專利名稱：：顯影液組成物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明是關(guān)于一種光阻劑(Photoresist)的顯影液(Developer)組成物，尤其是指一種高濃度顯影液的組成物(Developer)，其可運(yùn)用在集成電路(IC)、印刷電路板(PCB)、液晶顯示器(LCD)或彩色濾光片(CF)的領(lǐng)域上，特別適用于彩色濾光片用光阻劑的顯影用途上。
背景技術(shù)：
：一般在集成電路、印刷電路板和液晶顯示器等制備工藝中，為獲致精細(xì)圖像，常利用光阻劑等放射線敏感組成物以涂布方式在基材上形成薄膜，經(jīng)過(guò)放射線照射后，以堿性顯影液顯像，來(lái)除去不要的涂膜部分，以獲致良好的圖像。常用的顯影方法有浸漬顯影、搖動(dòng)顯影、噴灑顯影和靜置顯影等技術(shù)。由于一般光阻劑是由堿可溶性樹(shù)脂，例如酚醛樹(shù)脂(Novolac)、壓克力樹(shù)脂、聚對(duì)-羥基苯乙烯等，搭配不同的放射線敏感物質(zhì)以形成正型或負(fù)型光阻劑。在經(jīng)過(guò)放射線照射后改變?cè)瓉?lái)的溶解度，而可以溶于堿性顯影液中。堿性顯影液中所使用的堿性化合物一般有分為無(wú)機(jī)堿及有機(jī)堿兩大類，一般無(wú)機(jī)堿可為氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、以及碳酸氫鈉等，一般有機(jī)堿可為氫氧化四甲銨或垸醇胺等堿性化合物，都被廣泛使用于顯影液中。然根據(jù)公知顯影液的技術(shù)，光阻劑在涂膜并預(yù)烤、曝光后，以堿性顯影液來(lái)溶解除去未曝光而不要的涂膜部份，顯影的現(xiàn)象產(chǎn)生是因?yàn)樵摴庾鑴┲泻兴峁倌芑?。此等位于有機(jī)聚合物基質(zhì)內(nèi)的酸基于堿溶液中被中和，而形成水溶性有機(jī)聚合物鹽。當(dāng)所溶解的光阻劑于溶液中累積時(shí)，顯影槽中開(kāi)始形成不溶性有機(jī)物質(zhì)，最后形成水不溶性殘?jiān)驓埩粑铩４说仍俪练e的殘留物對(duì)于在顯影時(shí)卻容易產(chǎn)生未顯影部位粒子或未溶解物的殘存，因此顯影后比較難以形成精確的光阻劑圖像。為了改善上述的缺失，添加界面活性劑可減少形成殘?jiān)?scum)的傾向。如美國(guó)專利US7,150，960中就有揭露添加非離子性界面活性劑有降低殘?jiān)男Ч?。另外，添加界面活性劑有增加顯影速率，提高生產(chǎn)效率的優(yōu)點(diǎn)。但是近年來(lái)隨著家用平面顯示器的普及化，液晶顯示器用彩色濾光片光阻劑，為了提高色彩對(duì)比性和飽和度，彩色光阻劑添加了更多的顏料微粒子，使得顯影時(shí)容易隨著殘?jiān)睦鄯e，使顯影槽中被溶解的顏料微粒子或其它的成分等水不溶性殘留物，再沉積回基板或光阻涂膜上，造成彩色濾光片上殘留有殘?jiān)?、表面污染等瑕疵。故目前光阻劑的堿性顯影液的趨勢(shì)，除了堿性化合物外，還含有用于增強(qiáng)其清潔力的非離子界面活性劑。目前業(yè)界較常使用且具有卓越清潔力的非離子界面活性劑，為環(huán)氧垸基類界面活性劑。為了達(dá)到最大的清潔力除了單一的環(huán)氧烷基類界面活性劑還會(huì)使用復(fù)數(shù)種類的環(huán)氧烷基類界面活性劑的混合物，其中包括莫耳數(shù)不同的環(huán)氧垸基、及不同的環(huán)氧烷基，如環(huán)氧乙垸或環(huán)氧丙烷等。但此類的堿性顯影液，因?yàn)樘砑恿朔请x子界面活性劑，所以會(huì)繼承代表界面活性劑性質(zhì)之一的濁點(diǎn)(當(dāng)堿性顯影液的溫度升高或濃度提升時(shí)導(dǎo)致該顯影液變成白濁的溫度)。尤其是無(wú)機(jī)堿類顯影液偶爾會(huì)出現(xiàn)以下問(wèn)題堿性顯影液可能在儲(chǔ)存或運(yùn)送過(guò)程中受熱而變白濁及分層進(jìn)而析出，嚴(yán)重的是在儲(chǔ)槽中因?yàn)榉謱訉?dǎo)致計(jì)量的濃度不正確，上下層的濃度及成分比例都不相同，更嚴(yán)重的是在輸送的管路中因?yàn)闇囟鹊淖兓謱游龀?