專利名稱：正性光敏組成物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種正性光敏組成物。
背景技術(shù)：
對于安裝在手機、便攜儀器及同類裝置中的半導體組件的要求是高速、多功能化以及體積小。因此，研發(fā)了圓片級封裝，即以圓片的狀態(tài)組裝芯片。
在圓片級封裝中，芯片和圓片由焊塊連接。為了保證組件的可靠性，需要用填充劑填充芯片與圓片之間形成的間隙。
環(huán)氧樹脂適合用作填充劑。但是，需要將填充劑注入芯片與圓片之間的每一個空隙中。
為此，發(fā)明了一種正性光敏組成物。除了注入空隙中的以外，通過曝光可以將其溶解和去除。
例如，由環(huán)氧樹脂、胺類固化劑、氫鹵酸酐和鹵代烴溶劑組成的組成物可稱為正光敏組成物(JP48-15059A)。然而，在將組成物注入間隙中固化時，鹵代烴溶劑往往會產(chǎn)生容易進入的空隙。
本發(fā)明的目的是為了提供能用作填充劑的正性光敏組成物。

發(fā)明內(nèi)容
在對正性光敏組成物的認真研究中，本發(fā)明的發(fā)明者們完成了這個發(fā)明。他們發(fā)現(xiàn)，一種由在一個分子中具有兩個或更多環(huán)氧基團的環(huán)氧化合物、固化催化劑或通過加熱用于產(chǎn)生固化催化劑的化合物、以及磺酸鹽組成的組成物可以提供正性光敏性，而可以用作填充劑。
也就是說，本發(fā)明提供的是一個正性光敏組成物，它由在一個分子中具有兩個或更多環(huán)氧基團的環(huán)氧化合物、固化催化劑或通過加熱用于產(chǎn)生固化催化劑的化合物、以及磺酸鹽組成。
具體實施例方式
本發(fā)明的正性光敏組成物由在一個分子中具有兩個或更多環(huán)氧基團的環(huán)氧化合物、固化催化劑或通過加熱用于產(chǎn)生固化催化劑的化合物、以及磺酸鹽組成。
在本發(fā)明中采用的環(huán)氧化合物至少是從由在一個分子中具有兩個或更多環(huán)氧基團的單體和在一個分子中具有兩個或更多環(huán)氧基團的環(huán)氧樹脂組成的基團中選擇的。
在一個分子中具有兩個或更多環(huán)氧基團的單體包括雙酚A二環(huán)氧甘油醚、雙酚F二環(huán)氧甘油醚、雙酚S二環(huán)氧甘油醚、丙三醇二環(huán)氧甘油醚、三(二環(huán)氧甘油苯醚)甲烷、以及同類化合物。
在一個分子中具有兩個或更多環(huán)氧基團的環(huán)氧樹脂包括苯酚酚醛樹脂類環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛樹脂類環(huán)氧樹脂，聯(lián)苯類環(huán)氧樹脂、聯(lián)苯酚醛樹脂類環(huán)氧樹脂及同類化合物。
在本發(fā)明中較好使用在一個分子中具有兩個或更多環(huán)氧基團的單體或在一個分子中具有兩個或更多環(huán)氧基團的環(huán)氧樹脂。加熱后，它們在室溫附近均呈現(xiàn)流動性。
從加工性的觀點來看，在溫度下，一個分子中具有兩個或更多環(huán)氧樹基團的液態(tài)單體更好。
本發(fā)明中采用的固化催化劑或通過加熱用于產(chǎn)生固化催化劑的化合物沒有特別限制，只要采用的催化劑或其化合物能夠聚合在一個分子中具有兩個或更多環(huán)氧基團的環(huán)氧化合物以形成環(huán)氧樹脂。如果在本發(fā)明中采用的環(huán)氧化合物是環(huán)氧樹脂，催化劑提供的也是具有較高分子重量的環(huán)氧樹脂。
固化催化劑包括胺化合物、有機磷化氫化合物和同類化合物。較好是胺化合物。
胺化合物包括叔胺、季銨鹽、咪唑及同類化合物。
叔胺包括三丁胺、三乙胺、1，8-二氮二環(huán)(5，4，0)十一碳-7-烯、三戊胺及同類化合物。
季銨鹽包括氯化苯基三甲基銨、氫氧化苯基三甲基銨、三乙銨四苯基硼酸鹽及同類化合物。
咪唑包括2-乙咪唑、2-乙-4-甲咪唑及同類化合物。
有機磷化氫化合物包括三烷基磷化氫、三烷基磷化氫的四苯基硼酸鹽及同類化合物。
