專利名稱：分光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如用于血液檢查的分光裝置。
背景技術(shù)：
分光裝置是一種通過向檢查樣品照射來自光源的光，使透過了檢查樣品后的光/反射后的光的強度轉(zhuǎn)換成電信號，由此測定檢查樣品的吸光度/反射率的裝置，已應(yīng)用在很多方面。在將分光裝置應(yīng)用于例如色測定或血液檢查的情況下，要對在透過了檢查樣品后的光中波長不同的多個光成分，即對多波長中的每一個波長測定吸光度。作為這樣的分光裝置，例如，有在特開昭59-131124號公報中公開的旋轉(zhuǎn)板方式的分光裝置。該分光裝置通過以使透過想要檢測的波長的光成分的濾光片位于光路中的方式使旋轉(zhuǎn)板機械式地旋轉(zhuǎn)，使得多波長的檢測成為可能。
但是，旋轉(zhuǎn)板方式的分光裝置由于是通過使旋轉(zhuǎn)板機械式地旋轉(zhuǎn)來選擇濾光片，故多波長的檢測就要花費時間。血液檢查要求迅速地進行多樣品而且多項目的檢測，用旋轉(zhuǎn)板方式的分光裝置，則不能滿足這樣的要求。
作為滿足該要求的分光裝置，例如，有在特開平11-6766號公報、特開昭59-170734號公報中所公開的半反射鏡方式的分光裝置。這些分光裝置，具有借助于多個半反射鏡和多個受光元件來檢測多波長的構(gòu)造。半反射鏡方式的分光裝置，通過在各個半反射鏡中將入射光分割成透過光和反射光，將透過光作為位于下一序號的半反射鏡的入射光，從而對多波長進行檢測。為此，與機械式地選擇波長檢測多波長的上述旋轉(zhuǎn)板方式的分光裝置比，可以高速地檢測多波長。

發(fā)明內(nèi)容
但是，根據(jù)半反射鏡方式的分光裝置，通過1個半反射鏡將光束分割成1/2。因此，在位于后邊的序號的受光元件中，由于入射光極度地減弱，故S/N比降低，借助于此，作為光成分的檢測靈敏度的檢測效率惡化。例如，在設(shè)置8個半反射鏡、檢測9種的波長的情況下，透過了第8個半反射鏡后的光的強度，與最初比就要變成為(1/2)8＝1/256，該波長的光成分的檢測效率極度惡化。為了應(yīng)對該情況，雖然必須增大來自光源的光量，但是，結(jié)果卻變成為所消費的電力因之而會增大。
本發(fā)明就是為了解決這樣的課題而完成的，目的在于提供可以以高的檢測效率檢測波長不同的多個光成分的分光裝置。
本發(fā)明的分光裝置，依次配置由電介質(zhì)多層膜構(gòu)成的、透過波段不同的多個干涉濾光片，使得用特定的干涉濾光片反射后的光向次級的干涉濾光片入射，將光檢測元件設(shè)置在透過各個所述干涉濾光片后的光所入射的位置上，其特征在于在該分光裝置的初級的所述干涉濾光片的光入射面一側(cè)設(shè)置厚度20～200nm的銀薄膜。
在該分光裝置中，由于干涉濾光片的透過波段不同，則不同的波長的光在透過了各自的干涉濾光片后用光檢測元件進行檢測，進行分光。干涉濾光片的反射光強度具有越是后級衰減地越多的傾向。因此，即便是在后級一側(cè)的光檢測元件中，為了檢測充分的光，在本分光裝置中，在從光源開始數(shù)在初級的干涉濾光片的光入射面一側(cè)，設(shè)置厚度20nm以上的銀薄膜，提高其反射特性，同時，使銀薄膜的厚度為200nm以下，從而使得透過該干涉濾光片本身的光的強度不進行衰減。借助于此，就可以以高的檢測效率檢測波長不同的多個光成分。
本發(fā)明的分光裝置，其特征在于具備與所述干涉濾光片一起夾住所述銀薄膜的光透過性保護部件。銀薄膜由于易于受傷，通過設(shè)置光透過性保護部件，就可以保護銀薄膜。透過了光透過性保護部件后的目的波長的光透過銀薄膜和干涉濾光片后到達光檢測元件。
