專利名稱：：圖像記錄裝置和圖像記錄方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及通過照射光從而在記錄介質(zhì)上記錄圖像的技術(shù)。
背景技術(shù)：
：已開發(fā)出衍射光柵(diffractiongrating)型的光調(diào)制元件(lightmodulationdevice)，該光調(diào)制元件利用半導(dǎo)體裝置制造技術(shù)在基板上交替形成固定帶(fixedribbon)和可撓帶(movingribbon)，使可撓帶相對于固定帶彎曲，從而能夠改變衍射光柵的深度。在這種衍射光柵中，通過改變溝槽的深度，來改變正反射光、衍射光的強(qiáng)度，因此，提出了將光調(diào)制元件用于在各種記錄介質(zhì)上記錄圖像的圖像記錄裝置的方案。例如，在圖像記錄裝置上設(shè)置多個衍射光柵型的光調(diào)制元件并對其照射光，將來自第一狀態(tài)的光調(diào)制元件的反射光(0次光)導(dǎo)向記錄介質(zhì)，遮蔽來自第二狀態(tài)的光調(diào)制元件的非O次衍射光(主要是l次衍射光)，從而實現(xiàn)對記錄介質(zhì)的圖像記錄，其中，上述第一狀態(tài)是指固定帶及可撓帶相對于-基準(zhǔn)面的高度相同的狀態(tài)，上述第二狀態(tài)是可撓帶彎曲的狀態(tài)。在JP特開2004-4525號公報(專利文獻(xiàn)l)中公開了補(bǔ)正描畫區(qū)域的偏差的技術(shù)，在這種圖像記錄裝置中，通過補(bǔ)正光調(diào)制元件在接通、斷開(ON-OFF)之間遷移的時機(jī)(timing)來補(bǔ)正上述偏差，其中，上述偏差起因于光調(diào)制元件從斷開狀態(tài)向接通狀態(tài)遷移時和從接通狀態(tài)向斷開狀態(tài)遷移時的非對稱性、每種感光材料的特性的差異以及每個光調(diào)制元件的照射區(qū)域在掃描方向上的長度的差異或位置的偏差。然而，在專利文獻(xiàn)1的圖像記錄裝置中，在與一個像素相當(dāng)?shù)臅r間內(nèi)，從順次偏差一點時間的時鐘組中選擇一個時鐘，與該時鐘所對應(yīng)的像素的像素值相符的驅(qū)動電壓被輸入到光調(diào)制元件中，因此，無法使得遷移時機(jī)移動(shift)超過與一個像素相當(dāng)?shù)臅r間(或者無法使遷移位置移動超過與一個像素相當(dāng)?shù)木嚯x)。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，面向通過照射光而在記錄介質(zhì)(recordingmedium)上記錄圖像的圖像記錄裝置，在記錄介質(zhì)上記錄圖像時，使其遷移位置移動超過與一個像素相當(dāng)?shù)木嚯x。本發(fā)明的圖像記錄裝置具有光調(diào)制器(lightmodulator)，其具有光調(diào)制元件(lightmodulatorelement)，保持部，其保持記錄介質(zhì)，其中，該記錄介質(zhì)用于通過來自上述光調(diào)制器的信號光來記錄圖像，移動機(jī)構(gòu)，其使上述保持部相對于上述光調(diào)制器進(jìn)行相對移動，從而使照射位置(irradiationposition)在掃描方向上連續(xù)移動，上述照射位置是來自上述光調(diào)制元件的光照射在記錄介質(zhì)上的照射位置，運算部，其用于進(jìn)行以下處理，即，在向記錄介質(zhì)記錄的記錄對象即對象圖像(targetimage)中，在與上述掃描方向?qū)?yīng)的列方向上排列有多個像素的各像素列(pixelline)分別是在上述列方向上連續(xù)具有相同像素值的多個像素組(pixelgroup)的集合，對于位于上述各像素列中相鄰的兩個像素組之間的各變化點(changepoint)，為了補(bǔ)正(correct)像素組的描畫偏差(displacementofwriting)，求出使來自上述光調(diào)制元件的輸出光量(outputlightamount)的遷移位置(transitionposition)移動的移動量(shiftamount)，在上述移動量超過與一個像素對應(yīng)的記錄介質(zhì)上的區(qū)域的上述掃描方向的寬度時，變更(alter)上述對象圖像的像素的像素值，從而使得上述各變化點在上述列方向上移動，移動的量為上述移動量除以上述寬度而求出的商值的整數(shù)部分(integerpart)的像素數(shù)，并且，將上述各變化點所對應(yīng)的上述移動量修改(modify)為與上述商值的小數(shù)部分(decimalpart)相當(dāng)?shù)闹?，控制部，其與上述移動機(jī)構(gòu)同步，基于變更后的上述對象圖像和修改后的上述移動量，控制上述光調(diào)制器。根據(jù)本發(fā)明，在記錄介質(zhì)上記錄圖像時，能夠使遷移位置移動超過與一個像素相當(dāng)?shù)木嚯x。在本發(fā)明的一個優(yōu)選方式中，在上述運算部中，針對上述各變化點，基于上述相鄰的兩個像素組的像素值的組合來求出修改前的上述移動量；上述運算部具有第一表存儲部，其存儲像素加工表(pixelprocessingtable)，該像素加工表表示與多種兩個像素值的組合的每一個組合相對應(yīng)的變化點的移動量，圖像變更部(imagealteringpart)，其利用上述各像素列的各變化點中的兩個像素值的組合，參照上述像素加工表，從而獲取上述各變化點的移動量并使上述各變化點在上述列方向上移動，第二表存儲部，其存儲修改移動量表(modifiedshiftamounttable)，該修改移動量表表示與上述多種兩個像素值的組合的每一個組合相對應(yīng)的修改后的移動量，移動量獲取部(shiftamountobtainingpart)，其利用上述各像素列的上述各變化點中的兩個像素值的組合，參照上述修改移動量表，從而獲取對應(yīng)于上述各變化點的上述修改后的移動量。這樣，通過利用像素加工表和修改移動量表，能夠使遷移位置移動超過與一個像素相當(dāng)?shù)木嚯x。在本發(fā)明的其他優(yōu)選方式中，在上述控制部中，記錄介質(zhì)上的上述照射位置在上述掃描方向上每移動與上述對象圖像的上述各像素列中的規(guī)定數(shù)的像素相當(dāng)?shù)囊?guī)定(一定)的距離，則產(chǎn)生一個基礎(chǔ)時鐘，在相鄰的兩個基礎(chǔ)時鐘之間的基礎(chǔ)時鐘期間(baseclockperiod)內(nèi)，來自上述光調(diào)制元件的輸出光量能夠遷移一次，在變更后的上述對象圖像中，在最少像素組的像素數(shù)比上述規(guī)定數(shù)的像素的像素數(shù)少的情況下，上述運算部將上述規(guī)定的距離縮短至與上述最少像素組的上述像素數(shù)相當(dāng)?shù)木嚯x。其中，上述最少像素組是指，在分別于上述列方向上連續(xù)并具有相同像素值的多個像素組中像素數(shù)最少的組。由此，在基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)光調(diào)制元件的輸出光量能夠遷移一次的圖像記錄裝置中，能夠高精度地進(jìn)行圖像記錄。在本發(fā)明的另一個方面，修改前的上述移動量是指從一個像素所對應(yīng)的記錄介質(zhì)上的區(qū)域的上述掃描方向的寬度的一半開始增減了基于像素組的描畫偏差的距離后所得的值，從而能夠使光調(diào)制元件的輸出光量的遷移位置容易地在掃描方向的兩側(cè)移動。在本發(fā)明的另一個方面，上述對象圖像被作為掃描寬度(run-lengthdata)數(shù)據(jù)而輸入至上述運算部，在上述運算部中，在使上述各變化點移動時，變更上述掃描寬度數(shù)據(jù)的掃描寬度的長度(lengthofrun-length)。由此，能夠容易地移動變化點本發(fā)明還面向圖像記錄方法，使來自光調(diào)制器的光調(diào)制元件的光照射在記錄介質(zhì)上的照射位置在掃描方向上連續(xù)移動，同時通過上述光的照射來在上述記錄介質(zhì)上記錄圖像。參照附圖，詳細(xì)說明本發(fā)明，使本發(fā)明的上述的目的和其它目的、特征、方式和優(yōu)點明確。圖1是第一實施方式的圖像記錄裝置的側(cè)視圖。圖2是圖像記錄裝置的俯視圖。圖3是表示空間光調(diào)制器的圖。圖4A是表示光調(diào)制元件的剖面的圖。圖4B是表示光調(diào)制元件的剖面的圖。圖5是表示元件驅(qū)動要素的部分結(jié)構(gòu)的圖.圖6是表示基礎(chǔ)時鐘(baseclock)和延遲時鐘(delayclock)的圖。圖7是表示調(diào)制器控制部的結(jié)構(gòu)的框圖。圖8是表示變換像素數(shù)據(jù)的結(jié)構(gòu)的圖。圖9是用于說明變換像素數(shù)據(jù)的圖。圖IO是表示基準(zhǔn)位置地址表的圖。圖11是表示修改移動量表的圖。圖12是表示驅(qū)動電壓表的圖。圖13是表示在基板上記錄圖像的動作流程的圖。圖14是用于說明標(biāo)準(zhǔn)移動量的圖。圖15是用于說明線寬度補(bǔ)正移動量的圖。圖16是用于說明位置補(bǔ)正移動量的圖。圖17是表示像素列的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的圖。圖18是表示基礎(chǔ)時鐘和像素列的圖。圖19是表示基礎(chǔ)時鐘和像素列的圖。圖20是表示第二實施方式的圖像記錄裝置的結(jié)構(gòu)的圖。圖21是表示光頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖。圖22是表示線寬度補(bǔ)正移動量和位置補(bǔ)正移動量的其它例子的圖。圖23是基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)的其它例子的圖。具體實施例方式圖1是本發(fā)明的第一實施方式的圖像記錄裝置1的側(cè)視圖，圖2是圖像記錄裝置1的俯視圖。圖像記錄裝置1是對液晶顯示裝置用的玻璃基板(下面，只稱為"基板")上的感光材料照射光從而記錄圖像的裝置(也可稱為圖案描畫裝置)。如圖1和圖2所示，圖像記錄裝置l具有基板保持部3，其用于保持基板9，其中，該基板9在(+Z)側(cè)的主面91(以下，稱為"上表面91")上形成有感光材料的層；保持部移動機(jī)構(gòu)2，其設(shè)在基臺ll上，使基板保持部3在與Z方向垂直的X方向和Y方向上移動；框架12，其固定在基臺ll上，并跨越基板保持部3和保持部移動機(jī)構(gòu)2;光照射部4，其安裝在框架12上，對基板9上的感光材料照射調(diào)制過的光。另外，如圖1所示，圖像記錄裝置1具有控制部6,該控制部6對保持部移動機(jī)構(gòu)2、光照射部4等各結(jié)構(gòu)進(jìn)行控制?；灞３植?具有載物臺31，其用于載置基板9;支撐板33，其支撐載物臺31，并使撐載物臺31能夠旋轉(zhuǎn)；載物臺旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)32，其使載物臺31在支撐板33上以與基板9的上表面91垂直的旋轉(zhuǎn)軸321為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。