，而在管路的死角中堆積進(jìn)而堵塞管路。一般的堿性顯影液在低濃度時(shí)不易發(fā)現(xiàn)非離子界面活性劑析出分層的現(xiàn)象，一但需配制高濃度的堿性顯影液時(shí)，非離子界面活性劑的疏水基團(tuán)與水的疏水作用大于親水基團(tuán)的親水作用即會(huì)分層進(jìn)而析出的問(wèn)題。故此類的堿性顯影液的濃度會(huì)受其濁點(diǎn)的限制，而無(wú)法大幅的提高。故常常在此類型的顯影液中有相當(dāng)部份是溶劑，若試圖提高顯影液的濃度以減少溶劑體積進(jìn)而減少運(yùn)費(fèi)的目的下，嘗試提高顯影液的濃度時(shí)，就會(huì)有濁點(diǎn)下降至室溫以下，而遭遇到溶解度不佳而分層進(jìn)而析出的問(wèn)題。有一種提高堿性顯影液濁點(diǎn)方式，就是使用具有高濁點(diǎn)的非離子界面活性劑，但加入高濁點(diǎn)的非離子界面活性劑，會(huì)有產(chǎn)生其它的副作用，如在光阻膜上會(huì)殘存界面活性劑，或是產(chǎn)生殘?jiān)取?br/>發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供顯影液組成物。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的顯影液組成物，其包括(a)0.120份重量的堿性化合物，該堿性化合物的份重量，是以IOO份重量的該顯影液組成物為基準(zhǔn)計(jì)算；(b)0.120份重量的非離子性界面活性劑，該非離子性界面活性劑的份重量，是以IOO份重量的該顯影液組成物為基準(zhǔn)計(jì)算；(c)0.110份重量的如下式(I)結(jié)構(gòu)的單羧酸化合物RCOOR'式(I)其中，R為含碳數(shù)512的脂肪族或芳香族，R'為氫、堿金屬或堿土金屬陽(yáng)離子；該式(I)的單羧酸化合物的份重量，是以100份重量的該顯影液組成物為基準(zhǔn)計(jì)算；以及(d)其余份重量的水，該水的份重量是以100份重量的該顯影液組成物為基準(zhǔn)計(jì)算。所述的顯影液組成物，其中，該堿性化合物是選自于下列群組，包括堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、磷酸鹽、硼酸鹽、氨、氫氧化四甲銨、氫氧化2-氫氧化乙基三甲鉸、單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單異丙基胺、二異丙基胺、三異丙基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、單乙醇二甲基胺以及上述化合物的混合物。所述的顯影液組成物，其中，該堿性化合物為無(wú)機(jī)堿性化合物。所述的顯影液組成物，其中，該堿性化合物，是選自于下列群組，包括堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、磷酸鹽、硼酸鹽、氨以及上述化合物的混合物。所述的顯影液組成物，其中，該堿性化合物為有機(jī)堿性化合物。所述的顯影液組成物，其中，該非離子性界面活性劑，是選自下列群組，包括聚環(huán)氧乙烯垸基醚、聚環(huán)氧乙烯垸基芳基醚、聚環(huán)氧乙烯脂肪酸酯、山梨醣醇酐脂肪酸酯、聚環(huán)氧乙烯山梨醣醇酐脂肪酸酯、聚環(huán)氧乙烯苯乙烯化芳基醚、聚環(huán)氧乙烯二苯乙烯化芳基醚、聚環(huán)氧乙烯三苯乙烯化芳基醚、聚環(huán)氧乙烯氧化丙烯共聚物、聚環(huán)氧乙烯與脂肪酸胺、酰胺或酸的縮合物、以及上述物質(zhì)的混合物。所述的顯影液組成物，其中，該非離子性界面活性劑，是具有聚環(huán)氧乙烯或聚環(huán)氧化丙烯共聚物的單體。所述的顯影液組成物，其中，該式(I)結(jié)構(gòu)的單羧酸化合物，是選自下列群組，包括戊酸、己酸、庚酸、苯甲酸、鄰-羥基苯甲酸、鄰-甲苯甲酸、間-甲苯甲酸、對(duì)-甲苯甲酸、辛酸、壬酸、癸酸、十二酸、上述化合物的堿金屬或堿土金屬陽(yáng)離子鹽類、以及上述化合物的混合物。