三烷基磷化氫包括三苯基磷化氫、三-4-甲基苯基磷化氫、三-4-甲氧基苯基磷化氫、磷酸磷化氫、磷化氫三辛酯、三-2-丙乙基磷化氫及同類化合物。
通過加熱以產(chǎn)生固化催化劑的化合物包括熱陽離子固化催化劑、熱堿發(fā)生劑及同類化合物。
熱陽離子固化催化劑包括碘基鹽、锍基鹽、任一硼的磷酸鹽、砷、銻、磷以及同類化合物。
實例有RHODOSIL 2074、ADEKA OPTMER SP-150、ADEKA OPTMERSP-152、ADEKA OPTMER SP-170、ADEKA OPTMER SP-172、ADEKAOPTON CP SERIES以及同類化合物。
熱堿發(fā)生劑包括N-(2-硝基芐氧羰基)咪唑、N-(3-硝基芐氧羰基)咪唑、N-(4-硝基芐氧羰基)咪唑、N-(5-甲基2-硝基芐氧羰基)咪唑、N-(4-氯基-2-硝基芐氧羰基)咪唑及同類化合物。
對于環(huán)氧化合物與固化催化劑的混合比例沒有特別限制，較好是在100∶0.1～100∶10的范圍內(nèi)，因為在這個比例范圍的混合物可以提供較短的組成物凝膠時間，比如，在將溫度預定在80℃～250℃時的凝膠時間為1～15分鐘。
在本發(fā)明中采用的磺酸鹽是由電磁射線產(chǎn)生的光-酸發(fā)生劑，用于產(chǎn)生一種鈍化固化催化劑的物質(zhì)。
這里的電磁射線通常指紫外線、電子射線和X射線。
磺酸鹽包括下述(1)～(7)分子式表示的化合物以及這些化合物的混合物。
分子式(1)式中X1是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價有機基團。R1～R6各自獨立的為氫原子或單價有機基團。
分子式(2)式中X2是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價有機基團。R7～R14各自獨立的為獨立的氫原子或單價有機基團。

分子式(3)式中X3是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價有機基團。R15～R19各自獨立的為氫原子、烷氧族或單價有機基團。
分子式(4)式中X4是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價有機基團。R20～R23各自獨立的為獨立的氫原子或單價有機基團。
分子式(5)式中X5是可任選取代的單價有機基團。R24～R27各自獨立的為氫原子或單價有機基團。
分子式(6)式中X6是可任選取代的單價有機基團，R28～R39各自獨立的為氫原子或單價有機基團，X40是氫原子或羥基團。m為0或者1。
分子式(7)式中X7是可任選取代的單價有機基團，R41～R42各自獨立的為氫原子或碳原子數(shù)為1～20的單價有機基團。X43～R47各自獨立的為氫原子、硝基團或單價有機基團。n為0或者1。
在分子式(1)～(7)中，單價有機基團包括碳原子數(shù)為1～20的線性脂肪烴基團、碳原子數(shù)為3～20的支鏈脂肪烴基團、碳原子數(shù)為3～20的環(huán)狀脂肪烴基團、碳原子數(shù)為6～20的芳香烴基團、經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為1～20的線性脂肪烴基團、經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為3～20的支鏈脂肪烴基團、經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為3～20的環(huán)狀脂肪烴基團、經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為6～20的芳香烴基團、烷基團或由氟原子取代的烷基團以及同類化合物。
