專利名稱：：感光性組合物、感光性薄膜、永久圖案形成方法及印刷電路板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種可以有效地形成高精細(xì)的永久圖案的感光性組合物、感光性薄膜、永久圖案形成方法及印刷電路板。
背景技術(shù)：
：一直以來(lái)，在形成阻焊劑(solderresist)等的等永久圖案時(shí)，使用的是通過(guò)在支撐體上涂布、干燥感光性樹脂組合物而形成感光層的感光性薄膜。作為所述永久圖案的制造方法，例如在形成所述永久圖案的鍍銅層疊板等的基材上，層疊所述感光性薄膜從而形成層疊體，對(duì)該層疊體中的所述感光層進(jìn)行曝光，在該曝光后，顯影所述感光層進(jìn)而形成圖案，然后通過(guò)進(jìn)行固化處理等形成所述永久圖案。在此已知，在所述感光性組合物中，不管其用途如何，為了提高永久圖案的表面硬度或?qū)⒕€膨脹系數(shù)抑制為低值，或者為了將固化膜自身的介電常數(shù)或電介質(zhì)損耗角正切抑制為低值，通常使用無(wú)機(jī)顏料，通過(guò)表面處理該無(wú)機(jī)顏料，可以賦予涂敷液的分散性或得到的固化物的低吸水性及強(qiáng)韌性。另外，在阻焊劑用途中，為了防止在使用硫酸鋇作為無(wú)機(jī)顏料的情況下顯影殘?jiān)Ｓ?，從而顯影性惡化，還提出了對(duì)無(wú)機(jī)顏料實(shí)施表面處理(特開2002—296771號(hào)公報(bào))。但是，在所述提議中，由于利用使用的光聚合引發(fā)劑得到的靈敏度未必充分，所以難以高精細(xì)而且有效地得到永久圖案。進(jìn)而，為了使所述永久圖案高精細(xì)，使顯影后的粘附性(細(xì)線粘附性)良好也是很重要的。因而，目前，可以有效地形成靈敏度、顯影性及粘附性良好而且高精細(xì)的永久圖案的感光性組合物、感光性薄膜、使用了所述感光性組合物的永久圖案形成方法以及利用所述永久圖案形成方法形成圖案的印刷電路板有待開發(fā)。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明正是鑒于這種現(xiàn)狀而提出的，其課題在于提供一種解決以往的所述各問(wèn)題從而實(shí)現(xiàn)以下目的。即，本發(fā)明的目的在于提供一種可以有效地形成靈敏度、顯影性及粘附性良好而且高精細(xì)的永久圖案的感光性組合物、感光性薄膜、使用了所述感光性組合物的永久圖案形成方法以及利用所述永久圖案形成方法形成圖案的印刷電路板。作為用于解決所述課題的手段，如下所述。艮口，<1>一種感光性組合物，其特征在于，含有粘合劑、聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑、熱交聯(lián)劑及無(wú)機(jī)顏料，所述光聚合引發(fā)劑含有肟衍生物，所述無(wú)機(jī)顏料被硅烷偶合劑表面處理。<2>根據(jù)所述<1>記載的感光性組合物，其中，硅垸偶合劑具有從垸氧基甲硅烷基、氯甲硅烷基及乙酰氧基甲硅垸基中選擇的至少一種官能團(tuán)、和從乙烯基、氨基、巰基、環(huán)氧基及(甲基)丙烯?；羞x擇的至少一種官能團(tuán)。<3>根據(jù)所述<1>或<2>記載的感光性組合物，其中，無(wú)機(jī)顏料為二氧化硅。<4>根據(jù)所述<1><3>中任意一項(xiàng)記載的感光性組合物，其中，肟衍生物為至少具有芳香族基的化合物。<5>根據(jù)所述<1〉<4>中任意一項(xiàng)記載的感光性組合物，其中，肟衍生物具有用下述通式(I)、通式(II)及通式(X)的任意一種表示的部分結(jié)構(gòu)?；?Ar如(Y，)^N-0-Y化5Ar如0-C(Y')-N-0-Y化6通式(I)m通式(II)汰足，《」，00通式(X)其中，所述通式(I)及(II)中，Ar表示芳香族基及雜環(huán)基中的任意一種。Yi表示氫原子及一價(jià)的取代基中的任意一種。￥2表示脂肪族基、芳香族基、雜環(huán)基、coy3、co2y3及cony4y5中的任意一種。y3、y4及ys表示脂肪族基、芳香族基及雜環(huán)基中的任意一種。m表示l以上的整數(shù)。另外，所述通式(X)中，R^表示?；③趸驶胺佳趸驶械娜我庖环N，這些取代基也可以進(jìn)一步具有取代基。a表示0以上的任意整數(shù)。R^表示取代基，在a為2以上的情況下，該R^可以相同或不同。Ar表示芳香族環(huán)及雜芳香族環(huán)中的任意一種。A表示4、5、6及7員環(huán)的任意一種，這些環(huán)也可以分別含有雜原子。<6>根據(jù)所述<5>記載的感光性組合物，其中，通式(I)、通式(II)及通式(X)中的Ar具有苯基及萘基中的任意一種。<7>根據(jù)所述<6>記載的感光性組合物，其中，通式(I)、通式(II)及通式(X)中的Ar具有萘基。<8>根據(jù)所述<5><7>中任意一項(xiàng)記載的感光性組合物，其中，通式(I)進(jìn)而可以用下述通式(III)及通式(IV)表示?；?<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>其中，所述通式(III)及通式(IV)中，Rhu表示與通式(I)及通式(n)中的Yi相同的意義，y"表示表示與通式(i)及通式(ii)中的￥2相同的意義。<9>根據(jù)所述<1><8>中任意一項(xiàng)記載的感光性組合物，其中，粘合劑含有在側(cè)鏈具有酸性基和乙烯性不飽和鍵的高分子化合物。<10>根據(jù)所述<9>記載的感光性組合物，其中，粘合劑含有在側(cè)鏈具有酸性基、可含有雜環(huán)的芳香族基和乙烯性不飽和鍵的高分子化合物。<11>根據(jù)所述<9>或<10>記載的感光性組合物，其中，高分子化合物含有0.53.0m叫/g乙烯性不飽和鍵。<12>根據(jù)所述<9><11>中任意一項(xiàng)記載的感光性組合物，其中，高分子化合物在側(cè)鏈具有羧基，所述羧基在高分子化合物中的含量為1.04.0meq/g。<13>根據(jù)所述<9><12>中任意一項(xiàng)記載的感光性組合物，其中，高分子化合物的質(zhì)均分子量為10，000以上、不到100，000。<14>根據(jù)所述<10><13>中任意一項(xiàng)記載的感光性組合物，其中，高分子化合物含有20mol^以上下述通式(A—3)表示的結(jié)構(gòu)單元。[化8]其中，在所述結(jié)構(gòu)式(A—3)中，R"R2及R3表示氫原子或1價(jià)的有機(jī)基。L表示有機(jī)基，也可以沒有。Ar表示芳香族基。<15>根據(jù)所述<1><14〉中任意一項(xiàng)記載的感光性組合物，其中，聚合性化合物含有從具有(甲基)丙烯酸基的單體中選擇的至少一種。<16>根據(jù)所述<1><15>中任意一項(xiàng)記載的感光性組合物，其中，熱交聯(lián)劑為從環(huán)氧化合物、氧雜環(huán)丁烷化合物、聚異氰酸酯化合物、使嵌段(block)劑與聚異氰酸酯化合物發(fā)生反應(yīng)得到的化合物、以及蜜胺衍生物中選擇的至少一種。<17>根據(jù)所述<16>記載的感光性組合物，其中，熱交聯(lián)劑含有環(huán)氧化合物，該環(huán)氧化合物為從雙酚型環(huán)氧樹脂、酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、含脂環(huán)式基型環(huán)氧樹脂及難溶性環(huán)氧樹脂中選擇的至少一種。<18>根據(jù)所述<1><17>中任意一項(xiàng)記載的感光性組合物，其中，含有增感劑。<19〉根據(jù)所述<18>記載的感光性組合物，其中，增感劑含有雜縮環(huán)系化合物。<20>根據(jù)所述<19>記載的感光性組合物，其中，雜縮環(huán)系化合物為噻噸酮化合物。<21>—種感光性薄膜，其特征在于，在支撐體上具有所述<1><20>中任意一項(xiàng)記載的感光性組合物構(gòu)成的感光層而成。<22>根據(jù)所述<21>記載的感光性薄膜，其中，感光層的厚度為llOOjnm。<23>根據(jù)所述<21>或<22>記載的感光性薄膜，其中，支撐體含有合成樹脂且為透明。<24>根據(jù)所述<21><23>中任意一項(xiàng)記載的感光性薄膜，其中，支撐體為長(zhǎng)條狀。<25>根據(jù)所述<21><24>中任意一項(xiàng)記載的感光性薄膜，其中，為長(zhǎng)條狀，且被巻成輥狀而成。<26>根據(jù)所述<21><25>中任意一項(xiàng)記載的感光性薄膜，其中，在感光層上具有保護(hù)薄膜。<27>—種永久圖案形成方法，其特征在于，包括相對(duì)利用所述<1><20>中任意一項(xiàng)記載的感光性組合物形成的感光層進(jìn)行曝光。<28>根據(jù)所述<27>記載的永久圖案形成方法，其中，感光層利用所述<21><26>中任意一項(xiàng)記載的感光性薄膜形成。<29>根據(jù)所述<27>或<28>記載的永久圖案形成方法，其中，不使用光掩模進(jìn)行曝光。<30>根據(jù)所述<29>記載的永久圖案形成方法，其中，曝光在使曝光光與感光層相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行。<31>根據(jù)所述<29>或<30>記載的永久圖案形成方法，其中，曝光是使至少具備光照射機(jī)構(gòu)及光調(diào)制機(jī)構(gòu)的曝光頭和所述感光層的至少任意一個(gè)移動(dòng)，同時(shí)，利用所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)圖案信息調(diào)制從所述光照射機(jī)構(gòu)射出的光，并同時(shí)從所述曝光頭對(duì)所述感光層照射來(lái)進(jìn)行的。<32>根據(jù)所述<31>記載的永久圖案形成方法，其中，光調(diào)制機(jī)構(gòu)可以對(duì)應(yīng)圖案信息，對(duì)從n個(gè)描繪部中連續(xù)地配置的任意的不到n個(gè)所述描繪部進(jìn)行控制。<33>根據(jù)所述<31>或<32>記載的永久圖案形成方法，其中，光調(diào)制機(jī)構(gòu)為空間光調(diào)制元件。<34>根據(jù)所述<33>記載的永久圖案形成方法，其中，空間光調(diào)制元件是數(shù)字微鏡器件(digitalmicromirrordevice)(DMD)。<35>根據(jù)所述<31><34>中任意一項(xiàng)記載的永久圖案形成方法，其中，曝光是通過(guò)孔徑陣列進(jìn)行的。<36>根據(jù)所述<31><35>中任意一項(xiàng)記載的永久圖案形成方法，其中，光照射機(jī)構(gòu)可以復(fù)合照射兩種以上的光。<37>根據(jù)所述<31><36>中任意一項(xiàng)記載的永久圖案形成方法，其中，光照射機(jī)構(gòu)具備多種激光器、多模光纖、和將從該多種激光器分別照射的激光束進(jìn)行聚光從而耦合于所述多模光纖的聚光光學(xué)系。<38>根據(jù)所述<27><37>中任意一項(xiàng)記載的永久圖案形成方法，其中，曝光使用350420nm的波長(zhǎng)的激光進(jìn)行。<39>根據(jù)所述<27><38>中任意一項(xiàng)記載的永久圖案形成方法，其中，在進(jìn)行了曝光之后，進(jìn)行感光層的顯影。<40>根據(jù)所述<39>記載的永久圖案形成方法，其中，在進(jìn)行了顯影之后，進(jìn)行永久圖案的形成。<41>根據(jù)所述<40>記載的永久圖案形成方法，其中，在進(jìn)行了顯影之后，對(duì)感光層進(jìn)行固化處理。<42>根據(jù)所述<41>記載的永久圖案形成方法，其中，固化處理為全面曝光處理及在12020(TC下進(jìn)行的全面加熱處理的至少任意一種。<43>—種永久圖案，其特征在于，利用所述<27><42>中任意一項(xiàng)記載的永久圖案形成方法形成。<44>根據(jù)所述<43>記載的圖案，其中，為保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑圖案中的至少任意一種。<45>—種印刷電路板，其特征在于，利用所述<27><42>中任意一項(xiàng)記載的永久圖案形成方法形成永久圖案。本發(fā)明的感光性組合物含有粘合劑、聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑、熱交聯(lián)劑及無(wú)機(jī)顏料，所述光聚合引發(fā)劑含有肟衍生物，利用硅垸偶合劑表面處理所述無(wú)機(jī)顏料。所以可以有效地形成靈敏度、顯影性及粘附性良好且為高精細(xì)的永久圖案。利用本發(fā)明，可以解決以往問(wèn)題，可以提供一種可以有效地形成靈敏度、顯影性及粘附性良好且為高精細(xì)的永久圖案的感光性組合物、感光性薄膜、使用所述感光性組合物的永久圖案形成方法及利用所述永久圖案形成方法形成圖案的印刷電路板。具體實(shí)施方式本發(fā)明的感光性組合物含有粘合劑、聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑、熱交聯(lián)劑及無(wú)機(jī)顏料，進(jìn)而根據(jù)需要含有其他成分。一無(wú)機(jī)顏料一所述無(wú)機(jī)顏料是為了提高永久圖案的表面硬度或?qū)⒕€膨脹系數(shù)抑制為低值，或者為了將固化膜自身的介電常數(shù)或電介質(zhì)損耗角正切抑制為低值而添加的。所述無(wú)機(jī)顏料在熱固化之后，為了提高無(wú)機(jī)顏料與粘合劑的粘附性，利用硅垸偶合劑進(jìn)行表面處理。作為所述硅垸偶合劑，優(yōu)選具有從烷氧基甲硅烷基、氯甲硅垸基及乙酰氧基(7i卜年、乂)甲硅烷基中選擇的至少一種官能團(tuán)(以下也稱為"第1官能團(tuán)"。)和從乙烯基、氨基、巰基、環(huán)氧基及(甲基)丙烯酰基中選擇的至少一種官能團(tuán)(以下也稱為"第2官能團(tuán)"。)，更優(yōu)選第2官能團(tuán)為(甲基)丙烯酸酯基或環(huán)氧基。另外，還可以同樣優(yōu)選使用特公平7—68256號(hào)公報(bào)中記載的具有從烷氧基甲硅烷基、氯甲硅烷基及乙酰氧基甲硅烷基中選擇的至少一種作為第1官能團(tuán)和從咪唑基、烷基咪唑基及乙烯基咪唑基中選擇的至少一種作為第2官能團(tuán)的方式。作為所述硅垸偶合劑，沒有特別限制，例如可以優(yōu)選舉出乙烯基三氯硅烷、乙烯基三乙氧基硅垸、Y—氨丙基三乙氧基硅院、N—(P—氨乙基)—Y—氨丙基三乙氧基硅烷、N—((3—氨乙基)一Y—氨丙基甲基二甲氧基硅烷、Y一巰基丙基三甲氧基硅垸、Y一環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、Y一環(huán)氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅垸、Y—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、Y一甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、乙烯基三乙酸基硅垸、特公平7—68256號(hào)公報(bào)中記載的a—[[3—(三甲氧基甲硅垸基)丙氧基]甲基]一咪唑基一1—乙醇、2—乙基一4—甲基一a—[[3—(三甲氧基甲硅垸基)丙氧基]甲基]一咪唑基一l一乙醇、4一乙烯基一a—[[3—(三甲氧基甲硅烷基)丙氧基]甲基]一咪唑基一l一乙醇、2—乙基一4一甲基咪唑并丙基三甲氧基硅烷、以及它們的鹽、分子內(nèi)縮合物、分子間縮合物等。所述利用硅垸偶合劑的無(wú)機(jī)顏料的表面處理可以預(yù)先只對(duì)該無(wú)機(jī)顏料進(jìn)行(這種情況以下也稱為"預(yù)處理"。)，也可以與其他感光組合物中的成分的一部分或全部一起進(jìn)行。作為進(jìn)行所述預(yù)處理的方法，沒有特別限制，例如可以舉出干式法、水溶液法、有機(jī)溶媒法、噴射法等方法。對(duì)進(jìn)行所述預(yù)處理的溫度沒有特別限制，優(yōu)選常溫200'C。在進(jìn)行所述預(yù)處理時(shí)也優(yōu)選加入催化劑。作為該催化劑，沒有特別限制，例如可以舉出酸、堿、金屬化合物、有機(jī)金屬化合物等。對(duì)進(jìn)行所述預(yù)處理時(shí)的所述硅烷偶合劑的添加量沒有特別限制，相對(duì)無(wú)機(jī)顏料100質(zhì)量份，優(yōu)選為0.0150質(zhì)量份的范圍，更優(yōu)選為0.0550質(zhì)量份的范圍。所述添加量如果不到0.01質(zhì)量份，則表面處理不充分，有時(shí)不能得到需要的效果，如果超過(guò)50質(zhì)量份，則無(wú)機(jī)填充劑變得容易凝聚，操作性有時(shí)會(huì)降低。由于所述硅烷偶合劑中的所述第1官能團(tuán)與基材表面、無(wú)機(jī)填充劑表面及粘合劑的活性基反應(yīng)，進(jìn)而所述第2官能團(tuán)與粘合劑的羧基及乙烯性不飽和基反應(yīng)，所以具有提高基材與感光層的粘附性的作用。另一方面，所述硅烷偶合劑的反應(yīng)性高，所以在將其添加到感光性組合物中的情況下，擴(kuò)散作用會(huì)引起在保存中主要是第2官能團(tuán)發(fā)生反應(yīng)或失活，保存期(shelflife)或有效期(potlife)可能會(huì)變短。但是，只要如上所述用硅垸偶合劑預(yù)處理所述無(wú)機(jī)顏料地使用，通過(guò)抑制擴(kuò)散作用，可以大幅度地改善保存期或有效期的問(wèn)題，也可以作為單組分。進(jìn)而，在對(duì)無(wú)機(jī)顏料實(shí)施預(yù)處理的情況下，自由地選擇攪拌條件、溫度條件及催化劑的使用之類的條件，所以與不進(jìn)行預(yù)處理即添加的情況相比，可以顯著地提高硅垸偶合劑的第1官能團(tuán)與無(wú)機(jī)顏料中的活性基的轉(zhuǎn)化率。因而，特別是在非電解金鍍層、非電解軟釬料鍍層、耐濕負(fù)荷試驗(yàn)之類的嚴(yán)酷要求特性中，可以得到非常好的結(jié)果。另外，通過(guò)進(jìn)行預(yù)處理，可以減少硅垸偶合劑的使用量，可以進(jìn)一步改善保存期和有效期。作為所述無(wú)機(jī)顏料，沒有特別限制，可以從公知的無(wú)機(jī)顏料中適當(dāng)選擇，例如可以舉出高嶺土、硫酸鋇、鈦酸鋇、氧化硅粉、微粉狀氧化硅、氣相法二氧化硅、無(wú)定形二氧化硅、結(jié)晶性二氧化硅、熔融二氧化硅、球狀二氧化硅、滑石、粘土、碳酸鎂、碳酸鈣、氧化鋁、氫氧化鋁、云母等。所述無(wú)機(jī)顏料的平均粒徑優(yōu)選不到10pm，更優(yōu)選3pm以下。如果該平均粒徑為10pm以上，則光彌散有時(shí)引起析像度變差。所述感光性組合物中，根據(jù)需要也可以一起添加有機(jī)微粒。作為所述有機(jī)微粒，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出蜜胺樹脂、苯鳥糞胺樹脂、交聯(lián)聚苯乙烯樹脂等。另外，還可以使用平均粒徑0.015pm、吸油量100200mVg左右的由二氧化硅、交聯(lián)樹脂構(gòu)成的球狀多孔微粒等。將所述無(wú)機(jī)顏料和有機(jī)微粒加在一起的添加量，相對(duì)感光性組合物的全部成分，優(yōu)選為160質(zhì)量％。如果該添加量不到1質(zhì)量％，則有時(shí)不能充分地降低線膨脹系數(shù)，如果超過(guò)60質(zhì)量％，則在感光層表面形成固化膜時(shí)，有時(shí)該固化膜的膜質(zhì)變脆，用永久圖案形成布線時(shí)，有時(shí)作為布線的保護(hù)膜的功能被破壞。一光聚合引發(fā)劑一作為所述光聚合引發(fā)劑，使用肟衍生物。另外，根據(jù)需要也可以含有其他光聚合引發(fā)劑。作為所述肟衍生物，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，優(yōu)選至少具有芳香族基的化合物，更優(yōu)選具有下述通式(I)及通式(II)的任意一種表示的部分結(jié)構(gòu)的化合物。所述肟衍生物也可以并用兩種以上。化9<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>通式(II)其中，所述通式(I)及(II)中，Ar表示芳香族基及雜環(huán)基中的任意一種。Yi表示氫原子及一價(jià)取代基中的任意一種。￥2表示脂肪族基、芳香族基、雜環(huán)基、coy3、co2y3及cony4y5中的任意一種。y3、y4及ys表示脂肪族基、芳香族基及雜環(huán)基中的任意一種。m表示l以上的通式(I)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>作為所述Y1，優(yōu)選為氫原子、脂肪族基及芳香族基中的任意一種。作為所述Y2，優(yōu)選脂肪族基、一CO—(脂肪族基)、一CO—(芳香族基)、一co—(雜環(huán)基)、—C02—(脂肪族基)、一co廣(芳香族基)及一co2—(雜環(huán)基)中的任意一種。作為所述Y3及Y4，優(yōu)選為脂肪族基及芳香族基中的任意一種。作為肟衍生物，也可以為用所述通式(I)及通式(II)表示的結(jié)構(gòu)經(jīng)由連結(jié)基結(jié)合多個(gè)而成的化合物。其中，在所述通式(I)及通式(II)中，所述脂肪族基表示可分別具有取代基的垸基、鏈烯基、炔基，所述芳香族基表示可分別具有取代基的芳基、雜環(huán)(hetero環(huán))基，作為所述一價(jià)的取代基，表示鹵素原子、可具有取代基的氨基、垸氧基羰基、羥基、醚基、硫醇基、硫醚基、甲硅烷基、硝基、氰基、可分別具有取代基的烷基、鏈烯基、炔基、芳基、雜環(huán)基。作為所述芳香族基，可以舉出13個(gè)苯環(huán)形成稠環(huán)的基、苯環(huán)與5員不飽和環(huán)形成稠環(huán)的基，作為具體例，可以舉出苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基，其中，優(yōu)選具有苯基及萘基中的任意一種的基，特別優(yōu)選具有萘基的基。另外，這些芳香族基也可以具有取代基，作為這樣的取代基，可以舉出由除了氫原子以外的一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基。例如可以舉出后述的浣基、取代垸基、或作為取代垸基中的取代基表示的基等。另外，作為所述雜環(huán)(hetero環(huán))基，可以舉出吡咯環(huán)基、呋喃環(huán)基、噻吩環(huán)基、吲哚環(huán)基、苯并呋喃環(huán)基、苯并噻吩環(huán)基、吡唑環(huán)基、異噁唑環(huán)基、異噻唑環(huán)基、剛唑環(huán)基、苯并異噁唑環(huán)基、苯并異噻唑環(huán)基、咪唑環(huán)基、噁唑環(huán)基、噻唑環(huán)基、苯并咪唑環(huán)基、苯并噁唑環(huán)基、苯并噻唑環(huán)基、吡啶環(huán)基、喹啉環(huán)基、異喹啉環(huán)基、噠嗪環(huán)基、嘧啶環(huán)基、吡嗪環(huán)基、酞嗪環(huán)基、喹唑啉環(huán)基、喹喔啉環(huán)基、氮丙啶(7-!J-:/)環(huán)基、菲啶環(huán)基、咔唑環(huán)基、嘌呤環(huán)基、吡喃環(huán)基、哌啶環(huán)基、哌嗪環(huán)基、嗎啉環(huán)基、B引哚環(huán)基、fJ引哚嗪環(huán)基、色烯環(huán)基、肉啉環(huán)基、吖徒環(huán)基、吩噻嗪環(huán)基、四唑環(huán)基、三嗪環(huán)基等，其中，特別優(yōu)選呋喃環(huán)基、噻吩環(huán)基、咪唑環(huán)基、噻唑環(huán)基、苯并噻唑環(huán)基、嘧啶環(huán)基、B引哚環(huán)基、吖啶環(huán)基。