專利名稱：濺鍍機(jī)臺(tái)及其濺鍍載臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種濺鍍機(jī)臺(tái)及其濺鍍載臺(tái)，且特別是有關(guān)于一種可有效避免濺鍍制程中濺鍍物質(zhì)的殘留的濺鍍機(jī)臺(tái)及其濺鍍載臺(tái)。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)的不斷進(jìn)步，帶動(dòng)整個(gè)電子產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，而各類新穎的電子產(chǎn)品也相繼問世。其中，在顯示器的市場上，液晶顯示器因?yàn)榫哂畜w積小、重量輕、低電壓驅(qū)動(dòng)、低電力消耗、易攜帶不占空間等優(yōu)點(diǎn)，且其產(chǎn)品應(yīng)用范圍非常的廣泛，從日常生活領(lǐng)域到工業(yè)上的高層次應(yīng)用等千變?nèi)f化，包括鐘表、計(jì)算器、電視、通訊產(chǎn)品、醫(yī)療器材、航空運(yùn)輸、工業(yè)設(shè)備、軍事特殊用途等，使得高品質(zhì)的液晶顯示器有逐漸取代傳統(tǒng)彩色映像管的趨勢。
液晶顯示器(LCD；Liquid Crystal Display)的制造流程大致上如下清洗玻璃基板(前清洗工程)、在玻璃基板上形成一層銦錫氧化物(ITO；Indium Tin Oxide)導(dǎo)電層(圖樣工程)、在銦錫氧化物導(dǎo)電層上形成一層配向膜(配向轉(zhuǎn)印工程)、在兩片玻璃基板之間隙散布一種間隙材料(spacer)、在兩片玻璃基板外圍印刷環(huán)氧樹脂的絕緣物質(zhì)(膠框涂布工程)、將兩片基板貼合(組合密封工程)、切割與裂片、液晶注入與加壓密封、液晶面板的玻璃基板角落倒角工程、液晶面板檢驗(yàn)、偏光片貼附工程、以及最后檢驗(yàn)。其中，上述的導(dǎo)電層大多借由物理氣相沉積中的濺鍍技術(shù)所制作而成。
請同時(shí)參考圖1A及圖1B，其分別繪示習(xí)知的液晶顯示面板的濺鍍機(jī)臺(tái)的作動(dòng)示意圖。濺鍍機(jī)臺(tái)100主要包括一濺鍍腔室(chamber)110、一濺鍍載臺(tái)(繪示于圖1C)、一屏蔽(mask)130以及一陰極(cathode)120，其中濺鍍載臺(tái)是位于濺鍍腔室110內(nèi)，以承載欲進(jìn)行濺鍍的玻璃基板(未繪示)，而屏蔽130的作用是在定義濺鍍區(qū)域，并可避免在玻璃基板(未繪示)以外的濺鍍載臺(tái)的其它區(qū)域形成金屬沉積物。此外，陰極120是設(shè)于濺鍍腔室110的開口處，且陰極120內(nèi)是配置有靶材，以供濺鍍之用。進(jìn)行玻璃基板102的濺鍍制程時(shí)，首先由機(jī)械手臂抓取玻璃基板102至濺鍍腔室110內(nèi)。接著，旋轉(zhuǎn)陰極120，以使濺鍍腔室110與陰極120密合，以執(zhí)行后續(xù)的濺鍍動(dòng)作。
請參考圖1C，其繪示上述的濺鍍載臺(tái)的分解示意圖，其中為清楚表示濺鍍載臺(tái)的各項(xiàng)組件，圖中未繪示上述的玻璃基板。濺鍍載臺(tái)例如包括一承載盤(susceptor)140以及一個(gè)底座(platen)150，其中底座150的外圍具有若干個(gè)槽孔152a與152b。此外，承載盤140上具有若干個(gè)對應(yīng)于槽孔152a與152b的開孔142a與142b，底座150的槽孔152a內(nèi)是分別可活動(dòng)地配置有定位銷(stop & clamp pin)154a，其是可透過開孔142a暴露于外，而開孔142b與其對應(yīng)的槽孔152b則可供位于底座(platen)150下方的支撐銷(supporting pin，未繪示)進(jìn)出。支撐銷(未繪示)是在玻璃基板進(jìn)入底座150上方時(shí)用以支撐玻璃基板，并使玻璃基板平穩(wěn)地落于承載盤140上，接著定位銷154a便會(huì)扣合于玻璃基板的邊緣，以固定玻璃基板的位置。
