體功能部的半導(dǎo)體部側(cè)產(chǎn)生靜電的情況下能夠有效地引導(dǎo)該靜電，能夠更好地防止靜電被施加至信號(hào)配線(xiàn)側(cè)連接部。
[0029]接著，為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的顯示裝置包括:上述的半導(dǎo)體裝置；以與上述半導(dǎo)體裝置相對(duì)的方式配置的對(duì)置基板；配置在上述半導(dǎo)體裝置與上述對(duì)置基板之間的液晶層；和設(shè)置在上述半導(dǎo)體裝置并且與上述信號(hào)配線(xiàn)部連接的開(kāi)關(guān)元件。
[0030]根據(jù)這樣的顯示裝置，能夠抑制上述半導(dǎo)體裝置因靜電而產(chǎn)生的不良，所以動(dòng)作可靠性等優(yōu)異。
[0031](發(fā)明的效果)
[0032]根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制因靜電而產(chǎn)生的不良。
【附圖說(shuō)明】
[0033]圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式I的安裝有驅(qū)動(dòng)器的液晶面板、柔性基板與控制電路基板的連接結(jié)構(gòu)的概略平面圖。
[0034]圖2是表示沿液晶顯示裝置的長(zhǎng)邊方向的截面結(jié)構(gòu)的概略截面圖。
[0035]圖3是表示液晶面板的截面結(jié)構(gòu)的概略截面圖。
[0036]圖4是表示陣列基板的顯示部的TFT的截面結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0037]圖5是概略地表示構(gòu)成液晶面板的陣列基板的配線(xiàn)結(jié)構(gòu)的平面圖。
[0038]圖6是表示陣列基板的靜電保護(hù)電路部、共用配線(xiàn)、靜電保護(hù)部和接觸部的平面圖。
[0039]圖7是圖6的vi1-vii線(xiàn)截面圖。
[0040]圖8是圖6的vii1-viii線(xiàn)截面圖。
[0041]圖9是圖6的ix-1x線(xiàn)截面圖。
[0042]圖10是圖6的x-x線(xiàn)截面圖。
[0043]圖11是圖6的x1-xi線(xiàn)截面圖。
[0044]圖12是圖6的xi1-xii線(xiàn)截面圖。
[0045]圖13是概略地表示靜電保護(hù)電路部所具有的靜電保護(hù)電路的電路結(jié)構(gòu)的電路圖。
[0046]圖14是表示形成第二金屬膜前的階段的陣列基板的靜電保護(hù)電路部、共用配線(xiàn)、靜電保護(hù)部和接觸部的平面圖。
[0047]圖15是圖14的χν-χν線(xiàn)截面圖。
[0048]圖16是圖14的xv1-xvi線(xiàn)截面圖。
[0049]圖17是圖14的xvi1-xvii線(xiàn)截面圖。
[0050]圖18是圖14的xvii1-xviii線(xiàn)截面圖。
[0051]圖19是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2的陣列基板的靜電保護(hù)電路部、共用配線(xiàn)、靜電保護(hù)部和接觸部的平面圖。
[0052]圖20是圖19的xx-xx線(xiàn)截面圖。
[0053]圖21是圖19的xx1-xxi線(xiàn)截面圖。
[0054]圖22是概略地表示靜電保護(hù)電路部所具有的靜電保護(hù)電路的電路結(jié)構(gòu)的電路圖。
[0055]圖23是表示本發(fā)明的實(shí)施方式3的陣列基板的靜電保護(hù)電路部、共用配線(xiàn)、靜電保護(hù)部和接觸部的平面圖。
