專利名稱：激光振蕩裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于激光加工機(jī)等的激光振蕩裝置。
背景技術(shù)：
在由激光束對被加工物進(jìn)行加工的激光加工機(jī)中，使用具有激光振蕩器和多個反射鏡的激光振蕩裝置。激光振蕩器具有箱體，在該箱體的內(nèi)部產(chǎn)生激光。該激光作為激光束通過多個反射鏡傳送到對被加工物進(jìn)行加工的加工部。
激光加工機(jī)例如公開于日本特開2002-316291號公報(專利文獻(xiàn)1)的圖1。在公開于該專利文獻(xiàn)1的激光加工機(jī)的激光振蕩裝置中，從激光振蕩器輸出的直線偏振的激光束由第1折向反射鏡進(jìn)行圓偏振，該受到圓偏振的激光束由第2折向反射鏡(凸面鏡)和第3折向反射鏡(凹面鏡)擴(kuò)大光束直徑，同時被校正成大體平行的光束，送出到加工部。一般情況下，從激光振蕩器輸出的激光中包含直線偏振光成分，該激光的直線偏振光成分使得相對被加工物的、激光的吸收率在加工方向上不同，加工質(zhì)量產(chǎn)生各向異性。為此，使從激光振蕩器輸出的激光成為圓偏振光。專利文獻(xiàn)1的第1折向反射鏡構(gòu)成將直線偏振光的激光變換成圓偏振光的圓偏振反射鏡。
另外，在日本特開平11-163442號公報(專利文獻(xiàn)2)的圖1中，公開了用于激光加工機(jī)的YAG激光振蕩裝置。在該YAG激光振蕩裝置中，在共用的基座板上配置基波振蕩部、二次諧波發(fā)生部、三次諧波發(fā)生部、及反射特定波長的光的2個二向色鏡。該專利文獻(xiàn)2的基波振蕩部構(gòu)成激光振蕩器。
日本特開2002-316291號公報，特別是圖1[專利文獻(xiàn)2]日本特開平11-163442號公報，特別是圖1
在公開于專利文獻(xiàn)1的使用圓偏振反射鏡的激光振蕩裝置中，圓偏振反射鏡安裝于激光振蕩器的箱體。為此，隨著激光振蕩器的箱體的熱變形，圓偏振反射鏡的角度變化，在激光軸產(chǎn)生偏差。從圓偏振反射鏡到加工部的距離較長，一般為10m以上，圓偏振反射鏡的很小的角度變化，都會使加工位置產(chǎn)生大的變化。另外，即使在公開于專利文獻(xiàn)2的使用2個二向色鏡的激光振蕩裝置中，各二向色鏡也安裝于共用的基座板上。為此，激光振蕩器的熱量使基座板變形，各二向色鏡的平行性被破壞，激光的光軸產(chǎn)生偏差，存在加工位置產(chǎn)生偏差的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種可改善以上那樣的激光的光軸偏差的激光振蕩裝置。
本發(fā)明的激光振蕩裝置具有箱體，在該箱體的內(nèi)部具有產(chǎn)生激光的激光振蕩器，引導(dǎo)由上述激光振蕩器發(fā)生的上述激光的第1反射鏡，以及與上述第1反射鏡平行地配置、進(jìn)一步引導(dǎo)來自上述第1反射鏡的上述激光的第2反射鏡，其特征在于上述第1反射鏡和上述第2反射鏡都安裝于共用的反射鏡支承構(gòu)件，該反射鏡支承構(gòu)件相對上述激光振蕩器的箱體由位于三角形的頂點(diǎn)的僅3個固定構(gòu)件機(jī)械地接合。
在本發(fā)明的激光振蕩裝置中，第1反射鏡和第2反射鏡都安裝于共用的反射鏡支承構(gòu)件，該反射鏡支承構(gòu)件相對激光振蕩器的箱體由位于三角形的各頂點(diǎn)的僅3個固定構(gòu)件機(jī)械地接合，所以，即使激光振蕩器的箱體產(chǎn)生熱變形，也可將反射鏡支承構(gòu)件的變形抑制得足夠小，可將第1、第2反射鏡的激光的光軸偏差抑制得足夠小。


