專利名稱：基板粘貼裝置、基板粘貼判斷方法及基板粘貼方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在液晶顯示板的制造中采用且適宜的基板粘貼裝置、基板粘貼判斷方法及基板粘貼方法。
背景技術(shù)：
液晶顯示板是在玻璃基板間封入液晶制造的，液晶的封入有注入式和滴下式。
液晶滴下型的液晶顯示板的制造經(jīng)過在以真空環(huán)境為代表的已減壓的室內(nèi)通過密封劑來粘貼二塊基板的粘貼工序、利用通過其粘貼后的室內(nèi)壓力返回大氣壓的內(nèi)外壓力差來形成規(guī)定基板間隔的工序即間隙產(chǎn)生工序。
在前者真空環(huán)境中的基板粘貼工序中，通過具有粘結(jié)性并框狀地涂抹的密封劑將二塊基板粘貼，但若在密封劑和基板之間存在未接觸處或密封劑的壓碎不充分之處，則在其后的間隙產(chǎn)生工序中，存在不能形成合適的顯示面的可能。
即，雖然在間隙產(chǎn)生工序中為了將室內(nèi)返回大氣壓，向室內(nèi)供給空氣或惰性氣體，但是若在密封劑和基板之間存在非接觸處等從而粘貼狀態(tài)不恰當(dāng)，則向室內(nèi)供給的空氣等就從其非接觸處進(jìn)入被密封劑包圍的顯示范圍內(nèi)，其變?yōu)闅馀莶⒊蔀橐鸩涣嫉脑颉?br> 因此，提案了將粘貼的二塊基板間的間隙通過距離測定器測定，檢測其距離測定值進(jìn)入了規(guī)定范圍內(nèi)，并判斷二塊基板進(jìn)行了恰當(dāng)?shù)卣迟N的基板粘貼裝置(參照專利文獻(xiàn)1-特開2002-229471號公報)。
在該基板粘貼裝置中，在二塊基板間的間隙沒進(jìn)入規(guī)定范圍內(nèi)的情況下，基于其間隙檢測信號來進(jìn)行間隙控制以進(jìn)入規(guī)定范圍內(nèi)。
如上所述，在現(xiàn)有基板粘貼裝置中，其構(gòu)成為當(dāng)將二塊基板通過框狀地涂抹的密封劑粘貼時，二塊基板間的間隔通過距離測定器測定，當(dāng)檢測其測定值進(jìn)入了規(guī)定范圍內(nèi)時，判斷出上下基板通過密封劑已恰當(dāng)?shù)卣迟N，并前進(jìn)到因隨后的室內(nèi)壓力返回大氣壓從而產(chǎn)生間隙。
可是，如果成為大型基板，則因為密封劑的涂抹長度理所當(dāng)然地變長，所以不易在密封劑的整個涂抹區(qū)域范圍內(nèi)正確地檢測出二塊基板之間的間隔已進(jìn)入規(guī)定范圍內(nèi)。
另外，在現(xiàn)有基板粘貼裝置中，為了檢測二塊基板是否通過密封劑進(jìn)行了恰當(dāng)?shù)卣迟N，需要沿粘貼基板的外周緣設(shè)置多個距離測定器，因而不能避免構(gòu)造的復(fù)雜化。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能正確且實時地判斷二塊基板是否通過密封劑進(jìn)行了恰當(dāng)?shù)卣迟N的基板粘貼判斷方法。
另外，本發(fā)明的目的還在于提供一種能以簡易的構(gòu)成來正確且實時地判斷二塊基板是否通過密封劑進(jìn)行了恰當(dāng)?shù)卣迟N，由此可以縮短粘貼工序的生產(chǎn)節(jié)拍間隔時間的基板粘貼裝置及基板粘貼方法。
本發(fā)明第一方案為一種基板粘貼裝置，將相對配置的二塊基板容納在可以減壓的室內(nèi)，使各基板的保持裝置相對接近移動，通過至少在任意一方的基板上呈框狀地涂抹的密封劑，使上述二塊基板在減壓環(huán)境下粘貼，其特征在于，具有傳感器，其檢測上述室內(nèi)壓力；控制器，其連接在該傳感器上，基于來自該傳感器的信號，取得上述保持裝置的相對接近移動的停止時刻；該控制器在上述停止時刻停止上述保持裝置的相對接近運(yùn)動。
