專利名稱：：感光性樹脂層壓體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及對于制造帶黑色矩陣的基板、帶彩色像素的基板、以及濾色器有用的感光性樹脂層壓體。
背景技術(shù)：
：在液晶顯示器中，一般存在有稱作濾色器(Colorfilter)的用于著色背光的部件。濾色器由紅、綠、藍(lán)彩色像素和將其分隔開的黑色矩陣構(gòu)成。通常，彩色像素是為了彩色化而需要的，黑色矩陣是為了防止TFT誤操作、提高對比度、防止混色等目的而以格子狀配置在彩色像素間。并且，近年來，在液晶顯示器中越來越要求高品質(zhì)。例如，為了提高顯示器的色彩再現(xiàn)性，要求提高彩色像素的色純度(Colorpurity)。如果提高色純度，則背光的透射率減少，輝度下降。如果補(bǔ)償背光的透射率的減少，提高背光的輝度，則將彩色像素和彩色像素隔開的黑色矩陣無法遮住背光，導(dǎo)致一部分光透射。而且，為了確保面板的輝度，需要設(shè)計(jì)增大開口部分即彩色像素部分，因此，相應(yīng)地，黑色矩陣存在有細(xì)線化的傾向。以往，黑色矩陣通過使用濺射法得到的金屬薄膜例如用鉻來制造。然而，考慮到對環(huán)境的不好影響，今后難以使用鉻，使用光刻法并由含有黑色顏料的樹脂所形成的黑色矩陣(以下，稱為樹脂黑色矩陣)正成為主流。進(jìn)一步，在液晶顯示器的制造中，要求生產(chǎn)率的提高，對于濾色器也不例外。例如，隨著液晶顯示器的大型化，濾色器基板的曝光面積也擴(kuò)大了，然而曝光掩模卻很難形成和基板同樣的尺寸。因此，需要將一片濾色器基板分割開來反復(fù)曝光。這樣的話，每一次的曝光時間大大影響了生產(chǎn)率，并且需要高感光度的光刻材料。進(jìn)一步，涂布、干燥、曝光、顯影這種光刻工序自身的簡化也被認(rèn)為是重要的提高生產(chǎn)率的方法。特別是樹脂黑色矩陣，由于遮光性高是其本身的功能，因此在使用感光性樹脂進(jìn)行制造時，提高感光度非常困難。此外，遮光性高、并且和表面相比在底面上^u又有少量的光到達(dá)，因此很難確保附著力、特別是細(xì)線的附著力，以及過顯影時的線寬穩(wěn)定性。同樣，雖然彩色像素沒有像黑色矩陣那樣，但由于著色顏料對曝光波長具有吸收，因此感光度顯著下降。鑒于這種問題，已公開了一些現(xiàn)有技術(shù)。例如，在專利文獻(xiàn)l中，公開了光學(xué)濃度高并可以得到良好的黑色矩陣圖案的光聚合性黑色組合物。此外，在專利文獻(xiàn)2中，公開了將特定光聚合性樹脂組合物層壓在支持薄膜上的濾色器形成用材料。然而，在任一文獻(xiàn)中，都未公開具有足夠的感光度、遮光性、細(xì)線附著力、過顯影時的線寬穩(wěn)定性，并且同時滿足生產(chǎn)率的樹脂黑色矩陣形成材料。專利文南大l:曰本斗爭開2004—69754號乂>才艮專利文獻(xiàn)2:曰本凈爭開2005-208480號7>才艮
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的問題本發(fā)明目的在于提供一種在形成樹脂黑色矩陣時，感光度、遮光性、細(xì)線附著力、過顯影時的線寬穩(wěn)定性、復(fù)印性、生產(chǎn)率優(yōu)異的感光性樹脂層壓體，以及使用該感光性樹脂層壓體的樹脂黑色矩陣的制造方法。進(jìn)一步，目的在于提供一種在形成彩色像素時感光度高的感光性樹脂層壓體，以及提供使用該感光性樹脂層壓體的彩色像素的制造方法。用于解決問題的方法為了解決上述問題，進(jìn)行了深入研究，結(jié)果完成本發(fā)明。即，本發(fā)明如下所述。(1)一種感光性樹脂層壓體，將至少支持層和感光性樹脂層層壓而成，該感光性樹脂層由感光性樹脂組合物形成，所述感光性樹脂組合物包含3~40質(zhì)量％下述式(I)所示的堿可溶性高分子，140質(zhì)量％選自重均分子量為3000100000的由甲基丙烯酸千酯或丙烯酸千酯共聚而成的堿可溶性高分子和重均分子量為300050000的丙烯酸系的堿可溶性高分子所組成的組中的至少一種堿可溶性高分子，325質(zhì)量％具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物，0.120質(zhì)量％光聚合引發(fā)劑，4070質(zhì)量％著色顏料，且，該式(I)所示的堿可溶性高分子該選自重均分子量為3000100000的由曱基丙烯酸節(jié)酯或丙烯酸節(jié)酯共聚而成的堿可溶性高分子和重均分子量為300050000的丙烯酸系的堿可溶性高分子所組成的組中的至少一種堿可溶性高分子(質(zhì)量比)=1:516:1,[化學(xué)式l]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>式(I)中，X為下述式(II)所示的基團(tuán)，Y為除去了二羧酸酐的酸酐基的殘基，Z為除去了四羧酸二酐的酸酐基的殘基，n為l20的整數(shù)，下述式(II)中的R1和R2各自相互獨(dú)立地表示H或CH3基團(tuán)。[化學(xué)式2]CH2=C——C—0—CH2—CH—CH2—0..0—CH2—CH—CH2—0—C-C=i(2)根據(jù)(1)所述的感光性樹脂層壓體，其中，該感光性樹脂層由感光性樹脂組合物形成，所述感光樹脂組合物包含340質(zhì)量％上述式(I)所示的堿可溶性高分子，140質(zhì)量％重均分子量為3000100000的由甲基丙烯酸節(jié)酯或丙烯酸千酯共聚而成的堿可溶性高分子，325質(zhì)量％具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物，0.120質(zhì)量％光聚合引發(fā)劑，4070質(zhì)量％著色顏料，且，該式(I)所示的堿可溶性高分子該重均分子量為3000100000的由甲基丙烯酸千酯或丙烯酸卡酯共聚而成的堿可溶性高分子(質(zhì)量比)=1:516:1。(3)根據(jù)(2)所述的感光性樹脂層壓體，該感光性樹脂層包含340質(zhì)量％上述式(I)所示的堿可溶性高分子，540質(zhì)量％重均分子量為300050000的由甲基丙烯酸千酯或丙烯酸千酯共聚而成的堿可溶性高分子，525質(zhì)量％具有埽屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物，0.120質(zhì)量％光聚合引發(fā)劑，4070質(zhì)量％著色顏料，且該式(I)所示的堿可溶性高分子該重均分子量為3000~50000的由甲基丙烯酸千酯或丙烯酸千酯共聚而成的堿可溶性高分子(質(zhì)量比)=1:55:1。(4)根據(jù)(1)所述的感光性樹脂層壓體，其中，該式(I)所示的；咸可溶性高分子該選自重均分子量為3000100000的由曱基丙烯酸節(jié)酯或丙烯酸千酯共聚而成的堿可溶性高分子和重均分子量為300050000的丙烯酸系石咸可溶性高分子所組成的組中的至少一種堿可溶性高分子(質(zhì)量比)=2:116:1。(5)根據(jù)(1)(4)任一項(xiàng)所述的感光性樹脂層壓體，其中，在感光性樹脂組合物中，包含肟酯化合物作為光聚合引發(fā)劑。(6)根據(jù)(1)~(4)任一項(xiàng)所述的感光性樹脂層壓體，其中，在感光性樹脂組合物中，包含下述式(III)所示的化合物作為具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物，[化學(xué)式3]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>式(III)中，R3、R4和Rs各自相互獨(dú)立地表示H或CH3基團(tuán)，R6為2價的連接基團(tuán)，其表示選自碳數(shù)為28的亞烷基、碳數(shù)為310的亞環(huán)烷基以及碳數(shù)為610的亞苯基所組成的組中的一種基團(tuán)。(7)根據(jù)(1)所述的感光性樹脂層壓體，其中，著色顏料為黑色顏料。(8)—種帶彩色像素的基板的制造方法，其至少依次包括將(1)(4)任一項(xiàng)所述的感光性樹脂層壓體層壓到基板上的工序、曝光的工序和顯影的工序。(9)一種帶黑色矩陣的基板的制造方法，其至少依次包括將(7)所述的感光性樹脂層壓體層壓到基板上的工序、曝光的工序、剝離支持層的工序、顯影的工序。(10)—種帶黑色矩陣的基板的制造方法，其至少依次包括將(7)所述的感光性樹脂層壓體層壓到基板上的工序、剝離支持層的工序、曝光的工序、顯影的工序。(11)一種濾色器的制造方法，其至少依次包括使用(9)或(10)所述的方法在基板上形成黑色矩陣的工序；通過噴墨方式在該玻璃基板上的未被黑色矩陣覆蓋的部分的至少一部分上印刷熱敏性或感光性的彩色墨的印刷工序。(12)—種濾色器，其通過(11)所述的方法所制造。發(fā)明效果本發(fā)明感光性樹脂層壓體在形成樹脂黑色矩陣時，得到了感光度、遮光性、細(xì)線附著力、過顯影時的線寬穩(wěn)定性、復(fù)印性、生產(chǎn)率優(yōu)異的效果。此外，本發(fā)明感光性樹脂層壓體在形成彩色像素時，得到了感光度非常高的效果。具體實(shí)施方式以下，對本發(fā)明進(jìn)行具體說明。另外，本發(fā)明感光性樹脂層壓體中的感光性樹脂層由感光性樹脂組合物形成。在對感光性樹脂組合物各成分的配合量進(jìn)行記載時，是以感光性樹脂組合物中的固體成分全體為100%時的質(zhì)量％來記載的。本發(fā)明感光性樹脂層壓體在感光性樹脂組合物中含有3~40質(zhì)量％下述式(I)所表示的堿可溶性高分子(以下，僅稱為化合物)。從感光度、附著力、線寬再現(xiàn)性的觀點(diǎn)考慮，其含量為3質(zhì)量％以上，并且從由支持層到基材的復(fù)印性的觀點(diǎn)考慮，為40質(zhì)量％以下。所謂復(fù)印性，是指將本發(fā)明感光性樹脂層壓體層壓在基材上，并在曝光前或曝光后剝離支持層時，感光性樹脂層復(fù)印至基材的性能。當(dāng)復(fù)印性不足時，在剝離支持層時，未曝光部分或曝光部分和支持層一起從基板上剝離下來。其含量優(yōu)選為5~30質(zhì)量％,更優(yōu)選為8~25質(zhì)量％,并進(jìn)一步優(yōu)選為8~20質(zhì)量％。[化學(xué)式4]HOOC—Y_CO—0-COOHI-X—O-CO—Z—CO_0+"X—O—CO—Y—COOHICOOH(I)式(I)中，X為下述式(II)所示的基團(tuán)，Y為除去了二羧酸酐的酸酐基的殘基，Z為除去了四羧酸二酐的酸酐基的殘基，n為l20的整數(shù)，下述式(II)中的Ri和R2各自相互獨(dú)立地表示H或CH3基團(tuán)。