另外，這些雜環(huán)基也可以具有取代基，作為這樣的取代基，可以舉出除了氫原子以外的1價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基。例如可以舉出后述的烷基、作為取代烷基或取代烷基中的取代基顯示的基。作為所述一價(jià)取代基，優(yōu)選鹵素原子、可具有取代基的氨基、烷氧基羰基、羥基、醚基、硫醇基、硫醚基、甲硅烷基、硝基、氰基、可分別具有取代基的烷基、鏈烯基、炔基、芳基、雜環(huán)基。另外，作為所述由非金屬原子構(gòu)成的l價(jià)取代基，優(yōu)選可分別具有取代基的垸基、鏈烯基、炔基、芳基、雜環(huán)基。作為所述可具有取代基的垸基，可以舉出碳原子數(shù)為120的直鏈狀、分支狀及環(huán)狀的烷基，作為其具體例，可以舉出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二垸基、十三烷基、十六垸基、十八垸基、二十烷基、異丙基、異丁基、仲丁基、叔丁基、異戊基、新戊基、l一甲基丁基、異己基、2—乙基己基、2—甲基己基、環(huán)己基、環(huán)戊基、2—降冰片基。其中，更優(yōu)選碳原子數(shù)為112的直鏈狀、碳原子數(shù)為312的分支狀以及碳原子數(shù)為510的環(huán)狀的垸基。作為所述可具有取代基的烷基的取代基，可以舉出去除氫原子的一價(jià)非金屬原子構(gòu)成的取代基，作為優(yōu)選例，可以舉出鹵素原子(一F、一Br、一C1、一I)、羥基、烷氧基、芳氧基、巰基、烷基硫代基、芳基硫代基、烷基二硫代基、芳基二硫代基、氨基、N—烷基氨基、N，N—二垸基氨基、N—芳基氨基、N，N—二芳基氨基、N—烷基一N—芳基氨基、酰氧基、氨基甲酰氧基、N—垸基氨基甲酰氧基、N—芳基氨基甲酰氧基、N，N—二垸基氨基甲酰氧基、N，N—二芳基氨基甲酰氧基、N—烷基—N—芳基氨基甲酰氧基、垸基硫氧基、芳基硫氧(sulfoxy)基、?；虼Ⅴ０坊—烷基酰胺基、N—芳基酰胺基、脲基、N'—垸基脲基、N'，N'—二垸基脲基、N'—芳基脲基、N'，N'—二芳基脲基、N'—烷基一N'一芳基脲基、N—烷基脲基、N—芳基脲基、N'—烷基一N—垸基脲基、N'一烷基一N-芳基脲基、N，，N,-二烷基一N—烷基脲基、N，，N，—二烷基一N—芳基脲基、N'—芳基一N—垸基脲基、N'—芳基一N—芳基脲基、N，，N，一二芳基一N—烷基脲基、N，，N，一二芳基一N—芳基脲基、N，一垸基一N，一芳基一N—垸基脲基、N，一烷基一N'—芳基一N—芳基脲基、烷氧基羰基氨基、芳氧基羰基氨基、N—烷基一N—垸氧基羰基氨基、N一烷基一N—芳氧基羰基氨基、N—芳基一N—垸氧基羰基氨基、N—芳基一N—芳氧基羰基氨基、甲酸基、?；?、羧基、垸氧羰基、芳氧基羰基、氨基甲?；—烷基氨基甲?；?、N，N—二烷基氨基甲?；—芳基氨基甲?；?、N，N—二芳基氨基甲?；—烷基一N—芳基氨基甲?；⑼榛鶃喕酋；⒎蓟鶃喕酋；?、垸基磺?；?、芳基磺?；?、磺基(一S03H)及其共軛堿(稱為磺酸根(sulfonato)基)、烷氧基磺?；?、芳氧基磺?；喕撬狨；?sulfinamoyl,7少7,于千,少)基、N—垸基亞磺酸酰基、N，N—二烷基亞磺酸?；?、N—芳基亞磺酸?；?、N，N—二芳基亞磺酸?；?、N—垸基一N—芳基亞磺酸?；?、氨磺?；?、N—垸基氨磺?；，N—二烷基氨磺酰基、N—芳基氨磺?；?、N，N—二芳基氨磺?；—烷基一N—芳基氨磺酰基、膦?；?—P03H2)及其共軛堿(稱為膦酸根(phosphonato，沐7沐于卜)基)、二烷基膦?；?一P03(alkyl)2)"alkyl二烷基，以下同"、二芳基膦?；?一PCb(aryl)2)"aryl-芳基，以下同"、烷基芳基膦?；?—P03(alkyl)(aryl))、一烷基膦?；?一P03(alkyl))及其共軛堿(稱為垸基膦酸根基)、一芳基膦酰基(—P03H(aryl))及其共軛堿(稱為芳基膦酸根基)、膦酰氧基(—OP03H2)及其共軛堿(稱為膦酸根氧基)、二垸基膦酰氧基(—OP03H(alkyl)2)、二芳基膦酰氧基(—OP03(aryl)2)、院基芳基膦酰氧基("~OP03(alkyl)(aryl))、一垸基膦酰氧基(—OP03H(alkyl))及其共軛堿(稱為烷基膦酸根氧基)、一芳基膦酰氧基(—OP03H(aryl))及其共軛堿(稱為芳基膦酸根氧基)、氰基、硝基、芳基、鏈烯基、炔基、雜環(huán)基、甲硅烷基等。作為這些取代基中的垸基的具體例，可以舉出上述的垸基，作為所述取代基中的芳基的具體例，可以舉出苯基、聯(lián)苯基、萘基、甲苯基、二甲苯基、米(mesityl)基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氯甲基苯基、羥基苯基、甲氧苯基、乙氧苯基、苯氧苯基、乙酸基苯基、苯甲酸基苯基、甲硫基苯基、苯硫基苯基、甲胺基苯基、二甲胺基苯基、乙酰胺基苯基、羧苯基、甲氧羰基苯基、乙氧苯基羰基、苯氧羰基苯基、N—苯羰基苯基、氰基苯基、磺基苯基、磺酸根苯基、膦酰苯基、膦酸根苯基等。另外，作為所述取代基中的鏈烯基的例子，可以舉出乙烯基、l一丙烯基、l一丁烯基、肉桂基、2—氯一1一乙烯基等，作為所述取代基中的炔基的例子，可以舉出乙炔基、l一丙炔基、l一丁炔基、三甲基甲硅烷基乙炔基等。作為所述取代基中的雜環(huán)基，例如可以舉出吡啶基、哌啶基等。作為所述取代基中的甲硅垸基，可以舉出三甲基甲硅垸基等。在所述取代基中也可以含有酰基(RQ1C0—)，作為該?；?，例如可以舉出該RW為氫原子、上述烷基、芳基等的?；?。作為酰基(rq1co—)的rW，可以舉出氫原子以及所述烷基、芳基。在這些取代基中，進(jìn)而優(yōu)選鹵素原子(一F、—Br、一c1、一I)、烷氧基、芳氧基、烷基硫代基、芳基硫代基、n—垸基氨基、n，n—二垸基氨基、酰氧基、n—烷基氨基甲酰氧基、n—芳基氨基甲酰氧基、酰胺基、甲酸基、?；Ⅳ然?、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氨基甲?；?、n—烷基氨基甲?；?、n，n—二烷基氨基甲?；—芳基氨基甲?；?、n—烷基一n一芳基氨基甲?；?、磺基、磺酸根基、氨磺?；?、n—烷基氨磺酰基、n，n—二烷基氨磺?；—芳基氨磺?；?、n—烷基一n—芳基氨磺?；㈧Ⅴ；?、膦酸根基、二烷基膦?；⒍蓟Ⅴ；⒁煌榛Ⅴ；⑼榛⑺岣?、一芳基膦?；⒎蓟⑺岣?、膦酰氧基、膦酸根氧基、芳基、鏈烯基。另一方面，作為取代垸基中的亞垸基，可以舉出除去所述碳原子數(shù)為120的烷基上的氫原子的任意一個(gè)而成為2價(jià)的有機(jī)殘基的亞烷基，可以優(yōu)選舉出碳原子數(shù)為112的直鏈狀、碳原子數(shù)為312的分支狀以及碳原子數(shù)為510的環(huán)狀的亞垸基。作為這樣通過(guò)組合取代基和亞烷基得到的取代烷基的優(yōu)選具體例，可以舉出氯甲基、溴甲基、2—氯乙基、三氟甲基、甲氧基甲基、異丙氧基甲基、丁氧基甲基、叔丁氧基丁基、甲氧基乙氧基乙基、烯丙氧基甲基、苯氧基甲基、苯氧甲基、甲硫基甲基、甲苯基硫代甲基、吡啶基甲基、四甲基哌啶基甲基、n—乙?；募谆哙せ谆⑷谆坠柰榛谆?、甲氧基乙基、乙胺基乙基、二乙胺基丙基、嗎啉代丙基、乙酰氧基甲基、苯甲酸基甲基、n—環(huán)己基氨基甲酰氧基乙基、n—苯基氨基甲酰氧基乙基、乙酰胺基乙基、n—甲基苯甲?；被?—氧基乙基、2—氧基丙基、羧基丙基、甲氧羰基乙基、烯丙氧基羰基丁基、氯苯氧羰基甲基、氨基甲酰基甲基、n—甲基氨基甲酰基乙基、n，n—二丙基氨基甲?；谆?、n—(甲氧苯基)氨基甲?；一—甲基一n—(磺基苯基)氨基甲?；谆?、磺基丁基、膦磺酸根丁基、氨磺酰丁基、n—乙基氨磺酰甲基、n，n—二丙基氨磺酰丙基、n—甲苯基氨磺酰丙基、n，n—二丙基氨磺酰丙基、n—甲苯基氨磺酰丙基、n—甲基一n—(膦酰苯基)氨磺酰辛基、膦酰丁基、膦酸根已基、二乙基膦酰丁基、二苯基膦酰丙基、甲基膦酰丁基、甲基膦酸根丁基、甲苯基膦酰己基、甲苯基膦酸根己基、膦酰氧基丙基、膦酸根氧基丁基、芐基、苯乙基、0C—甲基芐基、l一甲基一l一苯乙基、對(duì)甲芐基、肉桂基、烯丙基、1—丙烯基甲基、2—丁烯基、2—甲代烯丙基、2—甲基丙烯基甲基、2—丙炔基、2—丁炔基、3—丁炔基等。作為所述芳基，可以舉出13個(gè)苯環(huán)形成稠環(huán)而成的基、苯環(huán)與5員不飽和環(huán)形成稠環(huán)而成的基，作為具體例，可以舉出苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基，其中，更優(yōu)選苯基、萘基。作為所述取代芳基，作為在所述芳基的環(huán)形成碳原子上的取代基，可以使用具有去掉氫原子的一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的取代基。作為優(yōu)選取代基的例子，可以舉出所述的垸基、取代垸基以及在前面作為取代烷基中的取代基顯示的基。作為所述取代芳基的優(yōu)選具體例，可以舉出聯(lián)苯基、甲苯基、二甲苯基、米基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氟苯基、氯甲基苯基、三氟甲基苯基、羥苯基、甲氧苯基、甲氧基乙氧基苯基、烯丙氧基苯基、苯氧苯基、甲硫基苯基、苯硫基苯基、乙胺基苯基、二乙胺基苯基、嗎啉代苯基、乙酰氧基苯基、苯甲酸基苯基、N—環(huán)己基氨基甲酰氧基苯基、N—苯基氨基甲酰氧基苯基、乙酰胺基苯基、N—甲基苯甲?；被交?、羧苯基、甲氧羰基苯基、烯丙氧基羰基苯基、氯苯氧羰基苯基、氨基甲酰基苯基、N—甲基氨基甲酰基苯基、N，N—二丙基氨基甲酰基苯基、N—(甲氧苯基)氨基甲?；交—甲基一N—(磺基苯基)氨基甲?；交?、磺基苯基、磺酸根苯基、氨磺酰苯基、N—乙基氨磺酰苯基、N，N—二丙基氨磺酰苯基、N—甲苯基氨磺酰苯基、N—甲基一N—(膦酰苯基)氨磺酰苯基、膦酰苯基、膦酸根苯基、二乙基膦酰苯基、二苯基膦酰苯基、甲基膦酰苯基、甲基膦酸根苯基、甲苯基膦酰苯基、甲苯基膦酸根苯基、烯丙基苯基、l一丙烯基甲基苯基、2—丁烯基苯基、2—甲基烯丙基苯基、2—甲基丙烯基苯基、2—丙炔基苯基、2—丁炔基苯基、3—丁炔基苯基等。作為所述鏈烯基、所述取代鏈烯基、所述炔基及所述取代炔基(一C(R02)=C(R03)(R04)及一C三C(R05))，可以使用R02、R03、R04、R05為由一價(jià)的非金屬原子構(gòu)成的基的基。作為rq2、rq3、rq4、rGs，優(yōu)選氫原子、鹵素原子、烷基、取代垸基、芳基及取代芳基，作為它們的具體例，可以舉出作為上述例子顯示的基。其中，更優(yōu)選為氫原子、鹵素原子、碳原子數(shù)為110的直鏈狀、分支狀、環(huán)狀的烷基。具體而言，可以舉出乙烯基、1—丙烯基、l一丁烯基、1—戊烯基、1—己烯基、l一辛烯基、1—甲基一l一丙烯基、2—甲基一1一丙烯基、2—甲基一l一丁烯基、2—苯基一l一乙烯基、2—氯一1—乙烯基、乙炔基、l一丙炔基、l一丁炔基、苯基乙炔基等。作為雜環(huán)基，可以舉出作為取代烷基的取代基例示的吡啶基等。作為所述取代氧基(rq60—)，可以使用rq6為去除氫原子的一價(jià)的非金屬原子構(gòu)成的基的取代基。作為優(yōu)選的取代氧基，可以舉出垸氧基、芳氧基、酰氧基、氨基甲酰氧基、n—垸基氨基甲酰氧基、n—芳基氨基甲酰氧基、n，n—二烷基氨基甲酰氧基、n，n—二芳基氨基甲酰氧基、n—烷基一n—芳基氨基甲酰氧基、垸基硫氧基、芳基硫氧基、膦酰氧基、膦酸根氧基。作為它們中的垸基以及芳基，可以舉出所述作為垸基、取代烷基以及芳基、取代芳基顯示的基。另外，作為酰氧基中的?；?rq7co一)，可以舉出r^為作為前面的例子舉出的烷基、取代垸基、芳基以及取代芳基的酰基。在這些取代基中，更優(yōu)選烷氧基、芳氧基、酰氧基、芳基硫氧基。作為優(yōu)選的取代氧基的具體例，可以舉出甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧基、丁氧基、戊氧基、己氧基、十二垸氧基、芐氧基、烯丙氧基、苯乙氧基、羧基乙氧基、甲氧羰基乙氧基、乙氧羰基乙氧基、甲氧基乙氧基、苯氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、嗎啉代乙氧基、嗎啉代丙氧基、烯丙氧基乙氧基乙氧基、苯氧基、甲苯氧基、二甲苯氧基、菜氧基、米氧基、異丙苯氧基、甲氧基苯氧基、乙氧基苯氧基、氯苯氧基、溴苯氧基、乙酰氧基、苯甲酸基、萘氧基、苯磺酰氧基、膦酰氧基、膦酸根氧基等。作為也含有酰胺基的取代氨基(rq8nh—、(rq9)(rq1q)n—)，可以使用rq8、rq9、rq^為去除氫原子的一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的取代基。其中，rq9、r,也可以結(jié)合形成環(huán)。作為取代氨基的優(yōu)選例，可以舉出n一烷基氨基、n，n—二垸基氨基、n—芳基氨基、n，n—二芳基氨基、N—烷基一N—芳基氨基、酰胺(7、乂々7$/)基、N—垸基酰胺基、N一芳基酰胺基、脲基、N，一烷基脲基、N'，N'—二烷基脲基、N'—芳基脲基、N'，N'—二芳基脲基、N'—烷基一N'—芳基脲基、N—烷基脲基、N—芳基脲基、N'—垸基一N—垸基脲基、N'—垸基一N—芳基脲基、N'，N，一二烷基一N—烷基脲基、N，一垸基一N'—芳基脲基、N'，N，一二烷基一N-烷基脲基、N，，N，—二烷基一N，一芳基脲基、N，一芳基一N-烷基脲基、N，一芳基一N—芳基脲基、N，，N，一二芳基一N—垸基脲基、N，，N'—二芳基一N—芳基脲基、N'—烷基一N'—芳基一N—垸基脲基、N'—烷基一N'—芳基一N—芳基脲基、垸氧羰基氨基、芳氧羰基氨基、N—垸基一N—烷氧羰基氨基、N—垸基一N—垸氧羰基氨基、N—芳基一N—烷氧羰基氨基、N—芳基一N—芳氧羰基氨基。作為它們中的烷基、芳基，可以舉出上述的作為烷基、取代垸基以及芳基、取代芳基顯示的基，酰胺基、N—烷基酰胺基、N—芳基酰胺基中的?；?RD7CO—)的R"如上所述。其中，更優(yōu)選N—垸基氨基、N，N—二垸基氨基、N—芳基氨基、酰胺基。作為取代氨基的優(yōu)選具體例，可以舉出甲胺基、乙胺基、二乙胺基、嗎啉代基、哌啶基、吡咯代基、苯胺基、苯甲酰胺基、乙酰胺基等。作為取代磺?；?RQ11—S02—)，可以使用RG"為由一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的取代基。作為更優(yōu)選的例子，可以舉出烷基磺酰基、芳基磺?；?。作為它們中的烷基、芳基，可以舉出上述的作為垸基、取代垸基以及芳基、取代芳基顯示的基。作為這樣的取代磺?；木唧w例，可以舉出丁基磺酰基、苯磺?；?、氯苯基磺酰基等。如上所述，磺酸根(sulfonato，^》'于、于卜)基(一SOD是指磺基(sulpho)基(一S03H)的共軛堿陰離子基，通常優(yōu)選與對(duì)陽(yáng)離子(対陽(yáng)^才y)—起使用。作為這樣的對(duì)陽(yáng)離子，可以舉出通常已知的對(duì)陽(yáng)離子，即各種鑰類(銨類、锍類、鱗類、碘鐵類、疊氮鎗(7-二々厶)類等)以及金屬離子類(Na+、K+、Ca2+、ZnD。作為取代羰基(RG13—CO—)，可以使用R^為由一價(jià)非金屬原子構(gòu)成的基的取代基。作為取代羰基的優(yōu)選例，可以舉出甲?；?、?；?、羧基、烷氧羰基、芳氧羰基、氨基甲?；?、N—烷基氨基甲?；，N—二烷基氨基甲?；—芳基氨基甲?；?、N，N—二芳基氨基甲?；?、N—烷基一N'—芳基氨基甲酰基。作為它們中的烷基、芳基，可以舉出上述作為烷基、取代烷基以及芳基、取代芳基顯示的基。其中，作為更優(yōu)選的取代羰基，可以舉出甲酰基、?；?、羧基、烷氧羰基、芳氧羰基、氨基甲?；?、N—烷基氨基甲酰基、N，N—二烷基氨基甲?；?、N—芳基氨基甲酰基，作為進(jìn)而更優(yōu)選的取代羰基，可以舉出甲酰基、酰基、烷氧羰基以及芳氧羰基。作為優(yōu)選的取代羰基的具體例，可以舉出甲酰基、乙?；?、苯甲?；?、羧基、甲氧羰基、乙氧羰基、烯丙氧基羰基、二甲胺基苯基乙烯基羰基、甲氧羰基甲氧羰基、N—甲基氨基甲酰基、N—苯基氨基甲酰基、N，N—二乙基氨基甲?；?、嗎啉代羰基等。作為取代亞磺?；?R^—SO—)，可以使用R^為由一價(jià)非金屬原子構(gòu)成的基的取代基。作為優(yōu)選例，可以舉出烷基亞磺?；⒎蓟鶃喕酋；喕酋；—垸基亞磺酰基、N，N—二垸基亞磺?；?、N—芳基亞磺?；?、N,N—二芳基亞磺?；?、N—垸基一N—芳基亞磺?；?。作為它們中的垸基、芳基，可以舉出所述作為烷基、取代烷基以及芳基、取代芳基顯示的基。其中，更優(yōu)選垸基亞磺?；?、芳基亞磺?；?。作為這樣的取代亞磺?；木唧w例，可以舉出己基亞磺酰基、芐基亞磺酰基、甲苯基亞磺酰基等。取代膦酰基是指膦?；系囊粋€(gè)或兩個(gè)羥基被其他有機(jī)氧基取代的基，作為優(yōu)選例，可以舉出上述的二烷基膦?；⒍蓟Ⅴ；?、垸基芳基膦?；?、一垸基膦酰基、一芳基膦酰基。其中，更優(yōu)選二烷基膦?；约岸蓟Ⅴ；?。作為這樣的具體例，可以舉出二乙基膦?；?、二丁基膦?；?、二苯基膦酰基等。如上所述，膦酸根基(—P03H2—、—P03HT)是指膦?；?—P03H2)的來(lái)源于酸第一離解或酸第二離解的共軛堿陰離子基。通常優(yōu)選與對(duì)陽(yáng)離子一起使用。作為這樣的對(duì)陽(yáng)離子，可以舉出通常已知的對(duì)陽(yáng)離子，即各種鏺類(銨類、锍類、鱗類、碘鎗類、疊氮鐵(7-二夕厶)類等)以及金屬離子類(Na+、K+、Ca2+、Zn"等)。取代膦酸根基是指上述的取代膦?；袑⒁粋€(gè)羥基取代成有機(jī)氧基的基的共軛堿陰離子基，作為具體例，可以舉出上述的一垸基膦?；?一P03H(alkyl))、一芳基膦酰基(—P03H(aryl))的共軛堿。作為所述肟衍生物，更優(yōu)選用下述通式(m)及通式(iv)的任意一個(gè)表示的化合物。[化ii]通式(in)其中，所述通式(III)及通式(IV)中，Run表示與通式(I)及通式(II)中的￥1相同的意義，Y^表示與通式(I)及通式(II)中的Y2相同的意義。作為所述Run，更優(yōu)選為氫原子及脂肪族基中的任意一個(gè)，特別優(yōu)選為碳原子數(shù)為110的脂肪族基。作為所述脂肪族基，例如可以舉出甲基、乙基、丙基、辛基、烯丙基等。作為所述Y12，特別優(yōu)選為一CO—(脂肪族基)。作為所述￥12中的脂肪族基，優(yōu)選碳原子數(shù)為110的脂肪族基。具體而言，例如優(yōu)選甲基、乙基、丙基、丁基、辛基、環(huán)己基、芐基等。作為所述肟衍生物的其他具體例，例如可以舉出在特開2001—233842號(hào)公報(bào)、特表2004—534797號(hào)公報(bào)以及特表2002—519732號(hào)公報(bào)等中公開的化合物以及下述結(jié)構(gòu)式表示的化合物等?；?2<formula>formulaseeoriginaldocumentpage23</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula>上述結(jié)構(gòu)式中，R表示n—C3H7、n—C8H17、樟腦以及p—CH3C6H4中的任意一種?；痩5<formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula>上述結(jié)構(gòu)式中，R表示n—C3H7、以及p—CH3C6H4中的任意一種?；?6<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage26</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage27</formula>作為所述肟化合物，也可以優(yōu)選使用下述通式(X)表示的肟化合物?；?9<formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula>通式(X)另外，所述通式(X)中，R^表示?；?、烷氧羰基以及芳氧基羰基中的任意一種，這些取代基也可以進(jìn)一步具有取代基。(x表示0以上的任意一個(gè)整數(shù)。R^表示取代基，(i為2以上的情況下，該R^可以相同或不同。Ar表示芳香族環(huán)及雜芳香族環(huán)的任意一種。A表示4、5、6及7員環(huán)的任意一種，這些環(huán)也可以分別含有雜原子。在所述通式(X)表示的肟化合物中，更優(yōu)選為下述通式(XI)表示的化合物，特別優(yōu)選為下述通式(xn)及(xm)的任意一種表示的化合物?；?0<formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula>通式(XI)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula>其中，所述通式(XI)中，R1W)、R2QQ、a及Ar表示與通式(X)中的相同的意義。X表示O及S的任意一種。A表示5及6員環(huán)的任意一種?；?1<formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula>通式(XII)化2228其中，所述通式(xii)及通式(xin)中，r^也可以具有取代基，表示烷基。l表示06的任意一個(gè)整數(shù)。R^表示垸基、烷氧基、芳氧基、鹵素原子、磺?；约磅Ｑ趸娜我庖环N，l為2以上的情況下，該R,可以相同或不同。X及A表示與通式(XI)相同的意義。所述通式(X)及(XI)中，作為用所述R^表示的?；梢詾橹咀?、芳香族以及雜環(huán)的任意一種，也可以進(jìn)而具有取代基。作為所述脂肪族的?；?，例如可以舉出乙?；⒈；?、丁?；⒓乎；⒐秕；?、苯氧基乙?；?、氯乙?；?。作為所述芳香族的?；?，例如可以舉出苯甲酰基、萘甲?；?、甲氧苯甲酰基、硝基苯甲?；?。作為所述雜環(huán)的?；?，例如可以舉出呋喃酰(fiiranoyl)基、硫代苯?；?thiophenoyl)等。作為所述取代基，例如優(yōu)選為烷氧基、芳氧基以及鹵素原子的任意一種。作為所述?；?，優(yōu)選總碳原子數(shù)為230的基，更優(yōu)選總碳原子數(shù)為220的基，特別優(yōu)選總碳原子數(shù)為216的基。作為這樣的?；?，例如可以舉出乙?；?、丙酰基、甲基丙酰基、丁?；⑷谆阴；?、己酰基、環(huán)己烷羰基、辛酰基、癸?；?、十二烷?；⑹僳；?、芐基羰基、苯氧基乙?；?、2—乙基己?；?、氯乙?；⒈郊柞；?duì)甲氧基苯甲?；?、2，5—二丁氧基苯甲?；一萘?；?、2—萘酰基、吡啶羰基、呋喃?；?、硫代苯?；?、甲基丙烯?；⒈；?。所述通式(X)及(XI)中，作為用所述R^表示的垸氧基羰基，也可以具有取代基，優(yōu)選為總碳原子數(shù)為230的垸氧羰基，更優(yōu)選為總碳原子數(shù)為220的烷氧羰基，特別優(yōu)選為總碳原子數(shù)為26的烷氧羰基。作為這樣的烷氧羰基，例如可以舉出甲氧羰基、乙氧羰基、異丙氧基羰基、丁氧基羰基、異丁氧基羰基、芳氧基羰基、辛氧基羰基、十二烷氧基羰基、所述通式(X)及(XI)中，作為用所述R^表示的芳氧基羰基，也可以具有取代基，優(yōu)選為總碳原子數(shù)為730的垸氧羰基，更優(yōu)選總碳原子數(shù)為720，特別優(yōu)選總碳原子數(shù)為716。作為這樣的芳氧羰基，例如可以舉出苯氧基羰基、2—萘氧基羰基、對(duì)甲氧基苯氧基羰基、2，5—二乙氧基苯氧基羰基、對(duì)氯苯氧基羰基、對(duì)硝基苯氧基羰基、對(duì)氰基苯氧所述通式(X)及(XI)中，作為用R^表示的取代基，沒有特別限制，例如可以舉出垸基、垸氧基、芳氧基、鹵素原子、磺酰基、酰氧基、硝基、酰胺基等。其中，優(yōu)選為烷基、烷氧基、芳氧基、鹵素原子、磺?；磅Ｑ趸娜我庖环N。在此，作為所述用通式(X)表示的肟化合物的具體例，可以舉出下述結(jié)構(gòu)式(1)(54)表示的化合物，在本發(fā)明中，不被這些所限定。化23<formula>formulaseeoriginaldocumentpage30</formula>化24<formula>formulaseeoriginaldocumentpage30</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage31</formula>一一其他光聚合引發(fā)劑一一作為所述其他光聚合引發(fā)劑，只要具有引發(fā)所述聚合性化合物的聚合的能力，則沒有特別限制，可以從公知的光聚合引發(fā)劑中適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選對(duì)紫外線區(qū)域到可見的光線具有感光性的光聚合引發(fā)劑，可以為與被光激發(fā)的增感劑發(fā)生某種作用、產(chǎn)生活性自由基的活化劑，也可以為對(duì)應(yīng)單體的種類而引發(fā)陽(yáng)離子聚合的引發(fā)劑。