專(zhuān)利名稱(chēng)：取向膜預(yù)固化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶顯示面板的制造領(lǐng)域，尤其涉及液晶顯示面板中的取 向膜預(yù)固化裝置。
背景技術(shù)：
液晶顯示面板的制造過(guò)程中，在完成基板的制作工藝后，需要在基板上涂 覆一層厚度均一的PI (聚酰亞胺)取向膜。之后采用摩擦工藝在取向膜上形成 取向，以實(shí)現(xiàn)液晶分子的定向排列。取向膜的厚度直接決定了液晶分子定向排 列的均一性，進(jìn)而影響了液晶顯示面板的顯示效果。
PI取向膜的形成機(jī)理是這樣的采用轉(zhuǎn)印技術(shù)在基板上涂覆一層PI溶液薄 膜；通過(guò)預(yù)固化和主固化工藝使得溶液內(nèi)產(chǎn)生反應(yīng)，同時(shí)溶劑揮發(fā)，最后形成 PI取向膜。圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)PI取向膜預(yù)固化裝置示意圖。在基板A上涂覆 有PI溶液B;基板的下方為加熱臺(tái)100對(duì)基板進(jìn)行加熱；基板上方有一比基板 尺寸略大的排風(fēng)裝置200;在平行于基板長(zhǎng)軸方向的基板兩側(cè)各設(shè)置有一個(gè)氣體 吸收裝置300,用于吸收流向氣體吸收裝置300的氣體。在工作過(guò)程中，排風(fēng)裝 置200不斷地排出氣體， 一方面是為了使置于所述加熱臺(tái)上的基板溫度均一， 另一方面是為了幫助PI溶液中的溶劑揮發(fā)，所述溶劑揮發(fā)后則被基板兩側(cè)的氣 體吸收裝置吸收。
在現(xiàn)有技術(shù)中，排風(fēng)裝置的排氣口朝下并向整個(gè)基板排出氣體，而且排出 的是室溫的清潔千空氣，因此對(duì)于基板下面的加熱臺(tái)來(lái)說(shuō)，加熱臺(tái)便形成了中 間熱周?chē)偷臏囟确植?；而且由于氣體吸收裝置分別設(shè)置于平行于基板的長(zhǎng)軸 方向的基板兩側(cè)，排風(fēng)裝置產(chǎn)生的氣流在基板上無(wú)法形成有效的層流；另外排 風(fēng)裝置產(chǎn)生的空氣流之間也沒(méi)有充分的熱量交換。因此導(dǎo)致了基板表面的溫度
4不夠均勻。
在實(shí)現(xiàn)上述液晶顯示面板取向膜預(yù)固化的過(guò)程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中
至少存在如下問(wèn)題
由于加熱過(guò)程中1^反表面的溫度分布不均勻，在PI溶液預(yù)固化后無(wú)法形成一定厚度和均一度的PI涂層，這會(huì)影響到最終形成的取向膜的厚度和均一度，取向膜中的不良區(qū)域造成顯示污漬，從而影響液晶顯示面板的顯示效果。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型提供一種取向膜預(yù)固化裝置，能夠解決現(xiàn)有的取向膜預(yù)固化裝置在取向膜預(yù)固化過(guò)程中容易造成取向膜厚度不均的問(wèn)題。為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案
一種取向膜預(yù)固化裝置，包括放置基板的加熱臺(tái)，設(shè)置于所述基板上方的第一排氣裝置，設(shè)置于所述基板兩側(cè)且平行于所述第一排氣裝置的第一氣體吸收裝置，所述第一排氣裝置為柱狀排氣裝置，所述第一排氣裝置的排氣嘴設(shè)
置于所述柱狀排氣裝置的下方，并指向所述^i^反。
本實(shí)用新型取向膜預(yù)固化裝置，通過(guò)在基板的正上方設(shè)置第 一排氣裝置，在所述基板平行于所述第一排氣裝置的兩側(cè)設(shè)置第一氣體吸收裝置，并且所述第一排氣裝置為柱狀排氣裝置，所述第一排氣裝置的排氣嘴設(shè)置于所述柱狀排氣裝置的下方并指向基板，從而能夠促進(jìn)氣體形成有效層流，使得基板表面溫度均勻，改善最終制成的取向膜的均一度，得到厚度均勻的取向膜。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)取向膜預(yù)固化裝置的示意圖2為本實(shí)用新型取向膜預(yù)固化裝置的實(shí)施例一的側(cè)視圖3為本實(shí)用新型取向膜預(yù)固化裝置的實(shí)施例一的俯視圖；圖4為本實(shí)用新型取向膜預(yù)固化裝置的實(shí)施例一第一排氣裝置的示意圖5為本實(shí)用新型取向膜預(yù)固化裝置的實(shí)施例二的側(cè)視圖6為本實(shí)用新型取向膜預(yù)固化裝置的實(shí)施例二的俯視圖7為本實(shí)用新型取向膜預(yù)固化裝置的實(shí)施例二第二排氣裝置的示意圖8為基板溫度檢測(cè)點(diǎn)坐標(biāo)示意圖。