圖1為示出本發(fā)明激光振蕩裝置的實(shí)施形式1的透視圖。
圖2為說明實(shí)施形式1的反射鏡支承構(gòu)件的變形的說明圖。
圖3為說明4點(diǎn)構(gòu)造的反射鏡支承構(gòu)件的變形的說明圖。
圖4為示出本實(shí)施形式1的反射鏡的平行性的說明圖。
圖5為示出本發(fā)明激光振蕩裝置的實(shí)施形式2的透視圖。
圖6為示出本發(fā)明激光振蕩裝置的實(shí)施形式3的透視圖。
圖7為示出實(shí)施形式3的箱形反射鏡支承體的透視圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照

本發(fā)明的幾個實(shí)施形式。
實(shí)施形式1圖1為示出本發(fā)明激光振蕩裝置的實(shí)施形式1的透視圖。該實(shí)施形式1的激光振蕩裝置100例如用于激光加工機(jī)。
實(shí)施形式1的激光振蕩裝置100具有激光振蕩器10和光學(xué)單元20。激光振蕩器10具有箱體11，在該箱體11的內(nèi)部產(chǎn)生激光。箱體11由金屬例如鋼板形成為長方體的箱形，具有正面壁11A、背面壁11B、周壁11C。由激光振蕩器10產(chǎn)生的激光成為激光束LB，從正面壁11A朝與其垂直交叉的方向引出。在正面壁11A形成3個安裝臺12A、12B、12C。
激光振蕩器10使用例如由日本特開昭60-254684號公報的圖2公開的激光振蕩器。該激光振蕩器為氣體激光振蕩器，在箱體11的內(nèi)部封入CO2等激光氣體。在封入了激光氣體的箱體11內(nèi)，如日本特開昭60-254684號公報的圖2所示那樣，配置使激光氣體循環(huán)的送風(fēng)機(jī)、使激光氣體冷卻的熱交換器、及對激光氣體進(jìn)行激勵的一對放電電極。在激光器振蕩過程中，激光氣體產(chǎn)生溫度差，在箱體11產(chǎn)生溫度分布，基于該溫度分布，箱體11發(fā)生熱變形。用于例如激光加工機(jī)的激光振蕩器10為高輸出，內(nèi)部產(chǎn)生的熱量大，所以，不能避免箱體11的熱變形。
光學(xué)單元20具有反射鏡系統(tǒng)21和反射鏡支承構(gòu)件41。反射鏡系統(tǒng)21具有相互平行地配置的第1反射鏡22和第2反射鏡24。在實(shí)施形式1中，第1反射鏡22為圓偏振反射鏡，第2反射鏡24為由普通反射鏡構(gòu)成的折向反射鏡。第1反射鏡22使激光束LB按45°的入射角入射地設(shè)置。
在日本特開平8-192283號公報的圖25中，公開了使從激光振蕩器輸出的直線偏振光的激光成為圓偏振光的方法。相對按入射角45°使用的反射鏡的反射面，形成電介質(zhì)多層膜，該電介質(zhì)多質(zhì)膜以直線偏振的激光的偏振面與S偏振光軸(或P偏振光軸)構(gòu)成45°的入射配置(方位角45°)，在反射的激光的S偏振光與P偏振光的兩成分間產(chǎn)生90°(λ/4)的相位差地進(jìn)行了光學(xué)膜設(shè)計，從而可將直線偏振光變換成圓偏振光，將這樣的反射鏡稱為圓偏振反射鏡。在這里，S偏振光為具有與入射面垂直的偏振面的成分，P偏振光為具有與其垂直即平行于入射面的偏振面的成分。圓偏振反射鏡22與公開于該日本特開平8-192283的圓偏振反射鏡相同。
反射鏡支承構(gòu)件41由金屬例如鋼板形成為長方形的平板狀。該反射鏡支承構(gòu)件41具有相向的一對主面41A、41B、相向的一對長邊42A、42B、相向的一對短邊42C、42D、及4個角部43A～43D。主面41A、41B為相互平行的平面。角部43A形成于左長邊42A與上短邊42C間，角部43B形成于右長邊42B與上短邊42C間，角部43C形成于右長邊42B與下短邊42D間，角部43D形成于左長邊42A與下短邊42D間。