其中，較好采用下述化合物碳原子數(shù)為1～6的線性烴基團、碳原子數(shù)為3～6的支鏈烴基團、碳原子數(shù)為～6的環(huán)狀烴基團、經(jīng)烷基團取代的碳原子數(shù)為6～20的芳香烴基團、經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為1～6的線性烴基團、經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為3～6的支鏈烴基團、經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為3～6的環(huán)狀烴基團、由經(jīng)氟原子取代的烷基團所取代的碳原子數(shù)為6～20的芳香烴基團。
碳原子數(shù)為1～20的線性脂肪烴基團包括甲基團、乙基團、丙基團、丁基團、戊基團、己基團以及同類化合物。
碳原子數(shù)為3～20的支鏈脂肪烴基團包括異丙基團、異丁基團、叔丁基團及同類化合物。
碳原子數(shù)為3～20的環(huán)狀脂肪烴基團包括環(huán)丙基團、環(huán)丁基團、環(huán)戊基團、環(huán)己基團及同類化合物。
碳原子數(shù)為6～20可任意被烷基團取代的的芳香烴基團包括苯基團、萘基團、蒽基團、甲苯基團、甲芐基團、二甲基苯基團、三甲基苯基團、乙基苯基團、二乙基苯基團、三乙基苯基團、丙基苯基團、丁基苯基團、甲基萘基團、二甲基萘基團、三甲基萘基團、乙烯基萘基團、甲基蒽基團、乙基蒽基團，以及同類化合物。
作為取代基的烷基團包括碳原子數(shù)為1～6的烷基團，例如甲基團、乙基團、丙基團、丁基團、戊基團、己基團、異丙基團、異丁基團、叔丁基團、環(huán)丙基團、環(huán)丁基團、環(huán)戊基團和環(huán)己基團。
經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為1～20的線性脂肪烴基團包括三氟甲基團、二氟甲基團、氟甲基團、五氟乙基團、四氟乙基團、三氟乙基團、二氟乙基團、氟乙基團、七氟丙基團、六氟丙基團、五氟丙基團、四氟丙基團，以及同類化合物。
經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為3～20的支鏈脂肪烴基團包括六氟異丙基團、八氟異丁基團、九氟叔丁基團，以及同類化合物。
經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為3～20的環(huán)狀脂肪烴基團包括五氟環(huán)丙基團、七氟環(huán)丁基團、九氟環(huán)戊基團，以及同類化合物。
作為取代基的經(jīng)氟原子取代的烷基團包括三氟甲基團、二氟甲基團、氟甲基團、五氟乙基團、四氟乙基團、三氟乙基團、二氟乙基團、氟乙基團、七氟丙基團、六氟丙基團、五氟丙基團、四氟丙基團，以及同類合化物。
經(jīng)被氟原子取代的烷基團所取代的碳原子數(shù)為6～20的芳香烴基團包括三氟甲基苯基團、九氟丁基苯基團，以及同類化合物。
在分子式(3)中的烷氧基團包括甲氧基團、乙氧基團及同類化合物。較好是甲氧基團。
較好是用以下的磺酸鹽在分子式(1)中表示的磺酸鹽包括R1～R6是氫原子、X1是甲基團的磺酸鹽；R1～R6是氫原子、X1是乙基團的磺酸鹽；R1～R6是氫原子、X1是丙基團的磺酸鹽；R1～R6是氫原子、X1是丁基團的磺酸鹽；R1～R6是氫原子、X1是甲苯基團的磺酸鹽；R1～R6是氫原子、X1是三氟甲基團的磺酸鹽；R1～R6是氫原子、X1是樟腦基團的磺酸鹽；R1～R6是氫原子、X1是九氟丁基團的磺酸鹽，以及同類化合物。
在分子式(2)中表示的磺酸鹽包括R7～R14是氫原子、X2是甲苯基團的磺酸鹽；R7～R14是氫原子、X2是三氟甲基團的磺酸鹽；R7～R14是氫原子、X2是樟腦基團的磺酸鹽；R7～R14是氫原子、X2是九氟丁基團的磺酸鹽，以及同類化合物。
在分子式(3)中表示的磺酸鹽包括R15～R19是氫原子、X3是甲苯基團的磺酸鹽，R15、R16、R18和R19是氫原子、R17是甲氧基團、X3是甲苯基團的磺酸鹽；R15、R16、R18和R19是氫原子、R17是甲氧基團、X3是樟腦基團的磺酸鹽；R15、R16、R18和R19是氫原子、R17是甲氧基團、X3是甲基團的磺酸鹽，以及同類化合物。
