專利名稱：液晶顯示器件的基板粘合裝置的制作方法
本申請(qǐng)要求享有2002年3月15日在韓國(guó)遞交的P2002-14182號(hào)和2002年3月25日在韓國(guó)遞交的P2002-15953號(hào)韓國(guó)專利申請(qǐng)的權(quán)益，這些申請(qǐng)可供參考。
制造LCD器件的方法可以分成兩類液晶注入和液晶分配。液晶注入方法包括的步驟有，在第一基板上形成密封劑圖形而構(gòu)成一個(gè)注入口，在真空狀態(tài)下粘合第一基板和第二基板，并且通過(guò)注入口注入液晶材料。在日本專利申請(qǐng)11-089612和11-172903號(hào)中公開(kāi)的液晶分配方法包括的步驟有在第一基板上分配液晶材料，將第二基板布置在第一基板上面，并且移動(dòng)第一和第二基板，在真空狀態(tài)下將第一和第二基板彼此粘合。與液晶注入方法相比，液晶分配方法的優(yōu)點(diǎn)是可以省略形成液晶材料注入口，注入液晶材料和密封注入口的步驟。


圖1和2表示一種現(xiàn)有技術(shù)的真空粘合裝置，對(duì)它采用現(xiàn)有技術(shù)的液晶分配方法。現(xiàn)有技術(shù)的真空粘合裝置包括構(gòu)成外形的框架10、平臺(tái)件32和31，艙室移動(dòng)系統(tǒng)、平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)以及一個(gè)真空泵60。
此處將平臺(tái)件劃分成下平臺(tái)22和上平臺(tái)21，而密封劑分配器和液晶分配器30被設(shè)在執(zhí)行粘合步驟的位置一側(cè)。艙室件被劃分成可以組合的下艙室和上艙室單元32和31。艙室移動(dòng)系統(tǒng)包括一驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)40，驅(qū)動(dòng)它將下艙室單元32選擇移動(dòng)到執(zhí)行粘合步驟的位置，或是移動(dòng)到分配密封劑或液晶的位置。平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)包括另一個(gè)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)50，驅(qū)動(dòng)它將上平臺(tái)21選擇移動(dòng)到上或下件。真空泵60被連接到連通上艙室單元3 1內(nèi)部的一個(gè)管，為上艙室單元31內(nèi)部提供空氣吸入，維持上艙室單元的真空狀態(tài)。對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)包括一個(gè)對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)70，用來(lái)檢查固定到上平臺(tái)21上的基板52(以下稱為“第二基板”)和固定在下平臺(tái)22上的基板51(以下稱為“第一基板”)之間的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)。上艙室單元還具有一個(gè)通孔31a，用來(lái)通過(guò)對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)70檢查基板之間的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)。
以下要解釋用現(xiàn)有技術(shù)的基板制造設(shè)備制造LCD器件的一種方法。
首先將第二基板52裝載到上平臺(tái)21上并且加以固定。然后將第一基板51裝載到下平臺(tái)22上并且加以固定。在這種狀態(tài)下，用艙室移動(dòng)系統(tǒng)40將具有下平臺(tái)22的下艙室單元32移動(dòng)到一個(gè)處理位置，如圖1所示淀積密封劑并且分配液晶。在完成了淀積密封劑和分配液晶時(shí)，將下艙室單元32移動(dòng)到一個(gè)處理位置，如圖2所示將基板彼此粘合。然后用艙室移動(dòng)系統(tǒng)將下艙室單元32和上艙室單元31裝配到一起形成真空氣密密封，并且驅(qū)動(dòng)真空泵60制造真空狀態(tài)。
將上平臺(tái)21向下移動(dòng)，并且定位在彼此對(duì)準(zhǔn)各基板51和52的位置。然后用對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)70通過(guò)設(shè)在上艙室單元31中的通孔和設(shè)在上平臺(tái)21中的通孔檢查分別固定在各平臺(tái)上的第一和第二基板51和52各自的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。此時(shí)用對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)70檢查各個(gè)基板的位移并計(jì)算出一個(gè)數(shù)值。然后按照該數(shù)值控制平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)來(lái)對(duì)準(zhǔn)各個(gè)基板。
在完成基板對(duì)準(zhǔn)時(shí)，平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)50進(jìn)一步向下移動(dòng)上平臺(tái)21。固定在上平臺(tái)21上的第二基板52接觸到固定在下平臺(tái)22上的第一基板51，然后對(duì)基板施加恒定的壓力將基板彼此粘合。
然而，LCD器件的現(xiàn)有技術(shù)粘合裝置存在以下問(wèn)題。
隨著照相機(jī)逐漸接近基板的各個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，對(duì)準(zhǔn)精度得以改善，對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)能夠精確檢查基板的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)。然而，在現(xiàn)有技術(shù)的粘合裝置中，在對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)的鏡頭和上艙室單元的外表面之間要維持一個(gè)距離(L1)，因而難以精確檢查各個(gè)基板的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)。特別是在大尺寸LCD器件的情況下，對(duì)準(zhǔn)精度會(huì)隨著對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)的鏡頭和上艙室單元的外表面之間距離變大而惡化。在上艙室單元的內(nèi)表面和基板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記之間也會(huì)產(chǎn)生一個(gè)距離(L2)，造成對(duì)準(zhǔn)精度惡化。另外，在現(xiàn)有技術(shù)的粘合裝置中只用一個(gè)對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)檢查各基板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，這樣會(huì)增加處理時(shí)間。