此外，銀由于反射率會因由空氣進行的氧化而劣化，故在本顯示裝置中由具有防濕性的玻璃構(gòu)成光透過性保護部件，向光透過性保護部件上邊淀積銀薄膜的辦法，在對由銀薄膜形成的反射界面進行防濕的同時，在銀薄膜的形成后，使銀薄膜光學(xué)性地結(jié)合到干涉濾光片上。借助于此，就可以同時進行銀薄膜的劣化抑制和保護。此外，由于已進行了與干涉濾光片之間的光學(xué)性地結(jié)合，故目的波長可以以高效率透過光透過性保護部件、銀薄膜和干涉濾光片，同時，還可以充分地反射目的外的波長。
雖然是光學(xué)性結(jié)合，但是本發(fā)明的分光裝置，還具備推壓部件，該推壓部件以使所述銀薄膜貼緊到所述干涉濾光片上的方式將所述光透過性保護部件推壓至所述干涉濾光片一側(cè)，由于貼緊度的提高而可以提高光學(xué)性結(jié)合效率。
在本發(fā)明的分光裝置中，也可以將銀薄膜直接淀積到干涉濾光片上。在該情況下，干涉濾光片與銀薄膜之間的結(jié)合就變得容易起來。


圖1是實施方式1的分光裝置的示意圖。
圖2的光電二極管31附近的檢測器的部分放大圖。
圖3是在上述分光裝置，將光電子倍增管51～59用做光檢測元件41～49的分光裝置2的構(gòu)成圖。
圖4是初級的光電子倍增管51附近的檢測器的部分放大圖。
圖5的曲線圖示出了未設(shè)置銀薄膜的情況下的初級干涉濾光片(340nm)對波長(nm)的相對反射率(％)。
圖6的曲線圖示出了設(shè)置有銀薄膜的情況下的初級干涉濾光片(340nm)對波長(nm)的相對反射率(％)。
圖7的表示出了來自分光裝置中的各個通道(Ch)中的每一個通道的光電二極管的輸出值(nA)。
圖8的曲線圖示出了圖7的表的結(jié)果。
圖9的表示出了已向樣品單元內(nèi)放入了β-NADH(ch1的吸收透過波長(340nm)的物質(zhì))的情況下的初級的光檢測器的輸出值(nA)。
圖10的表示出了將圖9所示的輸出值變換成吸光度。
圖11的曲線圖示出了圖10的表的結(jié)果。
具體實施例方式
以下，用圖面對實施方式的分光裝置進行說明。另外，對于同一要素使用同一標號，省略重復(fù)的說明。
圖1是實施方式1的分光裝置的模式圖。分光裝置1是檢測9種波長的光成分的分光裝置，具備例如20W的包括碘燈泡的光源3；對從光源3邊進行若干擴展邊射出的光L進行聚光的2塊的透鏡5、7；透過了透鏡5、7后的光L通過的孔徑9；使在孔徑9中通過而且透過了收納有檢查樣品的樣品單元S后的光L變成為大體上平行光線的透鏡11；用透鏡11變成為大體上平行光線的光L入射的分光部分13。構(gòu)成分光裝置1的這些要素，已被收容到框體(筒體)15內(nèi)。另外，大體上的平行光線，是接近于平行光的光線，實際上透鏡11的輸出光，在特定位置上成像。由該透鏡11成像的成像位置，可以設(shè)定在第1級的濾光片上邊，或者設(shè)定在濾光片間位置上。就是說，該成像位置只要設(shè)定在最終可以效率良好地得到必要的信息的位置上邊即可。
透鏡5、透鏡7和孔徑9用保持部分17保持，沿著光L的光路依次配置透鏡5、透鏡7和孔徑9。借助于透鏡5、透鏡7和孔徑9規(guī)定光L向樣品單元S入射時的光L的截面尺寸。該截面是對光L的行進方向位于90度的角度上的截面，尺寸例如是縱3mm×橫3mm。
在孔徑9與透鏡11之間的光路中，有樣品單元S的配置場所。將縫隙19、20配置為使得將該配置場所夾在中間。此外，在透鏡11與分光部分13之間的光路中配置有縫隙23。
詳細地說明分光部分13的構(gòu)造。分光部分13具備9個干涉濾光片31～39；分別與干涉濾光片31～39對應(yīng)，檢測透過了干涉濾光片31～39后的光成分的9個光電二極管41～49。光電二極管41～49是光檢測元件的一個例子。作為可以在本實施方式中使用的光電二極管例如是Si光電二極管。
干涉濾光片31、33、35、37、39，被配置為使得各自的入射面都排列在一個方向上，在該狀態(tài)下用保持部分25保持。保持部分25被配置為使得已入射到分光部分13上的光L以規(guī)定的角度向干涉濾光片31入射。在干濾光片31、33、35、37、39的各自的光出射面上，安裝有光電二極管41、43、45、47和49。借助于此，各個光電二極管檢查透過了對應(yīng)的干涉濾光片后的光成分。
