǎo)進(jìn)檢測(cè)位置，在掃描缺陷(161、162、163、164)后再做影 像擷取，故該基板(16)在工藝中所產(chǎn)生的缺陷(161、162、163、164)，可由雙龍門式檢測(cè)裝 置(10)得到再次確認(rèn)。但是，雙龍門式檢測(cè)裝置(10)在針對(duì)已知坐標(biāo)位置的缺陷(161、162、163、164)進(jìn) 行檢測(cè)時(shí)，以第一移動(dòng)臂(12)、第二移動(dòng)臂(14)先分別滑動(dòng)至缺陷(161)、缺陷(163)，并 由其上所設(shè)置的檢測(cè)單元擷取影像，再分別滑動(dòng)至缺陷(164)、缺陷(162)，然后由其上所 設(shè)置的檢測(cè)單元擷取影像。簡(jiǎn)言之，在相同的時(shí)間下，該雙龍門式檢測(cè)裝置(10)僅將基板 (16)分成左、右兩個(gè)區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)，使得單一移動(dòng)臂需要執(zhí)行的影像檢測(cè)范圍較大。此外， 由于基板的代增加，使得其尺寸也隨之增大，雙龍門式檢測(cè)裝置在檢測(cè)基板(26)的速度方 面，也漸漸無(wú)法符合客戶的要求。鑒于上述缺點(diǎn)，現(xiàn)有技術(shù)的雙龍門式檢測(cè)裝置(10)的實(shí)用性有限制，因此必須將 其改良以縮短影像檢測(cè)所需的時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明目的之一為提供一種四龍門式檢測(cè)裝置，其將基座分 成四個(gè)檢測(cè)區(qū)，并以四個(gè)移動(dòng)臂執(zhí)行檢測(cè)，以提升檢測(cè)速度。本發(fā)明目的之一是提供一種四龍門式檢測(cè)裝置，其包括基座、第一測(cè)定機(jī)構(gòu)和第 二測(cè)定機(jī)構(gòu)，其中第一測(cè)定機(jī)構(gòu)包括第一移動(dòng)臂和第二移動(dòng)臂，該第一移動(dòng)臂、第二移動(dòng)臂 的一側(cè)或兩側(cè)分別與第一驅(qū)動(dòng)單元相連接，并且第一驅(qū)動(dòng)單元接設(shè)于基座；該第二測(cè)定機(jī) 構(gòu)，包括第三移動(dòng)臂和第四移動(dòng)臂，該第三移動(dòng)臂、第四移動(dòng)臂的一側(cè)或兩側(cè)分別與第二驅(qū) 動(dòng)單元相連接，并且第二驅(qū)動(dòng)單元接設(shè)于基座；在上述第一移動(dòng)臂、第二移動(dòng)臂、第三移動(dòng) 臂以及第四移動(dòng)臂的相對(duì)內(nèi)側(cè)各接設(shè)至少一可移動(dòng)的檢測(cè)單元。以下通過(guò)具體實(shí)施例，配合所附圖詳加說(shuō)明，會(huì)更容易了解本發(fā)明的目的、技術(shù)內(nèi) 容、特點(diǎn)及其所達(dá)成的功效。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)的雙龍門式檢測(cè)裝置的俯視示意圖。
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圖2為本發(fā)明的四龍門式檢測(cè)裝置的俯視示意圖。 圖3為本發(fā)明的四龍門式檢測(cè)裝置的側(cè)視示意圖。 圖4為本發(fā)明的四龍門式檢測(cè)裝置的實(shí)施示意圖。 主要組件符號(hào)說(shuō)明
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的上述目的，及其結(jié)構(gòu)與功能上的特性，將根據(jù)附圖的優(yōu)選實(shí)施例予以說(shuō)明。請(qǐng)參閱圖2、和3，本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例的四龍門式檢測(cè)裝置包括基座(20)、第一 測(cè)定機(jī)構(gòu)(22)以及第二測(cè)定機(jī)構(gòu)(24)。第一測(cè)定機(jī)構(gòu)(22)置設(shè)于基座(20)的一半側(cè)，包 括第一移動(dòng)臂(222)及第二移動(dòng)臂(224)，將第一移動(dòng)臂(222)、第二移動(dòng)臂(224)的一側(cè) 分別與第一驅(qū)動(dòng)單元(226)相接設(shè)(如圖3)，且第一驅(qū)動(dòng)單元(226)接設(shè)于基座(20)上。該第二測(cè)定機(jī)構(gòu)(24)，其置設(shè)于基座(20)的另一半側(cè)，包括第三移動(dòng)臂(242)和 第四移動(dòng)臂(244)，將第三移動(dòng)臂(242)、第四移動(dòng)臂(244)的一側(cè)分別與第二驅(qū)動(dòng)單元 (246)相連接(如圖3)，并且第二驅(qū)動(dòng)單元(246)接設(shè)于基座(20)上。