本發(fā)明第二方案為一種基板粘貼裝置，其具有其具有保持一方基板的第一保持裝置、以與上述一方基板相對的狀態(tài)保持另一方基板的第二保持裝置、使上述第一保持裝置和第二保持裝置相對接近移動的移動裝置、容納被上述第一保持裝置保持的一方基板和被上述第二保持裝置保持的另一方基板的可以減壓的室，利用上述移動裝置使上述第一保持裝置和第二保持裝置相對接近移動，通過至少在任意一方的基板上呈框狀地涂抹的密封劑使上述二塊基板在減壓環(huán)境下粘貼，其特征在于具備傳感器，其檢測上述室內(nèi)壓力；控制器，其連接在該傳感器上，基于來自該傳感器的信號，控制上述移動裝置。
本發(fā)明第三方案為一種基板粘貼判斷方法，將二塊基板相對地配置在可以減壓的室內(nèi)，對通過在至少任意一方的基板上呈框狀地涂抹的密封劑使上述二塊基板在減壓環(huán)境下粘貼時的粘貼狀態(tài)進(jìn)行判斷，其特征在于，至少在粘貼過程中，檢測上述室內(nèi)壓力的變化，上述判斷基于該檢測出的變化進(jìn)行。
本發(fā)明第四方案為一種基板粘貼判斷方法，，將二塊基板相對地配置在可以減壓的室內(nèi)，判斷通過至少在任意一方的基板上呈框狀地涂抹的密封劑使上述二塊基板在減壓環(huán)境下粘貼時的粘貼狀態(tài)，其特征在于，至少在粘貼過程中，根據(jù)在上述室內(nèi)壓力的變化中產(chǎn)生的拐點，判斷上述二塊基板通過上述密封劑進(jìn)行了恰當(dāng)?shù)卣迟N。
本發(fā)明第五方案為一種基板粘貼方法，將二塊基板相對地配置在可以減壓的室內(nèi)，使兩塊基板間的間隔變窄，通過至少在任意一方的基板上呈框狀地涂抹的密封劑使上述二塊基板在減壓環(huán)境下粘貼，其特征在于，至少在粘貼過程中，檢測上述室內(nèi)壓力的變化，在上述壓力變化中未檢測出拐點的情況下，使兩塊基板間的間隔進(jìn)一步變窄。
本發(fā)明的基板粘貼裝置、基板粘貼判斷方法及基板粘貼方法，著眼于在減壓環(huán)境下粘貼基板時從基板或涂抹在該基板上的密封劑等放出氣體的現(xiàn)象。
在通過框狀地涂抹的密封劑將二塊基板粘貼時，從在室內(nèi)露出的基板面放出氣體，該放出氣體進(jìn)行作用使通過排氣形成的減壓環(huán)境的室內(nèi)的真空度降低。
可是，在二塊基板粘貼之際，當(dāng)二塊基板接近并通過框狀地涂抹的密封劑恰當(dāng)?shù)卣迟N時，其后因為沒有在該密封劑包圍的范圍產(chǎn)生氣體或產(chǎn)生極少氣體，所以放出氣體引起的室內(nèi)真空度降低停止或停滯。
即，若觀察室內(nèi)壓力的變化，則以二塊基板通過密封劑恰當(dāng)?shù)卣迟N的時刻為界，因為形成拐點或折曲部，所以通過捕捉其能判斷二塊基板是否通過密封劑恰當(dāng)?shù)卣迟N。
因此，本發(fā)明的基板粘貼裝置及基板粘貼方法，設(shè)置有檢測室內(nèi)壓力的的傳感器，控制器因為基于來自該傳感器的信號控制二塊基板的粘貼而構(gòu)成，所以能以簡單的構(gòu)成正確且實時地判斷二塊基板通過密封劑是否進(jìn)行了恰當(dāng)?shù)卣迟N，由此，可以縮短粘貼工序中的生產(chǎn)節(jié)拍間隔時間。
另外，本發(fā)明的基板粘貼判斷方法，因為至少基于來自室內(nèi)壓力檢測傳感器的信號來判斷室內(nèi)的二塊基板通過密封劑是否恰當(dāng)?shù)卣迟N，所以能正確且實時地判斷是否進(jìn)行了恰當(dāng)?shù)卣迟N，即二塊基板的粘貼狀態(tài)。


圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的基板粘貼裝置的一實施例的構(gòu)成圖。
圖2是圖1所示的裝置中的室內(nèi)真空度特性圖及從基板等放出的氣體的放出特性圖。