附圖標(biāo)記iJL明
100，加熱臺(tái)；200,排氣裝置；300,第一氣體吸收裝置(氣體吸收裝置); 400，第一排氣裝置；500，第二排氣裝置；600，第二氣體吸收裝置；410, 510, 排氣嘴；411,第一排氣嘴；412，第二排氣嘴；A，基板；B，取向溶液。
具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型提供一種取向膜預(yù)固化裝置，能夠解決現(xiàn)有的取向膜預(yù)固化裝 置在取向膜預(yù)固化過(guò)程中容易造成取向膜厚度不均的問(wèn)題。
以下結(jié)合附圖對(duì)本 實(shí)用新型實(shí)施例取向膜預(yù)固化裝置進(jìn)行詳細(xì)描述。應(yīng)當(dāng)明確，以下實(shí)施例僅用 于說(shuō)明本實(shí)用新型，而不用于限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
實(shí)施例一
圖2為本實(shí)施例的側(cè)視圖。如圖2所示，本實(shí)用新型實(shí)施例取向膜預(yù)固化 裝置包括放置基板A的加熱臺(tái)100;設(shè)置于所述基板A正上方、且平行于基板 A的長(zhǎng)軸方向的第一排氣裝置400,所述第一排氣裝置400為柱狀排氣裝置，所 述第一排氣裝置的排氣嘴410設(shè)置于所述柱狀排氣裝置的下方且指向所述基板 A;以及設(shè)置于所述基板A的的兩側(cè)、且平行于第一排氣裝置400的第一氣體吸 收裝置300。
本實(shí)用新型優(yōu)選將所述第一排氣裝置400設(shè)置于所述基板A長(zhǎng)軸中心線的 正上方，以實(shí)現(xiàn)基板表面溫度均勻化的最好效果。在進(jìn)行取向膜預(yù)固化的過(guò)程中，基板A上涂覆有取向溶液B。取向溶液B是 由形成取向膜的材料例如PI溶解于溶劑中形成的。在預(yù)固化過(guò)程中，由加熱臺(tái) 100對(duì)基板A以及涂覆于所述基板A上的PI溶液B進(jìn)行加熱，使得部分溶劑在 加熱過(guò)程中產(chǎn)生反應(yīng)并揮發(fā)。在基板長(zhǎng)軸中心線正上方設(shè)有排氣嘴的第一排氣 裝置400用于向下提供氣流，目的是為了是使得整個(gè)加熱臺(tái)100上溫度均勻。 并且所述基板A長(zhǎng)軸方向兩側(cè)且平行于第一排氣裝置設(shè)有第一氣體吸收裝置 300,用于將笫一排氣裝置400排出、并在PI溶液B表面上流動(dòng)的氣體以及PI 溶液B揮發(fā)的溶劑進(jìn)行吸收。如圖3所示為本實(shí)用新型實(shí)施例的俯視圖，箭頭 所示即為PI溶液B表面的氣體流向。
為了促進(jìn)排氣嘴排出的氣體在所述PI溶液B的表面上能夠以預(yù)定方向流 動(dòng)，如圖2、圖4所示，本實(shí)用新型實(shí)施例優(yōu)選^:置第一排氣裝置400的排氣嘴 410包括第一排氣嘴411和第二排氣嘴412;所述第一排氣嘴411和第二排氣嘴 412交叉布置，且所述第一排氣嘴411和第二排氣嘴412所指方向分別為向兩側(cè) 偏離基板A的法線方向。本實(shí)用新型優(yōu)選將第一排氣嘴411和第二排氣嘴412 所指方向與基板A的法線方向的夾角范圍設(shè)定為5°~15°。圖4僅為一示意圖， 在第一排氣裝置400上有多個(gè)排氣嘴，并且孔徑很小，約為3~5咖，每個(gè)排氣 嘴之間的間隔約為2 ~ 3cm。
本實(shí)用新型優(yōu)選在第一排氣裝置400上設(shè)置有流量控制閥，在取向膜預(yù)固 化過(guò)程中，應(yīng)通過(guò)所述流量控制閥控制第一排氣裝置400的排氣流量為5L/min ~ 10 L/min,以實(shí)現(xiàn)基板溫度均勻化的較佳效果。另外，所述第一排氣裝置400 還設(shè)有氣體預(yù)加熱裝置，并且溫度可以調(diào)節(jié)，用于根據(jù)具體工藝中PI溶液所需 的溫度對(duì)所述第一排氣裝置400內(nèi)的氣體溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
