專利名稱：：間隔壁、濾色片、有機(jī)el的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及通過(guò)噴墨記錄技術(shù)方法制成的濾色片的間隔壁、液晶顯示元件的ITO電極的間隔壁、有機(jī)EL顯示元件的間隔壁、布線電路基板的間隔壁等間隔壁的制造方法。此外，本發(fā)明還涉及濾色片的制造方法及有機(jī)EL的制造方法。
背景技術(shù)：
：一直以來(lái)，采用抗蝕劑組合物來(lái)制造半導(dǎo)體集成電路(IC)、液晶顯示器(LCD)用薄膜晶體管(TFT)電路等的電路制造用掩模。另一方面，抗蝕劑組合物也作為形成濾色片的像素間的間隔壁、液晶顯示元件的ITO電極的間隔壁、有機(jī)EL顯示元件的像素間的間隔壁、布線電路基板的間隔壁等永久膜的材料受到注目。例如，濾色片的制造中，提出了采用向微小像素內(nèi)噴涂R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))的墨的噴墨記錄技術(shù)方法的所謂噴墨法。在這里，像素圖案的形成通過(guò)采用抗蝕劑組合物的光刻法進(jìn)行，抗蝕劑組合物的涂膜固化物被用作像素間的間隔壁。液晶顯示元件的制造中，提出了在ITO(摻錫氧化銦)電極形成時(shí)噴涂ITO溶液的噴墨法，ITO電極圖案的形成通過(guò)采用抗蝕劑組合物的光刻法進(jìn)行，抗蝕劑組合物的涂膜固化物被用作間隔壁。有機(jī)EL顯示元件的制造中，提出了采用向微小像素內(nèi)噴涂空穴傳輸材料、發(fā)光材料的溶液來(lái)形成空穴傳輸層、發(fā)光層等的噴墨法。在這里，像素圖案的形成通過(guò)采用抗蝕劑組合物的光刻法進(jìn)行，抗蝕劑組合物的涂膜固化物被用作像素間的間隔壁。布線電路基板的制造中，提出了在形成電路布線時(shí)噴涂金屬溶液的噴墨法。在這里，電路布線圖案的形成通過(guò)采用抗蝕劑組合物的光刻法進(jìn)行，抗蝕劑組合物的涂膜固化物被用作間隔壁。噴墨法中，必須防止相鄰的像素間的墨的混色等的發(fā)生和ITO溶液或金屬溶液在規(guī)定區(qū)域以外的部分的固著。因此，間隔壁被要求具有排拒作為噴墨的涂布液的水或有機(jī)溶劑等的性質(zhì)，即拒水拒油性。專利文獻(xiàn)l中揭示了在基材上涂布感光性組合物，進(jìn)行干燥、曝光、顯影、加熱處理而形成間隔壁的技術(shù)方案。專利文獻(xiàn)1:日本專利特開(kāi)2005-60515號(hào)公報(bào)發(fā)明的揭示然而，如果在通過(guò)上述現(xiàn)有的方法形成的間隔壁間的溝(像素點(diǎn))中以噴墨法注入墨而形成墨層，則墨層的膜厚可能會(huì)不均勻。如果以這樣的材料制造濾色片或有機(jī)EL顯示元件，則間隔壁附近的墨層的膜厚變薄，產(chǎn)生間隔壁周邊呈現(xiàn)白色的所謂漏白現(xiàn)象。尤其，為了提高間隔壁的分辨率而希望降低曝光工序的曝光量時(shí)，對(duì)于以低曝光量形成的間隔壁，墨層的膜厚不均勻性顯著。因此，本發(fā)明的課題在于提供即使曝光工序的曝光量低，墨層的膜厚均勻性也良好的間隔壁的制造方法。本發(fā)明提供間隔壁的制造方法，其特征在于，依次具備將負(fù)型感光性組合物涂布于基材的工序、干燥工序、曝光工序、顯影工序，然后具備后曝光工序，所述負(fù)型感光性組合物包含含氟聚合物(A)，該含氟聚合物包含具有氟代烷基的側(cè)鏈和具有乙烯性雙鍵的側(cè)鏈；其中，所述氟代垸基可以在碳原子間具有醚性氧原子。本發(fā)明的負(fù)型感光性組合物所含的含氟聚合物(A)具備具有氟代烷基的側(cè)鏈，因此表現(xiàn)出表面遷移性，干燥工序中遷移至涂膜表面附近。因此，由組合物形成的間隔壁的上部表面表現(xiàn)出拒水拒油性(對(duì)于墨的拒液性)。此外，含氟聚合物(A)具備具有乙烯性雙鍵的側(cè)鏈，因此可以在曝光工序中使其發(fā)生固化反應(yīng)而固定于涂膜表面。但是，曝光工序的曝光量低的情況下，含氟聚合物(A)的部分分子不發(fā)生固化反應(yīng)，而且在顯影工序中無(wú)法從體系內(nèi)除去而殘存于間隔壁內(nèi)。以往的方法中，認(rèn)為上述未反應(yīng)的殘存分子在顯影工序后進(jìn)行的加熱處理工序中從間隔壁遷移至像素點(diǎn)而污染像素點(diǎn)。本發(fā)明中，顯影工序后具備后曝光工序，因此含氟聚合物(A)的固化反應(yīng)得到充分進(jìn)行，不易發(fā)生未反應(yīng)的殘存分子向像素點(diǎn)的遷移。s卩，間隔壁的拒水拒油性良好，像素點(diǎn)的親水親油性良好。因此，像素點(diǎn)的墨的浸潤(rùn)性高，所以墨容易在像素點(diǎn)內(nèi)均勻地?cái)U(kuò)散，所形成的墨層的膜厚均勻性提高。本發(fā)明中，間隔壁通過(guò)后曝光工序充分固化，具備對(duì)于噴墨法所采用的墨中的溶劑的耐受性，因此不一定需要基于加熱處理工序的固化。另一方面，為了提高間隔壁的耐熱性或者從間隔壁除去揮發(fā)成分，可以在后曝光工序后釆用加熱處理工序。本發(fā)明中，較好是含氟聚合物(A)具備具有酸性基團(tuán)的側(cè)鏈。曝光工序中未反應(yīng)的含氟聚合物(A)的部分分子由于具備具有酸性基團(tuán)的側(cè)鏈，在顯影工序中被從間隔壁表面洗脫，間隔壁內(nèi)不易殘留未固定化的殘存分子。因此，可以在后曝光工序前的階段進(jìn)一步減少可能遷移至像素點(diǎn)的分子，對(duì)于墨層的膜厚均勻性提高更加有效。此外，本發(fā)明提供濾色片的制造方法，其特征在于，通過(guò)上述的制造方法在基材上形成間隔壁后，在以間隔壁分隔而成的區(qū)域內(nèi)通過(guò)噴墨法注入墨而形成像素。此外，本發(fā)明提供有機(jī)EL顯示元件的制造方法，其特征在于，通過(guò)上述的制造方法在基材上形成間隔壁后，在以間隔壁分隔而成的區(qū)域內(nèi)通過(guò)噴墨法注入墨而形成像素。因?yàn)椴灰自陂g隔壁內(nèi)殘留未反應(yīng)的殘存分子，所以器件形成后的較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)不會(huì)發(fā)生遷移，不會(huì)使器件的可靠性下降。如果采用本發(fā)明的制造方法，即使曝光工序的曝光量低，也可以獲得墨層的膜厚均勻性良好的間隔壁。因此，本發(fā)明的間隔壁的制造方法適合用于通過(guò)噴墨涂布方式制成的濾色片的間隔壁、液晶顯示元件的ITO電極的間隔壁、有機(jī)EL顯示元件的間隔壁、布線電路基板的間隔壁等電子器件的間隔壁的制造。5實(shí)施發(fā)明的最佳方式以下，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的說(shuō)明。另外，本說(shuō)明書(shū)中，只要沒(méi)有特別說(shuō)明，％表示質(zhì)量％。首先，對(duì)本發(fā)明的間隔壁的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。[涂布工序]首先，通過(guò)公知的涂膜形成方法，在基材的表面形成負(fù)型感光性組合物的涂膜。作為涂膜的形成方法，可以例舉噴涂法、輥涂法、旋涂法、棒涂法等。作為基材，其材質(zhì)沒(méi)有特別限定，可以例舉各種玻璃板，聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯等聚酯，聚丙烯、聚乙烯等聚烯烴，聚(甲基)丙烯酸樹(shù)脂、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚砜等的熱塑性塑料片，環(huán)氧樹(shù)脂、不飽和聚酯等的熱固性塑料片等。尤其，從耐熱性的角度來(lái)看，優(yōu)選使用耐熱性塑料。此外，有時(shí)也從未形成間隔壁的反面(基材側(cè))進(jìn)行后曝光，因此較好是透明基板。此外，也可以使用形成有金屬黑矩陣或樹(shù)脂黑矩陣等黑矩陣的基材。該情況下，較好是在黑矩陣上通過(guò)本發(fā)明的制造方法形成間隔壁。[干燥工序]接著，涂膜被干燥(以下也稱預(yù)烘焙)。通過(guò)進(jìn)行預(yù)烘焙，溶劑揮發(fā)，獲得不具備流動(dòng)性的涂膜。預(yù)烘焙條件也根據(jù)各成分的種類、配比等而不同，但較好是在50120'C、102000秒左右的廣闊范圍內(nèi)。接著，進(jìn)行曝光，即介以規(guī)定圖案的掩模對(duì)加熱了的涂膜進(jìn)行光照。作為照射的光，可以例舉可見(jiàn)光，紫外線，遠(yuǎn)紫外線，KrF準(zhǔn)分子激光、ArF準(zhǔn)分子激光、F2準(zhǔn)分子激光、Kr2準(zhǔn)分子激光、KrAr準(zhǔn)分子激光、Ar2準(zhǔn)分子激光等準(zhǔn)分子激光，X射線，電子射線等。較好是波長(zhǎng)100600nm的光線，更好是在300500nm的范圍內(nèi)具有分布的電磁波，特別好是i線(365nm)、h線(405nm)、g線(436nm)。