專利名稱：層壓成形裝置以及層壓成形方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及層壓成形裝置以及層壓成形方法，更加具體而言，層壓成形裝置具備通過對層壓件和4皮層壓件進(jìn)行加熱以及加壓來層壓中間層壓 制品的層壓裝置；以預(yù)定的溫度對由該層壓裝置所層壓的中間層壓制品進(jìn) 行加壓并將其表面成形為平面的平面壓力機(jī)；和將所述中間層壓制品從層 壓裝置運(yùn)送至平面壓力機(jī)的運(yùn)送單元，以及，層壓成形方法是由層壓裝置 對層壓件和被層壓件進(jìn)行加熱并且加壓而層壓中間層壓制品，將該中間層 壓制品從層壓裝置運(yùn)送至平面壓力機(jī)，由平面壓力機(jī)以預(yù)定的溫度對所述 中間層壓制品進(jìn)行加壓并將其表面成形為平面的方法。
背景技術(shù)：
例如，在制造由多層構(gòu)成的組合基板的情況下，反復(fù)進(jìn)行在由絕緣 材料構(gòu)成的基板上形成電路圖案的工序；在該基板的電路圖案上層壓絕緣 材料的工序；使絕緣材料固化的工序；在絕緣材料的表面形成電路圖案的 工序。為了在層壓于基板的電路圖案上的絕緣材料上還形成電路圖案并層 壓絕緣原材料，有必要將在M (被層壓件)的電路圖案上層壓有絕緣材 料(層壓件)的制品的表面成形為平滑且整體的厚度均勻。另外，為了在 基板(被層壓件)的表面的絕緣材料上形成電路圖案，在層壓光致抗蝕劑 (層壓件)的情況下，也有必要將光致抗蝕劑的表面成形為平滑且整體的 厚度均勻。但是， 一般來說，作為在成為被層壓件的基板的電路圖案上所層壓的 層壓件的絕緣材料，成形為薄膜狀?；宓谋砻嬗捎陔娐穲D案而形成有凹 凸，為了使薄膜狀的絕緣材料緊貼該表面而進(jìn)行層壓，則絕緣材料對應(yīng)電路圖案的凹凸而埋入，其表面并不平滑。于是，眾所周知的層壓成形裝置(專利文獻(xiàn)1以及專利文獻(xiàn)2)是， 與對層壓件和被層壓件進(jìn)行加熱并加壓而層壓在表面具有凹凸的中間層壓 制品的層壓裝置相鄰，設(shè)置有以預(yù)定的溫度對中間層壓制品進(jìn)行加壓而使 表面平滑地成形的平面壓力機(jī)。在專利文獻(xiàn)1公開了一種層壓板的層壓裝置，其由在減壓空間通過膜 體對層壓件和被層壓件進(jìn)行加壓而成形中間層壓制品的真空層壓裝置和配 設(shè)在該真空層壓裝置的下一個(gè)工序的、對所述中間層壓制品進(jìn)行加壓的平 面壓力機(jī)裝置構(gòu)成，其特征在于，在所述平面壓力機(jī)裝置具備配設(shè)有熱板的固定模板；配設(shè)有熱板并與所述固定模板相對向的可動(dòng)模板；在所述 熱板間對所述中間層壓制品進(jìn)行加熱的多個(gè)加壓機(jī)構(gòu)；和將所述多個(gè)加壓 機(jī)構(gòu)分為兩個(gè)以上單獨(dú)地進(jìn)行控制的控制機(jī)構(gòu)，或者使所述多個(gè)加壓機(jī)構(gòu) 有選擇地動(dòng)作的控制機(jī)構(gòu)等。另外，在專利文獻(xiàn)l中還公開了一種層壓板 的層壓裝置，其特征在于，具備有配設(shè)在可動(dòng)才莫板上的對角線的交點(diǎn)附近 的第一加壓機(jī)構(gòu)；以及配設(shè)于所述可動(dòng)模板的所述對角線的交點(diǎn)附近和所 述可動(dòng)才莫板的角部之間的、相對于被加壓的中間層壓制品的平面投影重疊 的位置的第二加壓機(jī)構(gòu)等。而且，在專利文獻(xiàn)l中記載有進(jìn)行在使可動(dòng)模板上升的合模工序中只使配設(shè)于可動(dòng)模板的大體中央的升壓缸機(jī)構(gòu)動(dòng)作(0026)，在熱板間夾持中間層壓制品的大體同時(shí)，進(jìn)行利用副氣缸和主 氣缸的中間層壓制品加壓工序(0027)的內(nèi)容。另外，在專利文獻(xiàn)2中公開了一種層壓方法，其特征在于，使用具有 設(shè)置了附設(shè)撓性薄板3的上部板1以及附設(shè)撓性薄板4的下部板2的真空 腔的真空層壓裝置6，在該腔內(nèi)的上下板間成形由具有凹凸的^5a和薄 膜狀樹脂層5b構(gòu)成的層壓體5之后，使用具有上下沖壓塊的平面壓力機(jī)裝 置9，在該上下沖壓塊之間一邊對所得到的層壓體5進(jìn)行加熱一邊進(jìn)行表 面仿形加工，以及另一種層壓方法，其特征在于，進(jìn)一步在上下沖壓塊的 至少一方的沖壓塊附設(shè)頭部可以搖動(dòng)的支持點(diǎn)結(jié)點(diǎn)10，該支持點(diǎn)結(jié)點(diǎn)10 與油壓缸或者氣壓缸ll連接，使該沖壓塊動(dòng)作，進(jìn)而還公開了另一種特征在于頭部可以搖動(dòng)的支持點(diǎn)結(jié)點(diǎn)ll是軸連接器的層壓方法。而且，在專利文獻(xiàn)2中記載有，"所謂表面仿形加工是指，從被沖壓的工件即基板的厚度 較厚位置的部分開始與沖壓塊的沖壓面的一部分面接觸，工件的厚度較薄位置的部分按順序與沖壓塊的沖壓面接觸，在J4l的整個(gè)表面與沖壓面緊貼后以均勻的壓力進(jìn)行沖壓加工的加工，而單純的沖壓不能夠以沿著皿的厚度不均的形式將絕緣樹脂成形為均勻厚度"等(0006)。還有，在專利 文獻(xiàn)2中記載有，通過所述構(gòu)成，"對于基板的厚度不均，下部沖壓塊通過 它們的氣缸從基板的厚度較厚位置朝向較薄位置順次地進(jìn)行接觸，由上下 沖壓塊夾持進(jìn)行沖壓，能夠沿著M的厚度不均，形成均勻厚度的樹脂厚 度"等(0036)。