[0056]圖24是圖23的xxiv-xxiv線(xiàn)截面圖。
[0057]圖25是圖23的xxv-xxv線(xiàn)截面圖。
[0058]圖26是表示本發(fā)明的實(shí)施方式4的陣列基板的靜電保護(hù)電路部、共用配線(xiàn)、靜電保護(hù)部和接觸部的平面圖。
[0059]圖27是圖26的xxvi1-xxvii線(xiàn)截面圖。
[0060]圖28是表示形成第二金屬膜前的階段的陣列基板的靜電保護(hù)電路部、共用配線(xiàn)、靜電保護(hù)部和接觸部的平面圖。
[0061]圖29是圖28的xxix-xxix線(xiàn)截面圖。
[0062]圖30是表示本發(fā)明的實(shí)施方式5的陣列基板的靜電保護(hù)部的截面結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0063]圖31是表示本發(fā)明的實(shí)施方式6的陣列基板的靜電保護(hù)部的截面結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0064]圖32是表示本發(fā)明的實(shí)施方式7的陣列基板的靜電保護(hù)電路部、共用配線(xiàn)、靜電保護(hù)部和接觸部的平面圖。
[0065]圖33是圖32的xxxii1-xxxiii線(xiàn)截面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0066]<實(shí)施方式1>
[0067]根據(jù)圖1至圖18對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式I進(jìn)行說(shuō)明。在本實(shí)施方式中，對(duì)液晶顯示裝置10進(jìn)行例示。另外在各圖面的一部分表示X軸、Y軸和Z軸，以各軸方向成為在各圖面所示的方向的方式進(jìn)行描繪。此外，在上下方向，以圖2等為基準(zhǔn)，且以該圖上側(cè)為正面?zhèn)蒛、以該圖下側(cè)為內(nèi)側(cè)。
[0068]如圖1和圖2所示，液晶顯示裝置10包括:液晶面板(顯示裝置)11，其具有能夠顯示圖像的顯示部AA和顯示部AA外的非顯示部NAA ;驅(qū)動(dòng)液晶面板11的驅(qū)動(dòng)器(面板驅(qū)動(dòng)部)21 ;從外部對(duì)驅(qū)動(dòng)器21供給各種輸入信號(hào)的控制電路基板(外部的信號(hào)供給源)12 ;將液晶面板11與外部的控制電路基板12電連接的柔性基板(外部連接部件)13 ;和作為將光供給至液晶面板11的外部光源的背光源裝置(照明裝置)14。此外，液晶顯示裝置10還包括用于收容并保持相互組裝的液晶面板11和背光源裝置14的正背面一對(duì)外裝部件15、16，其中，在正面?zhèn)鹊耐庋b部件15形成有開(kāi)口部15a，該開(kāi)口部15a用于從外部視認(rèn)(觀看)在液晶面板11的顯示部AA顯示的圖像。本實(shí)施方式的液晶顯示裝置10用于便攜式信息終端(包括電子書(shū)和PDA等)、移動(dòng)電話(huà)(包括智能手機(jī)等)、筆記本電腦(包括平板型筆記本電腦等)、數(shù)字相框、便攜式游戲機(jī)、電子墨水紙等各種電子設(shè)備(未圖示)。因此，構(gòu)成液晶顯示裝置10的液晶面板11的畫(huà)面尺寸為幾英寸?幾十英寸，一般為被分類(lèi)小型和中小型的大小。