作為照射裝置，可以使用公知的超高壓汞燈或遠(yuǎn)紫外線燈等。曝光量較好是在51000mJ/cm2的范圍內(nèi)，更好是在50400mJ/cm2的范圍內(nèi)。曝光量在5mJ/cm2以下的情況下，間隔壁的固化不充分，其后的顯影中發(fā)生溶解或剝離，因此是不理想的。如果曝光量超過(guò)1000mJ/cm2，則存在無(wú)法獲得高分辨率的傾向。曝光工序后，通過(guò)顯影液顯影，除去未曝光部分。作為顯影液，例如可以使用由氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、硅酸鈉、偏硅酸鈉、氨水等無(wú)機(jī)堿類，乙胺、正丙胺等伯胺類，二乙胺、二正丙胺等仲胺類，三乙胺、甲基二乙基胺、N-甲基吡咯烷酮等叔胺類，二甲基乙醇胺、三乙醇胺等醇胺類，氫氧化四甲銨、氫氧化四乙銨、膽堿等季銨鹽，吡咯、哌啶等環(huán)狀胺類等堿類形成的堿水溶液。此外，也可以使用上述堿水溶液中適量添加甲醇或乙醇等水溶性有機(jī)溶劑、表面活性劑等而得的水溶液作為顯影液。顯影時(shí)間較好是30180秒。此外，顯影方法可以是加液法、浸漬法等中的任一種。顯影后，進(jìn)行流水洗滌，通過(guò)以壓縮空氣或壓縮氮?dú)馐蛊滹L(fēng)干，可以除去基板上的水分。接著，進(jìn)行后曝光。后曝光可以從形成有間隔壁的正面或未形成間隔壁的反面(基材側(cè))中的任一側(cè)進(jìn)行。此外，也可以從正反兩面進(jìn)行曝光。在黑色矩陣上形成間隔壁的情況下，較好是從正面進(jìn)行曝光。作為優(yōu)選的曝光量，為50mJ/cm2以上，較好是200mJ/cm2以上，更好是1000mJ/cm2以上，特別好是2000mJ/cr^以上。作為照射的光，較好是紫外線，光源可以使用公知的超高壓汞燈或高壓汞燈等。這些光源發(fā)射促進(jìn)間隔壁的固化的600nm以下的光，而且引起間隔壁的氧化分解的200mn以下的光的發(fā)射少，因此優(yōu)選使用。另外，汞燈所用的石英管玻璃較好是具有屏蔽200nm以下的光的光學(xué)濾光片功能。此外，光源也可以使用低壓汞燈。但是，低壓汞燈的200nm以下的波長(zhǎng)的發(fā)光強(qiáng)度高，因生成臭氧而容易發(fā)生間隔壁的氧化分解，因此進(jìn)行高計(jì)量的曝光，是不理想的。曝光量較好是在500mJ/ci^以下，更好是在300mJ/cm2以下。7[加熱處理工序]然后，可以通過(guò)加熱板、加熱爐等加熱裝置進(jìn)行優(yōu)選為15025(TC的溫度下進(jìn)行加熱處理590分鐘。[濾色片的制造]使用通過(guò)本發(fā)明得到的間隔壁制造濾色片的情況下，在通過(guò)上述方法形成間隔壁后，使用噴墨法在間隔壁間的像素點(diǎn)內(nèi)形成像素。作為這樣的像素形成中所用的噴墨裝置，沒(méi)有特別限定，可以使用采用連續(xù)地噴射帶電的墨并通過(guò)磁場(chǎng)進(jìn)行控制的方法、用壓電元件間歇地噴射墨的方法、加熱墨并利用其發(fā)泡間歇地進(jìn)行噴射的方法等各種方法的噴墨裝置。此外，通過(guò)本發(fā)明的像素形成工序形成的像素的形狀也可以采用帶型、馬賽克型、三角型、四像素配置型等公知的任一種排列。像素形成所用的墨主要包含著色成分、粘合劑樹(shù)脂成分和溶劑成分。水性的墨中，溶劑由水和根據(jù)需要采用的水溶性有機(jī)溶劑組成，粘合劑樹(shù)脂成分包含水溶性或水分散性樹(shù)脂，根據(jù)需要包含各種助劑。此外，油性的墨中，溶劑為有機(jī)溶劑，粘合劑樹(shù)脂成分包含可溶于有機(jī)溶劑的樹(shù)脂，根據(jù)需要包含各種助劑。作為著色成分，優(yōu)選使用耐熱性、耐光性等良好的顏料和染料。作為粘合劑樹(shù)脂成分，較好是透明且耐熱性良好的樹(shù)脂，可以例舉丙烯酸樹(shù)脂、三聚氰酸樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂等，但并不局限于此。此外，通過(guò)噴墨法注入墨后，較好是根據(jù)需要進(jìn)行干燥工序或加熱固化工序、紫外線固化工序。像素形成后，根據(jù)需要形成保護(hù)膜層。保護(hù)膜層較好是以提高表面平坦性或阻止自間隔壁和像素部的墨的溶出物到達(dá)液晶層的目的形成。形成保護(hù)膜層的情況下，較好是事先除去間隔壁的拒液性。不除去拒液性的情況下，會(huì)排拒保護(hù)層用的涂布液，無(wú)法獲得均勻的膜厚，因此是不理想的。作為除去間隔壁的拒液性的方法，可以例舉等離子體灰化處理和光灰化處理等。另外，為了實(shí)現(xiàn)使用濾色片制成的液晶面板的高品質(zhì)化，較好是根據(jù)需要在黑色矩陣上形成感光性間隔物(photo-spacer)。[有機(jī)EL顯示元件的制造]使用本間隔壁制造有機(jī)EL顯示元件的情況下，先通過(guò)濺射法等在玻璃等的透明基材上形成氧化銦錫(ITO)等的透明電極，根據(jù)需要將透明電極刻蝕成所需的圖案。接著，通過(guò)上述方法形成本發(fā)明的間隔壁。然后，使用噴墨法在間隔壁間的像素點(diǎn)中依次涂布空穴傳輸材料、發(fā)光材料的溶液并干燥，形成空穴傳輸層、發(fā)光層，再通過(guò)蒸鍍法等形成鋁等的電極，從而獲得有機(jī)EL顯示元件的像素。以下，對(duì)本發(fā)明中的含氟聚合物(A)進(jìn)行說(shuō)明。另外，以下的具體的化合物名中，(甲基)丙烯酸酯表示丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯。同樣地，(甲基)丙烯酸表示丙烯酸和/或甲基丙烯酸，(甲基)丙烯酰胺表示丙烯酰胺和/或甲基丙烯酰胺，(甲基)丙烯?；硎颈；?或甲基丙烯?；?。含氟聚合物(A)具備具有氟代烷基的側(cè)鏈和具有乙烯性雙鍵的側(cè)鏈的含氟聚合物(A);其中，所述氟代烷基可以在碳原子間具有醚性氧原子。具有氟代烷基的側(cè)鏈可以通過(guò)聚合反應(yīng)直接形成，也可以通過(guò)聚合反應(yīng)后的化學(xué)轉(zhuǎn)化而形成。此外，具有乙烯性雙鍵的側(cè)鏈可以通過(guò)聚合反應(yīng)后的化學(xué)轉(zhuǎn)化而形成。氟代垸基為至少l個(gè)氫原子被氟原子取代的垸基，可以是直鏈狀或分支狀。氟代烷基的碳數(shù)較好是20以下。作為氟代烷基的具體例子，可以例舉以下的結(jié)構(gòu)。-CF3、-CF2CF3、—CF2CHF2、-(CF2)2CF3、-(CF2)3CF3、-(CF2)4CF3、-(CF2)5CF3、-(CF2)6CF3、-(CF2)7CF3、-(CF2)8CF3、-(CF2)9CF3、-(CF2)CF3、-(CF2)15CF3、-CF(CF3)0(CF2)5CF3、-CF(CF3)。CF2CF(CF3)0(CF2)2CF3、-CF(CF3)0CF2CF(CF3)0CF2CF(CF3)0CF2CF(CF3)0(CF2)2CF3、-CF(CF3)0(CF2)5CF3。氟代烷基較好是全氟烷基。由此，拒水拒油性良好。另外，較好是碳數(shù)46的全氟垸基。該情況下，不僅可以賦予足夠的拒水拒油性，而且含氟聚合物(A)和構(gòu)成負(fù)型感光性組合物的其它成分的相容性良好，涂布組合物而形成涂膜時(shí)含氟聚合物(A)不會(huì)相互凝集，可以形成外觀良好的間隔壁。作為乙烯性雙鍵，可以例舉例如(甲基)丙烯酰基，烯丙基、乙烯基、乙烯基醚基等加成聚合性的不飽和基團(tuán)等。這些基團(tuán)的氫原子可以部分或全部被烴基取代。作為烴基，較好是甲基。本發(fā)明的含氟聚合物(A)可以如下制造將包括具有氟代烷基的單體(al)和具有反應(yīng)性基團(tuán)的單體(a2)的2種以上的單體共聚，再使所得的共聚物和具有可與所述反應(yīng)性基團(tuán)結(jié)合的官能團(tuán)及乙烯性雙鍵的化合物(zl)反應(yīng)。作為具有氟代垸基的單體(al)，較好是以式l表示的單體。CH2:CH(R》C00XRf…式1式中，W表示氫原子、甲基或三氟甲基，X表示單鍵或碳數(shù)l6的不含氟原子的2價(jià)有機(jī)基團(tuán)，Rf表示氟代烷基。上述式1中，從獲取的難易度來(lái)看，較好是X為碳數(shù)24的亞垸基。此外，由于含氟聚合物(A)和構(gòu)成負(fù)型感光性組合物的其它成分的相容性良好，Rf較好是碳數(shù)46的全氟垸基。作為以上述式l表示的單體的例子，可以例舉以下的化合物。CH2:CH(R')COOR2RfCH2:CH(R')C00RWS02RfCH2二CH(R》C00R2NR3C0RfCH^CH(R》C00CH2CH(0H)RfCH2:CR丄CR^CFRf在這里，W表示氫原子、甲基或三氟甲基，R2表示碳數(shù)l6的亞垸基，R3表示氫原子或甲基，Rf表示氟代垸基。