所述的顯影液組成物，其中，該式(I)結(jié)構(gòu)的單羧酸化合物，是選自于下列群組，包括鄰-羥基苯甲酸、鄰-甲苯甲酸、間-甲苯甲酸、對(duì)-甲苯甲酸、辛酸、壬酸、癸酸、十二酸、上述的化合物的堿金屬或堿土金屬陽(yáng)離子鹽類、以及上述化合物的混合物。所述的顯影液組成物，其中，該(a)堿性化合物的份重量是介于0.5至15份重量，該(b)非離子性界面活性劑的份重量介于0.5至15份重量，該(c)單羧酸化合物的份重量介于0.2至8份重量。所述的顯影液組成物，其中，該(a)堿性化合物的份重量是介于3至15份重量，該(b)非離子性界面活性劑的份重量介于3至15份重量，該(c)單羧酸化合物的份重量介于0.5至5份重量。換言之，本發(fā)明提供的含有非離子界面活性劑的高濃度的堿性顯影液組成，本發(fā)明的堿性顯影液組成在高濃度下亦具有高濁點(diǎn)，可克服堿性顯影液可能在儲(chǔ)存或運(yùn)送過(guò)程中受熱而變白濁及分層進(jìn)而析出的問(wèn)題，且具有良好清潔力。本發(fā)明揭示一種具有高濃度的顯影液組成物，包含有(a)堿性化合物、(b)非離子性界面活性劑、以及(c)一種具有以下式(I)的結(jié)構(gòu)特征的單羧酸化合物RCOOR'式(I)其中R為含碳數(shù)5~12的脂肪族或芳香族，R'為氫、堿金屬或堿土金屬陽(yáng)離子。本發(fā)明的顯影液組成物，添加一種具有式(I)結(jié)構(gòu)特征的單羧酸化合物，可提高顯影液的濁點(diǎn)，進(jìn)而可以提高顯影液的濃度。一般公知的顯影液，當(dāng)提高顯影液的濃度時(shí)，會(huì)有溶解度不佳的析出問(wèn)題，這將會(huì)導(dǎo)致顯影速度下降與殘?jiān)鼩埩簦槐景l(fā)明的顯影液組成物克服了該等公知顯影液的缺陷與問(wèn)題。本發(fā)明的顯影液組成物，其中所使用的(a)堿性化合物可以為一般周知的堿性化合物，較佳可為鋰、鉀、鈉等堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、磷酸鹽、硼酸鹽或氨等無(wú)機(jī)堿性化合物；或是氫氧化四甲銨、氫氧化2-氫氧化乙基三甲銨、單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單異丙基胺、二異丙基胺、三異丙基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、或單乙醇二甲基胺等的有機(jī)堿性化合物，也可為上述化合物的混合物。本發(fā)明的顯影液組成物，其中所使用的(b)非離子性界面活性劑，可以為一般周知的非離子性界面活性劑，較佳可為聚環(huán)氧乙烯垸基醚(polyoxyethylenealkylether)、聚環(huán)氧乙卡希烷基芳基醚(polyoxyethylenealkylphenylether)、聚環(huán)氧乙烯脂肪酸酯(polyoxyethylenefattyacidester)、山梨醣醇酐脂肪酸酯(sorbitanfattyacidester)、聚環(huán)氧乙烯山梨酷醇軒月旨肪酸酉旨(polyoxyethylenesorbitanfattyacidester)、聚環(huán)氧乙烯苯乙烯化芳基醚(polyoxyethylenestyrenatedphenylether)、聚環(huán)氧乙烯二苯乙烯化芳基醚(polyoxyethylenedistyrenatedphenylether)、聚環(huán)氧乙烯三苯乙烯化芳基醚(polyoxyethylenetriistyrenatedphenylether)、聚環(huán)氧乙烯氧4七丙j;希共聚物(polyoxyethylenepolyoxypropyleneether)或聚環(huán)氧乙烯與脂肪酸胺、酰胺或酸的縮合物，也可為上述物質(zhì)的混合物。本發(fā)明的顯影液組成物，其中所使用的(c)一種具有如下式(I)結(jié)構(gòu)特征的單羧酸化合物，RCOOR'式(I)，其中R為含碳數(shù)512的脂肪族或芳香族，R'為氫、堿金屬或堿土金屬陽(yáng)離子。