[化學(xué)式5]&oIII'CH2=C—C-O-CH2—CH—CH2—0.O&llI'0—CH2-CH—CH2-O-C-C=CH2'(n)此處，所謂"酸酐基"，是指"-CO-O-CO-基團(tuán)"。此外，作為二羧酸酐，可以列舉，例如馬來酸酐、琥珀酸酐、衣康酸酐、鄰苯二曱酸酐、四氫化鄰苯二曱酸酐、六氫化鄰苯二甲酸酐、曱基內(nèi)次曱基四氫鄰苯二曱酸酐(methylendomethylenetetrahydrophthalicanhydride)、氯菌酉臾酐、甲基四氫鄰苯二曱酸酐、戊二酸酐等。此外，作為四羧酸二酐，可以列舉，例如均苯四曱酸二酐、二苯曱酮四羧酸二酐、聯(lián)苯基四羧酸二酐、二苯醚四羧S臾二酐等芳香族多元羧酸酐。本發(fā)明中使用的由上述式(I)所表示的化合物，例如，可以通過日本特開2001-354735號公報中所記載的方法得到。上述式(I)所表示的化合物在聚合鏈中實(shí)質(zhì)上沒有二羧酸酐殘基，而在其末端具有二羧酸酐殘基。因此，與在聚合鏈中具有二羧酸酐殘基的化合物不同，其即使是相同的固體成分濃度，也可以輕易控制溶液粘度，改善涂布時的操作性，提高涂層特性，并使膜厚均勻化。本發(fā)明中使用的由上述式(I)所表示的化合物，在化合物中具有至少兩個可加成聚合的烯屬不飽和雙鍵。含有該化合物的感光性樹脂組合物，在受到使光聚合引發(fā)劑活化的規(guī)定波長的光線照射時，即使光學(xué)濃度高，也可以由光聚合引發(fā)劑的作用進(jìn)行加成聚合并固化。因此，可以制造一種顯示對比度高并且R、G、B顯色優(yōu)良的濾色器。特別是在使用該化合物形成黑色矩陣時，該效果在遮光性和感光度的關(guān)系中變得顯著。如后述的實(shí)施例所示，在通過增加黑色顏料的添加量而提高遮光性時，通常，在遮光性提高的同時感光度降低，而在使用上述式(I)所表示的化合物時，可以抑制感光度的降低。本發(fā)明感光性樹脂層壓體，在感光性樹脂組合物中含有l(wèi)~40質(zhì)量％選自重均分子量為3000~IOOOOO的由曱基丙烯酸千酯或丙烯酸千酯共聚而成的堿可溶性高分子和重均分子量為3000~50000的丙烯酸類石咸可溶性高分子所組成的組中的至少一種堿可溶性高分子。一般來說，作為黑色顏料而廣泛使用的炭黑，其表面積大，因此在顏料分散的感光性樹脂組合物中使用時，容易形成觸變性富裕且流動性差的液體。而為了提高遮光性，必須配合較多的這種黑色顏料，但是在直接涂布于基板的制法中，難以確保涂布均勻性(谷口彰敏，"濾色器最新技術(shù)動向~構(gòu)成材料.制造.評價.海外動向~",第l次印刷，抹式會社情報機(jī)構(gòu)，2005年5月31日，p81-101)。另一方面，在本發(fā)明中，通過同時配合圖案化(patterning)特性優(yōu)異的由上述式(I)所表示的化合物和顏料分散、涂布穩(wěn)定性、復(fù)印性優(yōu)異的上述堿可溶性高分子，形成感光性樹脂組合物，并進(jìn)一步形成感光性樹脂層壓體，可以簡單地將遮光性高并且均勻的感光性樹脂層層壓在基板上。本發(fā)明感光性樹脂層壓體，在感光性樹脂組合物中含有l(wèi)~40質(zhì)量％選自重均分子量為3000100000的由曱基丙烯酸節(jié)酯或丙烯酸爺酯共聚而成的堿可溶性高分子和重均分子量為3000~50000的丙烯酸類堿可溶性高分子所組成的組中的至少一種堿可溶性高分子。下面，對重均分子量為3000100000的由(曱基)丙烯酸千酯共聚而成的堿可溶性高分子進(jìn)行說明。此處，所謂(甲基)丙烯酸，表示甲基丙烯酸和丙烯酸。以下相同。(甲基)丙烯酸千酯共聚而成的堿可溶性高分子的含量為1~40質(zhì)量％。含量更優(yōu)選為5~40質(zhì)量％。從由支持層到基材的復(fù)印性以及層壓性的觀點(diǎn)考慮，含量更優(yōu)選為5質(zhì)量％以上，從感光度、附著力和線寬穩(wěn)定性的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選為40質(zhì)量%以下。其含量更優(yōu)選為830質(zhì)量％,進(jìn)一步優(yōu)選為1025質(zhì)量％,并最優(yōu)選為10~18質(zhì)量％。在(曱基)丙烯酸千酯共聚而成的堿可溶性高分子中，優(yōu)選共聚50~95質(zhì)量％的(曱基)丙烯酸千酯。從黑色顏料的分散性、顯影殘?jiān)訅盒缘挠^點(diǎn)考慮，(甲基)丙歸酸千酯的共聚比例優(yōu)選為50質(zhì)量％以上，并且從顯影速度的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為90質(zhì)量％以下。(曱基)丙烯酸節(jié)酯的共聚比例，更優(yōu)選為60~90質(zhì)量％,并進(jìn)一步優(yōu)選為7090質(zhì)量％。共聚(曱基)丙烯酸千酯而成的堿可溶性高分子，優(yōu)選將側(cè)鏈上具有羧基或羧酸酐基的單體進(jìn)行共聚。所謂側(cè)鏈上具有羧基或羧酸酐基的單體，例如，可以列舉(曱基)丙烯酸、富馬酸、肉桂酸、巴豆酸、衣康酸、檸康酸、馬來酸酐、馬來酸半酯等。側(cè)鏈上具有羧基的單體進(jìn)行共聚的比例，從顯影性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為5質(zhì)量％以上，并且從黑色顏料的分散性以及在顯影后抑制黑色顏料向基板附著的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為30質(zhì)量%以下。并更優(yōu)選共聚5~20質(zhì)量％。共聚(曱基)丙烯酸千酯而成的堿可溶性高分子，也可以共聚其它單體。可以列舉，(曱基)丙烯酸烷基酯，例如，(甲基)丙烯酸曱酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸正丁酯、(曱基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(曱基)丙烯酸2-乙基己酯；具有羥基的(曱基)丙烯酸酯，例如，(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、丙三醇單(甲基)丙烯酸酯；具有環(huán)烷基的(曱基)丙烯酸酯，例如，(曱基)丙烯酸環(huán)己酯、(曱基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊二歸酯、(曱基)丙烯酸金剛烷基酯；其它，例如，(甲基)丙烯酰胺、(曱基)丙烯腈、(甲基)丙烯酸苯酯、曱基丙烯酸縮水甘油酯、苯乙烯。特別優(yōu)選(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯或(曱基)丙烯酸2-羥基丙酯。其它單體在堿可溶性高分子中的共聚比例優(yōu)選為5~30質(zhì)量％。特別地，在使用(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯或(曱基)丙烯酸2-羥基丙酯作為其它單體時的共聚比例，從黑色顏料的分散性、層壓性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為5質(zhì)量%以上，并且從耐熱性、耐化學(xué)試劑性的》見點(diǎn)考慮，優(yōu)選為30質(zhì)量％以下。共聚比例更優(yōu)選為5~15質(zhì)量％。共聚(曱基)丙烯酸節(jié)酯而得的堿可溶性高分子，其重均分子量更優(yōu)選為300050000。從顯影性的觀點(diǎn)考慮，分子量更優(yōu)選為50000以下，從附著力的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選為3000以上。其重均分子量進(jìn)一步優(yōu)選為10000~40000。分子量的測定，可以使用日本分光(林)制造的凝膠滲透色i普(GPC)(泵Gulliver,PU—1580型，斗主昭和電工(4朱)制造的Shodex(注冊商標(biāo))(KF—807,KF-806M，KF—802.5)4個串聯(lián)，移動層溶劑四氫呋喃，使用根據(jù)聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)樣品(昭和電工(才朱)制ShodexSTANDARDSM—105)的才交準(zhǔn)線)，并作為重均分子量(聚苯乙烯換算)求出。共聚(曱基)丙烯酸爺酯而得的堿可溶性高分子，其羧基量以酸當(dāng)量計(jì)優(yōu)選為2002000。所謂酸當(dāng)量，表示具有l(wèi)當(dāng)量羧基的線狀聚合物的質(zhì)量。從顯影性的觀點(diǎn)考慮，酸當(dāng)量優(yōu)選為2000以下，并且從在顯影后抑制黑色顏料向基板附著的觀點(diǎn)考慮，酸當(dāng)量優(yōu)選為200以上。該酸當(dāng)量更優(yōu)選為400~900,并進(jìn)一步優(yōu)選為500800。另外，酸當(dāng)量的測定，通過使用平沼產(chǎn)業(yè)(抹)制造的平沼自動滴定裝置(COM-555)，并且使用0.1mol/L的氫氧化鈉由電位差滴定法來測定。共聚(曱基)丙歸酸千酯而得的堿可溶性高分子，優(yōu)選通過在使用丙酮、曱乙酮、異丙醇等溶劑稀釋上述各種單體混合物的溶液中，適量添加過氧化苯曱酰、偶氮二異丁腈等自由基聚合引發(fā)劑，并加熱攪拌而進(jìn)行合成。也可以一邊將混合物的一部分滴入至反應(yīng)液中，一邊進(jìn)行合成。還可以在反應(yīng)結(jié)束后，進(jìn)一步添加溶劑，以調(diào)整至所希望的濃度。作為合成方法，除了溶液聚合以外，還可以使用本體聚合、懸浮聚合和乳液聚合。下面，對重均分子量為300050000的丙烯酸類堿可溶性高分子進(jìn)行說明。重均分子量為300050000的丙烯酸類堿可溶性高分子的含量為l~40質(zhì)量％。從由支持層到基材的復(fù)印性以及層壓性的觀點(diǎn)考慮，為1質(zhì)量％以上，并且從感光度、附著力、線寬穩(wěn)定性的觀點(diǎn)考慮，為40質(zhì)量％以下。其含量優(yōu)選為540質(zhì)量％,更優(yōu)選為8~20質(zhì)量％，并進(jìn)一步優(yōu)選為815質(zhì)量％。此外，其重均分子量，從顏料的分散穩(wěn)定性觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為50000以下，并且從維持適當(dāng)?shù)膲A顯影性和附著力的觀點(diǎn)考慮，為3000以上。重均分子量更優(yōu)選為5000以上30000以下，并進(jìn)一步優(yōu)選為10000以上30000以下。其分子量可以通過和上述同樣的測定方法求出。