作為R2的具體例子，可以例舉-CH廠、-CH線-、-CH(CH3)-、-CH2CH2CH2-、—C(CH3)2—、—CH(CH2CH3)—、—CH2CH2CH2CH2—、—CH(CH2CH2CH3)—、—CH2(CH2)3CH2—、-CH(CH2CH(CH3)2)-等。作為以上述式l表示的單體的具體例子，可以例舉(甲基)丙烯酸全氟己基乙酯、(甲基)丙烯酸全氟丁基乙酯等。上述的單體可以單獨(dú)使用，也可以2種以上并用。作為具有反應(yīng)性基團(tuán)的單體(a2)，可以例舉具有羥基的單體、具有乙烯性雙鍵的酸酐、具有羧基的單體、具有環(huán)氧基的單體等。另外，單體(a2)較好是實(shí)質(zhì)上不含氟代垸基。具有反應(yīng)性基團(tuán)的單體(a2)的反應(yīng)性基團(tuán)在聚合后與具有可與所述反應(yīng)性基團(tuán)結(jié)合的官能團(tuán)及乙烯性雙鍵的化合物(zl)反應(yīng)，從而形成具備具有乙烯性雙鍵的側(cè)鏈的含氟聚合物(A)。作為具有羥基的單體的具體例子，可以例舉(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-3-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-4-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸-5-羥基戊酯、(甲基)丙烯酸-6-羥基己酯、(甲基)丙烯酸-4-羥基環(huán)己酯、單(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、(甲基)丙烯酸-3-氯-2-羥基丙酯、單(甲基)丙烯酸丙三醇酯、2-羥基乙基乙烯基醚、4-羥基丁基乙烯基醚、環(huán)己二醇單乙烯基醚、2-羥基乙基烯丙基醚、N-羥基甲基(甲基)丙烯酰胺、N，N-雙(羥基甲基)(甲基)丙烯酰胺等。另外，作為具有羥基的單體，可以是具有末端為羥基的聚氧化烯鏈的單體。例如，可以例舉CH2-CH0CH2CJL。CH20(C2H40)kH(在這里，k為l100的整數(shù)，下同)、CH2=CH0C4H80(C2H40)kH、CH2=CHC00C2H40(C2H40)kH、CH2=C(CH3)C00C2H40(C2H40)kH、CH2=CHC00C2H40(C2H40)(C3H60)nH(在這里，m為0或1100的整數(shù)，n為l100的整數(shù)，m+n為l100，下同)、CH2=C(CH3)C00C2H40(C2H40)m(C3H60)聘。作為具有乙烯性雙鍵的酸酐的具體例子，可以例舉馬來(lái)酸酐、衣康酸酐、檸康酸酐、苯二酸酐、3-甲基苯二酸酐、甲基-5-降冰片烯-2，3-二羧酸酐、3，4，5，6-四氫甲基苯二酸酐、順-1，2，3，6-四氫苯二酸酐、2-丁烯-1-基琥珀酸酐等。作為具有羧基的單體的具體例子，可以例舉丙烯酸、甲基丙烯酸、乙烯基乙酸、丁烯酸、衣康酸、馬來(lái)酸、富馬酸、肉桂酸或它們的鹽等。作為具有環(huán)氧基的單體的具體例子，可以例舉(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸-3，4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯等。本發(fā)明中，含氟聚合物(A)較好是還具備具有酸性基團(tuán)的側(cè)鏈。曝光工序中未反應(yīng)的含氟聚合物(A)的部分分子由于具備具有酸性基團(tuán)的側(cè)鏈，在顯影工序中被從間隔壁表面洗脫，間隔壁內(nèi)不易殘留未固定化的殘存分子?？梢栽诤笃毓夤ば蚯暗碾A段進(jìn)一步減少可能遷移至像素點(diǎn)的分子，間隔壁間像素點(diǎn)的親水親油性進(jìn)一步提高。作為酸性基團(tuán)，較好是選自羧基、酚性羥基和磺酸基的l個(gè)以上的酸性基團(tuán)。具有酸性基團(tuán)的側(cè)鏈可以通過(guò)具有酸性基團(tuán)的單體(a3)的聚合反應(yīng)形成，也可以通過(guò)聚合反應(yīng)后的化學(xué)轉(zhuǎn)化而形成。具有酸性基團(tuán)的單體(a3)采用具有羧基的單體且上述具有反應(yīng)性基團(tuán)的單體(a2)也采用具有羧基的單體時(shí)，將最終未引入乙烯性雙鍵而作為羧基殘留的單體視作單體(a3)。作為具有酚性羥基的單體，可以例舉鄰羥基苯乙烯、間羥基苯乙烯、對(duì)羥基苯乙烯等。此外，可以例舉它們的苯環(huán)的l個(gè)以上的氫原子被以下的基團(tuán)取代而得的單體甲基、乙基、正丁基等烷基，甲氧基、乙氧基、正丁氧基等烷氧基，鹵素原子，烷基的l個(gè)以上的氫原子被鹵素原子取代而得的鹵代烷基，硝基，氰基，酰胺基等。作為具有磺酸基的單體，可以例舉乙烯磺酸、苯乙烯磺酸、(甲基)烯丙基磺酸、2-羥基-3-(甲基)烯丙氧基丙磺酸、(甲基)丙烯酸-2-磺基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-磺基丙酯、2-羥基-3-(甲基)丙烯酰氧基丙磺酸、2-(甲基)丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸等。本發(fā)明的制造方法中，聚合中使用的單體可以包括除具有氟代烷基的單體(al)、具有反應(yīng)性基團(tuán)的單體(a2)和具有酸性基團(tuán)的單體(a3)以外的其它單體(a4)。作為其它單體(a4)，可以例舉烴系烯烴類、乙烯基醚類、異丙烯基醚類、烯丙基醚類、乙烯基酯類、烯丙基酯類、(甲基)丙烯酸酯類、(甲基)丙烯酰胺類、芳族乙烯基化合物、氯代烯烴類、共軛二烯類。這些化合物中可以包含官能團(tuán)，官能團(tuán)可以例舉例如羰基、烷氧基等。由于由組合物形成的間隔壁的耐熱性良好，特別好是(甲基)丙烯酸酯類、(甲基)丙烯酰胺類。此外，為了使涂膜的墨掉落性提高，可以包含具有以下式所示的硅氧垸基的(甲基)丙烯酸酯。-(SiR4R5-0)n-SiR4R5R6…式2式中，R4、R5獨(dú)立地表示氫原子、烷基、環(huán)垸基或芳基，R6表示氫原子或碳數(shù)110的有機(jī)基團(tuán)，n表示l200的整數(shù)。含氟聚合物(A)可以通過(guò)以下的方法合成。首先，將單體溶解于溶劑并加熱，加入聚合引發(fā)劑使其共聚，獲得共聚物。共聚反應(yīng)中，較好是根據(jù)需要添加鏈轉(zhuǎn)移劑。單體、聚合引發(fā)劑、溶劑和鏈轉(zhuǎn)移劑可以連續(xù)地添加。作為所述溶劑，可以例舉例如乙醇、1-丙醇、2-丙醇、l-丁醇、乙二醇等醇類，丙酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮等酮類，2-甲氧基乙醇、2-乙氧基乙醇、2-丁氧基乙醇等溶纖劑類，2-(2-甲氧基乙氧基)乙醇、2-(2-乙氧基乙氧基)乙醇、2-(2-丁氧基乙氧基)乙醇等卡必醇類，乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乳酸乙酯、乳酸正丁酯、乙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇二乙酸酯、丙三醇三乙酸酯等酯類，二甘醇二甲醚、二甘醇甲基乙基醚等醚類等。作為聚合引發(fā)劑，可以例舉公知的有機(jī)過(guò)氧化物、無(wú)機(jī)過(guò)氧化物、偶氮化合物等。有機(jī)過(guò)氧化物、無(wú)機(jī)過(guò)氧化物也可以與還原劑組合作為氧化還原類催化劑使用。這些聚合引發(fā)劑可以單獨(dú)使用，也可以2種以上并用。作為有機(jī)過(guò)氧化物，可以例舉過(guò)氧化苯甲酰、過(guò)氧化月桂酰、過(guò)氧化異丁酰、過(guò)氧化氫叔丁基、過(guò)氧化叔丁基-a-異丙苯基等。作為無(wú)機(jī)過(guò)氧化物，可以例舉過(guò)硫酸銨、過(guò)硫酸鈉、過(guò)硫酸鉀、過(guò)氧化氫、過(guò)碳酸鹽等。作為偶氮化合物，可以例舉2，2，-偶氮二異丁腈、l,l，-偶氮二(環(huán)己-l-腈)、2，2，-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、2，2，-偶氮二(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)、2，2'-偶氮二異丁酸二甲酯、2，2'-偶氮二(2-脒基丙烷)二鹽酸鹽等。作為鏈轉(zhuǎn)移劑，可以例舉正丁硫醇、正十二烷硫醇、叔丁硫醇、巰基乙酸乙酯、巰基乙酸-2-乙基己酯、2-巰基乙醇等硫醇類，氯仿、四氯化碳、四溴化碳等鹵代烷。含氟聚合物(A)可以通過(guò)使如上所述得到的共聚物和具有可與反應(yīng)性基團(tuán)結(jié)合的官能團(tuán)及乙烯性雙鍵的化合物(zl)反應(yīng)來(lái)制造。