干涉濾光片32、34、36、38也同樣被配置為使得各自的入射面都排列在一個方向上，在該狀態(tài)下用保持部分27保持。保持部分27被配置在使得擋不住已入射到分光部分13上的光L入射到干涉濾光片31上之前的光路的位置，而且，被配置為使得保持在保持部分27上的干涉濾光片與保持在保持部分25上的干涉濾光片對置。
在干涉濾光片32、34、36、38的各自的光出射面上，安裝有光電二極管42、44、46和48。借助于此，各個光電二極管檢查透過了對應(yīng)的干涉濾光片后的光成分。在分光部分13內(nèi)設(shè)置有對被各個光電二極管41～49所檢測的光成分進行放大的放大器等的電子電路(未畫出)。構(gòu)成分光部分13的這些要素，已收容在框體(筒體)29內(nèi)。
干涉濾光片31～39將各自的入射光分割成使之反射的光成分和使之透過的光成分。通過像上述那樣地配置保持部分25、27，使之反射的光成分就變成為位于下一個序號的干涉濾光片的入射光，借助于此，就可以按照干涉濾光片31～39的序號傳達來自光源3的光L。干涉濾光片(電介質(zhì)多層膜)31～39，具有作為波段濾光片的功能，各自所要透過的波長的光成分(透過波段的中心波長)如下。
干涉濾光片31340nm、干涉濾光片32405nm，干涉濾光片33450nm，干涉濾光片34505nm，干涉濾光片35546nm，干涉濾光片36570nm，干涉濾光片37600nm，干涉濾光片38700nm，干涉濾光片39800nm。
其次，用圖1對分光裝置1的動作進行說明。從光源3發(fā)生的光L在借助于透鏡5、7和孔徑9將其截面尺寸規(guī)定為規(guī)定值后，通過縫隙19向樣品單元S入射。光L在透過了樣品單元S后，通過縫隙21，向透鏡11入射。光L借助于透鏡11被聚光，通過縫隙23向分光部13入射。光L(特別是透鏡11以后)表示在其成分中要向次級的元件傳播的有效光。
另外，樣品單元S被配置在光源3與初級的干涉濾光片31之間的光路內(nèi)，樣品單元S內(nèi)的物質(zhì)的信息向干涉濾光片31傳播。此外，還具備收容光源3、樣品單元S、干涉濾光片31、光檢測元件41的框體15。框體15使內(nèi)部溫度或環(huán)境保持為恒定。
入射到分光部分13上的光L，首先向干涉濾光片31的入射面入射，并借助于干涉濾光片31被分成要被透過光成分以及要被反射的光成分R1。要被透過的光成分主要是波長340nm的光成分，可用光電二極管41進行檢測。
干涉濾光片具有對于使之透過的波長的光成分以外的光成分進行反射的性質(zhì)。因此，被干涉濾光片31反射的光成分R1，以高的強度含有使之透過位于后邊的序號的干涉濾光片32～39的波長的光成分。要被反射的光成分R1向干涉濾光片32的入射面入射，并被干涉濾光片32分成被透過的光成分和被反射的光成分R2。在干涉濾光片32中透過的光成分，主要是波長415nm的光成分，該光成分可借助于光電二極管42進行檢測。歸因于與上述的說明同樣的理由，反射光R2以高的強度含有使之透過位于后邊的序號的干涉濾光片33～39的波長的光成分。
以下同樣，透過干涉濾光片33～39后的光成分用光電二極管43～49進行檢測。因此，根據(jù)分光裝置1可以檢測9種的波長的光成分。
另外，入射到分光裝置1上的光，對于初級的光檢測器(31、41)以入射角θ入射，被光檢測器(31、41)反射后的光對于次級的光檢測器(32、42)以入射角θ入射，被光檢測器(32、42)反射后的光對于次級的光檢測器(33、43)以入射角θ入射。就是說，向第1干涉濾光片31入射的光的入射角θ大于0度且在10度以下，向第2干涉濾光片32入射的光的入射角θ大于0度且在10度以下。在本例中，設(shè)θ＝8度。這是因為當入射角θ超過了10度時，向干涉濾光片入射的波長的透過率下降，而且要產(chǎn)生波長漂移的緣故。