重均分子量為3000~50000的丙烯酸類堿可溶性高分子，其羧基量以酸當(dāng)量計(jì)優(yōu)選為2002000。所謂酸當(dāng)量，表示具有l(wèi)當(dāng)量羧基的線狀聚合物的質(zhì)量。從顯影性的觀點(diǎn)考慮，酸當(dāng)量優(yōu)選為2000以下，并且從在顯影后抑制黑色顏料向基板附著的觀點(diǎn)考慮，酸當(dāng)量優(yōu)選為200以上。該酸當(dāng)量更優(yōu)選為300~900,并進(jìn)一步優(yōu)選為400~800。其酸當(dāng)量可以通過和上述同樣的測定方法出。重均分子量為3000~50000的丙烯酸類石咸可溶性高分子，可以列舉，將選自(曱基)丙烯酸烷基酯，例如，(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸正丁酯、(曱基)丙烯酸異丁酯、(曱基)丙烯酸仲丁酯、(曱基)丙烯酸叔丁酯、(曱基)丙烯酸2-乙基己酯；側(cè)鏈上具有羥基的(曱基)丙烯酸酯，例如，(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯、(曱基)丙烯酸2-羥基丙酯、丙三醇單(曱基)丙烯酸酯；具有脂環(huán)式側(cè)鏈的(甲基)丙烯酸酯，例如，(曱基)丙烯酸環(huán)己酯、(曱基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯、(曱基)丙烯酸二環(huán)戊二烯酯、(曱基)丙烯酸金剛烷基酯；其它，例如，(曱基)丙烯酰胺、(曱基)丙烯腈、(曱基)丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、苯乙烯中的一種以上化合物和具有羧酸的化合物，例如(曱基)丙烯酸共聚而得的堿可溶性高分子。從用作黑色矩陣時截面形狀的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選苯乙烯和曱基丙烯酸曱酯和曱基丙烯酸共聚而得的分子量為10000-30000的高分子。上述式(I)所表示的堿可溶性高分子上述選自重均分子量為3000~IOOOOO的由甲基丙烯酸千酯或丙烯酸卡酯共聚而成的i咸可溶性高分子和重均分子量為300050000的丙烯酸類減<可溶性高分子所組成的組中的至少一種堿可溶性高分子(質(zhì)量比)=1:5~16:1。從感光度、附著力、線寬再現(xiàn)性的觀點(diǎn)考慮，該質(zhì)量比為l:5以上，從對支持層的涂布性、復(fù)印性的觀點(diǎn)考慮，為16:l以下。該質(zhì)量比優(yōu)選為l:5~5:1。從感光度、附著力、線寬再現(xiàn)性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為l:5以上。從對支持層的涂布性、復(fù)印性的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選為5:l以下。進(jìn)一步優(yōu)選為l:3~3:1。上述式(I)所表示的堿可溶性高分子上述重均分子量為3000-100000的由曱基丙烯酸千酯或丙烯酸千酯共聚而成的堿可溶性高分子(質(zhì)量比)=1:5~16:1。從感光度、附著力、線寬再現(xiàn)性的觀點(diǎn)考慮，該質(zhì)量比為l:5以上，從對支持層的涂布性、復(fù)印性的觀點(diǎn)考慮，為16:l以下。該質(zhì)量比優(yōu)選為l:5~5:1。從感光度、附著力、線寬再現(xiàn)性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為l:5以上。從對支持層的涂布性、復(fù)印性的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選為5:l以下。進(jìn)一步優(yōu)選為l:3~3:1。上述式(I)所表示的堿可溶性高分子重均分子量為300050000的丙烯酸類石咸可溶性高分子(質(zhì)量比)=1:5~16:1。該質(zhì)量比優(yōu)選為l:3~5:1。從感光度、附著力、線寬再現(xiàn)性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為l:3以上。從對支持層的涂布性、復(fù)印性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為5:l以下。更優(yōu)選為l:1~3:1。在感光性樹脂組合物中，除了該選自重均分子量為3000IOOOOO的由曱基丙烯酸千酯或丙烯酸千酯共聚而成的堿可溶性高分子和重均分子量為3000~50000的丙烯酸類；威可溶性高分子所組成的組中的至少一種堿可溶性高分子以外，從耐熱性、黑色矩陣的截面形狀、耐化學(xué)試劑性、著色顏料的分散性等考慮，還可以并用其它堿可溶性高分子。作為其它堿可溶性高分子，可以列舉使多元酸酐和羧甲基纖維素、羧乙基纖維素、羧丙基纖維素、羥甲基纖維素、羥乙基纖維素、羥丙基纖維素的羥基反應(yīng)而得到的纖維素樹脂、酚醛清漆樹脂等。本發(fā)明感光性樹脂層壓體，在感光性樹脂組合物中含有3~25質(zhì)量％具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物。從顯影性的觀點(diǎn)考慮，為3質(zhì)量％以上，并且從附著力的觀點(diǎn)考慮，為25質(zhì)量％以下。當(dāng)其為25質(zhì)量％以下時，可以確保合適的顯影時間，并且確保足夠穩(wěn)定的附著力。其含量更優(yōu)選為5~20質(zhì)量％，并進(jìn)一步優(yōu)選為5~15質(zhì)量％。作為具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物，優(yōu)選含有下述式(III)所表示的化合物。從附著力的觀點(diǎn)考慮，以感光性樹脂組合物中固體成分全體為基準(zhǔn)的情況下，其含量優(yōu)選為2質(zhì)量％以上，并且從復(fù)印性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為20質(zhì)量％以下。[化學(xué)式6]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>(式(III)中，R3,R4和Rs,各自相互獨(dú)立地表示H或CH3基團(tuán)。R6為2價的連接基團(tuán)，其表示選自碳原子數(shù)為28的亞烷基、碳原子數(shù)為3~IO的亞環(huán)烷基，以及碳原子數(shù)為6IO的亞苯基所組成的組中的一種基團(tuán)。)作為上述式(III)所表示的化合物，可以列舉琥珀酸改性季戊四醇三(曱基)丙烯酸酯、鄰苯二曱酸改性季戊四醇三(曱基)丙烯酸酯、間苯二曱酸改性季戊四醇三(曱基)丙烯酸酯、對苯二曱酸改性季戊四醇三(曱基)丙烯酸酯等。從附著力的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選琥珀酸改性季戊四醇三丙烯酸酯。作為上述式(III)所表示的化合物以外的具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物，例如，可以列舉在雙酚A的兩端分別加成平均2摩爾的環(huán)氧丙烷和平均6摩爾的環(huán)氧乙烷的聚亞烷基二醇的二甲基丙烯酸酯、在雙酚A的兩端分別加成平均5摩爾的環(huán)氧乙烷的聚乙二醇的二甲基丙烯酸酯(新中村化學(xué)工業(yè)(株)制NK酯BPE-500)、1，6-己二醇二(曱基)丙烯酸酯、1，4-環(huán)己二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(曱基)丙烯酸酯、2-二(對幾基苯基)丙烷二(甲基)丙烯酸酯、丙三醇三(曱基)丙烯酸酯、三羥曱基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、聚氧化丙基三羥甲基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、聚氧化乙基三羥曱基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(曱基)丙烯酸酯、三羥曱基丙烷三縮水甘油醚三(甲基)丙烯酸酯、雙酚A二縮水甘油醚二(曱基)丙烯酸酯，以及(3-羥基丙基-|3，-(丙烯酰氧基)丙基鄰苯二曱酸酯、苯氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚亞烷基二醇(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(曱基)丙烯酸酯。從附著力的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯，進(jìn)一步優(yōu)選和上述式(III)化合物組合使用。進(jìn)一步，例如，可以列舉在(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯上加成l~3摩爾環(huán)氧乙烷的化合物和六氫化鄰苯二曱酸的半酯化合物、在(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯上加成l~3摩爾環(huán)氧乙烷的化合物和琥珀酸的半酯化合物、在(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯上加成l~3摩爾環(huán)氧乙烷的化合物和間苯二甲酸的半酯化合物、在(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯上加成l~3摩爾環(huán)氧乙烷的化合物和對苯二曱酸的半酯化合物。進(jìn)一步，例如，可以列舉使二異氰酸酯化合物，例如，六亞曱基二異氰酸酯、曱苯二異氰酸酯或2,2，4-三甲基六亞曱基二異氰酸酯與一分子中具有羥基和(曱基)丙烯酸基的化合物，例如，丙烯酸2-羥基丙酯、低聚丙二醇單曱基丙烯酸酯反應(yīng)而得到的尿烷化合物等。具體而言，可以列舉使六亞曱基二異氰酸酯和低聚丙二醇單甲基丙烯酸酯(日本油脂(抹)制，BLEMMERPP1000)反應(yīng)而得到的化合物。本發(fā)明感光性樹脂層壓體，在感光性樹脂組合物中含有0.1~20質(zhì)量％光聚合引發(fā)劑。從感光度、附著力的觀點(diǎn)考慮，為0.1質(zhì)量％以上，并且/人線寬再現(xiàn)性的)C點(diǎn)考慮，為20質(zhì)量％以下。