第1反射鏡22安裝于反射鏡塊23，該反射鏡塊23直接安裝于反射鏡支承構(gòu)件41的主面41A的上部中央。第2反射鏡24安裝于反射鏡塊25，該反射鏡塊25直接安裝于反射鏡支承構(gòu)件41的主面41A的下部中央。反射鏡塊23、25分別將其兩端面形成為直角等腰三角形，形成為三棱柱狀。反射鏡22、24以各自的反射鏡的中心面相對反射鏡支承構(gòu)件41的主面41A傾斜45°、相互平行的狀態(tài)，由反射鏡塊23、25支承。激光束LB按45°的角度入射到第1反射鏡22的入射面，從該入射面以45°的角度反射，此后，以45°的入射角入射到第2反射鏡24的入射面，從該入射面以45°的角度反射，引導(dǎo)至激光加工機(jī)的加工部。
反射鏡支承構(gòu)件41由僅包含3個固定件45A、45B、45C的3點(diǎn)固定構(gòu)造，直接安裝在形成于激光振蕩器10的箱體11的正面壁11A的安裝臺12A、12B、12C。固定件45A將反射鏡支承構(gòu)件41的角部43A固定于正面壁11A。固定件45B將反射鏡支承構(gòu)件41的角部43B固定于正面壁11A。固定件45C將反射鏡支承構(gòu)件41的角部43C固定于正面壁11A。在角部43D未配置固定件，該角部43D不固定于正面壁11A，為自由狀態(tài)。這樣，僅用3個固定件45A、45B、45C將3個角部45A、45B、45C固定于正面壁11A，結(jié)果，3個固定件45A、45B、45C位于三角形的各頂點(diǎn)。這些固定件45A、45B、45C例如由具有相同外形尺寸的螺栓構(gòu)成。
圖2、圖3為說明激光振蕩器10的箱體11的正面壁11A的熱變形和該熱變形導(dǎo)致的反射鏡支承構(gòu)件41的變形的說明圖。圖2示出實(shí)施形式1的3點(diǎn)固定構(gòu)造的正面壁11A的熱變形和該熱變形導(dǎo)致的反射鏡支承構(gòu)件41的變形，另外，圖3為了與圖2比較，示出4點(diǎn)固定構(gòu)造的正面壁11A的熱變形和該熱變形導(dǎo)致的反射鏡支承構(gòu)件41的變形。圖2的3點(diǎn)固定構(gòu)造由固定件45A～45C將反射鏡支承構(gòu)件41的角部43A～43C固定于正面壁11A的安裝臺12A～12C。圖3的4點(diǎn)固定構(gòu)造在反射鏡支承構(gòu)件41的角部43D也設(shè)置固定件45D，反射鏡支承構(gòu)件41由4個固定件45A～45D固定于正面壁11A的安裝臺12A～12D。
在實(shí)施形式1的3點(diǎn)固定構(gòu)造中，如圖2所示那樣，即使正面壁11A產(chǎn)生熱變形，在反射鏡支承構(gòu)件41也基本不發(fā)生變形，但在4點(diǎn)固定構(gòu)造中，如圖3所示那樣，隨著正面壁11A的熱變形，在反射鏡支承構(gòu)件41產(chǎn)生大的變形。具體地說，設(shè)想這樣的場合，即，正面壁11A的安裝臺12A～12D基于正面壁11A的熱變形，按相互不同的隆起量隆起。在4點(diǎn)固定構(gòu)造中，由于4個固定件45A～45D產(chǎn)生過剩約束，所以，基于各安裝臺12A～12D的相互不同的隆起量，在長邊42A、42B和短邊42C、42D的各個邊，平行性發(fā)生變化。這樣，由于反射鏡支承構(gòu)件41的平面度變化，所以，反射鏡22、24的相對角度變化，其平行性破壞。如采用4點(diǎn)以上的多點(diǎn)固定構(gòu)造，則產(chǎn)生比4點(diǎn)固定構(gòu)造更過剩的約束，反射鏡22、24的相對角度變化。