另外，所述光聚合引發(fā)劑優(yōu)選至少含有一種在約300800nm的范圍內(nèi)至少具有約50的摩爾消光系數(shù)的成分。所述波長(zhǎng)更優(yōu)選330500nm。作為所述其他光聚合引發(fā)劑，例如可以舉出鹵代烴衍生物(例如具有三嗪骨架的鹵化烴衍生物、具有噁二唑骨架的鹵化烴衍生物等)、六芳基聯(lián)咪唑、有機(jī)過(guò)氧化物、硫代化合物、酮化合物、吖啶化合物、芳環(huán)烯金屬衍生物等。具體而言，可以舉出在特開2005—258431號(hào)公報(bào)中記載的的靈敏度、保存性及感光層與基板的粘附性等觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選酮化合物及吖啶化合物。所述其他光聚合引發(fā)劑可以單獨(dú)使用一種或并用兩種以上。所述光聚合引發(fā)劑在所述感光性組合物中的固體成分含量?jī)?yōu)選為0.130質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.520質(zhì)量Q/^，特別優(yōu)選為0.515質(zhì)量％。一增感劑一作為所述感光性組合物，也可以含有增感劑。在對(duì)所述感光層進(jìn)行曝光、顯影的情況下，從提高在該曝光及顯影后不使該感光層需要曝光的部分的厚度發(fā)生變化的所述光的最小能量(靈敏度)的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選并用所述增感劑。作為所述增感劑，可以根據(jù)所述光照射機(jī)構(gòu)(例如可見光線或紫外光及可見光激光)來(lái)適當(dāng)選擇。所述增感劑在活性能量線的作用下成為激發(fā)狀態(tài)，可以通過(guò)與其他物質(zhì)(例如自由基產(chǎn)生劑、酸產(chǎn)生劑等)相互作用(例如能量移動(dòng)、電子移動(dòng)等)，產(chǎn)生自由基或酸等有用基。作為所述增感劑，至少含有一種從縮環(huán)系化合物、氨基苯基甲酮系化合物、多環(huán)芳香族類、具有酸性環(huán)的化合物、具有堿性環(huán)的化合物、具有熒光增白劑環(huán)的化合物中選擇的至少一種，根據(jù)需要也可以含有其他增感劑。作為增感劑，從提高靈敏度的點(diǎn)出發(fā)，進(jìn)而優(yōu)選為雜縮環(huán)系化合物、氨基二苯甲酮系化合物，特別優(yōu)選為雜縮環(huán)系化合物?！豢s環(huán)系化合物一一在所述例示化合物中，作為芳香族環(huán)或雜環(huán)發(fā)生縮環(huán)的化合物(縮環(huán)系化合物)，優(yōu)選為雜縮環(huán)系化合物。所述雜縮環(huán)系化合物是指在環(huán)中具有雜元素的多環(huán)式化合物，在所述環(huán)中，優(yōu)選含有氮原子。作為所述雜縮環(huán)系化合物，例如可以舉出雜縮環(huán)系酮化合物。在所述雜縮環(huán)系化合物中，更優(yōu)選吖啶酮化合物及噻噸酮化合物，其中特別優(yōu)選噻噸酮化合物。作為所述雜縮環(huán)系酮化合物，具體而言，例如可以舉出吖啶酮、氯吖啶酮、N—甲基吖啶酮、N—丁基吖啶酮、N—丁基一氯吖啶酮等吖啶酮化合物；噻噸酮、異丙基噻噸酮、2，4一二乙基噻噸酮、l一氯一4一丙氧基噻噸酮、QuantacureQTX(商品名)等噻噸酮化合物；3—(2—苯并呋喃甲?；?一7—二乙基氨基香豆素、3—(2—苯并呋喃甲?；?一7—(1一吡咯烷基)香豆素、3—苯甲酰一7—二乙基氨基香豆素、3—(2—甲氧基苯甲酰)一7—二乙基氨基香豆素、3—(4—二甲基氨基苯甲酰)—7一二乙基氨基香豆素、3，3，一羰基雙(5，7—二一正丙氧基香豆素)、3，3，—羰基雙(7—二乙基氨基香豆素)、3—苯甲酰一7—甲氧基香豆素、3一(2—呋喃甲酰)一7—二乙基氨基香豆素、3—(4一二乙基氨基肉桂?；?一7—二乙基氨基香豆素、7—甲氧基一3—(3—吡啶基羰基)香豆素、3—苯甲酰一5，7—二丙氧基香豆素、7—苯并三唑一2—?；愣顾?、7一二乙基氨基一4一甲基香豆素、此外還有特開平5—19475號(hào)、特開平7—271028號(hào)、特開2002—363206號(hào)、特開2002—363207號(hào)、特開2002一363208號(hào)、特開2002—363209號(hào)公報(bào)等中記載的香豆素化合物等香豆素類等。另外，還可以舉出公知的多環(huán)芳香族類(例如芘、茈、9，IO—苯并菲)、氧雜蒽類(例如熒光素、四溴螢光素、四碘熒光素、若丹明B、孟加拉玫瑰紅)、花青苷類(例如吲哚羰花青、硫代羰花青、氧雜羰花青)、部花青類(例如部花青、羰部花青)、噻嗪類(例如硫堇、亞甲藍(lán)、甲苯胺藍(lán))、蒽醌類(例如蒽醌)、斯夸琳(^夕7U々^)類(例如斯夸琳)等。上述增感劑的含量，相對(duì)所述感光性組合物的全部固體成分，優(yōu)選為0.014質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.022質(zhì)量％，特別優(yōu)選為0.051質(zhì)量％。該含量如果不到0.01質(zhì)量％，那么有時(shí)靈敏度降低，如果超過(guò)4質(zhì)量。％，那么圖案的形狀有時(shí)會(huì)惡化。所述感光性組合物中的所述增感劑與光聚合引發(fā)劑的含量的質(zhì)量比優(yōu)選為[(增感劑)/(肟衍生物)]=1/0.11/100，更優(yōu)選為1/11/50。所述增感劑的含量與所述光聚合引發(fā)劑的含量的質(zhì)量比如果在上述范圍外，則靈敏度可能會(huì)降低，而且靈敏度的經(jīng)時(shí)變化可能會(huì)惡化。一粘合劑一作為所述粘合劑，優(yōu)選在側(cè)鏈含有酸性基和乙烯性不飽和鍵的高分子化合物。作為所述酸性基，可以舉出羧基、磷酸基、磺酸基等，而從獲得原料的點(diǎn)的出發(fā)，優(yōu)選羧基。所述粘合劑優(yōu)選為對(duì)水不溶而且在堿性水溶液下溶脹或溶解的化合另外，作為所述粘合劑，在分子內(nèi)可以使用至少一個(gè)可以聚合的雙鍵例如(甲基)丙烯酸酯基或(甲基)丙烯酰胺基等丙烯酸基，羧酸的乙烯酯、乙烯醚、烯丙醚等的各種聚合性雙鍵。更具體而言，作為酸性基，可以舉出向含有作為酸性基的羧基的丙烯酸樹脂，加成含環(huán)狀醚基的聚合性化合物例如縮水甘油基丙烯酸酯、縮水甘油基甲基丙烯酸酯、桂皮酸等不飽和脂肪酸的縮水甘油酸酯或脂環(huán)式環(huán)氧基(例如在同一分子中具有環(huán)己烯氧化物等的環(huán)氧基)和(甲基)丙烯?；幕衔锏群h(huán)氧基的聚合性化合物得到的化合物等。另外，還可以舉出向含有酸性基及羥基的丙烯酸樹脂加成異氰酸酯(甲基)丙烯酸乙酯等含異氰酸酯基的聚合性化合物得到的化合物，向含有酐基的丙烯酸樹脂加成(甲基)丙烯酸羥基烷基酯等含有羥基的聚合性化合物得到的化合物等。另外，還可以舉出共聚合縮水甘油基甲基丙烯酸酯等含環(huán)狀醚基的聚合物化合物和(甲基)丙烯?；榛サ纫蚁┫祮误w，向側(cè)鏈的環(huán)氧基加成(甲基)丙烯酸得到的化合物等。進(jìn)而，還可以舉出具有環(huán)氧化合物來(lái)源的骨架而且在分子中含有雙鍵和羧基的化合物。這樣的化合物例如可以用使多官能環(huán)氧化合物與含羧基單體發(fā)生反應(yīng)，進(jìn)而使多元酸酐加成的方法等得到。這些例子可以舉出專利2763775號(hào)公報(bào)、特開平3—172301號(hào)公報(bào)、特開2000—232264號(hào)公報(bào)、特開平1—54390號(hào)公報(bào)等。其中，所述粘合劑更優(yōu)選從向高分子化合物的酸性基的一部分加成含環(huán)狀醚基(例如部分結(jié)構(gòu)具有環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁烷基的基)聚合性化合物得到的高分子化合物以及向高分子化合物的環(huán)狀醚基的一部分或全部加成含羧基聚合性化合物得到的高分子化合物的任意一種中選擇的高分子化合物。此時(shí)，酸性基與具有環(huán)狀醚基的化合物的加成反應(yīng)優(yōu)選在催化劑存在下實(shí)施，特別優(yōu)選該催化劑為從酸性化合物及中性化合物中選擇的催化劑。其中，從感光性組合物的經(jīng)時(shí)顯影穩(wěn)定性的點(diǎn)出發(fā)，粘合劑優(yōu)選為在側(cè)鏈含有羧基、可含有雜環(huán)的芳香族基、且在側(cè)鏈含有乙烯性不飽和鍵的高分子化合物。_一可含有雜環(huán)的芳香族基一一作為所述可含有雜環(huán)的芳香族基(以下有時(shí)簡(jiǎn)稱為"芳香族基"。)，例如可以舉出苯環(huán)、由23個(gè)苯環(huán)形成稠環(huán)的基、苯環(huán)與5員不飽和環(huán)形成稠環(huán)的基等。作為所述芳香族基的具體例，可以舉出苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基、吲哚環(huán)基、苯并呋喃環(huán)基、苯并噻吩環(huán)基、吡唑環(huán)基、異噁唑環(huán)基、異噻唑環(huán)基、(J引唑環(huán)基、苯并異噁唑環(huán)基、苯并異噻唑環(huán)基、咪唑環(huán)基、噁唑環(huán)基、噻唑環(huán)基、苯并咪唑環(huán)基、苯并噁唑環(huán)基、苯并噻唑環(huán)基、妣啶環(huán)基、喹啉環(huán)基、異喹啉環(huán)基、噠嗪環(huán)基、嘧啶環(huán)基、妣嗪環(huán)基、酞嗪環(huán)基、喹唑啉環(huán)基、喹喔啉環(huán)基、氮丙啶環(huán)基、菲啶環(huán)基、咔唑環(huán)基、嘌呤環(huán)基、吡喃環(huán)基、哌啶環(huán)基、哌嗪環(huán)基、吲哚環(huán)基、吲哚嗪環(huán)基、色烯環(huán)基、肉啉環(huán)基、吖啶環(huán)基、吩噻嗪環(huán)基、四唑環(huán)基、三嗪環(huán)基等，其中，優(yōu)選具有烴芳香族基，更優(yōu)選苯基、萘基。所述芳香族基也可以具有取代基，作為所述取代基，例如可以舉出鹵素原子、可具有取代基的氨基、垸氧羰基、羥基、醚基、硫醇基、硫醚基、甲硅烷基、硝基、氰基、可分別具有取代基的垸基、鏈烯基、炔基、芳基、雜環(huán)基等。作為所述垸基，例如可以舉出碳原子數(shù)為120的直鏈狀的烷基、分支狀的烷基、環(huán)狀的烷基等。作為所述烷基的具體例，可以舉出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二垸基、十三烷基、十六垸基、十八垸基、二十垸基、異丙基、異丁基、仲丁基、叔丁基、異戊基、新戊基、l一甲基丁基、異己基、2—乙基己基、2—甲基己基、環(huán)己基、環(huán)戊基、2—降冰片基等。其中，更優(yōu)選碳原子數(shù)為112的直鏈狀的烷基、碳原子數(shù)為312的分支狀的烷基以及碳原子數(shù)為510的環(huán)狀的垸基。作為所述垸基可具有的取代基，例如可以舉出去除氫原子的一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基，作為這樣的取代基，例如可以舉出鹵素原子(一F、一Br、一C1、一I)、羥基、烷氧基、芳氧基、巰基、烷基硫代基、芳基硫代基、垸基二硫代基、芳基二硫代基、氨基、N—垸基氨基、N，N—二垸基氨基、N—芳基氨基、N，N—二芳基氨基、N—烷基一N—芳基氨基、酰氧基、氨基甲酰氧基、N—烷基氨基甲酰氧基、N—芳基氨基甲酰氧基、N，N—二垸基氨基甲酰氧基、N，N—二芳基氨基甲酰氧基、N—烷基一N—芳基氨基甲酰氧基、垸基硫氧基、芳基硫氧基、?；虼?、酰胺基、N—垸基酰胺基、N—芳基酰胺基、脲基、N，一烷基脲基、N'，N'—二垸基脲基、N，一芳基脲基、N'，N'—二芳基脲基、N'—烷基—N'—芳基脲基、N—垸基脲基、N—芳基脲基、N'—垸基一N—烷基脲基、N，一烷基一N—芳基脲基、N，，N，—二垸基一N—烷基脲基、N'，N'—二烷基一N一芳基脲基、N'—芳基一N—垸基脲基、N'—芳基一N—芳基脲基、N'，N，一二芳基一N—烷基脲基、N，，N'—二芳基一N—芳基脲基、N'—烷基一N，一芳基一N—烷基脲基、N，一烷基一N'—芳基一N—芳基脲基、垸氧基羰基氨基、芳氧基羰基氨基、N—烷基一N—烷氧基羰基氨基、N—烷基一N—芳氧基羰基氨基、N—芳基一N—垸氧基羰基氨基、N—芳基一N一芳氧基羰基氨基、甲酸基、?；Ⅳ然③豸驶?、芳氧基羰基、氨基甲?；—垸基氨基甲?；?、N，N—二垸基氨基甲酰基、N—芳基氨基甲?；?、N，N—二芳基氨基甲酰基、N—垸基一N—芳基氨基甲酰基、烷基亞磺酰基、芳基亞磺酰基、烷基磺?；?、芳基磺酰基、磺基(—S03H)及其共軛堿(稱為磺酸根基)、烷氧基磺酰基、芳氧基磺酰基、亞磺?；—烷基亞磺?；?、N，N—二垸基亞磺?；?、N—芳基亞磺?；，N一二芳基亞磺?；?、N—垸基一N—芳基亞磺?；?、氨磺酰基、N—垸基氨磺?；?、N，N—二垸基氨磺?；—芳基氨磺?；，N—二芳基氨磺?；?、N—烷基一N—芳基氨磺酰基、膦酰基(—P03H2)及其共軛堿(稱為膦酸根基)、二烷基膦?；?—P03(alkyl)2)"以下"alkyl"是指垸基。"、二芳基膦酰基(—P03(aryl)2)"以下"aryl"是指芳基。"、烷基芳基膦?；?—P03(alkyl)(aryl))、一垸基膦?；?—P03(alkyl))及其共軛堿(稱為垸基膦酸根基)、一芳基膦?；?—P03H(aryl))及其共軛堿(稱為芳基膦酸根基)、膦酰氧基(—OP03H2)及其共軛堿(稱為膦酸根氧基)、二烷基膦酰氧基(—OP03H(alkyl)2)、二芳基膦酰氧基(—OP03(aryl)2)、垸基芳基膦酰氧基(—OP03(alkyl)(aryl))、一垸基膦酰氧基(—OP03H(alkyl))及其共軛堿(稱為垸基膦酸根氧基)、一芳基膦酰氧基(—OP03H(aryl))及其共軛堿(稱為芳基膦酸根氧基)、氰基、硝基、芳基、鏈烯基、炔基、雜環(huán)基、甲硅烷基等。作為這些取代基中的烷基的具體例，可以舉出上述的烷基。作為所述取代基中的芳基的具體例，可以舉出苯基、聯(lián)苯基、萘基、甲苯基、二甲苯基、米基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氯甲基苯基、羥基苯基、甲氧苯基、乙氧苯基、苯氧苯基、乙酸基苯基、苯甲酸基苯基、甲硫基苯基、苯硫基苯基、甲胺基苯基、二甲胺基苯基、乙酰胺基苯基、羧苯基、甲氧羰基苯基、乙氧苯基羰基、苯氧羰基苯基、N—苯羰基苯基、氰基苯基、磺基苯基、磺酸根苯基、膦酰苯基、膦酸根苯基等。作為所述取代基中的鏈烯基的具體例，可以舉出乙烯基、l一丙烯基、l一丁烯基、肉桂基、2—氯一1一乙烯基等。作為所述取代基中的炔基的具體例，可以舉出乙炔基、l一丙炔基、1一丁炔基、三甲基甲硅烷基乙炔基等。作為所述取代基中的酰基(RQ1CO—)的RQ1，可以舉出氫原子、所述的烷基、芳基等。在這些取代基中，優(yōu)選鹵素原子(一F、一Br、一C1、一I)、烷氧基、芳氧基、垸基硫代基、芳基硫代基、N—烷基氨基、N，N—二垸基氨基、酰氧基、N—烷基氨基甲酰氧基、N—芳基氨基甲酰氧基、酰胺基、甲酸基、?；?、羧基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氨基甲?；?、N—烷基氨基甲?；?、N，N—二烷基氨基甲?；?、N—芳基氨基甲?；?、N—烷基一N一芳基氨基甲?；?、磺基、磺酸根基、氨磺?；—烷基氨磺?；?、N，N—二烷基氨磺?；?、N—芳基氨磺?；?、N—垸基一N—芳基氨磺?；?、膦?；㈧⑺岣?、二垸基膦?；?、二芳基膦酰基、一烷基膦酰基、垸基膦酸根基、一芳基膦?；?、芳基膦酸根基、膦酰氧基、膦酸根氧基、芳基、鏈烯基等。另外，作為所述取代基中的雜環(huán)基，例如可以舉出吡啶基、哌啶基等，作為所述取代基中的甲硅烷基，可以舉出三甲基甲硅烷基等。另一方面，作為取代垸基中的亞烷基，例如可以舉出除去所述碳原子數(shù)為120的垸基上的氫原子的任意一個(gè)而成為2價(jià)的有機(jī)殘基的亞烷基，可以優(yōu)選舉出碳原子數(shù)為112的直鏈狀的亞烷基、碳原子數(shù)為312的分支狀的亞烷基以及碳原子數(shù)為510的環(huán)狀的亞烷基等。作為這樣通過(guò)組合取代基和亞烷基得到的取代垸基的優(yōu)選具體例，可以舉出氯甲基、溴甲基、2—氯乙基、三氟甲基、甲氧基甲基、異丙氧基甲基、丁氧基甲基、叔丁氧基丁基、甲氧基乙氧基乙基、烯丙氧基甲基、苯氧基甲基、苯氧甲基、甲硫基甲基、甲苯基硫代甲基、吡啶基甲基、四甲基哌啶基甲基、N—乙酰基四甲基哌啶基甲基、三甲基甲硅烷基甲基、甲氧基乙基、乙胺基乙基、二乙胺基丙基、嗎啉代丙基、乙酰氧基甲基、苯甲酸基甲基、N—環(huán)己基氨基甲酰氧基乙基、N—苯基氨基甲酰氧基乙基、乙酰胺基乙基、N—甲基苯甲?；被?、2—氧基乙基、2—氧基丙基、羧基丙基、甲氧羰基乙基、烯丙氧基羰基丁基、氯苯氧羰基甲基、氨基甲?；谆—甲基氨基甲?；一?、N，N—二丙基氨基甲?；谆—(甲氧苯基)氨基甲?；一?、N—甲基一N—(磺基苯基)氨基甲酰基甲基、磺基丁基、磺酸根丁基、氨磺酰丁基、N—乙基氨磺酰甲基、N，N—二丙基氨磺酰丙基、N—甲苯基氨磺酰丙基、N，N—二丙基氨磺酰丙基、N—甲苯基氨磺酰丙基、N—甲基一N—(膦酰苯基)氨磺酰辛基、膦酰丁基、膦酸根已基、二乙基膦酰丁基、二苯基膦酰丙基、甲基膦酰丁基、甲基膦酸根丁基、甲苯基膦酰膦酸根己基、甲苯基膦酸根己基、膦酰氧基丙基、膦酸根氧基丁基、芐基、苯乙基、a—甲基芐基、1一甲基一l一苯乙基、對(duì)甲芐基、肉桂基、烯丙基、l一丙烯基甲基、2—丁烯基、2—甲基烯丙基、2—甲基丙烯基甲基、2—丙炔基、2—丁炔基、3—丁炔基等。作為所述芳基，例如可以舉出苯環(huán)、23個(gè)苯環(huán)形成稠環(huán)而成的基、苯環(huán)與5員不飽和環(huán)形成稠環(huán)而成的基等。作為芳基的具體例，例如可以舉出苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基等。其中，更優(yōu)選苯基、萘基。所述烷基也可以具有取代基，作為具有這樣的取代基的芳基(以下有時(shí)也稱為"取代芳基"。)，例如作為在所述芳基的環(huán)形成碳原子上的取代基，可以舉出具有去掉氫原子的一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的取代基。作為所述芳基可具有的取代基，例如可以舉出所述的烷基、取代垸基、作為所述烷基可具有的取代基顯示的基。作為所述取代芳基的優(yōu)選具體例，可以舉出聯(lián)苯基、甲苯基、二甲苯基、米基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氟苯基、氯甲基苯基、三氟甲基苯基、羥苯基、甲氧苯基、甲氧基乙氧基苯基、烯丙氧基苯基、苯氧苯基、甲硫基苯基、苯硫基苯基、乙胺基苯基、二乙胺基苯基、嗎啉代苯基、乙酰氧基苯基、苯甲酸基苯基、N—環(huán)己基氨基甲酰氧基苯基、N—苯基氨基甲酰氧基苯基、乙酰胺基苯基、N—甲基苯甲?；被交?、羧苯基、甲氧羰基苯基、烯丙氧基羰基苯基、氯苯氧羰基苯基、氨基甲?；交?、N—甲基氨基甲酰基苯基、N，N—二丙基氨基甲?；交?、N—(甲氧苯基)氨基甲?；交?、N—甲基一N—(磺基苯基)氨基甲?；交⒒腔交?、磺酸根苯基、氨磺酰苯基、N—乙基氨磺酰苯基、N，N—二丙基氨磺酰苯基、N—甲苯基氨磺酰苯基、N—甲基一N—(膦酰苯基)氨磺酰苯基、膦酰苯基、膦酸根苯基、二乙基膦酰苯基、二苯基膦酰苯基、甲基膦酰苯基、甲基膦酸根苯基、甲苯基膦酰苯基、甲苯基膦酸根苯基、烯丙基苯基、l一丙烯基甲基苯基、2—丁烯基苯基、2—甲基烯丙基苯基、2—甲基丙烯基苯基、2—丙炔基苯基、2—丁炔基苯基、3—丁炔基苯基等。作為所述鏈烯基(一C(R02)=C(Rw)(R04))及炔基(一C三C(RG5))，例如可以舉出R152、RQ3、RM及RM為由一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的基。作為RQ2、RQ3、RQ4、RD5，優(yōu)選氫原子、鹵素原子、垸基、取代烷基、芳基、取代芳基等。作為它們的具體例，可以舉出作為上述例子顯示的基。其中，更優(yōu)選為氫原子、鹵素原子、碳原子數(shù)為110的直鏈狀的烷基、分支狀的烷基、環(huán)狀的烷基。作為所述鏈烯基及炔基的優(yōu)選具體例，可以舉出乙烯基、l一丙烯基、l一丁烯基、l一戊烯基、l一己烯基、l一辛烯基、l一甲基一l一丙烯基、2—甲基一1一丙烯基、2—甲基一l一丁烯基、2—苯基一1一乙烯基、2—氯一l一乙烯基、乙炔基、l一丙炔基、l一丁炔基、苯基乙炔基等。作為雜環(huán)基，可以舉出作為取代烷基的取代基例示的吡啶基等。作為所述氧基(RQ60—)，可以使用RQ6為去除氫原子的一價(jià)的非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的取代基。作為這樣的氧基，可以舉出垸氧基、芳氧基、酰氧基、氨基甲酰氧基、N—院基氨基甲酰氧基、N—芳基氨基甲酰氧基、N，N—二烷基氨基甲酰氧基、N，N—二芳基氨基甲酰氧基、N—烷基一N—芳基氨基甲酰氧基、垸基硫氧基、芳基硫氧基、膦酰氧基、膦酸根氧基等。作為它們中的烷基以及芳基，可以舉出所述作為烷基、取代烷基、芳基、取代芳基顯示的基。另外，作為酰氧基中的?；?RQ7CO—),可以舉出R^為作為前面的例子舉出的烷基、取代烷基、芳基以及取代芳基的?；?。在這些取代基中，更優(yōu)選垸氧基、芳氧基、酰氧基、芳基硫氧基。作為優(yōu)選的氧基的具體例，可以舉出甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧基、丁氧基、戊氧基、己氧基、十二垸氧基、芐氧基、烯丙氧基、苯乙氧基、羧基乙氧基、甲氧羰基乙氧基、乙氧羰基乙氧基、甲氧基乙氧基、苯氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、嗎啉代乙氧基、嗎啉代丙氧基、烯丙氧基乙氧基乙氧基、苯氧基、甲苯氧基、二甲苯氧基、菜氧基、菜氧基、異丙苯氧基、甲氧基苯氧基、乙氧基苯氧基、氯苯氧基、溴苯氧基、乙酰氧基、苯甲酸基、萘氧基、苯磺酰氧基、膦酰氧基、膦酸根氧基等。作為也含有酰胺基的氨基(RQ8NH—、(R09)(R,)N—)，例如可以舉出R°8、RD9、R,為去除氫原子的一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的取代基。其中，Re9、R,也可以結(jié)合形成環(huán)。作為所述氨基，例如可以舉出N—垸基氨基、N，N—二烷基氨基、N—芳基氨基、N，N—二芳基氨基、N—烷基一N—芳基氨基、酰胺基、N—垸基酰胺基、N—芳基酰胺基、脲基、N'—垸基脲基、N'，N'—二烷基脲基、N，一芳基脲基、N，，N，一二芳基脲基、N'—烷基一N'—芳基脲基、N—烷基脲基、N—芳基脲基、N'—垸基一N—烷基脲基、N'—烷基一N—芳基脲基、N，，N，一二烷基一N—垸基脲基、N'—烷基一N'—芳基脲基、N，，N，一二烷基一N—烷基脲基、N，，N'—二烷基一N'—芳基脲基、N，一芳基一N—烷基脲基、N，一芳基一N—芳基脲基、N，，N'—二芳基一N—烷基脲基、N，，N，一二芳基—N—芳基脲基、N'—烷基一N'—芳基一N—垸基脲基、N'—垸基一N'—芳基一N—芳基脲基、烷氧羰基氨基、芳氧羰基氨基、N—烷基一N—烷氧羰基氨基、N—垸基一N—烷氧羰基氨基、N—芳基一N—垸氧羰基氨基、N—芳基一N—芳氧羰基氨基等。作為它們中的烷基及芳基，可以舉出上述的作為烷基、取代垸基、芳基、以及取代芳基顯示的基。另外，酰胺(7$乂)基、N—垸基酰胺基、N——)的R^如上所述。其中，更優(yōu)選N—垸基氨基、N，N—二垸基氨基、N—芳基氨基、酰胺基。作為取代氨基的優(yōu)選具體例，可以舉出甲胺基、乙胺基、二乙胺基、嗎啉代基、哌啶基、吡咯代基、苯胺基、苯甲酰胺基、乙酰胺基等。