值得注意的是，雖然在習(xí)知的液晶顯示面板的濺鍍制程中，屏蔽與承載盤可有效避免濺鍍物質(zhì)沉積于底座上的絕大部分區(qū)域。然而，由于槽孔在進(jìn)行濺鍍制程時(shí)，會(huì)透過開孔直接暴露于濺鍍腔室，因此濺鍍完成后，槽孔內(nèi)部與其周邊的部分區(qū)域仍將沉積部分的濺鍍物質(zhì)。如此一來，在執(zhí)行多次的濺鍍動(dòng)作之后，附著于上述區(qū)域的濺鍍物質(zhì)將因厚度增加以及定位銷與支撐銷的反復(fù)作動(dòng)而剝落，使得濺鍍機(jī)臺(tái)內(nèi)的潔凈度下降，進(jìn)而影響液晶顯示面板的濺鍍制程的良率。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的就是在提供一種濺鍍載臺(tái)，用以避免濺鍍過程中濺鍍物質(zhì)直接附著于底座上，以維持濺鍍機(jī)臺(tái)內(nèi)的潔凈度，進(jìn)而提高濺鍍制程的良率。
本發(fā)明的另一目的更在提供一種濺鍍機(jī)臺(tái)，其可有效避免濺鍍過程中濺鍍物質(zhì)的殘留，因而具有較佳的潔凈度，并可提供較佳的制程良率。
基于上述目的，本發(fā)明提出一種濺鍍載臺(tái)，其適于承載一塊基板以進(jìn)行濺鍍制程，此濺鍍載臺(tái)例如包括一個(gè)底座(platen)、若干個(gè)襯套以及一承載盤(susceptor)。其中，底座例如具有若干個(gè)槽孔以及可活動(dòng)地對應(yīng)配置于槽孔內(nèi)的若干個(gè)定位銷(stop & clamp Pin)，而襯套是對應(yīng)套設(shè)于槽孔內(nèi)，并暴露出定位銷。此外，承載盤是配置于底座與襯套上，用以承載基板，且承載盤具有對應(yīng)于槽孔的若干個(gè)開孔，用以暴露出定位銷，而定位銷適于扣合于基板的邊緣，以固定基板的位置。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述，上述的襯套例如包括一根套管以及一塊環(huán)形板，其中套管具有一個(gè)穿孔，并套設(shè)于槽孔內(nèi)，而環(huán)形板是承靠于底座的一承載面上，且套管的內(nèi)壁或環(huán)形板的遠(yuǎn)離底座的表面例如可為粗糙表面，用以增加襯套吸附濺鍍物質(zhì)的能力。此外，環(huán)形板是連接于套管的鄰近于承載面的一端，且環(huán)形板具有一個(gè)內(nèi)孔，其是與套管的穿孔重合，以暴露出對應(yīng)的定位銷。另外，套管的形狀是與槽孔的輪廓相對應(yīng)，而襯套的材質(zhì)例如可為多孔性材料或金屬材料(如不銹鋼等)。
基于上述的濺鍍載臺(tái)，本發(fā)明更提出一種濺鍍機(jī)臺(tái)，其例如包括一濺鍍腔室、一陰極、一屏蔽以及上述的濺鍍載臺(tái)。其中，濺鍍載臺(tái)是配置于濺鍍腔室內(nèi)，其例如承載一塊基板，以進(jìn)行電鍍制程。此外，濺鍍腔室具有一個(gè)開口，而陰極是配置于濺鍍腔室的開口處，且屏蔽是配置于濺鍍腔室與陰極之間，用以定義基板的濺鍍區(qū)域，并避免濺鍍物質(zhì)沉積于玻璃基板以外的濺鍍載臺(tái)的其它區(qū)域。
基于上述，本發(fā)明的濺鍍機(jī)臺(tái)是在不破壞機(jī)臺(tái)的原始設(shè)計(jì)的原則下，于底座的槽孔內(nèi)分別套設(shè)一襯套，以避免濺鍍時(shí)濺鍍物質(zhì)附著于槽孔內(nèi)壁及其周邊的底座表面。此外，本發(fā)明的濺鍍機(jī)臺(tái)的襯套表面可進(jìn)行例如噴砂處理等粗糙化的動(dòng)作，或襯套本身可由多孔性材料制作而成，使其表面呈現(xiàn)凹凸不平狀，以增加濺鍍物質(zhì)與襯套表面之間的附著力。如此一來，將可有效避免濺鍍物質(zhì)脫落，以維持濺鍍機(jī)臺(tái)內(nèi)的潔凈度，進(jìn)而提高濺鍍制程的生產(chǎn)良率。值得一提的是，由于本發(fā)明的襯套是可活動(dòng)式地套設(shè)于槽孔內(nèi)，因此不僅拆裝動(dòng)作簡單，更可在清洗光罩時(shí)，一并取下進(jìn)行清洗，并達(dá)到重復(fù)利用，節(jié)省成本的目的。