其含量更優(yōu)選為1~10質(zhì)量％,并進(jìn)一步優(yōu)選為15質(zhì)量%。作為光聚合引發(fā)劑，優(yōu)選為肟酯化合物。具體而言，肟酯類，例如，可以纟會出1—苯基—1,2—丙二酉同-2-0-苯曱酰將、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(O-乙氧基羰基)肟，或日本特表2004-534797號公報中所記載的化合物。其中，優(yōu)選下述式(IV)所表示的化合物。[化學(xué)式7]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula>上述式(IV)所表示的化合物的具體例為1-[9-乙基-6-(2-曱基苯甲酰基)-9.H.-。卡峻-3-基]-乙烷-1-單將-0-乙酸酯(CibaSpecialtyChemicals制IRGACUREOXE-02)。本發(fā)明感光性樹脂層壓體，在感光性樹脂組合物中可以組合使用上述式(IV)以外的光聚合引發(fā)劑、增感劑、鏈轉(zhuǎn)移劑等。作為上述式(IV)以外的光聚合引發(fā)劑，例如，可以列舉以下物質(zhì)?？梢粤信e，瘞噸酮、2,4-二乙基p塞噸酮、異丙基p塞噸酮、2-氯p塞噸酮、2,4,5-三芳基咪唑二聚物類，例如，2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰氯苯基)-4，5-二-(間曱氧基苯基)咪唑二聚物、2-(對甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物。并且，可以列舉對氨基苯基酮類，例如，對氨基二苯甲酮、對丁基氨基二苯曱酮、對二曱基氨基苯乙酮、對二曱基氨基二苯曱酮、p,p，-二(乙基氨基)二苯曱酮、p,p，-二(二曱基氨基)二苯曱酮[米氏酮]、p，p，-二(二乙基氨基)二苯曱酮、p,p，-二(二丁基氨基)二苯曱酮。此外，可以列舉醌類，例如，2-乙基蒽醌、2-誄又丁基蒽醌；芳香族酮類，例如，二苯曱酮、苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚等苯偶姻醚類；吖啶化合物，例如，9-苯基吖啶；三嗪系化合物，例如，2，4，6-三氯-均三嗪、2-苯基-4,6-二(三氯甲基)-均三嗪、2-(對甲氧基苯基)-4，6-二(三氯甲基)-均三嗪、2-(對甲苯基)-4，6-二(三氯甲基)-均三嗪、2-胡椒基-4，6-二(三氯甲基)-均三嗪、2,4-二(三氯曱基)-6_苯乙烯基-均三溱、2-(萘-l-基)-4,6-二(三氯曱基)-均三嗪、2-(4-甲氧基-萘-1-基)_4，6-二(三氯曱基)-均三嗪、2，4-三氯甲基-(胡椒基)-6-三嗪、2，4-三氯曱基(4，-曱氧基苯乙烯基)-6-三。秦。其它，可以列舉苯偶酰二甲基縮酮、苯偶酰二乙基縮酮，2-千基-二甲基氨基-1-(4-嗎啉基苯基)-1-丁酮、二(2,4，6-三曱基苯甲酰基)-苯基膦氧化物、2-曱基_2-嗎啉基-1-(4-(甲基硫代苯基)-1-丙酮等公知的各種化合物。此外，作為增感劑，例如，可以列舉N-芳基甘氨酸、巰基三唑衍生物、巰基四哇書亍生物、巰基蓬二唑書亍生物，另夕卜，作為鏈轉(zhuǎn)移劑，例如可列舉出己二碌u醇、癸二石危醇、二巰基丙酸1,4-丁二醇酯、二巰基乙酸1，4-丁二醇酯、二巰基乙酸乙二醇酯、二巰基丙酸乙二醇酯、三羥甲基丙烷三巰基乙酸酯、三羥甲基丙烷三巰基丙酸酯、三羥甲基丙烷三(3-巰基丁酸酯)、季戊四醇四巰基乙酸酯、季戊四醇四巰基丙酸酯、三巰基丙酸三(2-羥基乙基)異氰脲酸酯、1,4-二曱基巰基苯、2，4，6-三巰基-均三。秦、2-(N，N-二丁基氨基)-4,6-二巰基-均三。秦等多官能硫醇等公知的各種化合物。本發(fā)明感光性樹脂層壓體，在感光性樹脂組合物中含有40~70質(zhì)量％著色顏料。從遮光性的觀點(diǎn)考慮，為40質(zhì)量％以上，并且從復(fù)印性、黑色矩陣的附著力、線寬穩(wěn)定性、形狀的觀點(diǎn)考慮，為70質(zhì)量％以下。其含量優(yōu)選為45~65質(zhì)量％，并進(jìn)一步優(yōu)選為5065質(zhì)量％。作為上述著色顏料，有偶氮系、酞菁系、靛藍(lán)系、蒽醌系、茈系、喹吖酮系、次甲基.偶氮次曱基系、異吲哚酮類等有機(jī)顏料，炭黑類、鈦黑、鈦酸氮化物、黑色低價氧化鈦、石墨粉末、鐵黑、氧化銅等無機(jī)顏料，并且也可以含有多種顏料。在這些顏料中，也可以進(jìn)行用于提高在感光性樹脂組合物中的分散性或提高電阻值的表面處理。作為有機(jī)顏料，例如，可以列舉在顏料索引(C丄；TheSocietyofDyersandColourists社發(fā)4亍)中，分類為顏泮牛(Pigment)的化合物，具體而言，可以列舉具有下述顏料索引(C丄)序號的物質(zhì)。以下進(jìn)行列舉。C丄顏津牛紅9、C.I.顏并+紅97、C丄顏^j"紅105、C丄顏津+紅122、C丄顏料紅123、C丄顏料紅144、C.I.顏料紅149、C.I.顏料紅166、C丄顏料紅168、C丄顏料紅176、C丄顏料紅177、C丄顏料紅180、C丄顏料紅192、C.I.顏料紅215、C丄顏^f紅216、C.I.顏料紅224、C.I.顏料紅242、C丄顏沖+紅254、C.I.顏料紅264、C丄顏料紅265。以及，C.I.顏料才登13、C丄顏料;險31、C丄顏料4登36、C.I.顏料橙38、C丄顏料4登40、C丄顏料橙42、C.I.顏料橙43、C丄顏料橙51、C丄顏料橙55、C丄顏料橙59、C丄顏料橙61、C丄顏料橙64、C丄顏料一登65、C丄顏料橙71、C丄顏料一登73。以及，C丄顏津+黃l、C丄顏-牛黃3、C.I.顏料黃12、C.I.顏沖十黃13、C丄顏沖+黃14、C.I.顏料黃15、C.I.顏沖牛黃16、C丄顏料黃17、C.I.顏沖+黃20、C.I.顏料黃24、C丄顏津牛黃31、C丄顏料黃53、C.I.顏料黃83、C.I.顏料黃86、C.I.顏料黃93、C.I.顏料黃94、C.I.顏料黃109、C.I.顏津+黃110、C丄顏料黃117、C丄顏料黃125、C.I.顏料黃128、C.I.顏料黃137、C.I.顏料黃138、C.I.顏料黃139、C丄顏料黃147、C丄顏料黃148、C丄顏料黃150、C.I.顏料黃153、C.I.顏料黃154、C丄顏料黃166、C丄顏津+黃173。以及，C丄顏料綠7、C.I.顏料綠36、C.I.顏并牛藍(lán)15、C.I.顏料藍(lán)15:3、C丄顏津+藍(lán)15:4、C.I.顏并牛藍(lán)15:6、C丄顏料藍(lán)60、C丄顏料紫l、C丄顏料紫19、C丄顏料紫23、C丄顏料紫29、C丄顏料紫32、C丄顏料紫36、C丄顏料紫38、C丄顏料棕23、C丄顏料棕25、C丄顏料黑l、C丄顏料黑7。作為染料，例如，可以列舉品紅、酞菁綠、金胺堿、chalcoxygreenS(力乂"-軒、J>卜'夕'卩一>S)、副品紅、結(jié)晶紫、曱基橙、尼羅河藍(lán)2B、維多利亞藍(lán)、孔雀綠(保土谷化學(xué)(林)制74七、>(注冊商標(biāo))MALACHITEGREEN)、堿性藍(lán)20、鉆石綠(保土谷化學(xué)(抹)制74七、>(注冊商標(biāo))DIAMONDGREENGH)等。本發(fā)明感光性樹脂層壓體，在著色顏料為黑色顏料時，可用作黑色矩陣形成材料。作為黑色顏料，可以列舉上述所列的著色物質(zhì)中為黑色的物質(zhì)。即，作為有機(jī)顏料，可以列舉C丄顏料黑l、C丄顏料黑7等，作為無機(jī)顏料，可以列舉炭黑類、鈦黑、鈦酸氮化物、黑色低價氧化鈦、石墨粉末、鐵黑、氧化銅等。另夕卜，還可以使用Cu、Fe、Mn、Cr、Co、Ni、V、Zn、Se、Mg、Ca、Sr、Ba、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Hg、Pb、Bi、Si和Al等各種金屬氧化物、復(fù)合氧化物、金屬碌u化物、金屬硫酸鹽或金屬碳酸鹽等無機(jī)顏料。從對遮光性以及作為黑色矩陣的感光度、分辨率、附著力影響的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選炭黑。從黑色矩陣的絕緣性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選鈥黑。作為優(yōu)選的炭黑，可以使用下面所舉炭黑的至少一種。例如，作為三菱化學(xué)社制造的炭黑，可以列舉炭黑#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#970、#960、#950、#900、#850、MCF88、#650、MA600、MA7、MA8、MAll、MAIOO、MA220、IL30B、IL31B、IL7B、IL11B、IL52B、#4000、#4010、#55、#52、#50、#47、#45、#44、#40、#33、#32、#30、#20、#10、#5、CF9、#3050、#3150、#3250、#3750、#3950、DiablackA、DiablackN220M、DiablackN234、DiablackI、DiablackLI、DiablackII、DiablackN339、DiablackSH、DiablackSHA、DiablackLH、DiablackH、DiablackHA、DiablackSF、DiablackN550M、DiablackE、DiablackG、DiablackR、DiablackN760M、DiablackLP。作為CANCARBLtd.制造的炭黑，可以歹寸舉thermaxN990、N991、N907、N908。作為AsahiCarbonCo，Ltd.制造的炭黑，可以列舉旭#80、旭#70、旭弁70L、旭F-200、旭#66、旭#66麗、旭弁60H、旭弁60U、旭#60、旭#55、旭弁50H、旭#51、旭弁50U、旭#50、旭#35、旭#15。作為德固賽(Degussa)公司制造的炭黑，可以列舉ColorBlackFw200、ColorBlackFw2、ColorBlackFw2V、ColorBlackFwl、ColorBlackFwl8、ColorBlackS170、ColorBlackS160、SpecialBlack6、SpecialBlack5、SpecialBlack4、SpecialBlack4A、PrintexU、PrintexV、Printexl40U、Printexl40V。