作為磺酰基(RG11—S02—)，例如可以舉出RG"為由一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的基。作為這樣的磺?；鐑?yōu)選垸基磺?；?、芳基磺酰基等。作為它們中的烷基、芳基，可以舉出上述的作為烷基、取代烷基、芳基、以及取代芳基顯示的基。作為所述磺?；木唧w例，可以舉出丁基磺?；⒈交酋；⒙缺交酋；?。如上所述，所述磺酸根基(一SOr)是指磺基(sulpho)基(—S03H)的共軛堿陰離子基，通常優(yōu)選與對(duì)陽(yáng)離子一起使用。作為這樣的對(duì)陽(yáng)離子，可以適當(dāng)使用通常已知的對(duì)陽(yáng)離子，例如鎗類(例如銨類、锍類、鱗類、碘鎗類、疊氮鎗(7-二々厶)類等)、金屬離子類(例如Na+、K+、Ca2+、Zn2+等)。作為所述羰基(R0"—CO—)，例如可以使用R^為由一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的基。作為這樣的羰基，例如可以舉出甲酸基、?；?、羧基、垸氧羰基、芳氧羰基、氨基甲?；?、N—烷基氨基甲?；，N—二垸基氨基甲酰基、N—芳基氨基甲?；?、N，N—二芳基氨基甲?；?、N—垸基一N'—芳基氨基甲?；取Ｗ鳛樗鼈冎械耐榛胺蓟?，可以舉出上述作為烷基、取代烷基芳基、以及取代芳基顯示的基。作為所述羰基，可以舉出甲?；?、?；?、羧基、垸氧羰基、芳氧羰基、氨基甲酰基、N—垸基氨基甲?；，N—二烷基氨基甲?；?、N—芳基氨基甲?；?，進(jìn)而更優(yōu)選甲酸基、?；?、烷氧羰基以及芳氧羰基。作為所述羰基的具體例，可以舉出甲酰基、乙酰基、苯甲酰基、羧基、甲氧羰基、乙氧羰基、烯丙氧基羰基、二甲胺基苯基乙烯基羰基、甲氧羰基甲氧羰基、N—甲基氨基甲?；?、N—苯基氨基甲?；?、N，N—二乙基氨基甲?；?、嗎啉代羰基等。作為所述亞磺?；?R^—SO—)，可以使用R^"為由一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的基。作為這樣的亞磺?；?，例如可以舉出烷基亞磺?；?、芳基亞磺酰基、亞磺酸酰基、N—烷基亞磺酸?；?、N，N—二垸基亞磺酸?；?、N—芳基亞磺酸?；，N—二芳基亞磺酸酰基、N—垸基一N—芳基亞磺酸?；?。作為它們中的烷基及芳基，可以舉出所述作為烷基、取代垸基、芳基、以及取代芳基顯示的基。其中，更優(yōu)選垸基亞磺?；?、芳基亞磺酰基。作為這樣的取代亞磺酰基的具體例，可以舉出己基亞磺酰基、芐基亞磺?；?、甲苯基亞磺酰基等。所述取代膦?；侵胳Ⅴ；系囊粋€(gè)或兩個(gè)羥基被其他有機(jī)氧基取代的基，例如可以舉出上述的二烷基膦?；⒍蓟Ⅴ；?、烷基芳基膦?；?、一烷基膦?；⒁环蓟Ⅴ；?。其中，更優(yōu)選二烷基膦?；?、二芳基膦?；Ｗ鳛樗鲮Ⅴ；母鼉?yōu)選的具體例，可以舉出二乙基膦?；?、二丁基膦?；⒍交Ⅴ；?。如上所述，所述膦酸根基(—P03H2_、一P03H—)是指膦酰基(—P03H2)的來(lái)源于酸第一離解或酸第二離解的共軛堿陰離子基。通常優(yōu)選與對(duì)陽(yáng)離子一起使用。作為這樣的對(duì)陽(yáng)離子，可以適當(dāng)選擇通常已知的對(duì)陽(yáng)離子，例如各種鑰類(銨類、锍類、鱗類、碘鎿類、疊氮鎗(7-二々厶)類等)以及金屬離子類(Na+、K+、Ca2+、Zn2+等)。所述膦酸根基是指上述的膦?；袑⒁粋€(gè)羥基取代成有機(jī)氧基的基的共軛堿陰離子基，作為這樣的具體例，可以舉出上述的一垸基膦?；?一P03H(alkyl))、一芳基膦?；?—P03H(aryl))的共軛堿。所述芳香族基可以通過(guò)通常的自由基聚合法利用含有芳香族基的自由基聚合性化合物一種以上和根據(jù)需要作為共聚合成分的其他自由基聚合性化合物一種以上制造。作為所述自由基聚合法，通?？梢耘e出例如懸浮聚合法或者溶液聚合法等。作為所述含有芳香族基的自由基聚合性化合物，例如優(yōu)選通式(A—1)表示的化合物、通式(A—2)表示的化合物?；?5<formula>formulaseeoriginaldocumentpage43</formula>其中，所述通式(A—l)中，R,、R2及R3表示氫原子或1價(jià)的有機(jī)基。L表示有機(jī)基，也可以沒有。Ar表示可含有雜環(huán)的芳香族基?；?6通式(A—2)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage43</formula>其中，所述通式(A—2)中，R,、R2及R3以及Ar表示與所述通式(A—l)相同的意義。作為所述L的有機(jī)基，例如為由非金屬原子構(gòu)成的多價(jià)的有機(jī)基，可以舉出由160個(gè)碳原子、010個(gè)氮原子、050個(gè)氧原子、1100個(gè)氫原子以及020個(gè)硫原子構(gòu)成的有機(jī)基。更具體而言，作為所述L的有機(jī)基，可以舉出組合下述結(jié)構(gòu)單元而構(gòu)成的有機(jī)基、多價(jià)萘、多價(jià)蒽等?；?7<formula>formulaseeoriginaldocumentpage44</formula>所述L的連結(jié)基也可以具有取代基，作為所述取代基，可以舉出所述的鹵素原子、羥基、羧基、磺酸根、硝基、氰基、酰胺基、氨基、烷基、鏈烯基、炔基、芳基、取代氧基、取代磺?；⑷〈驶?、取代亞磺酰基、磺基、膦酰基、膦酸根基、甲硅垸基、雜環(huán)基。在所述通式(A—1)表示的化合物以及通式(A—2)表示的化合物中，從靈敏度的方面出發(fā)，優(yōu)選通式(A—l)。另外，在所述通式(A—l)中，從穩(wěn)定性的點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選具有連結(jié)基，作為所述L的有機(jī)基，從非圖像部的除去性(顯影性)的方面出發(fā)，優(yōu)選碳原子數(shù)為14的亞垸基。所述通式(A—l)表示的化合物成為含有下述通式(A—3)的結(jié)構(gòu)單元的化合物。另外，所述通式(A—2)表示的化合物成為含有下述通式(A—4)的結(jié)構(gòu)單元的化合物。其中，從貯存穩(wěn)定性的方面出發(fā)，優(yōu)選通式(A—3)的結(jié)構(gòu)單元?；?8<formula>formulaseeoriginaldocumentpage44</formula>通式(A—3)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage45</formula>通式(A—4)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage45</formula>其中，在所述通式(A—3)及通式(A—4)中，R,、R2及R3以及Ar表示與所述通式(A—l)及通式(A—2)相同的意義。在所述通式(A—3)及通式(A—4)中，從非圖像部的除去性(顯影性)的方面出發(fā)，優(yōu)選^及R2為氫原子，R3為甲基。另外，從非圖像部的除去性(顯影性)的方面出發(fā)，所述通式(A—3)的L優(yōu)選為碳原子數(shù)為14的亞垸基。作為所述通式(A—l)表示的化合物或通式(A—2)表示的化合物，沒有特別限制，例如可以舉出以下的例示化合物(1)(30)?；?0<formula>formulaseeoriginaldocumentpage46</formula>在所述例示化合物(1)(30)中，優(yōu)選(5)、(6)、(11)、(14)及(28)，其中，從貯存穩(wěn)定性及顯影性的方面出發(fā)，更優(yōu)選(5)及(6)。對(duì)所述可含有雜環(huán)的芳香族基在所述粘合劑中的含量，沒有特別限制，在將高分子化合物的全部結(jié)構(gòu)單元設(shè)為100mol^的情況下，優(yōu)選含有20mol^以上所述通式(A—3)表示的結(jié)構(gòu)單元，更優(yōu)選含有3045mol%。如果所述含量不到20mo1，則貯存穩(wěn)定性可能會(huì)變低，如果超過(guò)45mo1%，則顯影性可能會(huì)降低。——乙烯性不飽和鍵一—作為所述乙烯性不飽和鍵，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選下述通式(A—5)(A—7)表示的乙烯性不飽和鍵。化32Qii一X-CR3)=(通式(A-5)通式(A-6)通式(A-6)其中，所述通式(A—5)(A—7)中，RtRu彼此獨(dú)立，表示l價(jià)有機(jī)基。X及Y彼此獨(dú)立，表示氧原子、硫原子或一N—R4。Z表示氧原子、硫原子、一N—R4或亞苯基。R4表示氫原子或l價(jià)的有機(jī)基。在所述通式(A—5)中，作為^，彼此獨(dú)立，例如優(yōu)選為氫原子、可具有取代基的烷基等，從自由基反應(yīng)性高的方面出發(fā)，更優(yōu)選氫原子、甲基。作為所述R2及R3，彼此獨(dú)立，例如可以舉出氫原子、鹵素原子、氨基、羧基、烷氧羰基、磺基、硝基、氰基、可具有取代基的烷基、可具有取代基的芳基、可具有取代基的垸氧基、可具有取代基的芳氧基、可具有取代基的烷基氨基、可具有取代基的芳基氨基、可具有取代基的垸基磺?；?、可具有取代基的芳基磺酰基等，從自由基反應(yīng)性高的方面出發(fā)，更優(yōu)選氫原子、羧基、垸氧羰基、可具有取代基的烷基、可具有取代基的芳基。作為所述R4，例如優(yōu)選可具有取代基的垸基等，從自由基反應(yīng)性高-右的點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選氫原子、甲基、乙基、異丙基。在此，作為可以導(dǎo)入的所述取代基，例如可以舉出烷基、鏈烯基、炔基、芳基、烷氧基、芳氧基、鹵素原子、氰基、烷基氨基、芳基氨基、羧基、烷氧羰基、磺基、硝基、氰基、酰胺基、烷基磺酰基、芳基磺?；?。在所述通式(A—6)中，作為R4Rs，例如優(yōu)選氫原子、鹵素原子、氨基、二烷基氨基、羧基、垸氧羰基、磺基、硝基、氰基、可具有取代基的烷基、可具有取代基的芳基、可具有取代基的烷氧基、可具有取代基的芳氧基、可具有取代基的烷基氨基、可具有取代基的芳基氨基、可具有取代基的烷基磺?；?、可具有取代基的芳基磺?；?，更優(yōu)選氫原子、羧基、烷氧羰基、可具有取代基的烷基、可具有取代基的芳基。作為可以導(dǎo)入的所述取代基，例示在所述通式(A—5)中舉出的取代基。在所述通式(A—7)中，作為R9，例如優(yōu)選氫原子、可具有取代基的烷基等，從自由基反應(yīng)性高的方面出發(fā)，更優(yōu)選氫原子、甲基。作為所述R^、R，彼此獨(dú)立，例如優(yōu)選氫原子、鹵素原子、氨基、二垸基氨基、羧基、烷氧羰基、磺基、硝基、氰基、可具有取代基的垸基、可具有取代基的芳基、可具有取代基的烷氧基、可具有取代基的芳氧基、可具有取代基的垸基氨基、可具有取代基的芳基氨基、可具有取代基的垸基磺酰基、可具有取代基的芳基磺?；?，從自由基反應(yīng)性高的方面出發(fā)，更優(yōu)選氫原子、羧基、烷氧撥基、可具有取代基的垸基、可具有取代基的芳基。在此，作為可以導(dǎo)入的所述取代基，例示在所述通式(A—5)中舉出的取代基。作為Z，表示氧原子、硫原子、一NRu—或可具有取代基的亞苯基。r13表示可具有取代基的垸基等，從自由基反應(yīng)性高的方面出發(fā)，優(yōu)選氫原子、甲基、乙基、異丙基。在所述通式(A—5)(A—7)表示的側(cè)鏈乙烯性不飽和鍵中，從聚合反應(yīng)性高、靈敏度高的方面出發(fā)，更優(yōu)選通常(A—5)的化合物。對(duì)所述乙烯性不飽和鍵在所述高分子化合物中的含量，沒有特別限制，優(yōu)選為0.53.0meq/g，更優(yōu)選為1.03.0meq/g，特別優(yōu)選為1.52.8meq/g。如果所述含量不到0.5meq/g，則固化反應(yīng)量少，因而可能會(huì)成為低靈敏度，如果多于3.0meq/g，則貯存穩(wěn)定性可能會(huì)劣化。在此，所述含量(meq/g)例如可以利用碘值滴定來(lái)測(cè)定。作為向側(cè)鏈導(dǎo)入所述通式(A—5)表示的乙烯性不飽和鍵的方法，沒有特別限制，例如可以通過(guò)使在側(cè)鏈含有羧基的高分子化合物與乙烯性不飽和鍵及含有環(huán)氧基的化合物發(fā)生加成反應(yīng)得到。所述在側(cè)鏈具有羧基的高分子化合物，例如可以通過(guò)通常的自由基聚合法利用含有羧基的自由基聚合性化合物一種以上和根據(jù)需要作為共聚合成分的其他自由基聚合性化合物一種以上制造，作為所述自由基聚合法，例如可以舉出懸浮聚合法、溶液聚合法等。作為所述具有乙烯性不飽和鍵及環(huán)氧基的化合物，只要具有它們即可，沒有特別限制，例如優(yōu)選下述通式(A—8)表示的化合物及通式(A一9)表示的化合物?；?33b通式(A—8)其中，所述通式(A—8)中，f^表示氫原子或甲基。1^表示有機(jī)基?；?4其中，所述通式(A—9)中，R2表示氫原子或甲基。L2表示有機(jī)基。W表示47員環(huán)的脂肪族烴基。在所述通式(A—8)表示的化合物及通式(A—9)表示的化合物中，優(yōu)選通式(A—8)表示的化合物，在所述通式(A—8)中，更優(yōu)選Ll為碳原子數(shù)14的亞烷基。作為所述通式(A—8)表示的化合物及通式(A—9)表示的化合物，H沒有特別限制，例如可以舉出以下的例示化合物(31)(40)。化35作為所述含有羧基的自由基聚合性化合物，例如包括丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、異巴豆酸、馬來(lái)酸、對(duì)羧基苯乙烯等，特別優(yōu)選丙烯酸、甲基丙烯酸等。作為所述向側(cè)鏈的導(dǎo)入反應(yīng)，例如可以通過(guò)將三乙胺、芐基甲胺等叔胺，十二垸基三甲基氯化銨、四甲基氯化銨、四乙基氯化銨等季銨鹽，吡啶，三苯膦等作為催化劑，在有機(jī)溶劑中，使其在反應(yīng)溫度5015(TC下反應(yīng)數(shù)小時(shí)數(shù)十小時(shí)來(lái)進(jìn)行。作為所述在側(cè)鏈具有乙烯性不飽和鍵的結(jié)構(gòu)單元，沒有特別限制，例如優(yōu)選下述通式(A—IO)表示的結(jié)構(gòu)、通式(A—ll)表示的結(jié)構(gòu)以及利用它們的混合表示的結(jié)構(gòu)?；?6通式(A—IO)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage52</formula>^20HS通式(A—ll)其中，所述通式(A—10)及通式(A-ll)中，RaRc表示氫原子或l價(jià)的有機(jī)基。R,表示氫原子或甲基。L,表示可具有連結(jié)基的有機(jī)基。在所述通式(A—IO)表示的結(jié)構(gòu)或通式(A—ll)表示的結(jié)構(gòu)的高分子化合物中的含量，優(yōu)選為20mol^以上，更優(yōu)選為2050molX，特別優(yōu)選為2545molX。如果所述含量不到20mol%，則固化反應(yīng)量少，因而可能會(huì)成為低靈敏度，如果多于50molX，則貯存穩(wěn)定性可能會(huì)劣化?！霍然诒景l(fā)明的高分子化合物中，為了提高非圖像部除去性等各性能，也可以具有羧基。所述羧基可以通過(guò)使具有酸基的自由基聚合性化合物發(fā)生共聚合而向所述高分子化合物賦予。作為這樣的具有自由基聚合性的酸基，例如可以舉出羧酸、磺酸、磷酸基等，特別優(yōu)選羧酸。作為所述具有羧基的自由基聚合性化合物，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、異巴豆酸、馬來(lái)酸、對(duì)羧基苯乙烯等，其中，優(yōu)選丙烯酸、甲基丙烯酸、對(duì)羧基苯乙烯。它們可以單獨(dú)使用一種，也可以并用兩種以上。所述羧基在粘合劑中的含量，為1.04.0meq/g，優(yōu)選為1.53.0meq/g。所述含量不到1.0m叫/g時(shí)，顯影性有時(shí)會(huì)變得不充分，如果超過(guò)4.0meq/g，則可能會(huì)變得容易受到堿水顯影引起的圖像強(qiáng)度受損。為了提高圖像強(qiáng)度等各性能，本發(fā)明的高分子化合物除了所述自由基聚合性化合物以外，還優(yōu)選使其他自由基聚合性化合物共聚合。作為所述其他自由基聚合性化合物，例如可以舉出從丙烯酸酯類、甲基丙烯酸酯類、苯乙烯類等中選擇的自由基聚合性化合物等。具體而言，可以舉出丙烯酸垸基酯等丙烯酸酯類，丙烯酸芳基酯，甲基丙烯酸烷基酯等甲基丙烯酸酯類，甲基丙烯酸芳基酯，苯乙烯、烷基苯乙烯等苯乙烯類，烷氧基苯乙烯，鹵代苯乙烯等。作為所述丙烯酸酯類，烷基的碳原子數(shù)優(yōu)選為120，例如可以舉出丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸戊酯、丙烯酸乙基己基酯、丙烯酸辛酯、丙烯酸叔辛酯、丙烯酸氯乙基酯、丙烯酸2，2—二甲基羥基丙基酯、丙烯酸5—羥基烷基酯、三羥甲基丙烷一丙烯酸酯、季戊四醇一丙烯酸酯、縮水甘油丙烯酸酯、丙烯酸芐基酯、丙烯酸甲氧基芐基酯、丙烯酸糠酯、四氫糠基丙烯酸酯等。作為所述丙烯酸芳基酯，例如可以舉出丙烯酸苯基酯等。作為所述甲基丙烯酸酯類，垸基的碳原子數(shù)優(yōu)選為120，例如可以舉出甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸戊基酯、甲基丙烯酸己酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸芐基酯、甲基丙烯酸氯芐基酯、甲基丙烯酸辛基酯、甲基丙烯酸4一羥基丁基酯、甲基丙烯酸5—羥基戊基酯、甲基丙烯酸2，2—二甲基一3一羥基丙基酯、三羥甲基丙烷一甲基丙烯酸酯、季戊四醇一甲基丙烯酸酯、縮水甘油基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸糠酯、四氫糠基甲基丙烯酸酯等。作為所述甲基丙烯酸芳基酯，例如可以舉出甲基丙烯酸苯基酯、甲基丙烯酸甲苯基酯、甲基丙烯酸萘基酯等。作為所述苯乙烯類，例如可以舉出甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、異丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、環(huán)己基苯乙烯、癸基苯乙烯、芐基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、三氟甲基苯乙烯、乙氧基甲基苯乙烯、乙酸基甲基苯乙烯等。作為所述烷氧基苯乙烯，例如可以舉出甲氧基苯乙烯、4一甲氧基一3—甲基苯乙烯、二甲氧基苯乙烯等。作為所述鹵代苯乙烯，例如可以舉出氯苯乙烯、二氯苯乙烯、三氯苯乙烯、四氯苯乙烯、五氯苯乙烯、溴苯乙烯、二溴苯乙烯、碘苯乙烯、氟苯乙烯、三氟苯乙烯、2—溴一4一三氟甲基苯乙烯、4一氟一3—三氟甲基苯乙烯等。這些自由基聚合性化合物可以單獨(dú)使用一種，也可以并用兩種以上。作為在合成本發(fā)明的高分子化合物時(shí)使用的溶劑，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出二氯化乙烯、環(huán)己酮、甲基乙基甲酮、丙酮、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、2—甲氧基乙基乙酸酯、l一甲氧基一2—丙醇、l一甲氧基一2—丙基乙酸酯、N，N—二甲基甲酰胺、N，N—二甲基乙酰胺、二甲亞砜、甲苯、醋酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯等。它們可以單獨(dú)使用一種，也可以混合使用兩種以上。本發(fā)明的高分子化合物的分子量以質(zhì)均分子量?jī)?yōu)選為10，000以上，更優(yōu)選為10，00050，000。所述質(zhì)均分子量如果低于10，000，則固化膜強(qiáng)度可能會(huì)不足，如果超過(guò)50，000，則顯影性存在降低的趨勢(shì)。另外，在本發(fā)明的高分子化合物中也可以含有未反應(yīng)的單體。這種情況下，所述單體在所述高分子化合物中的含量?jī)?yōu)選為15質(zhì)量％以下。本發(fā)明中的高分子化合物可以單獨(dú)使用一種，也可以混合使用兩種以上。另外，也可以混合使用其他高分子化合物。這種情況下，所述其他高分子化合物在所述本發(fā)明的高分子化合物中的含量，優(yōu)選為50質(zhì)量％以下，更優(yōu)選為30質(zhì)量％以下。所述粘合劑在所述感光性組合物中的固體成分含量?jī)?yōu)選為580質(zhì)量％，更優(yōu)選為1070質(zhì)量％。該固體成分含量如果不到5質(zhì)量％，則感光層的膜強(qiáng)度容易變?nèi)酰摳泄鈱拥谋砻娴恼承?tack)有時(shí)會(huì)惡化，如果超過(guò)80質(zhì)量％，則曝光靈敏度可能會(huì)降低。一聚合性化合物一作為所述聚合性化合物，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，優(yōu)選分子中至少具有一個(gè)可以加聚的基、沸點(diǎn)在常壓下為IO(TC以上的化合物，例如可以優(yōu)選舉出從具有(甲基)丙烯酸基的單體中選擇的至少一種。其中，在本發(fā)明中，"聚合性化合物"不包括粘合劑中可以含有的聚合性化合物。作為所述具有(甲基)丙烯酸基的單體，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出聚乙二醇一(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇一(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙基酯等單官能丙烯酸酯或單官能甲基丙烯酸酯；聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙垸二丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三(丙烯酰氧基乙基)三聚異氰酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)氰尿酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙垸或甘油、雙酚等向多官能醇加成反應(yīng)環(huán)氧乙烷或環(huán)氧丙垸之后進(jìn)行(甲基)丙烯酸酯化的產(chǎn)物；特公昭48—41708號(hào)、特公昭50—6034號(hào)、特開昭51—37193號(hào)等各公報(bào)中記載的氨基甲酸乙酯丙烯酸酯類；特開昭48—64183號(hào)、特公昭49—43191號(hào)、特公昭52—30490號(hào)等各公報(bào)中記載的聚酯丙烯酸酯類；作為環(huán)氧樹脂與(甲基)丙烯酸的反應(yīng)產(chǎn)物的環(huán)氧丙烯酸酯類等多官能丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯等。其中，特別優(yōu)選三羥甲基丙垸三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯。所述聚合性化合物在所述感光性組合物固體成分中的固體成分含量，優(yōu)選為550質(zhì)量％，更優(yōu)選為1040質(zhì)量％。如果該固體成分含量不到5質(zhì)量％，則會(huì)產(chǎn)生顯影性的惡化、曝光靈敏度的降低等問(wèn)題，如果超過(guò)50質(zhì)量％，則感光層的粘合性有時(shí)會(huì)變得過(guò)強(qiáng)，不優(yōu)選。一熱交聯(lián)劑一作為所述熱交聯(lián)劑，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，為了改良用所述感光性薄膜形成的感光層在固化后的膜強(qiáng)度，在不給顯影性等帶來(lái)不良影響的范圍內(nèi)，例如可以使用在1分子內(nèi)至少具有2個(gè)環(huán)氧乙烷基的環(huán)氧化合物、在1分子中至少具有2個(gè)氧雜環(huán)丁垸基的氧雜環(huán)丁垸(oxetane)化合物。