為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征、和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說明如下。


圖1A及圖1B分別繪示為習(xí)知的液晶顯示面板的濺鍍機(jī)臺(tái)的作動(dòng)示意圖。
圖1C繪示為圖1A及圖1B中的濺鍍載臺(tái)的分解示意圖。
圖2繪示為本發(fā)明的較佳實(shí)施例的一種濺鍍機(jī)臺(tái)的示意圖。
圖3繪示為圖2的濺鍍載臺(tái)的示意圖。
圖4繪示為圖3的A-A’線的剖面示意圖。
圖5繪示為圖3的襯套的平面視圖。
符號說明100濺鍍機(jī)臺(tái)；102玻璃基板；110濺鍍腔室；
120陰極130屏蔽；140承載盤；142a、142b開孔；150底座；152a、152b槽孔；154a定位銷；200濺鍍機(jī)臺(tái)；202玻璃基板；210濺鍍腔室；220陰極；230屏蔽；240承載盤；242a、242b開孔；250底座；252a、252b槽孔；254a定位銷；260a襯套；262環(huán)形板；262a內(nèi)孔；264套管；264a穿孔具體實(shí)施方式
請參考圖2，其繪示本發(fā)明的較佳實(shí)施例的一種濺鍍機(jī)臺(tái)的示意圖。濺鍍機(jī)臺(tái)200例如包括一濺鍍腔室210、一濺鍍載臺(tái)是位于濺鍍腔室210內(nèi)(繪示于圖3)，一屏蔽230以及一陰極220，其中陰極220內(nèi)例如配置有濺鍍靶材(未繪示)，其可經(jīng)由等離子體離子的沖擊而提供濺鍍沉積時(shí)所需的原子，而濺鍍載臺(tái)適于承載一基板202，其例如可為用于制作液晶顯示面板的玻璃基板。此外，屏蔽230是配置于濺鍍腔室210的開口處，其作用是在定義基板202上的濺鍍區(qū)域，并避免濺鍍物質(zhì)沉積于濺鍍區(qū)域之外的部位。當(dāng)基板202被固定于濺鍍載臺(tái)后，陰極220可相對于濺鍍腔室210旋轉(zhuǎn)，以將濺鍍腔室210關(guān)閉，而玻璃基板202是以直立的方式進(jìn)行濺鍍。
為提供較清楚的說明，請參考圖3，其繪示圖2的濺鍍載臺(tái)的分解示意圖。濺鍍載臺(tái)例如包括一個(gè)底座250以及一承載盤240，其中底座250的表面的外圍例如具有若干個(gè)槽孔252a與252b，而承載盤240的對應(yīng)于槽孔252a與槽孔252b的位置上分別具有若干個(gè)開孔242a與242b。此外，槽孔252a內(nèi)例如分別配置有定位銷254a(圖中僅繪示一個(gè))，其是借由開孔242a暴露于外，而槽孔252b與其對應(yīng)的開孔242b可供位于底座250下方的若干個(gè)支撐銷(未繪示)穿過，以支撐玻璃基板(未繪示)相對于底座250上下移動(dòng)。
舉例而言，當(dāng)機(jī)械手臂將玻璃基板輸送至底座250上方時(shí)，支撐銷(未繪示)是穿過槽孔252b與開孔242b而突出于承載盤240上方，以支撐玻璃基板。接著，機(jī)械手臂離開玻璃基板，而支撐銷(未繪示)向下縮回，使玻璃基板落于承載盤240上。然后，定位銷254a扣合于玻璃基板的外緣，以固定玻璃基板的位置，并進(jìn)行后續(xù)的電鍍動(dòng)作。
本發(fā)明的濺鍍機(jī)臺(tái)200為避免習(xí)知的濺鍍物質(zhì)附著于底座250的槽孔252a及其周邊的區(qū)域，是在槽孔252a內(nèi)配置若干個(gè)襯套260a用以隔絕底座250與濺鍍物質(zhì)，其中為簡化圖標(biāo)，圖3僅繪示一個(gè)襯套。
請同時(shí)參考圖3與圖4，其中圖4繪示圖3的A-A’線的剖面示意圖。承載盤240是覆蓋于底座250與襯套260a上，且承載盤240上是承載玻璃基板202，襯套260a是對應(yīng)套設(shè)于槽孔252a內(nèi)，并分別曝露出定位銷254a，以使定位銷254a維持正常的作動(dòng)。此外，定位銷254a是分別扣合于玻璃基板202的兩側(cè)側(cè)緣，以固定玻璃基板202的位置。