作為卡博特7>司(CabotCorporation)制造的炭黑，可以列舉包含以Regal(注冊商標(biāo))、BlackPearls(注冊商標(biāo))、Elftex(注冊商標(biāo))、Monarch(注冊商標(biāo))、Mogul(注冊商標(biāo))、以及Vulcan(注冊商標(biāo))的商標(biāo)名進(jìn)行銷售的炭黑的《例如BlackPearls(注冊商標(biāo))2000、BlackPearls(注冊商標(biāo))1400、BlackPearls(注冊商標(biāo))1300、BlackPearls(注冊商標(biāo))1100、BlackPearls(注冊商標(biāo))1000、BlackPearls(注冊商標(biāo))900、BlackPearls(注冊商標(biāo))880、BlackPearls(注冊商標(biāo))800、BlackPearls(注冊商標(biāo))700、BlackPearls(注冊商標(biāo))L、Elftex(注冊商標(biāo))8、Monarch(注冊商標(biāo))1400、Monarch(注冊商標(biāo))1300、Monarch(注冊商標(biāo))1100、Monarch(注冊商標(biāo))1000、Monarch(注冊商標(biāo))900、Monarch(注冊商標(biāo))880、Monarch(注冊商標(biāo))謂、Monarch(注冊商標(biāo))700、Mogul(注冊商標(biāo))L、Regal(注冊商標(biāo))330、Regal(注冊商標(biāo))400、Vulcan(注冊商標(biāo))P}。作為哥倫比亞化學(xué)公司(ColombianChemicalCorporation)制造的炭黑，可以列舉Raven780、Raven890、Ravenl020、Ravenl040、Ravenl255、Ravenl500、Raven5000、Raven5250。在感光性樹脂組合物中，可以含有分散劑等。如后所述的感光性樹脂層壓體，可以通過將感光性樹脂組合物涂布在支持層上而制造，也可以通過分散劑等將黑色顏料預(yù)先分散在溶劑中，由此將其加入并形成感光性樹脂組合物，并將其涂布在支持層上而形成感光性樹脂層。作為分散劑，例如，可以列舉聚氨酯、聚丙烯酸酯等羧酸酯、不飽和聚酰胺、多元羧酸(部分)胺鹽、多元羧酸銨鹽、多元羧酸烷基胺鹽、聚硅氧烷、含羥基多元羧酸酯、或它們的改性物、聚(低級亞烷基亞胺)與具有游離羧酸基的聚酯反應(yīng)所形成的酰胺或其鹽。此外，可以利用日本特開2005-25169號公報中所記載的具有堿基性官能團(tuán)的高分子分散劑。并且，具體而言，可以利用BykChemie制造的Disperbyk160、Disperbykl61、Disperbykl62、Disperbykl63、Disperbykl64、Disperbyk166,Zeneca^〉司制造的SOLSPERSE20000、SOLSPERSE24000、SOLSPERSE27000、SOLSPERSE2謂0、SOLSPERSE32500。本發(fā)明中使用的堿可溶性高分子、上述(曱基)丙烯酸千酯共聚而成的堿可溶性高分子以及其它堿可溶性高分子也具有作為顏料分散劑的功能。在含有分散劑時的含量優(yōu)選為O.l~15質(zhì)量％。從顏料的分散穩(wěn)定性觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為0.1%以上，并且從附著力的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為15質(zhì)量％以下。更優(yōu)選為1~10質(zhì)量％。進(jìn)一步，多元羧酸型高分子活性劑、多磺酸型高分子活性劑等陰離子性活性劑，聚氧化乙烯、聚氧乙烯嵌段聚合物等非離子類活性劑等，也可以和前述分散劑一起用作分散助劑。此外，黑色顏料，特別是炭黑，從分散性、絕緣性等考慮，可以使用樹脂涂覆表面，或者使用樹脂或低分子化合物進(jìn)行修飾。作為表面修飾中所用的樹脂，可以給出聚碳化二亞胺、環(huán)氧樹脂等具有可以和炭黑表面的羧基反應(yīng)的官能團(tuán)的高分子。同樣，作為低分子化合物，例如，可以列舉取代苯重氮化合物、取代烯丙基重氮化合物。此外，作為使用樹脂進(jìn)行涂覆、修飾的方法，可以4吏用曰本并爭開2004—219978號/>才艮、曰本特開2004—217885號7>才艮、日本凈爭開2004-360723號^>才艮、日本斗爭開2003一201381號7>才艮、曰本對爭開2004—292672號/>才艮、曰本對爭開2004—29745號/>才艮、曰本對爭開2005—93965號^>凈艮、曰本凈爭開2004-4762號公報、美國專利5554739號、美國專利5922118號中所記載的分散劑、方法等。在感光性樹脂組合物中，還可以含有通過光照射而顯色的顯色系染料。作為所用的顯色系染料，例如有隱色染料或熒烷染料和閨素化合物的組合。顯色系染料可以根據(jù)所希望的OD值、彩色像素的色純度而配合適當(dāng)?shù)牧?。作為上述隱色染料，例如，可以列舉三(4-二曱基氨基-2-曱基苯基)曱烷[隱色結(jié)晶紫]等。作為上述面素化合物，可以列舉溴戊烷、溴異戊烷、溴代異丁烯、二溴乙烷、二苯基曱基溴、二溴甲基苯、二溴曱烷、三溴甲基苯基砜、四溴化碳、三(2,3-二溴丙基)磷酸酯、三氯乙酰胺、碘戊烷、硤異丁烷、l，l，l-三氯-2,2-二(對氯苯基)乙烷、六氯乙烷、三嗪化合物等。作為上述三嗪化合物，可以列舉2，4,6-三(三氯甲基)-均三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4，6-二(三氯曱基)-均三嗪。在這種顯色系染料中，三溴曱基苯基砜和隱色染料的組合以及三。秦化合物和隱色染料的組合是有用的。在感光性樹脂組合物中，為了提高熱穩(wěn)定性、保存穩(wěn)定性，可以含有自由基阻聚劑。作為這種自由基阻聚劑，例如，可以列舉對曱氧基苯酚、氫醌、鄰苯三酚、萘胺、叔丁基兒茶酚、氯化亞銅、2，6_二叔丁基-對曱酚、2,2，-亞曱基二(4-乙基-6-叔丁基苯酚)、2，2，-亞甲基二(4-曱基-6-叔丁基苯酚)、三乙二醇-二-[3-(3-叔丁基-5-曱基-4-羥基苯基)丙酸酯](CibaSpecialtyChemicals制IRGANOX245)，二苯亞硝胺等。從兼顧感光度降低小和保存穩(wěn)定性良好的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選IRGANOX245。在感光性樹脂組合物中，可以根據(jù)需要含有增塑劑。作為這種增塑劑，可以列舉鄰苯二甲酸酯類，例如，鄰苯二曱酸二乙酯、對甲苯磺酰胺、聚丙二醇、聚乙二醇單烷基醚、聚氧化烯改性雙酚A書f生物，例如，雙酚A的環(huán)氧乙烷加成物或環(huán)氧丙烷加成物。在含有增塑劑時的優(yōu)選量為O.l~5質(zhì)量％。從感光性樹脂層的撓性以及在層壓后進(jìn)行切斷時抑制芯片飛濺或破壞等的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為0.1質(zhì)量％以上，并且從附著力的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為5質(zhì)量％以下。在感光性樹脂組合物中，可以含有硅烷偶聯(lián)劑。作為硅烷偶聯(lián)劑，可以給出在分子內(nèi)具有乙烯基、環(huán)氧基、苯乙烯基、曱基丙烯酰氧基、丙烯酰氧基、氨基、脲基、氯丙基、巰基、硫醚基、異氰酸酯基、咪唑基等極性基團(tuán)和烷氧基曱硅烷基的化合物等。具體而言，可以列舉信越有機(jī)硅(抹)制造的KBM-1003、KBE-1003、KBM_403、KBE_403、KBM-502、KBE-502、KBM-503、KBE-503、KBM-603、KBE_603、KBM-903、KBE-903、KBE-585、KBM-802、KBE-846、KBE-9007等，或日本特開2004—280057號乂>才艮中所記載的咪唑硅烷化合物等。其配合量，可以考慮附著力效果和顯影后基板上的殘?jiān)街榷m當(dāng)選擇，優(yōu)選為O.Ol~1質(zhì)量％的范圍。本發(fā)明感光性樹脂層壓體，可以通過將由感光性樹脂組合物所形成的感光性樹脂層涂布在支持層上而制作。作為此處所用的支持層，優(yōu)選為透射活性光的透明物質(zhì)。作為透射活性光的支持層，可以列舉聚對苯二曱酸乙二醇酯薄膜、聚乙烯醇薄膜、聚氯乙烯薄膜、氯乙烯共聚物薄膜、聚偏二氯乙烯薄膜、偏二氯乙烯共聚物薄膜、聚曱基丙烯酸曱酯共聚物薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚丙烯腈薄膜、苯乙烯共聚物薄膜、聚酰胺薄膜、纖維素衍生物薄膜、三乙?；w維素薄膜、聚丙烯薄膜等。作為這些薄膜，根據(jù)需要也可以使用拉伸的薄膜。此外，在支持層上進(jìn)行涂布時，可以通過添加適當(dāng)溶劑而調(diào)整至最適合涂布的狀態(tài)。作為溶劑，例如，可以列舉乙二醇單曱醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丙醚、乙二醇單丁醚、乙二醇二曱醚、乙二醇二乙醚、乙二醇二丙醚、丙二醇單曱醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單丁醚、丙二醇二曱醚、丙二醇二乙醚、二乙二醇單曱醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、乙二醇單曱醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單丙醚乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、丙二醇單曱醚乙酸酯(PGMEA)、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、2-曱氧基丁基乙酸酯、3-曱氧基丁基乙酸酯、4-曱氧基丁基乙酸酯、2-甲基-3_曱氧基丁基乙酸酯、3-曱基-3-曱氧基丁基乙酸酯、3-乙基-3-曱氧基丁基乙酸酯、2-乙氧基丁基乙酸酯、4-乙氧基丁基乙酸酯、4-丙氧基丁基乙酸酯、2-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲氧基戊基乙酸酯、4-甲氧基戊基乙酸酯、2-甲基-3-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲基-3-曱氧基戊基乙酸酯、3-曱基-4-曱氧基戊基乙酸酯、4-曱基-4-曱氧基戊基乙酸酯、丙酮、甲乙酮、二乙基酮、曱基異丁酮、乙基異丁酮、碳酸甲酯、碳酸乙酯、碳酸丙酯、碳酸丁酯、苯、曱苯、二甲苯、環(huán)己酮、曱醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環(huán)己醇、乙二醇、二乙二醇、丙三醇。