保持部移動機(jī)構(gòu)2具有副掃描機(jī)構(gòu)23，其用于使基板保持部3在圖1和圖2中的X方向(下面，稱為"副掃描方向")上移動；基礎(chǔ)板24，其夾著副掃描機(jī)構(gòu)23對支撐板33進(jìn)行支撐；主掃描機(jī)構(gòu)25，其使基板保持部3和基礎(chǔ)板24—起在與X方向垂直的Y方向(下面，稱為"主掃描方向")上連續(xù)移動。在圖像記錄裝置1中，保持部移動機(jī)構(gòu)2使基板保持部3在與基板9的上表面91平行的主掃描方向和副掃描方向上移動。如圖1和圖2所示，副掃描機(jī)構(gòu)23具有線性馬達(dá)(linearmotor)231,其在支撐板33的下側(cè)(即，(-Z)側(cè))，在與載物臺31的主面平行并且與主掃描方向垂直的副掃描方向上延伸；一對線性導(dǎo)軌232，其在線性馬達(dá)231的(+Y)側(cè)和(-Y)偵lj，在副掃描方向上延伸。主掃描機(jī)構(gòu)25具有線性馬達(dá)251，其在基礎(chǔ)板24的下側(cè)，在與載物臺31的主面平行的主掃描方向上延伸；一對氣動滑條(airslider)252，其在線性馬達(dá)251的(+X)側(cè)和(-X)偵IJ，在主掃描方向上延伸；省略圖示的線性刻度(linearscale)。如圖2所示，光照射部4具有多個(條實施方式中為8個)光頭41，這些光頭41沿著副掃描方向以等間距排列安裝在框架12上。另外，如圖1所示，光照射部4具有與各光頭41連接的光源光學(xué)系統(tǒng)42、出射紫外光的UV光源43以及光源驅(qū)動部44。UV光源43是固體激光器，光源驅(qū)動部44驅(qū)動該UV光源43，從而從UV光源43出射例如波長為355nm的紫外光，該紫外光經(jīng)由光源光學(xué)系統(tǒng)42而被導(dǎo)入光頭41。各光頭41具有出射部45，其將來自UV光源43的光朝下方射出；光學(xué)系統(tǒng)451，其將來自出射部45的光反射至空間光調(diào)制器46;空間光調(diào)制器46，其對從出射部45經(jīng)由光學(xué)系統(tǒng)451照射來的光進(jìn)行調(diào)制并反射該光；光學(xué)系統(tǒng)47，其將來自空間光調(diào)制器46的調(diào)制過的光導(dǎo)向設(shè)在基板9的上表面91上的感光材料。圖3是放大表示空間光調(diào)制器46的圖。如圖3所示，空間光調(diào)制器46具有衍射光柵型的多個光調(diào)制元件461，這些光調(diào)制元件461將從UV光源經(jīng)由出射部45照射來的光導(dǎo)向基板9的上表面91。光調(diào)制元件461可以利用半導(dǎo)體裝置制造技術(shù)來進(jìn)行制造，成為能夠改變光柵深度的衍射光柵。在光調(diào)制元件461中，交替地且平行地排列形成有多個可撓帶461a和固定帶461b，多個可撓帶461a能夠分別相對于背后的基準(zhǔn)面進(jìn)行升降移動，多個固定帶461b相對于基準(zhǔn)面固定。作為衍射光柵型的光調(diào)制元件，例如已知GLV(GratingLightValve:光柵光閘)(SiliconLightmachines(加利福尼亞(California)的森尼韋爾(Sunnyvale))的注冊商標(biāo))。圖4A和圖4B是表示相對于可撓帶461a和固定帶461b垂直的面上的光調(diào)制元件461的剖面的圖。如圖4A所示，在可撓帶461a和固定帶461b相對于基準(zhǔn)面461c位于相同高度(即，可撓帶461a不彎曲)的情況下，光調(diào)制元件461的表面成為一個面，入射光L1的反射光作為0次光(正反射光)L2而被導(dǎo)出。另一方面，如圖4B所示，在可撓帶461a相對于固定帶461b向基準(zhǔn)面461c側(cè)彎曲，可撓帶461a和固定帶461b之間的高度的差為規(guī)定值的情況下，可撓帶461a成為衍射光柵的溝槽的底面，從光調(diào)制元件461導(dǎo)出1次衍射光L3(甚至是高次衍射光)，0次光L2消失。在實際的光調(diào)制元件461中，通過將可撓帶461a與固定帶461b之間的高度差變換為多種，將0次光L2的強(qiáng)度變換為多種，利用衍射光柵進(jìn)行多級灰度(等級)的光調(diào)制。在圖1所示的光照射部4中，來自UV光源43的光被光源光學(xué)系統(tǒng)42變換為線狀光(光束剖面為線狀的光)，該光經(jīng)由出射部45而照射在空間光調(diào)制器46的排列為線(line)狀的多個可撓帶461a和固定帶461b(圖4A和圖4B參照)上。在光調(diào)制元件461中，如果將相鄰的各一條可撓帶461a和固定帶461b作為一個帶對，則三個以上的帶對與所描畫的圖案的一個像素對應(yīng)。當(dāng)然，光調(diào)制元件461也可以置為一個帶對，使一個帶對對應(yīng)一個像素。在光調(diào)制元件461中，基于來自與各空間光調(diào)制器46連接的調(diào)制器控制部60的信號，分別控制與圖案的各像素對應(yīng)的帶對的可撓帶461a，與各像素對應(yīng)的帶對能夠在出射多種輸出光量(強(qiáng)度)的0次光的多個狀態(tài)之間遷移。從光調(diào)制元件461出射的0次光被導(dǎo)入光學(xué)系統(tǒng)47，非0次衍射光(主要是1次衍射光((+1)次衍射光和(-1)次衍射光))被導(dǎo)向與光學(xué)系統(tǒng)47不同的方向。此夕卜，為了防止成為雜散光(straylight)，利用省略圖示的遮光部來遮擋1次衍射光。來自光調(diào)制元件461的0次光經(jīng)由光學(xué)系統(tǒng)47而被導(dǎo)向基板9的上表面91，由此，在基板9的上表面91上，對排列在X方向(即，副掃描方向)上的多個照射位置分別照射調(diào)制過的光。如上所述，光調(diào)制元件461的各像素所對應(yīng)的帶對能夠以多級灰度(包括沒有照射到基板9上的描畫用的光的灰度)將光照射在基板9上。在圖1和圖2所示的圖像記錄裝置1中，通過保持部移動機(jī)構(gòu)2的主掃描機(jī)構(gòu)25使基板9在主掃描方向上移動，從光照射部4的光調(diào)制元件461對該基板9照射調(diào)制過的光。換言之，主掃描機(jī)構(gòu)25是照射位置移動機(jī)構(gòu)，使得從光調(diào)制元件461導(dǎo)向基板9的光在基板9上的照射區(qū)域的位置(即，照射位置)，相對于基板9并且連續(xù)地在主掃描方向上移動。此外，在圖像記錄裝置1中，也可以不移動基板9，而是通過使光頭41在主掃描方向上移動，使基板9上的照射位置在主掃描方向上移動。在圖像記錄裝置l中，控制部6的調(diào)制器控制部60對來自光調(diào)制元件461的光的調(diào)制進(jìn)行控制，從而將表示基板9的記錄對象即圖像(下面，稱為"對象圖像")的圖案記錄在基板9上。圖5是表示調(diào)制器控制部60的部分結(jié)構(gòu)的圖，表示調(diào)制器控制部60的各光調(diào)制元件461的驅(qū)動涉及的要素(下面，稱為"元件驅(qū)動要素(drivingelement)61")的一部分。元件驅(qū)動要素61具有寄存器(resistor)610、611，還具有移動部616和D/A轉(zhuǎn)換器(converter)612以及電路，其中，該電路將來自D/A轉(zhuǎn)換器612的輸出變換(convert)為光調(diào)制元件461的實際的驅(qū)動電壓(下面，稱為"實際驅(qū)動電壓(actualdrivingvoltage)")，移動部13616具有寄存器613、計數(shù)器614和比較儀(comparator)615。調(diào)制器控制部60還具有省略圖示的時鐘產(chǎn)生部，對時鐘產(chǎn)生部輸入來自主掃描機(jī)構(gòu)25的線性刻度的信號。并且，如圖6的上段所示，基板9上的來自各光調(diào)制元件461的光的照射位置在主掃描方向(Y方向)上每移動規(guī)定的距離(是后述的圖像記錄時設(shè)定的距離，下面，稱為"設(shè)定距離(setdistance)")，時鐘產(chǎn)生部就產(chǎn)生一個基礎(chǔ)時鐘303，并將其輸入至圖5所示的寄存器610以及移動部616的寄存器613和計數(shù)器614中。在圖5中，用標(biāo)注附圖標(biāo)記303的箭頭表示順次輸入到寄存器610、613和計數(shù)器614中的基礎(chǔ)時鐘(對于后述的延遲時鐘304、驅(qū)動電壓數(shù)據(jù)301、移動延遲數(shù)數(shù)據(jù)(shiftdelaynumberdata)302和移動完畢時鐘(shiftedclock)305也相同)。另外，在時鐘產(chǎn)生部中，如圖6的中段所示，基板9上的照射位置每移動確定距離，則產(chǎn)生一個延遲時鐘304，并且該延遲時鐘304被輸入至計數(shù)器614，其中，上述確定距離是將設(shè)定距離進(jìn)行了規(guī)定數(shù)等分的距離(例如，10納米(nm))。此外，主掃描機(jī)構(gòu)25使基板9在主掃描方向上的移動速度大致恒定，因此，在圖6的上段和中段中，也可以將時間作為橫軸(對于后述的圖9、圖14至圖16、圖18、圖19、圖22以及圖23也同樣)。響應(yīng)基礎(chǔ)時鐘303而順次對圖5的寄存器610輸入驅(qū)動電壓數(shù)據(jù)301，并且與基礎(chǔ)時鐘303同步，從寄存器610向寄存器611輸出驅(qū)動電壓數(shù)據(jù)301，其中，上述驅(qū)動電壓數(shù)據(jù)301表示實際驅(qū)動電壓隨著時間逐漸變化而最終到達(dá)的目標(biāo)的電壓(下面，稱為"目標(biāo)驅(qū)動電壓(targetdrivingvoltage)")。另外，響應(yīng)基礎(chǔ)時鐘303而順次對移動部616的寄存器613輸入移動延遲數(shù)數(shù)據(jù)302，該移動延遲數(shù)數(shù)據(jù)302用于調(diào)整光調(diào)制元件461的動作位置(動作時機(jī))。與基礎(chǔ)時鐘303同步地從寄存器613對比較儀615輸入移動延遲數(shù)數(shù)據(jù)302。并且，每次向計數(shù)器614輸入延遲時鐘304時，將計數(shù)器614中的延遲時鐘304的累計(計數(shù))數(shù)輸出至比較儀615，如果移動延遲數(shù)數(shù)據(jù)302所示的值與來自計數(shù)器614的累計數(shù)一致，則從比較儀615向寄存器611輸出相對于基礎(chǔ)時鐘303延遲了的時鐘(下面的"移動完畢時鐘")305。由此，從寄存器611經(jīng)由D/A轉(zhuǎn)換器612輸出驅(qū)動電壓數(shù)據(jù)301的模擬信號。此外，每次輸入基礎(chǔ)時鐘303時對計數(shù)器614中的延遲時鐘304的累計數(shù)進(jìn)行復(fù)位(reset)。