如果不用具有高精度的對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)來(lái)檢查各個(gè)基板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，在大尺寸LCD器件中就難以精確地對(duì)準(zhǔn)各個(gè)基板。因此就需要研制一種具有適合制造大尺寸LCD器件的結(jié)構(gòu)的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，并且用來(lái)制造大尺寸LCD器件。
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種基板粘合裝置，用來(lái)精確對(duì)準(zhǔn)液晶顯示器件的第一和第二基板。
以下要說(shuō)明本發(fā)明的附加特征和優(yōu)點(diǎn)，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以從說(shuō)明書(shū)中看出，或者是通過(guò)對(duì)本發(fā)明的實(shí)踐來(lái)學(xué)習(xí)。采用說(shuō)明書(shū)及其權(quán)利要求書(shū)和附圖中具體描述的結(jié)構(gòu)就能實(shí)現(xiàn)并達(dá)到本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點(diǎn)。
為了按照本發(fā)明的意圖實(shí)現(xiàn)上述目的和其他優(yōu)點(diǎn)，以下要具體和廣泛地說(shuō)明，液晶顯示器件的一種基板粘合裝置包括真空粘合室，設(shè)在真空粘合室內(nèi)部的下平臺(tái)，設(shè)在真空粘合室內(nèi)部并具有至少一個(gè)第一通孔的上平臺(tái)，一個(gè)平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)，它的平臺(tái)移動(dòng)軸連接到上、下平臺(tái)之一，以及一個(gè)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)，和至少一個(gè)第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其一端設(shè)在真空粘合室內(nèi)部用來(lái)對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板。
按照另一方面，液晶顯示器件的基板粘合裝置包括真空粘合室，分別設(shè)在真空粘合室下部和上部空間內(nèi)的下平臺(tái)和上平臺(tái)，一個(gè)平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)，它的平臺(tái)移動(dòng)軸連接到上、下平臺(tái)之一，以及一個(gè)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)，和至少一個(gè)第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，用來(lái)對(duì)準(zhǔn)位于第一和第二基板第一位置上的第一組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，以及至少一個(gè)第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，用來(lái)對(duì)準(zhǔn)位于第一和第二基板第二位置上的第二組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
按照再一方面，液晶顯示器件的基板粘合裝置包括真空粘合室，分別設(shè)在真空粘合室下部和上部空間內(nèi)的下平臺(tái)和上平臺(tái)，這其中上、下平臺(tái)至少有一個(gè)具有對(duì)準(zhǔn)第一基板和第二基板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的多個(gè)通孔。
按照又一方面，液晶顯示器件的基板粘合裝置包括真空粘合室， 設(shè)在真空粘合室上部空間內(nèi)的上平臺(tái)，設(shè)在真空粘合室下部空間內(nèi)的下平臺(tái)，下平臺(tái)具有至少一個(gè)第一通孔，用來(lái)移動(dòng)各個(gè)上、下平臺(tái)的平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)，以及設(shè)在真空粘合室下部的至少一個(gè)第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，用來(lái)通過(guò)第一通孔對(duì)準(zhǔn)固定在下平臺(tái)上的第一基板和固定在上平臺(tái)上的第二基板。
應(yīng)該意識(shí)到以上對(duì)本發(fā)明的概述和下文的詳細(xì)說(shuō)明都是解釋性的描述，都是為了進(jìn)一步解釋所要求保護(hù)的發(fā)明。
圖9B是按照本發(fā)明沿圖8A的IV-IV提取的一個(gè)截面圖；圖10A表示按照本發(fā)明用來(lái)對(duì)準(zhǔn)各個(gè)基板的一例粗略對(duì)準(zhǔn)步驟；圖10B表示按照本發(fā)明用來(lái)控制對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)的粗略聚焦的一種步驟；圖10C表示按照本發(fā)明用來(lái)對(duì)準(zhǔn)各個(gè)基板的一例細(xì)致對(duì)準(zhǔn)步驟；圖10D表示按照本發(fā)明用來(lái)控制對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)的細(xì)致聚焦的另一種步驟；圖11是按照本發(fā)明的另一例基板粘合裝置的截面圖；圖12是按照本發(fā)明沿圖11的V-V提取的一個(gè)截面圖；圖13是按照本發(fā)明沿圖11的VI-VI提取的一個(gè)截面圖；圖14是按照本發(fā)明的再一例基板粘合裝置的截面圖；圖15是按照本發(fā)明的又一例基板粘合裝置的截面圖；圖16是按照本發(fā)明沿圖15的VII-VII線提取的一個(gè)截面圖；圖17是按照本發(fā)明沿圖15的VIII-VIII提取的一個(gè)截面圖；圖18A表示按照本發(fā)明用來(lái)對(duì)準(zhǔn)各個(gè)基板的另一例步驟；圖18B表示按照本發(fā)明控制對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)聚焦的另一例步驟；圖18C表示按照本發(fā)明對(duì)準(zhǔn)各個(gè)基板的另一例步驟；以及圖18D表示按照本發(fā)明控制對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)聚焦的另一例步驟。
圖3表示按照本發(fā)明的一例基板粘合裝置的截面圖，而圖4A和4B是按照本發(fā)明在圖3中區(qū)域“A”和“B”的放大截面圖。在圖3中，基板粘合裝置可以包括真空粘合室110，上平臺(tái)121，下平臺(tái)122，平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)，和第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)200。