從毒性、在支持層上涂布時的干燥性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為曱乙酮或曱基異丁酮，并且從著色顏料特別是黑色顏料的分散穩(wěn)定性以及本發(fā)明中使用的上述式(I)所表示的堿可溶性高分子的溶解性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為丙二醇單曱醚乙酸酯(PGMEA)。為了兼顧前述性能，也可以將曱乙酮或曱基異丁酮等和PGMEA以適當(dāng)?shù)谋壤旌鲜褂?。例如，可以將預(yù)先分散了黑色顏料的PGMEA、預(yù)先溶解了上述式(I)堿可溶性高分子的PGMEA,分別和上述選自重均分子量為3000~1OOOOO的由曱基丙烯酸芐酯或丙烯酸芐酯共聚而成的石咸可溶性高分子以及重均分子量為3000~50000的丙烯酸類堿可溶性高分子所組成的組中的至少一種堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑、其它各種添加物進(jìn)行混合，并用曱乙酮或PGMEA等溶劑適當(dāng)稀釋，調(diào)制成對支持層的涂布性干燥性良好的感光性樹脂組合物溶液。此外，上述支持層的霧度優(yōu)選為5.0以下。更優(yōu)選為2.0以下，再優(yōu)選為1.0以下。此處所謂的霧度(Haze),是表示濁度的值，其可以由透射燈照射的試料中的全透射率T和在試料中漫射并散射的光的透射率D，并作為霧度值H:D/TxlOO求出。這是由JIS-K-7105規(guī)定的，并且可以很容易地通過市售的濁度計(jì)進(jìn)行測定。支持層厚度薄的情況，在圖像形成性、經(jīng)濟(jì)性方面是有利的，但由于需要維持強(qiáng)度，因此通常為10lOO(im。本發(fā)明感光性樹脂層壓體，也可以根據(jù)需要在感光性樹脂層的與支持層相反一側(cè)的表面上層壓保護(hù)層。并優(yōu)選保護(hù)層和感光性樹脂層的粘合力比支持層和感光性樹脂層的粘合力充分地小，以能夠容易地剝離。作為這種保護(hù)層，例如，可以列舉聚乙烯薄膜、聚對苯二曱酸乙二醇酯薄膜、聚丙烯薄膜、拉伸聚丙烯薄膜(例如，王子制紙(林)制造的E-200C，E-200A等)、脫模處理的聚對苯二曱酸乙二醇酯薄膜等。保護(hù)層的優(yōu)選厚度為1550nm。從表面平滑性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為15(im以上，并且從和感光性樹脂層的層壓性、巻繞性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為50pm以下。本發(fā)明感光性樹脂層壓體，大致可以通過下述方法制作。作為感光性樹脂組合物，將堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑、著色顏料等和適量的溶劑一起混合，使粘度為l幾十cps，制作感光性樹脂組合物溶液。在形成支持層的厚度為20pm的透明聚酯薄膜上涂布上述感光性樹脂組合物溶液并干燥，形成感光性樹脂層。涂布是根據(jù)涂布面積和涂布速度等使用裝置進(jìn)行涂布。作為涂布裝置，可以列舉用于小面積的裝置，刮涂器、棒涂器、照相凹版涂布器。如果是密封式?？诜绞?，可以列舉毛細(xì)管涂布器、提高上升涂布器(raisingandrisingcoater)、狹縫?？谕坎计鳌⒛？谕坎疾艓?lipcoater),3口果是開》文式的i舌，可以歹'J舉點(diǎn)i、余才幾(commacoater)、照相凹版涂布器。干燥溫度可以根據(jù)溶劑適當(dāng)選擇。優(yōu)選使溶劑充分干燥的溫度以上，并優(yōu)選在可以確保支持層尺寸穩(wěn)定性的溫度以下進(jìn)行干燥。優(yōu)選為60~120°C。干燥時間要長于可以充分干燥溶劑的程度以上，并且優(yōu)選以可以使溶劑從涂布面上均勻蒸發(fā)程度的速度進(jìn)行干燥。優(yōu)選為能夠確保支持層的尺寸穩(wěn)定性的程度，并進(jìn)一步優(yōu)選為不會顯著損害操作性的程度以下。如果是小面積的話，干燥裝置可以使用澆鑄法或熱風(fēng)循環(huán)式干燥爐。在通過幾米以上的干燥腔而進(jìn)行干燥時，可以將熱風(fēng)吹至涂布面和支持層，并使支持層通過加熱的輥的上面，由此使其干燥。熱風(fēng)噴嘴，有噴射型、正壓空氣浮動型、負(fù)壓空氣浮動型、負(fù)壓噴嘴+輥型、沖孔型、平行流型等。然后，貼合形成保護(hù)層的聚乙烯薄膜并層壓。從黑色矩陣的遮光性和涂布時的膜厚精度考慮，感光性樹脂層的厚度優(yōu)選為0.3pm以上。此外，從用于濾色器時的平坦性考慮，優(yōu)選為4.5pm以下。在使用樹脂黑色矩陣制作濾色器時，如果黑色矩陣的高度高，則濾色器表面的凹凸擾亂了液晶的取向，因此需要設(shè)置稱作為外涂層(overcoatlayer)的平坦化膜，并且為了j吏表面平坦，還需要進(jìn)行研磨。由于能夠減小對液晶取向的影響，使外涂層變薄，并且使濾色器全體的厚度變薄，因此黑色矩陣的高度優(yōu)選為4.5nm以下。感光性樹脂層的厚度，更優(yōu)選為0.3~2nm,并且再優(yōu)選為0.3~0.8jim。本發(fā)明所記載的黑色矩陣可以使用上述感光性樹脂層壓體并通過大致如下的方法形成。首先，剝離保護(hù)層后，將上述感光性樹脂層壓體層壓(熱壓合)在玻璃基板上。這時，優(yōu)選預(yù)熱玻璃基板。從層壓性以及抑制層壓時進(jìn)入的空氣以確保足夠的附著力的觀點(diǎn)考慮，玻璃基板的預(yù)熱溫度優(yōu)選為100。c以上，從支持層的耐熱性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為150。C以下。并更優(yōu)選為110。C以上140。C以下。接著，通過掩模由活性光進(jìn)行圖像曝光。在提高曝光量進(jìn)行曝光時，可以在曝光前剝離支持層。其中，在剝離支持層進(jìn)行曝光時，優(yōu)選通過適當(dāng)調(diào)整引發(fā)劑的配合量或本發(fā)明中所含的上述式(I)所表示的化合物的配合量等，而設(shè)計(jì)為高感光度。支持層對于感光度的影響大，并且和通過支持層進(jìn)行曝光的情況相比，優(yōu)選設(shè)計(jì)為非常高的感光度。即，優(yōu)選通過帶有黑色矩陣的基板的制造方法制造黑色矩陣，該制造方法特征在于，依次進(jìn)行將在本發(fā)明(1)~(7)所記載的感光性樹脂層壓體中含有8~20質(zhì)量％光聚合引發(fā)劑的感光性樹脂層壓體層壓在基板上的工序、剝離支持層的工序、曝光工序和顯影工序。作為基板，優(yōu)選透明基板，例如玻璃基板。在前述制造方法中，由于在工序中避免了曝光部分貼合在支持層上并從基材上剝離下來的復(fù)印性問題，因此可以降低感光性樹脂組合物中上述選自重均分子量為3000~IOOOOO的由甲基丙烯酸節(jié)酯或丙烯酸千酯共聚而成的堿可溶性高分子以及重均分子量為3000~50000的丙烯酸類堿可溶性高分子所組成的組中的至少一種堿可溶性高分子的配合比率，并且增大上述式(I)所表示的化合物的配合量。這從感光度的觀點(diǎn)考慮，是優(yōu)選的。然而，即使是前述制造方法，為了將未曝光部分牢固地粘合在支持層上，選自重均分子量為3000IOOOOO的由甲基丙烯酸千酯或丙烯酸節(jié)酯共聚而成的堿可溶性高分子以及重均分子量為3000~50000的丙烯酸類堿可溶性高分子所組成的組中的至少一種堿可溶性高分子的配合比率也為1質(zhì)量％以上，并且從感光度的觀點(diǎn)考慮，為40質(zhì)量％以下。優(yōu)選為1~15質(zhì)量％,更優(yōu)選為1~10質(zhì)量％,再優(yōu)選為1~5質(zhì)量％。此外，同樣地，為了將未曝光部分牢固地粘合在支持層上，上述式(I)所表示的化合物的配合量為40質(zhì)量％以下，并且從感光度的觀點(diǎn)考慮，為3質(zhì)量％以上。優(yōu)選為10~40質(zhì)量％,更優(yōu)選為15~40質(zhì)量％,并再優(yōu)選為2040質(zhì)量％。其次，在感光性樹脂層上具有支持層時，根據(jù)需要將其除去，接著使用堿水溶液使未曝光部分的感光性樹脂層顯影并除去。作為；咸水溶液，-使用碳酸鈉水溶液、-友酸鉀水溶液、氫氧化鉀水溶液、碳酸氬鈉和碳酸鈉的混合水溶液、四曱基氫氧化銨等有機(jī)胺水溶液等。這些堿水溶液根據(jù)感光性樹脂層的特性進(jìn)行選擇。一般使用0.1~3質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液、0.03~0.1質(zhì)量％的氫氧化鉀水溶液。根據(jù)需要，為了將未顯影并殘留的光聚合性樹脂層除去，還可以在其它顯影液中再次進(jìn)行顯影。所謂其它顯影液，可以是和最初顯影感光性樹脂層時所用顯影液的i威性不同的石咸水溶液，也可以是酸性顯影液，還可以是含有有機(jī)溶劑的顯影液，并且可以根據(jù)顯影液適當(dāng)選擇感光性樹脂層的組成。此外，未顯影并殘留的未曝光部分的感光性樹脂層、著色顏料、黑色顏料，可以通過高壓水洗等方法物理除去。0.2MPa以上的水洗壓力是有效的。本發(fā)明濾色器，可以通過在形成黑色矩陣后，在該帶有黑色矩陣的玻璃基板的至少未由黑色矩陣覆蓋部分的一部分上，通過本發(fā)明的感光性樹脂層壓體、感熱性或感光性的彩色油墨，形成紅.藍(lán).綠的彩色像素，由此制作。黑色矩陣的形狀通常是圍住彩色像素的格子狀。并且，格子各邊的圖案寬度通常為5~50pm,格子的點(diǎn)間隔通常為30~500拜。紅-藍(lán).綠的彩色像素，可以通過使用本發(fā)明感光性樹脂層壓體、液狀抗蝕劑等彩色抗蝕劑的光刻進(jìn)行制作，或通過使用彩色油墨的噴墨法、印刷法等進(jìn)行制作，并且可以使用各種方法。所謂噴墨法，是以在玻璃基板上所形成的黑色矩陣作為澆口，并使用油墨噴射方式注入彩色油墨的方法。從無需必須要有高價掩模的曝光工序，無需顯影工序，即使是凹凸也可以形成像素圖案，以及提高成本率等方面考慮，由于噴墨法能夠以低成本簡單地形成像素圖案，因此優(yōu)選。由于不拘于光刻也能夠固化，因此感熱性好，并且由于可以通過全面曝光而固化，因此感光性也好。作為感熱性或感光性的彩色油墨，可以使用公知材料。此外，在本發(fā)明中，可以使用含有作為著色物質(zhì)而舉例的顏料和染料、具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物、和熱或光聚合性引發(fā)劑，并且通過溶劑適當(dāng)調(diào)整了粘度的組合物。例如，可以使用日本特開2004-213033號公報實(shí)施例1中所記載的著色油墨等。此外，黑色矩陣優(yōu)選為抗彩色油墨性的。由于該性質(zhì)，在油墨的投放精度問題上，附著在黑色矩陣上的彩色油墨可以通過滑落至澆口而填滿彩色像素用的空間。