專利名稱:用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)以及使用該系統(tǒng)的液晶顯示板的制作方法
技術領域:
本發(fā)明涉及液晶顯示器,更具體地涉及一種用于制造液晶顯示板的系統(tǒng),以及使用該系統(tǒng)的液晶顯示板,該系統(tǒng)中進行了改進,使得在制造液晶顯示器時,處理變得更有效和更經(jīng)濟。
背景技術:
近年來,液晶顯示器作為一種顯示裝置引起了關注。
液晶顯示器利用注入到板內(nèi)的液晶的電光特性來執(zhí)行顯示功能。液晶顯示器由于其小型、輕便以及低功耗的優(yōu)點而正廣泛應用于各種領域,諸如計算機顯示器或移動通信終端。
液晶顯示器通過多個處理來制造。因此,液晶顯示需要多種分別用來執(zhí)行該多個處理的設備,以及許多用于操作所述多種設備的操作人員。
這樣,液晶顯示器的制造就需要巨大的成本以及設備和操作所需的足夠的空間。
因此,制造液晶顯示器的過程中制造處理的效率以及安裝面積的減小對于提高成品率和降低成本是重要的。
例如,在用于刻蝕薄膜晶體管基板的刻蝕設備中,包括用于一個接一個地進行涂覆和曝光的多個處理室的單線已發(fā)展為包括用于兩個接兩個地進行涂覆和曝光的多個處理室的雙線。單線為一個基板花費約80秒的處理時間。然而,雙線花費約45秒的處理時間,并且執(zhí)行了可以比得上單線的有效的制造處理。另外,由于安裝面積可以減小,因此成品率可以提高并且成本可以降低。
下面將描述現(xiàn)有技術中的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)。
圖1a是例示現(xiàn)有技術中的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)的示意圖。圖1b是例示用于操作圖1a所示的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)的方法的圖。
參照圖1a,用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)包括雙線,在該雙線中,將用于在執(zhí)行每個制造處理之前裝載基板的處理線與用于在執(zhí)行制造處理之后卸載基板的處理線彼此分開。
換言之,現(xiàn)有技術中的用于制造液晶板的系統(tǒng)包括裝載器110、清潔機120、涂覆機130-1和130-2、曝光單元150-1和150-2、顯影機160、測試機170以及卸載器180。
下面將描述用于制造液晶顯示板的以上構造的系統(tǒng)的操作。
如果通過包括兩個端口的裝載器110來提供基板,則在清潔機120、涂覆機130-1和130-2、曝光單元150-1和150-2、顯影機160以及測試機170中自動地處理各基板。將完成處理的基板通過卸載器180再次裝載到一盒中,并將其輸出。
在現(xiàn)有技術中的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)中,如圖1b的(A)中所示,當裝載器110裝載裝滿了要處理的基板的盒(已裝滿的盒)時,將基板輸入到后面的處理室中。在輸入完成時,將空盒輸出并以在其中裝載有基板的另一個盒(已裝滿的盒)來替換該空盒。
類似的是,如圖1b的(B)中所示,卸載器180將完成處理的基板裝載到空盒中。如果空盒完全裝滿了基板,則將裝載了基板的盒(已裝滿的盒)輸出并以空盒來替換,以在其中裝載完成處理的基板。
然而,現(xiàn)有技術中的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)存在以下不便之處兩個涂覆機130-1和130-2或兩個曝光單元150-1和150-2應分別執(zhí)行相同的處理。
在完成處理的基板存在缺陷的情況下,沒有基于每個基板或每個盒來進行以下判斷針對有缺陷的基板執(zhí)行的處理是在兩個涂覆機130-1和130-2中的任何一個中執(zhí)行的還是在兩個曝光單元150-1和150-2中的任何一個中執(zhí)行的。
另外,存在以下缺點難以掌握制造處理的歷程。
圖2a是例示現(xiàn)有技術中的用于制造液晶顯示板的另一種系統(tǒng)的構造的示意圖。圖2b是例示用于操作圖2a所示的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)的方法的圖。
用于制造液晶顯示板的該系統(tǒng)是雙線系統(tǒng),與裝載和卸載基板的工藝在其中是分開的系統(tǒng)不同的是,在該雙線系統(tǒng)中裝載和卸載基板的處理是一體的。
參照圖2a,用于制造液晶顯示板的該系統(tǒng)包括各自包括三個端口的第一裝載器210和第二裝載器215、清潔機220、第一涂覆機230、第二涂覆機235、第一曝光單元250、第二曝光單元255、顯影機260、測試機270以及傳送線280和285。