真空粘合室110可以包括沿著真空粘合室110的上表面定位的多個(gè)連接孔112(參見(jiàn)圖4A)。各個(gè)連接孔112可以對(duì)準(zhǔn)位于第一和第二基板510和520上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
上平臺(tái)121可以包括多個(gè)第一通孔121a，用來(lái)對(duì)準(zhǔn)連接孔112和第一和第二基板510和520上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。可以在上平臺(tái)121的兩個(gè)以上對(duì)角處設(shè)置第一通孔121a?；蛘呤强梢栽谏掀脚_(tái)121各邊沿的中心部位設(shè)置第一通孔121a。
平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)可以包括沿上、下方向移動(dòng)上平臺(tái)121的上平臺(tái)移動(dòng)軸131，朝左、右兩側(cè)旋轉(zhuǎn)下平臺(tái)122的下平臺(tái)移動(dòng)軸132，和用來(lái)驅(qū)動(dòng)上、下平臺(tái)移動(dòng)軸131，132的上、下平臺(tái)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)133，134。上、下平臺(tái)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)133，134可以設(shè)在真空粘合室110外部?；蛘呤菍⑸稀⑾缕脚_(tái)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)133，134設(shè)在真空粘合室110內(nèi)部。上、下平臺(tái)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)133，134也可以各自設(shè)在真空粘合室110外部和內(nèi)部。
如圖4B所示，第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)200可以具有第一照相機(jī)接收部210和第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)。第一照相機(jī)接收部210可以制成管形，其第一端穿過(guò)一個(gè)連接孔112設(shè)在真空粘合室110內(nèi)部。當(dāng)?shù)谝徽障鄼C(jī)接收部210穿過(guò)連接孔112時(shí)，在連接孔112的側(cè)壁和第一照相機(jī)接收部210的一側(cè)之間會(huì)形成一個(gè)空間。因此，為避免形成這一空間需要采取密封步驟。
在圖4A和4B中，第一照相機(jī)接收部210的第一端被設(shè)在真空粘合室110內(nèi)部這樣就能通過(guò)第一照相機(jī)接收部210觀察第一和第二基板510和520的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。在這種狀態(tài)下，可以在第一照相機(jī)接收部210的第一端設(shè)置一個(gè)窗口211。窗口211和第一照相機(jī)接收部210可以包括一種能夠耐受真空狀態(tài)下減壓的高強(qiáng)度玻璃材料。第一照相機(jī)接收部210的第一端可以設(shè)在真空粘合室110內(nèi)部的上平臺(tái)121的第一通孔121a上面。
圖4C是按照本發(fā)明在圖3中的一例對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)和上平臺(tái)的放大圖。在圖4C中，第一照相機(jī)接收部210可以定位在各種構(gòu)造中用來(lái)觀測(cè)第一和第二基板510和520的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。例如可以將第一照相機(jī)接收部210制成長(zhǎng)度不超過(guò)上平臺(tái)121。在平臺(tái)121中可以形成用來(lái)接收第一照相機(jī)接收部210的額外接收槽。例如可以去掉上平臺(tái)121用來(lái)接收第一照相機(jī)接收部210的第一部分，并且將第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220設(shè)置在第一照相機(jī)接收部210內(nèi)觀測(cè)第一和第二基板510和520的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，這樣有助于對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520。
圖4D是按照本發(fā)明圖3的另一例對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)和上平臺(tái)的截面圖。在圖4D中，第一照相機(jī)接收部210的第一端可以設(shè)在上平臺(tái)121中具有第一通孔121a的部位。還可以將第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220插入第一照相機(jī)接收部210，讓第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220隨著第一照相機(jī)接收部210的移動(dòng)運(yùn)行?？梢栽O(shè)置一個(gè)真空發(fā)生系統(tǒng)300來(lái)降低真空粘合室110內(nèi)部的壓力。
或是用螺釘將第一照相機(jī)接收部210的第一端連接到上平臺(tái)移動(dòng)軸131上，在上平臺(tái)移動(dòng)軸131旋轉(zhuǎn)時(shí)隨上平臺(tái)121的上、下運(yùn)動(dòng)而運(yùn)行。此外可以將(圖4A-4D中的)第一照相機(jī)接收部210固定在真空粘合室110上，并且可以用上平臺(tái)移動(dòng)軸131連接到第一照相機(jī)220的第一端(見(jiàn)圖4A-4D)。這樣，第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220就隨著上平臺(tái)移動(dòng)軸131的移動(dòng)在第一照相機(jī)接收部210的內(nèi)部沿上下方向移動(dòng)。
以下參照?qǐng)D5A，5B和6說(shuō)明用本發(fā)明的基板粘合裝置粘合LCD器件基板的步驟。圖5A是按照本發(fā)明沿圖3中的I-I提取的一個(gè)截面圖，圖5B是按照本發(fā)明沿圖3中的II-II提取的一個(gè)截面圖，而圖6是按照本發(fā)明的基板粘合裝置在對(duì)準(zhǔn)步驟中的一例對(duì)準(zhǔn)布局的截面圖。
