專利名稱：基板吸附剝離裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及液晶顯示器技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種基板吸附剝離裝置。
背景技術(shù)：
真空貼合工藝是液晶面板制造過程中的重要步驟，在密閉的真空腔體中，通過上定盤和下定盤分別吸附陣列(Thin Film Transistor,TFT)基板和彩膜(Color Filter,CF) 基板，上定盤和下定盤相向移動，把TFT基板和CF基板壓合在一起形成液晶面板。隨著高世代液晶面板生產(chǎn)線的發(fā)展，剝離基板的尺寸越來越大，對上定盤的吸附力和剝離基板方式的要求也越來越高。目前廣泛使用的對基板進(jìn)行吸附和剝離的裝置主要包括圓盤式硅橡膠吸附(Silicone Foam rubber Chuck, SFC)裝置和平板式硅橡膠吸附 (Plate Silicone rubber Chuck,PSC)裝置。如圖1所示，在SFC裝置中，上定盤1上設(shè)置有若干個環(huán)形的SFC粘性模塊2用來吸附基板，基板剝離時計算機控制上定盤1向上移動， 同時控制位于SFC粘性模塊2中心的氣囊3充氣鼓起使得基板剝離，通常SFC粘性模塊2 的個數(shù)超過200個。如圖2所示，在PSC裝置中，上定盤1上具有大面積的PSC粘性模塊4， 用于吸附基板，PSC粘性模塊4與上定盤1之間設(shè)置有頂針(Pin) 5，基板剝離時計算機控制上定盤1向上移動，同時控制頂針5向下頂出使基板剝離，通常PSC粘性模塊4的個數(shù)為4 個。上述兩種方式都存在一些不足之處，首先對于SFC裝置1、SFC粘性模塊2的吸附面積太小，而數(shù)量特別多，導(dǎo)致基板容易受力不均勻；2、由于基板面積較大，而SFC粘性模塊2的體積較小，上定盤1上需要安裝的SFC 粘性模塊2的數(shù)量非常多，安裝和維護(hù)的工作量大；3,SFC使用氣囊3充氣鼓起剝離基板的方式，氣囊3易于老化漏氣，因此不能保證對盒后的液晶面板內(nèi)部是真空狀態(tài)；其次，對于PSC裝置，存在以下缺陷UPSC單體面積大，價格高，更換和維護(hù)成本較高；2、PSC使用頂針5頂出的方式使基板剝離，剝離時頂針5與基板接觸面積小受力集中，會造成暗斑或黑斑(Pin Mura)等不良。

實用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本實用新型要解決的技術(shù)問題是如何在吸附基板進(jìn)行貼合時使基板受力均勻，且在基板剝離時避免因頂針與基板接觸，基板的受力過于集中引起的暗斑黑斑等不良。(二)技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型實施例提供了一種基板吸附剝離裝置，包括 上定盤和下定盤，還包括用于控制上定盤或下定盤移動的控制模塊，所述上定盤上設(shè)置有固定吸附盤和伸縮吸附盤。[0015]在進(jìn)一步的技術(shù)方案中，所述伸縮吸附盤包括吸附模塊，所述吸附模塊設(shè)置在上
定盤上。在進(jìn)一步的技術(shù)方案中，所述吸附模塊通過伸縮頂針設(shè)置在上定盤上，所述伸縮頂針與控制模塊連接。在進(jìn)一步的技術(shù)方案中，所述吸附模塊和伸縮頂針之間設(shè)置有底座。在進(jìn)一步的技術(shù)方案中，所述固定吸附盤和吸附模塊的尺寸、形狀均相同。在進(jìn)一步的技術(shù)方案中，所述固定吸附盤以螺接、粘接或卡接的方式固定在上定
In ο在進(jìn)一步的技術(shù)方案中，所述固定吸附盤和伸縮吸附盤交替設(shè)置。在進(jìn)一步的技術(shù)方案中，所述固定吸附盤的個數(shù)等于或多于伸縮吸附盤的個數(shù)。在進(jìn)一步的技術(shù)方案中，所述固定吸附盤和伸縮吸附盤的形狀為矩形、正方形、三角形或六邊形。(三)有益效果上述技術(shù)方案具有如下有益效果1、通過在上定盤上設(shè)置若干緊密排列的固定吸附盤和伸縮吸附盤來共同吸附基板，保證了基板受力均勻，提高了基板貼合過程中的穩(wěn)定性；2、由于固定吸附盤和伸縮吸附盤的形狀、尺寸相同，可以通用，因此便于維護(hù)，減少了維護(hù)的工作量并降低了維護(hù)成本；3、伸縮頂針將伸縮吸附盤頂出實現(xiàn)基板的剝離，由于伸縮吸附盤與基板的接觸面積較大，因此避免了暗斑黑斑等不良的產(chǎn)生，提高了液晶面板的顯示品質(zhì)；4、固定吸附盤和伸縮吸附盤的尺寸、數(shù)量均可以根據(jù)基板的大小進(jìn)行調(diào)整，靈活性高；且固定吸附盤和伸縮吸附盤的外形形狀可以優(yōu)化以避免其外形與基板上的圖形產(chǎn)生干涉。