換言之,用于制造液晶顯示板的該系統(tǒng)屬于如下結構圖2a的第一裝載器210和第二裝載器215聯(lián)合地執(zhí)行基板的裝載和卸載,并且通過兩個裝載器210和215送來兩種盒的產(chǎn)品是可能的??紤]到基板的裝載和卸載以及盒的替換和非替換,裝載器210和215中的每一個至少需要三個端口。
在用于制造液晶顯示板的該系統(tǒng)中,通過裝載器輸入的基板僅通過第一涂覆機230和第二涂覆機235中的一個指定的涂覆機以及第一曝光單元250和第二曝光單元255中的一個指定的曝光單元來處理。
因此,涂覆機230和235以及曝光單元250和255可以分別執(zhí)行彼此不同的處理。這樣,就具備以下優(yōu)點可以更有效地執(zhí)行處理,并且由于易于掌握每個基板的處理歷程而可以分析導致有缺陷的基板的原因。
然而,如圖2b所示,用于制造液晶顯示板的該系統(tǒng)需要用于平穩(wěn)地從盒中裝載/卸載基板的單獨的端口以及替換端口。因此,裝載器210和215中的每一個應至少包括三個端口。
并且,需要將各自的端口與處理室連接的傳送線280和285。這過度地增加了整個設備的安裝面積,從而降低了空間的效率。
發(fā)明內(nèi)容
因此,本發(fā)明要提供一種用于制造液晶顯示板的系統(tǒng),以及使用該系統(tǒng)的液晶顯示板,在該系統(tǒng)中,將用于在制造液晶顯示器的過程中裝載和卸載基板的多個端口整合為一個端口,從而降低了整個設備的安裝面積,使得更有效的操作成為可能。
并且,本發(fā)明要提供一種用于制造液晶顯示板的系統(tǒng),以及使用該系統(tǒng)的液晶顯示板,在該系統(tǒng)中,按照預定處理順序來執(zhí)行制造處理,而不區(qū)分要處理的基板的型號,從而使得可以在出現(xiàn)產(chǎn)品失敗時分析導致產(chǎn)品失敗的原因。
一方面,本發(fā)明提供了一種用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)。所述系統(tǒng)包括第一裝載器,第二裝載器,第一處理單元,第二處理單元以及傳送線。所述第一裝載器包括兩個端口,從通過每個端口裝載的一組盒中同時地輸入和輸出基板。所述第二裝載器包括兩個端口,從通過每個端口裝載的另外一組盒中同時地輸入和輸出基板。所述第一處理單元對通過所述第一裝載器輸入的基板執(zhí)行制造處理,并將完成處理的基板傳送到所述第一裝載器。第二處理單元對通過所述第二裝載器輸入的基板執(zhí)行制造處理,并將完成處理的基板傳送到所述第二裝載器。所述傳送線傳送所述基板。
應理解,前面的一般描述和下面的具體描述都是示例性和解釋性的,旨在提供如權利要求所限定的本發(fā)明的進一步解釋。
下面參照以下附圖對本發(fā)明進行詳細描述,在附圖中相似的標號表示相似的元件。在附圖中圖1a是例示現(xiàn)有技術中的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)的示意圖;圖1b是例示用于操作圖1a所示的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)的方法的圖;圖2a是例示現(xiàn)有技術中的另一種用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)的構造的示意圖;圖2b是例示用于操作圖2a所示的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)的方法的圖;圖3是例示根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)的構造的圖;
圖4是例示用于管理根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)中的端口的方法的概念圖;圖5是例示根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)的用于輸入和輸出裝載器中的基板的操作的圖;以及圖6是例示根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)中的整個處理的圖。
具體實施例方式
下面參照附圖以更詳盡的方式描述本發(fā)明的優(yōu)選實施例。
圖3是例示根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)的構造的圖。圖4是例示用于管理根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)中的端口的方法的概念圖。圖5是例示根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)的用于輸入和輸出裝載器中的基板的操作的圖。