如上所述，本實施方式的分光裝置，依次配置由電介質(zhì)多層膜構(gòu)成、透過波段不同的多個干涉濾光片31～39，使得被特定的干涉濾光片(例如干涉濾光片31)反射后的光向次級的干涉濾光片(例如，干涉濾光片32)入射，并在透過了各自的干涉濾光片后的光入射的位置上設(shè)置光電二極管41～49。在本實施方式中，至少在初級的干涉濾光片31的光入射面一側(cè)設(shè)置有厚度20～200nm的銀薄膜31a。
在該分光裝置中，由于干涉濾光片31～39的透過波段不同，故不同的波長的光在透過了各自的干涉濾光片后可用光電二極管41～49進行檢測，并進行分光。干涉濾光片31～39的反射光強度具有越是后級衰減得越多的傾向。
因此，為了在后級一側(cè)的光電二極管(例如，光電二極管49)中也將檢測充分的光，在本分光裝置中，做成在從光源3數(shù)起向初級的干涉濾光片31的光入射面一側(cè)上，設(shè)置厚度20nm以上的銀薄膜31a，在提高其光反射特性的同時，使銀薄膜31a的厚度變成為200nm以下從而使得透過該干涉濾光片自身的光的強度不進行衰減。借助于此，就可以以高的檢測效率檢測波長不同的多個光成分。
以下，進行詳述。
圖2是光電二極管31附近的檢測器的部分放大圖。
本分光裝置具備與干涉濾光片31一起將銀薄膜31a夾在中間的光透過性保護部件31b。銀薄膜31a用光透過性保護部件31b保護起來。透過光透過性保護部件31b后的目的波長(340nm)的光透過銀薄膜31a和干涉濾光片31后到達光電二極管41。光電二極管41輸出與入射的光的強度成比例的電信號。此外目的外的波長(入射光波段—透過波段)則通過銀薄膜31a和干涉濾光片31反射。
光透過性保護部件31b由玻璃構(gòu)成。玻璃由于具有防濕性，故如果在其上邊淀積銀，則可以抑制銀的氧化。就是說，由于銀的反射率會因由空氣引起的氧化而劣化，故通過向光透過性保護部件31b上邊淀積銀薄膜31a，對銀薄膜31a與光透過性保護部件31b之間的反射界面進行防濕。
在銀薄膜31a的形成后，將銀薄膜31a光學(xué)性地結(jié)合到干涉濾光片31上。該形成要使用蒸鍍法或濺射法等的淀積法。根據(jù)以上的構(gòu)成，則可以進行銀薄膜31a的劣化抑制和保護以及與干涉濾光片31之間的光學(xué)性結(jié)合。入射到該檢測器上的目的波長(340nm)，在以高效率依次透過光透過性保護部件31b、銀薄膜31a和干涉濾光片31的同時，還可以充分地反射目的外波長。另外，光透過性保護部件31b的透過波段被設(shè)定為包括所有的干涉濾光片的透過波段，由二氧化硅玻璃構(gòu)成。
該分光裝置還具備推壓部件31c，其以使銀薄膜31a貼緊到干涉濾光片31上的方式將光透過性保護部件31b推壓到干涉濾光片31這一側(cè)上，通過提高貼緊度而得以提高光學(xué)性結(jié)合效率。推壓部件31c從保持器的基部直立設(shè)置，同時與光透過性保護部件31b的光入射面和側(cè)面結(jié)合。推壓部件31c可用具有彈力的樹脂或金屬構(gòu)成。
另外，銀薄膜31a與干涉濾光片31之間填充匹配油。此外，也可以做成為將銀薄膜31a直接淀積到干涉濾光片31上邊。在該情況下，干涉濾光片與銀薄膜之間的光學(xué)性結(jié)合就將變得容易起來。作為淀積方法，可以舉出蒸鍍法或濺射法等。
此外，作為光檢測元件，也可以使用光電倍增管來代替光電二極管。
圖3是在上述的分光裝置中作為光檢測元件41～49，使用光電子倍增管51～59的分光裝置2的構(gòu)成圖。在圖3中，對于與圖1所示的分光裝置1的構(gòu)成要素同等的要素通過賦予同一標號的部分省略其說明。
分光裝置2不使用光電二極管41～49，而代之以使用光電子倍增管51～59，檢測透過了各個干涉濾光片31～39后的光成分，在像構(gòu)成熒光的光成分那樣強度極其小的情況下，要是用光電二極管41～49由于難于進行檢測，故用光電子倍增管51～59來檢測光成分。
在本例中，在樣品單元S中將來自光源3的光路彎曲90度，之所以要使來自光源3的光L的行進方向在樣品單元S中進行90度彎曲，是因為要使得來自光源3的光L不會直接向分光部分13入射的緣故。