設(shè)置于基板A兩側(cè)、且平行于第一排氣裝置400的第一氣體吸收裝置300還設(shè)有負(fù)壓調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)裝置內(nèi)負(fù)壓，以便更好地吸收在PI溶液B表面向所述基板A長(zhǎng)軸中心線兩側(cè)流動(dòng)的氣體。為了使氣體能夠較好地控制基板溫度的均勻，將所述第一氣體吸收裝置300的負(fù)壓范圍調(diào)節(jié)為2KPa-7KPa。
圖2中，本實(shí)用新型實(shí)施例優(yōu)選將所述第一排氣裝置400的排氣嘴410設(shè)置于所述基4反A長(zhǎng)軸中心線的正上方，即，圖4所示的虛線位于基板A的長(zhǎng)軸中心線的正上方。但本實(shí)用新型并不局限于此，還可以將第一排氣裝置400平行于基板的短軸方向設(shè)置于基板A的上方，第一排氣裝置400的下方設(shè)置了排氣嘴，并且優(yōu)選將排氣嘴設(shè)置于所述基板A的短軸中心線的正上方，第一氣體吸收裝置300平行于第一排氣裝置400設(shè)置于基板兩側(cè)。所述第一排氣裝置400的排氣嘴包括兩部分，所述兩部分排氣嘴交叉布置、分別向兩側(cè)偏離所述基板A的法線方向朝向所述基板。本實(shí)用新型優(yōu)選將所述兩部分排氣嘴所指方向與所述基板A的法線之間的夾角設(shè)為5°~15°。
實(shí)施例二
圖5所示為本實(shí)用新型實(shí)施例二取向膜預(yù)固化裝置的側(cè)視圖。如圖5所示，在上述實(shí)施例一的基礎(chǔ)上，本實(shí)施例取向膜預(yù)固化裝置還包括第二排氣裝置500，第二排氣裝置500也為柱狀排氣裝置，設(shè)置于所述基;f反一側(cè)的上方，且垂直于所述第一排氣裝置400,所述第二排氣裝置500上的排氣嘴510朝向所述基板A;第二氣體吸收裝置600，設(shè)置于所述基板A的另一側(cè)。如圖6所示為本實(shí)用新型實(shí)施例取向膜預(yù)固化裝置的俯視圖，從圖上可以看到所述第二排氣裝置500設(shè)置在平行于J^反A的短軸方向的基板一側(cè)的上方，第二氣體吸收裝置600設(shè)置在平行于基板A的短軸方向的基板另一側(cè)。第二排氣裝置500產(chǎn)生的氣流在PI溶液B表面的流向與第一排氣裝置400產(chǎn)生的氣流的流向垂直。
如圖5、圖7所示，本實(shí)施例優(yōu)選將所述排氣嘴510所指方向設(shè)置為與基4反A的法線方向成一定角度指向所述J4良、且朝向平行于基板短軸方向的基板另一 側(cè)，即設(shè)置有所述第二氣體吸收裝置600的一側(cè)。本實(shí)施例優(yōu)選將所述一定角 度設(shè)置為5°~20"。
本實(shí)施例優(yōu)選在第二排氣裝置500上設(shè)置有流量控制閥，在取向膜預(yù)固化 過(guò)程中，應(yīng)通過(guò)所述流量控制閥控制第二排氣裝置500的排氣流量為5L/min 10 L/min，以實(shí)現(xiàn)均勻基板溫度的較佳效果。另外，所述第二排氣裝置500還 設(shè)有氣體預(yù)加熱裝置，并且溫度可以調(diào)節(jié)，用于根據(jù)具體工藝中PI溶液所需的 溫度對(duì)第二排氣裝置500內(nèi)的氣體溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
設(shè)置在平行于基板A的短軸方向另一側(cè)的第二氣體吸收裝置600設(shè)有負(fù)壓 調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)裝置內(nèi)負(fù)壓，以便更好地吸收在PI溶^面沿所述J^反A 長(zhǎng)軸方向流動(dòng)的氣體。為了使得氣體能夠?qū)鍦囟冗M(jìn)行較好的控制和調(diào)節(jié)， 將第二氣體吸收裝置600的負(fù)壓范圍調(diào)節(jié)為2KPa~7 KPa。