[0069]首先對(duì)背光源裝置14進(jìn)行簡(jiǎn)單說(shuō)明。如圖2所示，背光源裝置14包括:朝向正面?zhèn)?液晶面板11側(cè))開(kāi)口的大致形成為箱形的底座14a;配置在底座14a內(nèi)的未圖示的光源(例如冷陰極管、LED、有機(jī)EL等)；和以覆蓋底座14a的開(kāi)口部的方式配置的未圖示的光學(xué)部件。光學(xué)部件具有使從光源發(fā)出的光變換成面狀等的功能。
[0070]接著，對(duì)液晶面板11進(jìn)行說(shuō)明。如圖1所示，液晶面板11作為整體形成為縱長(zhǎng)的方形(矩形)，在靠近該長(zhǎng)邊方向的一個(gè)端部側(cè)(圖1所示的上側(cè))的位置配置有顯示部(有源區(qū)域)AA，并且在靠近長(zhǎng)邊方向的另一個(gè)端部側(cè)(圖1所示的下側(cè))的位置分別安裝有驅(qū)動(dòng)器21和柔性基板13。在該液晶面板11，顯示部AA外的區(qū)域?yàn)椴伙@示圖像的非顯示部(非有源區(qū)域)NAA，該非顯示部NAA包括包圍顯示部AA的大致框狀的區(qū)域(后述的CF基板Ila的包括部分)和被確保在長(zhǎng)邊方向的另一個(gè)端部側(cè)的區(qū)域(后述的陣列基板Ilb中不與CF基板Ila重疊而露出的部分)，在其中的被確保在長(zhǎng)邊方向的另一個(gè)端部側(cè)的區(qū)域包含驅(qū)動(dòng)器21和柔性基板13的實(shí)際安裝區(qū)域(安裝區(qū)域)。液晶面板11的短邊方向與各圖面的X軸方向一致，長(zhǎng)邊方向與各圖面的Y軸方向一致。另外，在圖1中，比CF基板Ila小一圈的框狀的點(diǎn)劃線(xiàn)表示顯示部AA的外形，該實(shí)線(xiàn)外側(cè)的區(qū)域?yàn)榉秋@示部NAA。
[0071 ] 接著，對(duì)與液晶面板11連接的部件進(jìn)行說(shuō)明。如圖1和圖2所示，控制電路基板12通過(guò)螺栓等安裝在背光源裝置14的底座14a的背面(與液晶面板11側(cè)相反側(cè)的外表面)。該控制電路基板12在酚醛紙或玻璃環(huán)氧樹(shù)脂制的基板上，安裝用于向驅(qū)動(dòng)器21供給各種輸入信號(hào)的電子部件并且形成有未圖示的規(guī)定的圖案的配線(xiàn)線(xiàn)路(導(dǎo)電路)。在該控制電路基板12，經(jīng)未圖示的ACF(Anisotropic Conductive Film:各向異性導(dǎo)電膜)電連接且機(jī)械連接柔性基板13的一個(gè)端部(一端側(cè))。
[0072]如圖2所示，柔性基板(FPC基板)13包括由具有絕緣性和柔韌性的合成樹(shù)脂材料(例如聚酰亞胺類(lèi)樹(shù)脂等)構(gòu)成的基材，在該基材上具有大量的配線(xiàn)圖案(未圖示)，在長(zhǎng)度方向的一個(gè)端部與如已述的那樣配置在底座14a的背面?zhèn)鹊目刂齐娐坊?2連接，而且另一個(gè)端部(另一端側(cè))與液晶面板11的陣列基板Ilb連接，因此在液晶裝置10內(nèi)以截面形狀成為大致U型的方式被彎曲成折返狀。在柔性基板13的長(zhǎng)度方向的2個(gè)端部，配線(xiàn)圖案向外部露出而構(gòu)成端子部(未圖示)，這些端子部分別與控制電路基板12和液晶面板11電連接。由此，能夠?qū)目刂齐娐坊?2側(cè)供給的輸入信號(hào)輸送至液晶面板11偵U。