每個移動完畢時鐘305的驅(qū)動電壓數(shù)據(jù)301與驅(qū)動一次光調(diào)制元件461時的目標(biāo)驅(qū)動電壓對應(yīng)，來自D/A轉(zhuǎn)換器612的輸出被輸入至電流源51，進(jìn)一步被變換為電流。電流源51的一端經(jīng)由電阻52而連接至高電位Vcc側(cè)，另一端接地。電流源51的兩端經(jīng)由連接墊(connectpad)53而與光調(diào)制元件461的可撓帶461a和基準(zhǔn)面461c連接。因此，如果驅(qū)動電壓數(shù)據(jù)301經(jīng)由D/A轉(zhuǎn)換器612和電流源51而被變換為電流，則電阻52使電壓下降，從而將其轉(zhuǎn)換為兩連接墊53間的實際驅(qū)動電壓。如上所述，元件驅(qū)動要素61將延遲時鐘304所對應(yīng)的距離作為最小分辨率，并能夠基于移動延遲數(shù)數(shù)據(jù)302使光調(diào)制元件461的動作位置從基礎(chǔ)時鐘303所對應(yīng)的位置開始移動(調(diào)整)。此外，連接墊53間具有寄生電容(straycapacitance),連接墊53間的實際的驅(qū)動電壓(實際驅(qū)動電壓)隨著連接墊53間的時間常數(shù)(timeconstant)而變化，隨著時間而趨向目標(biāo)驅(qū)動電壓。圖7是表示調(diào)制器控制部60的結(jié)構(gòu)的框圖。調(diào)制器控制部60除了具有上述的元件驅(qū)動要素61之外，還具有主運算部62，其具有進(jìn)行各種運算的CPU和存儲各種信息的存儲器；FPGA(FieldProgrammableGateArray:現(xiàn)場可編程門陣列)控制要素(controldement)63(圖7中虛線的框所示)，其是可編程的電子電路。實際上，在調(diào)制器控制部60中，對于各光調(diào)制元件461設(shè)有一個元件驅(qū)動要素61和一個FPGA控制要素63，但圖7中只圖示出與一個光調(diào)制元件461對應(yīng)的元件驅(qū)動要素61和FPGA控制要素63。主運算部62具有表生成部622，其生成在圖像記錄時使用的各種表；移動量超過檢測部621，其在后述生成表時檢測表的生成條件。在FPGA控制要素63中實現(xiàn)存儲器631、像素列加工部(pixellineprocessingpart)632和輸出數(shù)據(jù)生成部633的功能，其中，上述存儲器631存儲用于變更對象圖像(像素的加工)的像素加工表6311，上述像素列加工部632利用像素加工表6311來變更(alter)對象圖像的像素的像素值，上述輸出數(shù)據(jù)生成部633將變更后的圖像變換為元件驅(qū)動要素61用的數(shù)據(jù)格式。另外，各元件驅(qū)動要素61具有用于獲取移動延遲數(shù)數(shù)據(jù)302的修改移動量獲取部618、用于獲取驅(qū)動電壓數(shù)據(jù)301的驅(qū)動電壓獲取部619、存儲器617，對于每個光調(diào)制元件461準(zhǔn)備的后述的修改移動量表6171、對于全部光調(diào)制元件461通用的基準(zhǔn)位置(referenceposition)地址表6172、表示與描畫時的多個灰度的出射光量對應(yīng)的目標(biāo)驅(qū)動電壓的驅(qū)動電壓表6173從主運算部62輸入，并存儲至存儲器617中。在此，在圖像記錄裝置1的記錄對象即對象圖像中，在主掃描方向所對應(yīng)的列方向和副掃描方向所對應(yīng)的行方向上排列有多個像素，在后述的圖像記錄(圖案描畫)中，將排列在列方向上的多個像素作為像素列，各光調(diào)制元件461對一個像素列進(jìn)行描畫。另外，各像素列分別作為在列方向上連續(xù)并具有相同像素值的多個像素組的集合(即，各像素列分別由兩個以上像素的集合即多個像素組構(gòu)成)，在像素列中，相鄰的兩個像素組之間的位置作為表示從光調(diào)制元件461向照射區(qū)域進(jìn)行照射的輸出光量的遷移的變化點。在本實施方式中，對象圖像是1至4的4值的圖像，但是當(dāng)然也可以是具有5以上的灰度等級的圖像，或者是具有2或者3的灰度等級的圖像。向與各光調(diào)制元件461的元件驅(qū)動要素61連接的像素列加工部632，輸入與該光調(diào)制元件461對應(yīng)的像素列的數(shù)據(jù)(下面，稱為"像素列數(shù)據(jù)")691作為掃描寬度數(shù)據(jù)(runlengthdata)，如后述那樣利用像素加工表6311來加工像素列數(shù)據(jù)691。并且，在輸出數(shù)據(jù)生成部633中，加工后的像素列數(shù)據(jù)691被變換為元件驅(qū)動要素61用的數(shù)據(jù)格式，在每次產(chǎn)生基礎(chǔ)時鐘303時，被作為變換像素數(shù)據(jù)(convertedpixeldata)692而順次輸出至元件驅(qū)動要素61。在此，如表示基礎(chǔ)時鐘303的圖6的上段和表示一個像素列的像素的圖6的下段所示，在圖像記錄裝置1中，在相鄰的兩個基礎(chǔ)時鐘303間的期間(下面，稱為"基礎(chǔ)時鐘期間")內(nèi)，將對象圖像的各像素列上的兩個以上的像素71(在圖6的下段的例子中是4個像素71)作為描畫控制的對象。換言之，在基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)，將描畫控制的對象的像素的個數(shù)作為基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)，將在基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)來自光調(diào)制元件461的光的照射位置在主掃描方向上移動的設(shè)定距離，作為與基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)的像素71相當(dāng)?shù)木嚯x(在圖6的上段標(biāo)注附圖標(biāo)記W的箭頭所示的距離)。在以下的說明中，在圖6的上段和下段，在對象圖像的各像素71的前端所對應(yīng)的主掃描方向的位置(標(biāo)注附圖標(biāo)記A1的箭頭所示的位置)稱為該像素的"基準(zhǔn)位置"，將相鄰的兩個基準(zhǔn)位置間的距離(即，用設(shè)定距離除以基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)而得出的距離，能夠獲取描畫中的邏輯最小分辨率)稱為"基準(zhǔn)距離(referencedistance)"。在圖6的下段，用標(biāo)注附圖標(biāo)記T的箭頭表示基準(zhǔn)距離。另外，在圖像記錄裝置l中，在圖5所示的元件驅(qū)動要素61的結(jié)構(gòu)中，在基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)只輸出一次移動完畢時鐘305，因此，來自光調(diào)制元件461的輸出光量的遷移在基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)能夠?qū)崿F(xiàn)一次，響應(yīng)基礎(chǔ)時鐘303而輸出的變換像素數(shù)據(jù)692如圖8所示，表示在基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)的基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)的像素中，從之前(相鄰于(adjacent)前側(cè))的像素像素值發(fā)生改變(change)的像素的編號和該像素的像素值(下面，分別稱為"變化像素編號(changingpixelnumber)"禾口"變化后像素值(pixelvalueofchangingpixel)")。例如，基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)為4，如圖9的最下段所示，在某基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)的4個像素71(圖9的最下段粗線的矩形包圍的像素71)中，在第三個像素71與第四個像素71之間像素值從1變?yōu)?的情況下(在圖9的最下段，白色表示像素值為1的像素71，對于像素值為2的像素71標(biāo)注平行斜線。對于圖9中從下開始第二至5段以及圖14至圖16、圖18、圖19也同樣)，變化像素編號和變化后像素值分別為4和2，如圖9中從下開始第二段所示，在第二個像素71與第三個像素71之間像素值從1變?yōu)?的情況下，變化像素編號和變化后像素值分別為3和2,如圖9中從下開始第三段所示，在第一個像素71與第二個像素71之間像素值從1變?yōu)?的情況下，變化像素編號和變化后像素值都為2。另外，如圖9中從下開始第四段所示，在第一個像素71與之前(的基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)第四個像素71之間像素值從1變?yōu)?的情況下，變化像素編號和變化后像素值分別為1和2，如圖9中從下開始第5段(從上開始第二段)所示，在不存在像素值變化的像素71的情況下，變化像素編號為l，變化后像素值與之前的基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)的最后的像素的像素值相同。此外，變化像素編號能夠設(shè)定為以基準(zhǔn)距離T單位的邏輯坐標(biāo)值。圖10是表示基準(zhǔn)位置地址表6172的圖。在圖IO所示的基準(zhǔn)位置地址表6172中，將從產(chǎn)生了之前的基礎(chǔ)時鐘303的位置開始到分別相對于第一至第四個像素的基準(zhǔn)位置為止的主掃描方向的距離(下面，稱為"基準(zhǔn)位置地址")，表示為延遲時鐘304的累計數(shù)(參照圖9的最上段)。在圖10中，將第一至第四個像素的基準(zhǔn)位置地址分別記為"第一基準(zhǔn)位置地址"、"第二基準(zhǔn)位置地址"、"第三基準(zhǔn)位置地址"、"第四基準(zhǔn)位置地址"。圖11是表示修改移動量表6171的圖。修改移動量表6171是通過對后述的補(bǔ)正表進(jìn)行修改(modify)而生成的表，表示分別相對于多種兩個像素值的組合的移動量(對根據(jù)后述補(bǔ)正表導(dǎo)出的值進(jìn)行修改(變更)從而得出的值，下面成為"修改移動量")，實際上，用延遲時鐘304的累計數(shù)表示修改移動量。在圖11中，將與像素值M和像素值N的組合相對應(yīng)的修改移動量記為"像素值M—N變化時修改移動量(modifiedshiftamountinchangeofpixelvaluesM—N)"(其中，M、N為l至4)。此外，修改移動量比與相鄰的兩個基準(zhǔn)位置間的距離(即，基準(zhǔn)距離T)相當(dāng)?shù)睦塾嫈?shù)小。