作為所述在1分子內(nèi)至少具有2個(gè)環(huán)氧乙烷基的環(huán)氧化合物，例如可以舉出聯(lián)二甲苯酚型或聯(lián)酚型環(huán)氧樹脂("YX4000日本環(huán)氧樹脂(JapanEpoxyResin)公司制"等)或它們的混合物、具有三聚異氰酸酯骨架等的雜環(huán)式環(huán)氧樹脂("TEIPIC;日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)公司制"、"7，》夕、V卜PT810;西巴特殊化學(xué)藥品(CIBASPECIALTYCHEMICALS)公司制"等)、雙酚A型環(huán)氧樹脂、酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、氫化雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚S型環(huán)氧樹脂、苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、鹵素化環(huán)氧樹脂(例如低溴化環(huán)氧樹脂、高鹵素化環(huán)氧樹脂、溴化苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂等)、含丙烯基雙酚A型環(huán)氧樹脂、三苯酚甲烷型環(huán)氧樹脂、二苯基二甲醇型環(huán)氧樹脂、苯酚聯(lián)苯撐型環(huán)氧樹脂、雙環(huán)戊二烯型環(huán)氧樹脂("HP—7200、HP—7200H;大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制"等)、縮水甘油胺型環(huán)氧樹脂(二氨基二苯基甲垸型環(huán)氧樹脂、二縮水甘油基苯胺、三縮水甘油基氨基苯酚等)、縮水甘油酯型環(huán)氧樹脂(鄰苯二甲酸二縮水甘油基酯、己二酸二縮水甘油基酯、六氫化鄰苯二甲酸二縮水甘油基酯、二聚酸二縮水甘油基酯等)、乙內(nèi)酰脲型環(huán)氧樹脂、脂環(huán)式環(huán)氧樹脂(3，4一環(huán)氧基環(huán)己基甲基一3'，4'一環(huán)氧基環(huán)己烷羧酸酯、雙(3，4一環(huán)氧基環(huán)己基甲基)己二酸酯、二環(huán)戊二烯二環(huán)氧化物、"GT—300、GT-400、ZEHPE3150;夕'^ir少化學(xué)工業(yè)制"等)、酰亞胺型脂環(huán)式環(huán)氧樹脂、三羥基苯基甲垸型環(huán)氧樹脂、雙酚A型酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、四苯酚基乙烷型環(huán)氧樹脂、鄰苯二甲酸縮水甘油基酯樹脂、四縮水甘油基二甲苯?；役鶚渲?、含萘基環(huán)氧樹脂(萘酚芳垸基型環(huán)氧樹脂、萘酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、4官能萘型環(huán)氧樹脂、作為市售品的"ESN—190、ESN—360;新日鐵化學(xué)公司制"、"HP—4032、EXA一4750、EXA—4700;大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制"等)、利用苯酚化合物與二乙烯基苯或二環(huán)戊二烯等二烯烴化合物的加成反應(yīng)得到的聚苯酚化合物與表氯醇的反應(yīng)物、用過(guò)乙酸等環(huán)氧化4一乙烯基環(huán)己烯一1一氧化物的開環(huán)聚合物得到的產(chǎn)物、具有線狀含磷結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹脂、具有環(huán)狀含磷結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹脂、a—甲基芪型液晶環(huán)氧樹脂、二苯甲酰氧化苯型液晶環(huán)氧樹脂、苯偶氮基型液晶環(huán)氧樹脂、偶氮甲基苯基型液晶環(huán)氧樹脂、聯(lián)萘型液晶環(huán)氧樹脂、連氮型環(huán)氧樹脂、縮水甘油甲基丙烯酸酯共聚物系環(huán)氧樹脂("CP—50S、CP—50M;日本油脂公司制"等)、環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺與縮水甘油甲基丙烯酸酯的共聚合環(huán)氧樹脂、雙(縮水甘油氧基苯基)金剛烷型環(huán)氧樹脂等，但不被這些所限定。這些環(huán)氧樹脂可以單獨(dú)使用一種或并用兩種以上。另外，除了在1分子中具有2個(gè)環(huán)氧乙烷基的所述環(huán)氧化合物以外，還可以使用至少在1分子中含有2個(gè)在p位具有烷基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物，特別優(yōu)選含有P位被烷基取代的環(huán)氧基(更具體而言卩一烷基取代縮水甘油基等)的化合物。所述至少含有在卩位具有垸基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物可以為1分子中含有的2個(gè)以上的環(huán)氧基全部為卩一烷基取代縮水甘油基，也可以為至少1個(gè)環(huán)氧基為卩一烷基取代縮水甘油基。從在室溫下的貯存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，所述含有在卩位具有垸基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物，所述感光性組合物中含有的所述環(huán)氧化合物總量中的總環(huán)氧基中的P—垸基取代縮水甘油基的比例，優(yōu)選為30%以上，更優(yōu)選為40%以上，特別優(yōu)選為50%以上。作為所述P—垸基取代縮水甘油基，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出卩一甲基縮水甘油基、(3—乙基縮水甘油基、卩一丙基縮水甘油基、P—丁基縮水甘油基等，其中，從提高所述感光性組合物的貯存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)及合成的容易性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選P—甲基縮水甘油基。作為所述含有卩位具有垸基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物，例如優(yōu)選多元酚化合物與(3—烷基表鹵醇衍生而成的環(huán)氧化合物。作為所述P—垸基表鹵醇，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出(3—甲基表氯醇、|3—甲基環(huán)氧溴丙烷、P—甲基表氟醇等卩一甲基表鹵醇；(3—乙基表氯醇、P—乙基環(huán)氧溴丙烷、P—乙基表氟醇等卩一乙基表鹵醇；P—丙基表氯醇、(3—丙基環(huán)氧溴丙垸、P—丙基表氟醇等卩一丙基表鹵醇；P—丁基表氯醇、(3—丁基環(huán)氧溴丙烷、P—丁基表氟醇等(3—丁基表鹵醇等。其中，從與所述多元酚的反應(yīng)性及流動(dòng)性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選卩一甲基表鹵醇。作為所述多元酚化合物，只要是在1分子中含有2以上的芳香族系羥基的化合物即可，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出雙酚A、雙酚F、雙酚S等雙酚化合物，聯(lián)酚、四甲基聯(lián)酚等聯(lián)酚化合物，二羥萘、聯(lián)萘酚等萘酚化合物，苯酚一甲醛縮聚物等苯酚酚醛清漆樹脂，甲酚一甲醛縮聚物等碳原子數(shù)為110的一垸基取代苯酚一甲醛縮聚物，二甲苯酚一甲醛縮聚物等碳原子數(shù)為110的二烷基取代苯酚一甲醛縮聚物，雙酚A—甲醛縮聚物等雙酚化合物一甲醛縮聚物，苯酚與碳原子數(shù)為110的一烷基取代苯酚與甲醛的共聚縮合物，苯酚化合物與二乙烯基苯的加聚物等。其中，例如在為了提高流動(dòng)性及貯存穩(wěn)定性而進(jìn)行選擇的情況下，優(yōu)選所述雙酚化合物。作為所述含有在卩位具有垸基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物，例如可以舉出雙酚A的二一(3—垸基縮水甘油醚、雙酚F的二一P—烷基縮水甘油醚、雙酚S的二一J3—垸基縮水甘油醚等雙酚化合物的二一(3—烷基縮水甘油醚；聯(lián)酚的二一P—烷基縮水甘油醚、四甲基聯(lián)酚的二一P—縮水甘油醚等聯(lián)酚化合物的二一(3—烷基縮水甘油醚；二羥萘的二一p—烷基縮水甘油醚、聯(lián)萘酚的二一p—烷基縮水甘油醚等萘酚化合物的p—烷基縮水甘油醚；苯酚一甲醛縮聚物的聚一I3—垸基縮水甘油醚；甲酚一甲醛縮聚物的聚一P—垸基縮水甘油醚等碳原子數(shù)為110的一烷基取代苯酚一甲醛縮聚物的聚一P—垸基縮水甘油醚；二甲苯酚一甲醛縮聚物的聚一(3—烷基縮水甘油醚等碳原子數(shù)為110的二垸基取代苯酚一甲醛縮聚物的聚一卩一烷基縮水甘油醚；雙酚A—甲醛縮聚物的聚一(3—垸基縮水甘油醚等雙酚化合物一甲醛縮聚物的聚一P—烷基縮水甘油醚；苯酚化合物與二乙烯基苯的加聚物的聚一卩一垸基縮水甘油醚等。其中，優(yōu)選下述通式(D—O表示的雙酚化合物、以及從其與表氯醇等得到的聚合物衍生的P—垸基縮水甘油醚、以及下述通式(D—2)表示的苯酚化合物一甲醛縮聚物的聚一(3—烷基縮水甘油醚?；?7通式<formula>formulaseeoriginaldocumentpage58</formula>化38<formula>formulaseeoriginaldocumentpage59</formula>其中，所述通式(D—l)中，R表示氫原子及碳原子數(shù)為16的垸基的任意一種，n表示020的整數(shù)。其中，所述通式(D—2)中，R表示氫原子及碳原子數(shù)為16的烷基的任意一種，R"表示氫原子及CH3的任意一種，n表示020的整數(shù)。這些含有在卩位具有烷基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物可以單獨(dú)使用一種，也可以并用兩種以上。另外，還可以并用在1分子中至少具有2個(gè)環(huán)氧乙垸環(huán)的環(huán)氧化合物以及含有在卩位具有烷基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物。作為所述環(huán)氧化合物的骨架，優(yōu)選從雙酚型環(huán)氧樹脂、酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、含脂環(huán)式基型環(huán)氧樹脂以及難溶性環(huán)氧樹脂中選擇的至少一種。作為所述氧雜環(huán)丁烷化合物，例如可以舉出雙[(3—甲基一3—氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]醚、雙[(3—乙基一3—氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]醚、1，4_雙[(3—甲基一3—氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]苯、1，4一雙[(3—乙基一3—氧雜環(huán)丁垸基甲氧基)甲基]苯、丙烯酸(3—甲基一3—氧雜環(huán)丁垸基)甲基酯、丙烯酸(3—乙基一3—氧雜環(huán)丁烷基)甲基酯、甲基丙烯酸(3—甲基一3—氧雜環(huán)丁垸基)甲基酯、甲基丙烯酸(3一乙基一3—氧雜環(huán)丁烷基)甲基酯或它們的寡聚物或者共聚物等多官能氧雜環(huán)丁烷類，除此以外，還可以舉出具有氧雜環(huán)丁垸基的化合物與酚醛清漆樹脂、聚(對(duì)羥基苯乙烯)、卡爾多(力々K)型雙酚類、杯(Calix，力li、乂夕7)芳烴類、杯(Calix，力U，夕7)間苯二酚芳烴類、倍半硅氧烷(Silsesquioxane，、乂々ir7^才年寸乂)等具有羥基的樹脂等之間的醚化合物，此外，還可以舉出具有氧雜環(huán)丁烷環(huán)的不飽和單體與(甲基)丙烯酸垸基酯之間的共聚物等。另外，為了促進(jìn)所述環(huán)氧化合物或所述氧雜環(huán)丁垸化合物的熱固化，例如可以使用胺化合物(例如雙氰二酰胺、芐基二甲胺、4一(二甲胺基)—N，N—二甲節(jié)胺、4—甲氧基一N，N—二甲節(jié)胺、4—甲基一N，N—二甲節(jié)胺等)、季銨鹽化合物(例如三乙基芐基氯化銨等)、嵌段異氰酸酯化合物(例如二甲胺等)、咪唑衍生物二環(huán)式脒化合物及其鹽(例如咪唑、2—甲基咪唑、2—乙基咪唑、2—乙基一4一甲基咪唑、2—苯基咪唑、4一苯基咪唑、1—氰乙基一2—苯基咪唑、1—(2—氰乙基)一2—乙基一4一甲基咪唑等)、磷化合物(例如三苯膦等)、鳥糞胺化合物(例如蜜胺、鳥糞胺、甲基胍胺、苯鳥糞胺等)、S—三嗪衍生物(例如2，4一二氨基—6—甲基丙烯酰氧基乙基)—S—三嗪、2—乙烯基一2，4—二氨基一S一三嗪、2—乙烯基一4，6—二氨基一S—三嗪'三聚異氰酸加成物、2，4一二氨基一6—甲基丙烯酰氧基乙基—S—三嗪*三聚異氰酸加成物等)等。它們可以單獨(dú)使用一種或并用兩種以上。此外，只要是所述環(huán)氧化合物或所述氧雜環(huán)丁垸化合物的固化催化劑或者可以促進(jìn)羧基與它們進(jìn)行反應(yīng)的物質(zhì)即可，沒有特別限制，也可以使用上述以外的可以促進(jìn)熱固化的化合物。所述環(huán)氧樹脂、所述氧雜環(huán)丁垸化合物以及可以促進(jìn)羧酸與它們進(jìn)行熱固化的化合物，在所述感光性組合物固體成分中的固體成分含量通常為0.0115質(zhì)量％。另外，作為所述熱交聯(lián)劑，可以使用特開平5—9407號(hào)公報(bào)中記載的聚異氰酸酯化合物，該聚異氰酸酯化合物也可以從至少含有兩個(gè)異氰酸酯基的脂肪族、環(huán)式脂肪族或芳基取代脂肪族化合物衍生而來(lái)。具體而言，可以舉出二官能異氰酸酯(例如1，3—亞苯基二異氰酸酯與1，4一亞苯基二異氰酸酯的混合物、2，4一及2，6—甲苯二異氰酸酯、1，3—及1，4一二甲苯二異氰酸酯、雙(4一異氰酸酯一苯基)甲烷、雙(4一異氰酸酯環(huán)己基)甲垸、異佛爾酮二異氰酸酯、六亞甲基二異氰酸酯、三甲基六亞甲基二異氰酸酯等)、該二官能異氰酸酯與三羥甲基丙烷、季戊四醇、甘油等之間的多官能醇；該多官能醇的環(huán)氧垸烴加成物與所述二官能異氰酸酯之間的加成物；六亞甲基二異氰酸酯、六亞甲基一l，6—二異氰酸酯及其衍生物等的環(huán)式三聚體等。進(jìn)而，為了提高本發(fā)明的感光性薄膜的保存性，也可以使用使嵌段劑與所述聚異氰酸酯及其衍生物的異氰酸酯基反應(yīng)得到的化合物。作為所述異氰酸酯基嵌段劑，可以舉出醇類(例如異丙醇、叔丁醇等)、內(nèi)酰胺類(例如S—己內(nèi)酰胺等)、苯酚類(例如苯酚、甲酚、對(duì)叔丁基苯酚、對(duì)仲丁基苯酚、對(duì)仲戊基苯酚、對(duì)辛基苯酚、對(duì)壬基苯酚等)、雜環(huán)式羥基化合物(例如3—羥基吡啶、8—羥基喹啉等)、活性亞甲基化合物(例如丙二酸二烷基酯、甲基乙基甲酮肟、乙酰丙酮、烷基乙酰乙酸肟、丙酮肟、環(huán)己酮肟等)等。此外，還可以使用特開平6—295060號(hào)公報(bào)中記載的在分子內(nèi)具有至少一個(gè)可以聚合的雙鍵及至少一個(gè)嵌段異氰酸酯基的任意一方的化合物等。另外，作為所述熱交聯(lián)劑，可以使用蜜胺衍生物。作為該蜜胺衍生物，例如可以舉出羥甲基蜜胺、烷基化羥甲基蜜胺(用甲基、乙基、丁基等醚化羥甲基得到的化合物)等。它們可以單獨(dú)使用一種或并用兩種以上。其中，從貯存穩(wěn)定性良好、在感光層的表面硬度或固化膜的膜強(qiáng)度本身的提高上是有效的點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選烷基化羥甲基蜜胺，特別優(yōu)選六甲基化羥甲基蜜胺。所述熱交聯(lián)劑在所述感光性組合物固體成分中的固體成分含量?jī)?yōu)選為150質(zhì)量％，更優(yōu)選為330質(zhì)量％。如果該固體成分含量不到1質(zhì)量％，則沒有固化膜的膜強(qiáng)度的提高，如果超過(guò)50質(zhì)量％，則有時(shí)發(fā)生顯影性的惡化或曝光靈敏度的降低?！渌煞帧鳛樗銎渌煞郑缈梢耘e出熱聚合抑制劑、增塑劑、著色劑(著色顏料或染料)等，進(jìn)而也可以并用對(duì)基材表面的粘附促進(jìn)劑及其他輔助劑類(例如導(dǎo)電性顆粒、填充劑、消泡劑、阻燃劑、流平劑、剝離促進(jìn)劑、抗氧化劑、香料、表面張力調(diào)節(jié)劑、鏈移動(dòng)劑等)。通過(guò)適當(dāng)含有這些成分，可以調(diào)節(jié)需要的感光性薄膜的穩(wěn)定性、照相性、膜物理性能等性質(zhì)。—熱聚合抑制劑一所述熱聚合抑制劑可以防止發(fā)生所述感光層中的所述聚合性化合物的熱聚合或經(jīng)時(shí)地聚合，所以也可以添加。作為所述熱聚合抑制劑，例如可以舉出4一甲氧基苯酚、氫醌、烷基或芳基取代氫醌、叔丁基兒茶酚、焦酚、2—羥基苯甲酮、4一甲氧基一2—羥基苯甲酮、氯化亞銅、吩噻嗪、四氫醌、萘胺、P—萘酚、2，6—二叔丁基一4一甲酚、2,2，一亞甲基雙(4—甲基一6—叔丁基苯酚)、吡啶、硝基苯、二硝基苯、苦味酸、4一甲苯胺、亞甲藍(lán)、銅與有機(jī)螯合劑反應(yīng)物、水楊酸甲酯及吩噻嗪、亞硝基化合物、亞硝基化合物與Al的螯合物等。作為所述熱聚合抑制劑的含量，相對(duì)所述聚合性化合物，優(yōu)選0.0015質(zhì)量％，更優(yōu)選0.0052質(zhì)量％，特別優(yōu)選0.011質(zhì)量％。該含量如果不到0.001質(zhì)量％，則有時(shí)保存時(shí)的穩(wěn)定性會(huì)降低，如果超過(guò)5質(zhì)量％，則相對(duì)活性能量線的靈敏度會(huì)降低。一增塑劑一為了控制所述感光層的膜物理性能(撓性)，也可以添加所述增塑劑。作為所述增塑劑，例如可以舉出鄰苯二酸二甲酯、鄰苯二甲酸二丁酯、鄰苯二甲酸二異丁酯、鄰苯二甲酸二庚酯、鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二環(huán)己酯、鄰苯二甲酸二十三烷基酯、鄰苯二甲酸丁基芐基酯、鄰苯二甲酸二異癸酯、鄰苯二甲酸二苯基酯、鄰苯二甲酸二烯丙基酯、鄰苯二甲酸辛基癸酰基酯等鄰苯二甲酸酯類；三甘醇二乙酸酯、四甘醇二乙酸酯、鄰苯二甲酸二甲基葡萄糖酯、乙基鄰苯二甲?；一掖妓狨ァ⒓谆彵蕉柞；一掖妓狨?、丁基鄰苯二甲?；』掖妓狨ァ⑷蚀级了狨サ榷减ヮ?；磷酸三甲苯酚酯、磷酸三苯酯等磷酸酯類；4一甲苯磺酰胺、苯磺酰胺、N—正丁基苯磺酰胺、N—正丁基乙酰胺等酰胺類；己二酸二異丁酯、己二酸二辛酯、癸二酸二甲酯、癸二酸二丁酯、癸二酸二辛酯、壬二酸二辛酯、順丁烯二酸二丁酯等脂肪酸二元酸酯類；檸檬酸三乙酯、檸檬酸三丁酯、甘油三乙酸酯、月桂酸丁酯、4，5—二乙氧基環(huán)己烷一l，2—二羧酸二辛酯等聚乙二醇、聚丙二醇等乙二醇類。所述增塑劑的含量，相對(duì)所述感光性組合物的全部成分，優(yōu)選0.150質(zhì)量％，更優(yōu)選0.540質(zhì)量％，特別優(yōu)選130質(zhì)量％。一著色顏料一作為所述著色顏料，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出維多利亞純藍(lán)BO(C丄42595)、(堿性)槐黃(C丄41000)、脂溶(fat)黒HB(C丄26150)、莫諾賴特，黃GT(C.I.顏料黃12)、永久黃GR(C丄顏料黃17)、永久黃HR(C.I.顏料黃83)、永久胭脂紅FBB(C.I.顏料紅146)、廣告畫顏料紅ESB(C丄顏料紫19)、永久紅寶石FBH(C丄顏料紅11)、法斯特爾粉紅B蘇普拉(C丄顏料紅81)、莫鈉斯特拉爾堅(jiān)牢藍(lán)(C丄顏料藍(lán)15)、莫諾賴特堅(jiān)牢黒B(C.I.顏料黒1)、碳、C.I.顏料紅97、C.I.顏料紅122、C丄顏料紅149、C丄顏料紅168、C.I.顏料紅177、C丄顏料紅180、C.I.顏料紅192、C丄顏料紅215、C.I.顏料綠7、C.I.顏料綠36、C.I.顏料藍(lán)15:1、C丄顏料藍(lán)15:4、C丄顏料藍(lán)15:6、C丄顏料藍(lán)22、C丄顏料藍(lán)60、C.I.顏料藍(lán)64等。它們可以單獨(dú)使用一種或并用兩種以上。另外，根據(jù)需要，也可以使用從公知的染料中適當(dāng)選擇的染料。所述著色顏料在所述感光性組合物中的固體成分含量，可以考慮永久圖案形成時(shí)的感光層的曝光靈敏度、析像度等決定，根據(jù)所述著色顏料的種類不同而不同，通常優(yōu)選為0.0110質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.055質(zhì)量％。一粘附促進(jìn)劑一為了提高各層間的粘附性或感光層與基材之間的粘附性，可以在各層中使用公知的所謂粘附促進(jìn)劑。作為所述粘附促進(jìn)劑，例如可以優(yōu)選舉出特開平5—11439號(hào)公報(bào)、特開平5—341532號(hào)公報(bào)及特開平6—43638號(hào)公報(bào)等中記載的粘附促進(jìn)劑。具體而言，可以舉出苯并咪唑、苯并噁唑、苯并噻唑、2—巰基苯并咪唑、2—巰基苯并噁唑、2—巰基苯并噻唑、3—嗎啉代甲基一1一苯基一三唑一2—硫酮、3—嗎啉代甲基一5—苯基一噁二唑一2—硫酮、5—氨基一3—嗎啉代甲基一噻二唑一2—硫酮、及2—巰基一5—甲基硫代一噻二唑、三唑、四唑、苯并三唑、羧基苯并三唑、含氨基苯并三唑、硅垸偶合劑等。作為所述粘附促進(jìn)劑的含量，相對(duì)所述感光層的全部成分，優(yōu)選為0.001質(zhì)量％20質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.0110質(zhì)量％，特別優(yōu)選為0.1質(zhì)量％5質(zhì)量％。一感光層一在對(duì)由所述感光性組合物形成的感光層進(jìn)行曝光、顯影的情況下，作為該感光層的曝光部分的厚度在該曝光及顯影后的前后不發(fā)生變化的、在所述曝光中使用的光的最小能量，優(yōu)選為0.1200mJ/cm2，更優(yōu)選為0.2100mJ/cm2,特別優(yōu)選為0.550mJ/cm2。所述最小能量如果不到0.1mJ/cm2，則有時(shí)在處理工序中發(fā)生灰霧，如果超過(guò)200mJ/cm2,則有時(shí)曝光所需時(shí)間變長(zhǎng)，處理速度變慢。在此，所述"使該感光層的曝光部分的厚度在該曝光及顯影后不發(fā)生變化的、在所述曝光中使用的光的最小能量"(以下有時(shí)簡(jiǎn)稱為"光的最小能量"。)是指所謂的顯影靈敏度，例如可以從表示對(duì)所述感光層進(jìn)行曝光時(shí)的所述曝光中使用的光的能量(曝光量)與接著所述曝光而利用所述顯影處理產(chǎn)生的所述固化層的厚度之間的關(guān)系的曲線圖(靈敏度曲線)求得。所述固化層的厚度隨著所述曝光量增加而增加，然后變成與所述曝光前的所述感光層的厚度大致相同而且大致恒定。所述顯影靈敏度是通過(guò)讀取所述固化層的厚度成為大致恒定時(shí)的最小曝光量而求得的值。在此，所述固化層的厚度與所述曝光前的所述感光層的厚度之間的差為土lpm以內(nèi)時(shí)，認(rèn)為所述固化層的厚度不被曝光及顯影改變。作為所述固化層及所述曝光前的所述感光層的厚度的測(cè)定方法，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出使用膜厚測(cè)定裝置、表面粗糙度測(cè)定機(jī)(例如寸一7〕厶1400D(東京精密公司制))等進(jìn)行測(cè)定的方法等。