作為針對(duì)具有反應(yīng)性基團(tuán)的單體(a2)的具有可與所述反應(yīng)性基團(tuán)結(jié)合的官能團(tuán)及乙烯性雙鍵的化合物(Z1)，可以例舉例如以下的組合(1)對(duì)于具有羥基的單體(a2)，具有乙烯性雙鍵的酸酐(zl);(2)對(duì)于具有羥基的單體(a2)，具有異氰酸酯基和乙烯性雙鍵的化合物(z1);(3)對(duì)于具有羥基的單體(a2)，具有酰氯基和乙烯性雙鍵的化合物(zl);(4)對(duì)于具有乙烯性雙鍵的酸酐(a2)，具有羥基和乙烯性雙鍵的化合物(z1);(5)對(duì)于具有羧基的單體(a2)，具有環(huán)氧基和乙烯性雙鍵的化合物(zl);(6)對(duì)于具有環(huán)氧基的單體(a2)，具有羧基和乙烯性雙鍵的化合物(zl)。作為具有乙烯性雙鍵的酸酐的具體例子，可以例舉前述的例子。作為具有異氰酸酯基和乙烯性雙鍵的化合物的具體例子，可以例舉2-(甲基)丙烯酰氧基乙基異氰酸酯、l，l-(雙(甲基)丙烯酰氧基甲基)乙基異氰酸酯。作為具有酰氯基和乙烯性雙鍵的化合物的具體例子，可以例舉(甲基)丙烯酰氯。作為具有羥基和乙烯性雙鍵的化合物的具體例子，可以例舉前述的具有羥基的單體的例子。作為具有環(huán)氧基和乙烯性雙鍵的化合物的具體例子，可以例舉前述的具有環(huán)氧基的單體的例子。作為具有羧基和乙烯性雙鍵的化合物的具體例子，可以例舉前述的具有羧基的單體的例子。使共聚物和具有可與反應(yīng)性基團(tuán)結(jié)合的官能團(tuán)及乙烯性雙鍵的化合物(zl)反應(yīng)時(shí)，反應(yīng)中使用的溶劑可以使用上述共聚物的合成中示例的溶劑。此外，較好是摻入聚合抑制劑。作為聚合抑制劑，可以使用公知的聚合抑制劑，具體可以例舉2,6-二叔丁基對(duì)甲酚。此外，可以加入催化劑和中和劑。例如，使具有羥基的共聚物與具有異氰酸酯基和乙烯性雙鍵的化合物反應(yīng)的情況下，可以使用錫化合物。作為錫化合物，可以例舉二月桂酸二丁錫、二(馬來(lái)酸單酯)二丁錫、二月桂酸二辛錫、二(馬來(lái)酸單酯)二辛錫、二乙酸二丁錫等。使具有羥基的共聚物與具有酰氯基和乙烯性雙鍵的化合物反應(yīng)的情況下，可以使用堿性催化劑。作為堿性催化劑，可以例舉三乙胺、吡啶、二甲基苯胺、四甲基脲等。本發(fā)明的含氟聚合物(A)的氟原子的含有率較好是535質(zhì)量X。含有率越高，則含氟聚合物(A)使所形成的間隔壁的表面張力下降的效果越好，賦予間隔壁更高的拒水拒油性。另一方面，如果氟原子的含有率過(guò)高，則間隔壁和基材的密合性可能會(huì)下降。含氟聚合物(A)中的氟原子的含有率的下限更好是10質(zhì)量％，上限更好是30質(zhì)量％。含氟聚合物(A)較好是在分子內(nèi)具有2100個(gè)的乙烯性雙鍵，更好是650個(gè)。如果在該范圍內(nèi)，則含氟聚合物(A)對(duì)間隔壁的固定和顯影性良好。含氟聚合物(A)的酸值較好是在100(mgK0H/g)以下，更好是1050(mgK0H/g)。如果在該范圍內(nèi)，則曝光工序中未固定的殘存分子容易在顯影工序中被從間隔壁洗脫。另外，酸值為中和lg樹(shù)脂所需的氫氧化鉀的質(zhì)量(單位mg)，本說(shuō)明書(shū)中將單位記作mgK0H/g。含氟聚合物(A)的重均分子量較好是1000以上且不足30000，更好是2000以上且不足20000。如果在該范圍內(nèi)，則堿溶解性、顯影性良好。本發(fā)明的負(fù)型感光性組合物的所有固體成分中的含氟聚合物(A)的比例較好是相對(duì)于所有固體成分為O.130質(zhì)量％。如果該比例高，則含氟聚合物(A)使所形成的間隔壁的表面張力下降的效果越好，賦予間隔壁更高的拒水拒油性。另一方面，如果該比例過(guò)高，則間隔壁和基材的密合性可能會(huì)下降。組合物的所有固體成分中的含氟聚合物(A)的比例的下限較好是O.15質(zhì)量％，上限較好是20質(zhì)量％。本發(fā)明的負(fù)型感光性組合物較好是包含在l個(gè)分子內(nèi)具有酸性基團(tuán)和乙烯性雙鍵的可溶于堿的感光性樹(shù)脂(B)。感光性樹(shù)脂(B)較好是實(shí)質(zhì)上不含氟代烷基。作為感光性樹(shù)脂(B)，可以例舉例如具備具有酸性基團(tuán)的側(cè)鏈和具有乙烯性雙鍵的側(cè)鏈的2種以上具有乙烯性雙鍵的單體的共聚物(B-1)、在l個(gè)分子內(nèi)具有酸性基團(tuán)和乙烯性雙鍵的酚醛清漆樹(shù)脂衍生物(B-2)、在l個(gè)分子內(nèi)具有酸性基團(tuán)和乙烯性雙鍵的環(huán)氧樹(shù)脂衍生物(B-3)。除了上述含氟聚合物(A)中不使用具有氟代垸基的單體(al)以外，共聚物(B-1)可以通過(guò)同樣的方法制造。酚醛清漆樹(shù)脂衍生物(B-2)是指將酚類與醛類縮聚而得的化合物。作為酚類的具體例子，可以例舉苯酚、鄰甲酚、間甲酚、對(duì)甲酚、2，3-二甲苯酚、2,5-二甲苯酚、3，5-二甲苯酚、2,3,5-三甲基苯酚、兒茶酚、間苯二酚、氫醌、甲基氫醌、連苯三酚、間苯三酚等。作為醛類，較好是甲醛。作為酚醛清漆樹(shù)脂，可以例舉例如苯酚甲醛樹(shù)脂、甲酚，甲醛樹(shù)脂、苯酚甲酚甲醛共縮合樹(shù)脂等。尤其，使用甲酚甲醛樹(shù)脂型的感光性樹(shù)脂的情況下，通過(guò)顯影除去樹(shù)脂而得的基材表面對(duì)墨的浸潤(rùn)性良好，是理想的。作為在上述樹(shù)脂引入乙烯性雙鍵的方法，可以例舉例如使酚性羥基的一部分與具有環(huán)氧基和乙烯性雙鍵的化合物反應(yīng)的方法。此外，可以例舉使酚性羥基部分或全部與環(huán)氧氯丙垸反應(yīng)而在酚醛清漆樹(shù)脂引入環(huán)氧基后，使具有羧基和乙烯性雙鍵的化合物與該環(huán)氧基反應(yīng)的方法。另外，可以使在該反應(yīng)中生成的羥基與酸酐反應(yīng)，在分子內(nèi)引入羧基。環(huán)氧樹(shù)脂衍生物(B-3)較好是由以式(3)表示的雙酚類環(huán)氧化合物衍生。式中，R7、R8獨(dú)立地表示碳數(shù)l5的烷基或鹵素原子中的任一種，Y表示-CO-、-S02-、-C(CF3)2-、-Si(CH3)2-、-CH2-、-C(CH3)2-、-0-、9，9-亞荷基或單鍵，n表示010的整數(shù)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>作為可以形成優(yōu)選的環(huán)氧樹(shù)脂衍生物(B-3)的雙酚類環(huán)氧化合物，可以例舉以下的化合物包括雙(4-羥基苯基)酮、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)酮、雙(4-羥基-3,5-二氯苯基)酮、雙(4-羥基苯基)砜、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)砜、雙(4-羥基-3，5-二氯苯基)砜、雙(4-羥基苯基)六氟丙烷、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)六氟丙烷、雙(4-羥基-3，5-二氯苯基)六氟丙烷、雙(4-羥基苯基)二甲基硅垸、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)二甲基硅烷、雙(4-羥基-3,5-二氯苯基)二甲基硅垸、雙(4-羥基苯基)甲垸、雙(4-羥基-3，5-二氯苯基)甲烷、雙(4-羥基-3，5-二溴苯基)甲垸、2，2-雙(4-羥基苯基)丙垸、2，2-雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)丙垸、2，2-雙(4-羥基-3，5-二氯苯基)丙烷、2，2-雙(4-羥基-3-甲基苯基)丙垸、2，2-雙(4-羥基-3-氯苯基)丙烷、二(4-羥基苯基)醚、二(4-羥基-3，5-二甲基苯基)醚、二(4-羥基-3,5-二氯苯基)醚的化合物，X為所述的9，9-亞芴基的9，9-雙(4-羥基苯基)芴、9，9-雙(4-羥基-3-甲基苯基)荷、9，9-雙(4-羥基-3-氯苯基)芴、9，9-雙(4-羥基-3-溴苯基)芴、9,9-雙(4-羥基-3-氟苯基)芴、9,9-雙(4-羥基-3-甲氧基苯基)芴、9，9-雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)芴、9，9-雙(4-羥基-3，5-二氯苯基)芴、9，9-雙(4-羥基-3，5-二溴苯基)芴等，以及4,4'-聯(lián)酚、3，3'-聯(lián)酚等化合物。此外，將雙酚類環(huán)氧化合物縮水甘油醚化時(shí)，雖然會(huì)混入低聚物，但如果式(l)中的n的平均值在010、較好是02的范圍內(nèi)，則本樹(shù)脂組合物的性能不會(huì)出現(xiàn)問(wèn)題。作為在上述樹(shù)脂中引入乙烯性雙鍵的方法，可以例舉例如使具有羧基和乙烯性雙鍵的化合物的羧基與雙酚類環(huán)氧化合物的環(huán)氧基反應(yīng)的方法。另外，可以使該反應(yīng)中生成的羥基和酸酐反應(yīng)，在分子內(nèi)引入羧基。