專利名稱：：用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物、以及利用其來制造圖像傳感器的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種用于墊片^f呆護(hù)層(padprotectivelayer)的組合物，以及利用該組合物來制造圖像傳感器的方法。更具體地說，本發(fā)明涉及一種用于墊片保護(hù)層的具有極好的圖案化和蝕刻性能以及耐化學(xué)性的光每文樹脂組合物，以及利用該光每丈樹脂組合物來制造圖像傳感器的方法。
背景技術(shù)：
：圖像傳感器是一種裝置，其包括數(shù)百萬個(gè)元件，用于將光轉(zhuǎn)化成電信號(hào)，這取決于當(dāng)它接收光時(shí)的輻射強(qiáng)度。圖像傳感器被安裝在數(shù)字輸入裝置中，其使得能夠?qū)?shù)字化前的圖像(pre-digitalizedimage)記錄至凄t字化圖i象(digitalizedimage)。最近，對(duì)于這些裝置的需求已顯著增加，以便將它們用于各種安全裝置和數(shù)碼相框(數(shù)碼相機(jī)，digitalphoto)。圖像傳感器由像素陣列構(gòu)成，該像素陣列是以兩維矩陣形式(矩陣格式，matrixformat)排列的多個(gè)像素。每個(gè)像素包括光敏裝置和傳輸以及信號(hào)輸出裝置。取決于傳輸和信號(hào)輸出裝置，圖像傳感器大體上分為兩類電荷耦合器件(CCD)型圖像傳感器和互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)型圖像傳感器。在圖傳_傳感器中，濾色器(濾光片，colorfilter)將來自外部的光分離成紅色、綠色以及藍(lán)色并將其傳輸至每個(gè)像素中的相應(yīng)的光電二才及管。圖1是示出了常規(guī)互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)圖像傳感器的結(jié)構(gòu)的示意性截面4見圖。在下文中，參照?qǐng)Dl來描述常失見互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)圖像傳感器100的結(jié)構(gòu)。來自外部的光通過樣丈透4竟110和第二外#丈層(overcoatinglayer)130到達(dá)濾色器150，并在濾色器150處被分離成每一紅色、綠色以及藍(lán)色(R、G以及B)，然后通過第一外敷層170和鈍化層190被傳輸?shù)焦怆姸O管113，該光電二極管113對(duì)應(yīng)于在層間介電層115上的金屬層180之間形成的每個(gè)像素。形成墊片160以連接至光電二極管113，以便從圖像傳感器IOO獲得(draw)信號(hào)。已經(jīng)進(jìn)行了關(guān)于新方法和相關(guān)材料的許多研究，以生產(chǎn)圖像傳感器。特別地，研究主要集中于改善尺寸從3至5|im降低到1nm的微小像素(minutepixel)的顯示質(zhì)量。由于1iam或更小的小像素尺寸，因此在1.5倍的可見射線波長(zhǎng)的水平必須考慮朝向微透鏡的幾何光學(xué)方面(opticalaspect)和波動(dòng)光學(xué)方面(waveopticalaspect)。另外，隨著單元像素變得更小，微透鏡的直徑也變得更小。從而，與相鄰像素的串話現(xiàn)象更容易發(fā)生，除非減小透鏡的焦距，并且結(jié)果分辨率變差。為了解決該問題，已經(jīng)提出了應(yīng)當(dāng)減小在光電二極管與微透鏡之間形成的每層的厚度。此外，已經(jīng)提出了一種并不形成上部外Ji層(upperovercoatinglayer)的生產(chǎn)方法(韓國(guó)專利7>開號(hào)2007-0033748)。其它圖像傳感器及其制造方法披露在許多專利中(韓國(guó)專利公開號(hào)2002-039125、日本專利公開號(hào)Pyong10-066094、韓國(guó)專利乂^開號(hào)1998-056215、日本專利^>開號(hào)Pyong7-235655、韓國(guó)專利乂^開號(hào)2003-056596、日本專利/^開號(hào)2005-278213、韓國(guó)專利/^開號(hào)2003-002899、以及日本專利公開號(hào)Pyong11-354763)。韓國(guó)專利公開號(hào)2006-0052171提出了通過使用染料來提供2.0x2.0jam的精細(xì)圖案(finepattern)以便獲得高密度像素，如在日本專利公開號(hào)2004-341121中。然而，在這種方法中代替顏料，使用染料作為著色劑。染料具有與長(zhǎng)期可靠性有關(guān)的問題，因?yàn)楣饷綦娮杌驘嶙璧葧?huì)變差。此外，日本專利/〉開號(hào)P7-1720324是出使用黑色矩陣(blackmatrix)以1更防止紅色、鄉(xiāng)錄色和藍(lán)色混合和^f立移(dislocating)。然而，這種方法還需要另外的處理，幾乎不可能制造^t青細(xì)黑色矩陣，并且此外，孔徑比由于引入黑色矩陣而減小。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的一種實(shí)施方式提供了一種用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物，其具有才及好的圖案化和蝕刻性能、以及耐化學(xué)性(化學(xué)耐性)，這使得可以生產(chǎn)沒有下部外敷層(lowerovercoatinglayer)的圖像傳感器。本發(fā)明的另一種實(shí)施方式提供了一種制造高分辨率圖像傳感器的方法，其中圖像傳感器并不具有常規(guī)圖像傳感器的下部外敷層，這導(dǎo)致透4竟減小的焦距。根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式，提供了一種用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物，該組合物包括(A)堿溶性樹脂(堿可溶樹脂，alkalisolubleresin)、(B)活性不飽和化合物、(C)光引發(fā)劑以及(D)溶劑。(A)堿溶性樹脂包括這樣的共聚物，該共聚物包括5至50wt%的具有以下4匕學(xué)式1的構(gòu)成單元(constitutingunit)、1至25wt。/o的具有以下化學(xué)式2的構(gòu)成單元、以及45至90wt。/。的具有以下化學(xué)式3的構(gòu)成單元。RiiR12R13COOH在上述化學(xué)式1中，Ru至Ru獨(dú)立地選自由氫、取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的雜芳基組成的組。