另外，波長(zhǎng)400410nm的光下的所述光的最小能量的變動(dòng)率(％)(以下有時(shí)也稱為"靈敏度的偏移"。)優(yōu)選為20%以內(nèi)。如果所述變動(dòng)率超過(guò)20%，則面內(nèi)的圖案形狀可能會(huì)產(chǎn)生偏移。在此，所述變動(dòng)率例如可以通過(guò)在測(cè)定波長(zhǎng)400nm的光下的所述光的最小能量之后，每錯(cuò)開lnm波長(zhǎng)，測(cè)定一次直至波長(zhǎng)410nm的光的所述光的最小能量，利用以下的式，從這些光的最小能量的最大值(Emax)和最小值(Emin)的差求得。[式](Emax—Emin)/Emax對(duì)所述感光層的厚度沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選為1100pm，更優(yōu)選為25(Him，特別優(yōu)選為430pm。(感光性薄膜)作為本發(fā)明中的感光性薄膜，優(yōu)選至少具有支撐體和在該支撐體上形成的由所述本發(fā)明的感光性組合物構(gòu)成的感光層，根據(jù)需要適當(dāng)具有熱塑性樹脂層等其他層。此外，對(duì)于感光層，如上所述。<支撐體>作為所述支撐體，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，優(yōu)選可以剝離所述感光層而且光的透過(guò)性良好的支撐體，進(jìn)而更優(yōu)選表面的平滑性良好。所述支撐體優(yōu)選為合成樹脂制而且透明的支撐體，例如可以舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、三乙酸纖維素、二乙酸纖維素、聚(甲基)丙烯酸垸基酯、聚(甲基)丙烯酸酯共聚物、聚氯乙烯、聚乙烯醇、聚碳酸酯、聚苯乙烯、賽璐玢、聚偏二氯乙烯共聚物、聚酰胺、聚酰亞胺、氯乙烯*醋酸乙烯共聚物、聚四氟乙烯、聚三氯乙烯、纖維素系薄膜、尼龍薄膜等各種塑料薄膜，其中，特別優(yōu)選聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯。它們可以單獨(dú)使用1種或并用2種以上。作為所述支撐體的厚度，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選2150pm，更優(yōu)選5100pm，特別優(yōu)選850pm。所述支撐體可以為單層，也可以具有多層。作為所述支撐體的形狀，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，但優(yōu)選長(zhǎng)條狀。作為所述長(zhǎng)條狀的支撐體的長(zhǎng)度，沒有特別限制，例如可以舉出1020，OOOm的長(zhǎng)度。<保護(hù)薄膜>所述感光性薄膜也可以在感光層上形成保護(hù)薄膜。作為所述保護(hù)薄膜，例如可以舉出在所述支撐體中使用的保護(hù)薄膜，紙，層疊有聚乙烯、聚丙烯的紙等，其中，優(yōu)選聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜。作為所述保護(hù)薄膜的厚度，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選5100pm，更優(yōu)選850^im，特別優(yōu)選1030(am。作為所述支撐體與保護(hù)薄膜的組合(支撐體/保護(hù)薄膜)，例如可以舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯/聚丙烯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯/聚乙烯、聚氯乙烯/賽璐玢、聚酰亞胺/聚丙烯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯/聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯等。另外，通過(guò)表面處理支撐體及保護(hù)薄膜的至少一個(gè)，能夠調(diào)節(jié)層間粘接力。所述支撐體的表面處理也可以用于提高與所述感光層的粘接力而實(shí)施，例如可以舉出底涂層的涂設(shè)、電暈放電處理、火焰處理、紫外線照射處理、高頻照射處理、輝光放電照射處理、活性等離子照射處理、激光光線照射處理等。另外，作為所述支撐體與所述保護(hù)薄膜之間的靜摩擦系數(shù)，優(yōu)選為0.31.4，更優(yōu)選為0.51.2。如果所述靜摩擦系數(shù)不到0.3，則由于過(guò)滑，在成為輥狀的情況下，可能會(huì)發(fā)生巻偏離，如果超過(guò)1.4，可能會(huì)難以巻成良好的輥狀。所述感光性薄膜例如優(yōu)選巻繞在圓筒狀的巻芯上，以長(zhǎng)條狀巻成輥狀保管。作為所述長(zhǎng)條狀的感光性薄膜的長(zhǎng)度，沒有特別限制，例如可以從1020，000m的范圍適當(dāng)選擇。另外，為了便于用戶使用，也可以進(jìn)行切斷加工，使1001,000m范圍的長(zhǎng)條狀成為輥狀。此外，這種情況下，優(yōu)選所述支撐體被巻繞成為最外側(cè)。另外，也可以將所述輥狀的感光性薄膜切成薄片狀。保管時(shí)，從保護(hù)端面、防止邊緣熔合的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選在端面設(shè)置隔離件(separator)(特別是防濕性的隔離件、放干燥劑的隔離件)，另外還優(yōu)選包裝也使用透濕性低的材料。所述保護(hù)薄膜也可以為了調(diào)節(jié)所述保護(hù)薄膜與所述感光層之間的粘接性而進(jìn)行表面處理。所述表面處理例如在所述保護(hù)薄膜的表面形成由聚有機(jī)硅氧烷、氟化聚烯烴、聚氟乙烯、聚乙烯醇等聚合物構(gòu)成的底涂層。該底涂層的形成可以通過(guò)在所述保護(hù)薄膜的表面涂敷所述聚合物的涂敷液之后，使其在3015(TC下干燥130分鐘形成。所述使其干燥時(shí)的溫度特別優(yōu)選為50120°C。<其他層>作為所述感光性薄膜中的其他層，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出緩沖層、阻氧層(PC層)、剝離層、粘接層、光吸收層、表面保護(hù)層等層。可以單獨(dú)具有這些層中的l層，也可以具有2層以上。另外，也可以在所述感光層上具有保護(hù)薄膜。一緩沖層一作為所述緩沖層，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以對(duì)堿性液為溶脹性或者可溶性，也可以為不溶性。所述緩沖層相對(duì)堿性液為溶脹性或者可溶性的情況下，作為所述熱塑性樹脂，例如可以舉出乙烯與丙烯酸酯共聚物的皂化物、苯乙烯與(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物、乙烯基甲苯與(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物、聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸丁酯與醋酸乙烯酯等的(甲基)丙烯酸酯共聚物等的皂化物、(甲基)丙烯酸酯與(甲基)丙烯酸酯的共聚物、苯乙烯與(甲基)丙烯酸酯與(甲基)丙烯酸的共聚物等。作為這種情況下的熱塑性樹脂的軟化點(diǎn)(Vicat)沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選為80'C以下。作為所述軟化點(diǎn)為8(TC以下的熱塑性樹脂，除了上述熱塑性樹脂以外，還可以舉出在"塑料性能便覽"(日本塑料工業(yè)連盟，全日本塑料成形工業(yè)連合會(huì)編著，工業(yè)調(diào)查會(huì)發(fā)行，1968年10月25日發(fā)行)的軟化點(diǎn)約為8(TC以下的有機(jī)高分子中對(duì)堿性液為可溶的熱塑性樹脂。另外，在軟化點(diǎn)為8(TC以上的有機(jī)高分子物質(zhì)中，也可以將向該有機(jī)高分子物質(zhì)中添加與該有機(jī)高分子物質(zhì)具有互溶性的各種增塑劑，將實(shí)際上的軟化點(diǎn)降到8(TC以下。另外，所述緩沖層相對(duì)堿性液為溶脹性或可溶性的情況下，作為所述感光性薄膜的層間粘接力，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如在各層的層間粘接力中，優(yōu)選所述支撐體與所述緩沖層之間的層間粘接力為最小。通過(guò)成為這樣的層間粘接力，可以在從所述感光性薄膜只剝離所述支撐體并經(jīng)由所述緩沖層對(duì)所述感光層進(jìn)行曝光之后，用堿性的顯影液對(duì)該感光層進(jìn)行顯影。另外，還可以留下所述支撐體，在對(duì)所述感光層進(jìn)行曝光之后，從所述感光性薄膜只剝離所述支撐體，用堿性的顯影液對(duì)該感光層進(jìn)行顯影。作為所述層間粘接力的調(diào)節(jié)方法，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出向所述熱塑性樹脂中添加公知的聚合物、過(guò)冷卻物質(zhì)、粘附改良劑、表面活性劑、脫模劑等的方法。作為所述增塑劑，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出聚丙二醇、聚乙二醇、鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二庚酯、鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二丁酯、磷酸三甲苯酚酯、磷酸甲苯二苯基酯、磷酸聯(lián)苯基二苯基酯等醇類或酯類；甲苯磺酰胺等酰胺類等。所述緩沖層相對(duì)堿性液為不溶性的情況下，作為所述熱塑性樹脂，例如可以舉出主要成分為將乙烯作為必須的共聚合成分的共聚物。作為將乙烯作為必須的共聚合成分的共聚物，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出乙烯一醋酸乙烯酯共聚物(EVA)、乙烯一丙烯酸乙酯共聚物(EEA)等。所述緩沖層相對(duì)堿性液為不溶性的情況下，作為所述感光性薄膜的層間粘接力，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如在各層的層間粘接力中，優(yōu)選所述感光層與所述緩沖層之間的粘接力為最小。通過(guò)成為這樣的層間粘接力，可以在從所述感光性薄膜只剝離所述支撐體及緩沖層、對(duì)所述感光層進(jìn)行曝光之后，用堿性的顯影液對(duì)該感光層進(jìn)行顯影。另外，還可以留下所述支撐體，在對(duì)所述感光層進(jìn)行曝光之后，從所述感光性薄膜剝離所述支撐體和所述緩沖層，用堿性的顯影液對(duì)該感光層進(jìn)行顯影。作為所述層間粘接力的調(diào)節(jié)方法，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出向所述熱塑性樹脂中添加各種聚合物、過(guò)冷卻物質(zhì)、粘附改良劑、表面活性劑、脫模劑等的方法，以下說(shuō)明的調(diào)節(jié)乙烯共聚合比的方法等。對(duì)將所述乙烯作為必須的共聚合成分的共聚物中的乙烯共聚合比，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選6090質(zhì)量％，更優(yōu)選6080質(zhì)量％，特別優(yōu)選6580質(zhì)量％。所述乙烯的共聚合比如果不到60質(zhì)量％，則所述緩沖層與所述感光層之間的層間粘接力變高，有時(shí)會(huì)難以在該緩沖層與該感光層之間的界面進(jìn)行剝離，如果超過(guò)90質(zhì)量％，則由于所述緩沖層與所述感光層之間的層間粘接力變得過(guò)小，所以該緩沖層與該感光層之間非常容易剝離，有時(shí)會(huì)難以制造含有所述緩沖層的感光性薄膜。對(duì)所述緩沖層的厚度沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選550pm，更優(yōu)選1050pm，特別優(yōu)選1540pm。如果所述厚度不到5pm，則基體的表面中的凹凸或?qū)馀莸鹊陌纪棺冯S性降低，有時(shí)不能形成高精細(xì)的永久圖案，如果超過(guò)5(Him，則有時(shí)會(huì)產(chǎn)生制造上的干燥負(fù)荷增大等不良情況。一阻氧層(PC層)—所述阻氧層通常優(yōu)選以聚乙烯醇為主要成分形成，優(yōu)選為厚度在0.55nm左右的被膜。所述感光性薄膜例如可以如下所述制造。首先，將所述感光性組合物中含有的材料溶解、乳化或分散于水或溶劑中，配制感光性薄膜用的感光性組合物溶液。作為所述溶劑，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇、正丁醇、仲丁醇、正己醇等醇類；丙酮、甲基乙基甲酮、甲基異丁基甲酮、環(huán)己酮、二異丁基甲酮等酮類；醋酸乙酯、醋酸丁酯、乙酸正戊酯、硫酸二甲酯、丙酸乙酯、酞酸二甲酯、苯甲酸乙酯及甲氧基丙基乙酸酯等酯類；甲苯、二甲苯、苯、乙苯等芳香族烴類；四氯化碳、三氯乙烯、氯仿、1，1,l一三氯乙烷、二氯甲烷、一氯苯等鹵代烴類；四氫呋喃、二乙醚、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、l一甲氧基一2—丙醇等醚類；二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、二甲亞砜、環(huán)丁砜等。它們可以單獨(dú)使用l種或并用2種以上。另外，也可以添加公知的表面活性劑。接著，可以在所述支撐體上涂敷所述感光性組合物溶液，使其干燥，形成感光層，制造感光性薄膜。作為所述感光性組合物溶液的涂敷方法，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出噴射法、輥涂法、旋涂法、縫隙涂布法、擠壓涂布法、簾涂法、模涂法、凹板印刷涂布法、拉絲錠涂布法、氣刀涂法等公知涂敷方法。作為所述干燥的條件，根據(jù)各成分、溶媒的種類、使用比例等而不同，但通常在60110。C的溫度下為30秒15分鐘左右。所述感光性薄膜例如優(yōu)選例如優(yōu)選巻繞在圓筒狀的巻芯上，以長(zhǎng)條狀巻成輥狀保管。作為所述長(zhǎng)條狀的感光性薄膜的長(zhǎng)度，沒有特別限制，例如可以從1020，OOOm的范圍適當(dāng)選擇。另外，為了便于用戶使用，也可以進(jìn)行切斷加工，使100l,000m范圍的長(zhǎng)條狀成為輥狀。此外，這種情況下，優(yōu)選所述支撐體被巻繞成為最外側(cè)。另外，也可以將所述輥狀的感光性薄膜切成薄片狀。保管時(shí)，從保護(hù)端面、防止邊緣熔合的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選在端面設(shè)置隔離件(separator)(特別是防濕性的隔離件、放干燥劑的隔離件)，另外還優(yōu)選包裝也使用透濕性低的材料。(感光性層疊體)所述感光性層疊體是在基體上至少具有所述感光層、層疊根據(jù)目的適當(dāng)選擇的其他層而成的。_基體—所述基體應(yīng)該成為形成有感光層的被處理基體或轉(zhuǎn)印有本發(fā)明的感光性薄膜的至少感光層的被轉(zhuǎn)印體，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以從表面平滑性高的基體到具有有凸凹的表面的基體中任意選擇。優(yōu)選板狀的基體，可以使用所謂的基板。具體而言，可以舉出公知的印刷線路板制造用基板(印刷電路板)、玻璃板(例如鈉鈣玻璃板等)、合成樹脂性薄膜、紙、金屬板等。作為所述感光性層疊體的制造方法，作為第一方式，可以舉出在所述基體的表面涂敷并干燥所述感光性組合物的方法，作為第二方式，可以舉出對(duì)本發(fā)明的感光性薄膜中的至少感光層進(jìn)行加熱及加壓的至少一種，并同時(shí)轉(zhuǎn)印進(jìn)而層疊的方法。所述第一方式分感光性層疊體的制造方法是在所述基體上涂敷及干燥所述感光性組合物，從而形成感光層。作為所述涂敷及干燥的方法，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選在所述基體的表面上，使所述感光性組合物溶解、乳化或分散于水或溶劑，配制感光性組合物溶液，直接涂敷并干燥該溶液從而層疊的方法。作為所述感光性組合物溶液的溶劑沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以舉出與所述感光性薄膜中使用的相同的溶劑。它們可以單獨(dú)使用一種或并用兩種以上。另外，也可以添加公知的表面活性劑。作為所述涂敷方法及干燥條件，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，與在所述感光性薄膜中使用的相同的方法及條件下進(jìn)行。所述第二方式的感光性層疊體的制造方法是在所述基體的表面邊進(jìn)行加熱及加壓的至少一方邊層疊本發(fā)明的感光性薄膜。其中，所述感光性薄膜具有所述保護(hù)薄膜的情況下，優(yōu)選剝離該保護(hù)薄膜，在所述基體上重疊所述感光層從而進(jìn)行層疊。作為所述加熱溫度，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，但例如優(yōu)選15180。C，更優(yōu)選60140。C。作為所述加壓的壓力，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，但例如優(yōu)選0.11.OMPa，更優(yōu)選0.20.8MPa。作為進(jìn)行所述加熱及加壓的至少任意一種的裝置，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出層壓機(jī)(例如大成層壓機(jī)公司制，VP—II，二于rf一乇一卜乂(株)制VP130)等。本發(fā)明的所述感光性薄膜及所述感光性層疊體由于使用本發(fā)明的所述感光性組合物，所以可以有效地形成靈敏度、析像度、及粘附性良好且高精細(xì)的永久圖案，所以可以優(yōu)選用于保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑圖案等永久圖案等各種圖案的形成、濾色片、柱材、肋材、間隔件、隔壁等液晶結(jié)構(gòu)構(gòu)件的制造、全息攝影、微型電機(jī)，印樣等圖案形成用等，特別可以優(yōu)選用于印刷電路板等永久圖案形成用。特別是由于本發(fā)明的感光性薄膜的該薄膜的厚度均一，所以在形成永久圖案時(shí)，即使薄層化永久圖案(保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑等)，在高加速度試驗(yàn)(HAST)中也不會(huì)發(fā)生離子遷移(ionmigration),可以得到耐濕性出色的高精細(xì)的永久圖案，所以可以高精細(xì)地進(jìn)行向基材的層疊。(圖案形成裝置及永久圖案形成方法)本發(fā)明的圖案形成裝置具備所述感光層，至少具有光照射機(jī)構(gòu)和光調(diào)制機(jī)構(gòu)。本發(fā)明的圖案形成方法至少包括曝光工序，還包括適當(dāng)選擇的顯影工序等其他工序。此外，本發(fā)明的所述圖案形成裝置與本發(fā)明的所述永久圖案形成方法的說(shuō)明相通并加以明確。[曝光工序]所述曝光工序是對(duì)本發(fā)明的感光層進(jìn)行曝光的工序。本發(fā)明的所述感光層及基體的材料如上所述。作為所述曝光的對(duì)象，只要是所述感光層即可，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如，如上所述，優(yōu)選對(duì)在基體上邊進(jìn)行加熱及加壓的至少一方邊層疊感光性組合物從而形成的感光性層疊體中的感光層進(jìn)行。作為所述曝光，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以舉出數(shù)字曝光、模擬曝光等，其中，優(yōu)選數(shù)字曝光。作為所述模擬曝光，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出借助具有規(guī)定的圖案的光掩模，用(超)高壓汞燈、氙氣燈、鹵素?zé)舻冗M(jìn)行曝光的方法。作為所述數(shù)字曝光，只要是不用所述光掩模進(jìn)行的曝光即可，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選使至少具備光照射機(jī)構(gòu)及光調(diào)制機(jī)構(gòu)的曝光頭和所述感光層的至少任意一個(gè)移動(dòng)，同時(shí)，利用所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)圖案信息調(diào)制從所述光照射機(jī)構(gòu)射出的光并同時(shí)從所述曝光頭對(duì)所述感光層進(jìn)行照射從而進(jìn)行曝光。作為所述數(shù)字曝光中使用的光源，只要是發(fā)出從紫外到近紅外線的光源即可，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以使用(超)高壓汞燈、氙氣燈、炭棒弧光燈、鹵素?zé)艏皬?fù)印機(jī)用等的熒光管或激光等公知光源，其中優(yōu)選(超)高壓汞燈，更優(yōu)選激光。(超)高壓汞燈是向硅玻璃管等中密封汞的放電燈，將汞的蒸氣壓設(shè)定在高值來(lái)提高發(fā)光效率的裝置。亮線光譜中，可以使用用ND過(guò)濾器等而只有1種波長(zhǎng)的亮線光譜，也可以使用具有多種亮線光譜的光線。所述激光的"laser"是LightAmplificationbyStimulatedEmissionofRadiation(利用光的受激射出的光的放大)的首字母簡(jiǎn)稱。作為發(fā)出所述激光的裝置，是利用在具有旋轉(zhuǎn)分布的物質(zhì)中發(fā)生的誘導(dǎo)射出的現(xiàn)象，利用光波的放大、振蕩，創(chuàng)造相干性、方向性更強(qiáng)的單色光的振蕩器及放大器。作為所述激光的激發(fā)介質(zhì)，有結(jié)晶、玻璃、液體、色素、氣體等，可以從這些介質(zhì)中使用固體激光、液體激光、氣體激光、半導(dǎo)體激光等公知的激光。具體而言，作為氣體激光，可以舉出Ar離子激光(364nrn、351nm)、Kr離子激光(356nm、351nm)、He—Cd激光(325nm)，作為固體激光，可以舉出YAG激光、YV04激光(1，064nm)、YAG激光或YVCV激光的2倍波(532nm)、3倍波(355nm)、4倍波(266nm)、波導(dǎo)型波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換元件與AlGaAs、InGaAs半導(dǎo)體的組合(380400nm)、波導(dǎo)型波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換元件與AlGalnP或AlGaAs半導(dǎo)體t的組合(300350nm)、AlGalnN(350470nm)等。作為其中優(yōu)選的激光，從成本方面出發(fā)，可以舉出AlGalnN半導(dǎo)體激光(市售InGaN系半導(dǎo)體激光375nm或405nm)在生產(chǎn)率方面為高輸出的355nm激光。所述激光的波長(zhǎng)例如優(yōu)選為2001，500nm，更優(yōu)選為300800nm，進(jìn)而優(yōu)選為330500nm，特別優(yōu)選為350420nm。一光調(diào)制機(jī)構(gòu)一作為所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)，具有代表性的方法可以舉出優(yōu)選具有n個(gè)描繪部，對(duì)應(yīng)所述圖案信息控制所述描繪部的方法。