按照?qǐng)D6，在對(duì)準(zhǔn)步驟中可以分別將第一和第二基板510和520裝載到下平臺(tái)122和上平臺(tái)121上。然后操作真空粘合室門(mén)113關(guān)閉真空粘合室110的艙室入口111，將真空粘合室110的內(nèi)部密封。然后啟動(dòng)真空發(fā)生系統(tǒng)300降低真空粘合室110內(nèi)部的壓力，在真空粘合室110內(nèi)部形成真空狀態(tài)。一旦達(dá)到真空狀態(tài)，就驅(qū)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)的上平臺(tái)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)133使上平臺(tái)移動(dòng)軸131旋轉(zhuǎn)。這樣，上平臺(tái)121就會(huì)沿著下行方向運(yùn)行到鄰接下平臺(tái)122的第一位置。當(dāng)上平臺(tái)121運(yùn)行到第一位置時(shí)，第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)200的第一照相機(jī)接收部210隨著上平臺(tái)移動(dòng)軸131的旋轉(zhuǎn)沿下行方向運(yùn)行，使第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220的下端(即透鏡)定位在距設(shè)置在下平臺(tái)122的上表面上的基板510最小距離的位置。
在完成對(duì)準(zhǔn)步驟時(shí)，用第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)檢查分別被附著在下平臺(tái)122和上平臺(tái)121上的第一和第二基板510和520的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521(參見(jiàn)圖5A和5B)。這樣就能將第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)聚焦在對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521之間的中心點(diǎn)上檢查第一和第二基板510和520的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)。然后可以從第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)讀出對(duì)準(zhǔn)數(shù)據(jù)。或是將第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)聚焦在各個(gè)完整的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521上。在讀出有關(guān)第一和第二基板510和520對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)的對(duì)準(zhǔn)數(shù)據(jù)之后，可以用對(duì)準(zhǔn)數(shù)據(jù)控制平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)，沿著X方向，Y方向?qū)?zhǔn)各個(gè)基板，并且繞著一個(gè)中心軸旋轉(zhuǎn)角度。
圖7是按照本發(fā)明的基板粘合裝置在粘合步驟中的一例粘合布局的截面圖。按照?qǐng)D7，在對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520之后，可以用一個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)，將第一和第二基板510和520粘合到一起。
圖8A是按照本發(fā)明的另一例基板粘合裝置在第一對(duì)準(zhǔn)步驟中的截面圖，而圖8B是按照本發(fā)明的另一例基板粘合裝置在第二對(duì)準(zhǔn)步驟中的截面圖。按照?qǐng)D8A，第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)400的第二對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)420可以和用來(lái)對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520預(yù)定部位的第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)構(gòu)成一對(duì)。第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)400可以設(shè)置在真空粘合室110的內(nèi)部或外部。如果要將第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)200設(shè)計(jì)成比第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)400更精確地對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520，就要將第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)200的第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220設(shè)置在真空粘合室110的內(nèi)部，而第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)400的第二對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)420可以設(shè)置在真空粘合室110的外部。也就是第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)200能夠設(shè)置在距第一和第二基板510和520的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521最小的距離，而第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)可以支持第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)200精確地對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520。
在圖8A和8B中，第一和第二對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)和420面對(duì)第一和第二基板510和520的四角，將第一和第二基板510和520彼此精確對(duì)準(zhǔn)。第一和第二對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)和420可以面對(duì)第一和第二基板510和520各自四個(gè)邊沿的各個(gè)中心點(diǎn)。另外，第一和第二對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)和420可以面對(duì)第一和第二基板510和520各自的兩個(gè)角?；蛘呤堑谝缓偷诙?duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)和420可以面對(duì)第一和第二基板510和520各自兩個(gè)邊沿的預(yù)定部位。另外，第一和第二對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)和420也可以面對(duì)第一和第二基板510和520的其他部位，例如是第一和第二基板510和520的虛擬區(qū)部位。