li[化學(xué)式2]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>在上述化學(xué)式2中，R21至R23獨(dú)立地選自由氫、取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的雜芳基組成的組，R24選自由取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基、取代或未取代的雜芳基以及取代或未取代的烷氧基組成的組，以及I!24是0至5范圍的整數(shù)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>在上述化學(xué)式3中，RM至R33獨(dú)立地選自由氬、取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的雜芳基組成的纟且，以及R34選自由取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取(A)堿溶性樹脂包括5至50wt。/。的上述化學(xué)式1的構(gòu)成單元、1至25wt。/。的上述化學(xué)式2的構(gòu)成單元、以及45至90wt。/。的上述化學(xué)式3的構(gòu)成單元。在一種實(shí)施方式中，光每丈樹脂組合物包括1至50wt。/。的(A)堿溶性樹脂、1至50wt。/。的(B)活性不飽和化合物、(C)0.1至15wt。/o的光引發(fā)劑以及(D)余量(balance)的溶劑。在另一種實(shí)施方式中，溶劑的含量為1至95wt%。(A)石咸溶性樹脂可以是進(jìn)一步包括具有以下化學(xué)式4的構(gòu)成單元的共聚物。R41R42C-G~)~*FU4R45R43GOO-R47——G—C—R46在上述化學(xué)式4中，R4i至R46獨(dú)立地選自由氫、取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的雜芳基組成的纟且，以及R47選自由取代或未取代的亞烷基、取代或未取代的環(huán)亞烷基、取代或未取代的亞芳基以及取代或未取代的雜亞芳基組成的組?；赹咸溶性樹脂的總重量，上述化學(xué)式4的構(gòu)成單元的含量為20wt。/o以下。上述化學(xué)式2的構(gòu)成單元書f生自苯乙烯。上述化學(xué)式3的構(gòu)成單元衍生自選自由(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烷西旨、(曱基)丙烯酸異水片酯、(甲基)丙烯酸硬脂醇酯以及它們的組合纟且成的纟且的4tl合物。根據(jù)本發(fā)明的另一種實(shí)施方式，提供了一種制造圖像傳感器的方法，該方法包括在層間絕纟彖層(層間介電層)上形成光電二招^管、墊片以及鈍化層并除去在墊片上的鈍化層以暴露墊片；利用光敏樹脂組合物在暴露的墊片上形成墊片保護(hù)層；在層間絕緣層上形成濾色器、外敷層以及微透鏡；以及除去墊片保護(hù)層以暴露墊片。通過干法蝕刻除去墊片上的鈍化層。通過以下方法來形成墊片保護(hù)層，包括將用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物施加在層間絕緣層的整個(gè)表面上，以及暴露和圖案化用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物。使用負(fù)型的光敏樹脂組合物來形成墊片保護(hù)層。通過02灰化(ashing)來除去墊片保護(hù)層。制造圖像傳感器的方法包括直接在確屯化層上形成濾色器，而在鈍化層與濾色器之間沒有外敷層。在下文中，將詳細(xì)地描述本發(fā)明的實(shí)施方式。根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式，用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物可以^是供一種沒有下部外l丈層的圖傳_傳感器，因?yàn)閳D案化和蝕刻性能、以及耐化學(xué)性是極好的。如果通過使用用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物來生產(chǎn)圖像傳感器，則可以減少這樣的現(xiàn)象，其中光敏性變差或產(chǎn)生串話，即使圖像傳感器的像素尺寸被減小。圖1是示出了常規(guī)互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)圖像傳感器的結(jié)構(gòu)的示意性截面圖。圖2示出了^4居本發(fā)明的一種實(shí)施方式制造圖^f象傳感器的方法。圖3是按照根據(jù)本發(fā)明一種實(shí)施方式的圖像傳感器的制造方法制造的互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體圖像傳感器的示意性截面圖。<表示附圖中的主要元件的參考標(biāo)號(hào)的描述>270:微透鏡260:夕卜敷層250:濾色器230:鈍化層210:光電二才及管201:層間絕癥彖層220:墊片240:墊片保護(hù)層具體實(shí)施例方式在下文中，將詳細(xì)地描述本發(fā)明的示例性實(shí)施方式。然而，這些實(shí)施方式〗又是示例性的，并且本發(fā)明并不限于此。本文所〗吏用的術(shù)語-f義用于描述特定實(shí)施方式，而不是用來限制本發(fā)明。應(yīng)當(dāng)理解，當(dāng)提及要素(元件，element)諸如層、區(qū)域或基板"在"另一個(gè)要素上時(shí)，它可以直接在其它要素上或者還可以存在中間要素。相反，當(dāng)提及要素"直接在"另一個(gè)要素上時(shí)，則不存在任何中間要素。在本說明書中，當(dāng)沒有提供具體定義時(shí)，"烷基"是指Cl至C20烷基，"環(huán)烷基"是指C3至C30環(huán)烷基，"芳基"是指C6至C30芳基，"雜芳基"是指C2至C30雜芳基，"烷氧基"是指Cl至C4烷氧基，"亞烷基"是指Cl至C20亞烷基，"環(huán)亞烷基，，是指C3至C30環(huán)亞烷基，"亞芳基"是指C6至C30亞芳基，以及"雜亞芳基，，是指C2至C30雜亞芳基。在本說明書中，當(dāng)沒有提供具體定義時(shí)，術(shù)語"取代的"是指至少用以下取代基取代的，其中所述取代基選自由卣素(F、Br、Cl、或I)、羥基、烷氧基、硝基、氰基、氨基、疊氮基、脒基、肼基、亞肼基(肼叉)、羰基、氨基甲酰、硫羥(硫醇)、酯、羧基或其鹽、磺酸或其鹽、磷酸或其鹽、烷基、C2至C16鏈烯基、C2至C16炔基、芳基、C7至C13芳烷基、Cl至C4烷氧基(oxyalkyl)、Cl至C20雜烷基、C3至C20雜芳烷基、環(huán)烷基、C3至C15環(huán)烯基、C6至C15環(huán)炔基、雜環(huán)烷基、以及它們的組合組成的組。在本說明書中，術(shù)語"雜"是指包括1至3個(gè)雜原子，所述雜原子選自由N、O、S、以及P纟且成的纟且。根據(jù)本發(fā)明一種實(shí)施方式的用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物包括(A)堿溶性樹脂、(B)活性不飽和化合物、(C)光引發(fā)劑以及(D)溶劑，并且(A)堿溶性樹脂包括這樣的共聚物，該共聚物包括5至50wt。/。的具有以下化學(xué)式1的構(gòu)成單元、1至25wt%的具有以下〗匕學(xué)式2的構(gòu)成單元、以及45至90wt。/。的具有以下化i學(xué)式3的構(gòu)成單元。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>在上述化學(xué)式1中，Ru至Rn獨(dú)立地選自由氫、取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的雜芳基組成的組。