上述的具有式(I)結(jié)構(gòu)特征的單羧酸化合物可以是一般周知的單羧酸化合物，較佳可為戊酸、己酸、庚酸、苯甲酸、鄰-羥基苯甲酸、鄰-甲苯甲酸、間-甲苯甲酸、對(duì)-甲苯甲酸、辛酸、壬酸、癸酸、十二酸、及上述化合物的堿金屬或堿土金屬陽(yáng)離子鹽類，也可為上述化合物的混合物。以下將詳述本發(fā)明相關(guān)的顯影液組成物。本發(fā)明的顯影液組成物，其中所使用的(a)堿性化合物的使用量，相對(duì)于顯影液配方全部為100份重量時(shí)，以0.01—30份重量為佳，較佳為1一20份重量，更佳為0.5—15份重量，最佳為3—15份重量，所得顯像液的pH范圍為9一14。本發(fā)明的顯影液組成物，其中所使用的(b)非離子性界面活性劑的使用量，相對(duì)于顯影液配方全部為IOO份重量時(shí)，以0.01—30份重量為佳，較佳為0.1_20份重量，更佳為0.5—15份重量，最佳為3—15份重量。該使用量不滿0.01份重量時(shí)效果不充分，容易有殘留膜產(chǎn)生；但若超過(guò)30份重量時(shí)則容易會(huì)有堿性化合物溶解度下降與起泡性嚴(yán)重等問(wèn)題發(fā)生。本發(fā)明的顯影液組成物，其中所使用的(c)一種具有式OO結(jié)構(gòu)特征的單羧酸化合物的使用量，相對(duì)于顯影液配方全部為IOO份重量時(shí)，以0.01—15份重量為佳，較佳為0.1—10份重量，更佳為0.2—8份重量，最佳為0.5—5份重量。該使用量不滿0.01份重量時(shí)提高濁點(diǎn)效果不明顯；但若超過(guò)15份重量時(shí)則容易有殘留膜產(chǎn)生嚴(yán)重等問(wèn)題發(fā)生。本發(fā)明的顯影液組成物，為了增加堿性化合物于水中的溶解度或調(diào)整顯影的效率，可以選擇性地添加水溶性佳的有機(jī)溶劑做為助溶劑。例如乙醇、異丙醇、丁醇、己醇、環(huán)己醇、辛醇、異壬醇、乙二醇、甘油等醇類，或是乙二醇單烷基醚類、二乙二醇單垸基醚類、二乙二醇二垸基醚類、以及醋酸丙二醇單烷基醚類等化合物。上述助溶劑的使用量，相對(duì)于顯影液配方全部為100份重量時(shí)，較佳為小于5份重量。于本發(fā)明的顯影液組成物中，除上述成分外，其余比例為水，水為一般使用的水，例如可以是純水、去離子水或蒸餾水。本發(fā)明的顯影液組成物為一種高濃度的顯影液，一般在生產(chǎn)在線使用時(shí)，會(huì)以二十倍或二十倍重量以上的純水稀釋。本發(fā)明的顯影液組成物，可應(yīng)用于含有著色劑的著色感旋光性樹(shù)脂的顯影制備工藝。上述感旋光性樹(shù)脂并無(wú)特別的限制，其可為正型或負(fù)型的感旋光性樹(shù)脂組成物。惟在彩色感旋光性樹(shù)脂組成物方面，其通常包含有有機(jī)或無(wú)機(jī)的顏料(著色劑)、堿可溶性的黏結(jié)樹(shù)脂(binderresin)、感旋光性化合物及溶劑等成份，上述的堿可溶性的黏結(jié)樹(shù)脂可為熱塑性酚醛樹(shù)脂(Novolacresin)、丙烯酸系樹(shù)脂(acrylateresin)、順丁烯二酐(Maleicanhydride)或其半酯(halfester)的聚合物、或是聚羥基苯乙烯(polyhydroxystyrene)等，其中以丙烯酸系樹(shù)脂為佳。其可能的具體實(shí)例，例如(甲基)丙烯酸甲酉旨/乙烯酚(hydroxylphenol)/苯乙烯/(甲基)丙烯酸共聚物、(甲基)丙烯酸芐酯(benzylmethacrylate)/(甲基)丙烯酸/苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸/苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯芐酸/(甲基)丙烯酸共聚物。上述聚合物的平均分子量較佳為介于5000200000之間，更佳為介于8000-60000之間。