在圖7的修改移動量獲取部618中，利用從輸出數(shù)據(jù)生成部633輸入每個基礎(chǔ)時鐘303的變換像素數(shù)據(jù)692的變化像素編號，參照圖10的基準(zhǔn)位置地址表6172，從而確定一個基準(zhǔn)位置地址。另外，在修改移動量獲取部618中，存儲對在之前的基礎(chǔ)時鐘303輸入的變換像素數(shù)據(jù)692的變化后像素值，利用之前的變化后像素值和本次變化后像素值，參照圖11的修改移動量表6171，來確定一個修改移動量。然后，求出將所確定的基準(zhǔn)位置地址和修改移動量(如上述，兩者表示為延遲時鐘304的累計數(shù))相加所得的值來作為移動延遲數(shù)，將其輸入至圖5的移動部616的寄存器613來作為移動延遲數(shù)數(shù)據(jù)302。圖12是表示驅(qū)動電壓表6173的圖。驅(qū)動電壓表6173表示分別與多種像素值對應(yīng)的目標(biāo)驅(qū)動電壓，在圖7的驅(qū)動電壓獲取部619中，利用變換像素數(shù)據(jù)692的變化后像素值，參照驅(qū)動電壓表6173，來確定變化后像素值所對應(yīng)的驅(qū)動電壓。在圖12中，將變化后像素值1至4所對應(yīng)的驅(qū)動電壓分別記為"第一灰度驅(qū)動電壓(firstleveldrivingvoltage)"、"第二灰度驅(qū)動電壓"、"第三灰度驅(qū)動電壓"、"第四灰度驅(qū)動電壓"。所確定的驅(qū)動電壓被作為驅(qū)動電壓數(shù)據(jù)301而輸入至圖5的寄存器610。如上所述，在圖7的元件驅(qū)動要素61中，根據(jù)變換像素數(shù)據(jù)692來生成驅(qū)動電壓數(shù)據(jù)301和移動延遲數(shù)數(shù)據(jù)302，從而使來自光調(diào)制元件461的輸出光量遷移至變化后像素值所對應(yīng)的灰度，并且能夠移動(調(diào)整)其遷移位置。此外，像素加工表6311和修改移動量表6171在后面詳細(xì)敘述。接著，參照圖13，對圖像記錄裝置1在基板9上記錄圖像的動作進(jìn)行說明。在圖像記錄裝置l中，首先，由操作人員對各光調(diào)制元件461準(zhǔn)備補(bǔ)正表，將該表輸入至圖7的主運算部62(步驟Sll)。此外，在圖7中用標(biāo)注附圖標(biāo)記681的箭頭表示補(bǔ)正表。在此，所謂補(bǔ)正表所表示的移動量是，與各光調(diào)制元件461所對應(yīng)的像素列中的各變化點相關(guān)，為了對夾著該變化點的兩個像素組所對應(yīng)的基板9上的兩個區(qū)域(形成兩個像素組所對應(yīng)的圖案的兩個區(qū)域)間的邊界的主掃描方向的位置偏差(即，描畫偏差)進(jìn)行補(bǔ)正(correct)，使來自該光調(diào)制元件461的輸出光量的遷移位置移動的移動量。作為描畫偏差的原因，可以舉出以下等原因因夾著該變化點的兩個像素組的像素值的組合的不同，導(dǎo)致彎曲量變化時到達(dá)可撓帶461a狀態(tài)穩(wěn)定為止的時間存在差異；或者，該光調(diào)制元件461的照射區(qū)域的主掃描方向的長度及位置(照射位置)與其它光調(diào)制元件461之間存在差異。此外，例如通過以下方法來獲取補(bǔ)正表，艮P,在虛擬(dummy)基板上實際描畫在副掃描方向上延伸的圖案，或者，在載物臺31上設(shè)置光檢測部，測定來自全部的光調(diào)制元件461的光的照射區(qū)域的主掃描方向的長度及位置。在表1所示的補(bǔ)正表中，對于所關(guān)注的關(guān)注像素的相鄰于(adjacent)前側(cè)(之前)的像素的像素值和關(guān)注像素的像素值(表1中，分別記為"之前(相鄰于前側(cè))的像素值(adjacentpixelvalue)"和"當(dāng)前的像素值(presentpixelvalue)")的全部組合，設(shè)定"標(biāo)準(zhǔn)移動量(normalshiftamount)"、"線寬度補(bǔ)正移動量(linewidthcorrectionshiftamount)"和"位置補(bǔ)正移動量"。此外，在表l中，只示出了"之前的像素值"和"當(dāng)前的像素值"為1和1的組合、1和2的組合、2和1的組合、2和2的組合的情況，但實際上對于"之前的像素值"和"當(dāng)前的像素值"分別為3和4的組合，也可以設(shè)定"標(biāo)準(zhǔn)移動量"、"線寬度補(bǔ)正移動量"和"位置補(bǔ)正移動量"。<table>tableseeoriginaldocumentpage20</column></row><table>表l圖14是用于說明補(bǔ)正表中的標(biāo)準(zhǔn)移動量的圖。圖14的上段表示基礎(chǔ)時鐘303，中段表示目標(biāo)驅(qū)動電壓，下段表示像素列。在此，如圖14的上段和下段所示，基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)為4，圖14的上段與圖6的上段同樣地，用標(biāo)注附圖標(biāo)記T的箭頭表示設(shè)定距離W除以基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)所得的基準(zhǔn)距離。即使在不需要補(bǔ)正上述描畫偏差的情況下，標(biāo)準(zhǔn)移動量也用于使輸出光量的遷移位置從變化點所對應(yīng)的位置開始向照射位置的相對于基板9的相對移動方向的前側(cè)(向主掃描方向移動時的前側(cè)，圖14的右側(cè))移動。例如，在圖14的中段和下段所示的例子中，將對于光調(diào)制元件461的目標(biāo)驅(qū)動電壓從與像素值1對應(yīng)的第一灰度驅(qū)動電壓VI變更為與像素值2對應(yīng)的第二灰度驅(qū)動電壓V2的遷移位置，相對于從像素值l的白像素71向標(biāo)注平行斜線的像素值2的像素71變化的變化點的位置(即，像素值2的像素組的最初的像素71的基準(zhǔn)位置Ala)，移動標(biāo)準(zhǔn)移動量，即移動基準(zhǔn)距離T的1/2。如上述，雖然對于全部光調(diào)制元件461分別單獨地準(zhǔn)備補(bǔ)正表，但在全部補(bǔ)正表的全部像素值的組合中標(biāo)準(zhǔn)移動量相等。圖15是用于說明補(bǔ)正表中的線寬度補(bǔ)正移動量的圖。線寬度補(bǔ)正移動量用于對依賴于相鄰兩個像素組的像素值組合的描畫偏差進(jìn)行補(bǔ)正，例如，在變化點上，像素值從1變?yōu)?時，通過參照表1來確定以下值，即，確定表示使來自光調(diào)制元件461的輸出光量的遷移位置(例如，依賴于輸出光量增強(qiáng)的時間的位置)向照射位置的相對移動方向的前側(cè)移動基準(zhǔn)距離T的1/3的值(+(1/3)T)，由此，在基板9上對像素值1的像素組所對應(yīng)的區(qū)域與像素值2的像素組所對應(yīng)的區(qū)域的邊界位置的偏差進(jìn)行補(bǔ)正(即，補(bǔ)正像素組的描畫偏差)。另外，在變化點上，像素值從2變?yōu)?時，通過參照表1來確定以下值，即，確定表示使來自光調(diào)制元件461的輸出光量的遷移位置(例如，依賴于輸出光量減弱的時間的位置)向照射位置的相對移動方向的后側(cè)移動基準(zhǔn)距離T的1/3的值(-(1/3)T)，由此，在基板9上對像素值2的像素組所對應(yīng)的區(qū)域與像素值1的像素組所對應(yīng)的區(qū)域的邊界位置的偏差進(jìn)行補(bǔ)正。在圖15中從上開始第二段，對于圖14的中段中的目標(biāo)驅(qū)動電壓的變化(在圖15中從上開始第三段也用虛線表示相同的情況。后述的圖16中從上開始第四段也同樣)進(jìn)一步追加示出根據(jù)表1的線寬度補(bǔ)正移動量進(jìn)行的移動的狀況。在此，如圖15的最下段所示，相鄰的3個像素組的像素值按1、2、1的順序變化，中央的像素值2的像素組的像素數(shù)為5，因此，在圖15中從上開始第二段，光調(diào)制元件461的目標(biāo)驅(qū)動電壓被置為第二灰度驅(qū)動電壓V2的距離比與5個像素相當(dāng)?shù)木嚯x(基準(zhǔn)距離T的5倍)短了基準(zhǔn)距離T的2/3，由此，補(bǔ)正了像素值2的像素組所對應(yīng)的基板9上的區(qū)域的主掃描方向的寬度。這樣，補(bǔ)正表中的線寬度補(bǔ)正移動量實質(zhì)上對各像素值的像素組所對應(yīng)的基板9上的區(qū)域的主掃描方向的寬度(線寬度)進(jìn)行補(bǔ)正。圖16是用于說明補(bǔ)正表中的位置補(bǔ)正移動量的圖。位置補(bǔ)正移動量用于對光調(diào)制元件461的照射位置與其它光調(diào)制元件461的偏差(主掃描方向的偏差)進(jìn)行補(bǔ)正。對各光調(diào)制元件461分別單獨地設(shè)定位置補(bǔ)正移動量，對于兩個像素的像素值的全部組合設(shè)定相同的值。例如，在圖15中從上開始第二段所示的例子中(在圖16中從上開始第三段也用單點劃線表示相同的情況)，如果進(jìn)一步追加根據(jù)表1的位置補(bǔ)正移動量(+(1/3)T)的移動，則在變化點上像素值從1變?yōu)?的情況和在變化點上像素值從2變?yōu)?的情況的任意一個中，也如圖16中從上開始第二段所示，來自光調(diào)制元件461的輸出光量的遷移位置進(jìn)一步向照射位置的相對移動方向的前側(cè)((+Y)偵O移動基準(zhǔn)距離T的1/3。此時，將光調(diào)制元件461的目標(biāo)驅(qū)動電壓從第一灰度驅(qū)動電壓VI變?yōu)榈诙叶闰?qū)動電壓V2的位置(即，輸出光量的遷移位置)，相對于圖16的最下段所示的像素列中的從像素值1的像素71變?yōu)橄袼刂?的像素71的變化點的位置(像素71a的基準(zhǔn)位置Ala)，移動了比基準(zhǔn)距離T大并且在基準(zhǔn)距離T的2倍以下的距離，來自光調(diào)制元件461的輸出光量的遷移位置的移動量超過了與一個像素相當(dāng)?shù)木嚯x。由此，輸出光量相對于變化點的遷移時機(jī)被包含在該變化點所屬的基礎(chǔ)時鐘期間的下一個基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)，其中，上述變化點是指從像素值1的像素71向像素值2的像素71進(jìn)行變化的變化點(基準(zhǔn)位置Ala)。如上所述，在每次輸入基礎(chǔ)時鐘303時圖5的計數(shù)器614中的延遲時鐘304的累計數(shù)被復(fù)位，因此，在圖1的圖像記錄裝置1中，無法基于圖16的最下段所示的像素列來進(jìn)行像圖16中從上開始第二段所示那樣的目標(biāo)驅(qū)動電壓的變更。因此，如下述的詳細(xì)說明，在圖像記錄裝置1中進(jìn)行這樣的處理在圖16的最下段，將粗線的矩形包圍的像素71a的像素值變更為0，使得從像素值1變?yōu)橄袼刂?的變化點移動(延遲)一個像素的距離，并且求出對移動后的變化點進(jìn)行了修改的移動量。