感光性樹(shù)脂(B)的酸值較好是10300mgKOH/g，更好是30150mgK0H/g。如果在該范圍內(nèi)，則堿溶解性、顯影性良好。感光性樹(shù)脂(B)較好是在1分子內(nèi)具有3個(gè)以上的乙烯性雙鍵，更好是在l分子內(nèi)具有6個(gè)以上的乙烯性雙鍵。由此，曝光部分和未曝光部分的堿溶解度容易形成差異，能夠以更少的曝光量形成微細(xì)的圖案。感光性樹(shù)脂(B)的數(shù)均分子量較好是1000以上且不足100000，更好是4000以上且不足60000。如果在該范圍內(nèi)，則堿溶解性、顯影性良好。感光性樹(shù)脂(B)較好是還具有作為可進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)的基團(tuán)的羧基和/或羥基。這是因?yàn)楸景l(fā)明的負(fù)型感光性組合物還包含作為具有2個(gè)以上可與羧基和/或羥基反應(yīng)的基團(tuán)的化合物的熱固化劑(G)的情況下，通過(guò)顯影后的加熱處理與感光性樹(shù)脂(B)進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)，涂膜的交聯(lián)密度增大，耐熱性提高。作為酸性基團(tuán)的羧基、酚性羥基也是可進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)的基團(tuán)。感光性樹(shù)脂(B)具有作為酸性基團(tuán)的磺酸基、磷酸基的情況下，作為可進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)的基團(tuán)，較好是具有羧基、酚性羥基、醇性羥基中的任意l個(gè)以上。負(fù)型感光性組合物的所有固體成分中的感光性樹(shù)脂(B)的比例較好是相對(duì)于所有固體成分較好是580質(zhì)量％，更好是1060質(zhì)量％。如果在該范圍內(nèi)，則負(fù)型感光性組合物的堿顯影性良好。本發(fā)明的負(fù)型感光性組合物較好是包含光聚合引發(fā)劑(c)。光聚合引發(fā)劑較好是由通過(guò)光產(chǎn)生自由基的化合物形成。作為光聚合引發(fā)劑(c)，可以例舉例如苯偶酰、丁二酮、苯甲?；姿峒柞ァ?，10-菲醌等ci-二酮類，苯偶姻等偶姻類，苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻異丙基醚等偶姻醚類，噻噸酮、2-氯噻噸酮、2-甲基噻噸酮、2,4-二甲基噻噸酮、異丙基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、2,4-二氯噻噸酮、2，4-二異丙基噻噸酮、噻噸酮-4-磺酸等噻噸酮類，二苯酮、4，4'-雙(二甲氨基)二苯酮、4,4，-雙(二乙氨基)二苯酮等二苯酮類，乙酰苯、2-(4-甲苯磺酰氧基)2-苯基乙酰苯、對(duì)二甲氨基乙酰苯、2，2，-二甲氧基-2-苯基乙酰苯、對(duì)甲氧基乙酰苯、2-甲基-[4-(甲基硫代)苯基]-2-嗎啉基-1-丙酮、2-芐基-2-二甲氨基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁-l-酮等乙酰苯類，蒽醌、2-乙基蒽醌、樟腦醌、1,4-萘醌等醌類，2-二甲氨基苯甲酸乙酯、4-二甲氨基苯甲酸乙酯、4-二甲氨基苯甲酸(正丁氧基)乙酯、4-二甲氨基苯甲酸異戊酯、4-二甲氨基苯甲酸-2-乙基己酯等氨基苯甲酸類，苯甲酰甲基氯、三鹵甲基苯基砜等鹵素化合物，酰基氧化膦類，過(guò)氧化二叔丁基等過(guò)氧化物，1,2-辛二酮，1-[4-(苯基硫代)-，2-(鄰苯甲酰肟)]、乙酮1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?；?-9H-咔唑-3-基]-1-(鄰乙酰肟)等肟酯類，2，2-雙(2-氯苯基)-4，5，4'，5'-四苯基-l，2'-聯(lián)咪唑等咪唑類，鄰苯甲?；郊姿峒柞サ?。這些光聚合引發(fā)劑可以單獨(dú)使用l種，也可以2種以上組合使用。尤其，上述氨基苯甲酸類、上述二苯酮類等可與其它光自由基發(fā)生劑一起使用，有時(shí)會(huì)發(fā)揮敏化效果。此外，三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺、正丁胺、N-甲基二乙醇胺、甲基丙烯酸二乙氨基乙酯等脂肪族胺類也可與其它光自由基發(fā)生劑一起使用，有時(shí)會(huì)發(fā)揮敏化效果。負(fù)型感光性組合物的所有固體成分中的光聚合引發(fā)劑(C)的比例相對(duì)于所有固體成分較好是O.150質(zhì)量％，更好是O.530質(zhì)量％。如果在該范圍內(nèi)，則負(fù)型感光性組合物的堿顯影性良好。本發(fā)明的負(fù)型感光性組合物較好是還包含自由基交聯(lián)劑(D)。由此，可以促進(jìn)基于光照的固化，以較短的時(shí)間實(shí)現(xiàn)固化。作為自由基交聯(lián)劑(D)，較好是不溶于堿且具有2個(gè)以上的乙烯性雙鍵的化合物。但是，實(shí)質(zhì)上不具有氟代垸基。作為具體例子，可以例舉二(甲基)丙烯酸二甘醇酯、二(甲基)丙烯酸四甘醇酯、二(甲基)丙烯酸三丙二醇酯、二(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、二(甲基)丙烯酸-l，9-壬二醇酯、三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙烷酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸二三羥甲基丙烷酯、六(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯等。它們可以單獨(dú)使用，也可以2種以上并用。負(fù)型感光性組合物的所有固體成分中的自由基交聯(lián)劑(D)的比例相對(duì)于所有固體成分較好是1060質(zhì)量％,更好是1550質(zhì)量％。如果在該范圍內(nèi)，則負(fù)型感光性組合物的堿顯影性良好。本發(fā)明的負(fù)型感光性組合物較好是根據(jù)需要包含熱固化劑(E)。由此，有時(shí)感光性樹(shù)脂的耐熱性、耐透水性會(huì)提高。作為熱固化劑(E)，可以例舉例如氨基樹(shù)脂、具有2個(gè)以上的環(huán)氧基的化合物、具有2個(gè)以上的肼基的化合物、多碳二亞胺化合物、具有2個(gè)以上的嗯唑啉基的化合物、具有2個(gè)以上的氮丙啶基的化合物、多價(jià)金屬類、具有2個(gè)以上的巰基的化合物、多異氰酸酯化合物等。上述的熱固化劑(E)中，為了提高所形成的間隔壁的耐藥品性，特別好是氨基樹(shù)脂、具有2個(gè)以上的環(huán)氧基的化合物或具有2個(gè)以上的嗯唑啉基的化合物。負(fù)型感光性組合物的所有固體成分中的熱固化劑(E)的比例相對(duì)于所有固體成分較好是150質(zhì)量％，更好是530質(zhì)量％。如果在該范圍內(nèi)，則負(fù)型感光性組合物的堿顯影性良好。本發(fā)明的負(fù)型感光性組合物較好是根據(jù)需要包含硅烷偶聯(lián)劑(F)。由此，可以使與基材的密合性提高。作為硅垸偶聯(lián)劑的具體例子，可以例舉四乙氧基硅垸、3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅垸、甲基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-巰基丙基三甲氧基硅烷、十七氟辛基乙基三甲氧基硅垸、含聚氧化烯鏈的三乙氧基硅垸、咪唑硅烷等。它們可以單獨(dú)使用，也可以2種以上并用。本發(fā)明的負(fù)型感光性組合物中可以使用稀釋劑(G)。作為稀釋劑(G)的具體例子，可以例舉含氟聚合物(A)的說(shuō)明中示例的聚合性單體。此外，可以例舉合成含氟聚合物(A)時(shí)使用的溶劑的說(shuō)明中示例的溶劑。除此之外，可以例舉正丁垸、正己垸等鏈烴，環(huán)己烷等環(huán)烴，甲苯、二甲苯、節(jié)醇等芳烴等。它們可以單獨(dú)使用，也可以2種以上并用。另外，本發(fā)明的負(fù)型感光性組合物中可以根據(jù)需要使用著色劑(H)。由此，可以對(duì)間隔壁進(jìn)行著色。用于形成黑色矩陣(BM)的黑色感光性著色組合物中可以使用例如炭黑、苯胺黑、蒽醌類黑色顏料、茈類黑色顏料，具體有C.I.顏料黑l、6、7、12、20、31等。黑色感光性著色組合物也可以使用紅色顏料、藍(lán)色顏料、綠色顏料等有機(jī)顏料或無(wú)機(jī)顏料的混合物。作為黑色顏料，從價(jià)格、遮光性的強(qiáng)弱來(lái)看，較好是炭黑，炭黑可以通過(guò)樹(shù)脂等進(jìn)行表面處理。此外，為了調(diào)整色調(diào)，黑色感光性著色組合物中可以并用藍(lán)色顏料或紫色顏料。