專利名稱：光敏性樹脂組合物、液晶顯示面板的保護膜及分隔物、它們的形成方法及液晶顯示面板的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及光敏性樹脂組合物、液晶顯示面板用保護膜及分隔物、以及具有它們的液晶顯示面板，更具體地說，涉及適用于作為形成液晶顯示面板或接觸面板等液晶顯示面板中使用的保護膜和分隔物的材料的光敏性樹脂組合物、由該組合物形成的液晶顯示面板用保護膜、分隔物以及具有該保護膜和分隔物的液晶顯示面板。
背景技術：
LCD或CCD等射線裝置在其制造工序中用溶劑、酸或者堿溶液等對顯示元件進行浸漬處理，并且，在通過濺射形成布線電極層時，元件表面將局部地遭受高溫。于是，為了防止這種處理導致的元件劣化或損傷，便在元件表面上設置由對這些處理具有耐受性的薄膜形成的保護膜。
這種保護膜要求具有以下性能為形成該保護膜而與基體或下層以及保護膜上形成的層的密合性高，膜本身平滑且強度高，具有透明性，耐熱性和耐光性高，經(jīng)過長時間也不會發(fā)生著色、變黃、白化等變質(zhì)，耐水性、耐溶劑性、耐酸性和耐堿性方面優(yōu)良等。作為形成滿足諸如這些特性的保護膜的材料，已知例如包含具有縮水甘油基的聚合物的光敏性樹脂組合物(參見專利文獻1)。
這種保護膜當作為彩色液晶顯示裝置或電荷耦合元件的濾色器的保護膜使用時，通常要求保護膜具有高透明性。
專利文獻1日本專利第3101986號公報另外，在液晶顯示面板中，為了使2塊基板間保持一定的間隔(盒間隙)，一直以來都使用具有規(guī)定粒徑的玻璃珠或塑料珠等分隔物顆粒，但是由于這些分隔物顆粒無規(guī)地散布在玻璃基板等透明基板上，因而一旦像素形成區(qū)域存在分隔物顆粒，就會導致分隔物顆粒產(chǎn)生映入現(xiàn)象以及入射光被散射而使液晶面板的對比度下降的問題。因此，為了解決這些問題，便采用通過光刻形成分隔物的方法。該方法將光敏性樹脂組合物涂敷于基板上，通過規(guī)定的掩模進行紫外線曝光，然后顯影，從而形成點狀或條紋狀的分隔物，由于其可以只在像素形成區(qū)域以外的規(guī)定部位形成分隔物，因此基本上解決了上述問題。
在這些保護膜和分隔物的形成工序中，從制造成本的角度出發(fā)，要求可以以同一品種在相同工藝條件下使用的光敏性樹脂組合物的情況日益增加。在這種情況下，需要充分兼?zhèn)浔Ｗo膜材料所必需的密合性、透明性、耐熱性和分隔物材料所必需的分辨性、壓縮特性的光敏性樹脂組合物。
而且，近年來，由于液晶顯示元件的大面積化和生產(chǎn)力的提高等，母體玻璃基板的尺寸也由以前的680×880mm左右大型化到1870×2200mm左右。在保護膜或分隔物的形成工序中，通常，將保護膜、分隔物形成用光敏性樹脂組合物涂敷于透明基板上，在加熱板上烘焙除去溶劑后，進行曝光、顯影，形成保護膜和分隔物。但是，隨著基板的大型化，在保護膜和分隔物形成時，光敏性樹脂組合物中的光聚合引發(fā)劑成分發(fā)生升華而污染烘焙爐和光掩模的問題可能導致生產(chǎn)節(jié)拍下降和生產(chǎn)成本上升。
此外，本申請人在專利文獻2中公開了通過使用1-(2-溴-4-嗎啉基苯基)-2-芐基-2-二甲氨基丁烷-1-酮或者1-(3-溴-4-嗎啉基苯基)-2-芐基-2-二甲氨基丁烷-1-酮等溴代苯乙酮類光聚合引發(fā)劑，可以減少光敏性聚合引發(fā)劑成分升華導致烘焙爐和排氣管的污染和重復使用顯影液時顯影線中設置的過濾器的堵塞。
專利文獻2日本特開2001-235617號公報但是，在這種情況下，使用該專利文獻2中所列舉的針對分隔物形成時所用的光敏性樹脂組合物的光敏性聚合引發(fā)劑成分的保護膜，從透明性的角度考慮不夠好。因此，還需尋求使用非升華性光敏性聚合引發(fā)劑成分的、充分兼?zhèn)浔Ｗo膜材料所必需的密合性、透明性、耐熱性和分隔物材料所必需的分辨性、壓縮特性的光敏性樹脂組合物。
本發(fā)明的課題是提供一種具有足夠的工藝自由度，能夠抑制光聚合引發(fā)劑成分升華引起的烘焙爐和光掩模等的污染，充分兼?zhèn)浔Ｗo膜材料所必需的密合性、透明性、耐熱性和分隔物材料所必需的分辨性、壓縮特性的光敏性樹脂組合物，由其形成的保護膜和分隔物及其形成方法，以及具有該保護膜和分隔物的液晶顯示面板。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明，上述課題，第一，涉及一種光敏性樹脂組合物，其特征在于含有[A](a1)乙烯性不飽和羧酸和/或乙烯性不飽和羧酸酐與(a2)其它乙烯性不飽和化合物的共聚物，[B]具有乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物，和[C]由下述式(1)表示的化合物組成的光聚合引發(fā)劑，
[式(1)中，n為2-12的整數(shù)，R1代表氫、羥基、或者具有下述(I)、(II)或(III)各自表示的結(jié)構(gòu)的任一基團，(III)中的R2是碳原子數(shù)為1-12的烷基、碳原子數(shù)為3-8的環(huán)烷基、苯基(其中，任選可以被至少1個以上碳原子數(shù)為1-6的烷基、碳原子數(shù)為1-6的烷氧基取代)]。
第二，本發(fā)明涉及由如上所述的光敏性樹脂組合物組成的用于形成液晶顯示面板用保護膜和分隔物的光敏性樹脂組合物。
第三，本發(fā)明涉及由如上所述的光敏性樹脂組合物形成的液晶顯示面板用保護膜或者分隔物。
第四，本發(fā)明涉及一種液晶顯示面板用保護膜或分隔物的形成方法，其特征在于至少包括以下(一)～(四)的工序，(一)在基板上形成上述光敏性樹脂組合物覆膜的工序，(二)對該覆膜的至少一部分進行曝光的工序，(三)對曝光后的該覆膜進行顯影的工序，(四)對顯影后的該覆膜進行加熱的工序。
第五，本發(fā)明涉及具有上述本發(fā)明液晶顯示面板用保護膜或分隔物的液晶顯示面板。
本發(fā)明的光敏性樹脂組合物是具有足夠的工藝自由度，能夠抑制光聚合引發(fā)劑成分升華引起的烘焙爐和光掩模等的污染，充分兼?zhèn)浔Ｗo膜材料所必需的密合性、透明性、耐熱性和分隔物材料所必需的分辨性、壓縮特性的光敏性樹脂組合物。


圖1舉例說明圖案截面形狀的圖。
圖2舉例說明彈性回復率評價中的負荷時和卸載時的載荷-變形量曲線的圖。
具體實施例方式
以下，對本發(fā)明保護膜和分隔物形成用光敏性樹脂組合物(以下，簡稱為“光敏性樹脂組合物”)的各成分進行詳細說明。
-共聚物[A]-本發(fā)明的光敏性樹脂組合物中的[A]成分可以通過將化合物(a1)和化合物(a2)在聚合引發(fā)劑的存在下于溶劑中進行自由基聚合而制備。
構(gòu)成共聚物[A]的各成分中，作為(a1)乙烯性不飽和羧酸和/或乙烯性不飽和羧酸酐(以下，將它們統(tǒng)稱為“不飽和羧酸類單體(a1)”)，可以列舉例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、琥珀酸2-甲基丙烯酰氧基乙基酯、六氫鄰苯二甲酸2-甲基丙烯酰氧基乙基酯等一元羧酸類；馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、衣康酸等二元羧酸類；上述二元羧酸的酸酐類等。
這些不飽和羧酸類單體(a1)中，從共聚合反應性、所得共聚物對于堿水溶液的溶解性和容易獲得的角度出發(fā)，優(yōu)選丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸酐、六氫鄰苯二甲酸2-甲基丙烯酰氧基乙基酯等。
在共聚物[A]中，不飽和羧酸類單體(a1)可以單獨或者2種以上混合使用。
在共聚物[A]中，來源于不飽和羧酸類單體(a1)的重復單元的含量比率優(yōu)選為5-50重量％，更優(yōu)選為10-40重量％，特別優(yōu)選15-30重量％。這時，如果來源于不飽和羧酸類單體(a1)的重復單元的含量比率不足5重量％，則存在對于堿水溶液的溶解性較小的傾向，另一方面，如果超過40重量％，則存在對于堿水溶液的溶解性過大的可能。