如果在圖像記錄裝置1中準(zhǔn)備了補(bǔ)正表，則由圖7的主運算部62決定要在圖像記錄動作中釆用的基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)(或者設(shè)定距離)(步驟S12)，將該基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)輸入至輸出數(shù)據(jù)生成部633，并且將與該基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)對應(yīng)的基準(zhǔn)位置地址表6172輸入至元件驅(qū)動要素61。實際上，步驟S12的處理確認(rèn)是否變更預(yù)先對圖像記錄裝置1設(shè)定的基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)(下面稱為"初始基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)")，在確認(rèn)為變更的情況下，步驟S12的處理是決定實際使用的基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)的處理，在此，將初始基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)設(shè)定為5，通過規(guī)定處理變更為4。步驟S12的處理的在后面詳細(xì)敘述。接著，在主運算部62中，進(jìn)行生成像素加工表6311和修改移動量表6171的處理。首先，在圖7的移動量超過檢測部621中，在表l的兩個像素值的各組合中，將標(biāo)準(zhǔn)移動量、線寬度補(bǔ)正移動量和位置補(bǔ)正移動量相加，從而如表2所示，求出合計移動量(步驟S13)。<table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>表2接著，確認(rèn)在不同的兩個像素值的全部組合(在表2中，像素值l與像素值2的組合以及像素值2與像素值1的組合)中是否存在合計移動量超過與一個像素相當(dāng)?shù)幕鶞?zhǔn)距離T的組合。在此，在之前的像素值和當(dāng)前的像素值分別為1和2的組合中，確認(rèn)合計移動量是基準(zhǔn)距離T的(+7/6)倍，比基準(zhǔn)距離T的1倍大并且在2倍以下。并且，在表生成部622中，在之前的像素值和當(dāng)前的像素值分別為1和2的組合中，將"像素加工數(shù)(numberofprocessedpixel)"置為(+1)，在其它組合中將"像素加工數(shù)"置為0，從而生成表3所示的像素加工表6311。<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>表3像素加工數(shù)表示相鄰的兩個像素組之間的變化點的移動量，在表3的像素加工表6311中，對于從像素值1變?yōu)橄袼刂?的變化點，像素加工數(shù)為(+1)，因此指示加工像素列以使該變化點延遲一個像素，對于其它像素值的組合，像素加工數(shù)為0，因此指示不加工像素。像素加工表6311被輸入并存儲在圖7的FPGA控制要素的存儲器631中(步驟S14)。此外，在合計移動量比基準(zhǔn)距離T的a倍(其中，a是l以上的整數(shù))大并且在(a+l)倍以下的情況下，像素加工數(shù)為a。在表生成部622中，在合計移動量比基準(zhǔn)距離T大并且像素加工數(shù)是0以外的像素值的組合中，求出所對應(yīng)的像素加工數(shù)乘以基準(zhǔn)距離T的值，然后求出從合計移動量中減去該值后的值(即，用表示為基準(zhǔn)距離T的p倍的合計移動量中的|3的小數(shù)部分乘以基準(zhǔn)距離T而得的值)來作為修改移動量。另外，對于合計移動值比基準(zhǔn)距離T小的像素值的組合，直接將合計移動量作為修改移動量。因此，在表2的例子中，在之前(相鄰于前側(cè))的移動量和當(dāng)前的像素值分別為1和2的組合中，修改移動量是基準(zhǔn)距離T的(+l/6);對于其它像素值的組合，直接將合計移動量作為修改移動量，從而生成表4所示的修改移動量表6171。修改移動量表6171被輸入存儲在圖7的元件驅(qū)動要素61的存儲器617中(步驟S15)。此外，在相同的兩個像素值的組合中，在存在合計移動量超過基準(zhǔn)距離T的組合的情況下，將表示為基準(zhǔn)距離T的卩倍的合計移動量的p的小數(shù)部分乘以基準(zhǔn)距離T而得的值作為修改移動量。另外，實際上，修改移動量被變更為與特定移動量的整數(shù)倍相近的值，其中，上述特定移動量是與延遲時鐘304的分辨率相當(dāng)?shù)囊苿恿浚缟纤?，能夠利用元件?qū)動要素61來賦予延遲時鐘304的累計數(shù)即移動延遲數(shù)。<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>表4如上述，如果準(zhǔn)備了像素加工表6311和修改移動表6171，則開始以規(guī)定速度向基板9的主掃描方向移動(步驟S16)，并且將控制部6所具有的省略圖示的圖像存儲器所存儲的對象圖像數(shù)據(jù)輸入至調(diào)制器控制部60。如上所述，在調(diào)制器控制部60中，輸入與各像素列加工部632對應(yīng)的像素列數(shù)據(jù)691。在像素列加工部632中，如圖16的最下段所示，在相鄰的三個像素組的像素值分別為1、2、1的情況下，通過參照表3的像素加工表6311求得對于變化點的像素加工數(shù)為(+1)，其中，該變化點是最初的(圖16左側(cè)的)像素值1的白像素組和像素值2的標(biāo)注平行斜線的像素組之間的變化點，像素值2的像素組的最初的像素71a的像素值變?yōu)?，從而變化點移動(延遲)。另外，求得對于像素值2的像素組與下一個(圖16的右側(cè)的)像素值1的像素組之間的變化點的像素加工數(shù)為0，不移動變化點。此外，如表3所示，在具有相同像素值的像素71之間，像素加工數(shù)為O，不加工像素，因此，像素加工數(shù)只對變化點有影響。實際上，在像素列加工部632中，如圖17所示，在作為掃描寬度數(shù)據(jù)而輸入的像素列的數(shù)據(jù)中，通過改變掃描寬度的長度來移動變化點。在圖17中，用矩形表示一個掃描寬度(標(biāo)注附圖標(biāo)記690a、690b、690C)。在圖17中，在關(guān)注記為"DATA(n)"的掃描寬度690b與相鄰于后側(cè)(之后)的記為"DATA(n+l)"的掃描寬度690c之間的位置即變化點(下面，稱為"關(guān)注變化點")的情況下，首先，利用掃描寬度690b的像素值和之后的掃描寬度690c的像素值，參照像素加工表6311，求出對于關(guān)注變化點的像素加工數(shù)。在像素列加工部632中預(yù)先存儲表5所示的像素列數(shù)據(jù)691的修改條件，例如，在對于掃描寬度690b之前(相鄰于前側(cè))的記為"DATA(n-l)"的掃描寬度690a與掃描寬度690b之間的變化點求出的像素加工數(shù)(表5中記為"對于DATA(n-1)的像素加工數(shù)")為0，對于關(guān)注變化點求出的像素加工數(shù)(表5中記為"對于DATA(n)的像素加工數(shù)")也為0的情況下，將掃描寬度690b的長度的變更量(表5中記為"對于DATA(n)的實際加工")置為O。對<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>表5如表5所示，在對于掃描寬度690a和掃描寬度690b之間的變化點求出的像素加工數(shù)為0，對于關(guān)注變化點求出的像素加工數(shù)為(+1)的情況下，掃描寬度690b的長度的變更量為(+1)(即，掃描寬度690b伸長了，伸長的量為一個像素的長度)。另外，在對于掃描寬度690a和掃描寬度690b之間的變化點求出的像素加工數(shù)為(+1)，對于關(guān)注變化點求出的像素加工數(shù)為0的情況下，掃描寬度690a伸長了(+1)，從而關(guān)注變化點延遲一個像素，因此，掃描寬度690b的長度的變更量為(-1)(即，掃描寬度6卯b縮短了，縮短的量是一個像素的長度)。進(jìn)一步，在對于掃描寬度690a和掃描寬度690b之間的變化點求出的像素加工數(shù)為(+1)，對于關(guān)注變化點求出的像素加工數(shù)為(+1)的情況下，掃描寬度690a伸長了(+1)，由于關(guān)注變化點已延遲一個像素，因此，掃描寬度690b的長度的變更量為0。在圖16的最下段所示的例子中，在相鄰的3個像素組中的中央的像素組的像素數(shù)(掃描寬度的長度)為5的情況下，對于最初的(圖16的左側(cè)的)像素值1的白像素組與像素值2的標(biāo)注平行斜線像素組之間的變化點的像素加工數(shù)為(+1)，對于像素值2的像素組與下一個(圖16的右側(cè)的)像素值1的像素組之間的變化點的像素加工數(shù)為0，由此，像素值2的像素組的像素數(shù)(掃描寬度的長度)的變更量為(-1)，像素值2的像素組的像素數(shù)變更為4。如上所述，在圖像記錄裝置l中，將對象圖像數(shù)據(jù)作為掃描寬度數(shù)據(jù)而輸入至像素列加工部632，在移動各變化點時，通過改變掃描寬度數(shù)據(jù)的掃描寬度的長度，從而容易地移動變化點，來加工像素列數(shù)據(jù)691(步驟S17)。根據(jù)像素列加工部632的設(shè)計，對象圖像的數(shù)據(jù)也可以表現(xiàn)為掃描寬度數(shù)據(jù)以外的形式。與像素列加工部632中的像素列數(shù)據(jù)的加工同步，加工后的像素列數(shù)據(jù)(的部分)在輸出數(shù)據(jù)生成部633中被解碼(復(fù)號化decode)，從而被分成每個基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)，進(jìn)而如上述那樣生成變換像素數(shù)據(jù)692，其中，該變換像素數(shù)據(jù)692表示，在基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)的像素中從之前的像素開始像素值發(fā)生變化的像素的編號和該像素的像素值(即，變化像素編號和變化后像素值)。例如，在圖16的最下段，通過像素列加工部632的處理使像素71a的像素值變?yōu)?(成為白像素)，由于基礎(chǔ)時鐘303a、303b間的4個像素71間不存在變化點，因此在響應(yīng)基礎(chǔ)時鐘303a進(jìn)行描畫時參照的變換像素數(shù)據(jù)692的變化像素編號和變化后像素值都被置為1(如上述，在不存在變化點的情況下，變化像素編號也為1,變化后像素值與之前的基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)的最后的像素的像素值相同)。另外，由于基礎(chǔ)時鐘303b、303c間的4個像素71中最初的像素(最初的基準(zhǔn)位置)中不存在從像素值1向像素值2變化的變化點，因此，響應(yīng)基礎(chǔ)時鐘303b進(jìn)行描畫時參照的變換像素數(shù)據(jù)692的變化像素編號和變化后像素值分別被置為1和2;由于基礎(chǔ)時鐘303c、303d間的4個像素71中最初的像素(最初的基準(zhǔn)位置)中存在從像素值2變?yōu)橄袼刂?