作為炭黑，從黑色矩陣的形狀的角度來(lái)看，較好是基于BET法的比表面積為50200m7g。這是因?yàn)槭褂帽缺砻娣e不足50m7g的炭黑的情況下，引起黑色矩陣形狀的劣化，使用大于200m7g的炭黑的情況下，炭黑中過(guò)度吸附分散助劑，導(dǎo)致為了發(fā)揮各種物性而需要摻入大量的分散助劑。此外，作為炭黑，從靈敏度的角度來(lái)看，苯二甲酸二丁酯的吸油量較好是在120cc/100g以下，越少越好。另外，炭黑的基于透射型電子顯微鏡觀察的平均一次粒徑較好是205Onm。這是因?yàn)槿绻骄淮瘟竭^(guò)小，則可能會(huì)難以使其高濃度地分散，難以獲得經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性良好的感光性黑色組合物；如果平均一次粒徑過(guò)大，則可能會(huì)導(dǎo)致黑色矩陣的形狀劣化。作為紅色顏料，例如可以使用C.I.顏料紅7、9、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、97、122、123、146、149、168、177、178、179、180、184、185、187、192、200、202、208、210、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、246、254、255、264、272、279等。作為藍(lán)色顏料，例如可以使用C.I.顏料藍(lán)15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、80等。作為綠色顏料，例如可以使用C.I.顏料綠7、36等。本發(fā)明的負(fù)型感光性組合物中可以根據(jù)需要使用固化促進(jìn)劑、增粘劑、增塑劑、消泡劑、均化劑、防凹陷劑、紫外線吸收劑等。實(shí)施例以下，示例合成例和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體說(shuō)明，但本發(fā)明并不受其限定。另外，以下的說(shuō)明中，只要沒(méi)有特別說(shuō)明，份和％為質(zhì)量基準(zhǔn)。重均分子量為通過(guò)凝膠滲透色譜法以聚苯乙烯為標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)測(cè)定的值。含氟聚合物(A)所含的氟原子的含有率通過(guò)以下的方法測(cè)定。使得到的含氟樹(shù)脂在120(TC完全燃燒分解，將產(chǎn)生的氣體吸收于50g水中。對(duì)得到的水溶液的氟化物離子量進(jìn)行定量，算出含氟聚合物(A)所含的氟原子的含有率。酸值(mgKOH/g)和l分子中的乙烯性雙鍵的數(shù)量為根據(jù)作為原料的單體的配比算出的理論值。以下的各例中使用的化合物的縮寫如下所示。C4FMA:CH2=C(CH3)COOCH2CH2(CF2)4F，C6FMA:CH2=C(CH3)COOCH2CH2(CF2)6F，DMS:含二甲基硅氧垸鏈的甲基丙烯酸酯(信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社(信越化學(xué)工業(yè)社)制，商品名X-22-174DX),2HEMA:甲基丙烯酸-2-羥基乙酯，MAA:甲基丙烯酸，AA:丙烯酸，醒A:甲基丙烯酸甲酯，IBMA:甲基丙烯酸異冰片酯，2ME:2-巰基乙醇，V70:2，2，-偶氮二(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社(和光純薬社)制，商品名V-70)，M0I:2-甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯，DBTDL:二月桂酸二丁錫，BHT:2，6-二叔丁基對(duì)甲酚，IR907:自由基引發(fā)劑(汽巴精化公司(于^7^、乂亇少亍^^$力少乂社)制，商品名IRGACURE-907)，IR369:自由基引發(fā)劑(汽巴精化公司(于A7^、乂亇少于Y^$力小X'社)制，商品名IRGACURE-369)，0XE01:1，2-辛二酮，l-[4-(苯基硫代)-，2-(鄰苯甲酰肟)](汽巴精化公司(于^7〃、乂亇^亍<^$力少X社)制，商品名0XE01)，0XE02:乙酮1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?；?-9H-咔唑-3-基]-l-(鄰乙酰肟)(汽巴精化公司(于^只^、乂亇/P亍Y$力少乂社)制，商品名0XE02)，DEAB:4，4，-雙(二乙氨基)二苯酮，DETX-S:異丙基噻噸酮(日本化藥株式會(huì)社(日本化薬社)制，商品名DETX-S)，D310:五丙烯酸二季戊四醇酯(日本化藥株式會(huì)社(日本化薬社)制，商品名KAYARADD-310)，CCR1115:甲酚酚醛清漆型環(huán)氧丙烯酸酯(日本化藥株式會(huì)社(日本化薬社)制，商品名CCR-1115，固體成分60質(zhì)量％)，ZFR1492H:雙酚F型環(huán)氧丙烯酸酯(日本化藥株式會(huì)社(日本化薬社)制，商品名ZFR-1492H，固體成分65質(zhì)量％)，D310:五丙烯酸二季戊四醇酯(日本化藥株式會(huì)社(日本化薬社)制，商品名KAYARADD-310)，157S65:雙酚A酚醛清漆型(日本環(huán)氧樹(shù)脂株式會(huì)社(^卞^V工求年〉k、2:/社)制，商品名EPIK0TE157S65)，KBM403:3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷(信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社(信越化學(xué)工業(yè)社)制，商品名KBM-403)，DEGDM:二甘醇二甲醚，CB:炭黑(平均二次粒徑420nm，丙二醇單甲醚乙酸酯溶液，CB成分20質(zhì)量％，固體成分25質(zhì)量％)，有機(jī)顏料混合有機(jī)顏料分散液(平均二次粒徑^Onm，丙二醇單甲醚乙酸酯溶液，有機(jī)顏料成分20質(zhì)量％，固體成分25質(zhì)量％)。(共聚)在具備攪拌機(jī)的內(nèi)容積lL的高壓釜中加入556.0g丙酮、96.OgC6FMA、4.8gMAA、96.Og2-HEMA、43.2gMMA、6.2g鏈轉(zhuǎn)移劑2-ME和4.5g聚合引發(fā)劑V-70，在氮?dú)鈿夥障聰嚢璧耐瑫r(shí)，使其在4(TC聚合18小時(shí)，獲得共聚物l的溶液。該共聚物1的重均分子量為5600。向得到的共聚物l的丙酮溶液中加水進(jìn)行再沉淀純化，再通過(guò)石油醚進(jìn)行再沉淀純化，真空干燥，獲得237g共聚物l。(乙烯性雙鍵的引入)在具備溫度計(jì)、攪拌機(jī)、加熱裝置的內(nèi)容量500mL的玻璃制燒瓶中加入100g共聚物l、47.7gMOI、0.19gDBTDL、2.4gBHT和100g丙酮，攪拌的同時(shí)使其在3(TC聚合18小時(shí)，獲得含氟聚合物(A-l)的溶液。向得到的含氟聚合物(A-1)的丙酮溶液中加水進(jìn)行再沉淀純化，再通過(guò)石油醚進(jìn)行再沉淀純化，真空干燥，獲得135g含氟聚合物(A-1)。重均分子量為8800。〈含氟聚合物(A-2)(A-6)、(R-l)的合成〉通過(guò)除了在共聚物l的合成中按照表l改變?cè)系呐浔?單位g)之外同樣的聚合反應(yīng)，獲得共聚物27。接著，通過(guò)除了在含氟聚合物(A-1)的合成中按照表2改變?cè)系呐浔?單位g)之外同樣的聚合反應(yīng)，獲得具備具有乙烯性雙鍵的側(cè)鏈的含氟聚合物(A-2)(A-6)、不具備具有乙烯性雙鍵的側(cè)鏈的含氟聚合物(R-1)。得到的含氟聚合物的重均分子量、含氟聚合物中的氟原子的含有率、1分子中的乙烯性雙鍵(C=C)的數(shù)量、酸值(mgK0H/g)示于表2。[表l]<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>[合成例8]〈感光性樹(shù)脂(B-l)的合成〉在具備攪拌機(jī)的內(nèi)容積lL的高壓釜中加入555.0g丙酮、96.0gAA、96.0g2-HEMA、48.0gIBMA、9.7g鏈轉(zhuǎn)移劑DSH和7.lg聚合引發(fā)劑V-70，在氮?dú)鈿夥障聰嚢璧耐瑫r(shí)，使其在4(TC聚合18小時(shí)，獲得聚合物8的溶液。該聚合物8的重均分子量為9800。向得到的聚合物3的丙酮溶液中加水進(jìn)行再沉淀純化，再通過(guò)石油醚進(jìn)行再沉淀純化，真空干燥，獲得240g聚合物8。然后，在具備溫度計(jì)、攪拌機(jī)、加熱裝置的內(nèi)容量300mL的玻璃制燒瓶中加入100g聚合物8、48.3gMOI、0.19gDBTDL、2.4gBHT和100g丙酮，攪拌的同時(shí)使其在3(TC聚合18小時(shí)，獲得感光性樹(shù)脂(B-1)的溶液。