在分子式(4)中表示的磺酸鹽包括R20～R23是氫原子、X4是甲苯基團的磺酸鹽；R20～R23是氫原子、X4是三氟甲基團的磺酸鹽；R20～R23是氫原子、X4是樟腦基團的磺酸鹽；R20～R23是氫原子、X4是九氟丁基團的磺酸鹽，以及同類化合物。
在分子式(5)中表示的磺酸鹽包括R24～R27是氫原子、X5是三氟甲基團的磺酸鹽；R24～R27是氫原子、X5是樟腦基團的磺酸鹽；R24～R27是氫原子、X5是九氟丁基團的磺酸鹽，以及同類化合物。
在分子式(6)中表示的磺酸鹽包括m是0、R30～R40是氫原子、X6是甲苯基團的磺酸鹽；m是1、R28～R39是氫原子、R40是羥基團、X6是甲苯基團的磺酸鹽；m是1，R28～R31、R33～R36、R38和R39是氫原子，R40是羥基團，R32和R37是甲氧基團、X6是甲苯基團的磺酸鹽；m是1，R28～R31、R33～R36、R38和R39是氫原子，R40是羥基團，R32和R37是噻嗯基團，X6是甲苯基團的磺酸鹽以及同類化合物。
在分子式(7)中表示的磺酸鹽包括n是0、R43～R47是氫原子、X7是甲基團的磺酸鹽；n是1、R41、R42和R44～R46是氫原子、R43和R47是硝基團、X7是甲苯基團的磺酸鹽；n是1、R41、R42和R44～R47是氫原子、R43是硝基團、X7是甲苯基團的磺酸鹽；n是1、R41～R44、R46和R47是氫原子、R45是硝基團、X7是甲苯基團的磺酸鹽；以及同類化合物。
將磺酸鹽加入固化催化劑中較好的量是相當于0.1至5，更好的量是0.5至3。
磺酸鹽的添加量低于0.1時無法鈍化固化催化劑，而磺酸鹽的添加量大于5則對應(yīng)添加量的固化催化劑無法有效的鈍化。
可以將環(huán)氧樹脂固化劑加入本發(fā)明的正性光敏組成物中。固化劑包括苯酚固化劑、胺固化劑、酸酐固化劑，或者這些固化劑的組成物以及同類化合物。其中，從加工性的觀點來說，較好用酸酐，以采用當溫度為25℃時粘度為100至5000厘泊的酸酐為宜。
苯酚固化劑包括苯酚酚醛、叔丁基苯酚酚醛、叔丁基鄰苯二酚、雙酚A、雙酚F、雙苯酚，以及同類化合物。
胺固化劑包括二氰聯(lián)胺、聯(lián)胺二苯基甲烷、聯(lián)胺二苯基砜以及同類化合物。
酸酐固化劑包括酞酐、苯偏三酸酐、苯四酸酐、二苯甲酮四羧酸酐、丙三醇三酸酐偏苯三酸酯、甲基四氫酞酐酸酐、甲基內(nèi)亞甲基四氫鄰苯二甲酸酐酸酐，以及同類化合物。
對于環(huán)氧樹脂與固化劑的混合比例沒有特別限制，相對于等量的環(huán)氧基一般為0.8至1.0。
同樣，根據(jù)需要可以將敏化劑加入本發(fā)明的正性光敏組成物中。
敏化劑包括ADEKA OPTMER SP-100以及同類化合物。
可以將上述任一種化合物隨意混合，配制本發(fā)明的正性光敏組成物。
如果是將固化催化劑或通過加熱產(chǎn)生固化催化劑的化合物、光-酸發(fā)生器與敏化劑混合，則需加入最少量的需要的溶劑。溶劑包括丙酮、四氫呋喃、甲基-乙基酮，以及類同類的化合物。
下面將描述利用本發(fā)明的正性光敏組成物制造半導體和顯示器組件的方法。
首先，是將本發(fā)明的正性光敏組成物涂在基片的整個或局部表面?？梢圆捎脳l形涂層器、筒形涂層器、壓模涂層器、自旋涂層器及同類方法敷涂。
涂完之后，用曝光設(shè)備進行曝光。曝光設(shè)備為鄰近曝光機及同類設(shè)備。
如果在一個大區(qū)域中曝光，在向基片上涂完光敏組成物之后，在移動曝光機的同時完成曝光，從而使曝光區(qū)域小的曝光機可以在大區(qū)域中曝光。
在被曝光部位的固化催化劑通過曝光受到磺酸鹽鈍化。
曝光之后，未被曝光部位的正性光敏組成物通過對要制造的基片進行熱處理而固化。
熱處理較好在磺酸鹽分解溫度或低于其分解溫度下進行，在高于磺酸鹽分解溫度下進行的熱處理在未曝光部位不會固化。
通常采用水浸法、噴涂法、涂刷法及同類方法完成顯影。
本發(fā)明對顯影液沒有特別的限制，只要能夠溶解未固化正性光敏組成物。顯影液包括丙酮、甲基異丁基酮、四氫呋喃、丙二醇一甲基乙醚醋酸酯及同類化合物。