[0073]如圖1所示，驅(qū)動(dòng)器21由在內(nèi)部具有驅(qū)動(dòng)電路的LSI芯片構(gòu)成，通過(guò)基于從作為信號(hào)供給源的控制電路基板12供給的信號(hào)進(jìn)行動(dòng)作，對(duì)從作為信號(hào)供給源的控制電路基板12供給的輸入信號(hào)進(jìn)行處理而生成輸出信號(hào)，并向液晶面板11的顯示部AA輸出該輸出信號(hào)。該驅(qū)動(dòng)器21俯視時(shí)為橫長(zhǎng)的方形(沿液晶面板11的短邊形成較長(zhǎng)的長(zhǎng)方形)，并且直接安裝在液晶面板11 (后述的陣列基板Ilb) 的非顯示部NAA，g卩，被COG(Chip On Glass:玻璃襯底芯片)安裝。另外，驅(qū)動(dòng)器21的長(zhǎng)邊方向與X軸方向(液晶面板11的短邊方向)一致，該短邊方向與Y軸方向(液晶面板11的長(zhǎng)邊方向)一致。
[0074]再對(duì)液晶面板11進(jìn)行說(shuō)明。如圖3所示，液晶面板11包括一對(duì)基板lla、llb和設(shè)置在2個(gè)基板lla、llb之間的液晶層11c，該液晶層Ilc含有作為伴隨電場(chǎng)施加而光學(xué)特性發(fā)生變化的物質(zhì)的液晶分子，2個(gè)基板IlaUlb以維持液晶層Ilc的厚度的量的縫隙的狀態(tài)被未圖示的密封劑貼合。本實(shí)施方式的液晶面板11的動(dòng)作模式對(duì)將IPS (In-plane-Switching:面內(nèi)開(kāi)關(guān)型)模式進(jìn)一步進(jìn)行改良后的FFS (Fringe FieldSwitching:邊緣場(chǎng)開(kāi)關(guān))模式，在一對(duì)基板lla、llb中的陣列基板Ilb側(cè)一起形成后述的像素電極18和共用電極22，且將該像素電極18和共用電極22配置在不同的層。一對(duì)基板IlaUlb中正面?zhèn)葹镃F基板(對(duì)置基板)11a。背面?zhèn)葹殛嚵谢?半導(dǎo)體裝置)11b、該CF基板Ila和陣列基板Ilb包括幾乎透明的(具有高的透光性的)玻璃基板GS，在該玻璃基板GS上層疊形成有各種膜。其中，CF基板Ila如圖11和圖2所示那樣短邊尺寸與陣列基板Ilb大致相同，長(zhǎng)邊尺寸比陣列基板Ilb小，并且以使在長(zhǎng)邊方向的一方(圖1所示的上側(cè))的端部一致的狀態(tài)與陣列基板Ilb貼合。因此，陣列基板Ilb中在長(zhǎng)邊方向的另一方(圖1所示的下側(cè))的端部不遍及規(guī)定范圍地與CF基板Ila重合，成為正背面2個(gè)板面向外部露出的狀態(tài)，此處確保驅(qū)動(dòng)器21和柔性基板13的安裝區(qū)域。另外，在2個(gè)基板IlaUlb的內(nèi)面?zhèn)龋謩e形成有用于使液晶層Ilc所含的液晶分子取向的取向膜lld、lle。此外，在2個(gè)基板iiauib的外表面?zhèn)确謩e粘貼有偏振板iif、Hg。
[0075]首先，對(duì)在陣列基板Ilb的內(nèi)面?zhèn)?液晶層Ilc側(cè)，與CF基板Ila的相對(duì)面?zhèn)?通過(guò)已知的光刻法層疊形成的各種膜進(jìn)行說(shuō)明。如圖4所示，在陣列基板11b，自下層(玻璃基板GS)側(cè)起依次層疊形成有第一金屬膜(柵極金屬膜)34、柵極絕緣膜(絕緣膜)35、半導(dǎo)體膜36、保護(hù)膜37、第二金屬膜(源極金屬膜)38、第一層間絕緣膜39、有機(jī)絕緣膜40、第一透明電極膜23、第二層間絕緣膜41、第二透明電極膜24。