圖3是說明圖1所示裝置的動作的室內(nèi)真空度特性圖。
圖4是表示圖1所示裝置的動作的流程圖。
具體實施例方式
以下，參照圖1至圖4詳細(xì)地說明本發(fā)明的一實施例。
即，圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的基板粘貼裝置的一實施例的構(gòu)成圖。
圖1所示的基板粘貼裝置是在液晶顯示板的制造中采用的裝置，其構(gòu)成為在由上室1A及下室1B構(gòu)成的室1內(nèi)，上載物臺21及下載物臺22相對配置，為使作為粘貼對象的玻璃制上基板31及下基板32在該上載物臺21及下載物臺22上分別通過靜電卡盤等保持。這里，上載物臺21構(gòu)成第一保持裝置，下載物臺22構(gòu)成第二保持裝置。
相對配置的二塊基板31、32中，在下基板32的顯示面上預(yù)先在隨液晶4滴下的同時設(shè)置隔離物(未圖示)以將其顯示面封閉并包圍，將由紫外線硬化部件構(gòu)成且具有粘結(jié)性的密封劑6涂抹為框狀。
在室1配置有內(nèi)置電機(jī)的上下移動機(jī)構(gòu)8。該上下移動機(jī)構(gòu)8連接在控制器7上，通過控制器7的控制，可以上下移動上載物臺21。
在室1下方配置有位置識別用攝像機(jī)91、92。該攝像機(jī)91、92的構(gòu)成為當(dāng)在室1內(nèi)將二塊基板31、32對位時，將附著在上下基板31、32上的對準(zhǔn)標(biāo)記攝像，使其攝像信號供給控制器7。再有，在圖1中，符號22a及符號1a，皆用于對準(zhǔn)標(biāo)記攝影，其指設(shè)置在下載物臺22及下室1B上的貫通孔及透光玻璃窗，下載物臺22連接在將下載物臺22在水平方向可以移動調(diào)整的X-Y-θ移動機(jī)構(gòu)10上。
另外，真空泵11通過排氣管11a連接在室1上，使設(shè)置在排氣管11a上的開關(guān)閥11b通過控制器7開關(guān)控制而構(gòu)成。
而且，在室1上安裝有連接在控制器7上并檢測室1內(nèi)壓力的壓力檢測器(傳感器)12的同時，通過配管13a連接有填充氮?dú)獾榷栊詺怏w的惰性氣體供給源13，使設(shè)置在該配管13a上的開關(guān)閥13b通過控制器7開關(guān)控制而構(gòu)成。
以下說明上述構(gòu)成的基板粘貼裝置的動作。
首先，控制器7打開開關(guān)閥11b，基于通過真空泵11的真空抽取使形成了封閉空間的室1內(nèi)排氣，進(jìn)行控制以使室1內(nèi)達(dá)到適于粘貼基板31、32的壓力的真空度。
然而，基于通過真空泵11的室1內(nèi)的排氣，室1內(nèi)隨時間的經(jīng)過而減壓，真空度上升，但伴隨室1內(nèi)高真空化的進(jìn)行，從在室1內(nèi)相對配置的二塊基板31、32及滴在下基板32上的密封劑6和液晶4放出氣體。再有，在以下的說明中，將從基板、密封劑或液晶等放出的氣體總稱為“來自基板的氣體”。
現(xiàn)在，來自該基板等的氣體的放出量，將二塊基板31、32如圖1所示地維持在離開的狀態(tài)，若將室1內(nèi)的壓力降低，伴隨其壓力變化，就描繪出例如如圖2上點劃線B所示的曲線。
另一方面，圖2所示的實線A是表示假定在沒有從基板31、32等放出氣體的情況下，控制器7打開開關(guān)閥11b，相對將室1內(nèi)真空抽取的情況下的經(jīng)過時間T的室1內(nèi)的真空度的特性曲線的一個實例。
即，基板31、32在室1內(nèi)實際上相對配置，在真空抽取的室1內(nèi)，若考慮來自基板31、32等的氣體放出(圖2的點劃線B)的情況，則室1內(nèi)的真空度就沿圖2上以雙點劃線C所示的特性曲線變化。