參照圖3,用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)包括第一裝載器310、第二裝載器315、清潔機320、第一涂覆機330、第二涂覆機335、第一緩沖器340、第二緩沖器345、第一曝光單元350、第二曝光單元355、顯影機360、測試機370以及傳送線380和385。
第一裝載器310和第二裝載器315分別包括兩個端口(a、b)。
用于從盒中裝載基板和卸載基板的處理都可以在每個端口(a、b)處執(zhí)行。具體地說,可以同時地執(zhí)行用于從同一盒中裝載和卸載基板的處理。
詳細地參照圖4,在本發(fā)明中,將裝載端口410和卸載端口420整合成一個端口400,使得可以從同一盒中同時地輸入和輸出基板,這與現(xiàn)有技術不同,在現(xiàn)有技術中,裝載端口410和卸載端口420單獨地操作,以將基板通過裝載端口410輸入到后處理室中,并將完成了制造處理的基板通過卸載端口420輸出。
這可以減少裝載和卸載基板所需要的端口的最小數(shù)量,從而與傳統(tǒng)系統(tǒng)相比,減小了整個設備的安裝面積。
如果在盒中裝載的基板是通過每個端口(a、b)輸入的,從而產(chǎn)生如圖5所示的用于將基板裝載到盒中的空間,則第一裝載器310和第二裝載器315可以將完成處理的基板輸出并裝載到盒的所述空間中,即使該盒正在被裝載中。
如果裝載有基板的盒(已裝滿的盒)是通過第一裝載器310和第二裝載器315的每個端口(a、b)提供的,則將所裝載的基板輸入并進行處理,將完成處理的基板再次裝載到該盒的空間中,從而輸出在其中裝載有完成處理的基板的盒。
換言之,第一裝載器310和第二裝載器315可以同時從一個盒中輸入和輸出基板,而不單獨操作用于輸入和輸出這些基板的盒。因此,當從第一裝載器310和第二裝載器315中裝載和卸載盒時,盒處于一直裝載有基板的狀態(tài)。
從預定的盒中輸入的基板可以不必再次輸出到同一盒。在連續(xù)地執(zhí)行順序處理的情況下,輸入到該盒的基板和從該盒中輸出的基板不可避免地彼此不同。
然而,即使在這種情況下,第一裝載器310和第二裝載器315也可以僅裝載/卸載通過指定的處理室(例如,第一涂覆機330和第一曝光單元350)處理過的基板,從而使得可以同時執(zhí)行兩個不同的處理,并掌握完成處理的基板的處理歷程。
清潔機320對通過第一裝載器310和第二裝載器315輸入的基板進行清潔,從而從基板表面去除有機物質(zhì)和外物。
第一涂覆機330和第二涂覆機335是指用于在基板上涂覆光刻膠的處理室。涂覆方法可以分為陜縫(slit)法、旋涂法以及噴印法。
第一曝光單元350和第二曝光單元355在涂覆有光刻膠的基板上形成掩模圖案。
第一緩沖器340和第二緩沖器345是指用于等待直到基板被輸入到第一曝光單元350和第二曝光單元355的備用線。
顯影機360去除基板的經(jīng)第一曝光單元350或第二曝光單元355曝光的曝光部分。
測試機測試經(jīng)過了先前的處理室的基板,并檢測諸如瑕疵的缺陷。
根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)是如下操作的。
圖6是例示根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)中的整個處理的圖。
參照圖6,通過第一裝載器310和第二裝載器315輸入的基板由清潔機320進行清潔,接著分別進入第一涂覆機330和第二涂覆機335。如果從第一裝載器310提供的基板被提供到第一涂覆機330,則從第二裝載器315提供的基板應被提供到第二涂覆機335。如果從第一裝載器310提供的基板被提供到第二涂覆機335,則從第二裝載器315提供的基板應被提供到第一涂覆機330。這同樣適用于第一曝光單元350和第二曝光單元355。連續(xù)的和強制的應用是理想的,直到系統(tǒng)管理者進行單獨的設置為止。
在第一緩沖器340和第二緩沖器345中,基板分別等待第一曝光單元350和第二曝光單元355的曝光處理。
接下來,通過顯影機360和測試機370將使用第一曝光單元350和第二曝光單元355對其完成曝光處理的基板再次傳送到最初未裝載的第一裝載器310或第二裝載器315,并將其裝載并輸出到處于備用狀態(tài)的盒中。
第一傳送線380可以在第二裝載器315與清潔機320之間,以及測試機370與第一裝載器310之間傳送基板。第二傳送線385可以在第一涂覆機330或第二涂覆機335與第二緩沖器345之間,以及第一曝光單元350與顯影機360之間傳送基板。
下面簡要描述通過以上處理制造出的液晶顯示板的構造和功能。
液晶顯示板,盡管未說明,包括下基板、上基板以及在上述兩個基板之間提供的液晶。
下基板包括選通線、數(shù)據(jù)線、薄膜晶體管以及像素電極。上基板位于下基板上并與下基板面對,上基板包括濾色器、黑底(black matrix)以及公共電極。