還有，在專利文獻(xiàn)2中記載有，"現(xiàn)有的層壓方法，如圖 9所示，因?yàn)樵趌^L上所層壓的樹脂組成物層的厚度并不一定(x9tY)，所 以在層壓14oti4i間的絕緣性不同，在本發(fā)明中，在如圖10所示的141 上所層壓的樹脂組成物層的厚度一定(x=Y)"等(0069)。專利文獻(xiàn)l:特開2005-66967號公才艮專利文獻(xiàn)2:特開2002-36272號>^才艮在專利文獻(xiàn)l中，由于具備多個(gè)加壓機(jī)構(gòu)或者第一以及第二加壓機(jī)構(gòu)， 能夠提高熱板之間的平行度、均勻地成形層壓板的板厚，但是，存在花費(fèi) 平面沖壓的制造成本，另外各加壓機(jī)構(gòu)的控制雜煩等問題。另外，在專利 文獻(xiàn)1中，在立設(shè)的四根連接桿上可滑動(dòng)地配設(shè)可動(dòng)模板，在可動(dòng)模板和 連接桿之間有細(xì)小的間隙(0015)，因此，由于可動(dòng)模板相對于各連接桿 的滑動(dòng)而發(fā)生錯(cuò)位等導(dǎo)致不能夠保證固定模板和可動(dòng)模板之間的平行度， 因此，有存在整體的厚度均勻地成形變得困難的可能性這樣的問題。還有 另外，在專利文獻(xiàn)l中，由于從油壓源通向四個(gè)副氣缸的輸油管的長度、 彎曲程度的不同、氣缸的密封裝置的磨耗程度不同等問題，有在中間層壓 制品加壓工序難以使四個(gè)副氣缸完全地同步動(dòng)作這樣的問題。因此，在專 利文獻(xiàn)1中，當(dāng)從合模工序向中間層壓制品加壓工序過渡時(shí)，即大體在熱 板14、 15之間夾持中間層壓制品的同時(shí)，開始利用所述副氣缸的加壓，在 此時(shí)的加壓初期，存在對中間層壓制品不能均等地施加加壓壓力的可能性。另外，在專利文獻(xiàn)2中，因?yàn)槭窃谄矫鎵毫C(jī)的沖壓塊附設(shè)了頭部可 以搖動(dòng)的支持點(diǎn)結(jié)點(diǎn)的構(gòu)造，所以當(dāng)沖壓塊因?yàn)橹С贮c(diǎn)結(jié)點(diǎn)而搖動(dòng)頭部時(shí)， 不能平行地保持兩沖壓塊的加壓面。還有，在專利文獻(xiàn)2中，因?yàn)槭峭ㄟ^"表 面仿形加工"而將樹脂組成層的厚度成形為一定的裝置(參照專利文獻(xiàn)2的圖10)，所以不能夠?qū)⒒搴蜆渲M成層層壓的部件的整體厚度成形為 一定(參照專利文獻(xiàn)2的圖9)。另外，專利文獻(xiàn)2中，因?yàn)閺腏41的厚 度較厚位置的部分開始與沖壓塊的沖壓面的一部分接觸(0006)，所以存 在被加熱變得容易變形的樹脂組成層從基板層溢出那樣地流出，不能形成 具有預(yù)定厚度的樹脂組成層這樣的問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是為了優(yōu)先解決上述的問題而做出的，其目的在于提供層壓成 形裝置以及層壓成形方法，通過筒單的構(gòu)成，在維持固定模板和可動(dòng)模板 的相互的加壓面的平行度的狀態(tài)下，可以相對于固定模板使可動(dòng)模板在與 對向面垂直的方向上直線移動(dòng)，由此，能夠由中間層壓制品成形為均勻厚 度的層壓成形品。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，技術(shù)方案一的層壓裝置所涉及的發(fā)明是一種層壓 成形裝置，具備通過對層壓件和被層壓件進(jìn)行加熱以及加壓而層壓中間 層壓制品的層壓裝置；以預(yù)定溫度對由該層壓裝置所層壓的中間層壓制品 進(jìn)行加壓并將其表面成形為平面的平面壓力機(jī)；和將所述中間層壓制品從 層壓裝置運(yùn)送至平面壓力機(jī)的運(yùn)送單元，其特征在于，所述平面壓力機(jī)具 備相對向地配置、在相互的對向面具有平滑的加壓面的固定模板及可動(dòng) 模板；使可動(dòng)模板相對于固定模板可以靠^/遠(yuǎn)離地移動(dòng)并對所述層壓裝置 所層壓的中間層壓制品加壓的成形單元；和導(dǎo)引可動(dòng)模板的直動(dòng)單元，使 可動(dòng)模板相對于固定模板在與該對向面垂直的方向上直線移動(dòng)，該直動(dòng)單 元具備沿著使可動(dòng)模板直線移動(dòng)的方向延伸地配設(shè)的多個(gè)滾珠花鍵軸， 和設(shè)置在可動(dòng)模板的角部、分別被所述滾珠花鍵軸插通的滾珠花鍵筒，技術(shù)方案二的層壓成形裝置所涉及的發(fā)明，是4支術(shù)方案一所記栽的發(fā)明，其特征在于，所述平面壓力機(jī)的成形單元單一地與可動(dòng)模板的中央接 合。技術(shù)方案三的層壓成形裝置所涉及的發(fā)明，是技術(shù)方案一或者二所記 載的發(fā)明，其特征在于，在所述平面壓力機(jī)的可動(dòng)模板的各角部設(shè)置多個(gè) 滾珠花鍵筒，該多個(gè)滾珠花鍵筒相對于各滾珠花鍵軸分別插通。另外，技術(shù)方案四的層壓成形方法所涉及的發(fā)明，是一種層壓成形方 法，其中由層壓裝置對層壓件和被層壓件進(jìn)行加熱并且加壓而層壓中間層 壓制品，將該中間層壓制品從層壓裝置向平面壓力機(jī)運(yùn)送，由平面壓力機(jī) 以預(yù)定的溫度對所述中間層壓制品進(jìn)行加壓，其表面成形為平面，其特征在于，所述平面壓力機(jī)具備相對向地配置、在相互的對向面具有平滑的 加壓面的固定模板及可動(dòng)模板；使可動(dòng)模板相對于固定模板可靠近.