為了體現(xiàn)本實(shí)用新型的有益效果，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的取向膜預(yù)固化裝置以及 本實(shí)用新型實(shí)施例二的取向膜預(yù)固化裝置，在取向膜預(yù)固化過(guò)程中對(duì)基板表面 上的各點(diǎn)進(jìn)行溫度檢測(cè)，各溫度檢測(cè)點(diǎn)坐標(biāo)如圖8所示。為了避免偶然因素的 影響，對(duì)現(xiàn)有技術(shù)以及本實(shí)用新型實(shí)施例二都選取四個(gè)取向膜預(yù)固化裝置進(jìn)行 溫度4全測(cè)。
如表1所示為現(xiàn)有技術(shù)的取向膜預(yù)固化裝置一 (heaterl)、裝置二 (heater2)、裝置三(heater3)和裝置四(heater4)的基板上各個(gè)4企測(cè)點(diǎn)枱， 測(cè)到的溫度。表1 現(xiàn)有技術(shù)的取向膜預(yù)固化裝置的溫度檢測(cè)點(diǎn)檢測(cè)到的溫度表
Temperature in old air blow method
xlx2x3x4x5x6Avergige3承o
yl666768686867
y2666768686967
+■>y366676770706767.473.41
666767706867
y5666767686867
yl656868696968
v2666869707069
+■>y366686970706968. 334.41
y4666869707069
y5656769696968
COyl656667686867
y2656667686868
y365666768686867.003.34
v4656667686868
y5666667686868
vl646568707069
v2656668707069
+■>y365676970706967.806. 22
nj <Dv4656668707069
y5646567696968
表2所示為本實(shí)用新型實(shí)施例二的取向膜預(yù)固化裝置一 (heaterl)、裝置 二 (heater2)、裝置三(heater3)和裝置四(heater4)的基板上各個(gè)檢測(cè)點(diǎn) 才企測(cè)到的溫度。
表2本實(shí)用新型實(shí)施二的取向膜預(yù)固化裝置的溫度檢測(cè)點(diǎn)檢測(cè)到的溫度表
'emperature in new air blow methodxlx2x3x4x5x6Average3承o
Heater 1vl66676768686666.92.1
y2666767686867v3666767686866y4666767676766v5666767676766Heater 2yl66676767666666,32.5
y2666767676666v3666868676665v4666767676665v5656667666565Heater 3yl66676767676666. 71.4
v2666767676766y3666667676767y4666767676766v5666767676766Heater 4Yl66676766656666.22.3
v2666768676665v3666767676666v4666767676666y565666666656510從表l、表2可以看出，在本發(fā)明實(shí)施例二中取向膜預(yù)固化裝置的基板上的 溫度較為均一，大多數(shù)情況下，基板的邊緣與中心溫度差值不超過(guò)1。C，另外各 點(diǎn)溫度與平均溫度(average)的差值也較小，而且在基板上位于同一條與基板 長(zhǎng)軸平行的線上各點(diǎn)的溫度標(biāo)準(zhǔn)偏差(7也較小。
但本實(shí)用新型并不局限于此，若第一排氣裝置400的排氣嘴位于所述基板 短軸中心線的正上方，則將所述第二排氣裝置500設(shè)置在平行于基板A長(zhǎng)軸方 向的基板一側(cè)的上方，且垂直于所述基板的短軸中心線，所述笫二排氣裝置500 上的排氣嘴朝向所述基板，同時(shí)將第二氣體吸收裝置600設(shè)置在平行于基板A 的長(zhǎng)軸方向的另一側(cè)。
本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)在基板的正上方設(shè)置第一排氣裝置，所述第一排氣 裝置為柱狀排氣裝置，在平行于所述第一排氣裝置的基板兩側(cè)設(shè)置第一氣體吸 收裝置，并且所述第 一排氣裝置的排氣嘴:沒(méi)置于所述柱狀排氣裝置的下方并指 向基板，還在基板一側(cè)上方、且垂直于所述第一排氣裝置的位置設(shè)置第二排氣 裝置，所述第二排氣裝置上的排氣嘴朝向所述基板，在所述基板的另一側(cè)設(shè)置 第二氣體吸收裝置，因而能夠促進(jìn)氣體在所述PI溶液表面形成有效層流以及氣 體之間充分的熱量交換，從而實(shí)現(xiàn)基板表面溫度均勻，在取向膜預(yù)固化結(jié)束后 能夠得到厚度一致的取向膜，降低取向膜不良率，從而減少液晶顯示器的顯示 污漬。