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>在上述化學(xué)式2中，R^至R23獨(dú)立地選自由氫、取代或未取代的烷基、取代或未取R24選自由取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基、取代或未取代的雜芳基以及取代或未取代的烷氧基組成的組，以及1124是0至5范圍的整數(shù)。[化學(xué)式3]在上述化學(xué)式3中，R3!至R33獨(dú)立地選自由氫、取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的雜芳基組成的纟且，以及R34選自由取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物用于形成墊片保護(hù)層，而不是形成下部外敷層，即在形成濾色器之前通常使用的。通過平版印刷(lithography)來圖案化墊片保護(hù)層以在暴露的卩象素區(qū)域上才是供濾色器。墊片保護(hù)層起作用以保護(hù)墊片免受化學(xué)物質(zhì)如在濾色器形成過程(formingprocess)中所使用的顯影液。在形成孩i透鏡以后代的環(huán)烷基、的組，18除去墊片保護(hù)層。因此，用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物可以提供這樣的圖像傳感器，其中下部外敷層被除去?？梢杂米鲏|片保護(hù)層的光敏樹脂組合物需要以下特性。①圖案化性能用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物可確保適當(dāng)水平的用于圖案化過程(patterningprocess)的圖案化性能。通過圖案化過程，墊片保護(hù)層暴露除墊片區(qū)域(padarea)之外的剩余區(qū)域。這是用于形成紅色、綠色、以及藍(lán)色濾色器的區(qū)域。在本發(fā)明中，分辨率應(yīng)為至少3.0x3.0(im。②々蟲刻速率在微透鏡中形成墊片保護(hù)層以后，連同外敷層一起將它除去。如果墊片保護(hù)層的蝕刻性能不足，則它可以在隨后的過程(工藝)中引起困難。根據(jù)一種實(shí)施方式，用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物具有50,000A/min或更大的蝕刻速度(速率)，而在另一種實(shí)施方式中，其在60,000至100,000A/min的范圍。當(dāng)蝕刻速度在該范圍內(nèi)時(shí)，則可以在蝕刻之前或之后進(jìn)4亍所述過程(工藝)；它可以促進(jìn)過程的控制；并且可以防止延長(zhǎng)過禾呈。蝕刻性能是由在光敏樹脂組合物中的義威溶性樹脂中所使用的單體的種類和組成來確定的。根據(jù)本發(fā)明，蝕刻性能被控制為由上述化學(xué)式1至4表示的構(gòu)成單元的利用率的結(jié)果。③耐化學(xué)性在墊片保護(hù)層被圖案化以后，接著是濾色器形成過程(formingprocess)。墊片l呆護(hù)層一皮暴露于各種化學(xué)物質(zhì)如在形成濾色器的過程(工藝)中所使用的顯影液和溶劑。因此，當(dāng)墊片保護(hù)層對(duì)化學(xué)物質(zhì)具有足夠抗性時(shí)，可以使用該墊片保護(hù)層。根據(jù)本發(fā)明的光敏樹脂組合物具有極好的圖案化和蝕刻性能以及耐化學(xué)性，所以它可以用來形成墊片《呆護(hù)層。在下文中，將詳細(xì)地描述包括在才艮據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的用于墊片保護(hù)層的組合物中的典型成分。然而，這些實(shí)施方式僅是示例性的，并且本發(fā)明并不限于此。(A)》威溶性樹脂根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式的堿溶性樹脂是一種包括具有以下4匕學(xué)式1的構(gòu)成單元、具有以下4fc學(xué)式2的構(gòu)成單元、以及具有以下化學(xué)式3的構(gòu)成單元的共聚物。該共聚物可以是無規(guī)共聚物、交替共聚物、嵌段共聚物、或接枝共聚物。由上述化學(xué)式1表示的構(gòu)成單元可以衍生自選自由(甲基)丙烯酸、乙基丙烯酸(ethacrylieacid)、丁烯酸、2-戊酸等、以及它們的組合組成的組的羧酸化合物。尤其是，(甲基)丙烯酸具有良好的共聚合反應(yīng)性和耐熱性并易于獲得。由上述化學(xué)式2表示的構(gòu)成單元可以衍生自選自由苯乙烯、a-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對(duì)甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對(duì)曱氧基苯乙烯、對(duì)^又丁氧基苯乙烯、以及它們的組合組成的組的單烯烴基化合物，并且根據(jù)一種實(shí)施方式，衍生自苯乙烯的構(gòu)成單元是適合的。堿溶性樹脂包括由上述化學(xué)式3表示的構(gòu)成單元，以便改善蝕刻和分辨率性能。由上述化學(xué)式3表示的構(gòu)成單元可以包括C5至C30長(zhǎng)鏈烷基或C8至C25芳基。包括長(zhǎng)鏈烷基或芳基的構(gòu)成單元可以衍生自這樣的化合物，該化合物選自由烷基酯系列諸如(曱基)丙烯酸正己酯，(甲基)丙烯酸異癸酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂醇酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯、(曱基)丙烯酸千酯等等；包括側(cè)鏈的烷基酯系列諸如(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯等等；以及它們的纟且合纟且成的纟且。根據(jù)一種實(shí)施方式，(曱基)丙烯酸硬脂醇酯、(曱基)丙烯酸二環(huán)戊酯、以及(曱基)丙烯酸異冰片酯可以是適合的。石威溶性樹脂包括5至50wt%，并且更優(yōu)選10至40wt。/。的具有以下化學(xué)式1的構(gòu)成單元；1至25wt%,并且更優(yōu)選5至15wt%的具有以下化學(xué)式2的構(gòu)成單元；以及45至90wt。/。，并且更優(yōu)選60至80wt。/。的具有以下化學(xué)式3的構(gòu)成單元。當(dāng)由上述化學(xué)式1表示的構(gòu)成單元的含量小于5wt。/。時(shí)，堿溶性樹脂幾乎不會(huì)溶解在堿性水溶液中從而導(dǎo)致殘留物，而當(dāng)其含量大于50wty。時(shí)，其對(duì)石威性水溶液的溶解過大，/人而在顯影過程中引起墊片保護(hù)層損失。當(dāng)由上述化學(xué)式2表示的構(gòu)成單元的含量小于1wt。/。時(shí)，耐化學(xué)性可能會(huì)變差，而當(dāng)其含量大于25wt。/。時(shí)，蝕刻性能可能會(huì)變差。當(dāng)由上述化學(xué)式3表示的構(gòu)成單元的含量小于45wt。/。時(shí)，分辨率和蝕刻性能可能會(huì)變差，而當(dāng)其含量大于90wt。/。時(shí)，蝕刻性能可能會(huì)過大。