在實(shí)施形式1的3點(diǎn)固定構(gòu)造中，當(dāng)箱體11的正面壁11A產(chǎn)生了熱變形時，連接固定件45A與固定件45B的線和連接固定件45B與固定件45C的線移動，但角部43D自由，結(jié)果，包含兩邊的平面唯一地決定，平面度不會變化。因此，反射鏡支承構(gòu)件41的平面度也為一定，圓偏振反射鏡22與折向反射鏡24的相對角度也可保持一定。
圖4為關(guān)于反射鏡22、24的平行性的說明圖。反射鏡支承構(gòu)件41固定于激光振蕩器10的箱體11的正面壁11A，所以，正面壁11A的熱變形導(dǎo)致的反射鏡支承構(gòu)件41的姿勢變化不能避免，但在實(shí)施形式1的3點(diǎn)固定構(gòu)造中，反射鏡支承構(gòu)件41的姿勢變化為單調(diào)變化，該姿勢變化成為可實(shí)質(zhì)上保持圓偏振反射鏡22與折向反射鏡24的平行性的姿勢變化。例如圖4所示那樣，在第1反射鏡22比第2反射鏡24更從正面壁11A離開的那樣的單調(diào)姿勢變化中，反射鏡22、24的平行性實(shí)質(zhì)上得到保持。在該場合，反射鏡22、24的光軸的角度從圖4中用實(shí)線所示狀態(tài)如虛線所示那樣變化，但第1反射鏡22的光軸角度變化與第2反射鏡24的光軸角度變化實(shí)質(zhì)上相互抵消，所以，從第2反射鏡24輸出的激光束LB的光軸角度變化實(shí)質(zhì)上不產(chǎn)生，可實(shí)質(zhì)上保持一定，加工位置的變化也實(shí)質(zhì)上可消除，可獲得良好的加工質(zhì)量。
這樣在實(shí)施形式1中，第1反射鏡22與第2反射鏡24都安裝于反射鏡支承構(gòu)件41，該反射鏡支承構(gòu)件41由位于三角形的各頂點(diǎn)的僅3個固定件45A～45C相對激光振蕩器10的箱體11安裝，所以，可將箱體10的熱變形導(dǎo)致的反射鏡支承構(gòu)件41的變形抑制得足夠小，可抑制激光的光軸變化。
實(shí)施形式2圖5為示出本發(fā)明激光振蕩裝置的實(shí)施形式2的透視圖。該實(shí)施形式2的激光振蕩裝置100A使用光學(xué)單元20A代替實(shí)施形式1的光學(xué)單元20。該光學(xué)單元20A具有反射鏡系統(tǒng)21、反射鏡支承構(gòu)造30、及反射鏡支承構(gòu)件411。反射鏡系統(tǒng)21與實(shí)施形式1同樣地具有第1反射鏡22和第2反射鏡24。反射鏡支承構(gòu)造30共同地支承這些反射鏡22、24。該反射鏡支承構(gòu)造30在實(shí)施形式2中形成為圓筒狀的反射鏡支承體31。反射鏡支承構(gòu)件411在實(shí)施形式1使用的反射鏡支承構(gòu)件41上附加一對安裝臂46。該安裝臂46一體形成于反射鏡支承構(gòu)件411的主面41A，由該安裝臂46將反射鏡支承體31安裝于反射鏡支承構(gòu)件411。安裝第1反射鏡22的反射鏡塊23A和安裝第2反射鏡24的反射鏡塊25A擰入到圓筒狀的反射鏡支承體31的兩端部地構(gòu)成為圓筒狀。其它與實(shí)施形式1相同地構(gòu)成。
在該實(shí)施形式2中，反射鏡支承構(gòu)件411由僅包含3個固定件45A～45C的3點(diǎn)固定構(gòu)造將其4個角部43A～43D中的3個角部43A～43C固定于激光振蕩器10的箱體11的正面壁11A，在角部43D不設(shè)置固定件，角部43D自由。