遠(yuǎn)離地移動(dòng)并對所述層壓裝置所層壓的中間層壓制品加壓的成形單元；和導(dǎo)引可 動(dòng)模板的直動(dòng)單元，使可動(dòng)模板相對于固定模板在與該對向面垂直的方向 上直線移動(dòng)，該直動(dòng)單元具備沿著使可動(dòng)模板直線移動(dòng)的方向延伸地配 設(shè)的多個(gè)滾珠花鍵軸，和設(shè)置在可動(dòng)模板的角部、分別被所述滾珠花鍵軸 插通的滾珠花鍵筒，將所述中間層壓制品從層壓裝置運(yùn)送至平面壓力機(jī)的 固定模板和可動(dòng)模板之間， 一邊通過由在所述滾珠花鍵軸插通滾珠花鍵筒 而構(gòu)成的直動(dòng)單元，在與所述對向面垂直的方向上導(dǎo)引所述可動(dòng)模板，一 邊通過成形單元使可動(dòng)模板移動(dòng)并靠近固定模板，以預(yù)定溫度對中間層壓 制品進(jìn)行加壓，其表面成形為平面。在技術(shù)方案一的層壓成形裝置所涉及的發(fā)明中，通過層壓裝置對層壓 件和^皮層壓件進(jìn)行加熱以及加壓而層壓中間層壓制品，通過運(yùn)送單元將中 間層壓制品從層壓裝置運(yùn)送至平面壓力機(jī)的固定模板和可動(dòng)模板之間。平 面壓力機(jī)，在固定模板和可動(dòng)模板的相互的對向面具有平滑的加壓面。直 動(dòng)單元通過在可動(dòng)模板的各角部設(shè)置滾珠花鍵筒并沿著可動(dòng)模板的直線移 動(dòng)方向延伸地設(shè)置多個(gè)滾珠花鍵軸，且將滾珠花鍵筒插通滾珠花鍵軸而構(gòu) 成。因此，當(dāng)通過成形單元使可動(dòng)模板相對于固定模板靠近那樣地移動(dòng)， 以預(yù)定的溫度進(jìn)行加壓使中間層壓制品的表面成形為平面時(shí)，通過直動(dòng)單元導(dǎo)引可動(dòng)模板，使其在與該對向面垂直的方向上可靠地直線移動(dòng)，因此， 因?yàn)閺募訅撼跗诳煽康乇３衷O(shè)置于固定模板和可動(dòng)模板的對向面的加壓面 的平行度，所以能夠可靠且均等地對中間層壓制品進(jìn)行加壓，從而成形為 平坦的均勻的厚度。在技術(shù)方案二的層壓成形裝置所涉及的發(fā)明是在技術(shù)方案一所記載的 發(fā)明中，通過平面壓力機(jī)的成形單元單一地與可動(dòng)模板的中央接合，使設(shè) 置于可動(dòng)模板的滾珠花鍵筒相對于滾珠花鍵軸分別均等地滑動(dòng)，而且由于 對中間層壓制品進(jìn)行加壓所導(dǎo)致的固定模板和可動(dòng)模板的變形不會(huì)產(chǎn)生不 均，所以能夠可靠且均等地對中間層壓制品進(jìn)行加壓、成形為平坦的均勻 的厚度。在技術(shù)方案三的層壓成形裝置所涉及的發(fā)明是在技術(shù)方案一或者二所 記載的發(fā)明中，通過在平面壓力機(jī)的可動(dòng)模板的各角部分別設(shè)置有多個(gè)滾 珠花鍵筒并使多個(gè)滾珠花鍵筒在軸向方向連續(xù)并相對于各滾珠花鍵軸分別 插通，從而使?jié)L珠花鍵筒相對于滾珠花鍵軸變長，因此可導(dǎo)引可動(dòng)模板， 使其在與該對向面垂直的方向上可靠地進(jìn)行直線移動(dòng)。另外，在技術(shù)方案四的層壓成形方法所涉及的發(fā)明中，平面壓力機(jī)構(gòu)具備相對向地配置、在相互的對向面具有平滑的加壓面的固定模板及可 動(dòng)模板；使可動(dòng)模板相對于固定模板可靠近.遠(yuǎn)離地移動(dòng)并對所述層壓裝置 所層壓的中間層壓制品加壓的成形單元；和導(dǎo)引可動(dòng)模板的直動(dòng)單元，4吏 可動(dòng)模板相對于固定模板在與該對向面垂直的方向上直線移動(dòng)，該直動(dòng)單 元具備沿著使可動(dòng)模板直線移動(dòng)的方向延伸地配設(shè)的多個(gè)滾珠花鍵軸， 和設(shè)置在可動(dòng)模板的角部、分別被所述滾珠花鍵軸插通的滾珠花鍵筒。由 層壓裝置對層壓件和被層壓件進(jìn)行加熱并且加壓而層壓中間層壓制品，將 該中間層壓制品從層壓裝置向平面壓力機(jī)的固定模板和可動(dòng)模板之間運(yùn) 送。平面壓力機(jī)中，通過成形單元使可動(dòng)模板移動(dòng)并靠近固定模板，以預(yù) 定的溫度進(jìn)行加壓將中間層壓制品的表面成形為平面。此時(shí)，直動(dòng)單元通過在可動(dòng)模板的各角部設(shè)置滾珠花鍵筒并沿著可動(dòng)模板的直線移動(dòng)方向延 伸地設(shè)置多個(gè)滾珠花鍵軸，且將滾珠花鍵筒插通滾珠花鍵軸而構(gòu)成，因此，導(dǎo)引可動(dòng)模板，使其在與該對向面垂直的方向上可靠地進(jìn)行直線移動(dòng)，因 此，從加壓初期可靠地保持設(shè)置于固定模板和可動(dòng)模板的對向面的加壓面 的平行度，可靠且均等地對中間層壓制品進(jìn)行加壓并成形為平坦的均勻的 厚度。另外，平面壓力機(jī)優(yōu)選是可動(dòng)才莫板升降移動(dòng)地構(gòu)成的縱型壓力機(jī)。另 外，平面壓力機(jī)的相對于固定模板的可動(dòng)模板的升降行程中，優(yōu)選將中間層壓制品的成形時(shí)的開啟量設(shè)定在維護(hù)時(shí)等的最大開啟量的10 ~ 20%的 范圍。平面壓力機(jī)中，優(yōu)選將滾珠花鍵筒的軸向方向長度設(shè)定在相對于滾 珠花鍵軸的軸向方向長度的60~70%的范圍，另外，優(yōu)選將滾珠花鍵筒的 軸向方向長度設(shè)定在相對于可動(dòng)才莫板的厚度的200 ~ 250%的范圍。