在本發(fā)明黑色矩陣的制造方法中，使用層壓在透明支持層上的感光性樹脂層壓體。與將感光性樹脂組合物直接涂布在玻璃基板上并干燥，然后通過光掩模進(jìn)行曝光并顯影的制造方法相比，該制造方法在不使用干燥工序，在涂布至玻璃時不會產(chǎn)生膜厚不均，并且由于透明支持層防止了光聚合性樹脂組合物和光掩模的接觸因此不易污染光掩模等方面，是優(yōu)選的方法。進(jìn)一步，由于通過透明的支持層進(jìn)行曝光，防止了感光性樹脂層和氧氣直接接觸，因此可以得到非常高的感光度。與專組合物涂布在JE皮璃基—反上并干燥的方法相比，該方法顯示出在感光度方面是有用的。作為使用感光性樹脂層壓體制作黑色矩陣的方法，以往已知有在玻璃基板上形成厚度約2pm的彩色像素后，將黑色的感光性樹脂層壓體層壓在帶有彩色像素的玻璃基板上，并從玻璃基板一側(cè)進(jìn)行曝光的方法(參照日本特許3409925號公報)。在按照該順序形成黑色矩陣時，由于僅在原有像素之間形成黑色矩陣，因此具有可以省略將彩色像素和黑色矩陣的位置調(diào)整的優(yōu)點(diǎn)。然而，在這種方法中，為了在彩色像素間填入感光性樹脂層，需要形成一種在具有70100jim以上厚度的支持層上層壓熱塑性樹脂層和中間層，并進(jìn)一步層壓感光性樹脂層的復(fù)雜的層結(jié)構(gòu)。為了填入性，設(shè)置了熱塑性樹脂層；為了在剝離變厚的支持層和/或熱塑性樹脂層后進(jìn)行曝光時，防止感光性樹脂層和氧氣的接觸，設(shè)置了中間層。如果使用本發(fā)明的感光性樹脂層壓體，則由于線寬再現(xiàn)性、附著力優(yōu)異，因此可以提前形成黑色矩陣，由此，可以使用簡化了層結(jié)構(gòu)，并且支持層也可以使用20(im以下的曝光波長的吸收散射少的材料。通過使用高品位的支持層，線寬穩(wěn)定性、圖案形狀、直線性等進(jìn)一步提高。實(shí)施例以下基于實(shí)施例說明本發(fā)明。[合成例1]首先，按照日本特開2001-354735號公報中所記載的方法，合成上述式(I)所表示的化合物l。即，在500ml四口燒瓶中，加入235g雙酚藥型環(huán)氧樹脂(環(huán)氧當(dāng)量235)、110mg四曱基氯化銨、100mg2，6-二分又丁基_4-曱基苯酚和72.0g丙烯酸。一邊以25ml/分鐘的速度向其中吹入空氣，一邊加熱至90~100。C進(jìn)行溶解。-接著，在保持溶液白濁的狀態(tài)下慢慢升溫，并加熱至120。C使其完全溶解。此時，溶液逐漸變得透明粘稠，原樣繼續(xù)攪拌。其間，持續(xù)加熱攪拌，直至測定酸值為不到1.0mgKOH/g。酸值達(dá)到目標(biāo)值需要12小時。然后，冷卻至室溫，得到無色透明的固體狀的下述式(V)所表示的雙酚藥型環(huán)氧丙烯酸酯。[化學(xué)式8]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage38</formula>接著，在307.0g如此得到的上述雙酚芴型環(huán)氧丙烯酸酯中，加入600g丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)并溶解。然后，混合80.5g二苯曱酮四羧酸二酐和lg溴化四乙基銨，慢慢升溫，使其在110~115。C下反應(yīng)4時間。在確認(rèn)酸酐基消失后，混合38.0g1，2,3，6_四氫化鄰苯二曱酸酐，^吏其在90。C下反應(yīng)6時間，得到相當(dāng)于上述式(I)的化合物l。酸酐基的消失由IR光i普進(jìn)行確認(rèn)。此處，化合物l相當(dāng)于，在上述式(I)所表示的化合物中，X為上述式(II)所表示的基團(tuán)，Y為從l,2,3，6-四氫化鄰苯二甲酸酐中除去酸酐基(-CO-O-CO-)的殘基，Z為從3，3'，4,4'-二苯曱酮四羧酸二酐中除去酸酐的殘基，同時Y/Z的摩爾比為50.0/50.0的化合物。將該化合物l作為石咸可溶性高分子，并調(diào)整至PGMEA中固體成分濃度為40質(zhì)量％,將其用于以下感光性樹脂組合物溶液的制作。[實(shí)施例1~9]<感光性樹脂組合物溶液的制作〉以表1中所示比例混合感光性樹脂組合物的各成分，得到以曱乙酮為溶劑，并且固體成分量為10質(zhì)量％的感光性樹脂組合物溶液。另外，在表l中，以簡稱(A-1~F-1)表示的構(gòu)成感光性樹脂組合物的成分如下所示。A-1:在合成例1中合成的化合物1的PGMEA溶液(固體成分濃度為40質(zhì)量％)A-2:甲基丙烯酸節(jié)酯/曱基丙烯酸的共聚物的曱乙酮溶液(質(zhì)量比為85/15，重均分子量為30000,固體成分濃度為40質(zhì)量％)A-3:苯乙烯/曱基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸的共聚物的曱乙酮溶液(質(zhì)量比為25/50/25,重均分子量為55000,固體成分濃度為40質(zhì)量％)。A-4:苯乙烯/曱基丙烯酸曱酯/曱基丙烯酸的共聚物的曱乙酮溶液(質(zhì)量比為25/50/25，重均分子量為20000，固體成分濃度為40質(zhì)量％)。B-1:季戊四醇四丙烯酸酯B-2:琥珀酸改性季戊四醇三丙烯酸酯(東亞合成^i制ARONIXTO-756)C-l:1-[9-乙基-6-(2-甲基苯曱酰)-9.H.-咕唑-3-基]-乙烷-l-單將-O-乙酸酯(CibaSpecialtyChemicals制IRGACUREOXE-02)D-1:炭黑<感光性樹脂層壓體的制作>使用棒式涂布器將前述感光性樹脂組合物均勻涂布在厚度為20pm的聚對苯二曱酸乙二醇酯制造的支持層上，并在95。C的干燥機(jī)中干燥3分鐘。接著，將厚度為20^im的拉伸聚丙烯制保護(hù)層粘合在感光性樹脂層上，得到實(shí)施例l~9的感光性樹脂層壓體。此外，在涂布感光性樹脂組合物后，觀察有無不均勻，并如下評價對支持層的涂布性。o:沒有涂布不均勻，均勻x:有涂布不均勻，不均勻<黑色矩陣的形成〉剝下上述實(shí)施例l~9的感光性樹脂層壓體的保護(hù)層，將其層壓在玻璃基板上。在將感光性樹脂層壓體層壓在10cm見方的基板上時，需要約5秒鐘。然后，通過線寬間隔寬為l:9的矩陣圖案的玻璃掩模，并使用超高壓汞燈(ORCMANUFACTURINGCO.,LTD.制HMW-801)以40mJ/cm2進(jìn)行曝光。這時，將支持層和玻璃掩模的距離設(shè)定為100pm。剝離支持層后，在23"下噴射0.05質(zhì)量％的氫氧化鉀水溶液，溶解除去未曝光部分的光聚合性樹脂層，并顯影。這時的噴射時間，是從玻璃基板上剛好除去未曝光部分的光聚合性樹脂層所需時間(最小顯影時間)的1.5倍。然后，在240。C下進(jìn)行60分鐘的后烘焙(postbake)，形成黑色矩陣。此外，在上述黑色矩陣的形成工序中，在曝光后剝離支持層時，觀察感光性樹脂層復(fù)印至玻璃基板的狀態(tài)，如下評價對玻璃基板的復(fù)印性。在復(fù)印性評價中，在線寬間隔寬為l:9的矩陣圖案以外曝光滿版圖案，同時進(jìn)行評價。(對玻璃基板的復(fù)印性)o:感光性樹脂層全體復(fù)印至玻璃基板?！?滿版圖案曝光部分的一部分和支持層一起剝離，但矩陣圖案的復(fù)印沒有問題。△△:滿版圖案曝光部分的一部分和支持層一起剝離，并且矩陣圖案的一部分也和支持層一起剝離。x:不管矩陣圖案還是滿版圖案，都和支持層一起剝離。<黑色矩陣的評價〉(1)膜厚對于上述J皮璃基才反上的黑色矩陣，4吏用TencorInstruments公司制造的Alpha-Step(AS200)，測定在玻璃基板上所形成的圖案高度，將其作為膜厚((im)。(2)遮光性使用和上述黑色矩陣同樣的方法制作滿版圖案，并使用GretagMacbeth公司制造的光學(xué)濃度計(jì)D200-II測定光學(xué)濃度。所謂光學(xué)濃度，是相對于某一光源光來說，以入射光強(qiáng)度作為Io,以透射光強(qiáng)度作為I時，由光學(xué)濃度=log1()(1。/1)的關(guān)系所表示的。求出光學(xué)濃度除以上述膜厚的值，將其作為遮光性。遮光性的評價按照以下等級進(jìn)行。o:3以上△:2以上^f旦不到3x:不到2(3)感光度將感光性樹脂層壓體層壓在玻璃基板上，使用Stouffer21段階段式曝光表(曝光表的段數(shù)每1段對應(yīng)光學(xué)濃度變化0.15的掩模)，和上述同樣地進(jìn)行曝光'顯影，目視觀察進(jìn)行了后烘焙的玻璃基板，讀取階段式曝光表殘留有幾段。感光度的評價按照以下等級進(jìn)行。o:3,史以上△:2段以上但不到3段x:不到2段(4)附著力通過線寬間隔寬=1:9的矩陣圖案掩模，以40mJ/cn^進(jìn)行曝光，以最小顯影時間的1.5倍時間進(jìn)行顯影，形成矩陣圖案。使用光學(xué)顯微鏡，目視觀察矩陣圖案是否能夠形成，并以能夠形成的最小矩陣圖案所對應(yīng)的掩模寬度(pm)作為附著力。附著力的評價按照以下等級進(jìn)行。〇不至lj5(im△:5!im以上^f旦不到10|imx:IO拜以上(5)過顯影時的線寬穩(wěn)定性將實(shí)施例2和比較例2中所用的感光性樹脂層壓體層壓在玻璃基板上，以40mJ/cn^進(jìn)行曝光，并以顯影時間除以最小顯影時間的值為1.1(相當(dāng)于最小顯影時間附近)和1.6(相當(dāng)于過顯影時)的方式進(jìn)行顯影，形成黑色矩陣。使用測長顯微鏡，測定與20fim掩才莫線寬對應(yīng)的黑色矩陣的線寬。實(shí)施例10和11以及比較例8和9的結(jié)果概括于表2。實(shí)施例2的感光性樹脂層壓體和比較例2的感光性樹脂層壓體相比，可以看出其線寬變化小。[實(shí)施例12~13]<彩色像素的制作〉在上述實(shí)施例l中，使用D-2:C丄顏泮+紅254和D-3:顏料黃139代替D-1:炭黑，并和實(shí)施例l同樣進(jìn)行混合，制作感光性樹脂組合物溶液14和15。使用棒式涂布器，將前述感光性樹脂組合物溶液14和15，均勻涂布在厚度為20(im的聚對苯二曱酸乙二醇酯制的基膜上，在95。C的干燥機(jī)中干燥3分鐘。接著，在所得的光聚合性樹脂組合物層壓體上粘合厚度為25(im的聚乙烯制保護(hù)膜，可以得到實(shí)施例12和13的感光性樹脂層壓體。剝下實(shí)施例12和13的感光性樹脂層壓體的保護(hù)膜，將其層壓在玻璃基板上，然后通過線寬/間隔寬為5^im/25pm的圖案的掩模，并使用超高壓汞燈(ORCMANUFACTURINGCO.,LTD.制HMW-801)以40mJ/cm2進(jìn)4亍曝光。將支持薄膜剝離后，在23。C下噴射0.05質(zhì)量。/。的氫氧化鉀水溶液約30秒鐘，溶解除去未曝光部分的感光性樹脂層，并顯影。