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中SFC型基板吸附剝離裝置的上定盤的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是現(xiàn)有技術(shù)中PSC型基板吸附剝離裝置的上定盤的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型實施例一的基板吸附剝離裝置的上定盤的立體圖；圖4是本實用新型實施例一的基板吸附剝離裝置在伸縮吸附盤伸出狀態(tài)下的正視圖；圖5是圖4中上定盤的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是本實用新型實施例二的基板吸附剝離裝置在伸縮吸附盤伸出狀態(tài)下的正視圖；圖7是本實用新型實施例三的基板吸附剝離裝置的上定盤的結(jié)構(gòu)示意圖；其中，1 上定盤；2 :SFC粘性模塊；3 氣囊；4 :PSC粘性模塊；5 頂針；6 下定盤； 7 固定吸附盤；8 伸縮吸附盤；81 底座；82 吸附模塊；9 伸縮頂針；10 控制模塊；11 執(zhí)行機構(gòu)。
具體實施方式
[0037]
以下結(jié)合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。本實用新型實施例提供了一種基板吸附剝離裝置，包括上定盤和下定盤，用于控制上定盤或下定盤移動的控制模塊，該上定盤上安裝有若干個固定吸附盤和伸縮吸附盤。 下面結(jié)合具體實施例對本實用新型進(jìn)行說明。實施例一如圖3、圖4和圖5所示，為本實用新型實施例的基板吸附剝離裝置的上定盤的結(jié)構(gòu)示意圖，包括上定盤1和下定盤6，下定盤6固定設(shè)置，上定盤1通過執(zhí)行機構(gòu)11與控制模塊10連接，控制模塊10用于控制上定盤1的運動。上定盤1上安裝有若干個固定吸附盤(Pad) 7和伸縮吸附盤8。固定吸附盤7和伸縮吸附盤8可以交替設(shè)置，需要保證伸縮吸附盤8的吸附力小于對盒后的基板的重力，因此優(yōu)選地，固定吸附盤7的個數(shù)等于或多于伸縮吸附盤8的個數(shù)。其中伸縮吸附盤8包括底座81和吸附模塊82。吸附模塊82通過粘接、卡接或螺接等方式固定在底座81上，底座81通過伸縮頂針9與上定盤1連接。伸縮頂針9與控制模塊10連接，控制模塊10控制伸縮頂針9的彈出和縮回。優(yōu)選地，固定吸附盤7和吸附模塊82的形狀、尺寸均相同。其形狀可以為矩形、正方形、三角形以及六邊形等等。本實施例以正方形為例進(jìn)行說明。固定吸附盤7通過內(nèi)六角螺絲固定在上定盤1上。當(dāng)然，固定吸附盤7與上定盤1的連接還可以為其他螺接方式、粘接或卡接等等。固定吸附盤7與吸附模塊82均由具有吸附作用的硅橡膠等材質(zhì)制成。形狀和尺寸均相同的固定吸附盤7和吸附模塊82其上所開設(shè)螺絲孔的位置也相同。本實用新型實施例的原理如下控制模塊10通過執(zhí)行機構(gòu)11控制上定盤1吸附基板(未示出)，這時彈性頂針9尚未彈出，固定吸附盤7和伸縮吸附盤8位于同一平面上， 二者通過其自身固有的粘性在真空環(huán)境下吸附基板?？刂颇K10控制上定盤1移動使得兩塊基板貼合好，然后進(jìn)行剝離，這時下定盤6固定不動，控制模塊10控制彈性頂針9和伸縮吸附盤8也保持不動，同時控制模塊10控制上定盤1向上移動一定距離，使基板與固定吸附盤7和上定盤1分離。然后控制模塊10控制彈性頂針9和伸縮吸附盤8收回上定盤 1，由于伸縮吸附盤8數(shù)量少于固定吸附盤7，伸縮吸附盤8的吸附力小于對盒后的基板的重力，因此基板與伸縮吸附盤8分離。實施例二本實施例與上一實施例的區(qū)別在于控制模塊10通過執(zhí)行機構(gòu)11與下定盤6連接，控制下定盤6的移動，控制模塊10還與伸縮頂針9連接用于控制伸縮頂針9的伸出和縮回。