的變化點，因此，響應(yīng)基礎(chǔ)時鐘303c進(jìn)行描畫時參照的變換像素數(shù)據(jù)692的變化像素編號和變化后像素值都被置為1。然后，根據(jù)基板9每移動與基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)相當(dāng)?shù)脑O(shè)定距離而產(chǎn)生的基礎(chǔ)時鐘303，將變換像素數(shù)據(jù)692輸出至元件驅(qū)動要素61(步驟S18)。在元件驅(qū)動要素61中，根據(jù)變換像素數(shù)據(jù)692生成驅(qū)動電壓數(shù)據(jù)301和移動延遲數(shù)數(shù)據(jù)302(步驟S18a)，通過控制光調(diào)制元件461，在使來自光調(diào)制元件461的輸出光量的遷移位置移動的同時，在基板9上描畫圖案(步驟S19)。此時，在進(jìn)行圖16的最上段的與基礎(chǔ)時鐘303b對應(yīng)的描畫時，基于變化像素編號和變化后像素值分別置為1和2的變換像素數(shù)據(jù)692，確定第一個像素所對應(yīng)的基準(zhǔn)位置地址(在此為0)，并且，利用之前的變化后像素值和本次的變化后像素值，確定修改移動量為(+(1/6)T)。由此，求出與距離(+(1/6)T)相當(dāng)?shù)睦塾嫈?shù)作為移動延遲數(shù)數(shù)據(jù)302，從而實現(xiàn)圖16中從上開始第二段所示那樣的目標(biāo)驅(qū)動電壓的變更。此外，基于變換像素數(shù)據(jù)692的變化后像素值，將變更后的目標(biāo)驅(qū)動電壓置為第二灰度驅(qū)動電壓V2。實際上，一直重復(fù)步驟S18中的生成變換像素數(shù)據(jù)692的處理、向元件驅(qū)動要素61輸入變換像素數(shù)據(jù)692的處理以及步驟S18a、S19中的基于變換像素數(shù)據(jù)692描畫圖案的處理，直到表示對象圖像的整個圖像被記錄在基板9上為止(步驟S20)。如果整個對象圖像已被記錄，則使基板9停止在主掃描方向上的移動，在基板9上記錄圖像的動作結(jié)束(步驟S21)。接著，對步驟S12中的決定基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)的處理進(jìn)行說明。圖18是表示基礎(chǔ)時鐘303和像素列的圖。圖18的上段表示基礎(chǔ)時鐘303，中段表示變化點的移動前的像素列，下段表示變化點的移動后的像素列(后述的圖19也同樣)。此外，在圖18的中段和下段中，用標(biāo)注附圖標(biāo)記A2的箭頭表示變化點的位置。如圖18的上段和中段所示，在將初始基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)設(shè)定為5的情況下，使得在各像素列中連續(xù)具有相同像素值的各像素組中的像素數(shù)為5以上(邏輯上最小線寬度可以取與5個像素相當(dāng)?shù)膶挾?從而生成對象圖像的數(shù)據(jù)，由此，在來自光調(diào)制元件461的輸出光量能夠在基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)遷移一次的圖像記錄裝置1中，能夠恰當(dāng)?shù)赜涗泩D像。此時，假設(shè)在圖13的步驟S17的像素列數(shù)據(jù)的加工中，進(jìn)行了使變化點延遲1個像素的處理，則如圖18的下段所示，生成像素數(shù)為4的像素組(標(biāo)注平行斜線像素71的集合)，在基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)存在兩個變化點。因此，在主運算部62中，首先，在表l的補(bǔ)正表中，從各像素值為之前的像素值的多個兩個像素值的組合中的線寬度補(bǔ)正移動量的最大值中，減去該像素值為當(dāng)前的像素值的多個組合中的線寬度補(bǔ)正移動量的最小值，從而求出最大細(xì)化量(最大細(xì)6廿量)，即，將其差值作為最大細(xì)化量。然后，從與初始基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)相當(dāng)?shù)木嚯x(即，初始基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)所對應(yīng)的設(shè)定距離)中減去對于全部像素值的最大細(xì)化量的最大值，將其差值(邏輯上可以取最小線寬度)除以基準(zhǔn)距離T所得的值的整數(shù)部，作為像素組最小寬度求出。在表1的例中，像素值1為之前的像素值的情況下，線寬度補(bǔ)正移動量的最大值被置為基準(zhǔn)距離T的(+1/3);在像素值1為當(dāng)前的像素值的情況下，線寬度補(bǔ)正移動量的最小值被置為基準(zhǔn)距離T的(-1/3);將從基準(zhǔn)距離T的(+1/3)減去基準(zhǔn)距離T的(-1/3)所得的差值(基準(zhǔn)距離T的(2/3))，置為最大細(xì)化量的對于全部像素值的最大值。并且，從與初始基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)相當(dāng)?shù)幕鶞?zhǔn)距離T的5倍減去最大細(xì)化量的最大值，進(jìn)一步用所得的差值(基準(zhǔn)距離T的(13/3)倍)除以基準(zhǔn)距離T，將所得的值的整數(shù)部4作為像素組最小寬度。并且，如圖19的上段所示，決定基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)為4，比初始基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)少。由此，在像素列數(shù)據(jù)的加工中，進(jìn)行使變化點延遲1個像素的處理，如圖19的下段所示，在生成像素數(shù)為4的像素組(標(biāo)注平行斜線像素71的集合)的情況下，也能夠防止在基礎(chǔ)時鐘期間存在兩個變化點。這樣，在主運算部62中，在加工后的像素列中，在分別在列方向上連續(xù)具有相同的像素值的多個像素組中，在像素數(shù)最少的最少像素組的像素數(shù)比初始基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)少的情況下，進(jìn)行使設(shè)定距離縮短為與最少像素組的像素數(shù)相當(dāng)?shù)木嚯x的處理。然后，如上所述，在輸出數(shù)據(jù)生成部633中使基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)為4從而生成變換像素數(shù)據(jù)692,由此，在基礎(chǔ)時鐘期間不存在兩個變化點，而能夠通過光調(diào)制元件461的調(diào)制進(jìn)行圖案描畫。如上述說明，在圖1的圖像記錄裝置1中，在補(bǔ)正表中對于兩個像素值的各組合求出合計移動量，實質(zhì)上，對于與各光調(diào)制元件461對應(yīng)的像素列的各變化點，為了補(bǔ)正像素組的描畫偏差而求出使來自光調(diào)制元件461的輸出光量的遷移位置移動的移動量(修改前的移動量)。接著，對于合計移動量比基準(zhǔn)距離T的1倍大的組合，將表現(xiàn)為基準(zhǔn)距離T的p倍的合計移動量中的卩的整數(shù)部作為像素加工數(shù)，將用小數(shù)部乘以基準(zhǔn)距離T所得的值作為修改移動量，從而生成像素加工表6311和修改移動量表6171。由此，在實際記錄圖像時，在相對于各變化點的上述移動量超過一個像素所對應(yīng)的基板9上的區(qū)域的主掃描方向的寬度的情況下，變更對象圖像的像素的像素值，以使變化點在列方向上移動特定的像素數(shù)，其中，所述特定的像素數(shù)是將該移動量除以該寬度而求出的商值的整數(shù)部分的值，并且將該變化點所對應(yīng)的移動量修改為與上述商值的小數(shù)部相當(dāng)?shù)闹怠２⑶?，與主掃描機(jī)構(gòu)25同步，基于變更后的對象圖像和修改后的移動量來控制空間光調(diào)制器46，由此在基板9上記錄圖像時，能夠?qū)崿F(xiàn)這樣高精度的記錄，即，使來自光調(diào)制元件461的輸出光量的遷移位置移動超過與1個像素相當(dāng)?shù)木嚯x而高精度地記錄圖像。另外，圖像記錄裝置l中，與全部光調(diào)制元件461對應(yīng)地預(yù)先準(zhǔn)備多個補(bǔ)正表，所述多個補(bǔ)正表表示分別與多種兩個像素值的組合相對應(yīng)的移動前的變化點的移動量，主運算部62根據(jù)多個補(bǔ)正表生成多個像素加工表6311和多個修改移動量表6171，其中，所述多個像素加工表6311表示與兩個像素值的各組合相對應(yīng)的變化點的移動量，所述多個修改移動量表6171表示相對于兩個像素值的各組合修改了補(bǔ)正表的值的移動量(修改移動量)。并且，在像素列加工部632中，利用像素列的各變化點的兩個像素值的組合，參照所對應(yīng)的像素加工表6311，從而取得該變化點的移動量并進(jìn)行使變化點在列方向移動的處理；在修改移動量獲取部618中，利用像素列的各變化點的兩個像素值的組合，參照所對應(yīng)的修改移動量表6171，從而進(jìn)行取得該變化點的修改移動量的處理。由此，在圖像記錄裝置l中，在基板9上記錄圖像時，能夠容易地實現(xiàn)超過與1個像素相當(dāng)?shù)木嚯x的遷移位置的移動。在此，在RIP(RasterImageProcessor:光柵圖像處理器)中生成對象圖像的數(shù)據(jù)時，雖然也考慮到基于補(bǔ)正表預(yù)先生成移動了變化點的圖像數(shù)據(jù)，但在此時，如果改變補(bǔ)正表的內(nèi)容，則需要再次重新制作圖像數(shù)據(jù)，導(dǎo)致圖像記錄的處理所需的時間變長。與此相對，在圖像記錄裝置l中，在變更了補(bǔ)正表的內(nèi)容的情況下，如上所述，由于只要更新(修改)像素加工表6311和修改移動量表6171即可，因此能夠縮短圖像記錄處理所需的時間。如上所述，在圖像記錄裝置1中，分別對多個(全部)光調(diào)制元件461中的每一個光調(diào)制元件461設(shè)定一個元件驅(qū)動要素61和一個FPGA控制要素63，因此，在本實施方式中，將多個FPGA控制要素63中的存儲器631的集合設(shè)為第一表存儲部，該第一表存儲部存儲分別與多個光調(diào)制元件461對應(yīng)的多個像素加工表6311，將多個元件驅(qū)動要素61中的存儲器617的集合設(shè)為第二表存儲部，該第二表存儲部存儲分別與多個光調(diào)制元件461對應(yīng)的多個修改移動量表6171。另外，將多個FPGA控制要素63中的像素列加工部632的集合設(shè)為圖像變更部，該圖像變更部獲取各變化點的移動量并使該變化點在列方向上移動，將多個元件驅(qū)動要素61中的修改移動量獲取部618的集合設(shè)為移動量獲取部，該移動量獲取部獲取相對于各變化點的修改后的移動量。