具體而言，可以舉出數(shù)字'微鏡'器件(DMD)、MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystems))型的空間光調(diào)制元件(SLM;空間光調(diào)節(jié)器(SpecialLightModulator))、利用電光學(xué)效果調(diào)制透過(guò)光的光學(xué)元件(PLZT元件)、液晶光開閉器(FLC)等，其中，可以優(yōu)選舉出DMD。使用所述DMD的情況下，來(lái)自光源的光被適當(dāng)?shù)墓鈱W(xué)系照射在所述DMD上，來(lái)自在DMD上二維排列的各鏡的反射光，經(jīng)過(guò)其他光學(xué)系等，在感光層上形成排列成二維的光點(diǎn)的像?？梢砸匀缦滤龅男问剑瑢?duì)感光層的全面進(jìn)行曝光，即如果不直接在光點(diǎn)與光點(diǎn)之間曝光，而使上述二維排列的光點(diǎn)的像，相對(duì)二維的排列方向略微傾斜的方向搖動(dòng)，后方列的光點(diǎn)在最初列的光點(diǎn)與光點(diǎn)之間進(jìn)行曝光。所述DMD通過(guò)控制各鏡角度，接通一關(guān)斷(ON—OFF)上述光點(diǎn)，可以形成圖像圖案。通過(guò)排列使用具有這樣的所述DMD的曝光頭，可以對(duì)應(yīng)各種寬度的基板。在上述DMD中，上述光點(diǎn)的亮度只有接通或關(guān)斷2個(gè)等級(jí)，但如果使用鏡等級(jí)型空間調(diào)制元件，則可以進(jìn)行256個(gè)等級(jí)的曝光。另外，所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)優(yōu)選具有基于要形成的圖案信息生成控制信號(hào)的圖案信號(hào)生成機(jī)構(gòu)。這種情況下，所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述圖案信號(hào)生成機(jī)構(gòu)所生成的控制信號(hào)來(lái)調(diào)制光。作為所述控制信號(hào)，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出數(shù)字信號(hào)。另一方面，所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)的其他代表性方法，可以舉出使用多角鏡(polygonmirror)的方法。在此，多角鏡是指在周圍具有一列的平面反射面的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件。所述多角鏡在感光層上反射照射來(lái)自光源的光，而反射光的光點(diǎn)被該平面鏡的旋轉(zhuǎn)掃描。通過(guò)使基板相對(duì)該掃描方向成直角地移動(dòng)，可以對(duì)基板上的感光層的全面進(jìn)行曝光。接著，可以通過(guò)接通一關(guān)斷來(lái)自光源的光的強(qiáng)度或?qū)⑵淇刂茷橹虚g色調(diào)，形成圖像圖案。此時(shí)，可以通過(guò)使來(lái)自光源的光成為多束，縮短掃描時(shí)間。作為本發(fā)明的光調(diào)制機(jī)構(gòu)，除了上述以外，還可以舉出特開平5—150175號(hào)公報(bào)中記載的使用多角鏡描繪的例子；特表2004—523101號(hào)公報(bào)(國(guó)際公開第2002/039793號(hào)手冊(cè))中記載的視覺地獲取下部層的圖像的一部分，利用使用多角鏡的裝置，使上部層的位置與下部層的位置一致、曝光的例子；特開2004—56080號(hào)公報(bào)中記載的具有DMD曝光的例子；特表2002—523905號(hào)公報(bào)中記載的具備多角鏡的曝光裝置、特開2001—255661號(hào)公報(bào)中記載的具備多角鏡的曝光裝置、特開2003—50469號(hào)公報(bào)中記載的組合DMD、LD、多重曝光的例子；特開2003—156853號(hào)公報(bào)中記載的利用基板的部位改變曝光量的曝光方法的例子；特開2005—43576號(hào)公報(bào)中記載的錯(cuò)位調(diào)整的曝光方法的例子等。一光照射機(jī)構(gòu)一作為所述光照射機(jī)構(gòu)即光的照射方法，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇所述曝光光源，優(yōu)選舉出復(fù)合進(jìn)而照射2種以上的來(lái)自這些光源的光，特別優(yōu)選舉出照射復(fù)合2種以上的光的激光(合波激光)。作為所述合波激光的照射方法，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出利用具有多種激光光源、多模光纖和從該多種激光光源照射的激光進(jìn)行聚光并使其在所述多模光纖復(fù)合的聚光光學(xué)系的機(jī)構(gòu)，構(gòu)成并照射合波激光的方法。對(duì)所述激光的光束直徑，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，從深色隔離壁的析像度的觀點(diǎn)出發(fā)，在高斯(Gaussian)光束的1/62值下優(yōu)選為530}im，更優(yōu)選為720阿。在本發(fā)明中，優(yōu)選對(duì)應(yīng)圖像數(shù)據(jù)對(duì)激光進(jìn)行空間光調(diào)制。因而，為此優(yōu)選使用作為空間光調(diào)制元件的所述DMD。作為具有所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)及所述光照射機(jī)構(gòu)的曝光裝置，例如可以使用特開2005—222039號(hào)公報(bào)、特開2005—258431號(hào)公報(bào)、特開2006—30966號(hào)公報(bào)等中記載的裝置，但本發(fā)明中的曝光裝置不被其所限定。[顯影工序]作為所述顯影，是通過(guò)除去所述感光層的未曝光部分進(jìn)行的。作為所述未固化區(qū)域的除去方法，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出使用顯影液除去的方法等。作為所述顯影液，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出堿性水溶液、水系顯影液、有機(jī)溶劑等，其中，優(yōu)選弱堿性的水溶液。作為該弱堿水溶液的堿成分，例如可以舉出氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鋰、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鋰、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、磷酸鈉、磷酸鉀、焦磷酸鈉、焦磷酸鉀、硼砂等。作為所述弱堿性的水溶液的pH,例如優(yōu)選約為812，更優(yōu)選約為911。作為所述弱堿性的水溶液，例如可以舉出0.15質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液或碳酸鉀水溶液等。作為所述顯影液的溫度，可以根據(jù)所述感光層的顯影性適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選約為2540°C。所述顯影液也可以與表面活性劑、消泡劑、有機(jī)堿(例如乙二胺、乙醇胺、四甲基氫氧化銨、二亞乙基三胺、三亞乙基五胺、嗎啉、三乙醇胺等)或用于促進(jìn)顯影的有機(jī)溶劑(例如醇類、酮類、酯類、醚類、酰胺類、內(nèi)酯類等)等并用。另外，所述顯影液可以為混合水或堿水溶液與有機(jī)溶劑的水系顯影液，也可以單獨(dú)為有機(jī)溶劑。在所述圖案的形成中，也可以包括例如固化處理工序、蝕刻工序、鍍敷工序等。它們可以單獨(dú)使用一種，也可以并用兩種以上。[固化處理工序]所述圖案的形成方法在為形成保護(hù)膜、層間絕緣膜、阻焊劑圖案等永久圖案或?yàn)V色片的永久圖案形成方法的情況下，優(yōu)選具備在進(jìn)行所述顯影工序之后，對(duì)感光層進(jìn)行固化處理的固化處理工序。作為所述固化處理，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出全面曝光處理、全面加熱處理等。作為所述全面曝光處理的方法，例如可以舉出在所述顯影之后，對(duì)形成有所述永久圖案的所述層疊體上的全面進(jìn)行曝光的方法。利用該全面曝光，可以促進(jìn)將要形成所述感光層的感光性組合物中的樹脂的固化，可以使所述永久圖案的表面固化。作為進(jìn)行所述全面曝光的裝置，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出超高壓汞燈等uv曝光機(jī)、^氣燈使用的曝光機(jī)、激光曝光機(jī)等。曝光量通常為102，000mJ/cm2。作為所述全面加熱處理的方法，可以舉出在所述顯影之后，對(duì)已形成的所述永久圖案的所述層疊體上的全面進(jìn)行加熱的方法。利用該全面加熱，可以提高所述永久圖案的表面的膜強(qiáng)度。作為所述全面加熱中的加熱溫度，優(yōu)選為120250°C，更優(yōu)選為120200°C。如果該加熱溫度不到120°C，則有時(shí)不能得到利用加熱處理的膜強(qiáng)度的提高，如果超過(guò)250'C，則有時(shí)發(fā)生所述感光性組合物中的樹脂的分解，膜質(zhì)輕微變脆。作為所述全面加熱的加熱時(shí)間，優(yōu)選為10120分鐘，更優(yōu)選為1560分鐘。作為進(jìn)行所述全面加熱的裝置，沒有特別限制，可以從公知的裝置中根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出干烤箱(dryoven)、熱板、IR加熱器等。所述圖案的形成方法可以用于在利用405nm的激光曝光的直接描繪中必需防止氧引起的感光層的靈敏度降低的各種圖案的形成等中，可以優(yōu)選用于兼顧高密度化和高生產(chǎn)率的圖案的形成。在所述永久圖案形成方法中，利用所述永久圖案形成方法形成的永久圖案如果為所述保護(hù)膜、所述層間絕緣膜及阻焊劑圖案，則可以保護(hù)布線不受來(lái)自外部的沖擊或彎曲，特別是在為所述層間絕緣膜的情況下，例如可以用于半導(dǎo)體或構(gòu)件向多層布線基板或內(nèi)裝布線基板等的高密度實(shí)裝。本發(fā)明的所述永久圖案形成方法由于使用本發(fā)明的所述感光性組合物，所以可以優(yōu)選用于保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑圖案等永久圖案等各種圖案的形成用、濾色片、柱材、肋材、間隔件、隔壁等液晶結(jié)構(gòu)構(gòu)件的制造、全息攝影、微型電機(jī)，印樣等的制造，特別可以優(yōu)選用于印刷電路板等永久圖案形成。實(shí)施例以下利用實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)說(shuō)明，但本發(fā)明不被這些實(shí)施例所限定。(表面處理例1)一己進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1的配制一在1,000質(zhì)量份含有5質(zhì)量份水及5質(zhì)量份鹽酸(水解用催化劑)的二氯甲烷中，溶解15質(zhì)量份Y—巰基丙基三甲氧基硅垸，邊劇烈攪拌邊緩慢加入100質(zhì)量份硫酸鋇(堺化學(xué)公司制，B30)。在進(jìn)行充分?jǐn)嚢柚螅^(guò)濾、干燥，得到已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料l。(表面處理例2)_已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料2的配制一在表面處理例1中，不加入硫酸鋇而加入IOO質(zhì)量份二氧化硅(利用溶膠凝膠法制作)(日本了工口-》(株)制"7工口^少130")，除此以外，同樣地得到已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料2。(表面處理例3)一已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料3的配制一在表面處理例1中，不加入硫酸鋇而加入98質(zhì)量份滑石(富士滑石(夕》夕)工業(yè)(株)制"LMS弁200")，除此以外，同樣地得到已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料3。(表面處理例4)一已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料4的配制一在表面處理例1中，代替Y—巰基丙基三甲氧基硅垸而溶解15質(zhì)量份Y—環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷，除此以外，同樣地得到已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料4。(表面處理例5)一已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料5的配制一在表面處理例1中，代替Y—巰基丙基三甲氧基硅垸而溶解30質(zhì)量份Y—氨丙基三乙氧基硅垸，除此以外，同樣地得到已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料5。(表面處理例6)一已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料6的配制一在表面處理例1中，代替巰基丙基三甲氧基硅烷而溶解30質(zhì)量份Y—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷，除此以外，同樣地得到已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料6。(表面處理例7)一已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料7的配制一在表面處理例1中，代替Y一巰基丙基三甲氧基硅垸而溶解20質(zhì)量份a—[[3—(三甲氧基甲硅烷基)丙氧基]甲基]—咪唑基一l一乙醇((株)日本能量(-亇八°:/工于-一)制"IS—1000")，除此以外，同樣地得到已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料7。(表面處理例8)—已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料8的配制一在表面處理例1中，代替Y—巰基丙基三甲氧基硅烷而溶解20質(zhì)量份2—乙基—4一甲基咪唑并丙基三甲氧基硅垸鹽酸鹽(日本維尼卡(二二力一)(株)制"AZ—6160")，除此以外，同樣地得到已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料8。(表面處理例9)—已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料9的配制一在表面處理例1中，代替Y—巰基丙基三甲氧基硅垸而溶解15質(zhì)量份乙烯基三乙酸基硅烷，除此以外，同樣地得到己進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料9。(表面處理例10)一已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料10的配制一在表面處理例1中，代替硫酸鋇而加入50質(zhì)量份球狀二氧化硅(利用燃燒法制作)((株)阿德馬鐵克斯(7K^亍、;/夕7)制"阿德馬法胤(7H、777^y)SO—Cl"，平均粒徑0.25|am)，代替Y—巰基丙基三甲氧基硅烷而溶解2.5質(zhì)量份Y—環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅垸(信越7化學(xué)工業(yè)(株)制"KBM403")，除此以外，同樣地得到已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料10。(表面處理例11)一己進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料11的配制一在表面處理例1中，代替硫酸鋇而加入50質(zhì)量份球狀二氧化硅(利用燃燒法制作)((株)阿德馬鐵克斯制"阿德馬法胤S0—C1"，平均粒徑0.25pm)，代替y—巰基丙基三甲氧基硅垸而溶解2.5質(zhì)量份y—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅垸(信越化學(xué)工業(yè)(株)制"KBM503")，除此以外，同樣地得到已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料ll。(表面處理例12)一已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料12的配制一在表面處理例1中，代替硫酸鋇而加入50質(zhì)量份球狀二氧化硅(利用燃燒法制作)((株)阿德馬鐵克斯制"阿德馬法胤S0—C2"，平均粒徑0.5pm)，代替Y—巰基丙基三甲氧基硅垸而溶解2.5質(zhì)量份Y—環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅垸(信越化學(xué)工業(yè)(株)制"KBM403")，除此以外，同樣地得到已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料12。(表面處理例13)一已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料13的配制一在表面處理例1中，代替硫酸鋇而加入25質(zhì)量份球狀二氧化硅(利用燃燒法制作)((株)阿德馬鐵克斯制"阿德馬法胤S0—C2"，平均粒徑0.5pm)，代替y—巰基丙基三甲氧基硅烷而溶解2.5質(zhì)量份y—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(信越化學(xué)工業(yè)(株)制"KBM503")，除此以外，同樣地得到己進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料13。(表面處理例14)一已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料14的配制一在表面處理例1中，代替硫酸鋇而加入50質(zhì)量份球狀二氧化硅(利用燃燒法制作)(電氣化學(xué)工業(yè)(株)制"SFP—30M"，平均粒徑0.7pm)，代替Y—巰基丙基三甲氧基硅烷而溶解2.5質(zhì)量份Y—環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅垸(信越化學(xué)工業(yè)(株)制"KBM403")，除此以外，同樣地得到已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料14。(表面處理例15)一已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料15的配制一在表面處理例1中，代替硫酸鋇而加入50質(zhì)量份球狀二氧化硅(利用燃燒法制作)(電氣化學(xué)工業(yè)(株)制"SFP—30M"，平均粒徑0.7pm)，代替Y—巰基丙基三甲氧基硅垸而溶解2.5質(zhì)量份Y—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅垸(信越化學(xué)工業(yè)(株)制"KBM503")，除此以外，同樣地得到已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料15。(表面處理例16)一已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料16的配制一在表面處理例1中，代替硫酸鋇而加入50質(zhì)量份球狀二氧化硅(利用燃燒法制作)(電氣化學(xué)工業(yè)(株)制"SFP—20M"，平均粒徑0.3pm)，代替Y—巰基丙基三甲氧基硅烷而溶解2.5質(zhì)量份y—環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅垸(信越化學(xué)工業(yè)(株)制"KBM403"),除此以外，同樣地得到已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料16。(表面處理例17)一已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料17的配制一在表面處理例1中，代替硫酸鋇而加入50質(zhì)量份球狀二氧化硅(利用燃燒法制作)(電氣化學(xué)工業(yè)(株)制"SFP—20M"，平均粒徑OJ拜)，代替Y—巰基丙基三甲氧基硅烷而溶解2.5質(zhì)量份Y—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(信越化學(xué)工業(yè)(株)制"KBM503")，除此以外，同樣地得到已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料17。(合成例1)一粘合劑1的合成一向1，OOOmL三口燒瓶中加入l一甲氧基一2—丙醇159g，在氮?dú)饬飨拢訜岬?5'C。用2小時(shí)向其中滴甲基丙烯酸芐基酯63.4g、甲基丙烯酸72.3g、V—601(和光純藥制)4.15g的l一甲氧基一2—丙醇159g溶液。滴落結(jié)束后，進(jìn)一步加熱5小時(shí)，使其反應(yīng)。接著，停止加熱，得到甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸(30/70mol。/U匕)的共聚物。接著，將所述共聚物溶液中的120.0g移至300mL三口燒瓶中，加入縮水甘油甲基丙烯酸酯16.6g、對(duì)甲氧基苯酚0.16g，攪拌使其溶解。溶解后，加入三苯基膦3.0g，加熱至IO(TC，進(jìn)行加成反應(yīng)。用氣相色譜法(gaschromatography)確認(rèn)縮水甘油甲基丙烯酸酯消失后，停止加熱。加入1—甲氧基一2—丙醇，配制固體成分為30質(zhì)量％的下述結(jié)構(gòu)式表示的粘合劑1的溶液。利用將聚苯乙烯作為標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的凝膠滲透色譜法(GPC)測(cè)定得到的粘合劑的質(zhì)均分子量(Mw)，結(jié)果為15，000。另外，使用氫氧化鈉進(jìn)行滴定，結(jié)果，固體成分的酸值約為2.2meq/g。進(jìn)而，利用碘值滴定求得的固體成分的乙烯性不飽和鍵的含量(C二C值)約為2.1m叫/g。粘合劑化39其中，所述高分子化合物l中，*1表示下述結(jié)構(gòu)式(a)表示的結(jié)構(gòu)及(b)表示的結(jié)構(gòu)的混合(混合比不明)?；?0結(jié)構(gòu)式(a)S結(jié)構(gòu)式(b)(合成例2)一粘合劑2的合成一下，加熱到85'C。用2小時(shí)向其中滴甲基丙烯酸芐基酯36g、甲基丙烯酸72.3g、V—601(和光純藥制)4.15g的1—甲氧基一2—丙醇159g溶液。滴落結(jié)束后，進(jìn)一步加熱5小時(shí)，使其反應(yīng)。