然后，在20(TC下進(jìn)行15分鐘的后烘焙，形成彩色像素。[實(shí)施例14~17和比專交例10]以表l實(shí)施例14~17和比4交例IO中所示比例混合感光性樹脂組合物的各成分，得到以甲乙酮為溶劑，并且固體成分量為10質(zhì)量％的感光性樹脂組合物溶液14~17和比4交感光性樹脂組合物溶液IO。使用棒式涂布器將感光性樹脂組合物溶液14~17和比較感光性樹脂組合物溶液10均勻涂布在厚度為20jim的聚對苯二甲酸乙二醇酯制支持層上，并在95°C的干燥機(jī)中干燥3分鐘。接著，將厚度為20pm的拉伸聚丙烯制保護(hù)層粘合在感光性樹脂層上，得到實(shí)施例14~17和比較例10的感光性樹脂層壓體。剝下上述實(shí)施例14~17和比較例IO的感光性樹脂層壓體的保護(hù)層，將其層壓在玻璃基板上。然后，剝離支持層，通過線寬間隔寬為l:9的矩陣圖案的玻璃掩模，并使用超高壓汞燈(ORCMANUFACTURINGCO.，LTD.制HMW-801)以100mJ/cm2進(jìn)行曝光。這時，將感光性樹脂層和玻璃掩模的距離設(shè)定為100pm。接著，在23。C下噴射0.05質(zhì)量。/。的氫氧化鉀水溶液，溶解除去未曝光部分的光聚合性樹脂層，并顯影。這時的噴射時間，是從玻璃基板上剛好除去未曝光部分的光聚合性樹脂層所需時間(最小顯影時間)的1.5倍。然后，在24(TC下進(jìn)行60分鐘的后烘焙，形成黑色矩陣。結(jié)果示于表3。此外，由于在曝光圖案之前已經(jīng)剝離了支持層，因此對玻璃基板的復(fù)印性評價如下。o:感光性樹脂層全體復(fù)印至玻璃基板。x:感光性樹脂層的一部分和支持層一起剝離。[比4交例1~7]以表1中所示比例混合比較例1~7的感光性樹脂組合物的各成分，得到固體成分量為10重量％的比較感光性樹脂組合物溶液l~7。和實(shí)施例同樣，將該比較感光性樹脂組合物溶液l~7,涂布在厚度為20pm的聚對苯二甲酸乙二醇酯制基膜上，并粘合厚度為20pm的拉伸聚丙烯制保護(hù)層，制作比較例l~7的感光性樹脂層壓體。使用這些比較例l~7的感光性樹脂層壓體，和實(shí)施例同樣，在玻璃基板上形成黑色矩陣。在評價中，評價和實(shí)施例相同的項(xiàng)目，結(jié)果示于表l。此外，比較例4的感光性樹脂組合物，在涂布于基膜上并干燥后，可以觀察到涂布不均勻。并且，未曝光部分的感光性樹脂層和支持層的粘著性高，曝光部分在剝離支持層時一起從基板上剝離。比較例5的感光性樹脂組合物，在涂布后，產(chǎn)生了通過目視可明確觀察到的光學(xué)濃度薄的部分，并且無法均勻涂布。[比較例11]使用旋涂器(混合旋涂器IH-360S),以每分鐘500轉(zhuǎn)，將實(shí)施例3中制作的感光性樹脂組合物溶液3旋涂在10cm的正方形玻璃基板上。涂布后，從基板中心部分向邊緣部分產(chǎn)生了放射狀的涂布不均。并且，在邊緣部分也產(chǎn)生了約lmm左右的涂布不均，而導(dǎo)致基板邊緣加上了邊。為了在玻璃基板上層壓感光性樹脂層，需要進(jìn)一步將其在烘箱中在8(TC下干燥10分鐘。此外，和實(shí)施例3中同樣實(shí)施，在嘗試通過曝光顯影形成黑色矩陣時，顯影后，在基板上未殘留有圖案。[表l]<table>tableseeoriginaldocumentpage45</column></row><table>[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage46</column></row><table>[表3]<table>tableseeoriginaldocumentpage46</column></row><table>工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明，可以用于液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器、等離子顯示器等平板顯示器領(lǐng)域，以及上述液晶顯示器或有機(jī)EL顯示器所用的濾色器領(lǐng)域，特別適合用于液晶顯示器領(lǐng)域。權(quán)利要求1.一種感光性樹脂層壓體，將至少支持層和感光性樹脂層層壓而成，該感光性樹脂層由感光性樹脂組合物形成，所述感光性樹脂組合物包含3～40質(zhì)量％下述式(I)所示的堿可溶性高分子，1～40質(zhì)量％選自重均分子量為3000～100000的由甲基丙烯酸芐酯或丙烯酸芐酯共聚而成的堿可溶性高分子和重均分子量為3000～50000的丙烯酸系的堿可溶性高分子所組成的組中的至少一種堿可溶性高分子，3～25質(zhì)量％具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物，0.1～20質(zhì)量％光聚合引發(fā)劑，40～70質(zhì)量％著色顏料，且，該式(I)所示的堿可溶性高分子該選自重均分子量為3000～100000的由甲基丙烯酸芐酯或丙烯酸芐酯共聚而成的堿可溶性高分子和重均分子量為3000～50000的丙烯酸系的堿可溶性高分子所組成的組中的至少一種堿可溶性高分子(質(zhì)量比)＝1∶5～16∶1，[化學(xué)式1]式(I)中，X為下述式(II)所示的基團(tuán)，Y為除去了二羧酸酐的酸酐基的殘基，Z為除去了四羧酸二酐的酸酐基的殘基，n為1～20的整數(shù)，下述式(II)中的R1和R2各自相互獨(dú)立地表示H或CH3基團(tuán)。[化學(xué)式2]2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性樹脂層壓體，其中，該感光性樹脂層由感光性樹脂組合物形成，所述感光樹脂組合物包含340質(zhì)量％上述式(I)所示的堿可溶性高分子，140質(zhì)量％重均分子量為3000100000的由曱基丙烯酸卡酯或丙烯酸節(jié)酯共聚而成的堿可溶性高分子，325質(zhì)量％具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物，0.120質(zhì)量％光聚合引發(fā)劑，4070質(zhì)量％著色顏料，且，該式(I)所示的堿可溶性高分子該重均分子量為3000100000的由曱基丙烯酸千酯或丙烯酸千酯共聚而成的堿可溶性高分子(質(zhì)量比)=1:516:1。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性樹脂層壓體，該感光性樹脂層包含3~40質(zhì)量％上述式(I)所示的堿可溶性高分子，5~40質(zhì)量％重均分子量為300050000的由曱基丙烯酸千酯或丙烯酸千酯共聚而成的堿可溶性高分子，525質(zhì)量％具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物，0.120質(zhì)量％光聚合引發(fā)劑，4070質(zhì)量％著色顏料，且該式(I)所示的堿可溶性高分子該重均分子量為300050000的由曱基丙烯酸千酯或丙烯酸爺酯共聚而成的堿可溶性高分子(質(zhì)量比)=1:55:1。4.根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性樹脂層壓體，其中，該式(I)所示的石威可溶性高分子該選自重均分子量為3000100000的由甲基丙烯酸千酯或丙烯酸節(jié)酯共聚而成的堿可溶性高分子和重均分子量為300050000的丙烯酸系堿可溶性高分子所組成的組中的至少一種堿可溶性高分子(質(zhì)量比)=2:116:1。5.根據(jù)權(quán)利要求14任一項(xiàng)所述的感光性樹脂層壓體，其中，在感光性樹脂組合物中，包含肟酯化合物作為光聚合引發(fā)劑。中6.根據(jù)權(quán)利要求14任一項(xiàng)所述的感光性樹脂層壓體，其在感光性樹脂組合物中，包含下述式(III)所示的化合物作為具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物，[化學(xué)式3]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>式(III)中，R3Re為2價的連接基團(tuán)R4和Rs各自相互獨(dú)立地表示H或CH3基團(tuán)，其表示選自碳數(shù)為28的亞烷基、碳數(shù)為310的亞環(huán)烷基以及碳數(shù)為610的亞苯基所組成的組中的一種基團(tuán)。7.根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性樹脂層壓體，其中，著色顏料為黑色顏料。8.—種帶彩色像素的基板的制造方法，其至少依次包括將權(quán)利要求14任一項(xiàng)所述的感光性樹脂層壓體層壓到基板上的工序、曝光的工序和顯影的工序。9.一種帶黑色矩陣的基板的制造方法，其至少依次包括將權(quán)利要求7所述的感光性樹脂層壓體層壓到基板上的工序、曝光的工序、剝離支持層的工序、顯影的工序。10.—種帶黑色矩陣的基板的制造方法，其至少依次包括將權(quán)利要求7所述的感光性樹脂層壓體層壓到基板上的工序、剝離支持層的工序、曝光的工序、顯影的工序。11.一種濾色器的制造方法，其至少依次包括使用權(quán)利要求9或10所述的方法在基板上形成黑色矩陣的工序；通過噴墨方式在該玻璃基板上的未被黑色矩陣覆蓋的部分的至少一部分上印刷熱敏性或感光性的彩色墨的印刷工序。12.—種濾色器，其通過權(quán)利要求ll所述的方法所制造。全文摘要本發(fā)明目的在于提供一種在形成樹脂黑色矩陣時，感光度、遮光性、細(xì)線附著力、過顯影時的線寬穩(wěn)定性、復(fù)印性、生產(chǎn)率優(yōu)異的感光性樹脂層壓體，進(jìn)一步，目的在于提供一種在形成彩色像素時，感光度高的感光性樹脂層壓體。一種感光性樹脂層壓體，其通過將至少支持層和感光性樹脂層層壓而形成，該感光性樹脂層由感光性樹脂組合物形成，該感光性樹脂組合物包含3～40質(zhì)量％下述式(I)所表示的堿可溶性高分子、1～40質(zhì)量％特定的堿可溶性高分子、3～25質(zhì)量％具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物、0.1～20質(zhì)量％光聚合引發(fā)劑、40～70質(zhì)量％著色顏料，并且該式(I)所表示的堿可溶性高分子∶特定的堿可溶性高分子(質(zhì)量比)＝1∶5～16∶1。文檔編號G03F7/027GK101401036SQ20078000908公開日2009年4月1日申請日期2007年3月9日優(yōu)先權(quán)日2006年3月14日發(fā)明者小谷雄三申請人:旭化成電子材料元件株式會社