[0076]第一金屬膜34由鈦(Ti)和銅(Cu)的層疊膜形成。該第一金屬膜34在顯不部AA構(gòu)成后述的柵極配線(xiàn)19和TFT17的柵極電極17a等，而且在非顯示部NAA構(gòu)成后述的共用配線(xiàn)25、柵極配線(xiàn)19的端部(柵極配線(xiàn)側(cè)連接部48)、靜電保護(hù)電路部26所具有的二極管29、30的一部分(柵極電極部29e、30e)等。柵極絕緣膜35由包括氮化硅(SiNx)的下層側(cè)柵極絕緣膜35a和氧化硅(S12)的上層側(cè)柵極絕緣膜35b的層疊膜形成。半導(dǎo)體膜36由包括作為氧化物半導(dǎo)體的一種的銦(In)、鎵(Ga)和鋅(Zn)的氧化物薄膜構(gòu)成。形成半導(dǎo)體膜36的含有銦(In)、鎵(Ga)和鋅(Zn)的氧化物薄膜為非晶或晶質(zhì)。該半導(dǎo)體膜36在顯示部AA構(gòu)成后述的TFT17的溝道部17d等，而且在非顯示部NAA構(gòu)成后述的靜電保護(hù)電路部26所具有的二極管29、30的一部分(半導(dǎo)體部29d、30d)等。保護(hù)膜37由氧化硅(S12)構(gòu)成。
[0077]第二金屬膜38由鈦(Ti)和銅(Cu)的層疊膜形成。該第二金屬膜38在顯示部AA構(gòu)成后述的源極配線(xiàn)20和/或TFT17的源極電極17b以及漏極電極17c，而且在非顯示部NAA構(gòu)成后述的第一短路配線(xiàn)部31、第二短路配線(xiàn)部33、靜電保護(hù)電路部26所具有的二極管29、30的一部分(電極部29a、30a、29b、30b)等。第一層間絕緣膜39由氧化硅(S12)構(gòu)成。有機(jī)絕緣膜40由作為有機(jī)材料的丙烯樹(shù)脂(例如聚甲基丙烯酸甲酯樹(shù)脂(PMMA))和/或聚酰亞胺樹(shù)脂構(gòu)成。第一透明電極膜23和第二透明電極膜24由ITO (Indium TinOxide:氧化銦錫)或ZnO(Zinc Oxide:氧化鋅)這樣的透明電極材料構(gòu)成。第二層間絕緣膜41由氮化硅(SiNx)構(gòu)成。上述各膜中，第一透明電極膜23和第二透明電極膜24僅在陣列基板Ilb的顯示部AA形成，在非顯示部NAA不形成，而且柵極絕緣膜35、保護(hù)膜37、第一層間絕緣膜39、有機(jī)絕緣膜40和第二層間絕緣膜41這樣由絕緣材料構(gòu)成的膜作為遍及陣列基板Ilb的幾乎整個(gè)面的整面狀的圖案形成。此外，第一金屬膜34、半導(dǎo)體膜36和第二金屬膜38在陣列基板Ilb的顯示部AA和非顯示部NAA的雙方以規(guī)定的圖案形成。
[0078]接著，對(duì)陣列基板Ilb的顯示部AA內(nèi)存在的結(jié)構(gòu)依次進(jìn)行說(shuō)明。在陣列基板Ilb的顯示部AA，如圖3所示作為開(kāi)關(guān)元件的TFT (ThinFilm Transistor:薄膜晶體管)17和像素電極18各自每多個(gè)呈矩陣狀排列設(shè)置，在這些TFT17和像素電極18的周?chē)?，以包圍的方式配置有形成柵格狀的柵極配線(xiàn)(信號(hào)配線(xiàn)部、行控制線(xiàn)、掃描線(xiàn))19和源極配線(xiàn)(列控制線(xiàn)、數(shù)據(jù)線(xiàn))20。換言之，在形成柵格狀的柵極配線(xiàn)19和源極配線(xiàn)20的交叉部，呈矩陣狀排列配置有TFT17和像素電極18。柵極配線(xiàn)19歐第一金屬膜34構(gòu)成，而且源極配線(xiàn)20由第二金屬膜38構(gòu)成，以在相互的交叉部位間設(shè)置有柵極絕緣膜35和保護(hù)膜37的方式配置。如圖4所示，柵極配線(xiàn)19和源極配線(xiàn)20分別與TFT17的柵極電極17a和源極電極17b連接，像素電極18與TFT17的漏極電極17c連接。該TFT17具有溝道部17d，該溝道部17d將源極電極17b和漏極電極17c橋接，由使2個(gè)電極17b、17c間的電子的移動(dòng)成為可能的半導(dǎo)體膜36構(gòu)成。