這樣，通過在未曝光區(qū)域成形固化的正性光敏組成物制品，既可制造出半導體或顯示器組件。
本發(fā)明的正性光敏組成物可被適當?shù)赜米魈畛溟g隙的填充劑，因為注入到圓片級封裝的芯片與圓片之間空隙中的組成物未經(jīng)曝光，以便通過熱處理而固化。
實例以下將以實例對該發(fā)明進行描述，顯然該發(fā)明不局限于這些實例。
實例1將1.34克的雙酚-A型二環(huán)氧甘油醚(由TOHTO KASEI有限公司制造)、0.33克的酚醛樹脂(相當于苯酚106)、0.0067克的3-硝基芐氧羰基咪唑和0.0179克的光-酸發(fā)生劑(8)溶入丙酮中，配制出均勻溶液。將該溶液在減壓情況下進行濃縮，得到粘性的正性光敏液態(tài)密封劑。
采用錐形平板粘度計(由MST ENGINEERING有限公司制造)測量配制的正性光敏液態(tài)密封劑在溫度為130℃時的固化性質(zhì)，未曝光的正性光敏液態(tài)密封劑在22分鐘內(nèi)凝膠。
采用鄰近曝光機(MAP-1300，MH DAINIPPON SCREEN MFG有限公司制造)將配制的正性光敏液態(tài)密封劑以1000mJ/cm2曝光，用錐形平板粘度計(由MST ENGINEERING有限公司制造)測量其在130℃時的固化性質(zhì)，正性光敏液態(tài)密封劑在35分鐘內(nèi)未被凝膠。
分子式(8)實例2將31.12克的雙酚-A型二環(huán)氧甘油醚(由TOHTO KASEI有限公司制造)、0.338克的光-酸發(fā)生劑(8)和0.068克的ADEKA OPTMER SP-100(由ASAHI DENKA有限公司制造)溶入丙酮中，配制出均勻溶液。將該溶液在減壓情況下進行濃縮，得到粘性組成物。
采用搖動消泡設(shè)備(HM-500，由KEYENCE公司制造)將23.32克的甲基-5-去甲莰烷-2，3-二羧酸酐(由WAKO純凈化學工業(yè)有限公司制造)和0.16克1，8-二氮二環(huán)(5，4，0)十一碳-7-烯(由SIGMA-ALDRICH公司制造)加入配制出的組成物中，配制出均勻的正性光敏液態(tài)密封劑。
采用錐形平板粘度計(由MST ENGINEERING有限公司制造)測量配制的正性光敏液態(tài)密封劑在溫度為130℃時的固化性質(zhì)，未曝光的正性光敏液態(tài)密封劑在20分鐘內(nèi)凝膠。
采用鄰近曝光機(MAP-1300，MH DAINIPPON SCREEN MFG有限公司制造)將所配制的正性光敏液態(tài)密封劑以1000mJ/cm2曝光，用錐形平板粘度計(由MST ENGINEERING有限公司制造)測量其在130℃時的固化性質(zhì)。正性光敏液態(tài)密封劑的凝膠時間為26分鐘。
比較實例1將1.34克的雙酚-A型二環(huán)氧甘油醚(由TOHTO KASEI有限公司制造)、0.33克的線性酚醛樹脂(相當于106苯酚)、0.0067克的3-3-硝基芐氧羰基咪唑、0.0182克的光-酸發(fā)生劑(9)和0.0036克的ADEKA OPTMERSP-100溶入丙酮中，配制出均勻溶液。將該溶液在減壓情況下進行濃縮，得到粘性的正性光敏液態(tài)密封劑。
采用錐形平板粘度計(由MST ENGINEERING有限公司制造)測量配制的正性光敏液態(tài)密封劑在溫度為130℃時的固化性質(zhì)，未曝光的正性光敏液態(tài)密封劑在25分鐘內(nèi)未被凝膠。
分子式(9)比較實例2將1.34克的雙酚-A型二環(huán)氧甘油醚(由TOHTO KASEI有限公司制造)、0.33克的線性酚醛樹脂(相當于苯酚106)、0.0067克的3-硝基芐氧羰基咪唑和0.0193克的光-酸發(fā)生劑(10)溶入丙酮中，配制出均勻溶液。將該溶液在減壓情況下進行濃縮，得到粘性正性光敏液態(tài)密封劑。
采用錐形平板粘度計(由MST ENGINEERING有限公司制造)測量配制的正性光敏液態(tài)密封劑在溫度為130℃時的固化性質(zhì)，未曝光的正性光敏液態(tài)密封劑在33分鐘內(nèi)未被凝膠。