并且，作為(a2)其它乙烯性不飽和化合物(以下，簡稱為“其它單體”)，可以列舉例如丙烯酸甲酯、丙烯酸異丙酯等丙烯酸烷基酯類；甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁基酯、甲基丙烯酸仲丁基酯、甲基丙烯酸叔丁基酯等甲基丙烯酸烷基酯類；丙烯酸環(huán)己基酯、丙烯酸2-甲基環(huán)己基酯、丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸烷-8-基酯、丙烯酸2-(三環(huán)[5.2.1.02，6]癸烷-8-基氧基)乙酯、丙烯酸異冰片基酯等丙烯酸脂環(huán)式酯類；甲基丙烯酸環(huán)己基酯、甲基丙烯酸2-甲基環(huán)己基酯、甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸烷-8-基酯、甲基丙烯酸2-(三環(huán)[5.2.1.02，6]癸烷-8-基氧基)乙酯、甲基丙烯酸異冰片基酯等甲基丙烯酸脂環(huán)式酯類；丙烯酸苯酯、丙烯酸芐基酯等丙烯酸芳基酯或芳烷基酯類；甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸芐基酯等甲基丙烯酸芳基酯或甲基丙烯酸芳烷基酯類；馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等二元羧酸二烷基酯類；甲基丙烯酸2-羥基乙酯、甲基丙烯酸2-羥基丙酯等甲基丙烯酸羥烷基酯類；甲基丙烯酸四氫糠基酯、甲基丙烯酸四氫呋喃基酯、甲基丙烯酸四氫呋喃-2-甲基酯等含一個氧原子的不飽和五元和六元雜環(huán)甲基丙烯酸酯類；丙烯酸縮水甘油基酯、丙烯酸2-甲基縮水甘油基酯、丙烯酸3，4-環(huán)氧丁基酯、丙烯酸6，7-環(huán)氧庚基酯、丙烯酸3，4-環(huán)氧環(huán)己基酯等丙烯酸環(huán)氧烷基酯類；甲基丙烯酸縮水甘油基酯、甲基丙烯酸2-甲基縮水甘油基酯、甲基丙烯酸3，4-環(huán)氧丁基酯、甲基丙烯酸6，7-環(huán)氧庚基酯、甲基丙烯酸3，4-環(huán)氧環(huán)己基酯等甲基丙烯酸環(huán)氧烷基酯類；α-乙基丙烯酸縮水甘油基酯、α-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丁基丙烯酸縮水甘油基酯、α-乙基丙烯酸6，7-環(huán)氧庚烷基酯等α-烷基丙烯酸環(huán)氧烷基酯類；o-乙烯基芐基縮水甘油基醚、m-乙烯基芐基縮水甘油基醚、p-乙烯基芐基縮水甘油基醚等縮水甘油基醚類；3-(甲基丙烯酰氧基甲基)氧雜環(huán)丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-2-三氟甲基氧雜環(huán)丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-2-苯基氧雜環(huán)丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基甲基)氧雜環(huán)丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基甲基)-4-三氟甲基氧雜環(huán)丁烷等甲基丙烯酸氧雜環(huán)丁烷烷基酯類；苯乙烯、α-甲基苯乙烯、m-甲基苯乙烯、p-甲基苯乙烯、p-甲氧基苯乙烯等乙烯基芳香族化合物；苯基馬來酰亞胺、環(huán)己基馬來酰亞胺、芐基馬來酰亞胺、N-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺基苯甲酸酯、N-琥珀酰亞胺基-4-馬來酰亞胺基丁酸酯、N-琥珀酰亞胺基-6-馬來酰亞胺基己酸酯、N-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺基丙酸酯、N-(9-吖啶基)馬來酰亞胺等二羧酸酰亞胺衍生物類；1，3-丁二烯、異戊二烯、2，3-二甲基-1，3-丁二烯等共軛二烯類化合物，以及丙烯腈、甲基丙烯腈、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、氯乙烯、偏氯乙烯、乙酸乙烯酯等。
這些其它單體中，從共聚合反應性和所得共聚物對于堿水溶液的溶解性角度出發(fā)，優(yōu)選丙烯酸2-甲基環(huán)己基酯、甲基丙烯酸羥乙基酯、甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸烷-8-基酯、苯乙烯、甲基丙烯酸縮水甘油基酯、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、甲基丙烯酸四氫糠基酯、1，3-丁二烯、苯基馬來酰亞胺、環(huán)己烷馬來酰亞胺等。
在共聚物[A]中，其它單體可以單獨或者2種以上混合使用。
本發(fā)明中所用的共聚物[A]優(yōu)選含有5-95重量％、更優(yōu)選10-90重量％、特別優(yōu)選15-85重量％由化合物(a2)衍生的重復單元。這時，當重復單元不足5重量％時，則存在共聚物[A]的保存穩(wěn)定性較低的傾向，另一方面，當超過95重量％時，則共聚物[A]難溶于堿水溶液。
如上所述，本發(fā)明中所用的共聚物[A]具有羧基和/或羧酸酐基以及其它乙烯性不飽和化合物，因而對堿水溶液具有適當?shù)娜芙庑裕瑫r，即使不聯(lián)用特別的固化劑，也可以通過加熱容易地使其固化。
含有上述共聚物[A]的光敏性樹脂組合物在顯影時表現(xiàn)出良好的堿溶解性，容易形成所固定圖案的分隔物。
作為制備共聚物[A]時所用的溶劑，可以列舉例如醇、醚、乙二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、二甘醇、一縮二丙二醇、丙二醇單烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯、丙二醇烷基醚丙酸酯、芳香族烴、酮、酯等。
作為它們的具體例，可以列舉如下作為醇，可以列舉例如甲醇、乙醇、芐基醇、2-苯基乙醇、3-苯基-1-丙醇等；作為醚，可以列舉例如四氫呋喃等；作為乙二醇醚，可以列舉例如乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚等；
作為乙二醇烷基醚乙酸酯，可以列舉例如甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯等；作為二甘醇，可以列舉例如二甘醇單甲基醚、二甘醇單乙基醚、二甘醇二甲基醚、二甘醇二乙基醚、二甘醇乙基甲基醚等；作為一縮二丙二醇，可以列舉例如一縮二丙二醇單甲醚、一縮二丙二醇單乙醚、一縮二丙二醇二甲醚、一縮二丙二醇二乙醚、一縮二甘二醇乙基甲基醚等；作為丙二醇單烷基醚，可以列舉例如丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單丁醚等；作為丙二醇烷基醚乙酸酯，可以列舉例如丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯、丙二醇丁基醚乙酸酯等；作為丙二醇烷基醚丙酸酯，可以列舉例如丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯、丙二醇丁基醚丙酸酯等；作為芳香族烴，可以列舉例如甲苯、二甲苯等；作為酮，可以列舉例如甲基乙基酮、環(huán)己酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮等；作為酯，可以列舉例如乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、乙酸3-甲氧基丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯等。
其中，優(yōu)選乙二醇烷基醚乙酸酯、二甘醇、一縮二丙二醇、丙二醇單烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯，其中，特別優(yōu)選二甘醇二甲基醚、二甘醇乙基甲基醚、一縮二丙二醇二甲基醚、一縮二丙二醇乙基甲基醚、丙二醇甲基醚、丙二醇甲基醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯。
上述溶劑可以單獨或者2種以上混合使用。
上述溶劑的用量，相對于100重量份上述(a1)和(a2)的合計量，通常為50-90重量份，優(yōu)選為55-85重量份。
此外，作為在上述聚合中使用的自由基聚合引發(fā)劑，對其沒有特別的限制，例如，可以列舉2，2’-偶氮二異丁腈、2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、2，2’-偶氮二(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)、4，4’-偶氮二(4-氰基戊酸)、二甲基2，2’-偶氮二(2-甲基丙酸酯)、2，2’-偶氮二(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)等偶氮化合物；過氧化苯甲酰、過氧化月桂酰、叔丁基過氧化特戊酸酯、1，1-二(叔丁基過氧化)環(huán)己烷等有機過氧化物；過氧化氫等。此外，當使用過氧化物作為自由基聚合引發(fā)劑時，還可以將其與還原劑聯(lián)用作為氧化還原型引發(fā)劑。