根據(jù)本發(fā)明的層壓成形裝置，直動(dòng)單元具備由沿著使可動(dòng)模板直線 移動(dòng)的方向延伸地配設(shè)的多個(gè)滾珠花鍵軸；和設(shè)置在可動(dòng)模板的角部、分 別被所述滾珠花鍵軸插通的滾珠花鍵筒，從而，在高精度地維持平面壓力 機(jī)的固定模板和可動(dòng)模板的相互的加壓面的平行度的狀態(tài)下，能夠相對于 固定模板，使可動(dòng)模板在與該對向面相垂直的方向上直線移動(dòng)，因此，可 提供能夠可靠地將中間層壓制品成形為均勻的厚度的層壓成形裝置。另外，根據(jù)本發(fā)明的層壓成形方法，平面壓力機(jī)的直動(dòng)單元具備沿 著使可動(dòng)模板直線移動(dòng)的方向延伸地配設(shè)的多個(gè)滾珠花鍵軸；和設(shè)置在可 動(dòng)模板的角部、分別被所述滾珠花鍵軸插通的滾珠花鍵筒，將中間層壓制 品配置在平面壓力機(jī)的固定模板和可動(dòng)模板之間， 一邊通過在滾珠花鍵軸 插通滾珠花鍵筒而成的直動(dòng)單元，在與對向面垂直的方向上導(dǎo)引可動(dòng)模板， 一邊通過成形單元使可動(dòng)模板移動(dòng)并靠近固定模板，以預(yù)定的溫度對中間 層壓制品進(jìn)行加壓，從而，在維持固定模板和可動(dòng)模板的相互的加壓面的 平行度的狀態(tài)下，能夠使可動(dòng)模板相對于固定模板在與該對向面相垂直的 方向上直線移動(dòng)，因此，可提供能夠可靠地將中間層壓制品成形為均勻的 厚度的層壓成形裝置。


圖l是用于說明本發(fā)明的層壓成形裝置的一個(gè)實(shí)施方式的概念圖。圖2是以平面壓力機(jī)的正面圖表示中間層壓制品加壓的狀態(tài)的圖。 圖3是表示平面壓力機(jī)的可動(dòng)模板的平面圖。 圖4是平面壓力機(jī)的部分放大圖。圖5是表示構(gòu)成平面壓力機(jī)的各部分的尺寸關(guān)系的說明圖。 圖6是表示相對于平面壓力機(jī)的固定模板及可動(dòng)模板的熱板的安裝的 部分放大剖面圖。圖7是表示本發(fā)明的平面壓力機(jī)的、由設(shè)置在連接桿的滾珠花鍵軸和 設(shè)置在可動(dòng)模板的滾珠花鍵筒所構(gòu)成的直動(dòng)單元的剖面圖。 符號說明Al:絕緣層(層壓件)A2: M層(被層壓件) A3:中間層壓制 品A4:成形為表面平坦的均勻厚度的成形品F:運(yùn)載膜 1:層壓裝置2:平面壓力機(jī) 3:運(yùn)送單元20:固定模板 21:可動(dòng)模板22:合模氣缸(成形單元)23:直動(dòng)單元24:滾珠花鍵軸 25:滾珠花鍵筒26: ^f出模板 27:連接桿40:熱板 41:鏡面板(加壓面)具體實(shí)施方式

以下，基于圖1~圖7詳細(xì)地說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式。在圖中， 對同樣的部分或者相當(dāng)?shù)牟糠指郊油瑯拥姆?。在以下的說明中，對在作為凈皮層壓件、形成有電路圖案、表面呈凹凸的14ai層上，層壓作為層壓層的絕緣層，使得絕緣層的表面成形為平面，最終制造組合1^L的情況進(jìn)行 說明。本發(fā)明的層壓成形裝置，大致具備通過對層壓件Al和被層壓件A2進(jìn)行加熱以及加壓而層壓中間層壓制品A3的層壓裝置1;以預(yù)定溫度對由 該層壓裝置1所層壓的中間層壓制品A3進(jìn)行加壓將其表面成形為平面的 平面壓力機(jī)2;和將中間層壓制品A3從層壓裝置l運(yùn)送至平面壓力機(jī)2的 運(yùn)送單元3。還有，平面壓力機(jī)2具備相對向地配置、在相互的對向面 具有平滑的加壓面的固定模板20以及可動(dòng)模板21;使可動(dòng)模板21相對于 固定才莫板20可以靠近/遠(yuǎn)離地移動(dòng)并加壓由層壓裝置1所層壓的中間層壓 制品A3的成形單元22;和導(dǎo)引可動(dòng)模板21的直動(dòng)單元23，使可動(dòng)模板 21相對于固定模板20在與該對向面垂直的方向上直線移動(dòng)。直動(dòng)單元23 具備沿著使可動(dòng)模板21直線移動(dòng)的方向延伸地配設(shè)的多個(gè)滾珠花鍵軸 24，和設(shè)置在可動(dòng)模板21的角部、分別被各滾珠花鍵軸24插通的滾珠花 鍵筒25。另外，成形單元22由單一的成形氣缸構(gòu)成，合模氣缸22的活塞 22a與可動(dòng)模板21的中央接合。還有，在平面壓力機(jī)2的可動(dòng)模板21的 各角部縱向配設(shè)多個(gè)滾珠花鍵筒25、 25，分別相對于各滾珠花鍵軸24插 通。另外，本發(fā)明的層壓成形方法，由層壓裝置1對層壓件Al和#皮層壓 件A2進(jìn)行加熱并且加壓而層壓中間層壓制品A3,將中間層壓制品A3從 層壓裝置1向平面壓力機(jī)2運(yùn)送，由平面壓力機(jī)2以預(yù)定的溫度對中間層 壓制品A3進(jìn)行加壓，其表面成形為平面，平面壓力機(jī)2具備相對向地 配置、在相互的對向面具有平滑的加壓面41的固定才莫板20以及可動(dòng)模板 21;使可動(dòng)模板21相對于固定模板20可以靠近/遠(yuǎn)離地移動(dòng)并加壓中間層 壓制品A3的成形單元22;和導(dǎo)引可動(dòng)模板21的直動(dòng)單元23，使其相對 于固定才莫板20在與其的對向面相垂直的方向上直線移動(dòng)，直動(dòng)單元23具 備沿著使可動(dòng)模板21直線移動(dòng)的方向延伸地配設(shè)的多個(gè)滾珠花鍵軸24， 和設(shè)置在可動(dòng)模板21的角部、分別由所述滾珠花鍵軸24插通的滾珠花鍵 筒25，將中間層壓制品A3從層壓裝置1運(yùn)送至平面壓力機(jī)2的固定模板 20和可動(dòng)模板21之間， 一邊通過由在滾珠花鍵軸24插通滾珠花鍵筒25 而構(gòu)成的直動(dòng)單元23，在與其對向面相垂直的方向上導(dǎo)引可動(dòng)模板21， 一 邊通過成形單元22使可動(dòng)模板21移動(dòng)靠近固定才莫板20，以預(yù)定溫度對中間層壓制品A3進(jìn)行加壓，將其表面成形為平面。