圖9A是按照本發(fā)明沿圖8A的III-III提取的一個(gè)截面圖，而圖9B是按照本發(fā)明沿圖8A的IV-IV提取的一個(gè)截面圖。按照?qǐng)D9A，第二基板520可以有第二組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記521和522，而按照?qǐng)D9A，第一基板510可以有第一組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記521和522。這樣，設(shè)置在上平臺(tái)121和121b中的第一通孔121a和多個(gè)第二通孔121b就能對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511，521，512，522。第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)可以對(duì)準(zhǔn)各個(gè)第一通孔121a，通過(guò)第二基板520的“粗略”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記522和第一基板510的“粗略”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記512檢查第一和第二基板510和520的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)。第二對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)420(參見(jiàn)圖8A)可以對(duì)準(zhǔn)各個(gè)第二通孔121b，通過(guò)第二基板520的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記521和第一基板510的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511檢查第一和第二基板510和520的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)。
以下要參照?qǐng)D8A，8B，9A和9B解釋按照本發(fā)明在基板粘合裝置中用來(lái)對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520的處理步驟。用于裝載各個(gè)第一和第二基板510和520和在真空粘合室110內(nèi)部產(chǎn)生真空狀態(tài)的個(gè)別處理步驟都與上文參照?qǐng)D5A，5B和6所述的個(gè)別步驟相同。
在第一對(duì)準(zhǔn)步驟過(guò)程中，驅(qū)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)的上平臺(tái)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)133使上平臺(tái)移動(dòng)軸131旋轉(zhuǎn)，如圖8B所示使上平臺(tái)121沿下行方向移動(dòng)。在這種狀態(tài)下，如果上平臺(tái)121已經(jīng)接近下平臺(tái)122，就禁止上平臺(tái)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)133。然后用第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)400的第二對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)420初步對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520?？梢杂玫诙?duì)準(zhǔn)照相機(jī)420檢查第一和第二基板510和520各自的“粗略”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記512和522。第二對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)420可以檢查“粗略”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記512和522是否處在第二對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)420的觀測(cè)范圍之內(nèi)。這樣就能將第二對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)420聚焦在第一和第二基板510和520之間的中心部位。這樣就能按照對(duì)準(zhǔn)處理步驟初步對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520。接著將第一和第二基板510和520的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521定位在第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)的觀測(cè)范圍內(nèi)。然后用第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520。如此就能有效并便利地執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520的處理步驟。
第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)的第一照相機(jī)接收部(參見(jiàn)圖4A-4D)可以沿著上平臺(tái)121沿下行方向運(yùn)行，而第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)的下端(透鏡)可以設(shè)置在與第一和第二基板510和520各自成最小距離。用第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)檢查第一和第二基板510和520各自的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521，將第一和第二基板510和520彼此精確地對(duì)準(zhǔn)。由于“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521在第一和第二基板510和520初步對(duì)準(zhǔn)之后能夠被定位在第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)的觀測(cè)范圍內(nèi)，第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220(參見(jiàn)圖4A-4D)能夠便利快捷地檢查“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521。