此處，形成溝道部17d的半導(dǎo)體膜36是含有銦(In)、鎵(Ga)和鋅(Zn)的氧化物薄膜，該含有銦(In)、鎵(Ga)和鋅(Zn)的氧化物薄膜的電子迀移率與非晶硅薄膜等相比例如高20倍?50倍左右，因此能夠容易地使TFT17小型化、使像素電極18的透射光量極大化，由此能夠?qū)崿F(xiàn)高精細(xì)化和低電力消耗等，因此優(yōu)選。這樣的具有含有銦(In)、鎵(Ga)和鋅(Zn)的氧化物薄膜的TFT17為柵極電極17a配置在最下層、在其上層側(cè)隔著柵極絕緣膜35層疊有溝道部17d的柵極電極配置于下部型，為與一般的具有非晶硅薄膜的TFT相同的層疊結(jié)構(gòu)。另一方面，含有銦(In)、鎵(Ga)和鋅(Zn)的氧化物薄膜具有如下性質(zhì):由于是氧化物所以容易被氧化或還原，進(jìn)一步，容易通過(guò)在形成源極電極17b和漏極電極17c時(shí)進(jìn)行的蝕刻處理被蝕刻。因此，本實(shí)施方式的TFT17包括由半導(dǎo)體膜36 (含有銦(In)、鎵(Ga)和鋅(Zn)的氧化物薄膜)構(gòu)成的溝道部17d和在源極電極17b與漏極電極17c之間由氧化娃(S12)構(gòu)成的保護(hù)膜37，由此能夠抑制溝道部17d被氧化或還原而電特性發(fā)生變化，并且能夠在形成源極電極17b和漏極電極17c時(shí)不易被蝕刻。另外，在保護(hù)膜37中與源極電極17b和漏極電極17c在平面視圖重疊的位置形成有開(kāi)口部，通過(guò)該開(kāi)口部，源極電極17b和漏極電極17c與溝道部17d連接。
[0079]像素電極18由第二透明電極膜24構(gòu)成，在被柵極配線(xiàn)19和源極配線(xiàn)20包圍成的區(qū)域作為整體俯視時(shí)形成縱長(zhǎng)的方形(矩形)，并且通過(guò)設(shè)置未圖示的多個(gè)狹縫而形成大致梳齒狀。如圖4所示，該像素電極18在第二層間絕緣膜41上形成，在與后述的共用電極22之間設(shè)置有第二層間絕緣膜41。像素電極18通過(guò)在第一層間絕緣膜39、有機(jī)絕緣膜40和第二層間絕緣膜41形成的接觸孔CH與TFT17的漏極電極17c連接，因此能夠通過(guò)驅(qū)動(dòng)TFT17而對(duì)像素電極18施加規(guī)定的電位。共用電極22由第一透明電極膜23構(gòu)成，為遍及陣列基板Ilb的顯示部AA的幾乎整個(gè)面的、所謂的整面狀的圖案。共用電極22在有機(jī)絕緣膜40上形成。在共用電極22，從共用配線(xiàn)(靜電釋放配線(xiàn)部)25被施加共用電位(基準(zhǔn)電位)，因此能夠如上述那樣通過(guò)利用TFT17施加至像素電極18的電位而使2個(gè)電極18、22間產(chǎn)生規(guī)定的電位差。當(dāng)在2個(gè)電極18、22間產(chǎn)生電位差時(shí)，在液晶層11c，被施加不僅包含通過(guò)像素電極18的狹縫沿著陣列基板Ilb的板面的成分，而且包含相對(duì)于陣列基板Ilb的板面的法線(xiàn)方向的成分的邊緣電場(chǎng)(斜電場(chǎng))，因此液晶層Ilc中所含的液晶分子中，不僅存在于狹縫的液晶分子而且存在于像素電極18上的液晶分子也能夠適當(dāng)?shù)貙?duì)其取向狀態(tài)進(jìn)行開(kāi)關(guān)。由此，液晶面板11的開(kāi)口率變高，能夠獲得充分的透射光量，并且能夠獲得高的視野角特性。另外，在陣列基板Ilb還能夠設(shè)置電容配線(xiàn)(未圖示)，該電容配線(xiàn)與柵極配線(xiàn)19并列行進(jìn)并且橫穿像素電極18，同時(shí)隔著柵極絕緣膜35、保護(hù)膜