具體實(shí)施方式使用以下特定實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)描述本發(fā)明下述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明實(shí)施的方法有較具體的說(shuō)明，然本發(fā)明所主張的權(quán)利要求范圍非僅限于下述實(shí)施例。本文中，濃度未特別標(biāo)記的部分是以重量為基準(zhǔn)。以下，列舉30組實(shí)施例及IO組對(duì)照例，如表1所示。實(shí)施例1-30顯影液組成物的調(diào)配依照表1的重量百分比將(a)堿性化合物、(b)非離子界面活性劑與(c)羧酸化合物或其陽(yáng)離子鹽類，再加入超純水進(jìn)行混合配制成重量為100克的水溶液。濁點(diǎn)的測(cè)定將依照表l調(diào)配后的「顯影液組成物」置于燒杯中，然后慢慢加熱，并用溫度計(jì)量測(cè)其溫度，當(dāng)溶液由澄清變成渾濁時(shí)讀取溫度計(jì)的溫度值，此讀取溫度值即為濁點(diǎn)(CouldPointC.P.)。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>非離子界面活性劑8-K(客制化商品，結(jié)構(gòu)如下所示)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula>非離子界面活性劑CF-IO(道氏化學(xué)(DowChemical)商品，商品名TritonCF-IO，結(jié)構(gòu)如下所示)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>非離子界面活性劑S-27000(Lubrizol公司商品，商品名LubrizolSolsperse27000，結(jié)構(gòu)式如下所示)非離子界面活性劑A-60(KOA公司商品，商品名EmulgenA-60，結(jié)構(gòu)未知)。由表l、對(duì)照例l及對(duì)照例2「濁點(diǎn)的測(cè)定」的結(jié)果得知，當(dāng)顯影液的濃度提高一倍，濁點(diǎn)由39'C降至27°C。由表1、實(shí)施例1到實(shí)施例30「濁點(diǎn)的測(cè)定」的結(jié)果得知，加入(c)羧酸化合物或其陽(yáng)離子鹽類，確實(shí)可以有效的提高濁點(diǎn)。本發(fā)明揭示一種具有高濃度顯影液含有(a)堿性化合物、(b)非離子性界面活性劑以及(c)一種具有以下式(I)結(jié)構(gòu)特征的單羧酸化合物其中R為含碳數(shù)5~12的脂肪族或芳香族，R'為堿金屬或堿土金屬陽(yáng)離子?！革@影液組成物的調(diào)配」是依照表1的重量百分比將(a)堿性化合物、(b)非離子界面活性劑與(c)一種具有式(I)結(jié)構(gòu)特征的單羧酸化合物，再加入超純水進(jìn)行混合配制成重量為IOO克的水溶液。綜上所陳，本發(fā)明無(wú)論就目的、手法及功效，或就其技術(shù)層面與研發(fā)設(shè)計(jì)上，均顯示其迥異于公知技術(shù)的特征。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>式(I)應(yīng)注意的是，上述諸多實(shí)施例僅是為了便于說(shuō)明故舉例闡述的，而本發(fā)明所主張的范自應(yīng)以權(quán)利要求范圍所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實(shí)施例。權(quán)利要求1、一種顯影液組成物，其包括(a)0.1～20份重量的堿性化合物，該堿性化合物的份重量，是以100份重量的該顯影液組成物為基準(zhǔn)計(jì)算；(b)0.1～20份重量的非離子性界面活性劑，該非離子性界面活性劑的份重量，是以100份重量的該顯影液組成物為基準(zhǔn)計(jì)算；(c)0.1～10份重量的如下式(I)結(jié)構(gòu)的單羧酸化合物RCOOR′式(I)其中，R為含碳數(shù)5～12的脂肪族或芳香族，R′為氫、堿金屬或堿土金屬陽(yáng)離子；該式(I)的單羧酸化合物的份重量，是以100份重量的該顯影液組成物為基準(zhǔn)計(jì)算；以及(d)其余份重量的水，該水的份重量是以100份重量的該顯影液組成物為基準(zhǔn)計(jì)算。