請同時(shí)參考圖5，其繪示圖3的襯套的平面視圖。襯套260a例如是由一塊環(huán)形板262及一根套管264所構(gòu)成，且矩形套管264的形狀是與槽孔252a相對應(yīng)。環(huán)形板262具有一個(gè)內(nèi)孔262a，其是與套管264的穿孔264a重合，以暴露出定位銷254a。在一個(gè)較佳實(shí)施例中，環(huán)形板262例如可借由點(diǎn)焊的方式與套管264相互連接，使得襯套260a可借由環(huán)形板262承靠于底座250上。此外，套管264與環(huán)形板262也可為一體成型的結(jié)構(gòu)，其例如可借由鑄造或機(jī)械切削等方式形成。
承接上述，本發(fā)明的襯套例如可具有粗糙表面，其中環(huán)形板的上表面與套管的內(nèi)壁例如可進(jìn)行浮雕加工或噴砂處理等粗糙化的動(dòng)作，以使其表面呈現(xiàn)凹凸不平狀，以期利用薄膜應(yīng)力分散的原理，有效增加濺鍍物質(zhì)與襯套的表面的附著力，而濺鍍物質(zhì)與襯套表面的結(jié)合將更為穩(wěn)固而不易脫落。再者，襯套的材質(zhì)除可為不銹鋼等金屬材料之外，其更可例如由多孔性材料所制成，以提供濺鍍物質(zhì)較佳的附著力。
值得注意的是，本發(fā)明也可于供支撐銷進(jìn)出的槽孔內(nèi)配置襯套，以避免此槽孔內(nèi)沉積濺鍍物質(zhì)，其中此槽孔內(nèi)所套設(shè)的襯套的形狀是與槽孔的輪廓相對應(yīng)，然其詳細(xì)的結(jié)構(gòu)與配置方式因與上述實(shí)施例類似，在此不再重復(fù)贅述。此外，本發(fā)明的上述實(shí)施例中所繪示的襯套僅為舉例之用，在不脫離發(fā)明的精神范圍內(nèi)，襯套的外型與尺寸當(dāng)可隨槽孔的形狀的不同或定位銷的型態(tài)的改變而有所不同，以符合實(shí)際運(yùn)作的需求。
綜上所述，本發(fā)明的濺鍍機(jī)臺(tái)是在濺鍍載臺(tái)配置有定位銷以及供支撐銷進(jìn)出的槽孔內(nèi)套設(shè)襯套，用以防止濺鍍物質(zhì)沉積于槽孔的內(nèi)壁與其周邊的區(qū)域。如此一來，將可有效提升濺鍍機(jī)臺(tái)的潔凈度，避免濺鍍物質(zhì)污染基板，進(jìn)而提高生產(chǎn)制程的良率。此外，本發(fā)明的襯套是可活動(dòng)式地套設(shè)于槽孔內(nèi)，因而可隨時(shí)視襯套表面的沉積情形或定期配合機(jī)臺(tái)維護(hù)(process maintain，PM)的時(shí)程，將襯套自底座上取下進(jìn)行清洗，以簡化清潔動(dòng)作，并可重復(fù)利用襯套，降低所需花費(fèi)的成本。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟習(xí)此技藝者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些少許的更動(dòng)與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視上述的權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種濺鍍載臺(tái)，適于承載一塊基板以進(jìn)行濺鍍制程，其特征在于，該濺鍍載臺(tái)至少包括一個(gè)底座，具有若干個(gè)槽孔以及可活動(dòng)地對應(yīng)配置于這些槽孔內(nèi)的若干個(gè)定位銷；若干個(gè)襯套，對應(yīng)套設(shè)于這些槽孔內(nèi)，且這些襯套暴露出這些定位銷；以及一承載盤，配置于該底座與該些襯套上，用以承載該基板，其中該承載盤具有對應(yīng)于這些槽孔的若干個(gè)開孔，用以暴露出這些定位銷，且這些定位銷適于扣合于該基板的邊緣，以固定該基板的位置。
2.如權(quán)利要求1所述的濺鍍載臺(tái)，其特征在于，其中每一這些襯套包括一根套管，具有一個(gè)穿孔，且該套管是套設(shè)于這些槽孔其中之一內(nèi)；以及一塊環(huán)形板，承靠于該底座的一承載面上，其中該環(huán)形板是連接于該套管的鄰近于該承載面的一端，且環(huán)形板具有一個(gè)內(nèi)孔，而該內(nèi)孔是與該套管的該穿孔重合，以暴露出對應(yīng)的這些定位銷其中之一。