反射鏡支承體31由金屬例如鋼板構(gòu)成為圓筒狀，與平板相比，具有更高的剛性。該反射鏡支承體31與箱體11的正面壁11A相向，其中心軸沿鉛直方向延伸地配置。在該反射鏡支承體31的上端部安裝第1反射鏡22的反射鏡塊23A，在反射鏡支承體31的下端部安裝第2反射鏡24的反射鏡塊25A。在該實(shí)施形式2中，第1反射鏡22為圓偏振反射鏡，第2反射鏡24為折向反射鏡。來自激光振蕩器10的激光束LB按45°的入射角入射到圓偏振反射鏡22的入射面，在該入射面按45°的角度反射，然后，通過反射鏡支承體31的內(nèi)部，按45°的入射角在折向反射鏡24入射到入射面，在該入射面按45°的角度反射，引導(dǎo)至激光加工機(jī)的加工部。
在反射鏡塊23A、25A附設(shè)冷卻配管33。向該冷卻配管33供給冷卻水34，冷卻反射鏡22、24。用于激光加工機(jī)的激光振蕩器10的輸出高，反射鏡22、24吸收其高輸出的激光束LB的一部分，所以，由冷卻配管33對反射鏡22、24進(jìn)行冷卻很重要。
反射鏡支承體31在激光振蕩器10運(yùn)行前成為與外氣溫度相等的溫度，反射鏡支承體31在其所有部分都成為與外氣溫度相等的溫度，但隨著激光振蕩器10的運(yùn)行開始，由冷卻配管33冷卻反射鏡塊23A、23B時，在反射鏡22、24的周邊部與冷卻配管33的連接部的周邊，溫度局部地下降，所以，在反射鏡支承體31產(chǎn)生局部的溫度變化，在反射鏡支承體31產(chǎn)生熱應(yīng)力。然而，反射鏡支承體31被構(gòu)成為剛性比平板高的圓筒狀，所以，反射鏡支承體31即使受到其熱應(yīng)力作用，彎曲和扭轉(zhuǎn)變形也被抑制得較小。因此，即使由冷卻配管33進(jìn)行冷卻，反射鏡支承體31的變形也較小，可實(shí)質(zhì)性地維持反射鏡22、24的平行性，可將激光束LB的光軸變化抑制得足夠小。
在實(shí)施形式2中，可獲得與實(shí)施形式1同樣的效果，此外，將反射鏡支承體31構(gòu)成為剛性高的圓筒狀，所以，即使由冷卻配管33對反射鏡22、24進(jìn)行冷卻，反射鏡支承體31的變形也較小，可實(shí)質(zhì)上維持反射鏡22、24的平行性，可將激光束LB的光軸的變化抑制得足夠小，可進(jìn)行良好的加工。
實(shí)施形式3圖6為示出本發(fā)明激光振蕩裝置的實(shí)施形式3的透視圖，圖7為從激光振蕩器10側(cè)看到實(shí)施形式3的箱形反射鏡支承體35的透視圖。
該實(shí)施形式3的激光振蕩裝置100B包含激光振蕩器10、支承基板17、及光學(xué)單元20B。支承基板17例如水平地配置。在該支承基板17上隔開間隔地安裝激光振蕩器10和光學(xué)單元20B，激光振蕩器10與光學(xué)單元20B在共用的支承基板17上相互進(jìn)行機(jī)械接合。激光振蕩器10將其周壁11C中的底壁13接合于支承基板17，由固定件15安裝于支承基板17上。底壁13具有長方形的形狀，具有4個角部14，但這些所有的角部14由固定件15固定于支承基板17。固定件15例如為螺栓。
光學(xué)單元20B具有反射鏡系統(tǒng)21和反射鏡支承構(gòu)造30。反射鏡系統(tǒng)21與實(shí)施形式1相同，具有第1反射鏡22和第2反射鏡24，這些反射鏡22、24分別與實(shí)施形式1同樣地安裝于反射鏡塊23、25。在反射鏡塊23、25附設(shè)冷卻配管33。向該冷卻配管33供給冷卻水34，對反射鏡22、24進(jìn)行冷卻。