換句話說，該分光裝置具備使光從光源3向樣品單元S入射的透鏡7，初級的干涉濾光片31，處于從該透鏡7的光軸的延長線上離開的位置上。借助于此，提高了各個光成分的檢測的可靠性，另外，分光裝置2也具有與分光裝置1同樣的效果。
根據(jù)分光裝置1、2，通過設(shè)置9個使不同的波長的光成分透過的干涉濾光片，檢測9種的波長的光成分。但是，用本分光裝置檢測的多波長的數(shù)目并不限于此，通過改變使不同的波長的光成分透過了的干涉濾光片的個數(shù)，可以任意地設(shè)定多波長的個數(shù)。
此外，分光裝置1、2雖然借助于透鏡11使從樣品單元S出射的光變成為大體上的平行光后再使之向干涉濾光片入射，但是，在干涉濾光片的特定波長下的吸光大的情況下，或在從光源或樣品單元出射的光中，該特定波長的強度小的情況下，通過使得焦點對準到其濾光片上，就可以效率良好地進行分光。例如，在本實施方式中，通過使焦點對準到340nm的干涉濾光片31上，可以提高檢測光量，可以減小用別的干涉濾光片檢測的光強度的差。
本分光裝置，多個干涉濾光片將各自的入射光分成使之反射的光成分和使之透過的光成分，并將使之反射的光成分作為位于其次的序號的干涉濾光片的入射光，向多個干涉濾光片依次傳達來自光源的光，由此檢測多波長。根據(jù)本發(fā)明人的研究可知，構(gòu)成干涉濾光片的電介質(zhì)層，對于透過干涉濾光片的波長的光成分以外的光成分具有比較好地進行反射的性質(zhì)。因此，由于向位于后邊的序號的干涉濾光片也入射強度比較高的入射光，故可以以高的檢測效率檢測多波長。
此外，根據(jù)本分光裝置，由于要將各個干涉濾光片的入射光，分成使之透過的光成分和使之反射的光成分，并將使之反射的光成分作為向位于其次的序號上的干涉濾光片的入射光，故可進行多波長的高速檢測。根據(jù)該分光方法可以以高的檢測效率而且高速地檢測多波長。
此外，上述的實施方式的分光裝置具備被配置為以光的速度按時間系列地入射光的多個的光檢測器(光透過性保護部件、銀薄膜、干涉濾光片、光檢測元件)，這些光檢測器，分別具有光電變換器和固定于光電變換器的光入射一側(cè)上的干涉濾光片，各個干涉濾光片的透過波段和反射波段不同，而且，后級的干涉濾光片的透過波段含于前級的干涉濾光片的反射波段之內(nèi)。在這里，也可以設(shè)置在其光入射面一側(cè)上具有孔徑的全反射鏡而與干涉濾光片的透過波段無關(guān)。
圖4是初級的光電子倍增管51附近的檢測器的部分放大圖。光電子倍增管51，是端窗式的光電子倍增管，用玻璃面板將金屬側(cè)管的光入射一側(cè)開口密封起來，在玻璃面板的內(nèi)面上形成光電面，在側(cè)管內(nèi)部設(shè)置倍增器電極組和陽極。
在本分光裝置中，具備與干涉濾光片31一起將銀薄膜31a夾在中間的光透過性保護部件31b。銀薄膜31a用光透過性保護部件31b保護起來。透過了光透過性保護部件31b后的目的波長(340nm)的光，透過銀薄膜31a和干涉濾光片31后到達光電子倍增管51。光電子倍增管51輸出與入射進來的光的強度成比例的電信號。此外，目的外的波長(入射光波段—透過波段)則被銀薄膜31a和干涉濾光片31反射。
在該分光裝置中還具備推壓部件31c，以使得銀薄膜31a貼緊到干涉濾光片31的方式將光透過性保護部件31b推壓到干涉濾光片31這一側(cè)上，通過貼緊度的提高而得以提高光學(xué)性結(jié)合效率。推壓部件31c從保持器的基部直立設(shè)置，同時已與光透過性保護部件31b的光入射面和側(cè)面結(jié)合。推壓部件31c可用具有彈力的樹脂或金屬構(gòu)成，也可以向銀薄膜31a與干涉濾光片31之間填充匹配油。此外，也可以做成為將銀薄膜31a直接淀積到干涉濾光片31上邊。
另外，在上述的光檢測器中，雖然做成為僅僅在初級的光檢測器中設(shè)置銀薄膜和光透過性保護部件，但是，這些在別的級的光檢測器中，也可以同樣地配置在干涉濾光片的光入射面一側(cè)上。