向得到的感光性樹(shù)脂(B-1)的丙酮溶液中加水進(jìn)行再沉淀純化，再通過(guò)石油醚進(jìn)行再沉淀純化，真空干燥，獲得148g感光性樹(shù)脂(B-1)。感光性樹(shù)脂(B-1)的重均分子量為13200。將具備具有乙烯性雙鍵的側(cè)鏈的含氟聚合物(A-1)(A-6)、不具備具有乙烯性雙鍵的側(cè)鏈的含氟聚合物(R-1)、感光性樹(shù)脂(B-1)、光聚合引發(fā)劑(C)和根據(jù)需要采用的其它成分以表3所示的比例(質(zhì)量份)配合，調(diào)制負(fù)型感光性組合物18。使用上述制成的負(fù)型感光性組合物，通過(guò)以下的例1例13所示的方法，在基材上形成間隔壁。對(duì)于各個(gè)形成了間隔壁的基材，通過(guò)以下所示的方法對(duì)顯影性、拒水拒油性、耐藥品性、噴墨(IJ)涂布性進(jìn)行測(cè)定、評(píng)價(jià)。它們的結(jié)果匯總示于表4。(顯影性)將可以完全地顯影的記作O，存在未被顯影的部分的記作X。(拒水拒油性)拒水拒油性通過(guò)形成于玻璃基材的涂膜表面的水和二甲苯的接觸角(度)進(jìn)行評(píng)價(jià)。接觸角是指固體和液體接觸的點(diǎn)上的對(duì)于液體表面的切線和固體表面所成的角，定義為包含液體的一方的角度。該角度越大，則表示涂膜的拒水拒油性越好。對(duì)于水的接觸角，將95度以上記作〇，90度以上且不足95度記作A，不足90度記作X。對(duì)于二甲苯的接觸角，將40度以上記作Q，35度以上且不足40度記作A，不足35度記作X。(耐藥品性)將所得的形成了間隔壁圖案的玻璃基材在25'C浸漬于丙酮24小時(shí)。將浸漬后的間隔壁的膜厚和形狀沒(méi)有變化且拒水拒油性也沒(méi)有變化的記作〇，間隔壁的膜厚和形狀沒(méi)有變化、但拒水拒油性下降的記作A，將間隔壁剝離或溶解的記作X。(噴墨(IJ)涂布性)對(duì)于所得的形成了間隔壁圖案的玻璃基材，使用噴墨裝置，在以間隔壁分隔而成的區(qū)域內(nèi)注入含RGB各色的顏料的UV固化型墨形成墨層，從而形成像素。對(duì)這樣得到的像素圖案通過(guò)超景深形狀測(cè)定顯微鏡(基恩士公司(年一工y只社)帝ij)進(jìn)行觀察。將沒(méi)有相鄰像素間的混色和洇出，也沒(méi)有像素內(nèi)的墨層的膜厚不均，獲得沒(méi)有漏白的像素圖案的記作O;沒(méi)有像素間的混色和洇出，但存在像素內(nèi)的涂膜的膜厚不均，出現(xiàn)漏白的記作A;存在像素間的混色和洇出的記作X。[例l]在玻璃基板上使用旋轉(zhuǎn)器涂布負(fù)型感光性組合物l后，在加熱板上于l(KTC預(yù)烘焙2分鐘，形成膜厚2.0um的涂膜。然后，在涂膜的上方以30"m的間距設(shè)置形成有格子圖案的掩模(線二2O"ra，格子空間-80umX400"m),通過(guò)超高壓汞燈照射50mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質(zhì)量X氫氧化四甲鉸水溶液在25"C進(jìn)行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過(guò)超高壓汞燈從間隔壁形成面?zhèn)?正面?zhèn)?照射4000mJ/cm2，獲得形成了圖案的基材。[例2]在玻璃基板上使用旋轉(zhuǎn)器涂布負(fù)型感光性組合物2后，在加熱板上于l0(TC預(yù)烘焙2分鐘，形成膜厚2.0um的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距設(shè)置形成有格子圖案的掩模(線二2Oum，格子空間^80umX400ura)，通過(guò)超高壓汞燈照射100mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質(zhì)量％氫氧化四甲銨水溶液在25°〇進(jìn)行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過(guò)超高壓汞燈從間隔壁形成面的反面?zhèn)日丈?500mJ/cm2,再在200。C進(jìn)行加熱處理1小時(shí)，獲得形成了圖案的基材。在玻璃基板上使用旋轉(zhuǎn)器涂布負(fù)型感光性組合物3后，在加熱板上于l0(TC預(yù)烘焙2分鐘，形成膜厚2.0wm的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距設(shè)置形成有格子圖案的掩模(線二2Oura，格子空間80umX400um)，通過(guò)超高壓汞燈照射100mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質(zhì)量％氫氧化四甲銨水溶液在25°(:進(jìn)行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過(guò)超高壓汞燈從間隔壁形成面?zhèn)日丈?000mJ/cm2，再在20(TC進(jìn)行加熱處理l小時(shí)，獲得形成了圖案的基材。在玻璃基板上使用旋轉(zhuǎn)器涂布負(fù)型感光性組合物4后，在加熱板上于l0(TC預(yù)烘焙2分鐘，形成膜厚2.0um的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距設(shè)置形成有格子圖案的掩模(線二2Oum，格子空間^80timX400um)，通過(guò)超高壓汞燈照射200mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質(zhì)量X氫氧化四甲銨水溶液在25'C進(jìn)行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過(guò)超高壓汞燈從間隔壁形成面的反面?zhèn)日丈?000mJ/cm2，再在20(TC進(jìn)行加熱處理1小時(shí)，獲得形成了圖案的基材。在玻璃基板上使用旋轉(zhuǎn)器涂布負(fù)型感光性組合物5后，在加熱板上于l0(TC預(yù)烘焙2分鐘，形成膜厚2.0nra的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距設(shè)置形成有格子圖案的掩模(線二20"m，格子空間二80uraX400um)，通過(guò)超高壓汞燈照射200mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質(zhì)量X氫氧化四甲銨水溶液在25'C進(jìn)行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過(guò)超高壓汞燈從間隔壁形成面?zhèn)日丈?000raJ/cm2，再在20(TC進(jìn)行加熱處理l小時(shí)，獲得形成了圖案的基材。在玻璃基板上使用旋轉(zhuǎn)器涂布負(fù)型感光性組合物6后，在加熱板上于l0(TC預(yù)烘焙2分鐘，形成膜厚2.0um的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距設(shè)置形成有格子圖案的掩模(線4Oura，格子空間二80"mX400um)，通過(guò)超高壓汞燈照射200mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質(zhì)量X氫氧化四甲銨水溶液在25"C進(jìn)行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過(guò)超高壓汞燈從間隔壁形成面?zhèn)日丈?000mJ/cra2，再在20(TC進(jìn)行加熱處理l小時(shí)，獲得形成了圖案的基材。在預(yù)先形成有格子狀的黑色矩陣(BM)(線40um，格子空間^80umX400um)玻璃基板上使用旋轉(zhuǎn)器涂布負(fù)型感光性組合物2后，在加熱板上于IOCTC預(yù)烘焙2分鐘，形成膜厚2.0"m的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距以在黑色矩陣上形成間隔壁的狀態(tài)設(shè)置形成有格子圖案的掩模(線^6um,格子空間82ixraX402nin)，通過(guò)超高壓汞燈照射100mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質(zhì)量％氫氧化四甲銨水溶液在25'C進(jìn)行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過(guò)超高壓汞燈從間隔壁形成面?zhèn)日丈?000mJ/cm2，再在20(TC進(jìn)行加熱處理l小時(shí)，獲得形成了圖案的基材。