3.如權(quán)利要求2所述的濺鍍載臺(tái)，其特征在于，其中每一這些套管的內(nèi)壁與每一這些環(huán)形板的遠(yuǎn)離該底座的表面至少其中之一是粗糙表面。
4.如權(quán)利要求2所述的濺鍍載臺(tái)，其特征在于，其中這些套管的形狀是與這些槽孔的輪廓相對應(yīng)。
5.如權(quán)利要求1所述的濺鍍載臺(tái)，其特征在于，其中這些襯套的材質(zhì)包括金屬。
6.如權(quán)利要求5所述的濺鍍載臺(tái)，其特征在于，其中這些襯套的材質(zhì)包括不銹鋼。
7.如權(quán)利要求1所述的濺鍍載臺(tái)，其特征在于，其中這些襯套的材質(zhì)包括多孔性材料。
8.一種濺鍍機(jī)臺(tái)，適于對一塊基板進(jìn)行濺鍍制程，其特征在于，該濺鍍機(jī)臺(tái)包括一個(gè)濺鍍腔室，具有一個(gè)開口；一陰極，配置于該濺鍍腔室的該開口處；一濺鍍載臺(tái)，配置于該濺鍍腔室內(nèi)，且該濺鍍載臺(tái)包括(1)一個(gè)底座，具有若干個(gè)槽孔以及可活動(dòng)地對應(yīng)配置于這些槽孔內(nèi)的若干個(gè)定位銷；(2)若干個(gè)襯套，對應(yīng)套設(shè)于這些槽孔內(nèi)，且這些襯套暴露出這些定位銷；(3)一承載盤，配置于該底座與這些襯套上，用以承載該基板，其中該承載盤具有對應(yīng)于這些槽孔的若干個(gè)開孔，用以暴露出這些定位銷，且這些定位銷適于扣合于該基板的邊緣，以固定該基板的位置；以及一屏蔽，配置于該濺鍍腔室與該陰極之間。
9.如權(quán)利要求8所述的濺鍍機(jī)臺(tái)，其特征在于，其中每一這些襯套包括一根套管，具有一個(gè)穿孔，且該套管是套設(shè)這些槽孔其中之一內(nèi)；以及一塊環(huán)形板，承靠于該底座的一承載面上，其中該環(huán)形板是連接于該套管的鄰近于該承載面的一端，且環(huán)形板具有一個(gè)內(nèi)孔，而該內(nèi)孔是與該套管的穿孔重合，以暴露出對應(yīng)的這些定位銷其中之一。
10.如權(quán)利要求9所述的濺鍍機(jī)臺(tái)，其特征在于，其中每一這些套管的內(nèi)壁與每一這些環(huán)形板的遠(yuǎn)離該底座的表面至少其中之一是粗糙表面。
11.如權(quán)利要求9所述的濺鍍機(jī)臺(tái)，其特征在于，其中這些套管的形狀是與這些槽孔的輪廓相對應(yīng)。
12.如權(quán)利要求8所述的濺鍍機(jī)臺(tái)，其特征在于，其中這些襯套的材質(zhì)包括金屬。
13.如權(quán)利要求12所述的濺鍍機(jī)臺(tái)，其特征在于，其中這些襯套的材質(zhì)包括不銹鋼。
14.如權(quán)利要求8所述的濺鍍機(jī)臺(tái)，其特征在于，其中這些襯套的材質(zhì)包括多孔性材料。
全文摘要
一種濺鍍載臺(tái)，其適于承載一塊基板以進(jìn)行濺鍍制程，此濺鍍載臺(tái)包括一個(gè)底座、若干個(gè)襯套以及一承載盤。其中，底座具有若干個(gè)槽孔以及可活動(dòng)地對應(yīng)配置于槽孔內(nèi)的若干個(gè)定位銷，而襯套是套設(shè)于槽孔內(nèi)，并分別暴露出定位銷。此外，承載盤是配置于底座與襯套上，用以承載基板，且承載盤具有對應(yīng)于槽孔的若干個(gè)開孔，用以暴露出定位銷，因此定位銷可扣合于基板的邊緣，以固定基板的位置。上述的濺鍍載臺(tái)可在濺鍍過程中，避免濺鍍物質(zhì)直接附著于開孔所暴露的底座上，進(jìn)而提高生產(chǎn)良率。
文檔編號G02F1/133GK1587437SQ20041006233
公開日2005年3月2日 申請日期2004年7月1日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月1日
發(fā)明者黃圳城, 林耀文, 楊朝盛 申請人:友達(dá)光電股份有限公司