作為層壓件的絕緣層Al是由例如環(huán)氧系等的熱固化樹脂構(gòu)成的，成 形為厚度為例如30 ~ 100jim左右的薄膜狀，最初的狀態(tài)是在一方的面上可 剝離地粘著有由聚對苯二曱酸乙二 (醇)酯等構(gòu)成的薄膜狀的支持體，在 另一方的面上可剝離地粘著有保護(hù)膜。另外，絕緣層Al也可以由環(huán)氧系 樹脂之外的，例如聚酰亞胺、液晶聚合物、聚對苯二曱酸乙二 (醇)酯等 構(gòu)成的熱塑性或者熱固化性的絕緣性材料(配合各種樹脂、漆的物質(zhì)等) 構(gòu)成。層壓了絕緣層的基板層A2的表面，由于由銅箔制成的電路圖案而 形成有凹凸。M層A2具有例如1 2mm左右的厚度。另外，在圖1、 圖4中，表示在Ul層A2的兩面層壓絕緣層Al的情況，但是本發(fā)明也適 用于在a層A2的單面層壓絕緣層Al的情況。另外，絕緣層A1也可以 是連續(xù)的帶狀的薄膜。如圖1所示，層壓成形裝置中，相鄰配設(shè)有層壓裝置l和平面壓力機(jī) 2。還有，在層壓裝置1的與平面壓力機(jī)2的相反側(cè)(上一工序側(cè))，上下 配置有巻起運(yùn)載膜F而成的供給輥?zhàn)?0,在平面壓力機(jī)2的與層壓裝置1 的相反側(cè)(下一工序側(cè))上下配置有收巻運(yùn)載膜F的收巻輥?zhàn)?1。運(yùn)載膜 F，例如由聚對苯二甲酸乙二 (醇)酯構(gòu)成，成形為連續(xù)的帶狀.在收巻 輥?zhàn)?1設(shè)置有伺服電機(jī)(省略圖示)，其旋轉(zhuǎn)速度是可控制的。另外，在 供給輥?zhàn)?0設(shè)置有用于施加膜張力的伺服電機(jī)(省略圖示)。通過一邊由 供給輥?zhàn)?0的伺服電機(jī)在收巻方向施加較弱轉(zhuǎn)矩一邊使收巻輥?zhàn)?1旋轉(zhuǎn)， 上方和下方的運(yùn)栽膜F在同步被施加張力的狀態(tài)下，被從供給輥?zhàn)?0朝 向收巻輥?zhàn)?1、即從圖1的右方向左方運(yùn)送。絕緣層Al ,皮切割為對應(yīng)于只剝離了保護(hù)膜的、被層壓^層A2的大 小的尺寸，在絕緣層Al與基板層A2的上下表面接觸、支持體成為加壓面 那樣地重疊、暫時(shí)貼合的狀態(tài)下，在供給輥?zhàn)?0的附近由下方的運(yùn)載膜F 承載，運(yùn)送兩個(gè)運(yùn)載膜F、 F，由此，在被夾在和上方的運(yùn)載膜F之間的狀 態(tài)下凈皮運(yùn)送到層壓裝置l，由層壓裝置l層壓為中間層壓制品A3。通過運(yùn) 送兩個(gè)運(yùn)載膜F、 F將中間層壓制品A3運(yùn)送至平面壓力機(jī)2，得到將包括作為支持體的聚對苯二甲酸乙二 (醇)酯層的絕緣層Al的表面成形為平 面的成形品A4，之后將其運(yùn)送至收巻輥?zhàn)?1附近。即，在本實(shí)施方式中， 由運(yùn)載膜F、該供給輥?zhàn)?0以及收巻輥?zhàn)?1,構(gòu)成了運(yùn)送單元3。另外， 運(yùn)載膜F不僅運(yùn)送絕緣層Al、 ^J仗層A2、中間層壓制品A3以及成形品 A4，也具有防止由于絕緣層Al在層壓裝置1 4皮加熱、中間層壓制品A3 中的絕緣層Al在平面壓力機(jī)2被加熱至預(yù)定溫度而熔融附著于周圍的功 能。平面壓力機(jī)2并不限定于一臺(tái)，也有在層壓裝置1和收巻輥?zhàn)?1之間 排列多臺(tái)平面壓力機(jī)2的情況。該實(shí)施方式中的層壓裝置l，具備相對向配置的上模板10和下模板 11;用于使下模板11相對于上模板10靠近.遠(yuǎn)離地升降移動(dòng)的開閉氣缸12; 對由于關(guān)閉上模板10和下模板11而形成的腔室內(nèi)進(jìn)行減壓的減壓裝置(省 略圖示)；設(shè)置于上模板10和下模板11、對絕緣層Al和基板層A2進(jìn)行 加壓的膜體13 (后述)；以及加熱至預(yù)定溫度的熱板14。膜體13是由例 如肖氏A石U為20~60度、厚度為1 4mm左右的硅酮橡膠構(gòu)成的。熱 板14安裝有例如筒式加熱器。另外，代替在熱板14上安裝筒式加熱器， 也可以在膜體13或者熱板14的表面上粘著橡膠加熱器。在這樣構(gòu)成的層壓裝置1中，當(dāng)通過運(yùn)送運(yùn)載膜F將絕緣層Al以及 基板層A2運(yùn)送至上模板10和下模板11之間時(shí)，通過開閉氣釭12使上模 板10和下才莫板11對接而形成腔室，對腔室內(nèi)進(jìn)行減壓，向下方和上方的 至少一方的膜體13的背面?zhèn)裙┙o壓縮空氣并使該膜體13膨脹，由此，以 例如0.3 ~ 0.9MPa左右對絕緣層Al和基板層A2進(jìn)行加壓，并且通過熱板 加熱至例如90 120'C左右的溫度，并維持30~60秒。薄膜狀的絕緣層 Al沒有在和M層A2之間發(fā)生間隙的情況，緊密貼合基板層A2的表面 的凹凸地#1層壓。另外，本發(fā)明的層壓裝置1，并不限定于上述那樣通過 膜體13進(jìn)行加壓的裝置，也可以采用在真空腔室內(nèi)設(shè)置加壓輥?zhàn)佣傻恼?空輥?zhàn)訉訅貉b置。