圖10A表示按照本發(fā)明用來(lái)對(duì)準(zhǔn)各個(gè)基板的粗略對(duì)準(zhǔn)步驟的一個(gè)例子，而圖10B表示按照本發(fā)明控制對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)粗略聚焦的一個(gè)例子。在圖10A和10B中，第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220可以聚焦在附著在上平臺(tái)121上的第二基板520的“粗略”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記522上，從而檢查第二基板520的位置。然后第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220可以聚焦在附著在下平臺(tái)122上的第一基板510的“粗略”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記512上檢查第一基板510的位置。此后可以讀出相對(duì)于“粗略”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記512和522之間一個(gè)位置的偏差值，用這一偏差值計(jì)算出一個(gè)位移值，并按照計(jì)算的位移值移動(dòng)上平臺(tái)(見(jiàn)圖8A)或下平臺(tái)。這樣就能對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520。
圖10C表示按照本發(fā)明用來(lái)對(duì)準(zhǔn)各個(gè)基板的細(xì)微對(duì)準(zhǔn)步驟的一個(gè)例子，而圖10D表示按照本發(fā)明控制對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)細(xì)微聚焦的一個(gè)例子。在圖10C和10D中，第二對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)420可以聚焦在附著在上平臺(tái)121上的第二基板520的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記521上檢查第二基板520的位置。然后第二對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)420可以聚焦在附著在下平臺(tái)122上的第一基板510的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511上檢查第一基板510的位置。此后可以讀出相對(duì)于“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521之間一個(gè)位置的偏差值，用這一偏差值計(jì)算出一個(gè)位移值，并按照計(jì)算的位移值移動(dòng)上平臺(tái)或下平臺(tái)。這樣就能對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520。在完成各個(gè)第一和第二基板510和520的對(duì)準(zhǔn)之后，可以用驅(qū)動(dòng)信號(hào)連續(xù)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)，用壓力使附著在上平臺(tái)121上的第二基板520與附著在下平臺(tái)122上的第一基板510粘合。
在本發(fā)明的基板粘合裝置中不需要將對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)的第一端設(shè)置在真空粘合室110的內(nèi)部。這樣就能將第一和第二對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)220和420設(shè)置在真空粘合室110的內(nèi)部或是真空粘合室110的外部。另外，第一和第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)200和400各自可以有兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)或是四個(gè)對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)。這樣就能通過(guò)檢查位于第一和第二基板510和520上的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521，或是通過(guò)檢查各個(gè)第一和第二基板510和520的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521之間的中心點(diǎn)，或者是用第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)200分別檢查各個(gè)第一和第二基板510和520的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521來(lái)對(duì)準(zhǔn)各個(gè)第一和第二基板510和520，并且在同時(shí)讀出各個(gè)第一和第二基板510和520的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521之間的中心點(diǎn)的位置值。
圖11是按照本發(fā)明的另一例基板粘合裝置的截面圖，圖12是按照本發(fā)明沿圖11中的V-V提取的一個(gè)截面圖，而圖13是按照本發(fā)明沿圖11中的VI-VI提取的一個(gè)截面圖。在圖11，12和13中，可以在真空粘合室110的底部設(shè)置多個(gè)通孔113，并且可以在真空粘合室600下面設(shè)置第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600。這樣，通孔113的總數(shù)可以和第一和第二基板510和520的“粗略”和“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的總數(shù)相等。此外可以在下平臺(tái)122中形成多個(gè)第三通孔122a，對(duì)準(zhǔn)設(shè)置在真空粘合室110的底部的各個(gè)通孔113，用來(lái)檢查各個(gè)“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521。
第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600可以設(shè)置在真空粘合室110下面對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521，以便能用第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600通過(guò)真空粘合室110的通孔113和下平臺(tái)122的第三通孔122a檢查第一和第二基板510和520的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521，從而對(duì)準(zhǔn)各個(gè)第一和第二基板510和520。這樣的第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600可以包括多個(gè)對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)，用來(lái)檢查第一和第二基板510和520的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記并檢查第一和第二基板510和520之間的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)。第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600的總數(shù)直接對(duì)應(yīng)著第三通孔122a的總數(shù)。