這樣可以減少上定盤1的運動機構(gòu)，減輕上定盤1的重量，使整個裝置的重心降低， 從而使裝置的運行更穩(wěn)定。具體操作時，控制模塊10控制下定盤6移動，使下定盤6的基板與上定盤1的基板對盒；基板剝離時，上定盤1固定不動，控制模塊10控制下定盤6向下移動一定距離，同時控制伸縮吸附盤8在伸縮頂針9的帶動下向下頂出一定長度，使基板與固定吸附盤7和上定盤1分離。然后伸縮吸附盤8在伸縮頂針9的帶動下收回上定盤1與基板分離。實施例三如圖6所示，本實施例與上述實施例的區(qū)別在于固定吸附盤7和伸縮吸附盤8的外形是正六邊形，且固定吸附盤7和伸縮吸附盤8呈蜂窩狀排列。固定吸附盤7和伸縮吸附盤8的接縫是不規(guī)則的網(wǎng)格圖形，不會對基板上的圖形產(chǎn)生干涉。由以上實施例可以看出，本實用新型實施例具有如下有益效果1、通過在上定盤上設(shè)置若干緊密排列的固定吸附盤和伸縮吸附盤來共同吸附基板，保證了基板受力均勻，提高了基板貼合過程中的穩(wěn)定性；2、由于固定吸附盤和伸縮吸附盤的形狀、尺寸相同，可以通用，因此便于維護(hù)，減少了維護(hù)的工作量并降低了維護(hù)成本；3、伸縮頂針將伸縮吸附盤頂出實現(xiàn)基板的剝離，由于伸縮吸附盤與基板的接觸面積較大，因此避免了暗斑黑斑等不良的產(chǎn)生；4、固定吸附盤和伸縮吸附盤的尺寸、數(shù)量均可以根據(jù)基板的大小進(jìn)行調(diào)整，靈活性高；且固定吸附盤和伸縮吸附盤的外形形狀可以優(yōu)化以避免其外形與基板上的圖形產(chǎn)生干涉。以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和變型，這些改進(jìn)和變型也應(yīng)視為本實用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.基板吸附剝離裝置，包括上定盤和下定盤，其特征在于，還包括用于控制上定盤或下定盤移動的控制模塊，所述上定盤上設(shè)置有固定吸附盤和伸縮吸附盤。
2.如權(quán)利要求1所述的基板吸附剝離裝置，其特征在于，所述伸縮吸附盤包括吸附模塊，所述吸附模塊設(shè)置在上定盤上。
3.如權(quán)利要求2所述的基板吸附剝離裝置，其特征在于，所述吸附模塊通過伸縮頂針設(shè)置在上定盤上，所述伸縮頂針與控制模塊連接。
4.如權(quán)利要求3所述的基板吸附剝離裝置，其特征在于，所述吸附模塊和伸縮頂針之間設(shè)置有底座。
5.如權(quán)利要求2所述的基板吸附剝離裝置，其特征在于，所述固定吸附盤和吸附模塊的尺寸、形狀均相同。
6.如權(quán)利要求1所述的基板吸附剝離裝置，其特征在于，所述固定吸附盤以螺接、粘接或卡接的方式固定在上定盤上。
7.如權(quán)利要求1所述的基板吸附剝離裝置，其特征在于，所述固定吸附盤和伸縮吸附盤交替設(shè)置。
8.如權(quán)利要求1所述的基板吸附剝離裝置，其特征在于，所述固定吸附盤的個數(shù)等于或多于伸縮吸附盤的個數(shù)。
9.如權(quán)利要求1所述的基板吸附剝離裝置，其特征在于，所述固定吸附盤和伸縮吸附盤的形狀為矩形、正方形、三角形或六邊形。
專利摘要本實用新型涉及液晶顯示器技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種基板吸附剝離裝置，包括上定盤和下定盤，用于控制上定盤或下定盤移動的控制模塊，所述上定盤上設(shè)置有固定吸附盤和伸縮吸附盤。本實用新型通過在上定盤上設(shè)置若干緊密排列的固定吸附盤和伸縮吸附盤來共同吸附基板，保證了基板受力均勻，提高了基板貼合過程中的穩(wěn)定性；且避免了暗斑黑斑等不良的產(chǎn)生，提高了液晶面板的顯示品質(zhì)。
文檔編號B32B38/10GK202186101SQ20112033510
公開日2012年4月11日 申請日期2011年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月7日
發(fā)明者吳思翔 申請人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 合肥鑫晟光電科技有限公司