這些自由基聚合引發(fā)劑可以單獨或者2種以上混合使用。
自由基聚合引發(fā)劑的用量，相對于100重量份上述(a1)和(a2)的合計量，通常為0.1-10.0重量份，優(yōu)選為1.0-8.0重量份。
另外，在上述自由基聚合時，聚合溫度通常為60-100℃，優(yōu)選為70-90℃，聚合時間通常為2-6小時，優(yōu)選為3-5小時。
如此得到的共聚物[A]，可以將溶液直接供給于光敏性樹脂組合物的調(diào)制，并且也可以從溶液中分離后再供給于光敏性樹脂組合物的調(diào)制。
共聚物[A]通過凝膠滲透色譜法(GPC)測定的聚苯乙烯換算重均分子量(以下，稱之為“Mw”)，通常為2000-100000，優(yōu)選為5000-50000。這時，如果Mw不足2000，則得到的覆膜的顯影性、殘膜率等較小，且圖案的形狀、耐熱性等可能受到損害，另一方面，如果超過100000，則分辨率較小，圖案的形狀可能受到損害。
-聚合性化合物[B]-本發(fā)明的光敏性樹脂組合物中的[B]成分是具有乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物(以下，稱之為“聚合性化合物[B]”。)作為聚合性化合物[B]，對其沒有特別的限制，單官能、雙官能或三官能以上的(甲基)丙烯酸酯類聚合性良好，從提高所得分隔物的強度的角度出發(fā)是優(yōu)選的。
作為上述單官能(甲基)丙烯酸酯類，例如，可以列舉丙烯酸2-羥基乙酯、甲基丙烯酸2-羥基乙酯、二甘醇單乙醚丙烯酸酯、二甘醇單乙醚甲基丙烯酸酯、丙烯酸異冰片酯、甲基丙烯酸異冰片酯、丙烯酸3-甲氧基丁酯、甲基丙烯酸3-甲氧基丁酯、鄰苯二甲酸2-丙烯酰氧基乙基-2-羥丙基酯、鄰苯二甲酸2-甲基丙烯酰氧基乙基-2-羥丙基酯等。此外，作為市售品，例如，可以列舉アロニツクスM-101、アロニツクスM-111、アロニツクスM-114(東亞合成(株)生產(chǎn))；KAYARAD TC-110S、KAYARAD TC-120S(日本化藥(株)生產(chǎn))；ビスコ-ト158、ビスコ-ト2311(大阪有機化學工業(yè)(株)生產(chǎn))等。
此外，作為上述雙官能(甲基)丙烯酸酯類，例如，可以列舉乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二(甲基丙烯酸酯)、二甘醇二丙烯酸酯、二甘醇二(甲基丙烯酸酯)、四甘醇二丙烯酸酯、四甘醇二(甲基丙烯酸酯)、1，6-己二醇二丙烯酸酯、1，6-己二醇二(甲基丙烯酸酯)、1，9-壬二醇二丙烯酸酯、1，9-壬二醇二(甲基丙烯酸酯)、雙(苯氧基乙醇)芴二丙烯酸酯、雙(苯氧基乙醇)芴二(甲基丙烯酸酯)等。此外，作為市售品，例如，可以列舉アロニツクスM-210、アロニツクスM-240、アロニツクスM-6200(東亞合成(株)生產(chǎn))；KAYARAD HDDA、KAYARAD HX-220、KAYARAD R-604(日本化藥(株)生產(chǎn))；ビスコ-ト260、ビスコ-ト312、ビスコ-ト335HP(大阪有機化學工業(yè)(株)生產(chǎn))等。
此外，作為上述三官能以上的(甲基)丙烯酸酯類，例如，可以列舉三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基丙烯酸酯)、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基丙烯酸酯)、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基丙烯酸酯)、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基丙烯酸酯)、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基丙烯酸酯)、三(2-丙烯酰氧基乙基)磷酸酯、三(2-甲基丙烯酰氧基乙基)磷酸酯等。
特別是9官能以上的(甲基)丙烯酸酯，可以列舉使具有亞烷基直鏈和脂環(huán)結(jié)構(gòu)并含有2個以上異氰酸酯基的化合物與分子內(nèi)含有1個以上羥基的三官能、四官能和五官能的(甲基)丙烯酸酯化合物反應得到的尿烷丙烯酸酯化合物。
作為上述市售品，例如，可以列舉アロニツクスM-309、アロニツクスM-400、アロニツクスM-405、アロニツクスM-450、アロニツクスM-7100、アロニツクスM-8030、アロニツクスM-8060、アロニツクスTO-1450(東亞合成(株)生產(chǎn))；KAYARAD TMPTA、KAYARAD DPHA、KAYARAD DPCA-20、KAYARAD DPCA-30、KAYARAD DPCA-60、KAYARAD DPCA-120(日本化藥(株)生產(chǎn))；ビスコ-ト295、ビスコ-ト300、ビスコ-ト360、ビスコ-トGPT、ビスコ-ト3PA、ビスコ-ト400(大阪有機化學工業(yè)(株)生產(chǎn))等。作為9官能以上的多官能尿烷丙烯酸酯的市售品，例如，可以列舉ニユ-フロンテイアR-1150(以上由第一工業(yè)制藥(株)生產(chǎn))KAYARAD DPHA-40H(以上由日本化藥(株)生產(chǎn))等。
這些單官能、雙官能或三官能以上的(甲基)丙烯酸酯類中，更優(yōu)選三官能以上的(甲基)丙烯酸酯類，特別優(yōu)選三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯。
上述單官能、雙官能或三官能以上的(甲基)丙烯酸酯類可以單獨或者或2種以上組合使用。
在本發(fā)明的光敏性樹脂組合物中，聚合性化合物[B]的用量，相對于100重量份共聚物[A]，優(yōu)選為50-200重量份，更優(yōu)選為60-150重量份。這時，如果聚合性化合物[B]的用量不足50重量份，則顯影時可能產(chǎn)生顯影殘余物，另一方面，如果超過200重量份，則存在所得分隔物密合性較小的傾向。
-光聚合引發(fā)劑[C]-
本發(fā)明光敏性樹脂組合物中的[C]成分以上述通式(1)表示的化合物(以下，稱為“化合物1”)作為必需成分。
式(1)中，n為2-12的整數(shù)，R1代表氫、羥基、或者具有上述(I)、(II)或(III)各自表示的結(jié)構(gòu)的任一基團，(III)中的R2是碳原子數(shù)為1-12的烷基、碳原子數(shù)為3-8的環(huán)烷基、苯基(其中，任選可以被至少1個以上碳原子數(shù)為1-6的烷基、碳原子數(shù)為1-6的烷氧基取代)。
這里，作為R2的碳原子數(shù)為1-12的烷基、碳原子數(shù)為3-8的環(huán)烷基，例如，可以列舉甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基、環(huán)戊基、環(huán)己基等。
此外，作為苯基上取代的碳原子數(shù)為1-6的烷基、碳原子數(shù)為1-6的烷氧基，碳原子數(shù)為1-6的烷基可以列舉例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基，或碳原子數(shù)為1-6的烷氧基可以列舉例如甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基等。
作為本發(fā)明中優(yōu)選的化合物(1)的具體例，可以列舉2-甲基-1-[4-(乙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(正丙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(異丙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(正丁基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(異丁基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(叔丁基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(正戊基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、