以下要參照?qǐng)D11，12和13解釋按照本發(fā)明的基板粘合裝置中對(duì)準(zhǔn)基板的處理步驟。在圖11中，第一和第二基板510和520可以分別裝載到下平臺(tái)122和上平臺(tái)121上并且將真空粘合室110密封。在這種狀態(tài)下用真空發(fā)生系統(tǒng)300降低真空粘合室110的內(nèi)部壓力，直至真空粘合室110內(nèi)部達(dá)到真空狀態(tài)。啟動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)可以使上平臺(tái)121沿下行方向運(yùn)行并到達(dá)與下平臺(tái)122鄰接的位置。一旦完成了上述處理步驟，第三對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)600就能檢查設(shè)在附著于下平臺(tái)122(參見(jiàn)圖13)上的下基板510上的各個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和設(shè)在附著于上平臺(tái)121(參見(jiàn)圖12)上的上基板520上的各個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記521，從而檢查第一和第二基板510和520的位置。這樣，第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)122就能聚焦在對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521之間的中心點(diǎn)上，并且能交替聚焦在各個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521上檢查第一和第二基板510和520的位置。在檢查完第一和第二基板510和520的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)之后，可以通過(guò)讀出與第一和第二基板510和520的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)有關(guān)的數(shù)據(jù)來(lái)控制平臺(tái)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。這樣就能將各個(gè)第一和第二基板510和520相對(duì)于X-方向，Y-方向和對(duì)角線對(duì)準(zhǔn)。
圖14是按照本發(fā)明的另一例基板粘合裝置的截面圖。在圖14中可以在真空粘合室110下部設(shè)置第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600。這樣就能將第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600的第一端設(shè)置在真空粘合室110內(nèi)部接近對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，在檢查第一和第二基板510和520的位置并讀出位置數(shù)據(jù)時(shí)能夠改善精度。這樣的真空粘合室110還可以包括用來(lái)接收第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600的第一端的第三照相機(jī)接收部610。第三照相機(jī)接收部610可以包括一種透明材料，在真空狀態(tài)下保護(hù)第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600。
用按照本發(fā)明的這種基板粘合裝置對(duì)準(zhǔn)各個(gè)基板的處理步驟與圖11，12和13中所示的處理步驟相同，在此省略了有關(guān)的說(shuō)明。圖15是按照本發(fā)明的另一例基板粘合裝置的截面圖，圖16是按照本發(fā)明沿圖15中的VII-VII線提取的一個(gè)截面圖，而圖17是按照本發(fā)明沿圖15中的VIII-VIII線提取的一個(gè)截面圖。
在圖15中，第四對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)700可以包括四個(gè)對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)，與具有三個(gè)對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)的第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600配對(duì)，通過(guò)檢查基板的各個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記來(lái)對(duì)準(zhǔn)各個(gè)基板。第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)700能夠更精確地對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520的位置，而第四對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)700可以為第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600提供支持來(lái)對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520。這樣的第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600能夠與第一和第二基板510和520的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521保持最小距離。
第四對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)700可以設(shè)置在真空粘合室110上方，通過(guò)多個(gè)通孔114對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520。第四對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)700檢查第一和第二基板510和520(見(jiàn)圖17和18)的“粗略”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511a和521a，而第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600檢查第一和第二基板510和520的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511b和521b。第四對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)700通過(guò)“粗略”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511a和521a大致對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520，而第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600通過(guò)“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511b和521b精確對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520。