那么，在本實施例中，在進(jìn)行室1內(nèi)的減壓達(dá)到適于粘貼的真空度(例如1Pa左右)的時刻，通過上下移動機(jī)構(gòu)8的驅(qū)動控制，將上載物臺21下降規(guī)定量使上下基板31、32接近，進(jìn)行二塊基板的對位。
該對位通過控制器7基于從位置識別用攝像機(jī)91、92供給的攝像信號進(jìn)行控制來驅(qū)動控制X-Y-θ移動機(jī)構(gòu)10以進(jìn)行基板面方向的上下基板31、32之間的對位而完成。
再有，在該對位階段，上基板31和密封劑6處于不接觸狀態(tài)。
進(jìn)行上基板31和下基板32的對位后，控制器7控制上下移動機(jī)構(gòu)8，使上載物臺21進(jìn)一步下降，并進(jìn)行通過密封劑6的粘貼。
通過該粘貼，在框狀的密封劑6的全范圍內(nèi)，在密封劑6與上基板31的下面接觸的狀態(tài)下，因為室1內(nèi)的壓力不作用在密封劑6包圍的區(qū)域(封閉空間)，所以沒有從密封劑6包圍區(qū)域內(nèi)的上下基板31、32等產(chǎn)生氣體，或者產(chǎn)生氣體極少。
即，在二塊基板31、32通過密封劑6恰當(dāng)?shù)卣迟N時，其粘貼時刻以后，因為沒發(fā)生從密封劑6包圍的封閉空間向室1內(nèi)的氣體放出，所以室1內(nèi)的真空度暫時急劇地增高。
圖3所示的實線D是表示實際的室1內(nèi)真空度的變化的特性曲線例。
即，在圖3中，實線D表示在通過開關(guān)閥11b的打開操作(T0)開始室1的真空抽取后的經(jīng)過時間T1的真空環(huán)境中，進(jìn)行用于粘貼的對位操作，在經(jīng)過時間T2中，涂抹了密封劑6的整個區(qū)域與上基板31的下面接觸，二塊基板31、32達(dá)到恰當(dāng)?shù)卣迟N的點。
以經(jīng)過時間T2為界，因為那以后從密封劑6包圍的空間內(nèi)的上下基板31、32相對室1沒放出氣體，所以室1內(nèi)的真空度暫時急劇上升，結(jié)果實線D進(jìn)行變化并在經(jīng)過時間T2附近形成拐點P。
因而，二塊基板31、32的對位一旦完成，控制器7就驅(qū)動控制上下移動機(jī)構(gòu)8并進(jìn)一步降低保持上基板31的上載物臺21，且導(dǎo)入來自壓力檢測器12的信號，捕捉壓力變化的拐點P，將上載物臺21立即或者從捕捉的時刻進(jìn)一步下降規(guī)定距離而停止。
這里，對拐點P的捕捉方面進(jìn)行說明。二塊基板31、32的對位一旦完成，控制器7就將通過壓力檢測器12的室1內(nèi)的壓力檢測信號每隔預(yù)先設(shè)定的時間間隔Δt，求出在前次的讀取時間檢測出的壓力檢測值和本次檢測出的壓力檢測值的差ΔL。并且將其差ΔL超過預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值R的時刻判斷為拐點P。
如果控制器7如此般基于來自壓力檢測器12的信號捕捉到拐點P，就基于其捕捉的時間來取得上載物臺21的停止時刻。該停止時刻既可以將捕捉拐點P的時刻作為停止時刻，也可以將從捕捉拐點的時刻進(jìn)一步將上載物臺21下降規(guī)定距離的位置作為停止時刻來取得。
控制器7以如此取得的停止時刻驅(qū)動上下移動機(jī)構(gòu)8停止上載物臺21的下降，完成粘貼。再有，為了根據(jù)室1內(nèi)的壓力變化更準(zhǔn)確地捕捉拐點P，如圖1所示，將壓力檢測器(傳感器)12設(shè)定在盡量接近對位時的二塊基板31、32的存在位置的位置上為好。
另外，在本說明書中，二塊基板31、32的對位完成以后，將到粘貼完成的過程稱為“粘貼過程”。