在環(huán)烯烴聚合物(日本瑞翁株式會(huì)社(日本f'才V社)制，ZEONOR1600R)基板上使用旋轉(zhuǎn)器涂布負(fù)型感光性組合物l后，在加熱板上于10(TC預(yù)烘焙2分鐘，形成膜厚2.0nm的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距設(shè)置形成有格子圖案的掩模(線4Oum，格子空間^80iimX400um)，通過(guò)超高壓汞燈照射100mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質(zhì)量X氫氧化四甲銨水溶液在25'C進(jìn)行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過(guò)超高壓汞燈從間隔壁形成面?zhèn)日丈?000mJ/cm2，獲得形成了圖案的基材。在通過(guò)濺射法層疊了20nm二氧化硅的環(huán)烯烴聚合物(日本瑞翁株式會(huì)社(日本if才y社)制，ZEONOR1600R)基板上使用旋轉(zhuǎn)器涂布負(fù)型感光性組合物4后，在加熱板上于10(TC預(yù)烘焙2分鐘，形成膜厚2.0pm的涂膜。然后，在涂膜的上方以30tim的間距設(shè)置形成有格子圖案的掩模(線^Oum，格子空間80umX400iim)，通過(guò)超高壓汞燈照射200mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質(zhì)量X氫氧化四甲銨水溶液在25"C進(jìn)行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過(guò)超高壓汞燈從間隔壁形成面反面?zhèn)日丈?000mJ/cm2，再在l5(TC進(jìn)行加熱處理1小時(shí)，獲得形成了圖案的基材。在玻璃基板上使用旋轉(zhuǎn)器涂布負(fù)型感光性組合物l后，在加熱板上于l0(TC預(yù)烘焙2分鐘，形成膜厚2.0um的涂膜。然后，在涂膜的上方以30"0!的間距設(shè)置形成有格子圖案的掩模(線=2Oum，格子空間^80"mX400pm)，通過(guò)超高壓汞燈照射100mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質(zhì)量X氫氧化四甲銨水溶液在25'C進(jìn)行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。在玻璃基板上使用旋轉(zhuǎn)器涂布負(fù)型感光性組合物l后，在加熱板上于l0CTC預(yù)烘焙2分鐘，形成膜厚2.0"m的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距設(shè)置形成有格子圖案的掩模(線二20"m，格子空間80umX400um)，通過(guò)超高壓汞燈照射200mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質(zhì)量％氫氧化四甲銨水溶液在25"進(jìn)行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，在200'C進(jìn)行加熱處理1小時(shí)，獲得形成了圖案的基材。在玻璃基板上使用旋轉(zhuǎn)器涂布負(fù)型感光性組合物7后，在加熱板上于l0(TC預(yù)烘焙2分鐘，形成膜厚2.0um的涂膜。然后，在涂膜的上方以30ixm的間距設(shè)置形成有格子圖案的掩模(線二2Oura，格子空間80uraX400nm)，通過(guò)超高壓汞燈照射200mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.l質(zhì)量^氫氧化四甲銨水溶液在25t:進(jìn)行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過(guò)超高壓汞燈從間隔壁形成面的反面?zhèn)日丈?000mJ/cm2，再在20(TC進(jìn)行加熱處理1小時(shí)，獲得形成了圖案的基材。在玻璃基板上使用旋轉(zhuǎn)器涂布負(fù)型感光性組合物8后，在加熱板上于l0(TC預(yù)烘焙2分鐘，形成膜厚2.0"m的涂膜。然后，在涂膜的上方以30pm的間距設(shè)置形成有格子圖案的掩模(線二20"m，格子空間80umX400um)，通過(guò)超高壓汞燈照射200mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質(zhì)量X氫氧化四甲銨水溶液在25"C進(jìn)行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過(guò)超高壓汞燈從間隔壁形成面的反面?zhèn)日丈?000mJ/cm2，再在20(TC進(jìn)行加熱處理1小時(shí)，獲得形成了圖案的基材。<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table>[表4]<table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table>噴墨涂布性差。例ll由于未進(jìn)行后曝光，因此噴墨涂布性差。例12由于包含不具備具有乙烯性雙鍵的側(cè)鏈的含氟聚合物，因此拒油性、耐藥品性稍差，噴墨涂布性差。例13由于不含含氟聚合物，因此拒水拒油性、噴墨涂布性差。產(chǎn)業(yè)上利用的可能性本發(fā)明的間隔壁制造方法適合用于通過(guò)噴墨涂布方式制成的濾色片的間隔壁、液晶顯示元件的ITO電極的間隔壁、有機(jī)EL顯示元件的間隔壁、布線電路基板的間隔壁等電子器件的間隔壁的制造。在這里引用2005年11月28日提出申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)2005-342278號(hào)的說(shuō)明書(shū)、權(quán)利要求書(shū)和說(shuō)明書(shū)摘要的全部?jī)?nèi)容，作為本發(fā)明說(shuō)明書(shū)的揭示采用。權(quán)利要求1.間隔壁的制造方法，其特征在于，依次具備將負(fù)型感光性組合物涂布于基材的工序、干燥工序、曝光工序、顯影工序，然后具備后曝光工序，所述負(fù)型感光性組合物包含含氟聚合物(A)，該含氟聚合物包含具有氟代烷基的側(cè)鏈和具有乙烯性雙鍵的側(cè)鏈；其中，所述氟代烷基可以在碳原子間具有醚性氧原子。2.如權(quán)利要求l所述的間隔壁的制造方法，其特征在于，后曝光工序中，使用超高壓汞燈或高壓汞燈進(jìn)行曝光。3.如權(quán)利要求l所述的間隔壁的制造方法，其特征在于，后曝光工序中，使用低壓汞燈以500mJ/cm2以下的曝光量進(jìn)行曝光。4.如權(quán)利要求13中的任一項(xiàng)所述的間隔壁的制造方法，其特征在于，后曝光工序后具備加熱處理工序。5.如權(quán)利要求14中的任一項(xiàng)所述的間隔壁的制造方法，其特征在于，所述含氟聚合物(A)的氟原子含量為535質(zhì)量X，且含氟聚合物(A)在負(fù)型感光性組合物的所有固體成分中的比例為O.130質(zhì)量％。6.如權(quán)利要求15中的任一項(xiàng)所述的間隔壁的制造方法，其特征在于，所述含氟聚合物(A)是還具備具有酸性基團(tuán)的側(cè)鏈的聚合物。7.如權(quán)利要求16中的任一項(xiàng)所述的間隔壁的制造方法，其特征在于，所述負(fù)型感光性組合物包含在l個(gè)分子內(nèi)具有酸性基團(tuán)和乙烯性雙鍵的可溶于堿的感光性樹(shù)脂(B)以及光聚合引發(fā)劑(C)。8.濾色片的制造方法，其特征在于，通過(guò)權(quán)利要求17中的任一項(xiàng)所述的制造方法在基材上形成間隔壁后，在以間隔壁分隔而成的區(qū)域內(nèi)通過(guò)噴墨法注入墨而形成像素。9.有機(jī)EL顯示元件的制造方法，其特征在于，通過(guò)權(quán)利要求17中的任一項(xiàng)所述的制造方法在基材上形成間隔壁后，在以間隔壁分隔而成的區(qū)域內(nèi)通過(guò)噴墨法注入墨而形成像素。全文摘要本發(fā)明提供即使曝光工序的曝光量低，墨層的膜厚均勻性也良好的間隔壁的制造方法。間隔壁的制造方法的特征在于，依次具備將負(fù)型感光性組合物涂布于基材的工序、干燥工序、曝光工序、顯影工序，然后具備后曝光工序，所述負(fù)型感光性組合物包含含氟聚合物(A)，該含氟聚合物包含具有氟代烷基的側(cè)鏈和具有乙烯性雙鍵的側(cè)鏈；其中，所述氟代烷基可以在碳原子間具有醚性氧原子。文檔編號(hào)B41M5/00GK101317132SQ200680044240公開(kāi)日2008年12月3日申請(qǐng)日期2006年11月28日優(yōu)先權(quán)日2005年11月28日發(fā)明者石関健二,高橋秀幸申請(qǐng)人:旭硝子株式會(huì)社