反射鏡支承構(gòu)造30在該實(shí)施形式3中構(gòu)成為箱形反射鏡支承體35。該箱形反射鏡支承體35由金屬例如鋼板構(gòu)成為長方體的箱形。該箱形反射鏡支承體35具有反射鏡支承構(gòu)件412、相向的一對側(cè)壁36A、36B、與反射鏡支承構(gòu)件412相向的上壁37、正面壁38、及一對的對角肋39A、39B。這些反射鏡支承構(gòu)件412、一對側(cè)壁36A、36B、上壁37、正面壁38、一對對角肋39A、39B相互一體形成。
箱形反射鏡支承體35具有4個角部35A～35D。角部35A形成于側(cè)壁36A與上壁37間。角部35B形成于側(cè)壁36B與上壁37間。角部35C形成于側(cè)壁36A與反射鏡支承構(gòu)件412間。角部35D形成于側(cè)壁36B與反射鏡支承構(gòu)件412間。對角肋39A在角部35A與角部36D間延伸地形成，對角肋39B在角部35B與角部36C間延伸地形成。對角肋39A、39B在它們的中間位置相互交叉。
反射鏡塊23安裝于箱形反射鏡支承體35的正面壁38的上部中央，反射鏡塊25安裝于其正面壁38的下部中央。在該實(shí)施形式3中，同樣，第1反射鏡22為圓偏振反射鏡，第2反射鏡24為折向反射鏡。來自激光振蕩器10的激光束LB按45°的入射角入射到第1反射鏡22的入射面，在該入射面按45°的角度反射，此后，在第2反射鏡24以45°的入射角入射到入射面，在該入射面按45°的角度反射，引導(dǎo)至激光加工機(jī)的加工部。
反射鏡支承構(gòu)件412構(gòu)成為長方形的形狀。該反射鏡支承構(gòu)件412與實(shí)施形式1的反射鏡支承構(gòu)件41同樣，具有4個角部43A～43D，由3點(diǎn)固定構(gòu)造固定于支承基板17。在4個角部43A～43D中，在3個角部43A～43C分別配置固定件45A～45C，角部43A～43C分別由固定件45A～45C固定于支承基板17上。固定件45A～45C在形成于支承基板17的安裝臺12A～12C上固定角部43A～43C。在角部43D不配置固定件，該角部43D自由。反射鏡支承構(gòu)件412形成為僅包含3個固定件45A～45C的3點(diǎn)固定構(gòu)造。支承基板17從激光振蕩器10受到熱變形而變形，但由于反射鏡支承構(gòu)件412由3點(diǎn)固定構(gòu)造固定于支承基板17，所以，支承基板17的變形帶來的箱形反射鏡支承體35的變形被抑制得足夠小。
箱形反射鏡支承體35在激光振蕩器10運(yùn)行前成為與外氣溫度相等的溫度，反射鏡支承體35的所有部分都成為與外氣溫度相等的溫度，但當(dāng)隨著激光振蕩器10的運(yùn)行開始而由冷卻配管33冷卻反射鏡塊23、25時，在正面壁38，反射鏡塊23、25的周邊部的溫度局部下降，所以，在正面壁38產(chǎn)生局部的溫度變化，在箱形反射鏡支承體35產(chǎn)生熱應(yīng)力。然而，箱形反射鏡支承體35由于構(gòu)成為包含對角肋39A、39B的剛性高的箱形，所以，即使在箱形反射鏡支承體35的正面壁38受到其熱應(yīng)力的作用，彎曲和扭轉(zhuǎn)變形也被抑制得足夠小。因此，即使由冷卻配管33進(jìn)行冷卻，箱形反射鏡支承體35的變形也較小，可實(shí)質(zhì)上維持反射鏡22、24的平行性，激光束LB的光軸的變化可抑制得足夠小。
在實(shí)施形式3中，可獲得與實(shí)施形式1同樣的效果，此外，箱形反射鏡支承體35為包含對角肋39A、39B的高剛性的構(gòu)造，所以，即使由冷卻配管33冷卻反射鏡22、24，反射鏡支承體35的變形也小，可實(shí)質(zhì)地維持反射鏡22、24的平行性，可將激光束LB的光軸變化抑制得足夠小，可進(jìn)行良好的加工。