2-甲基-1-[4-(正己基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(正庚基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(正辛基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(正十二烷基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(2-羥基乙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(3-羥基丙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(4-羥基丁基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(5-羥基庚基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(5-羥基己基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(2-丙烯酰氧基乙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(2-甲基丙烯酰氧基乙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(3-丙烯酰氧基丙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(3-甲基丙烯酰氧基丙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(4-丙烯酰氧基丁基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(4-甲基丙烯酰氧基丁基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(2-乙酰乙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(2-丙酰乙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(2-丁酰乙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(2-戊酰乙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(2-己酰乙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、
2-甲基-1-[4-(2-苯甲酰乙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(4-乙酰丁基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮等。
這些化合物(1)中，特別優(yōu)選2-甲基-1-[4-(乙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(正丙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(正丁基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(2-羥基乙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(3-羥基丙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(3-羥基丁基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(2-甲基丙烯酰氧基乙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(4-乙酰丁基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮等。
化合物(1)是對于溶劑的溶解性優(yōu)良，不會產(chǎn)生未溶解物、沉淀等異物，并且不會發(fā)生由升華引起的對烘焙爐和光掩模的污染，且不會損害保護膜的透明性，能夠形成無圖案缺失和缺損的優(yōu)良分隔物的成分。
在本發(fā)明中，化合物(1)可以單獨或者2種以上混合使用。
在本發(fā)明的光敏性樹脂組合物中，化合物(1)的用量，相對于100重量份[A]共聚物，優(yōu)選為5-50重量份，更優(yōu)選為5-30重量份。這時，當化合物(1)的用量不足5重量份時，則存在膜剩余率較小的傾向，另一方面，如果超過50重量份，則出現(xiàn)未曝光的部分對堿性顯影液的溶解性較小的傾向。
此外，本發(fā)明的光敏性樹脂組合物中，還可以與化合物(1)一起聯(lián)用至少1種其它光聚合引發(fā)劑。
作為上述的其它光聚合引發(fā)劑，例如，可以列舉O-酰基肟型化合物、二咪唑類化合物、苯偶姻類化合物、苯乙酮類化合物、二苯酮類化合物、α-二酮類化合物、作為射線敏感性陽離子聚合引發(fā)劑的鹽類、茂金屬化合物等。其中，優(yōu)選苯乙酮類化合物和二咪唑類化合物、射線敏感性陽離子聚合引發(fā)劑。
上述O-酰基肟型化合物是具有進一步提高敏感度作用的成分。
作為O-酰基肟型化合物的具體例子，可以列舉1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9.H.-咔唑-3-基]-壬烷-1，2-壬烷-2-肟-O-苯甲酸酯、1-[9-乙基-6-苯甲?；?9.H.-咔唑-3-基]-壬烷-1，2-壬烷-2-肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-苯甲?；?9.H.-咔唑-3-基]-戊烷-1，2-戊烷-2-肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9.H.-咔唑-3-基]-辛烷-1-酮肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-苯甲酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?；?-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-(1，3，5-三甲基苯甲?；?-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-苯甲酸酯、1-[9-丁基-6-(2-乙基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-苯甲酸酯、1，2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲?；?、1，2-丁二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰基肟)、1，2-丁二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-乙?；?、1，2-辛二酮-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-(O-苯甲?；?、1，2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-(4-甲基苯甲酰基肟))等。
這些O-?；啃椭校貏e優(yōu)選1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?；?-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-乙酸酯、1，2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲?；?。
在本發(fā)明中，O-?；啃突衔锟梢詥为毣蛘?種以上組合使用。
在本發(fā)明的光敏性樹脂組合物中，O-?；啃突衔锏暮嫌嬘昧?，相對于100重量份聚合性化合物[B]，優(yōu)選為1-30重量份，更優(yōu)選為2-20重量份。這時，當O-?；啃突衔锏挠昧坎蛔?重量份時，存在顯影時殘膜率較低的傾向，另一方面，如果超過30重量份，則出現(xiàn)顯影時未曝光部分對于堿性顯影液的溶解性較小的傾向。
作為上述苯乙酮類化合物，例如，可以列舉α-羥基酮類化合物、α-氨基酮類化合物、除此之外的化合物。
這些苯乙酮類化合物可以單獨或者2種以上混合使用。
在本發(fā)明中，通過使用作為其它聚合引發(fā)劑的苯乙酮類化合物，可以進一步改善敏感度、所得分隔物的形狀和壓縮強度等。