平面壓力機(jī)2具備設(shè)置在下方的大體矩形的^l模板26;和分別立 設(shè)于位于該差J出模板26的上方的大體矩形的固定模板20的各角部(包括其附近)之間的連接桿27。即，平面壓力機(jī)2是可動(dòng)模板21能夠在基礎(chǔ) 模板26和固定才莫板20之間升降移動(dòng)的所謂縱型壓力機(jī)。另外，如圖3中 的虛線所示，在^i^出模板26上，立設(shè)有限制可動(dòng)模板21的下降的擋塊26a。在固定模板20和可動(dòng)模板21的對向面分別設(shè)置有熱板40。在熱板40 的表面，隔著由例如肖氏A硬度為30~70度、厚度0.1 2mm左右的硅 酮橡膠等制成的緩沖層42，安裝有由例如板厚為0.5-3mm左右、具有板 厚不均為30 40nm的平面度的不銹鋼等制成的鏡面板41，另外，在固定 模板20以及可動(dòng)模板21的對向面，隔著例如10 ~ 20mm左右的厚度的隔 熱材料43安裝有熱板40。熱板40的平面方向的大小，在例如550 ~ 700mm 左右，可以才艮據(jù)層壓成形的中間層壓制品A3或者成形后的成形品A4的大 小適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。在熱板40的內(nèi)部，形成有容納筒式加熱器等的加熱單元的 孔40a。鏡面板41構(gòu)成平滑的加壓面。熱板40優(yōu)選為如圖3以及圖6所 示，為了吸收熱膨脹，在熱板40的非加壓部40c的部分，在相對于面的直 角方向上形成有孔40b，在該孔40b中插通與其直徑相比軸徑較小的軸肩 螺栓45并通過與設(shè)置于固定模板20以及可動(dòng)模板21的螺紋孔擰合而進(jìn)行 安裝。另外，孔40b還可以是長孔或者橢圓孔。在可動(dòng)模板21的上表面與 運(yùn)載膜F交叉的邊緣部分，設(shè)置有可以旋轉(zhuǎn)的導(dǎo)引輥?zhàn)?6。在連接桿27的周圍，形成有多組(在本實(shí)施方式中為三組)以預(yù)定長 度沿著軸向方向延伸的 一對槽，在這些各一對槽之間形成有花鍵軸突起部 24a。該連接桿27的形成花鍵軸突起部24a的部分，構(gòu)成滾珠花鍵軸24。 在滾珠花鍵軸24的表面，實(shí)施硬質(zhì)鉻電鍍。另一方面，在可動(dòng)模板21的 各角部(包括其附近)形成有罩殼部21a，在該實(shí)施方式的情況下，在罩 殼部21的內(nèi)孔收容有一對滾珠花鍵筒25，使其縱向排列且相互的筒端面 之間接觸，與所述筒端面相反側(cè)的各凸緣25a通過螺栓28分別連接到罩殼 部21a的上下端面。因此，滾珠花鍵筒25安裝成其軸向方向朝向相對于可 動(dòng)模板21的加壓面垂直的方向。在各滾珠花鍵筒25的內(nèi)部，設(shè)置有夾持 花鍵軸突起部24a的相向的兩條球列(省略圖示)。由革殼部21a縱向排 列地保持的各滾珠花鍵筒25采用這樣的構(gòu)造由于插通了滾珠花鍵軸24，在球列以相互例如接觸角為20度來夾持花鍵軸突起部24a而施加比較小的 壓力或者沒有施加壓力的狀態(tài)下，消除了相對于花鍵軸突起部24a的周邊 方向的角沖突的角接觸構(gòu)造。如圖5以及圖7所示那樣，軍殼部21a形成得相對于可動(dòng)模板21上方 短、下方長而突出。因此，即便在成形比較薄的中間層壓制品的情況下， 也沒有罩殼部21a的上方與固定模板20的下表面緩沖的情況。而且，由于 在罩殼部21a內(nèi)縱向排列設(shè)置了兩個(gè)滾珠花鍵筒25、 25，對形成于連接桿 27的滾珠花鍵軸24的卡合長度，與單一地設(shè)置滾珠花鍵筒25的情況相比 比較長，因此，能夠穩(wěn)定地導(dǎo)引可動(dòng)才莫板21的升降移動(dòng)。更加具體而言， 可動(dòng)模板21的厚度L21例如為120mm，設(shè)各滾珠花鍵筒25的長度為例如 125mm時(shí)，在縱向排列配置兩個(gè)的情況下，整體長度L25為250mm，與 可動(dòng)模板21的厚度L21相比較可以大幅地增長。優(yōu)選將多個(gè)滾珠花鍵筒 25整體的長度L25，設(shè)定為可動(dòng)模板21的厚度L21的1.3倍~ 3.0倍。在 這種情況下，如后所述，當(dāng)設(shè)可動(dòng)模板21的最大行程LM (參照圖5中心 線右方)為130mm時(shí)，形成于連接桿27的滾珠花鍵軸24的長度L24為 380mm，能夠使?jié)L珠花鍵筒25實(shí)際移動(dòng)的實(shí)效行程為385mm左右。優(yōu)選 將多個(gè)滾珠花鍵筒25整體的軸向方向長度L25設(shè)定在相對于滾珠花鍵軸 24的軸向方向長度L24的50~70%的范圍。另外，平面壓力機(jī)2還可以 設(shè)置多個(gè)不同于圓柱形的連接桿27的、可動(dòng)模板導(dǎo)引用的滾珠花鍵軸24。在圖5中，中心軸線C-C左方表示在通常成形時(shí)開啟可動(dòng)模板21的 狀態(tài)，中心軸線C-C的右方表示在維護(hù)時(shí)等可動(dòng)才莫板21開啟至最大的狀 態(tài)。滾珠花鍵軸24的長度L24設(shè)定為，與可動(dòng)模板21相對于固定模板20 的最大升降行程LM和縱向排列配置的多個(gè)滾珠花鍵筒25、 25的整體長 度L25相加的長度相當(dāng)或者在其以上的長度。相對于固定模板20的可動(dòng) 模板21的升降行程中，將中間層壓制品A3的表面成形為平面時(shí)的開啟量 設(shè)定為維護(hù)時(shí)等的最大開啟量的10~20%的范圍。