堿溶性樹脂可以進(jìn)一步包括由以下化學(xué)式4表示的構(gòu)成單元，以便控制其分子量和改善涂層性能(當(dāng)需要時(shí))。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula>在上述化學(xué)式4中，R^至R46獨(dú)立地選自由氫、取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的雜芳基組成的纟且，以及R47選自由取代或未取代的亞烷基、取代或未取代的環(huán)亞烷基、取代或未取代的亞芳基以及取代或未取代的雜亞芳基組成的組。由上述化學(xué)式4表示的構(gòu)成單元可以衍生自這樣的環(huán)氧化合物，該環(huán)氧化合物選自由(甲基)丙烯酸環(huán)氧烷基酯系列諸如(曱基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸-3,4-環(huán)氧丁基酯、(曱基)丙烯酸-6，7-環(huán)氧庚基酯、(曱基)丙烯酸-3,4-環(huán)氧環(huán)己基酯等等；a-烷基丙烯酸環(huán)氧烷基酯系列如a-乙基丙烯酸縮水甘油酯、a-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、a-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、6,7-環(huán)氧庚基-a-乙基丙烯酸酯等等；和縮水甘油醚諸如鄰乙歸基節(jié)基縮水甘油醚、間乙烯基節(jié)基縮水甘油醚、對(duì)乙烯基千基縮水甘油醚等等；以及它們的組合組成的組。尤其是，就共聚合反應(yīng)性和隔離物強(qiáng)度(spacerstrengh)而論，(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(曱基)丙烯酸-2-曱基縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸-6，7-環(huán)氧庚基酯、鄰乙烯基千基縮水甘油醚、間乙烯基千基縮水甘油醚、以及對(duì)乙歸基節(jié)基縮水甘油醚可以是適合的?；趬A溶性樹脂的總重量，由上述化學(xué)式4表示的構(gòu)成單元的含量可以為20wt。/?；蚋?，并且更優(yōu)選10wt。/?；蚋佟．?dāng)由上述化學(xué)式4表示的構(gòu)成單元的含量大于20wt。/。時(shí)，儲(chǔ)藏穩(wěn)定性可能會(huì)變差并在平版印刷工藝之前可能會(huì)形成固化產(chǎn)物(curedproduct),/人而可能不會(huì)形成圖案?？梢岳霉簿酆戏椒▉碇苽鋲A溶性樹脂，而無需改性方法。例如，可以通過在存在催化劑(聚合引發(fā)劑)的情況下在溶劑中化合物的;摔離基聚合(radicalpolymerization)來獲4尋》威;容'性樹月旨。在聚合過程中，溶劑可以包括醇系列如曱醇、乙醇等等；醚系列如四氬p夫喃等等；溶纖劑酯(cellosolveester)系列如曱基溶纖劑乙酸酯等等；丙二醇乙酸烷基醚酯系列如丙二醇乙酸甲基醚酯、丙二醇乙酸丙基醚酯等等；芳香族烴系列、酮系列、酯系列等等。該溶劑可以相同于在才艮據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物中所使用的溶劑。在游離基聚合過程中的聚合催化劑可以是一般的游離基聚合引發(fā)劑例如偶氮化合物如2,2-偶氮二異丁腈、2,2-偶氮二-(2，4-二曱基戊腈)、2，2-偶氮二-(4-甲氧基-2，4-二曱基戊腈)等等；和有機(jī)過氧化物和過氧化氫如苯曱酰過氧化物(過氧化苯甲酰)、月桂酰過氧化物、過氧化^又戊酸^又丁酯(，敘丁基過氧化新戊酸酯)、l，l，-二-(叔丁基過氧基)環(huán)己烷等等。當(dāng)過氧化物用作游離基聚合引發(fā)劑時(shí)，它可以連同作為氧化還原型引發(fā)劑的還原劑一起使用。此外，共聚物的分子量和分布并沒有特別限制，只要其可以均勻地涂布用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物。根據(jù)一種實(shí)施方式，共聚物的重均分子量在15,000至25,000的范圍。當(dāng)共聚物的重均分子量小于15,000時(shí)，其可能會(huì)過分顯影以損失(丟失)圖案；另一方面，當(dāng)共聚物的重均分子量大于25,000時(shí)，顯影速度較慢并且涂層性能變差。根據(jù)一種實(shí)施方式，共聚物的酸值在70至120mgKOH/g的范圍。當(dāng)共聚物的酸值小于70mgKOH/g時(shí)，顯影速度變得較慢；另一方面，當(dāng)共聚物的酸值大于120mgKOH/g時(shí)，其^皮過分顯影從而損失圖案。(B)活性不々包和化合物(B)根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式的活性不飽和化合物是在光壽丈樹脂組合物中通常^f吏用的單體或^氐聚物。它可以是(曱基)丙烯酸的單官能或多官能酯，包括至少一個(gè)烯不飽和雙鍵。單官能(甲基)丙烯酸酯是商業(yè)上可獲得的，例如作為ARONIXM-101、ARONIXM畫lll、ARONIXM-114(由TOAGOSEICHEMICALINDUSTRYCO.,LTD.生產(chǎn))、KAYARADTC-110S、KAYARADTC畫120S(由NIPPONKAYAKUCO.，LTD.生產(chǎn))、V-158、V-2311(由OSAKAORGANICCHEMICALIND.，LTD.生產(chǎn))等等。二官能(曱基)丙烯酸酯是商業(yè)上可獲得的，例如作為ARONIXM-210、ARONIXM-240、ARONIXM-6200(由TOAGOSEICHEMICALINDUSTRYCO.,LTD.生產(chǎn))、KAYARADHDDA、KAYARADHX-220、KAYARADR-604(由NIPPONKAYAKUCO.，LTD.生產(chǎn))、V-260、V-312、V-335HP(由OSAKAORGANICCHEMICALIND.，LTD.生產(chǎn))等等。此外，三或更多官能(甲基)丙烯酸酯可以包括三羥曱基丙烷三丙烯酸酯、三丙烯酸季戊四醇酯、三丙烯酰乙氧基石粦酸酯、四丙烯酸季戊四醇酯、五丙烯酸二季戊四醇酯、六丙烯酸二季戊四醇酯等等?？稍谑袌?chǎng)上4艮好獲得的可以包括ARONIXM-309、ARONIXM-400、ARONIXM-405、ARONIXM-450、ARONIXM-7100、ARONIXM-8030、ARONIXM-8060(由TOAGOSEICHEMICALINDUSTRYCO"LTD.生產(chǎn))、KAYARADTMPTA、KAYARADDPCA-20、KAYARADDPCA-30、KAYARADDPCA-60、KAYARADDPCA-120(由NIPPONKAYAKUCO.，LTD.生產(chǎn))、V-295、V-300、V畫360、V-GPT、V-3PA、V-400(由OSAKAORGANICCHEMICALIND.,LTD.生產(chǎn))等等?？梢詥为?dú)或組合4吏用該4匕合物。(C)光引發(fā)劑(C)根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式的光引發(fā)劑可以包括光致游離基聚合？)