如圖2所示，在第一移動(dòng)臂(222)、第二移動(dòng)臂(224)的相對(duì)內(nèi)側(cè)各接設(shè)可移動(dòng)的 檢測(cè)單元(223)、檢測(cè)單元(225)，經(jīng)由第一驅(qū)動(dòng)單元(226)以使第一移動(dòng)臂(222)及其檢 測(cè)單元(223)、第二移動(dòng)臂(224)及其檢測(cè)單元(225)分別移動(dòng)至基板(26)的缺陷(262) 處、缺陷(261)處，以供檢測(cè)單元(223、225)擷取缺陷(261、262)的影像，并傳回該缺陷的 位置或僅傳回該缺陷的位置。上述基板(26)為平面待測(cè)物。在第三移動(dòng)臂(242)、第四移動(dòng)臂(244)的相對(duì)內(nèi)側(cè)各接設(shè)可移動(dòng)的檢測(cè)單元 (243)、檢測(cè)單元(245)，經(jīng)由第二驅(qū)動(dòng)單元(246)以使第三移動(dòng)臂(242)及其檢測(cè)單元 (243)、第四移動(dòng)臂(244)及其檢測(cè)單元(245)分別移動(dòng)至基板(26)的缺陷(263)處、缺陷 (264)處，以供檢測(cè)單元(243、245)擷取缺陷(263、264)的影像并傳回該缺陷的位置或僅傳 回該缺陷的位置。
在第一移動(dòng)臂(222)和第二移動(dòng)臂(224)的一側(cè)接設(shè)第一導(dǎo)軌(227)，并且第一導(dǎo) 軌(227)置設(shè)于基座(20)的一側(cè)邊，在第一移動(dòng)臂(222)和第二移動(dòng)臂(224)的另一側(cè)接 設(shè)第二導(dǎo)軌(228)，并且第二導(dǎo)軌(228)置設(shè)于基座(20)的中段處。第二導(dǎo)軌(228)上可 接設(shè)排氣設(shè)備，該排氣設(shè)備可用來(lái)排出第二導(dǎo)軌(228)所產(chǎn)生的微塵，以免微塵對(duì)檢測(cè)過(guò) 程產(chǎn)生不良的影響。在第三移動(dòng)臂(242)和第四移動(dòng)臂(244)的一側(cè)接設(shè)第三導(dǎo)軌(247)，并且第三導(dǎo) 軌(247)置設(shè)于基座(20)的一側(cè)邊，在第三移動(dòng)臂(242)及第四移動(dòng)臂(244)的另一側(cè)接 設(shè)第四導(dǎo)軌(248)，并且第四導(dǎo)軌(248)置設(shè)于基座(20)的中段處。第四導(dǎo)軌(248)上可 接設(shè)排氣設(shè)備，該排氣設(shè)備可用以排出該第四導(dǎo)軌(248)所產(chǎn)生的微塵，以免微塵對(duì)檢測(cè) 過(guò)程產(chǎn)生不良的影響。上述第一驅(qū)動(dòng)單元(226)、第二驅(qū)動(dòng)單元(246)可為精度較高、剛性較強(qiáng)、能快速 的到達(dá)定位，并且在低速中平穩(wěn)運(yùn)轉(zhuǎn)的線性馬達(dá)(Linearmotor)，或磁浮，或滾珠螺桿，或鏈 條，或皮帶等等。上述基座(20)上可設(shè)置計(jì)算機(jī)，并且在計(jì)算機(jī)中預(yù)先植入檢測(cè)軟件，以指 引第一移動(dòng)臂(222)、第二移動(dòng)臂(224)、第三移動(dòng)臂(242)和第四移動(dòng)臂(244)的檢測(cè)路 徑。該基座(20)上可設(shè)置運(yùn)輸設(shè)備，以傳送基板(26)至待檢測(cè)位置。綜合上述，本發(fā)明的四龍門式檢測(cè)裝置將基板(26)分成四個(gè)檢測(cè)區(qū)，并在相同的 時(shí)間下以四個(gè)移動(dòng)臂執(zhí)行檢測(cè)，使得各個(gè)移動(dòng)臂所須執(zhí)行檢測(cè)的范圍相對(duì)縮小，同時(shí)使得 本發(fā)明可進(jìn)行檢測(cè)的基板尺寸(26)相對(duì)增大，如圖4所示。因此，模擬推估在單片基板(26) 上平均位置存在100個(gè)缺陷，同時(shí)以現(xiàn)有雙龍門式檢測(cè)裝置、本發(fā)明進(jìn)行檢測(cè)，現(xiàn)有雙龍門 式檢測(cè)裝置須費(fèi)時(shí)約85秒，而本發(fā)明則僅費(fèi)時(shí)約54秒。故本發(fā)明相對(duì)于現(xiàn)有雙龍門式檢 測(cè)裝置，其速度明顯較快。以上所述的實(shí)施例僅為說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)思想和特點(diǎn)，其目的在使本領(lǐng)域技術(shù)人 員能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限定本發(fā)明，即凡是依本發(fā)明所公開的 精神所作的等效變化或修飾，仍應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求中。