作為上述二咪唑類化合物的具體例，例如，可以列舉2，2’-二(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四(4-乙氧羰基苯基)-1，2’-二咪唑、2，2’-二(2-溴苯基)-4，4’，5，5’-四(4-乙氧羰基苯基)-1，2’-二咪唑、2，2’-二(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-二咪唑、2，2’-二(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-二咪唑、2，2’-二(2，4，6-三氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-二咪唑、2，2’-二(2-溴苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-二咪唑、2，2’-二(2，4-二溴苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-二咪唑、2，2’-二(2，4，6-三溴苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-二咪唑等。
上述二咪唑類化合物中，優(yōu)選2，2’-二(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-二咪唑、2，2’-二(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-二咪唑、2，2’-二(2，4，6-三氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-二咪唑等，特別優(yōu)選2，2’-二(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-二咪唑。
上述二咪唑類化合物可以單獨或者2種以上混合使用。
通過使用這些二咪唑類化合物，可以進一步改善敏感度、分辨率和密合性。
此外，當使用二咪唑類化合物作為其它聚合引發(fā)時，為了增敏，可以聯(lián)用具有二烷基氨基的芳香族類化合物(以下，稱為“含有二烷基氨基的增敏劑”)。
作為含有二烷基氨基的增敏劑，例如，可以列舉4，4’-二(二甲氨基)二苯酮、4，4’-二(二乙氨基)二苯酮、對二甲氨基苯甲酸乙酯、對二乙氨基苯甲酸乙酯、對二甲氨基苯甲酸異戊酯、對二乙氨基苯甲酸異戊酯等。
這些含有二烷基氨基的增敏劑中，優(yōu)選4，4’-二(二乙氨基)二苯酮。
上述含有二烷基氨基的增敏劑可以單獨或者2種以上混合使用。
含有二烷基氨基的增敏劑的用量，相對于100重量份共聚物[A]，優(yōu)選為0.1-50重量份，更優(yōu)選1-20重量份。這時，當含有二烷基氨基的增敏劑的用量不足0.1重量份時，則存在發(fā)生所得分隔物膜缺損或圖案形狀受損的可能，另一方面，如果超過50重量份，則存在分隔物圖案形狀受損的可能。
此外，當聯(lián)用二咪唑化合物和含有二烷基氨基的增敏劑作為其它聚合引發(fā)劑時，可以添加硫醇類化合物作為供氫化合物。二咪唑化合物通過含有二烷基氨基的增敏劑增敏而裂開，從而產(chǎn)生咪唑自由基，此時，并不一定能產(chǎn)生高的聚合引發(fā)能，大多情況下所得分隔物呈倒錐形這樣不理想的形狀。這個問題可以通過在二咪唑化合物和含有二烷基氨基的增敏劑共存的體系中添加硫醇類化合物而得到緩解。也就是說，通過由硫醇化合物向咪唑自由基提供氫自由基，使咪唑自由基成為中性的咪唑，產(chǎn)生具有聚合引發(fā)能較高的硫自由基的成分，結(jié)果，使分隔物形狀成為更優(yōu)選的正錐形。
作為上述硫醇類化合物，可以列舉例如2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并唑、2-巰基苯并咪唑、2-巰基-5-甲氧基苯并噻唑、2-巰基-5-甲氧基苯并咪唑等芳香族類硫醇；3-巰基丙酸、3-巰基丙酸甲酯、3-巰基丙酸乙酯、3-巰基丙酸辛酯等脂肪族類單硫醇。作為雙官能以上的脂肪族硫醇，可以列舉3，6-二氧雜-1，8-辛二硫醇、季戊四醇四(巰基乙酸酯)、季戊四醇四(3-巰基丙酸酯)等。
這些硫醇化合物可以單獨或者2種以上混合使用。
硫醇化合物的使用比率，相對于100重量份共聚物[A]，優(yōu)選為0.1-50重量份，更優(yōu)選為1-20重量份。這時，當硫醇類化合物的用量不足0.1重量份時，則存在發(fā)生所得分隔物膜缺損或圖案形狀不良的傾向，另一方面，如果超過50重量份，則存在分隔物圖案形狀受損的傾向。
此外，作為射線敏感性陽離子聚合引發(fā)劑，鹽類可以列舉苯基重氮四氟硼酸鹽、苯基重氮六氟膦酸鹽、苯基重氮六氟砷酸鹽、苯基重氮三氟甲磺酸鹽、苯基重氮三氟乙酸鹽、苯基重氮對甲苯磺酸鹽、4-甲氧基苯基重氮四氟硼酸鹽、4-甲氧基苯基重氮六氟膦酸鹽、4-甲氧基苯基重氮六氟砷酸鹽、4-甲氧基苯基重氮三氟甲磺酸鹽、4-甲氧基苯基重氮三氟乙酸鹽、4-甲氧基苯基重氮對甲苯磺酸鹽、4-叔丁基苯基重氮四氟硼酸鹽、4-叔丁基苯基重氮六氟膦酸鹽、4-叔丁基苯基重氮六氟砷酸鹽、4-叔丁基苯基重氮三氟甲磺酸鹽、4-叔丁基苯基重氮三氟乙酸鹽、4-叔丁基苯基重氮對甲苯磺酸鹽等重氮鹽類；三苯基锍四氟硼酸鹽、三苯基锍六氟膦酸鹽、三苯基锍六氟砷酸鹽、三苯基锍三氟甲磺酸鹽、三苯基锍三氟乙酸鹽、三苯基锍對甲苯磺酸鹽、4-甲氧苯基二苯基锍四氟硼酸鹽、4-甲氧苯基二苯基锍六氟膦酸鹽、4-甲氧苯基二苯基锍六氟砷酸鹽、4-甲氧苯基二苯基锍三氟甲磺酸鹽、4-甲氧苯基二苯基锍三氟乙酸鹽、4-甲氧苯基二苯基锍對甲苯磺酸鹽、4-苯硫基苯基二苯基锍四氟硼酸鹽、4-苯硫基苯基二苯基锍六氟膦酸鹽、4-苯硫基苯基二苯基锍六氟砷酸鹽、4-苯硫基苯基二苯基锍三氟甲磺酸鹽、4-苯硫基苯基二苯基锍三氟乙酸鹽、4-苯硫基苯基二苯基锍對甲苯磺酸鹽等锍鹽類。
此外，作為茂金屬化合物類，可以列舉(1-6-η-枯烯)(η-環(huán)戊二烯)鐵(1+)六氟化磷酸(1-)等。
作為這些射線敏感性陽離子聚合引發(fā)劑的市售品，可以列舉例如重氮鹽アデカウルトラセツトPP-33(旭電化工業(yè)(株)生產(chǎn))、锍鹽OPT OMER SP-150、OPT OMER SP-170(旭電化工業(yè)(株)生產(chǎn))、以及茂金屬化合物Irgacure 261(チバ·スペシヤルテイ·ケミカルズ社生產(chǎn))等。
上述光聚合引發(fā)劑可以單獨或者2種以上混合使用。
在本發(fā)明的光敏性樹脂組合物中，其它光聚合引發(fā)劑的使用比率，相對于100重量份全部光聚合引發(fā)劑，優(yōu)選為100重量份以下，更優(yōu)選為80重量份以下，特別優(yōu)選為60重量份以下。這時，如果其它光聚合引發(fā)劑的使用比率超過100重量份，則有可能損害本發(fā)明所預期的效果。
-添加劑-根據(jù)需要，在不損害本發(fā)明所預期的效果的范圍內(nèi)，本發(fā)明光敏性樹脂組合物中還可以配合除上述成分以外的添加劑。
例如，為提高涂敷性，可以配合表面活性劑。作為該表面活性劑，可適用氟類表面活性劑和硅氧烷類表面活性劑。
作為氟類表面活性劑，可適用在末端、主鏈和側(cè)鏈的至少一個部位具有氟代烷基或氟代亞烷基的化合物。作為其具體例，可以列舉1，1，2，2-四氟辛基(1，1，2，2-四氟丙基)醚、1，1，2，2-四氟辛基己基醚、八乙二醇二(1，1，2，2-四氟丁基)醚、六乙二醇(1，1，2，2，3，3-六氟戊基)醚、八丙二醇二(1，1，2，2-四氟丁基)醚、六丙二醇二(1，1，2，2，3，3-六氟戊基)醚、全氟十二烷基磺酸鈉、1，1，2，2，8，8，9，9，10，10-十氟正十二烷、1，1，2，2，3，3，-六氟癸烷、氟代烷基苯磺酸鈉、氟代烷基磺酸鈉、氟代烷基羧酸鈉、氟代烷基聚氧乙烯醚、雙甘油四(氟代烷基聚氧乙烯醚)、碘化氟代烷基銨、氟代烷基甜菜堿、氟代烷基聚氧乙烯醚、全氟代烷基聚氧乙醇、全氟代烷基烷氧化物、氟類烷基酯等。
此外，作為它們的市售品，例如，可以列舉BM-1000、BM-1100(以上，由BM CHEMIE社生產(chǎn))、メガフアツクF142D、メガフアツクF172、メガフアツクF173、メガフアツクF183、メガフアツクF178、メガフアツクF191、メガフアツクF471、メガフアツクF476(以上，由大日本油墨化學工業(yè)(株)生產(chǎn))、フロラ-ドFC 170C、FC-171、FC-430、FC-431(以上，由住友スリ-エム(株)生產(chǎn))、サ-フロンS-112、サ-フロンS-113、サ-フロンS-131、サ-フロンS-141、サ-フロンS-145、サ-フロンS-382、サ-フロンSC-101、サ-フロンSC-102、サ-フロンSC-103、サ-フロンSC-104、サ-フロンSC-105、サ-フロンSC-106(以上，由旭硝子(株)生產(chǎn))、エフトツプEF 301、エフトツプEF 303、エフトツプEF 352(以上，由新秋田化成(株)生產(chǎn))、フタ-ジエントFT-100、フタ-ジエントFT-110、フタ-ジエントFT-140A、フタ-ジエントFT-150、フタ-ジエントFT-250、フタ-ジエントFT-251、フタ-ジエントFTX-251、フタ-ジエントFTX-218、フタ-ジエントFT-300、フタ-ジエントFT-310、フタ-ジエントFT-400S(以上，由(株)ネオス生產(chǎn))等。