圖20是表示本發(fā)明的第二實施方式的圖像記錄裝置la的結(jié)構(gòu)的圖。圖像記錄裝置la具有出射圖像記錄用的光的一個光頭41a和作為保持部的保持鼓70，該保持鼓7在其外側(cè)面上保持用于記錄圖像的記錄介質(zhì)9a。光頭41a向記錄介質(zhì)9a照射光(曝光)而進(jìn)行描畫，從而記錄圖像。作為記錄介質(zhì)9a，例如可以使用印刷版(lithographicplate)、印刷版形成用的膠片等。此外，可以使用無版印刷用的感光鼓作為保持鼓70，此時，記錄介質(zhì)9a相當(dāng)于感光鼓的表面，保持鼓70—體地保持記錄介質(zhì)9a。馬達(dá)81使保持鼓70以圓筒面的中心軸為中心旋轉(zhuǎn)，由此，光頭41a相對于記錄介質(zhì)9a在主掃描方向(與來自后述多個光調(diào)制元件的光照射的位置的排列方向相垂直的方向)上以規(guī)定的速度相對移動。另外，馬達(dá)82和滾珠螺桿(ballscrew)83使光頭41a能夠在與保持鼓70的旋轉(zhuǎn)軸平行的(與主掃描方向垂直的)副掃描方向上移動，通過譯碼器(encoder)(省略圖示)檢測光頭41a的位置。這樣，通過含有馬達(dá)81、82以及滾珠螺桿83的移動機(jī)構(gòu)，使保持鼓70的外側(cè)面和記錄介質(zhì)9a相對于具有空間光調(diào)制器的光頭41a，以規(guī)定的速度在主掃描方向上相對移動，并且也在與主掃描方向交叉的副掃描方向上相對移動。馬達(dá)81、82和譯碼器連接至控制部6a，控制部6a控制馬達(dá)81、82并且控制從光頭41a內(nèi)的空間光調(diào)制器出射信號光，從而利用光在保持鼓70上的記錄介質(zhì)9a上記錄圖像。圖21是概略表示光頭41a的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖。在光頭41a內(nèi)配置有光源43a和空間光調(diào)制器46，其中，該光源43a是在一列上具有多個發(fā)光點的條型(bartype)的半導(dǎo)體激光器，該空間光調(diào)制器46具有排成一列的衍射光柵型的多個光調(diào)制元件，來自光源43a的光經(jīng)過透鏡471(實際上由聚光透鏡、柱面透鏡(cylindricallens)等構(gòu)成)和棱鏡472，被導(dǎo)向空間光調(diào)制器46。此時，來自光源43a的光為線狀光(光束剖面為線狀的光)，照射在排列為線狀的多個光調(diào)制元件上。與上述第一實施方式同樣結(jié)構(gòu)的控制部6a的調(diào)制器控制部60(圖20參照)控制空間光調(diào)制器46的各光調(diào)制元件。此外，在圖21中，用框表示調(diào)制器控制部60的元件驅(qū)動要素61。從光調(diào)制元件出射的0次光返回至棱鏡472，1次衍射光被導(dǎo)向與棱鏡472不同的方向。此外，為了防止變?yōu)殡s散光，利用省略圖示的遮光部來遮擋1次衍射光。來自各光調(diào)制元件的0次光被棱鏡472反射，并經(jīng)由變焦透鏡473而被導(dǎo)向光頭41a外的記錄介質(zhì)9a，在記錄介質(zhì)9a上形成多個光調(diào)制元件的像，并且這些像排列在副掃描方向上。變焦透鏡473可通過變焦透鏡驅(qū)動馬達(dá)474來改變倍率，由此變更所記錄的圖像的解像度。在圖20的圖像記錄裝置la中，通過與圖1的圖像記錄裝置1同樣的動作，在記錄介質(zhì)9a上記錄圖像。對于與各光調(diào)制元件所對應(yīng)的像素列的各變化點，為了補(bǔ)正像素組的描畫偏差而求出使來自光調(diào)制元件的輸出光量的遷移位置移動的移動量。在該移動量超過一個像素所對應(yīng)的記錄介質(zhì)9a上的區(qū)域的主掃描方向的寬度的情況下，變更對象圖像的像素的像素值，以使該變化點移動特定的像素數(shù)，其中，所述特定的像素數(shù)是將該移動量除以該寬度而求出的商值的整數(shù)部分的值，并且將該變化點所對應(yīng)的移動量修改為與上述商值的小數(shù)部相當(dāng)?shù)闹?。并且，在移動記錄介質(zhì)9a上的照射位置的同時，基于變更后的對象圖像和修改后的移動量來控制空間光調(diào)制器46，由此在記錄介質(zhì)9a上記錄圖像時，能夠?qū)崿F(xiàn)這樣高精度的記錄，即，使來自光調(diào)制元件的輸出光量的遷移位置移動超過與1個像素相當(dāng)?shù)木嚯x而高精度地記錄圖像。以上，對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限于上述實施方式，可以有各種變形。在圖15的例子中，敘述了將光調(diào)制元件461中目標(biāo)驅(qū)動電壓置為與像素值2對應(yīng)的第二灰度驅(qū)動電壓V2的距離縮短的例子(參照圖22中從上開始第四段)，但也可以如圖22中從上開始第三段所示的這樣決定補(bǔ)正表中的線寬度補(bǔ)正移動量，使得目標(biāo)驅(qū)動電壓被置為第二灰度驅(qū)動電壓V2的距離伸長。另外，在圖像記錄裝置l、la中，除了使光調(diào)制元件461的遷移位置向照射位置的行進(jìn)方向的前側(cè)移動以外(參照圖22中從上開始第5段)，還可以如圖22的最下段所示，使其向照射位置的行進(jìn)方向的后側(cè)移動。在這種情況下，將不補(bǔ)正描畫偏差時的移動量即標(biāo)準(zhǔn)移動量設(shè)為基準(zhǔn)距離T的1/2,將從一個像素所對應(yīng)的基板9或記錄介質(zhì)9a上的區(qū)域的主掃描方向的寬度的一半開始增減了基于像素組的描畫偏差的距離(在上述實施方式中，線寬度補(bǔ)正移動量和位置補(bǔ)正移動量)后所得的值，作為(與像素的加工相伴的)修改前的移動量，從而能夠容易地使光調(diào)制元件461的輸出光量的遷移位置在主掃描方向的兩側(cè)移動，其結(jié)果，能夠高精度地記錄圖像。在圖像記錄裝置l、la中，假設(shè)初始基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)為1，則在圖13的步驟S12的處理中無法將基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)決定為比初始基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)少的數(shù)，從而能夠防止在基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)存在多個變化點。因此，在圖像記錄裝置l、la中，如圖23的中段和下段所示，需要使初始基礎(chǔ)時鐘間像素數(shù)為4或2，即，2以上。在上述第一和第二實施方式中，利用像素加工表6311和修改移動量表6171，能夠?qū)崿F(xiàn)容易地使遷移位置移動超過與1個像素相當(dāng)?shù)木嚯x，但是在各變化點的移動量超過與1個像素相當(dāng)?shù)木嚯x的情況下，也可以改變對象圖像的像素的像素值，以使該變化點移動特定的像素數(shù)，其中，所述特定的像素數(shù)是將該移動量除以該距離而求出的商值的整數(shù)部分的值，并且將該變化點所對應(yīng)的移動量修改為與上述商值的小數(shù)部相當(dāng)?shù)闹?，這樣一來，可以不使用像素加工表6311和修改移動量表6171而進(jìn)行圖像記錄。在圖1和圖20的圖像記錄裝置1、la中，設(shè)置有具有多個光調(diào)制元件461的空間光調(diào)制器46，通過多個光調(diào)制元件461對包含在對象圖像中的互不相同的多個像素列進(jìn)行描畫，由此高速記錄圖像，但也可以根據(jù)圖像記錄裝置的設(shè)計的不同而使用具有一個光調(diào)制元件的光調(diào)制器。此時，將一個像素列加工部632和一個修改移動量獲取部618分別設(shè)為圖像變更部和移動量獲取部，利用相同的像素加工表6311和修改移動量表6171來進(jìn)行與多個像素列對應(yīng)的描畫，其中，該圖像變更部用于獲取各變化點的移動量并使該變化點在列方向上移動，該移動量獲取部用于獲取對于各變化點的修改后的移在圖像記錄裝置l、la中，描畫中的信號光不一定必須為O次光，也可以將l次衍射光作為信號光。另外，未彎曲的狀態(tài)的可撓帶461a和固定帶461b的相對的位置關(guān)系與上述實施方式不同，可以使用在可撓帶461a彎曲的狀態(tài)下出射0次光的光調(diào)制元件461。在這些情況下，也能夠通過移動光調(diào)制元件461的動作時機(jī)來實現(xiàn)恰當(dāng)?shù)膱D像記錄。如果能夠?qū)⒖蓳蠋?61a和固定帶461b做成為帶狀的反射面，則不必是嚴(yán)格意義上的帶形狀。例如，框形狀的上表面也可以發(fā)揮固定帶的反射面的功能。光調(diào)制元件461并不限于衍射光柵型，例如可以是液晶光閥(liquid-crystalshutter)等。并且，光調(diào)制元件461也不僅限于反射光的元件，例如激光器陣列可以發(fā)揮光調(diào)制元件461的功能。在這些情況下，也能夠通過補(bǔ)正各元件中的描畫偏差來實現(xiàn)恰當(dāng)?shù)膱D像記錄。另外，也可以采用二維空間光調(diào)制器，此時，對于光調(diào)制元件461的各一維排列，適用對于上述實施方式中的多個光調(diào)制元件461的補(bǔ)正。在圖1和圖20的圖像記錄裝置1、la中，通過主運算部62、多個FPGA控制要素63和多個元件驅(qū)動要素61來實現(xiàn)運算部，但在不需要高速記錄圖像的情況下，可以只通過主運算部62的運算(軟件性)來實現(xiàn)運算部的功能，其中，上述運算部用于對合計移動量超過與1個像素相當(dāng)?shù)木嚯x的變化點進(jìn)行檢測，并在使該變化點移動的同時修改移動量。另外，在圖像記錄裝置l、la中，基板9和記錄介質(zhì)9a在主掃描方向上的移動速度大致恒定，因此，上述說明的距離(或者位置)的概念也可以取時間(或者時刻)。此時，在運算部的處理中，對于與各光調(diào)制元件對應(yīng)的像素列的各變化點，為了補(bǔ)正像素組的描畫偏差，求出使來自光調(diào)制元件的輸出光量的遷移時機(jī)移動的移動時間，在該移動時間超過照射位置移動一個像素的列方向的寬度所需的時間的情況下，求出該移動時間除以像素的列方向的寬度所對應(yīng)的時間而得到的商值的整數(shù)部分和小數(shù)部分，變更對象圖像的像素的像素值，以使該變化點移動上述商值的整數(shù)部分的像素數(shù)，并且將該變化點所對應(yīng)的移動時間修改為與上述商值的小數(shù)部相當(dāng)?shù)闹?。并且，基于變更后的對象圖像和修改后的移動時間來控制空間光調(diào)制器，在記錄圖像時，能夠?qū)崿F(xiàn)使來自光調(diào)制元件的輸出光量的遷移時機(jī)超過與1個像素相當(dāng)?shù)臅r間，從而能夠高精度地記錄圖像。只要能夠使基板9和記錄介質(zhì)9a相對于光頭41、41a進(jìn)行相對移動，也可以使用其它方法使其移動。