發(fā)劑(photo-radicalpolymerizationinitiator)或光至丈陽離子聚合引發(fā)劑(photo-cationicpolymerizationinitiator)等等。當(dāng)使用光引發(fā)劑時(shí)，應(yīng)考慮暴露條件。特別地，當(dāng)在無氧氣氛下暴露樹脂組合物時(shí)，其可以包括任何一般的光致游離基聚合51發(fā)劑和光致陽離子聚合引發(fā)劑。光致游離基聚合引發(fā)劑包括a-二酮系列如千基酮、二乙酰酮等等；偶姻系列如笨偶姻等等；偶姻醚系列如苯偶姻曱醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚等等；苯酮(二苯甲酮)系列如遂噸酮、2,4-二乙基p塞噸酮、噻噸酮-4-石黃酸、苯酮、4,4'-二(二甲基氨基)苯酮、4，4'-二(二乙基氨基)苯酮等等；苯乙酮(乙酰苯)系列如苯乙酮、對(duì)二甲基氨基苯乙酮、a,a'-二甲氧基乙酰氧基苯酮、2,2'-二甲氧基一2-苯基苯乙酮、對(duì)甲氧基苯乙酮、2-甲基[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代-l-丙酮、2-芐基-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉代苯基)-丁-l-酮等等；醌系列如蒽醌、1，4-萘醌等等；鹵素化合物如苯甲酰甲基氯、三溴甲基苯基^U三(三氯曱基)-s-三嗪等等；過氧化物如二^L丁基過氧化物等等；或?；趸⑾盗腥?，4，6-三甲基苯甲?；交趸⒌鹊?。光致陽離子聚合引發(fā)劑可以包括在市場(chǎng)上可獲得的那些諸如Adecaultra-setPP-33的重氮鹽(由ASAHIDENKAKOGYOKABUSHIKIKAISHA生產(chǎn))、OPTOMERSP-150、OPTOMERSP-170的磺酸鹽(由ASAHIDENKAKOGYOKABUSHIKIKAISHA生產(chǎn))、IRGACURE261的金屬茂化合物(由CIBAGEIGYAG生產(chǎn))等等。光致游離基聚合引發(fā)劑(其在存在氧的情況下當(dāng)被暴露時(shí)可以使用)由于氧可能會(huì)使自由基的敏感性變差，使得可能獲得所暴露部分的不足的4呆留率(remainingrate)和石更度。因此，當(dāng)在存在氧的條件下暴露它時(shí)，上述光致聚合？1發(fā)劑可以包括①所有的光致陽離子聚合引發(fā)劑(光致陽離子聚合引發(fā)劑很少會(huì)由于氧而使活化物質(zhì)的敏感性變差)，以及②一部分光致游離基聚合引發(fā)劑，例如2-甲基-[4-(曱硫基)苯基]-2-嗎啉代-l-丙酮、2-千基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁-l-酮的乙酰苯酮系列，苯曱酰甲基氯、三溴甲基苯基>5風(fēng)、三(三氯曱基)-s-三嗪的卣素化合物，以及2,4,6-三曱基苯曱?；交趸⒌孽；趸⑾盗?。光致游離基聚合引發(fā)劑和光致陽離子聚合引發(fā)劑吸收待被激發(fā)的光，以便傳送能量。它們可以與光敏劑一起使用以發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。26(D)溶劑(D)根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式的溶劑應(yīng)具有與共聚物的相容性，但它并不與共聚物反應(yīng)。這樣的溶劑包括醇系列如曱醇、乙醇等等；醚系列如二氯乙醚、正丁基醚、二異戊醚、曱基苯基醚、四氫吹喃等等；乙二醇醚系列如乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚等等；乙酸溶纖劑系列如曱基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、二乙基溶纖劑乙酸酯等等；卡必醇系列如曱基乙基卡必醇、二乙基卡必醇、二乙二醇單曱醚、二乙二醇單乙醚、二甘醇二曱醚、二甘醇曱基乙基醚、二甘醇二乙醚等等；丙二醇乙酸烷基醚酯系列如丙二醇乙酸曱基醚酯、丙二醇乙酸丙基醚酯等等；芳香族烴系列如甲苯、二甲苯等等；酮系列如丁酮、環(huán)己酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮、曱基-正丙基酮、甲基-正丁基酮、甲基-正戊基酮、2-庚酮等等；飽和脂族一元羧酸烷基酯系列如乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯等等；乳酸酯系列如乳酸甲酯、乳酸乙酯等等；烷基羥乙酸酯系列如羥乙酸曱酯、羥乙酸乙酯、羥乙酸丁酯等等；烷基烷氧基乙酸酯系列如曱氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、曱氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸曱酯、乙氧基乙酸乙酯等等；3-氧代丙酸烷基酯系列如3-氧代丙酸曱酯、3-氧代丙酸乙酯等等；3-烷氧基丙酸烷基酯系列如3-甲氧基丙酸曱酯、3-曱氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸曱酯等等；2-氧〗戈丙酸烷基酯系列如2-氧代丙酸甲酯、2-氧代丙酸乙酯、2-氧代丙酸丙酯等等；2-烷氧基丙酸烷基酯系列如2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸甲酯等等；2-氧代-2-曱基丙酸酯如2-氧代-2-曱基丙酸曱酯、2-氧代-2-曱基丙酸乙酯等等；2-烷氧基-2-甲基丙酸烷基系列如2-曱氧基-2-曱基丙酸曱酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯等等的單氧代一元羧酸烷基酯系列；酯系列如2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-曱基丙酸乙酯、羥基乙酸乙酯(ethylhydroxyacetate)、2-羥基-3-曱基丁酸甲酯等等；以及酮酸酯系列如丙酮酸乙酯等等。此外，可以進(jìn)一步加入以下高沸點(diǎn)溶劑N-甲基甲酰胺、N,N-二曱基曱酰胺、N-甲基甲酰苯胺、N-曱基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-曱基吡咯烷酮、二曱亞砜、節(jié)基乙基醚、二己基醚、乙酰丙酮、異^f弗爾酮、己酸、辛酸、l-辛醇、l-壬醇、千醇、乙酸節(jié)酯、苯曱酸乙酯、草酸二乙酯、馬來酸二乙酯、Y-丁內(nèi)酯、爿暖酸乙烯酯、石友酸丙烯酯、苯基乙酸溶纖劑等等?？紤]到相容性和反應(yīng)性，乙二醇醚系列如乙二醇單乙醚等等；乙二醇烷基醚乙酸酯系列如乙基溶纖劑乙酸酯等等；酯系列如2-幾基丙酸乙酯等等；二甘醇系列如二甘醇單曱醚等等；以及丙二醇和烷基醚乙酸酯系列如丙二醇曱醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯等等可能是適合的。(E)其它添加劑根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式，用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物可以進(jìn)一步包括具有活性取代基如羧基基團(tuán)、異丁烯?