下基板包括按m×n矩陣排列的多條選通線和數(shù)據(jù)線。在多條選通線和多條數(shù)據(jù)線的交叉處形成有薄膜晶體管(即開關元件)。
薄膜晶體管包括柵極、源極、漏極、有源層以及歐姆接觸層。漏極與像素電極連接,并形成單位像素。換言之,薄膜晶體管以如下方式進行操作當選通信號通過選通線施加到柵極時,與選通信號同步地施加到數(shù)據(jù)線的數(shù)據(jù)信號可以通過歐姆接觸層和有源層從源極傳輸?shù)铰O。
具體地說,當數(shù)據(jù)信號施加到源極時,電壓施加到與漏極連接的像素電極,從而產(chǎn)生像素電極與公共電極之間的電壓差。像素電極與公共電極之間的電壓差導致介于像素電極與公共電極之間的液晶的分子排列的變化。分子排列的變化導致像素中的透光量的變化,并取決于在每個像素的基礎上所施加的數(shù)據(jù)信號之間的差異而在像素之間產(chǎn)生色差。該色差可以用于控制液晶顯示器的圖像。
使用諸如選通驅(qū)動器和數(shù)據(jù)驅(qū)動器的驅(qū)動電路來生成施加到選通線的選通信號和施加到數(shù)據(jù)線的數(shù)據(jù)信號。帶載封裝(TCP)可以將驅(qū)動電路與液晶顯示板連接。
如上所述,可以將濾色器和公共電極設置在上基板上,但是其位置可以取決于液晶顯示器的驅(qū)動方法而變化。具體地說,在面內(nèi)切換(IPS)模式液晶顯示器中,將公共電極形成在下基板上。在陣列上濾色器(COA)模式液晶顯示器中,將濾色器形成在下基板上。
如上所述,在用于制造液晶顯示板的該系統(tǒng)以及使用該系統(tǒng)的液晶顯示板中,可以使用二端口裝載器來執(zhí)行與三端口裝載器相同的處理。
因此,具備以下優(yōu)點大大提高了處理相對面積的效率,從而提高了成品率并降低了成本。
盡管這樣描述了本發(fā)明,但明顯的是,本發(fā)明可以許多方式變化。這種變化不應被看作是脫離本發(fā)明的精神和范圍,并且所有這樣的修改,如同對于本領域的技術人員是明顯的一樣,旨在包含于以下權力要求的范圍之內(nèi)。
權利要求
1.一種用于制造液晶顯示板的系統(tǒng),該系統(tǒng)包括第一裝載器,其包括兩個端口,并且從通過每個端口裝載的一組盒中同時地輸入和輸出基板;第二裝載器,其包括兩個端口,并且從通過每個端口裝載的另外一組盒中同時地輸入和輸出基板;第一處理單元,其用于對通過所述第一裝載器輸入的基板執(zhí)行制造處理,并將完成處理的基板傳送到所述第一裝載器;第二處理單元,其用于對通過所述第二裝載器輸入的基板執(zhí)行制造處理,并將完成處理的基板傳送到所述第二裝載器;以及傳送線,其用于傳送所述基板。
2.根據(jù)權利要求1所述的系統(tǒng),該系統(tǒng)還包括用于對從所述第一輸入裝載器和所述第二輸入裝載器輸入的基板公共地執(zhí)行制造處理的公共處理單元。
3.根據(jù)權利要求1所述的系統(tǒng),其中,所述第一裝載器和所述第二裝載器從同一盒中同時地輸入和輸出基板。
4.根據(jù)權利要求3所述的系統(tǒng),其中,從所述同一盒中輸入和輸出的基板彼此不同。
5.根據(jù)權利要求3所述的系統(tǒng),其中,從所述同一盒中輸入和輸出的基板彼此相同。
6.根據(jù)權利要求1所述的系統(tǒng),其中,所述第一處理單元和所述第二處理單元分別都包括涂覆機和曝光單元。
7.根據(jù)權利要求2所述的系統(tǒng),其中,所述公共處理單元包括清潔機和測試機。
8.根據(jù)權利要求1所述的系統(tǒng),其中,所述第一處理單元和所述第二處理單元分別同時執(zhí)行彼此不同的制造處理。
9.一種使用根據(jù)權利要求1所述的用于制造液晶顯示板的系統(tǒng)而制造出的液晶顯示板。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種用于制造液晶顯示板的系統(tǒng),以及使用該系統(tǒng)的液晶顯示板。所述系統(tǒng)包括第一裝載器,第二裝載器,第一處理單元,第二處理單元以及傳送線。所述第一裝載器包括兩個端口,并且從通過每個端口裝載的一組盒中同時地輸入和輸出基板。所述第二裝載器包括兩個端口,并且從通過每個端口裝載的另外一組盒中同時地輸入和輸出基板。所述第一處理單元對通過所述第一裝載器輸入的基板執(zhí)行制造處理,并將完成處理的基板傳送到所述第一裝載器。所述第二處理單元對通過所述第二裝載器輸入的基板執(zhí)行制造處理,并將完成處理的基板傳送到所述第二裝載器。所述傳送線傳送所述基板。
文檔編號G02F1/1333GK101038388SQ20061016298
公開日2007年9月19日 申請日期2006年11月30日 優(yōu)先權日2006年3月17日
發(fā)明者曺英吉 申請人:Lg.菲利浦Lcd株式會社