技術(shù)編號：2776198
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種濺鍍機臺及其濺鍍載臺，且特別是有關(guān)于一種可有效避免濺鍍制程中濺鍍物質(zhì)的殘留的濺鍍機臺及其濺鍍載臺。背景技術(shù) 隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)的不斷進步，帶動整個電子產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，而各類新穎的電子產(chǎn)品也相繼問世。其中，在顯示器的市場上，液晶顯示器因為具有體積小、重量輕、低電壓驅(qū)動、低電力消耗、易攜帶不占空間等優(yōu)點，且其產(chǎn)品應(yīng)用范圍非常的廣泛，從日常生活領(lǐng)域到工業(yè)上的高層次應(yīng)用等千變?nèi)f化，包括鐘表、計算器、電視、通訊產(chǎn)品、醫(yī)療器材、航空運輸、工業(yè)設(shè)備、軍...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。