分子式(10)比較實例3將1.34克的雙酚-A型二環(huán)氧甘油醚(由TOHTO KASEI有限公司制造)、0.33克的線性酚醛樹脂(相當于106苯酚)、0.0067克的3-硝基芐氧羰基咪唑和0.0202克的光-酸發(fā)生劑(11)溶入丙酮中，配制出均勻溶液。將該溶液在減壓情況下進行濃縮，得到粘性正性光敏液態(tài)密封劑。
采用錐形平板粘度計(由MST ENGINEERING有限公司制造)測量配制的正性光敏液態(tài)密封劑在溫度為130℃時的固化性質(zhì)，未曝光的正性光敏液態(tài)密封劑在33分鐘內(nèi)未被凝膠。
分子式(11)本發(fā)明可以提供用作填充劑的正性光敏組成物。
權(quán)利要求
1.一種正性光敏組成物，其特征在于包括在一個分子中具有兩個或多個環(huán)氧基團的環(huán)氧化合物；固化催化劑或通過加熱產(chǎn)生固化催化劑的化合物；以及一磺酸鹽。
2.如權(quán)利要求1所述的組成物，其特征在于，該磺酸鹽至少是從下列分子式(1)～(7)所表示的化合物所組成的物質(zhì)組中選擇的一種化合物； 分子式(1)其中，X1是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價有機基團，R1～R6各自獨立的為氫原子或單價有機基團； 分子式(2)其中，X2是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價有機基團，R7～R14各自獨立的為氫原子或單價有機基團； 分子式(3)其中，X3是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價有機基團，R15～R19各自獨立的為氫原子、烷氧基團或單價有機基團； 分子式(4)其中，X4是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價有機基團，R20～R23各自獨立的為氫原子或單價有機基團； 分子式(5)其中，X5是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價有機基團，R24～R27各自獨立的為氫原子或單價有機基團； 分子式(6)其中，X6是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價有機基團，R28～R39各自獨立的為氫原子或單價有機基團，X40是氫原子或羥基團，m為0或者1； 分子式(7)其中，X7是可任選取代的單價有機基團，R41和R42各自獨立的為氫原子或碳原子數(shù)為1～20的單價有機基團，X43～R47各自獨立的為氫原子、硝基團或碳原子數(shù)為1～20的單價有機基團，n為0或者1。
3.一種制造半導體組件的方法，其特征在于包括下述步驟將權(quán)利要求1中的正性光敏組成物涂在基片上曝光；通過加熱固化未曝光部分；以及顯影曝光部分。
4.一種制造顯示器組件的方法，其特征在于包括下述步驟將權(quán)利要求1中的正性光敏組成物涂在基片上曝光；通過加熱固化未曝光部分；以及顯影曝光部分。
全文摘要
本發(fā)明涉及到一種正性光敏組成物，由在一個分子中具有兩個或更多環(huán)氧基團的環(huán)氧化合物、固化催化劑或通過加熱用于產(chǎn)生固化催化劑的化合物以及磺酸鹽組成；還涉及到一種制造半導體組件的方法，該方法包括將正性光敏組成物涂在基片上曝光后，通過加熱固化未曝光部分，并顯影曝光部分；以及涉及到一種制造顯示器組件的方法，該方法包括將正性光敏組成物涂在基片上曝光后，通過加熱固化未曝光部分，并顯影曝光部分。
文檔編號G03F7/039GK1499295SQ20031010232
公開日2004年5月26日 申請日期2003年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月31日
發(fā)明者矢作公 申請人:住友化學工業(yè)株式會社