；鶊F(tuán)、異氰酸酯基團(tuán)、環(huán)氧基團(tuán)等等的硅烷偶聯(lián)劑。特別地，硅烷偶聯(lián)劑的實(shí)例可以包括三曱氧基曱硅烷基苯曱酸、，曱基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三曱氧基硅烷、？異氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、，縮水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷、|3-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷等等?？梢詥为?dú)或以至少兩種的組合來〗吏用^圭;院偶聯(lián)劑。根據(jù)一種實(shí)施方式，基于IOO重量份的堿溶性樹脂，硅烷偶聯(lián)劑的力口入量可以為0.001至20重量4分。的用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物可以進(jìn)一步包括表面活性劑以改善涂層性能并防止在夬陷(當(dāng)需要時(shí))。例如，表面活性劑可以包4舌氟基表面活性劑，其在市場(chǎng)上可以BM國(guó)IOOO、BM-llOO(由BMChemie生產(chǎn))，MEGAFACEF142D、MEGAFACEF172、MEGAFACEF173、MEGAFACEF183(由DAINIPPONINK&CHEMICALS,INC.生產(chǎn))，F(xiàn)ULORADFC-135、FULORADFC畫170C、FULORADFC-430、FULORADFC-431(由Sumitomo3MLimited生產(chǎn))，SURFLONS-112、SURFLONS-113、SURFLONS-131、SURFLONS-141、SURFLONS畫145(由ASAHIGLASSCO.,LTD.生產(chǎn)),SH-28PA、SH-湧、SH畫193、SZ-6032、SF-8428(由TORAYSILICONECO.，LTD.生產(chǎn))等等的名稱出售而獲得0基于100重量份的堿溶性樹脂，表面活性劑的加入量可以為0.001至5重量份。當(dāng)需要時(shí)，根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式的用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物可以進(jìn)一步包括其它成分，只要其并不阻礙本發(fā)明的目的。光敏樹脂組合物可以包括(A)1至50wt。/。的堿溶性樹脂、(B)1至50wtM的活性不飽和化合物、(C)O.l至15wt。/o的光引發(fā)劑以及(D)余量的溶劑。根據(jù)另一種實(shí)施方式，溶劑的加入量可以為l至95wt0/0。4艮據(jù)一種進(jìn)一步的實(shí)施方式，光每丈樹脂組合物可以進(jìn)一步包括(A)10至30wt。/。的堿溶性樹脂、(B)3至30wt。/o的活性不飽和化合物、(C)1至10wto/。的光引發(fā)劑以及(D)余量的溶劑。在一種進(jìn)一步的實(shí)施方式中，溶劑的加入量為1至85wt0/0。29當(dāng)石威溶性樹脂以小于1wt。/。加入時(shí)，則不會(huì)4艮好地形成圖案；另一方面，當(dāng)其以大于50wt。/。加入時(shí)，組合物的粘度增加以使加工性能變差并留下殘留物。當(dāng)活性不飽和化合物以小于1wt。/。加入時(shí)，在氧存在的情況下，，敏感性易于變差；另一方面，當(dāng)以大于50wt。/。加入時(shí)，與共聚物的相容性傾向于變差，使得在形成涂膜(coatingfilm)以后，涂層表面可能變得更粗糙。當(dāng)光引發(fā)劑以小于0.1Wt。/o加入時(shí)，由于氧，自由基壽文感性易于變差；另一方面，當(dāng)其以大于15wt。/。加入時(shí)，溶液的顏色濃度(色;農(nóng)度，colorconcentration)會(huì)過分i曾力口或其可以凈皮^U定。制造根據(jù)本發(fā)明的另一種實(shí)施方式的圖像傳感器的方法包括在層間絕緣層上形成光電二極管、墊片以及鈍化層并除去在墊片上的鈍化層以暴露墊片；使用光敏樹脂組合物在暴露的墊片上形成墊片保護(hù)層；在層間絕緣層上形成濾色器、外敷層以及微透鏡；以及除去墊片保護(hù)層以暴露墊片。在下文中，參照附圖描述了根據(jù)本發(fā)明的另一種實(shí)施方式的圖像傳感器的生產(chǎn)方法。圖2示出了才艮據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式的生產(chǎn)圖像傳感器的方法。首先，在層間絕鄉(xiāng)彖層201上形成紅色211、藍(lán)色212以及綠色213的光電二才及管210(Sl)。在層間纟色》彖層201上形成塾片220和金屬層290(S2)。在層間絕緣層201的表面上形成鈍化層230以覆蓋光電二4及管210和墊片220(S3)。通過任何方法如干法蝕刻來除去在墊片220上形成的4屯化層230,以《更暴露墊片220(S4)。使用光每丈樹脂組合物在暴露的墊片220上形成墊片保護(hù)層240(S5)。根據(jù)一種實(shí)施方式，光敏樹脂組合物是根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式的用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物。通過在層間絕緣層201的表面上涂布用于墊片保護(hù)層的光4丈樹脂組合物，將具有一定圖案的光照射在用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物上，然后用堿性顯影液顯影以除去在除了在暴露的墊片220上之外的區(qū)i或上的墊片保護(hù)層240來制備墊片保護(hù)層240(S6)。才艮據(jù)一種實(shí)施方式，利用負(fù)型光敏方法來實(shí)施墊片保護(hù)層240的形成。將用于濾色器的光壽丈樹脂組合物涂布在形成有墊片保護(hù)層240的層間絕緣層201的表面上，并照射光以形成濾色器所需要的圖案。然后用^威性顯影液處理它以溶解未暴露區(qū)域，/人而形成具有濾色器所需要的圖案的紅色251、藍(lán)色252以及綠色253的濾色器250(S7)。在形成有濾色器250的層間絕緣層201的表面上形成外敷層260(S8)，而在外凌欠層260上形成樣吏透4竟270(S9)。圖案化并除去在墊片上形成的外#丈層260,并除去墊片保護(hù)層240以暴露墊片，以便提供圖像傳感器(SIO)?？梢杂?2灰化方法(ashingmethod)來執(zhí)4亍除去墊片4呆護(hù)層240，4旦并不限于此。當(dāng)沖艮據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式制造圖{象傳感器時(shí)，代^弄在4屯化層230和濾色器250之間形成外敷層，可以直接在鈍化層230上形成濾色器250。才艮據(jù)另一種實(shí)施方式的方法，可以向圖Y象傳感器提供4象素尺寸為1.0nm或更小的高分辨率，其中通過4吏AM鼓透4竟到光電二極管的距離最小化，可以防止光敏性的劣化；并且通過引入墊片保護(hù)層還可以防止墊片受到后處理的損傷。