此外，如果將多個光檢測器配置成圓形，由于向圓形內(nèi)部流的空氣流入路徑變窄，故可以抑制起因于空氣的波動的光檢測器的輸出變動。
此外，如果將紅外線截止濾光片(cut filter)配置在光檢測器的前面，則可以抑制起因于紅外線的噪聲的發(fā)生，如果將構(gòu)成光檢測器的筒體的內(nèi)面做成為黑色，則可以抑制起因于筒體內(nèi)面反射的噪聲。
上述的干涉濾光片，是一種將多層在基板上邊借助于蒸鍍等形成的具有規(guī)定的厚度的薄膜重疊起來，利用在其內(nèi)部產(chǎn)生的干涉僅僅透過或反射特定的波段的光的光學(xué)濾光片。一般是由多層的電介質(zhì)膜(例如，SiO2、SiN、TiO2)構(gòu)成的。根據(jù)本發(fā)明人的研究，構(gòu)成干涉濾光片的電介質(zhì)膜對于該干涉濾光片透過的波長的光成分以外的光成分，將以比較高的百分比(例如80％以上)進行反射。該干涉濾光片已由各種廠家銷售。
圖5的曲線圖示出了未設(shè)置銀薄膜的情況下的初級的干涉濾光片(340nm)對波長(nm)的相對反射率(％)。向干涉濾光片入射的入射角θ為8度。各個公司的干涉濾光片，盡管都透過目的的波長(340nm)，但是，在目的外的波長例如470nm的波長中，反射率則將要降低，可知在后級的光檢測器的情況下就不能檢測充分的光強度。另外，ED340nm、OME340nm、AS340nm分別是Edmund公司生產(chǎn)、Omega公司生產(chǎn)和朝日分光公司生產(chǎn)的干涉濾光片。
圖6的曲線圖示出了設(shè)置有銀薄膜的情況下的初級的干涉濾光片(340nm)對波長(nm)的相對反射率(％)。向干涉濾光片入射的入射角θ為8度。在未設(shè)置銀薄膜的情況下(現(xiàn)有例AS340nm)，波長470nm以上的反射率雖然降低得大，但是在設(shè)置有厚度50nm、100nm的銀薄膜的情況下(Ag50nm+AS340nm、Ag100nm+AS340nm)，即便是波長在450nm以上反射率也不會降低。因此，在上述的實施方式的分光裝置中，即便是在后級的光檢測器中，也可以檢測充分的光強度。
試制上述的分光裝置，并對其特性進行了評價。作為干涉濾光片使用AS340nm，不用樣品單元地進行了輸出值的測定。
圖7的表示出了來自分光裝置中的各個通道(Ch)中的每一個通道的光電二極管的輸出值(nA)。該輸出值與干涉濾光片的透過光量成比例。在該表中，將在干涉濾光片上未設(shè)置銀薄膜的情況當作僅僅是帶通濾光片的現(xiàn)有例示了出來，將使銀薄膜的厚度在20nm～100nm內(nèi)變化的情況當作實施例示了出來。
圖8的曲線圖示出了圖7的表的結(jié)果。作為干涉濾光片，使用的是上述的AS340nm(用340AS表示)，曲線的括弧內(nèi)的數(shù)字表示銀薄膜的厚度(nm)。如該曲線所示，相對于在現(xiàn)有例中，在波長450nm以上的區(qū)域(ch4、ch5)中輸出值(nA)的降低，在實施例的分光裝置中，在銀薄膜的厚度20nm以上輸出值(nA)增加了。此外，即便在銀薄膜的厚度為100nm中雖然未看出輸出值(nA)的降低，但是在超過了200nm的情況下，初級的光檢測器(ch1)的輸出值則顯著地降低。
圖9的表示出了已向樣品單元內(nèi)放入了β-NADH(吸收ch1的透過波長(340nm)的物質(zhì))的情況下的初級的光檢測器的輸出值(nA)，圖10的表示出了將圖9所示的輸出值變換成吸光度，圖11的曲線圖示出了圖10的表的結(jié)果。使β-NADH的濃度在0～100％的范圍內(nèi)變化，監(jiān)視吸光度(Abs)的變化。
雖然在β-NADH的濃度增加的同時吸光度也將增加，但是在現(xiàn)有例的情況下，在濃度60％以上時吸光度就變成為飽和傾向，可知未能測定正確的吸光度。另一方面。在銀薄膜的厚度為20nm的情況下，吸光度對濃度的線形性提高，在厚度60～100nm的情況下線形性進一步提高。