此外，作為硅氧烷類表面活性劑，例如，可以列舉以下列商品名銷售的產(chǎn)品ト-レシリコ-ンDC3PA、ト-レシリコ-ンDC7PA、ト-レシリコ-ンSH11PA、ト-レシリコ-ンSH21PA、ト-レシリコ-ンSH28PA、ト-レシリコ-ンSH29PA、ト-レシリコ-ンSH30PA、ト-レシリコ-ンSH-190、ト-レシリコ-ンSH-193、ト-レシリコ-ンSZ-6032、ト-レシリコ-ンSF-8428、ト-レシリコ-ンDC-57、ト-レシリコ-ンDC-190(以上，由東レ·ダウコ-ニング·シリコ-ン(株)生產(chǎn))、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460、TSF-4452(以上由GE東芝シリコ-ン(株)生產(chǎn))等。
此外，作為除上述以外的表面活性劑，例如，可以列舉聚氧乙烯十二烷基醚、聚氧乙烯十八烷基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚；聚氧乙烯正辛基苯基醚、聚氧乙烯正壬基苯基醚等聚氧乙烯芳基醚；聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙烯二硬脂酸酯等聚氧乙烯二烷基酯等非離子表面表面活性劑；作為市售品，可以列舉KP341(信越化學工業(yè)(株)生產(chǎn))、ポリフロ-No.57、95(共榮社油脂化學工業(yè)(株)生產(chǎn))等。
這些表面活性劑可以單獨或者2種以上混合使用。
表面活性劑的配合量，相對于100重量份共聚物[A]，優(yōu)選為5重量份以下，更優(yōu)選為2重量份以下。這時，如果表面活性劑的配合量超過5重量份，則存在涂敷時容易產(chǎn)生膜皸裂的傾向。
此外，為進一步提高與基體的密合性，還可以配合粘結(jié)助劑。
作為上述粘結(jié)助劑，優(yōu)選官能性硅烷偶合劑，作為其例子，可以列舉具有羧基、甲基丙烯?；惽杷狨セ?、環(huán)氧基等反應性官能基團的硅烷偶合劑。更具體地說，可以列舉三甲氧基甲硅烷基苯甲酸、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、γ-異氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷、γ-縮水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷、2-(3，4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷等。
這些粘結(jié)助劑可以單獨或者2種以上混合使用。
粘結(jié)助劑的配合量，相對于100重量份共聚物[A]，優(yōu)選為20重量份以下，更優(yōu)選為10重量份以下。這時，如果粘結(jié)助劑的配合量超過20重量份，則存在容易產(chǎn)生顯影殘余的傾向。
本發(fā)明的光敏性樹脂組合物中，為了提高保存穩(wěn)定性等目的，還可以添加其它添加劑。具體地說，可以列舉硫、苯醌類、氫醌類、聚氧化合物、胺類、硝基亞硝基化合物。作為其例子，可以列舉4-甲氧基苯酚、N-亞硝基-N-苯基羥基胺鋁等。其相對于100重量份共聚物[A]，優(yōu)選使用3.0重量份以下，更優(yōu)選使用0.001-0.5重量份。當超過3.0重量份時，無法得到足夠的敏感度，圖案形狀變差。
此外，本發(fā)明的光敏性樹脂組合物中，為了提高耐熱性，還可以添加N-(烷氧基甲基)甘脲化合物、N-(烷氧基甲基)三聚氰胺化合物和1分子中具有雙官能以上環(huán)氧基的化合物。
作為上述N-(烷氧基甲基)甘脲化合物的具體例，可以列舉N，N，N，N-四(甲氧基甲基)甘脲、N，N，N，N-四(乙氧基甲基)甘脲、N，N，N，N-四(正丙氧基甲基)甘脲、N，N，N，N-四(異丙氧基甲基)甘脲、N，N，N，N-四(正丁氧基甲基)甘脲、N，N，N，N-四(叔丁氧基甲基)甘脲等。其中特別優(yōu)選N，N，N，N-四(甲氧基甲基)甘脲。
此外，作為上述N-(烷氧基甲基)三聚氰胺化合物的具體例，可以列舉N，N，N，N，N，N-六(甲氧基甲基)三聚氰胺、N，N，N，N，N，N-六(乙氧基甲基)三聚氰胺、N，N，N，N，N，N-六(正丙氧基甲基)三聚氰胺、N，N，N，N，N，N-六(異丙氧基甲基)三聚氰胺、N，N，N，N，N，N-六(正丁氧基甲基)三聚氰胺、N，N，N，N，N，N-六(叔丁氧基甲基)三聚氰胺等。其中特別優(yōu)選N，N，N，N，N，N-六(甲氧基甲基)三聚氰胺。作為它們的市售品，可以列舉ニカラツクN-2702、MW-30M(以上，由三和ケミカル(株)生產(chǎn))等。
此外，作為1分子中具有雙官能以上環(huán)氧基的化合物，可以列舉乙二醇二縮水甘油醚、二甘醇二縮水甘油醚、聚乙二醇二縮水甘油醚、丙二醇二縮水甘油醚、三丙二醇二縮水甘油醚、聚丙二醇二縮水甘油醚、新戊二醇二縮水甘油醚、1，6-己二醇二縮水甘油醚、丙三醇二縮水甘油醚、三羥甲基丙烷三縮水甘油醚、氫化雙酚A二縮水甘油醚、雙酚A二縮水甘油醚等。作為它們的市售品的具體例，可以列舉エポライト40E、エポライト100E、エポライト200E、、エポライト70P、エポライト200P、エポライト400P、エポライト40E、エポライト1500NP、エポライト1600、エポライト80MF、エポライト100MF、エポライト4000、エポライト3002(以上，由共榮社化學(株)生產(chǎn))等。它們可以單獨或者2種以上組合使用。
組合物溶液本發(fā)明的光敏性樹脂組合物在其使用時，通常將共聚物[A]、聚合性化合物[B]、光聚合引發(fā)劑[C]等構(gòu)成成分溶解于適當?shù)娜軇┲?，調(diào)制成組合物溶液。
作為上述組合物溶液的調(diào)制所使用的溶劑，使用能均勻溶解構(gòu)成光敏性樹脂組合物的各成分，且不與各成分反應的溶劑。
作為這樣的溶劑，可以列舉與作為制造上述共聚物[A]可使用的溶劑所例示的溶劑相同的溶劑。
在這種溶劑中，從各成分的溶解性、與各成分的反應性、形成涂膜的容易性等角度出發(fā)，優(yōu)選使用例如醇、乙二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、酯和二甘醇。其中，可以特別優(yōu)選使用例如芐醇、2-苯乙醇、3-苯基-1-丙醇、乙二醇單丁基醚乙酸酯、二甘醇單乙基醚乙酸酯、二甘醇二乙醚、二甘醇乙基甲基醚、二甘醇二甲醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯、甲氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸甲酯。
此外，為提高膜厚的面內(nèi)均勻性，還可以與上述溶劑一起聯(lián)用高沸點溶劑。作為可以聯(lián)用的高沸點溶劑，例如，可以列舉N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-甲基甲酰苯胺、N-甲基乙酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲基亞砜、芐基乙基醚、二己基醚、丙酮基丙酮、異佛爾酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、乙酸芐酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、馬來酸二乙酯、γ-丁內(nèi)酯、碳酸乙二酯、碳酸丙二酯、苯基溶纖劑乙酸酯等。其中，優(yōu)選N-甲基吡咯烷酮、γ-丁內(nèi)酯、N，N-二甲基乙酰胺。
如此調(diào)制的組合物溶液，根據(jù)需要，還可以通過孔徑為例如0.2-0.5μm左右的微孔過濾器等過濾后再供給使用。
本發(fā)明的光敏性樹脂組合物特別適合作為形成液晶面板或接觸面板等液晶顯示面板用保護膜和分隔物的材料。
顯示面板用保護膜和顯示面板用分隔物的形成方法本發(fā)明的液晶顯示面板用保護膜或分隔物的形成方法特征在于至少包括按照以下記載順序的以下工序，(一)在基板上形成本發(fā)明的光敏性樹脂組合物覆膜的工序，