圖3是示出了通過根據(jù)另一種實(shí)施方式制造圖像傳感器的方法制造的互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)型圖Y象傳感器300的結(jié)構(gòu)的示意性截面圖。參照?qǐng)D3，通過微透鏡310和外敷層330出射光到達(dá)濾色器350;它在濾色器350處被分離成每種R、G以及B顏色；然后通過鈍化層390凈皮傳輸?shù)焦怆姸O管313，該光電二才及管313對(duì)應(yīng)于在層間絕緣層315上的金屬層380之間形成的每個(gè)像素。將墊片360連4妄于光電二極管313以從圖〗象傳感器300獲得信號(hào)。與圖1所示的常規(guī)圖像傳感器IOO相比，圖3所示的圖像傳感器300在鈍化層390與濾色器350之間沒有外#丈層170，并且濾色器350直4妄形成在鈍化層3卯上。以下實(shí)施例更詳細(xì)地說明本發(fā)明。然而，這些實(shí)施例并不應(yīng)以任何含義解釋為限制本發(fā)明的范圍。確實(shí)，省略了未包括在本"i兌明書中的描述，因?yàn)樗鼈兛梢匀菀譤t本領(lǐng)域的普通4支術(shù)人員理解。(堿溶性樹脂的制備)(合成實(shí)施例1)(1)由化學(xué)式1表示的構(gòu)成單元的單體甲基丙烯酸15g(2)由化學(xué)式2表示的構(gòu)成單元的單體苯乙烯10g(3)由化學(xué)式3表示的構(gòu)成單元的單體曱基丙烯酸二環(huán)戊烷酯75g(4)游離基聚合催化劑2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)10g(5)溶劑丙二醇單曱醚乙酸酯208.76g在安裝有攪拌器、回流冷凝器、烘道、氮引入器、溫度計(jì)以及循環(huán)器(能夠控制溫度)的燒瓶中，用氮?dú)獯婵諝?，以提供氮?dú)夥?，然后將上述?gòu)成材料(構(gòu)成物質(zhì))加入到燒瓶中。將燒瓶浸入油浴中并在70°C的反應(yīng)溫度下發(fā)生聚合3小時(shí)，同時(shí)攪拌，以提供具有20,000的分子量(Mw)的堿溶性樹脂(在下文中稱作"共聚物l")。合成實(shí)施例2至10按照與合成實(shí)施例1中相同的步驟來制備堿溶性樹脂(在下文中稱作"共聚物2至10"),不同之處在于改變單體的種類和量。在合成實(shí)施例1至10中的單體的種類和量、共聚物的酸值和分子量在以下的表l中示出。<table>tableseeoriginaldocumentpage34</column></row><table>(1)由化學(xué)式1表示的構(gòu)成單元的單體曱基丙烯酸(MAA)(2)由化學(xué)式2表示的構(gòu)成單元的單體苯乙埽(ST)(3)由化學(xué)式3表示的構(gòu)成單元的單體曱基丙烯酸二環(huán)戊烷酯(DCM)曱基丙烯酸異冰片酯(IBMA)甲基丙烯酸節(jié)酯(BzMA)曱基丙烯酸石更脂醇酯(SMA)(4)由化學(xué)式1表示的構(gòu)成單元的單體甲基丙烯酸縮水甘油酯(GMA)(光敏樹脂組合物的制備)(實(shí)施例1)通過使用由合成實(shí)施例1獲得的共聚物1制備了在以下表2中示出的光敏樹脂組合物。<table>tableseeoriginaldocumentpage35</column></row><table>*共聚物1的含量是基于固體含量。(實(shí)施例2至10)按照與實(shí)施例1中相同的步驟制備樹脂組合物，不同之處在于-使用由合成實(shí)施例2至10獲得的每種共聚物2至10作為石咸溶性樹脂。(參考例1)按照與實(shí)施例1中相同的步驟制備光敏樹脂組合物，不同之處在于使用15.0g的曱基丙烯酸芐酯(A)/甲基丙烯酸(B)(A/B=75/25(wt%),Mw=25，000)的共聚物作為堿溶性樹脂。墊片保護(hù)層的性能評(píng)估(1)形成墊片保護(hù)層利用旋涂機(jī)(1H-DX2,由MIKASA生產(chǎn))將由實(shí)施例1至10和比4交例1獲得的每種光敏樹脂組合物涂布在形成有光電二極管和墊片的8英寸晶片上，然后在100。C下干燥180秒，以4是供涂膜。通過安裝有具有不同尺寸圖案的標(biāo)線片(掩模，reticle)的光學(xué)步進(jìn)機(jī)(1-linestepper)(NSRilOC,由NIKON生產(chǎn))，3尋波長(zhǎng)為365nm的光照射到獲得的涂膜上500ms。用水溶液顯影它兩分鐘，其中在23。C下氫氧化四曱基銨(TMAH)-故稀釋成0.19wt%,然后用純水清洗1分鐘。在200。C下在烘箱中加熱晶片180秒并固化以提供墊片保護(hù)層圖案。(2)墊片保護(hù)層的性能評(píng)估(i)測(cè)量圖案化性能通過掃描電子顯孩"竟(SEM)，見察獲得的墊片保護(hù)層以確定用于良好的方形，O用于稍孩i圓形，以及X用于完全圓形。評(píng)估結(jié)果示于以下的表3中。(ii)測(cè)量蝕刻性能在02等離子體條件下處理墊片保護(hù)層1分鐘，然后用ST4000-DLX設(shè)備(由KMAC制造)測(cè)量厚度變化。評(píng)估結(jié)果示于以下的表3中。(m)測(cè)量耐化學(xué)性將圖案保護(hù)層放入TMAH(2.35%)、異丙醇(IPA)、丙二醇單曱醚乙酸酯(PGMEA)以及丙酮中1分鐘。通過利用KST4000-DLX設(shè)備(由KMAC制造)來測(cè)量厚度變化，并且評(píng)估結(jié)果示于以下的表3中。<table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table>參照表3，與由參考例1獲得的圖案保護(hù)層相比，由實(shí)施例1至10獲得的圖案保護(hù)層具有良好的圖案化和蝕刻性能以及耐化學(xué)性。雖然已經(jīng)結(jié)合目前考慮為示例性的實(shí)施方式描述了本發(fā)明，但應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明并不限于所披露的實(shí)施方式，相反，而是用于覆蓋包括在所附權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi)的各種變型和等同替換。權(quán)利要求1.一種用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物，包括(A)堿溶性樹脂、(B)活性不飽和化合物、(C)光引發(fā)劑以及(D)溶劑，其中，所述(A)堿溶性樹脂包括這樣的共聚物，所述共聚物包括5至50wt％的具有以下化學(xué)式1的構(gòu)成單元、1至25wt％的具有以下化學(xué)式2的構(gòu)成單元、以及45至90wt％的具有以下化學(xué)式3的構(gòu)成單元[化學(xué)式1]其中，在上述化學(xué)式1中，R11至R13獨(dú)立地選自由氫、取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的雜芳基組成的組；[化學(xué)式2]其中，在上述化學(xué)式2中，R21至R23獨(dú)立地選自由氫、取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的雜芳基組成的組，R24選自由取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基、取代或未取代的雜芳基以及取代或未取代的烷氧基組成的組，以及n24是0至5范圍的整數(shù)；以及[化學(xué)式3]其中，在上述化學(xué)式3中，R31至R33獨(dú)立地選自由氫、取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的雜芳基組成的組，以及R34選自由取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的雜芳基組成的組。