在接續(xù)基板粘貼工序的間隙形成工序中，控制器7關(guān)閉開關(guān)閥11b，還在解除通過上載物臺21的上基板31的保持的同時，將上載物臺21上升到原點位置。并且打開設(shè)置在配管13a上的開關(guān)閥13b，從惰性氣體供給源13向室1內(nèi)供給氮?dú)獾榷栊詺怏w，在達(dá)到大氣壓的狀態(tài)下，將上室1A上升，打開室1，將粘貼了的二塊基板31、32搬出。
再有，在使室1內(nèi)返回大氣壓時，粘貼的兩基板31、32之間受內(nèi)外壓力差而加壓，通過隔離物，形成規(guī)定的單位間隔。
完成以上說明的基板粘貼，在顯示面填充液晶4形成了單位間隔的兩基板31、32移送入通過紫外線照射使密封劑6硬化的密封劑硬化工序。
根據(jù)以上說明，雖然說明了圖1所示的該實施例的基板粘貼裝置的動作，但參照圖4所示的流程圖進(jìn)一步說明基板粘貼方法的順序。
即，首先，在室1內(nèi)相對的載物臺21、22將供給的基板31、32通過靜電卡盤等保持(步驟4a)。
其次，在控制器7將室1內(nèi)通過真空抽取減壓，并隨著形成高真空環(huán)境的同時，驅(qū)動控制上下移動機(jī)構(gòu)8，將上載物臺21下降規(guī)定量并使上基板31接近下基板32(步驟4b)。此時，上基板31和密封劑6處于不接觸的狀態(tài)。
控制器7基于來自位置識別攝像機(jī)91、92的攝像信號，驅(qū)動控制X-Y-θ移動機(jī)構(gòu)10，使上下基板31、32之間進(jìn)行對位而控制(步驟4c)。
接著，控制器7隨著接受來自壓力檢測器(傳感器)12的室1內(nèi)壓力數(shù)據(jù)的供給的同時，驅(qū)動上下移動機(jī)構(gòu)8并將上載物臺21緩緩降下，將上基板31緩緩地下降(步驟4d)。
此時接受了來自壓力檢測器12的室1內(nèi)壓力數(shù)據(jù)的供給的控制器7，每隔預(yù)先設(shè)定的時間間隔Δt，順次求出在前次讀取時間檢測出的壓力檢測值和本次檢測出的壓力檢測值的差ΔL(步驟4e)。
接著，前進(jìn)到步驟4f，判斷上述差ΔL是否超過預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值R。
在步驟4f中，判斷其差ΔL超過預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值R(是)時，控制器7取得上載物臺21的下降停止時刻，隨著在該時間停止上載物臺21的降下的同時，解除上載物臺21相對上基板31的吸附保持，其后使上載物臺21上升退避。另外，在關(guān)閉開關(guān)閥11b打開開關(guān)閥13b并隨著向室1內(nèi)供給氮?dú)獾榷栊詺怏w而返回大氣壓的同時，繼續(xù)使上室1A上升并開放室1內(nèi)，從室1內(nèi)搬出粘貼的基板，移送入下一個工序例如通過紫外線照射的密封劑硬化工序(步驟4g)，完成。
再有，在步驟4f中，判斷差ΔL沒超過預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值R(否)時，繼續(xù)返回步驟4e，繼續(xù)通過上下移動機(jī)構(gòu)8的驅(qū)動降下上載物臺21。
如上所述，根據(jù)該實施例的基板粘貼裝置，用檢測室1內(nèi)壓力的壓力檢測器(傳感器)12檢測出粘貼過程中的室內(nèi)壓力的變化，以密封劑整體在整個區(qū)域內(nèi)與基板接觸的時刻，即二塊基板31、32進(jìn)行恰當(dāng)?shù)卣迟N的時刻為界，檢測出室內(nèi)壓力的變化產(chǎn)生大變化形成的拐點P，基于該檢測結(jié)果控制二塊基板的粘貼而構(gòu)成，所以能正確且實時地判斷出二塊基板通過密封劑是否進(jìn)行恰當(dāng)?shù)卣迟N，由此能防止將上基板31相對密封劑6壓得過緊，縮短基板31、32的粘貼需要的處理時間，可以縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間、進(jìn)行高效率的粘貼。