(二)對該覆膜的至少一部分進行曝光的工序，(三)對曝光后的該覆膜進行顯影的工序，(四)對顯影后的該覆膜進行加熱的工序。
(一)工序在透明基板的一面上形成透明導電膜，在該透明導電膜上，涂敷光敏性樹脂組合物后，通過加熱(預烘焙)涂敷面，形成覆膜。
作為分隔物形成中所用的透明基板，可以列舉例如玻璃基板、樹脂基板等。更具體地說，可以列舉鈉鈣玻璃、無堿玻璃等玻璃基板；聚對苯二甲酸乙酯、聚對苯二甲酸丁酯、聚醚砜、聚碳酸酯、聚酰亞胺等塑料制樹脂基板。
作為透明基板一面上設置的透明導電膜，可以使用氧化錫(SnO2)制的NESA膜(美國PPG公司注冊商標)、氧化銦-氧化錫(In2O3-SnO2)制的ITO膜等。
此外，預烘焙的條件根據(jù)各成分的種類和配合比率等而不同，通常，可以在70～120℃下進行1-15分鐘左右。
作為在透明基板、樹脂基板等基板上形成采用本發(fā)明光敏性樹脂組合物的液晶顯示面板用保護膜和分隔物的方法，可以通過例如(1)涂敷法、(2)干膜法進行。
作為組合物溶液的涂敷法，例如，可以采用噴涂法、輥涂法、旋轉(zhuǎn)涂布法(旋涂法)、縫模涂敷法、棒涂法、噴墨涂敷法等適當?shù)姆椒?，特別優(yōu)選使用旋涂法、縫模涂敷法。
并且，在形成本發(fā)明的光敏性樹脂組合物的覆膜時，當采用(2)干膜法時，該干膜法是在基膜上，優(yōu)選在可塑性基膜上層壓本發(fā)明的光敏性樹脂組合物構(gòu)成的光敏性層的方法(以下，稱為“光敏性干膜”)。
上述光敏性干膜可以通過在基膜上優(yōu)選以液態(tài)組合物涂敷本發(fā)明的光敏性樹脂組合物后進行干燥，層壓光敏性層而形成。作為光敏性干膜的基膜，可以使用例如聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯等合成樹脂膜?；さ暮穸葹?5-125μm的范圍較合適。所得光敏性層的厚度優(yōu)選為1-30μm。
并且，光敏性干膜在未使用時，其光敏性層上可以進一步層壓覆膜而進行保存。該覆膜必需具備適度的脫模性，其在未使用時不會剝離，而在使用時可以容易地被剝離。作為滿足這種條件的覆膜，可以使用例如在PET膜、聚丙烯膜、聚乙烯膜、聚氯乙烯膜等合成樹脂膜的表面上涂敷或燒結(jié)硅氧烷類脫模劑的薄膜。覆膜的厚度通常25μm左右即足夠。
在基板上形成本發(fā)明的光敏性樹脂組合物覆膜后，優(yōu)選進行預烘焙。預烘焙條件根據(jù)各構(gòu)成成分的種類、配合比率等而不同，通常在70～90℃下進行1-15分鐘左右。
(二)工序接著，對預烘焙的涂膜(覆膜)，通過例如所規(guī)定圖案的掩模將該覆膜的至少一部分曝光使其聚合。
作為曝光所使用的射線，可以適當?shù)剡x擇可見光、紫外線、遠紫外線、帶電粒子束、X射線等，優(yōu)選波長在190～450nm范圍內(nèi)的射線。
曝光量是被曝光射線波長為365nm的強度通過照度計(OAImodel 356，OAI Optical Associates Inc.制造)測定的值，通常為100-10000J/m2，優(yōu)選為1500-4000J/m2。
(三)工序接著，對曝光后的覆膜通過顯影液進行顯影，除去無用的部分，形成圖案。
作為顯影方法，例如盛液法(液盛り法)、浸漬法、沖洗法等任意一者均可，顯影時間通常為30-180秒。
作為上述顯影液，例如，可以使用氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、硅酸鈉、偏硅酸鈉、氨等無機堿類；乙胺、正丙胺等伯胺類；二乙胺、二正丙胺等仲胺類；三甲基胺、甲基二乙基胺、乙基二甲基胺、三乙胺等叔胺類；二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺等叔烷醇胺類；吡咯、哌啶、N-甲基哌啶、N-甲基吡咯烷、1，8-二氮雜二環(huán)[5.4.0]-7-十一碳烯、1，5-二氮雜二環(huán)[4.3.0]-5-壬烯等脂環(huán)族叔胺類；吡啶、三甲基吡啶、二甲基吡啶、喹啉等芳香族叔胺類；氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨等季銨鹽等堿性化合物的水溶液。
此外，在上述堿性化合物的水溶液中，還可以添加適量的甲醇、乙醇等水溶性有機溶劑和/或表面活性劑。
顯影后，通過例如流水洗滌等進行例如30-90秒的洗滌，除去無用的部分后，鼓吹壓縮空氣或壓縮氮氣進行干燥，形成規(guī)定的圖案。
(四)工序顯影后，將此圖案(覆膜)通過加熱板、烘箱等加熱裝置在規(guī)定的溫度下例如150-250℃加熱處理規(guī)定的時間，在加熱板上例如處理5-30分鐘，在烘箱中處理例如30-90分鐘，即可獲得目標保護膜或分隔物。
液晶顯示面板本發(fā)明的液晶顯示面板可以通過以下的方法制作。首先，制作2塊形成了本發(fā)明的具有液晶取向能的保護膜的基板，使各自保護膜的液晶取向方向相互垂直或逆平行，并使2塊基板通過間隙(盒間隙)相對，通過本發(fā)明的分隔物將2塊基板的周邊部位貼合，向由基板表面和分隔物分割出的盒間隙內(nèi)填充液晶，封閉填充口，構(gòu)成液晶盒。然后，在液晶盒的外表面，即構(gòu)成液晶盒的各基板的另一側(cè)面上貼合偏振片，使其偏振方向與該基板另一面上形成保護膜的液晶取向方向一致或者垂直，制得本發(fā)明的液晶顯示面板。
作為上述液晶，可以列舉向列型液晶和碟狀型液晶，其中優(yōu)選向列型液晶，可以使用例如希夫氏堿類液晶、氧化偶氮基類液晶、聯(lián)苯類液晶、苯基環(huán)已烷類液晶、酯類液晶、三聯(lián)苯類液晶、聯(lián)苯基環(huán)己烷類液晶、嘧啶類液晶、二氧六環(huán)類液晶、雙環(huán)辛烷類液晶、立方烷類液晶等。此外，這些液晶中也可以添加例如氯化膽甾醇、膽甾醇壬酸酯、膽甾醇碳酸酯等膽甾型液晶和以商品名“C-15”、“CB-15”(メルク公司制)銷售的手性劑等而進行使用。并且，還可以使用對癸氧基苯亞甲基-p-氨基-2-甲基丁基肉桂酸酯等強介電性液晶。
此外，作為液晶盒外側(cè)使用的偏振片，可以列舉一邊將使聚乙烯醇延伸取向一邊吸收了碘的被稱為H膜的偏振膜夾在醋酸纖維保護膜內(nèi)而制成的偏振片，或者H膜自身制得的偏振片等。
實施例以下，例示實施例和比較例對本發(fā)明進行更具體的說明，但本發(fā)明并不局限于這些實施例。
合成例1在裝有冷卻管、攪拌機的燒瓶中，投入7重量份2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、200重量份丙二醇單甲醚乙酸酯。接著投入5重量份苯乙烯、20重量份甲基丙烯酸、25重量份甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸烷-8-基酯、25重量份3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、20重量份甲基丙烯酸四氫糠基酯、5重量份1，3-丁二烯，用氮氣置換后，開始緩慢攪拌。使溶液的溫度上升至70℃，保持該溫度5小時，得到含共聚物[A-1]的聚合物溶液。所得聚合物溶液的固體含量濃度為30.0重量％，聚合物的重均分子量為18000(重均分子量是采用GPC(凝膠滲透色譜)HLC-8020(東ソ-(株)制造)測定的聚苯乙烯換算的分子量)。
合成例2在裝有冷卻管、攪拌機的燒瓶中，投入7重量份2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、200重量份二甘醇乙基甲基醚。接著投入5重量份苯乙烯、20重量份甲基丙烯酸、25重量份甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸烷-8-基酯、25重量份甲基丙烯酸縮水甘油基酯、20重量份甲基丙烯酸四氫糠基酯、5重量份1，3-丁二烯，用氮氣置換后，開始緩慢地攪拌。使溶液的溫度上升至70℃，保持該溫度5小時，得到含共聚物[A-2]的聚合物溶液。所得聚合物溶液的固體含量濃度為31.0重量％，聚合物的重均分子量為20000(重均分子量是采用GPC(凝膠滲透色譜)HLC-8020(東ソ-(株)制造)測定的聚苯乙烯換算的分子量)。
合成例3在裝有冷卻管、攪拌機的燒瓶中，投入5重量份2，2’-偶氮二異丁腈、200重量份丙二醇單甲醚乙酸酯。接著投入10重量份苯乙烯、20重量份甲基丙烯酸、30重量份甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸烷-8-基酯、20重量份甲基丙烯酸芐基酯、20重量份甲基丙烯酸四氫糠基酯，用氮氣置換后，開始緩慢地攪拌。使溶液的溫度上升至90℃，保持該溫度4小時，得到含共聚物[A-3]的聚合物溶液。所得聚合物溶液的固體含量濃度為31.0重量％，聚合物的重均分子量為21000(重均分子量是采用GPC(凝膠滲透色譜)HLC-8020(東ソ一(株)制造)測定的聚苯乙烯換算的分子量)。