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光敏樹脂組合物，其中，所述(A)石咸溶性樹脂包括10至40wt。/。的化學(xué)式1的構(gòu)成單元、5至15wto/。的化學(xué)式2的構(gòu)成單元、以及60至80wt。/。的化學(xué)式3的構(gòu)成單元。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光敏樹脂組合物，其中，所述光敏樹脂組合物包括1至50wt。/。的所述(A)石咸溶性樹脂、1至50wt%的所述(B)活性不々包和化合物、(C)0.1至15wt。/。的所述光引發(fā)劑以及(D)余量的所述溶劑。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光敏樹脂組合物，其中，所述(A)堿溶性樹脂是這樣的共聚物，所述共聚物進(jìn)一步包括具有以下化學(xué)式4的構(gòu)成單元[化學(xué)式4]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>其中，在上述化學(xué)式4中，R4i至R46獨(dú)立地選自由氫、取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的雜芳基組成的組，以及R47選自由取代或未取代的亞烷基、取代或未取代的環(huán)亞成的組。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光敏樹脂組合物，其中，基于所述堿溶性樹脂的總重量，所述由化學(xué)式4表示的構(gòu)成單元的含量為20wto/。以下。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光敏樹脂組合物，其中，所述化學(xué)式2的構(gòu)成單元書t生自苯乙烯。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光敏樹脂組合物，其中，上述化學(xué)式3的構(gòu)成單元衍生自選自由(曱基)丙烯酸二環(huán)戊烷酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(曱基)丙烯酸硬脂醇酯、以及它們的組合組成的纟且的^ft合凈為。8.—種制造圖像傳感器的方法，包括在層間絕^彖層上形成光電二才及管、墊片以及《屯化層并除去在所述墊片上的4屯化層以暴露所述墊片；使用根據(jù)權(quán)利要求1所述的光4文樹脂組合物在暴露的墊片上形成墊片保護(hù)層；在所述層間絕緣層上形成濾色器、外敷層以及樣i透鏡；以及除去所述墊片保護(hù)層以暴露所述墊片。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，形成墊片保護(hù)層包括將用于墊片保護(hù)層的所述光敏樹脂組合物施加在所述層間絕緣層的整個(gè)表面上并暴露它，以及圖案化用于墊片保護(hù)層的所述光^:樹脂組合物。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，濾色器直接在所述鈍化層上，而在所述鈍化層和所述濾色器之間沒有外敷層。11.一種可用于生產(chǎn)圖傳_傳感器的中間裝置，包括絕緣層；在所述絕緣層上的光電二極管、墊片以及鈍化層；在由包含石威溶性樹脂的光敏樹脂組合物形成的墊片上的墊片保護(hù)層，其中所述^5威溶性樹脂包括這樣的共聚物，所述共聚物包括5至50wt。/。的由化學(xué)式1表示的構(gòu)成單元、1至25wt。/。的由化學(xué)式2表示的構(gòu)成單元、以及45至90wt。/。的由化學(xué)式3表示的構(gòu)成單元[化學(xué)式1]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula>其中，在上述化學(xué)式1中，Ru至R!3獨(dú)立地選自由氫、取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的雜芳基組成的組；[化學(xué)式2]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula>其中，在上述化學(xué)式2中，R21至1123各自獨(dú)立地選自由氫、取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取^的雜芳基組成的組，R24選自由取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基、取代或未取代的雜芳基以及取代或未取代的烷氧基組成的組，以及1124是0至5范圍的整數(shù)；以及[化學(xué)式3〗R31R32C-G-R33COO-R34其中，在上述化學(xué)式3中，R31至R33獨(dú)立地選自由氫、取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的雜芳基組成的組，以及R34選自由取代或未取代的烷基、取代或未取代的環(huán)烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的雜芳基組成的組；在所述鈍化層上的濾色器；在所述濾色器上的外敷層；以及在所述外敷層上的樣么透鏡。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其中，所述濾色器直接在所述鈍化層上而在所述鈍化層與所述濾色器之間沒有第二外敷層。全文摘要本發(fā)明提供了一種用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物以及利用該光敏樹脂組合物來制造圖像傳感器的方法。該組合物包括(A)堿溶性樹脂、(B)活性不飽和化合物、(C)光引發(fā)劑以及(D)溶劑。(A)堿溶性樹脂包括這樣的共聚物，該共聚物包括5至50wt％的具有以上化學(xué)式1的構(gòu)成單元、1至25wt％的具有以上化學(xué)式2的構(gòu)成單元以及45至90wt％的具有以上化學(xué)式3的構(gòu)成單元，并且提供了一種利用光敏樹脂組合物來制造圖像傳感器的方法。在上述化學(xué)式中，R₁₁至R₁₃、R₂₁至R₂₄以及R₃₁至R₃₃與在具體實(shí)施方式中所定義的相同。用于墊片保護(hù)層的光敏樹脂組合物具有良好的圖案化和蝕刻性能以及耐化學(xué)性，因此可以提供沒有下部外敷層的圖像傳感器。文檔編號(hào)G03F7/028GK101452208SQ20081018574公開日2009年6月10日申請(qǐng)日期2008年12月8日優(yōu)先權(quán)日2007年12月7日發(fā)明者崔定植,張斗遠(yuǎn),權(quán)五范,李吉成,李昌珉,趙貞賢,鄭義俊,鄭瑟永,金宰賢,金鐘涉,韓權(quán)愚申請(qǐng)人:第一毛織株式會(huì)社