接著，停止加熱，得到甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸(30/70mol^比)的共聚物。接著，將所述共聚物溶液中的120.0g移至300mL三口燒瓶中，加入縮水甘油甲基丙烯酸酯16.6g、對(duì)甲氧基苯酚0.16g，攪拌使其溶解。溶解后，加入三苯基膦2.4g，加熱至10(TC，進(jìn)行加成反應(yīng)。用氣相色譜法確認(rèn)縮水甘油甲基丙烯酸酯消失后，停止加熱。加入1一甲氧基一2—丙醇，配制固體成分為30質(zhì)量％的下述結(jié)構(gòu)式表示的粘合劑一2的溶液。利用將聚苯乙烯作為標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的凝膠滲透色譜法(GPC)測(cè)定得到的粘合劑的質(zhì)均分子量(Mw)，結(jié)果為15，000。另外，使用氫氧化鈉進(jìn)行滴定，結(jié)果，固體成分的酸值約為2.3meq/g。進(jìn)而，利用碘值滴定求得的固體成分的乙烯性不飽和鍵的含量(C二C值)約為2.6meq/g。粘合劑化41<formula>formulaseeoriginaldocumentpage82</formula>其中，所述高分子化合物1中，*1表示與所述高分子化合物1相同的意義。(合成例3)一粘合劑3的合成一向150質(zhì)量份丙二醇一甲醚乙酸酯中邊加熱邊溶解110質(zhì)量份苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂(東都化成公司制，YDPN—702)，接著加入34質(zhì)量份丙烯酸及0.8質(zhì)量份芐基二甲胺，在10012(TC下繼續(xù)反應(yīng)8小時(shí)之后，加入四氫化苯二甲酸酐35質(zhì)量份，在IOO'C下使其反應(yīng)8小時(shí)，得到酸值70mgKOH/g的環(huán)氧丙烯酸酯化合物(粘合劑3)。(實(shí)施例1)一感光性組合物的配制一以下述量配合各成分，配制感光性組合物溶液。[感光性組合物溶液的各成分量]所述粘合劑1(所述l一甲氧基一2—丙醇溶液中固體成分質(zhì)量30質(zhì)量％)…87.4質(zhì)量份二季戊四醇六丙烯酸酯(聚合性化合物)…13質(zhì)量份，下述式I一1表示的光聚合引發(fā)劑…2.6質(zhì)量份下述式S—l表示的增感劑…0.5質(zhì)量份工求卜一卜YD—8125(環(huán)氧當(dāng)量170g/eq.東都化成公司制，雙酚A系環(huán)氧樹脂)…8質(zhì)量份.熱固化劑(二氰胺)…0.77質(zhì)量份'氟系表面活性劑(^力、77:y夕F—176，大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制，30質(zhì)量％2—丁酮溶液)…0.2質(zhì)量份已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1…21.98質(zhì)量份甲基乙基甲酮…15質(zhì)量份化42<formula>formulaseeoriginaldocumentpage83</formula>一感光性薄膜的制造一用棒涂機(jī)，將得到的感光性組合物溶液涂敷于作為所述支撐體的厚16jxm、寬300mm、長(zhǎng)200m的PET(聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)薄膜上(東1/公司制，16FB50),并在80'C的熱風(fēng)循環(huán)式干燥機(jī)中使其干燥，形成厚30pm的感光層。接著，在該感光層上，用層壓板層疊作為所述保護(hù)薄膜的厚20nm、寬310mm、長(zhǎng)210m的聚丙烯薄膜(王子制紙公司制，E—200)，制造感光性薄膜。一感光性層疊體的配制一接著，作為所述基材，向作為印刷電路板的已形成布線的兩張鍍銅疊層板(沒有穿通孔，銅厚為12pm)的表面實(shí)施化學(xué)研磨處理，從而配制。在該鍍銅疊層板上，剝離所述感光性薄膜中的保護(hù)薄膜，以使所述感光性薄膜的感光層與所述鍍銅疊層板接觸，同時(shí)用真空層壓機(jī)(二^rf一千一卜y(株)社制，VP130)使其層疊，從而配制成依次層疊所述鍍銅疊層板、所述感光層和所述聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撐體)而成的感光性層疊體。壓粘條件為真空吸引時(shí)間40秒、壓粘溫度7(TC、壓粘壓力0,2MPa、加壓時(shí)間10秒。對(duì)感光性層疊體，進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。<顯影性的評(píng)價(jià)>配制所述感光性層疊體之后，立即從所述感光性層疊體剝?nèi)ゾ蹖?duì)苯二甲酸乙二醇酯(支撐體)，用0.15MPa的壓力向鍍銅疊層板上的所述感光層的全面噴射3(TC的1質(zhì)量％碳酸鈉水溶液，測(cè)定從開始噴射碳酸鈉水溶液到溶解除去鍍銅疊層板上的感光層所需要的時(shí)間，將其作為最短顯影時(shí)間，評(píng)價(jià)顯影性。該最短顯影時(shí)間越短，則顯影性越出色。另外，在配制所述感光性層疊體之后，在4(TC下保存3天的情況下，也同樣地評(píng)價(jià)顯影性。<靈敏度的評(píng)價(jià)>對(duì)所述已配制的感光性層疊體中的感光性薄膜的感光層，從支撐體側(cè)，使用作為所述光照射機(jī)構(gòu)的具有405nm的激光光源的特開2006—30966號(hào)公報(bào)中記載的圖案形成裝置，照射以21/2倍間隔、從0.1mJ/cm2到100mJ/cii^的光能量不同的光，進(jìn)行2重曝光，使所述感光層的一部分區(qū)域固化。在室溫下靜置10分鐘，然后從所述感光性層疊體剝?nèi)ニ鲋误w，用噴射壓0.15MPa向鍍銅疊層板上的感光層的全面噴射30。C的1質(zhì)量％碳酸鈉水溶液，噴射時(shí)間為所述最短顯影時(shí)間的2倍，溶解除去未固化的區(qū)域，測(cè)定殘留的固化區(qū)域的厚度。接著，繪制光的照射量與固化層的厚度之間的關(guān)系的曲線圖，得到靈敏度曲線。這樣從得到的靈敏度曲線可知，固化區(qū)域的厚成為與曝光前的感光層同樣為30pm時(shí)的光能量，為使感光層固化所必需的光能量。<析像度的評(píng)價(jià)>在室溫下(23°C，55%RH)靜置所述感光性層疊體10分鐘。從得到的所述感光性層疊體的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撐體)上，使用所述圖案形成裝置，以線(line)/空間(space)=1/1，從線(line)寬10pm100pm，以每lpm，進(jìn)行各線寬的曝光。此時(shí)的曝光量為固化在所述靈敏度的評(píng)價(jià)中的所述感光性薄膜的感光層所必需的光能量。在室溫下靜置IO分鐘之后，從所述感光性層疊體剝?nèi)ゾ蹖?duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撐體)。用噴射壓0.15MPa向鍍銅疊層板上的感光層的全面噴射作為所述顯影液的30'C的1質(zhì)量。％碳酸鈉水溶液，噴射時(shí)間為所述最短顯影時(shí)間的2倍，溶解除去未固化的區(qū)域。用光學(xué)顯微鏡觀察這樣得到的帶固化樹脂圖案的鍍銅疊層板的表面，在固化樹脂圖案的線中測(cè)定沒有堵塞、皺巴等異常而且可以形成空間的最小線寬，將其作為析像度。該析像度的數(shù)值越小越為良好。<粘附性的評(píng)價(jià)>在室溫下(23°C，55%RH)靜置所述感光性層疊體10分鐘。從得到的所述感光性層疊體的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撐體)上，使用所述圖案形成裝置，以線/空間=1/5，對(duì)線寬1(Him5(Him，以每5拜進(jìn)行各線寬的曝光，以與析像度的評(píng)價(jià)相同的曝光量進(jìn)行。與析像度的評(píng)價(jià)相同地溶解除去未固化區(qū)域，然后用光學(xué)顯微鏡觀察得到的帶固化樹脂圖案的鍍銅疊層板的表面，測(cè)定能夠確認(rèn)固化樹脂圖案沒有從銅箔剝離、沒有從固化樹脂圖案周邊部進(jìn)入顯影液的最小的線寬，將其作為粘附性的評(píng)價(jià)結(jié)果。(實(shí)施例2)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料2的21.98質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例3)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料3的21.98質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例4)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料4的21.98質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例5)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料5的21.98質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例6)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料6的21.98質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例7)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料7的21.98質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例8)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料8的21.98質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例9)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料9的21.98質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例10)在實(shí)施例1中，如表1所示，將所述式1—1表示的化合物代替為下述式I一2表示的化合物2.6質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示?；?3(實(shí)施例11)在實(shí)施例1中，如表1所示，將所述式I一l表示的化合物代替為下述式1—3表示的化合物2.6質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示?；?4M,0—COC2H5(實(shí)施例12)在實(shí)施例1中，如表1所示，將所述式I一1表示的化合物代替為下述式I一4表示的化合物2.6質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。化45(實(shí)施例13)在實(shí)施例1中，如表1所示，將所述式I一l表示的化合物代替為下述式I一5表示的化合物2.6質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示?；?6(實(shí)施例14)在實(shí)施例1中，如表1所示，將所述式I一l表示的化合物代替為下述式I一6表示的化合物2.6質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示?；?7(實(shí)施例15)在實(shí)施例1中，如表1所示，將所述式1—1表示的化合物代替為所述式I一1表示的化合物1,3質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例16)在實(shí)施例1中，如表1所示，將粘合劑1代替為粘合劑2的87.4質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例17)在實(shí)施例1中，如表1所示，將粘合劑1代替為粘合劑3的48.2質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例18)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料10的11.0質(zhì)量份，進(jìn)而，如表1所示，將所述式I一l表示的化合物代替為下述式I一7表示的化合物2.6質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示?；?8(實(shí)施例19)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料ll的11.0質(zhì)量份，進(jìn)而，如表1所示，將所述式1—1表示的化合物代替為所述式I一7表示的化合物2.6質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例20)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料12的ll.O質(zhì)量份，進(jìn)而，如表1所示，將所述式I一l表示的化合物代替為所述式I一7表示的化合物2.6質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例21)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料13的11.0質(zhì)量份，進(jìn)而，如表1所示，將所述式I一l表示的化合物代替為所述式I一7表示的化合物2.6質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例22)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料12的11.0質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例23)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料14的11.0質(zhì)量份，進(jìn)而，如表l所示，將所述式1—1表示的化合物代替為所述式I一7表示的化合物2.6質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例24)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料15的11.0質(zhì)量份，進(jìn)而，如表1所示，將所述式I一l表示的化合物代替為所述式I一7表示的化合物2.6質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例25)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料16的11.0質(zhì)量份，進(jìn)而，如表1所示，將所述式I一l表示的化合物代替為所述式I一7表示的化合物2.6質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(實(shí)施例26)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料17的11.0質(zhì)量份，進(jìn)而，如表1所示，將所述式1—1表示的化合物代替為所述式I一7表示的化合物2.6質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(比較例1)在實(shí)施例1中，如表1所示，將已進(jìn)行表面處理的無(wú)機(jī)顏料1代替為沒有進(jìn)行表面處理的硫酸鋇(堺化學(xué)公司制，B30)的21.98質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(比較例2)在實(shí)施例1中，如表1所示，將式I一l表示的化合物代替為逸樂(lè)咖科爾(Irgacure)369(堿性類型的光聚合引發(fā)劑，西巴特殊化學(xué)藥品(CIBASPECIALTYCHEMICALS)公司制)的6.1質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。(比較例3)在實(shí)施例1中，如表1所示，將式I一l表示的化合物代替為逸樂(lè)咖科爾907(堿性類型的光聚合引發(fā)劑，西巴特殊化學(xué)藥品(CIBASPECIALTYCHEMICALS)公司制)的6.1質(zhì)量份，除此以外，同樣地進(jìn)行顯影性、靈敏度、析像度及粘附性的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表2所示。[表1]<table>tableseeoriginaldocumentpage91</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage92</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage92</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage93</column></row><table>從表2的結(jié)果可以判斷，在使用光聚合引發(fā)劑含有肟衍生物、無(wú)機(jī)顏料被硅烷偶合劑表面處理的感光性組合物的實(shí)施例126中，可以有效地形成靈敏度、感光性層疊體配制后的顯影性以及粘附性良好且高精細(xì)的永久圖案。特別可以判斷，在粘合劑含有在側(cè)鏈具有酸性基和乙烯性不飽和鍵的高分子化合物的實(shí)施例116及1826中，在4(TC下保存3天后的顯影性也出色。另外，向永久圖案實(shí)施熱循環(huán)處理(將—65'C下加冷30分鐘、125"C下加熱30分鐘作為1個(gè)循環(huán)的加熱處理進(jìn)行500個(gè)循環(huán)的處理)，進(jìn)行觀察2mm見方的孔圖案(格子狀)中的裂縫的進(jìn)入方式的熱循環(huán)試驗(yàn)(thermalcycletest)(27個(gè)格子狀圖案中，幾個(gè)圖案有裂縫(TCT耐性))。結(jié)果為，在比較例13中，從孔圖案的角容易進(jìn)入裂縫，與此相對(duì)，在實(shí)施例126中，難以發(fā)生裂縫。特別是在作為無(wú)機(jī)填充劑使用二氧化硅的情況下(實(shí)施例2及1826)，裂縫發(fā)生率低。本發(fā)明的感光性組合物及感光性薄膜由于可以有效地形成靈敏度、顯影性及粘附性良好且高精細(xì)的永久圖案，所以可以優(yōu)選用于保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑圖案等永久圖案等各種圖案的形成、濾色片、柱材、肋材、間隔件、隔壁等液晶結(jié)構(gòu)構(gòu)件的制造、全息攝影、微型電機(jī)，印樣等的制造等，特別可以優(yōu)選用于印刷電路板等永久圖案形成用。本發(fā)明的所述永久圖案形成方法由于使用本發(fā)明的所述感光性組合物，所以可以優(yōu)選用于保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑圖案等永久圖案等各種圖案的形成、濾色片、柱材、肋材、間隔件、隔壁等液晶結(jié)構(gòu)構(gòu)件的制造、全息攝影、微型電機(jī)，印樣等的制造等，特別可以優(yōu)選用于印刷電路板等永久圖案形成。權(quán)利要求1.一種感光性組合物，其特征在于，含有粘合劑、聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑、熱交聯(lián)劑及無(wú)機(jī)顏料，所述光聚合引發(fā)劑含有肟衍生物，所述無(wú)機(jī)顏料被硅烷偶合劑表面處理。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，硅烷偶合劑具有選自烷氧基甲硅烷基、氯甲硅烷基及乙酰氧基甲硅烷基中的至少一種官能團(tuán)、和選自乙烯基、氨基、巰基、環(huán)氧基及(甲基)丙烯?；械闹辽僖环N官能團(tuán)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，無(wú)機(jī)顏料為二氧化硅。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，肟衍生物為至少具有芳香族基的化合物。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，肟衍生物具有用下述通式(I)、通式(II)及通式(X)中的任意一種表示的部分結(jié)構(gòu)，化1Ar<C(Y，》=N，0-Y化2Ar如0-CCY'〕=M-O—Y化3通式(I)通式(II)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>通式(X)意一種，Y'表示氫原子及一價(jià)取代基中的任意一種，yz表示脂肪族基、芳香族基、雜環(huán)基、coy3、co2y3及cony4y5中的任意一種，y3、y4及ys表示脂肪族基、芳香族基及雜環(huán)基中的任意一種，m表示l以上的整數(shù)，另外，所述通式(x)中，r^表示?；?、垸氧基羰基及芳氧基羰基中的任意一種，這些取代基也可以進(jìn)一步具有取代基，a表示0以上的任意整數(shù)，r，表示取代基，在(x為2以上的情況下，該r^可以相同或不同，Ar表示芳香族環(huán)及雜芳香族環(huán)中的任意一種，A表示4、5、6及7員環(huán)中的任意一種，這些環(huán)也可以分別含有雜原子。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，粘合劑含有在側(cè)鏈具有酸性基和乙烯性不飽和鍵的高分子化合物。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的感光性組合物，其中，粘合劑含有在側(cè)鏈具有酸性基、可含有雜環(huán)的芳香族基和乙烯性不飽和鍵的高分子化合物。8.—種感光性薄膜，其特征在于，在支撐體上具有由權(quán)利要求1所述的感光性組合物構(gòu)成的感光層而成。9.一種永久圖案形成方法，其特征在于，包括對(duì)利用權(quán)利要求1所述的感光性組合物形成的感光層進(jìn)行曝光的步驟。10.—種印刷電路板，其特征在于，利用權(quán)利要求9所述的永久圖案形成方法形成永久圖案。全文摘要本發(fā)明的目的在于提供一種可以有效地形成靈敏度、顯影性及粘附性良好且為高精細(xì)的永久圖案的感光性組合物、感光性薄膜、使用所述感光性組合物的永久圖案形成方法及利用所述永久圖案形成方法形成圖案的印刷電路板。本發(fā)明是一種含有粘合劑、聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑、熱交聯(lián)劑及無(wú)機(jī)顏料，所述光聚合引發(fā)劑含有肟衍生物，利用硅烷偶合劑表面處理所述無(wú)機(jī)顏料的感光性組合物。所述硅烷偶合劑優(yōu)選具有從烷氧基甲硅烷基、氯甲硅烷基及乙酰氧基甲硅烷基中選擇的至少一種官能團(tuán)和從乙烯基、氨基、巰基、環(huán)氧基及(甲基)丙烯?；羞x擇的至少一種官能團(tuán)的方式等。文檔編號(hào)G03F7/027GK101149562SQ20071016185公開日2008年3月26日申請(qǐng)日期2007年9月24日優(yōu)先權(quán)日2006年9月22日發(fā)明者林利明,藤田明德,高島正伸申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社