以上所述，僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不 局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)， 可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本
ii實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)'
權(quán)利要求1、一種取向膜預(yù)固化裝置，包括放置基板的加熱臺(tái)，設(shè)置于所述基板上方的第一排氣裝置，設(shè)置于所述基板兩側(cè)且平行于所述第一排氣裝置的第一氣體吸收裝置，其特征在于，所述第一排氣裝置為柱狀排氣裝置，所述排氣嘴設(shè)置于所述柱狀排氣裝置的下方，并指向所述基板。
2、 如權(quán)利要求1所述的取向膜預(yù)固化裝置，其特征在于，所述柱狀的排氣 裝置位于所述基;^反的長(zhǎng)軸中心線或短軸中心線的正上方。
3、 如權(quán)利要求1所述的取向膜預(yù)固化裝置，其特征在于，所述排氣嘴包括 第一排氣嘴和第二排氣嘴，所述第一排氣嘴和第二排氣嘴交叉布置，且所述第 一排氣嘴和第二排氣嘴所指方向分別向兩側(cè)偏離所述基板的法線方向。
4. 如權(quán)利要求3所述的取向膜預(yù)固化裝置，其特征在于，所述兩部分排氣 嘴與所述基板的法線方向的夾角范圍為5°~15°。
5. 如權(quán)利要求3所述的取向膜預(yù)固化裝置，其特征在于，所述第一排氣裝 置設(shè)有流量控制閥。
6. 如權(quán)利要求3所述的取向膜預(yù)固化裝置，其特征在于，所述笫一排氣裝 置設(shè)有氣體預(yù)加熱裝置。
7. 如權(quán)利要求3所迷的取向膜預(yù)固化裝置，其特征在于，所述第一氣體吸 收裝置設(shè)有負(fù)壓調(diào)節(jié)裝置。
8. 如權(quán)利要求1至7任一所述的取向膜預(yù)固化裝置，其特征在于，還包括 第二排氣裝置，所述第二排氣裝置為柱狀排氣裝置，設(shè)置于所述基板一側(cè)的上方，且垂直于所述第一排氣裝置，所述第二排氣裝置上的排氣嘴朝向所述 基板；第二氣體吸收裝置，設(shè)置于所述基板的另一側(cè)。
9、 如權(quán)利要求8所迷的取向膜預(yù)固化裝置，其特征在于，所述第二排氣裝 置上的排氣嘴與所述基板法線方向的夾角范圍為5°~20°。
10、 如權(quán)利要求8所述的取向膜預(yù)固化裝置，其特征在于，所述第二排氣 裝置設(shè)有流量控制閥。
11、 如權(quán)利要求8所述的取向膜預(yù)固化裝置，其特征在于，所述第二排氣 裝置設(shè)有氣體預(yù)加熱裝置。
12、 如權(quán)利要求8所述的取向膜預(yù)固化裝置，其特征在于，所述第二氣體 吸收裝置設(shè)有負(fù)壓調(diào)節(jié)裝置。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種取向膜預(yù)固化裝置，涉及液晶顯示面板的制造領(lǐng)域，尤其涉及液晶顯示面板中的取向膜預(yù)固化裝置，能夠解決現(xiàn)有的取向膜預(yù)固化裝置容易造成取向膜厚度不均的問(wèn)題。本實(shí)用新型取向膜預(yù)固化裝置，包括放置基板的加熱臺(tái)，設(shè)置于所述基板上方的第一排氣裝置，設(shè)置于所述基板兩側(cè)且平行于所述第一排氣裝置的第一氣體吸收裝置，所述第一排氣裝置為柱狀排氣裝置，所述第一排氣裝置的排氣嘴設(shè)置于所述柱狀排氣裝置的下方，并指向所述基板。本實(shí)用新型適用于液晶顯示面板的制造。
文檔編號(hào)G02F1/13GK201293896SQ20082011006
公開(kāi)日2009年8月19日 申請(qǐng)日期2008年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月18日
發(fā)明者宋勇志, 煦 王 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司