實施例1組合物溶液的調(diào)制將100重量份(固體成分)作為共聚物[A]的合成例1得到的共聚物[A-1]的溶液，80重量份作為聚合性化合物[B]的KAYARADDPHA(日本化藥(株)生產(chǎn))、20重量份作為光聚合引發(fā)劑[C]的2-甲基-1-[4-(正丁基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、3重量份1，2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰基肟)(チバ·スペシヤルテイ一·ケミカルズ社生產(chǎn)的CGI-124)溶解在丙二醇單甲基醚乙酸酯中，使固體含量濃度為30重量％，然后，用孔徑為0.2μm的微孔過濾器過濾，調(diào)制得到組合物溶液(S-1)。
(I)保護膜的形成使用旋涂機，在無堿玻璃基板上涂敷上述組合物溶液后，在加熱板上于90℃下預烘焙3分鐘，形成膜厚為1.5μm的涂膜。
不借助掩模，以150μm的曝光間隔，通過波長365nm的曝光強度為200W/m2的紫外線對上述所得涂膜進行曝光。接著，用0.05重量％的氫氧化鉀水溶液在25℃下顯影60秒后，用純水沖洗1分鐘。然后，在烘箱中，在220℃下加熱60分鐘，形成保護膜。
(II)分隔物的形成使用旋涂機，在無堿玻璃基板上涂敷上述組合物溶液后，在加熱板上于90℃下預烘焙3分鐘，形成膜厚為4.0μm的涂膜。
通過殘留10μm見方圖案的掩模，以150μm的曝光間隔，使用波長365nm的曝光強度為300W/m2的紫外線對上述所得涂膜進行曝光。接著，用0.05重量％氫氧化鉀水溶液在25℃下顯影60秒后，用純水沖洗1分鐘。然后，在烘箱中，在220℃下加熱60分鐘，形成分隔物。
(III)透明性的評價采用分光光度計(150-20型雙光束(日立制作所(株)制造))，測定保護膜的400-800nm的透過率。這時，最低透過率超過97％情況表示為○，90-97％的情況表示為△，不足90％的情況表示為×。
(IV)分辨率的評價除了改變曝光量以外，與在上述(II)的分隔物的形成同樣地操作，形成分隔物時，通過由顯影后殘膜率為90％以上的曝光量分辨的最小圖案尺寸進行評價。
(V)圖案截面形狀的評價使用掃描電子顯微鏡觀察上述(II)中得到的圖案的截面形狀，其結(jié)果以其形狀符合圖1中所示的A～C中的某一種形狀表示。當如A所示圖案邊為正錐形時，可以稱圖案形狀為良好。當如B所示圖案邊形成垂直狀時，可以稱圖案形狀為尚可。此外，如C所示，當形成倒錐形(在截面形狀中，膜表面的邊比基板一側(cè)的邊更長，為倒三角形狀)的形狀時，由于在之后的打磨工序時圖案被剝離的可能性非常大，因此這種形狀被評為不良。
(VI)密合性的評價與上述(I)同樣地實施，形成密合性評價用固化膜，進行密合性試驗。試驗方法按照JIS K-5400(1900)8.5的粘附性試驗中的8.5.2的網(wǎng)格帶法進行。
(VII)耐熱性的評價在上述(I)中，將在預烘焙溫度90℃下形成的保護膜置于烘箱中在250℃下加熱60分鐘。測定這時的膜厚度變化率。當變化率在加熱前后為5％以內(nèi)時，可稱為耐熱穩(wěn)定性良好，當超過5％時，耐熱尺寸穩(wěn)定性被稱為不良。
(VIII)升華性的評價將上述組合物溶液涂敷于基板上后干燥，形成膜厚為6.0μm的覆膜。然后，采用標準物質(zhì)正辛烷(比重＝0.701，注入量為0.02μl)，以100℃/10分鐘的吹氣(パ一ジ)條件，對該覆膜進行頂空氣相色譜法/質(zhì)量分析(頂空取樣器日本分析工業(yè)(株)制造，JHS-100A，氣相色譜/質(zhì)量分析裝置JEOL JMS-AX505W型質(zhì)量分析計)，求出源于光聚合引發(fā)劑的峰面積A，通過下述計算公式，算出正辛烷換算的揮發(fā)量。該揮發(fā)量越大，則升華性越大。
正辛烷換算的揮發(fā)量的計算公式揮發(fā)量(μg)＝A×(正辛烷的量)(μg)/(正辛烷的峰面積)(IX)壓縮特性的評價使用微型壓縮試驗機(商品名FISCHER SCOPE H100C，(株)フイツシヤ一·インストルメンツ制造)，通過直徑為50μm的平面壓頭，負荷速度和卸載速度均為2.6mN/秒，直到負載50mN的載荷并保持5秒鐘，卸除負荷，制作負荷時的載荷-變形量曲線和卸載時的載荷-變形量曲線。這時，如圖2所示，負荷時負載50mN的變形量與負載5mN的變形量之差為L1，卸載時負載50mN的變形量與負載5mN的變形量之差為L2，通過下述公式，算出彈性回復率。
彈性回復率(％)＝L2×100/L1實施例2-6，比較例1-4在實施例1中，作為[A]成分～[C]成分，除了使用如表1中所示的種類、用量以外，與實施例1同樣地操作，調(diào)制組合物溶液[S-2～S-6，s-1～s-4]，形成分隔物，并進行評價。[B]～[C]的添加量為相對于100重量份共聚物[A]的重量比。
評價結(jié)果列于表2。
表1

表1中，成分的簡稱表示如下的化合物。
(B-1)KAYARAD DPHA(日本化藥(株)生產(chǎn))(C-1)2-甲基-1-[4-(正丁基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮(C-2)2-甲基-1-[4-(2-羥基乙基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮(C-3)1，2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲?；?(チバ·スペシヤルテイ-·ケミカルズ社生產(chǎn)，CGI-124)(C-4)2-甲基-1-[4-(甲基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮(チバ·スペシヤルテイ-·ケミカルズ社生產(chǎn)イルガキユア907)(C-5)2，2’-二(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-二咪唑(C-6)4，4’-二(二乙氨基)二苯酮(C-7)2-巰基苯并噻唑表2

權(quán)利要求
1.一種光敏性樹脂組合物，其特征在于含有[A](a1)乙烯性不飽和羧酸和/或乙烯性不飽和羧酸酐與(a2)其它乙烯性不飽和化合物的共聚物，[B]具有乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物，和[C]由下述式(1)表示的化合物組成的光聚合引發(fā)劑， 式(1)中，n為2-12的整數(shù)，R1代表氫、羥基、或者具有下述(I)、(II)或(III)各自表示的結(jié)構(gòu)的任一基團，(III)中的R2是碳原子數(shù)為1-12的烷基、碳原子數(shù)為3-8的環(huán)烷基或苯基(其中，任選可以被至少1個以上碳原子數(shù)為1-6的烷基、碳原子數(shù)為1-6的烷氧基取代)，
2.權(quán)利要求1所述的光敏性樹脂組合物，用于形成液晶顯示面板用保護膜或者用于形成分隔物。
3.由權(quán)利要求2所述的光敏性樹脂組合物形成的液晶顯示面板用保護膜或者分隔物。
4.一種液晶顯示面板用保護膜或分隔物的形成方法，其特征在于至少包括按照以下記載順序的以下工序，(一)在基板上形成權(quán)利要求2所述的光敏性樹脂組合物的覆膜的工序，(二)對該覆膜的至少一部分進行曝光的工序，(三)對曝光后的該覆膜進行顯影的工序，(四)對顯影后的該覆膜進行加熱的工序。
5.具有權(quán)利要求3所述的液晶顯示面板用保護膜或分隔物的液晶顯示面板。
全文摘要
一種光敏性樹脂組合物，其具有足夠的工藝自由度，能夠抑制光聚合引發(fā)劑成分升華引起的烘焙爐和光掩模等的污染，充分兼?zhèn)浔Ｗo膜材料所必需的密合性、透明性、耐熱性和分隔物材料所必需的分辨性、壓縮特性。其含有[A](a1)乙烯性不飽和羧酸和/或乙烯性不飽和羧酸酐與(a2)其它乙烯性不飽和化合物的共聚物，[B]具有乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物，和[C]由上述式(1)表示的化合物組成的光聚合引發(fā)劑。
文檔編號G03F7/26GK1940724SQ200610152318
公開日2007年4月4日 申請日期2006年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月26日
發(fā)明者一戶大吾, 梶田徹 申請人:Jsr株式會社