另外，在固定模板20和可動(dòng)模板21，還可以設(shè)置有用于使制冷劑流 通的通道、輸送空氣的冷卻風(fēng)扇等冷卻單元(省略圖示)，在連接桿27的固定模板20的附近形成有小徑部27a。在設(shè)置有冷卻單元的情況下，能 夠抑制固定模板20和可動(dòng)模板21的熱膨脹，因此，能夠防止固定模板20、 可動(dòng)模板21以及連接桿27受熱所導(dǎo)致的變形。另外，由于在連接桿27 的固定才莫板20附近形成有小徑部27a，則即便在由于可動(dòng)部21的熱膨脹、 中間層壓制品A3的加壓導(dǎo)致連接桿27變形的情況下，也能夠通過小徑部 27a緩和由該變形所導(dǎo)致的應(yīng)力集中。成形單元22由使活塞22a伸長.縮短的單一的合模氣缸構(gòu)成。合模氣 缸22由^i^出模板26保持，如圖3所示，活塞22a的頂端與可動(dòng)模板21 的下表面的中央接合。設(shè)定根據(jù)合模氣缸22的可動(dòng)模板21的升降行程， 使得固定模板20的鏡面板41和可動(dòng)模板21的鏡面板41，在進(jìn)行成形時(shí) 相互離開例如LS=15 ~ 30mm左右，在進(jìn)行維護(hù)時(shí)相互離開例如LM=110 ~ 130mm左右。因此，在進(jìn)行成形時(shí)行程LS較短，能夠縮短成形周期，另 外在進(jìn)行維護(hù)時(shí)，使可動(dòng)模板21充分地從固定模板20離開，從而能夠容 易地對可動(dòng)模板20和固定模板21的對向面進(jìn)行維護(hù)。另夕卜，成形單元22， 還可以是升壓式合才莫?dú)飧?、電?dòng)式合才莫?dú)飧籽b置等其他的機(jī)構(gòu)。以上構(gòu)成的平面壓力機(jī)2中，在通常的成形時(shí)，固定模板20和可動(dòng)才莫 板21的鏡面板41間的間隔LS變得比較窄。當(dāng)通過運(yùn)載膜F的運(yùn)送將在 層壓裝置1中緊密貼合^層A2的表面的凹凸地層壓絕緣層Al并加熱的 狀態(tài)下的中間層壓制品A3 (參照圖4)，運(yùn)送至固定模板20和可動(dòng)模板 21的鏡面板41之間時(shí)，使合模氣缸22的活塞22a伸長移動(dòng)，溫度稍微降 低，但依然將絕緣層Al處于容易變形的溫度狀態(tài)下的中間層壓制品A3， 通過鏡面板41與加壓部40d相對應(yīng)的部分以預(yù)定時(shí)間進(jìn)行加壓。此時(shí)，通 過在縱向排列設(shè)置于該罩殼部21a的滾珠花鍵筒25插通形成于連接桿27 的滾珠花鍵軸24，在可靠地保持與固定模板20的平行度的狀態(tài)下，順利 地導(dǎo)引可動(dòng)模板21使之向固定模板20靠近移動(dòng)，如圖2所示，在固定模 板20和可動(dòng)模板21的鏡面板41之間短時(shí)間夾持中間層壓制品A3。此時(shí)， 平面壓力機(jī)2的成形單元的控制，最初通過位置控制進(jìn)行合模氣缸22的活 塞22a的上升控制。然后，如果可動(dòng)才莫板21的位置，稍后變成在固定模板20和可動(dòng)模板21的鏡面板41、 41之間對中間層壓制品A3進(jìn)行加壓的位 置，則可動(dòng)模板21的速度從高速切換為低速。而且另外，可動(dòng)模板21上 升，檢測出通過可動(dòng)模板21的加壓面開始加壓的位置，將合模氣缸22的 控制從速度控制切換至壓力控制，以預(yù)定的壓力對中間層壓制品A3進(jìn)行 加壓。另外，也可從可動(dòng)模板21的速度從高速切換至低速的時(shí)刻起進(jìn)行低 速的壓力控制，在成為開始加壓的位置后進(jìn)行增壓。通過這樣對合模氣缸22進(jìn)行控制并對中間層壓制品A3進(jìn)行加壓，在 可動(dòng)模板21還沒有接近固定模板20的區(qū)域，能夠?qū)⒖蓜?dòng)模板21的速度定 為高速，而不延長成形周期。還有，當(dāng)不能控制可動(dòng)模板21的速度時(shí)，可 動(dòng)模板21高速移動(dòng)，對中間層壓制品A3施加了超過必要的初始加壓力， 導(dǎo)致中間層壓制品A3的容易向外部變形的樹脂流出，但是在本發(fā)明中沒 有這種情況。而且，在加壓時(shí)，有能夠通過壓力控制以預(yù)期的加壓力進(jìn)行 中間層壓制品A3的加壓這樣的好處。而且，在本發(fā)明中，由于活塞22a與可動(dòng)模板21的中央結(jié)合，因此不 會(huì)產(chǎn)生按壓可動(dòng)^t板21的中央部以外的部分而處于部分接觸中間層壓制 品A3狀態(tài)的情況。另外，尤其是沒有對中間層壓制品A3的初始加壓力施 加不均勻的情況。而且，因?yàn)榭蓜?dòng)模板21的中央部被按壓，所以不會(huì)產(chǎn)生 可動(dòng)模板21撓曲變形，使波及中間層壓制品A3的中心附近的加壓力與波 及周邊附近的加壓力相比較變低的情況。因此，構(gòu)成中間層壓制品A3的 絕緣層A1，通過熱板40被調(diào)整至預(yù)定的溫度，并且使在隔著緩沖層42而 安裝的鏡面板41上不產(chǎn)生初始加壓力較弱的部分，大體均勻地加壓，沒有 絕緣層Al的可容易變形的樹脂向中間層壓制品A3的外部流動(dòng)的情況，從 而成形為表面平坦、厚度均勻的成形品A4。當(dāng)通過以30 ~ 60秒、70 ~ 120'C的條件對中間層壓制品A3進(jìn)4亍加壓， 成形為表面平坦厚度均勻的成形品A4時(shí)，驅(qū)動(dòng)合模氣缸22的活塞22a退 縮，如從圖5的中心軸線C-C左方所示，可動(dòng)模板21僅下降比較小的行 程LS就從固定模板20離開。