實(shí)施形式1、2、3都將第1反射鏡22形成為圓偏振反射鏡，將第2反射鏡24形成為折向反射鏡，但在選擇激光的振蕩波長的場合，將第1、第2反射鏡22、24都換成二向色鏡。在該場合，也可獲得與實(shí)施形式1、2、3同樣的效果。
本發(fā)明的激光振蕩裝置可利用于激光加工機(jī)等使用高輸出的激光的設(shè)備。
權(quán)利要求
1.一種激光振蕩裝置，具有箱體，在該箱體的內(nèi)部具有產(chǎn)生激光的激光振蕩器，引導(dǎo)由上述激光振蕩器產(chǎn)生的上述激光的第1反射鏡，以及與上述第1反射鏡平行地配置、進(jìn)一步引導(dǎo)來自上述第1反射鏡的上述激光的第2反射鏡，其特征在于上述第1反射鏡和上述第2反射鏡都安裝于共用的反射鏡支承構(gòu)件，該反射鏡支承構(gòu)件相對上述激光振蕩器的箱體由位于三角形的各頂點(diǎn)的僅3個固定構(gòu)件機(jī)械地接合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光振蕩裝置，其特征在于上述反射鏡支承構(gòu)件由上述3個固定構(gòu)件直接安裝于上述激光振蕩器的箱體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光振蕩裝置，其特征在于上述激光振蕩器的箱體安裝于支承基板，另外，上述反射鏡支承構(gòu)件由上述3個固定構(gòu)件安裝于上述支承基板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光振蕩裝置，其特征在于還具有共同地支承上述第1反射鏡和上述第2反射鏡的反射鏡支承構(gòu)造，該反射鏡支承構(gòu)造構(gòu)成為剛性比平板高的形狀，安裝于上述反射鏡支承構(gòu)件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光振蕩裝置，其特征在于作為上述反射鏡支承構(gòu)造，使用圓筒狀的反射鏡支承體。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光振蕩裝置，其特征在于作為上述反射鏡支承構(gòu)造，使用方形的箱形反射鏡支承體，該箱形反射鏡支承體包含4個角部和連接該各角部的對角肋。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光振蕩裝置，其特征在于在上述第1反射鏡和上述第2反射鏡附設(shè)對它們進(jìn)行冷卻的冷卻配管。
全文摘要
本發(fā)明提供一種抑制了激光振蕩器的熱變形導(dǎo)致的反射鏡支承構(gòu)件的變形的激光振蕩裝置。該激光振蕩裝置具有箱體，在該箱體的內(nèi)部具有產(chǎn)生激光的激光振蕩器，引導(dǎo)由該激光振蕩器產(chǎn)生的激光的第1反射鏡，以及與第1反射鏡平行地配置、進(jìn)一步引導(dǎo)來自第1反射鏡的激光的第2反射鏡；第1反射鏡和第2反射鏡都安裝于共用的反射鏡支承構(gòu)件，該反射鏡支承構(gòu)件相對激光振蕩器的箱體由位于三角形的各頂點(diǎn)的僅3個固定構(gòu)件機(jī)械地接合。
文檔編號G02B27/00GK101085493SQ20061016306
公開日2007年12月12日 申請日期2006年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月7日
發(fā)明者船岡幸治, 長谷川正彥, 玉谷基亮, 西田聰, 松本康成 申請人:三菱電機(jī)株式會社