權(quán)利要求
一種四龍門式檢測(cè)裝置，包括一基座；以及一第一測(cè)定機(jī)構(gòu)，其置設(shè)于所述基座的一半側(cè)，包括一第一移動(dòng)臂和一第二移動(dòng)臂，所述第一移動(dòng)臂、所述第二移動(dòng)臂分別與一第一驅(qū)動(dòng)單元連接，并且所述第一驅(qū)動(dòng)單元與所述基座相連接；以及一第二測(cè)定機(jī)構(gòu)，其置設(shè)于所述基座的另一半側(cè)，包括一第三移動(dòng)臂和一第四移動(dòng)臂，所述第三移動(dòng)臂、所述第四移動(dòng)臂分別與一第二驅(qū)動(dòng)單元連接，并且所述第二驅(qū)動(dòng)單元與該基座相連接；其中所述第一移動(dòng)臂、所述第二移動(dòng)臂、所述第三移動(dòng)臂以及所述第四移動(dòng)臂的相對(duì)內(nèi)側(cè)各接設(shè)至少一個(gè)可移動(dòng)的檢測(cè)單元，經(jīng)由所述第一驅(qū)動(dòng)單元、第二驅(qū)動(dòng)單元以使所述第一移動(dòng)臂、所述第二移動(dòng)臂、所述第三移動(dòng)臂以及所述第四移動(dòng)臂及其檢測(cè)單元移動(dòng)至一基板的一缺陷處，以使所述檢測(cè)單元擷取所述缺陷的影像。
2.如權(quán)利要求1所述的四龍門式檢測(cè)裝置，其中所述第一移動(dòng)臂和所述第二移動(dòng)臂的 一側(cè)接設(shè)有一第一導(dǎo)軌，并且所述第一導(dǎo)軌置設(shè)于基座的一側(cè)邊，所述第一移動(dòng)臂和所述 第二移動(dòng)臂的另一側(cè)接設(shè)有一第二導(dǎo)軌，并且所述第二導(dǎo)軌置設(shè)于所述基座的中段處。
3.如權(quán)利要求2所述的四龍門式檢測(cè)裝置，其中所述第二導(dǎo)軌上接設(shè)一排氣設(shè)備，用 來(lái)排出所述第二導(dǎo)軌所產(chǎn)生的微塵。
4.如權(quán)利要求1所述的四龍門式檢測(cè)裝置，其中所述第三移動(dòng)臂和所述第四移動(dòng)臂的 一側(cè)接設(shè)有一第三導(dǎo)軌，并且所述第三導(dǎo)軌置設(shè)于基座的一側(cè)邊，所述第三移動(dòng)臂和所述 第四移動(dòng)臂的另一側(cè)接設(shè)有一第四導(dǎo)軌，并且所述第四導(dǎo)軌置設(shè)于所述基座的中段處。
5.如權(quán)利要求4所述的四龍門式檢測(cè)裝置，其中所述第四導(dǎo)軌上接設(shè)一排氣設(shè)備，用 來(lái)排出所述第四導(dǎo)軌所產(chǎn)生的微塵。
6.如權(quán)利要求1所述的四龍門式檢測(cè)裝置，其中所述第一驅(qū)動(dòng)單元、第二驅(qū)動(dòng)單元可 為一磁浮、一滾珠螺桿、一鏈條、一皮帶或一線性馬達(dá)。
7.如權(quán)利要求1所述的四龍門式檢測(cè)裝置，其中所述基座上設(shè)置一運(yùn)輸設(shè)備，以傳送 所述基板至待檢測(cè)位置。
8.如權(quán)利要求1或7所述的四龍門式檢測(cè)裝置，其中所述基板為一平面待測(cè)物。
9.如權(quán)利要求1所述的四龍門式檢測(cè)裝置，其中所述檢測(cè)單元移動(dòng)至所述基板的該缺 陷處，將所述缺陷的位置傳回至一計(jì)算機(jī)單元。
全文摘要
一種四龍門式檢測(cè)裝置，包括基座、第一測(cè)定機(jī)構(gòu)和第二測(cè)定機(jī)構(gòu)，其中第一測(cè)定機(jī)構(gòu)包括第一移動(dòng)臂和第二移動(dòng)臂，第一移動(dòng)臂、第二移動(dòng)臂的一側(cè)或兩側(cè)分別與第一驅(qū)動(dòng)單元相連接，并且第一驅(qū)動(dòng)單元接設(shè)于基座；第二測(cè)定機(jī)構(gòu)，包括第三移動(dòng)臂和第四移動(dòng)臂，其中第三移動(dòng)臂、第四移動(dòng)臂的一側(cè)或兩側(cè)分別與第二驅(qū)動(dòng)單元相連接，并且第二驅(qū)動(dòng)單元接設(shè)于基座；在上述第一移動(dòng)臂、第二移動(dòng)臂、第三移動(dòng)臂以及第四移動(dòng)臂的相對(duì)內(nèi)側(cè)各接設(shè)至少一個(gè)可移動(dòng)的檢測(cè)單元。
文檔編號(hào)G02F1/13GK101876757SQ20091013621
公開日2010年11月3日 申請(qǐng)日期2009年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月29日
發(fā)明者葉君基, 莊茂德 申請(qǐng)人:晶彩科技股份有限公司