2、如權(quán)利要求1所述的顯影液組成物，其中，該堿性化合物是選自于下列群組，包括堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、磷酸鹽、硼酸鹽、氨、氫氧化四甲銨、氫氧化2-氫氧化乙基三甲銨、單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單異丙基胺、二異丙基胺、三異丙基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、單乙醇二甲基胺以及上述化合物的混合物。3、如權(quán)利要求1所述的顯影液組成物，其中，該堿性化合物為無(wú)機(jī)堿性化合物。4、如權(quán)利要求1所述的顯影液組成物，其中，該堿性化合物，是選自于下列群組，包括堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、磷酸鹽、硼酸鹽、氨以及上述化合物的混合物。5、如權(quán)利要求1所述的顯影液組成物，其中，該堿性化合物為有機(jī)堿性化合物。6、如權(quán)利要求1所述的顯影液組成物，其中，該非離子性界面活性劑，是選自下列群組，包括聚環(huán)氧乙烯烷基醚、聚環(huán)氧乙烯垸基芳基醚、聚環(huán)氧乙烯脂肪酸酯、山梨醣醇酐脂肪酸酯、聚環(huán)氧乙烯山梨醣醇酐脂肪酸酯、聚環(huán)氧乙烯苯乙烯化芳基醚、聚環(huán)氧乙烯二苯乙烯化芳基醚、聚環(huán)氧乙烯三苯乙烯化芳基醚、聚環(huán)氧乙烯氧化丙烯共聚物、聚環(huán)氧乙烯與脂肪酸胺、酰胺或酸的縮合物、以及上述物質(zhì)的混合物。7、如權(quán)利要求1所述的顯影液組成物，其中，該非離子性界面活性劑，是具有聚環(huán)氧乙烯或聚環(huán)氧化丙烯共聚物的單體。8、如權(quán)利要求1所述的顯影液組成物，其中，該式(I)結(jié)構(gòu)的單羧酸化合物，是選自下列群組，包括戊酸、己酸、庚酸、苯甲酸、鄰-羥基苯甲酸、鄰-甲苯甲酸、間-甲苯甲酸、對(duì)-甲苯甲酸、辛酸、壬酸、癸酸、十二酸、上述化合物的堿金屬或堿土金屬陽(yáng)離子鹽類、以及上述化合物的混合物。9、如權(quán)利要求1所述的顯影液組成物，其中，該式(I)結(jié)構(gòu)的單羧酸化合物，是選自于下列群組，包括鄰-羥基苯甲酸、鄰-甲苯甲酸、間-甲苯甲酸、對(duì)-甲苯甲酸、辛酸、壬酸、癸酸、十二酸、上述的化合物的堿金屬或堿土金屬陽(yáng)離子鹽類、以及上述化合物的混合物。10、如權(quán)利要求1所述的顯影液組成物，其中，該(a)堿性化合物的份重量是介于0.5至15份重量，該(b)非離子性界面活性劑的份重量介于0.5至15份重量，該(c)單羧酸化合物的份重量介于0.2至8份重量。11、如權(quán)利要求l所述的顯影液組成物，其中，該(a)堿性化合物的份重量是介于3至15份重量，該(b)非離子性界面活性劑的份重量介于3至15份重量，該(c)單羧酸化合物的份重量介于0.5至5份重量。全文摘要一種顯影液組成物，其包括(a)0.1～20份重量的堿性化合物；(b)0.1～20份重量的非離子性界面活性劑；(c)0.1～10份重量的如下式(I)結(jié)構(gòu)的單羧酸化合物RCOOR′式(I)，其中，R為含碳數(shù)5～12的脂肪族或芳香族，R′為氫、堿金屬或堿土金屬陽(yáng)離子；以及(d)其余份重量的水。上述的份重量，系以100份重量的該顯影液組成物為基準(zhǔn)計(jì)算。文檔編號(hào)G03F7/32GK101290480SQ20071009019公開(kāi)日2008年10月22日申請(qǐng)日期2007年4月16日優(yōu)先權(quán)日2007年4月16日發(fā)明者劉大銘,李晏成,陳俊廷申請(qǐng)人:明德國(guó)際倉(cāng)儲(chǔ)貿(mào)易(上海)有限公司