如上所述，上述的分光裝置，可以以高的檢測效率檢測波長不同的多個光成分，可以用于例如像血液檢查那樣的采樣多而且可利用于多項目的檢查。
根據(jù)本發(fā)明的分光裝置，則可以以高的檢測效率檢測波長不同的多個光成分。
工業(yè)上利用的可能性本發(fā)明可以在例如血液檢查中使用的分光裝置中加以利用。
權(quán)利要求
1.一種分光裝置，依次配置由電介質(zhì)多層膜構(gòu)成的、透過波段不同的多個干涉濾光片，使得用特定的干涉濾光片反射后的光向次級的干涉濾光片入射，將光檢測元件設(shè)置在透過各個所述干涉濾光片后的光所入射的位置上，其特征在于在該分光裝置的初級的所述干涉濾光片的光入射面一側(cè)設(shè)置厚度20～200nm的銀薄膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分光裝置，其特征在于具備與所述干涉濾光片一起將所述銀薄膜夾在中間的光透過性保護部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分光裝置，其特征在于所述光透過性保護部件由玻璃構(gòu)成，在向所述光透過性保護部件上淀積所述銀薄膜后，將所述銀薄膜光學(xué)性地結(jié)合到所述干涉濾光片上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分光裝置，其特征在于還具備推壓部件，該推壓部件以使所述銀薄膜貼緊到所述干涉濾光片上的方式將所述光透過性保護部件推壓至所述干涉濾光片一側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分光裝置，其特征在于將所述銀薄膜直接淀積到所述干涉濾光片上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分光裝置，其特征在于將樣品單元配置在光源與所述初級的干涉濾光片之間的光路內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的分光裝置，其特征在于具備收容所述光源、所述樣品單元、所述干涉濾光片、所述光檢測元件的框體。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分光裝置，其特征在于所述銀薄膜的厚度為60～100nm。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分光裝置，其特征在于向所述初級的干涉濾光片入射的光的入射角θ大于0度且在10度以下。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的分光裝置，其特征在于向第2級的干涉濾光片入射的光的入射角θ大于0度且在10度以下。
11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的分光裝置，其特征在于具備使光從所述光源向所述樣品單元入射的透鏡，所述初級的干涉濾光片處于從該透鏡的光軸的延長線上離開的位置。
全文摘要
在本發(fā)明的分光裝置中，依次配置透過波段不同的多個干涉濾光片(31、32……)使得由特定的干涉濾光片(31)反射后的光向次級的干涉濾光片(32)入射，并將光檢測元件(41、42……)設(shè)置在透過各自的干涉濾光片后的光入射的位置上。其中，在該分光裝置的初級的干涉濾光片(31)的光入射面一側(cè)，設(shè)置厚度20～200nm的銀薄膜(31a)。
文檔編號G02B5/28GK1756940SQ20048000549
公開日2006年4月5日 申請日期2004年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2003年2月28日
發(fā)明者山內(nèi)一德, 杉山浩之 申請人:浜松光子學(xué)株式會社