并且，因為使密封劑6在整個區(qū)域內(nèi)與上基板31接觸的時刻基于檢測室1內(nèi)壓力的變化來進(jìn)行，所以具有以附加壓力檢測器12這樣的簡單構(gòu)成添加就能高效率地制造品質(zhì)優(yōu)良的液晶顯示板的優(yōu)點。
另外，如上所述，在粘貼之際，因為能防止使上載物臺21降下至需要以上，所以能將粘貼時的上載物臺21的下降距離(行程長度)停止在需要的最小限度。由此，能極力防止上載物臺21下降引起可能產(chǎn)生的上基板31相對下基板32的位置錯移，能提高上下基板31、32的粘貼精度。
另外，因為將二塊基板31、32通過密封劑6進(jìn)行恰當(dāng)?shù)卣迟N的時刻基于室1內(nèi)的壓力變化檢測出來，所以即使在涂抹于例如下基板32上的密封劑6的高度上存在波動的情況下，也能準(zhǔn)確地檢測出密封劑6的整個區(qū)域與上基板31接觸的時間。因而，能防止存在密封劑6和上基板31的非接觸處所引起的、向密封劑6包圍的區(qū)域內(nèi)(顯示區(qū)域內(nèi))混入氣泡的發(fā)生，從而可以制造品質(zhì)優(yōu)良的液晶顯示板。
再有，在上述的實施例中，雖然使用在室1內(nèi)壓力的變化中檢測拐點P之際，上次的讀取時間中檢測出的壓力檢測值和本次讀取時間中檢測出的壓力檢測值的差ΔL的例子做了說明，但不限于此，例如也可以通過比較本次讀取時間中檢測出的壓力檢測值和預(yù)先存儲在存儲部等中的壓力特性曲線來檢測拐點P。
這樣，將例如圖2所示特性曲線C的數(shù)據(jù)，即將作為二塊基板31、32維持在圖1所示的狀態(tài)下地降低室1內(nèi)壓力的情況下的室內(nèi)壓力和經(jīng)過時間的關(guān)系的壓力特性曲線預(yù)先通過實驗等求出，將其預(yù)先存儲在存儲部。然后，在實際進(jìn)行基板的粘貼時，將室內(nèi)壓力用壓力檢測器每隔預(yù)先設(shè)定的時間間隔檢測出來，將其檢測的壓力值與存儲的壓力特性曲線中的對應(yīng)的時間壓力值比較。并且比較的結(jié)果，將兩者之差比預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值大的時刻作為拐點P捕捉。
另外，在上述實施例中，其構(gòu)成為二塊基板31、32對位后，在拐點P檢測出的時刻停止上載物臺21的下降，或者在拐點P檢測出來以后進(jìn)一步下降規(guī)定的距離的時刻使之停止?？墒?，在對位后的上載物臺21的下降距離預(yù)先設(shè)定，且使上載物臺21只下降該設(shè)定的距離并粘貼的裝置的情況下，可以通過在使上載物臺21只下降該設(shè)定的距離期間是否檢測出拐點P來用控制器7判斷粘貼是否恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行。這時，在沒檢測出拐點P的情況下，判斷為沒進(jìn)行恰當(dāng)?shù)卣迟N，在檢測出拐點P的情況下，判斷為進(jìn)行了恰當(dāng)?shù)卣迟N。在沒檢測出拐點P的情況下，既可以使另外設(shè)置的顯示器、蜂鳴器等的報警裝置工作，或者也可以進(jìn)一步使上載物臺21下降規(guī)定量，且如前一個實施例般使上載物臺21的下降繼續(xù)到檢測出拐點P，這樣，將兩基板的間隔進(jìn)一步變窄。