另外，用于保持圖像的信息的記錄介質(zhì)可以是印刷布線基板或半導(dǎo)體基板等涂敷了感光性材料的材料，或是具有感光性的其它材料，也可以是因光照射而對熱起反應(yīng)的材料。雖然詳細(xì)說明了發(fā)明，但上述說明只是例示，不用于限定。因此，在不脫離本發(fā)明的范圍的情況，可以有多種變形及方式。權(quán)利要求1.一種圖像記錄裝置，通過照射光來在記錄介質(zhì)上記錄圖像，其特征在于，具有光調(diào)制器，其具有光調(diào)制元件，保持部，其保持記錄介質(zhì)，其中，該記錄介質(zhì)用于通過來自上述光調(diào)制器的信號光來記錄圖像，移動機(jī)構(gòu)，其使上述保持部相對于上述光調(diào)制器進(jìn)行相對移動，從而使照射位置在掃描方向上連續(xù)移動，上述照射位置是來自上述光調(diào)制元件的光照射在記錄介質(zhì)上的照射位置，運算部，其用于進(jìn)行以下處理，即，在向記錄介質(zhì)記錄的記錄對象即對象圖像中，在與上述掃描方向?qū)?yīng)的列方向上排列有多個像素的各像素列分別是在上述列方向上連續(xù)并具有相同像素值的多個像素組的集合，與位于上述各像素列中相鄰的兩個像素組之間的各變化點相關(guān)地，為了補(bǔ)正像素組的描畫偏差，求出使來自上述光調(diào)制元件的輸出光量的遷移位置移動的移動量，在上述移動量超過與一個像素對應(yīng)的記錄介質(zhì)上的區(qū)域的上述掃描方向的寬度的情況下，用上述移動量除以上述寬度而求出商值，變更上述對象圖像的像素的像素值，從而將上述各變化點在上述列方向上移動上述商值的整數(shù)部分的像素數(shù)，并且，將上述各變化點所對應(yīng)的上述移動量修改為與上述商值的小數(shù)部分相當(dāng)?shù)闹?，控制部，其與上述移動機(jī)構(gòu)同步地，基于變更后的上述對象圖像和修改后的上述移動量，控制上述光調(diào)制器。2.如權(quán)利要求l所述的圖像記錄裝置，其特征在于，上述光調(diào)制器具有多個光調(diào)制元件，上述多個光調(diào)制元件對包含在上述對象圖像中的互不相同的多個像素列進(jìn)行描畫。3.如權(quán)利要求1所述的圖像記錄裝置，其特征在于，在上述運算部中，針對上述各變化點，基于上述相鄰的兩個像素組的像素值的組合來求出修改前的上述移動量；上述運算部具有第一表存儲部，其存儲像素加工表，該像素加工表表示與多種兩個像素值的組合中的每一個組合相對應(yīng)的變化點的移動量，圖像變更部，其利用上述各像素列的各變化點中的兩個像素值的組合，參照上述像素加工表，從而獲取上述各變化點的移動量并使上述各變化點在上述列方向上移動，第二表存儲部，其存儲修改移動量表，該修改移動量表表示與上述多種兩個像素值的組合中的每一個組合相對應(yīng)的修改后的移動量，移動量獲取部，其利用上述各像素列的上述各變化點中的兩個像素值的組合，參照上述修改移動量表，從而獲取對應(yīng)于上述各變化點的上述修改后的移動量。4.如權(quán)利要求3所述的圖像記錄裝置，其特征在于，上述光調(diào)制器具有多個光調(diào)制元件，上述多個光調(diào)制元件對包含在上述對象圖像中的互不相同的多個像素列進(jìn)行描畫，分別與上述多個光調(diào)制元件對應(yīng)的多個像素加工表和多個修改移動量表被存儲在上述第一表存儲部和上述第二表存儲部中。5.如權(quán)利要求4所述的圖像記錄裝置，其特征在于，預(yù)先與上述多個光調(diào)制元件對應(yīng)地準(zhǔn)備多個補(bǔ)正表，上述多個補(bǔ)正表分別對于上述多種兩個像素值的組合中的每一個組合，表示移動前的變化點的移動量，上述運算部根據(jù)上述多個補(bǔ)正表來生成上述多個像素加工表和上述多個修改移動量表。6.如權(quán)利要求2所述的圖像記錄裝置，其特征在于，上述多個光調(diào)制元件分別是將帶狀的固定反射面和可撓反射面交替排列的衍射光柵型的光調(diào)制元件。7.如權(quán)利要求l所述的圖像記錄裝置，其特征在于，在上述控制部中，記錄介質(zhì)上的上述照射位置在上述掃描方向上每移動與上述對象圖像的上述各像素列中的規(guī)定數(shù)的像素相當(dāng)?shù)囊?guī)定的距離，則產(chǎn)生一個基礎(chǔ)時鐘，在相鄰的兩個基礎(chǔ)時鐘之間的基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)，來自上述光調(diào)制元件的輸出光量能夠遷移一次，在變更后的上述對象圖像中，在最少像素組的像素數(shù)比上述規(guī)定數(shù)的像素的像素數(shù)少的情況下，上述運算部將上述規(guī)定的距離縮短至與上述最少像素組的上述像素數(shù)相當(dāng)?shù)木嚯x，其中，上述最少像素組是指，在分別于上述列方向上連續(xù)并具有相同像素值的多個像素組中像素數(shù)最少的組。8.如權(quán)利要求1所述的圖像記錄裝置，其特征在于，修改前的上述移動量是指，從一個像素所對應(yīng)的記錄介質(zhì)上的區(qū)域的上述掃描方向的寬度的一半開始增減了基于像素組的描畫偏差的距離后所得的值。9.如權(quán)利要求1至8中任意一項所述的圖像記錄裝置，其特征在于，上述對象圖像被作為掃描寬度數(shù)據(jù)而輸入至上述運算部，在上述運算部中，在使上述各變化點移動時，變更上述掃描寬度數(shù)據(jù)的掃描寬度的長度。10.—種圖像記錄方法，使來自調(diào)制器的光調(diào)制元件的光照射在記錄介質(zhì)上的照射位置在掃描方向上連續(xù)移動，并且通過照射上述光來在上述記錄介質(zhì)上記錄圖像，該圖像記錄方法的特征在于，包括以下工序a工序，在向上述記錄介質(zhì)記錄的記錄對象即對象圖像中，在與上述掃描方向?qū)?yīng)的列方向上排列有多個像素的各像素列分別是在上述列方向上連續(xù)并具有相同像素值的多個像素組的集合，對于位于上述各像素列中相鄰的兩個像素組之間的各變化點，為了補(bǔ)正像素組的描畫偏差，求出使來自上述光調(diào)制元件的輸出光量的遷移位置移動的移動量，b工序，在上述移動量超過與一個像素對應(yīng)的上述記錄介質(zhì)上的區(qū)域的上述掃描方向的寬度的情況下，用上述移動量除以上述寬度而求出商值，變更上述對象圖像的像素的像素值，從而將上述各變化點在上述列方向上移動上述商值的整數(shù)部分的像素數(shù)，并且，將上述各變化點所對應(yīng)的上述移動量修改為與上述商值的小數(shù)部分相當(dāng)?shù)闹?，c工序，與上述照射位置的移動同步地，基于變更后的上述對象圖像和修改后的上述移動量，控制上述光調(diào)制器。11.如權(quán)利要求10所述的圖像記錄方法，其特征在于，上述光調(diào)制器具有多個光調(diào)制元件，上述多個光調(diào)制元件對包含在上述對象圖像中的互不相同的多個像素列進(jìn)行描畫。12.如權(quán)利要求10所述的圖像記錄方法，其特征在于，在上述a工序中，針對上述各變化點，基于上述相鄰的兩個像素組的像素值的組合來求出修改前的上述移動量，在上述b工序中，利用上述各像素列的上述各變化點中的兩個像素值的組合來參照像素加工表，從而獲取上述各變化點的移動量并使上述各變化點在上述列方向上移動，另外，利用上述各像素列的各變化點中的兩個像素值的組合來參照修改移動量表，從而獲取與上述各變化點對應(yīng)的上述修改后的移動量，其中，上述像素加工表表示與多種兩個像素值的組合中的每一個組合相對應(yīng)的變化點的移動量，上述修改移動量表表示與上述多種兩個像素值的組合中的每一個組合相對應(yīng)的修改后的移動量。13.如權(quán)利要求12所述的圖像記錄方法，其特征在于，上述光調(diào)制器具有多個光調(diào)制元件，上述多個光調(diào)制元件對包含在上述對象圖像中的互不相同的多個像素列進(jìn)行描畫，在記錄圖像時，使用分別與上述多個光調(diào)制元件對應(yīng)的多個像素加工表和多個修改移動量表。14.如權(quán)利要求13所述的圖像記錄方法，其特征在于，預(yù)先與上述多個光調(diào)制元件對應(yīng)地準(zhǔn)備多個補(bǔ)正表，上述多個補(bǔ)正表分別對于上述多種兩個像素值的組合中的每一個組合，表示移動前的變化點的移動量，根據(jù)上述多個補(bǔ)正表來生成上述多個像素加工表和上述多個修改移動量表。15.如權(quán)利要求ll所述的圖像記錄方法，其特征在于，上述多個光調(diào)制元件分別是將帶狀的固定反射面和可撓反射面交替排列的衍射光柵型的光調(diào)制元件。16.如權(quán)利要求10所述的圖像記錄方法，其特征在于，在上述c工序中，上述記錄介質(zhì)上的上述照射位置在上述掃描方向上每移動與上述對象圖像的上述各像素列中的規(guī)定數(shù)的像素相當(dāng)?shù)囊?guī)定的距離，則產(chǎn)生一個基礎(chǔ)時鐘，在相鄰的兩個基礎(chǔ)時鐘之間的基礎(chǔ)時鐘期間內(nèi)，來自上述光調(diào)制元件的輸出光量能夠遷移一次，在變更后的上述對象圖像中，在最少像素組的像素數(shù)比上述規(guī)定數(shù)的像素的像素數(shù)少的情況下，將上述規(guī)定的距離縮短至與上述最少像素組的上述像素數(shù)相當(dāng)?shù)木嚯x。其中，上述最少像素組是指，在分別于上述列方向上連續(xù)并具有相同像素值的多個像素組中像素數(shù)最少的組。17.如權(quán)利要求10所述的圖像記錄方法，其特征在于，修改前的上述移動量是指，從一個像素所對應(yīng)的記錄介質(zhì)上的區(qū)域的上述掃描方向的寬度的一半開始增減了基于像素組的描畫偏差的距離后所得的值。18.如權(quán)利要求10至17中任意一項所述的圖像記錄方法，其特征在于，上述對象圖像被作為掃描寬度數(shù)據(jù)，在上述b工序中，在使上述各變化點移動時，變更上述掃描寬度數(shù)據(jù)的掃描寬度的長度。全文摘要在圖像記錄裝置中，為了與各光調(diào)制元件所對應(yīng)的像素列的像素值發(fā)生變化的各變化點相關(guān)地修改描畫偏差，求出使來自光調(diào)制元件的輸出光量的遷移位置移動的移動量。在移動量超過一個像素(71)所對應(yīng)的基板上的區(qū)域的掃描方向的寬度時，變更對象圖像的像素(71a)的像素值，從而將變化點在列方向上移動該移動量除以該寬度而求出的商值的整數(shù)部分的像素數(shù)，并且將該變化點所對應(yīng)的移動量修改為與上述商值的小數(shù)部相當(dāng)?shù)闹?。然后，基于變更后的對象圖像和修改后的移動量來控制空間光調(diào)制器，從而在記錄圖像時，能夠使來自光調(diào)制元件的輸出光量的遷移位置移動超過與一個像素相當(dāng)?shù)木嚯x，并且高精度地記錄圖像。文檔編號B41J2/47GK101544130SQ2009101279公開日2009年9月30日申請日期2009年3月27日優(yōu)先權(quán)日2008年3月28日發(fā)明者平和孝英,水野芳樹申請人:大日本網(wǎng)屏制造株式會社