之后，成形品A4通過運(yùn)栽膜F被從固定模 板20和可動(dòng)模板21的鏡面板41之間向圖1中的左方運(yùn)送。根據(jù)需要，剝離粘著于成形品A4的絕緣層A1的表面的支持體。而且，在成形品A4是 組合基板用的情況下，在使絕緣層Al固化的工序之后，在絕緣層A1的表 面形成電路圖案，再次重疊絕緣層A1，重復(fù)本發(fā)明的層壓成形方法。另一方面，在維護(hù)平面壓力機(jī)2的情況下，驅(qū)動(dòng)合模氣缸22的活塞 22a后退，如圖5的中心軸線C-C右方所示，可動(dòng)模板21以比較大的行程 LM下降，遠(yuǎn)離固定模板20。因此，能夠容易地進(jìn)行平面壓力機(jī)2的維護(hù)。另夕卜，本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式，適用于在作為被層壓件的、 表面具有銅箔等的導(dǎo)電層的基板層上層壓作為層壓件的光致抗蝕劑層，在 將該中間層壓制品的表面成形為平面的等情況，也可以適用于其它制品的 層壓成形。平面壓力機(jī)2還可以配置為固定模板20在下方、可動(dòng)模板21 在上方。而且，本發(fā)明并不限定于組合基板的制造，還可以適用于將中間 層壓制品的表面成形為平坦、厚度均勻的情況。
權(quán)利要求
1.一種層壓成形裝置，具備通過對層壓件和被層壓件進(jìn)行加熱以及加壓而層壓中間層壓制品的層壓裝置；以預(yù)定溫度對由該層壓裝置所層壓的中間層壓制品進(jìn)行加壓、將其表面成形為平面的平面壓力機(jī)；和將所述中間層壓制品從層壓裝置運(yùn)送至平面壓力機(jī)的運(yùn)送單元，其特征在于，所述平面壓力機(jī)具備相對向地配置、在相互的對向面具有平滑的加壓面的固定模板及可動(dòng)模板；使可動(dòng)模板相對于固定模板可以靠近/遠(yuǎn)離地移動(dòng)、對所述層壓裝置所層壓的中間層壓制品加壓的成形單元；和導(dǎo)引可動(dòng)模板使得可動(dòng)模板相對于固定模板在與該對向面垂直的方向上直線移動(dòng)的直動(dòng)單元，該直動(dòng)單元具備沿著使可動(dòng)模板直線移動(dòng)的方向延伸地配設(shè)的多個(gè)滾珠花鍵軸；和設(shè)置在可動(dòng)模板的角部、分別被所述滾珠花鍵軸插通的滾珠花鍵筒。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所記載的層壓成形裝置，其特征在于， 所述平面壓力機(jī)的成形單元單一地與可動(dòng)模板的中央接合。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所記載的層壓成形裝置，其特征在于， 在所述平面壓力機(jī)的可動(dòng)模板的各角部設(shè)置多個(gè)滾珠花鍵筒，該多個(gè)滾珠花鍵筒被各滾珠花鍵軸分別插通。
4. 一種層壓成形方法，其中，由層壓裝置對層壓件和^f皮層壓件進(jìn)行加 熱并且加壓而層壓中間層壓制品，將該中間層壓制品從層壓裝置向平面壓 力機(jī)運(yùn)送，由平面壓力機(jī)以預(yù)定的溫度對所述中間層壓制品進(jìn)行加壓，其 表面成形為平面，其特征在于，所述平面壓力機(jī)具備相對向地配置、在相互的對向面具有平滑的加 壓面的固定模板及可動(dòng)模板；使可動(dòng)模板相對于固定模板可以靠i^/遠(yuǎn)離地 移動(dòng)、對所述層壓裝置所層壓的中間層壓制品加壓的成形單元；和導(dǎo)引可 動(dòng)模板的直動(dòng)單元，使得可動(dòng)模板相對于固定模板在與該對向面垂直的方 向上直線移動(dòng)，該直動(dòng)單元具備沿著使可動(dòng)模板直線移動(dòng)的方向延伸地配設(shè)的多個(gè) 滾珠花鍵軸；和設(shè)置在可動(dòng)模板的角部、分別被所述滾珠花鍵軸插通的滾 珠花鍵筒，將所述中間層壓制品從層壓裝置運(yùn)送至平面壓力機(jī)的固定模板和可動(dòng) 模板之間，一邊通過由在所述滾珠花鍵軸插通滾珠花鍵筒而構(gòu)成的直動(dòng)單元，在 與所述對向面垂直的方向上導(dǎo)引所述可動(dòng)才莫板， 一邊通過成形單元使可動(dòng) 模板移動(dòng)并靠近固定模板，以預(yù)定溫度對中間層壓制品進(jìn)行加壓，其表面 成形為平面。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠由中間層壓制品成形為厚度均勻的層壓成形制品的層壓成形裝置以及層壓成形方法。其中，具備對層壓件(A1)和被層壓件(A2)進(jìn)行層壓而成形中間層壓制品(A3)的層壓裝置(1)；以預(yù)定溫度對中間層壓制品(A3)進(jìn)行加壓、將其表面成形得平坦的平面壓力機(jī)(2)；和運(yùn)送單元(3)，平面壓力機(jī)(2)具備固定模板(20)以及可動(dòng)模板(21)；導(dǎo)引可動(dòng)模板(32)使得可動(dòng)模板(21)在與該對向面垂直的方向上直線移動(dòng)的直動(dòng)單元(23)，直動(dòng)單元(23)具備多個(gè)滾珠花鍵軸(24)；和設(shè)置在可動(dòng)模板(21)的角部、分別被滾珠花鍵軸(24)插通的滾珠花鍵筒(25)。
文檔編號B32B37/14GK101332696SQ20071014180
公開日2008年12月31日 申請日期2007年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月26日
發(fā)明者河野高幸 申請人:株式會(huì)社名機(jī)制作所