再有，在通過上下移動機(jī)構(gòu)8使上載物臺21以定壓下降的構(gòu)成的情況下，由于二塊基板間配置的液晶或密封劑的粘度變化而使其難于壓壞，在通過上下移動機(jī)構(gòu)8使上載物臺21只以設(shè)定的距離下降期間，通過上下移動機(jī)構(gòu)8產(chǎn)生的上載物臺21的下降力受該難于壓壞的液晶或密封劑妨礙，且上基板31接觸在這些密封劑或液晶上后有時不能下降。在這種情況下，測定粘貼過程開始后的經(jīng)過時間的同時，在即使經(jīng)過規(guī)定時間也不能檢測出拐點P的情況下，可控制上下移動機(jī)構(gòu)8的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩以使下降力增加。這樣，即使液晶或密封劑的粘度存在變動，也能防止額外粘貼所需要的處理時間過長，且能進(jìn)行高效率地粘貼。并且，如果因下降力增加檢測出拐點P，則基于其檢測信號就得到停止時刻，如果在該時間停止上下移動機(jī)構(gòu)8的下降，就能防止施加大于設(shè)定在粘貼的二塊基板上的加壓力的加壓力，從而可保護(hù)基板免受作用于基板上的以外的的較大加壓力所引起的損傷等損害。
另外，雖然使用在將上基板極其接近下基板上的密封劑或液晶的狀態(tài)下進(jìn)行上基板或下基板的對位的實例做了說明，但是在液晶的高度大于密封劑的高度的情況下，也可以在使上基板接觸液晶的狀態(tài)下進(jìn)行上基板和下基板的對位。
再有，雖然在下基板上的密封劑在整個范圍內(nèi)與上基板31接觸時室內(nèi)的真空度最初急劇上升，但最好將讀取壓力檢測器的壓力檢測信號的時間間隔設(shè)定為比該上升需要的時間更長。
而且，在粘貼二塊基板31、32之際，雖然使保持上基板31的上載物臺21下降，但也可使下載物臺22側(cè)上升。
還有，雖然使用壓力檢測器(傳感器)12來檢測粘貼工序中的室內(nèi)壓力的變化，但也可以從開始室內(nèi)真空抽取的時刻檢測。
又有，密封劑可涂抹在上下基板的任意一個上。
另有，雖然使用用關(guān)閉上室形成密閉的室后到在該室內(nèi)二塊基板31、32恰當(dāng)?shù)卣迟N這段時間內(nèi)繼續(xù)通過真空泵的真空抽取的實例進(jìn)行說明，但在到達(dá)粘貼需要的真空度或比粘貼需要的真空度高出規(guī)定量的真空度的時刻停止通過真空泵的真空抽取的情況下也可以使用本發(fā)明。
這時，例如如果借助圖3說明，則在經(jīng)過時間T1就停止通過真空泵的真空抽取。停止通過真空泵的真空抽取后，室內(nèi)壓力由于來自基板等的氣體放出，緩緩地上升。并且，上基板31和下基板32在通過密封劑粘貼的時刻(經(jīng)過時間T2)，因為沒有來自基板等的氣體放出，所以在該經(jīng)過時間T2附近室內(nèi)壓力的上升停止或者變緩慢。因此，若觀察室內(nèi)壓力的變化，則在經(jīng)過時間T2附近產(chǎn)生折曲部。因此，與上述的實施例的拐點P的檢測相同，檢測出該折曲部，只要能得到上載物臺21的停止時刻即可。
另外，作為面向液晶顯示板的適用例，雖然以在二塊基板間存在液晶的裝置說明了，但本發(fā)明也可以適用于二塊基板僅通過密封劑粘貼的裝置。
另外，在上述的實施例中，說明了將本申請適用于液晶顯示板制造的情況，因下基板32上涂抹的密封劑6在整個范圍內(nèi)與上基板31接觸，二塊基板通過密封劑進(jìn)行恰當(dāng)?shù)卣迟N。在液晶顯示板中，因為極為忌諱面板顯示區(qū)域內(nèi)混入氣泡，所以需要使密封劑6在整個區(qū)域內(nèi)與上基板31接觸，沒有非接觸處?？墒牵趯⒁壕э@示板用以外的二塊基板僅通過密封劑粘貼的裝置中，對應(yīng)作為其對稱物的粘貼的基板，恰當(dāng)程度當(dāng)然不同，例如也可以適用于如果在接觸狀態(tài)預(yù)先設(shè)定的允許范圍內(nèi)就能恰當(dāng)?shù)嘏袛嗟那闆r。
因而，將本發(fā)明涉及的基板粘貼裝置及基板粘貼判斷方法在例如液晶顯示板的制造中采用，能高效率地制造出品質(zhì)優(yōu)良的液晶顯示板。
權(quán)利要求
1.一種基板粘貼裝置，將相對配置的二塊基板容納在可以減壓的室內(nèi)，使各基板的保持裝置相對接近移動，通過至少在任意一方的基板上呈框狀地涂抹的密封劑，使上述二塊基板在減壓環(huán)境下粘貼，其特征在于，具有傳感器，其檢測上述室內(nèi)壓力；控制器，其連接在該傳感器上，基于來自該傳感器的信號，取得上述保持裝置的相對接近移動的停止時刻；該控制器在上述停止時刻停止上述保持裝置的相對接近運(yùn)動。
2.一種基板粘貼裝置，其具有保持一方基板的第一保持裝置、以與上述一方基板相對的狀態(tài)保持另一方基板的第二保持裝置、使上述第一保持裝置和第二保持裝置相對接近移動的移動裝置、容納被上述第一保持裝置保持的一方基板和被上述第二保持裝置保持的另一方基板的可以減壓的室，利用上述移動裝置使上述第一保持裝置和第二保持裝置相對接近移動，通過至少在任意一方的基板上呈框狀地涂抹的密封劑使上述二塊基板在減壓環(huán)境下粘貼，其特征在于具備傳感器，其檢測上述室內(nèi)壓力；控制器，其連接在該傳感器上，基于來自該傳感器的信號，控制上述移動裝置。
3.一種基板粘貼判斷方法，將二塊基板相對地配置在可以減壓的室內(nèi)，對通過在至少任意一方的基板上呈框狀地涂抹的密封劑使上述二塊基板在減壓環(huán)境下粘貼時的粘貼狀態(tài)進(jìn)行判斷，其特征在于，至少在粘貼過程中，檢測上述室內(nèi)壓力的變化，上述判斷基于該檢測出的變化進(jìn)行。
4.一種基板粘貼判斷方法，將二塊基板相對地配置在可以減壓的室內(nèi)，判斷通過至少在任意一方的基板上呈框狀地涂抹的密封劑使上述二塊基板在減壓環(huán)境下粘貼時的粘貼狀態(tài)，其特征在于，至少在粘貼過程中，根據(jù)在上述室內(nèi)壓力的變化中產(chǎn)生的拐點，判斷上述二塊基板通過上述密封劑進(jìn)行了恰當(dāng)?shù)卣迟N。
5.一種基板粘貼方法，將二塊基板相對地配置在可以減壓的室內(nèi)，使兩塊基板間的間隔變窄，通過至少在任意一方的基板上呈框狀地涂抹的密封劑使上述二塊基板在減壓環(huán)境下粘貼，其特征在于，至少在粘貼過程中，檢測上述室內(nèi)壓力的變化，在上述壓力變化中未檢測出拐點的情況下，使兩塊基板間的間隔進(jìn)一步變窄。
全文摘要
在真空環(huán)境下，粘貼對象的基板(31)、(32)放出氣體、起到降低室(1)內(nèi)真空度的作用。在框狀地涂抹的密封劑(6)將上下基板(31)、(32)恰當(dāng)?shù)卣迟N時，由于從密封劑(6)包圍的基板面放出的氣體因為不在室內(nèi)擴(kuò)散，所以室(1)內(nèi)壓力急劇降低，進(jìn)行變化以實現(xiàn)高真空化。于是，本發(fā)明設(shè)置有檢測室(1)內(nèi)的真空度的傳感器(壓力檢測器)(12)，控制器(7)捕捉室(1)內(nèi)壓力急劇變化的拐點(P)，且檢測密封劑(6)在整個區(qū)域內(nèi)與二塊基板(31)、(32)恰當(dāng)?shù)卣迟N的情況。因而，通過簡單的構(gòu)成，能省卻粘貼時的上基板(31)無用的推壓降下，并能縮短粘貼工序的生產(chǎn)節(jié)拍間隔時間。
文檔編號G02F1/1333GK1811544SQ20061000226
公開日2006年8月2日 申請日期2006年1月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月27日
發(fā)明者高橋崇史, 牧野勉 申請人:芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司