或是將第四對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)700設(shè)置在真空粘合室110下面更接近第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600的部位。然而，由于真空粘合室110下面的空間有限，且第四對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)700不需要高精度，還是將第四對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)700設(shè)置在真空粘合室110上方為好。
在按照本發(fā)明的基板粘合裝置中，各個(gè)基板可以按照與圖11，12和13的對(duì)準(zhǔn)步驟相同的方式對(duì)準(zhǔn)。此外，第四對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)700可以大致對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520，而第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600可以精確對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520。也就是說(shuō)，如圖16和17所示，第四對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)700首先通過(guò)設(shè)置在真空粘合室110頂部的第一通孔114和設(shè)置在上平臺(tái)121中的第四通孔121c檢查第一和第二基板510和520的“粗略”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521。在圖18A中，第四對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)700檢查“粗略”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511和521是否處在第四對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)700的觀測(cè)范圍之內(nèi)。這樣，如圖18B所示，第四對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)700就能聚焦在第一和第二基板510和520之間的中心點(diǎn)上檢查基板的位置。
首先對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511b和521b，使其位于第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600的觀測(cè)范圍之內(nèi)，這樣就能以高精度快捷地對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520。如果第一和第二基板510和520的“粗略”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511a和521a是位于第四對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)700的觀測(cè)范圍之內(nèi)，第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600就執(zhí)行對(duì)第一和第二基板510和520的第二對(duì)準(zhǔn)。也就是第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600通過(guò)設(shè)置在下平臺(tái)122中的第三通孔122a檢查第一和第二基板510和520的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511b和521b，并且精確對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520的位置。由于“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511b和521b已經(jīng)位于第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600的觀測(cè)范圍之內(nèi)，第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600更容易精確地檢查第一和第二基板510和520的位置。
第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600可以按以下方式對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520。第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600可以聚焦在附著于上平臺(tái)121的第二基板520的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記521b上檢查第二基板520的位置。然后，第三對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)600可以聚焦在附著于下平臺(tái)122的第一基板510的“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511b上檢查第一基板510的位置，如圖18C和18D所示。接著按照“細(xì)微”對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記511b和521b之間的位置讀出一個(gè)偏差值。然后用這一偏差值計(jì)算出一個(gè)位移值，并按照計(jì)算的位移值移動(dòng)上平臺(tái)121或下平臺(tái)122。這樣就能精確對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板510和520。
顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員無(wú)需脫離本發(fā)明的原理和范圍還能對(duì)本發(fā)明用于液晶顯示器件的基板粘合裝置作出各種各樣的修改和變更。因此，本發(fā)明的意圖是要覆蓋權(quán)利要求書(shū)及其等效物范圍內(nèi)的修改和變更。
權(quán)利要求
1.一種液晶顯示器件的基板粘合裝置，包括真空粘合室；設(shè)在真空粘合室內(nèi)部的下平臺(tái)；設(shè)在真空粘合室內(nèi)部并具有至少一個(gè)第一通孔的上平臺(tái)；一個(gè)平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)，它具有連接到上、下平臺(tái)之一的平臺(tái)移動(dòng)軸和一個(gè)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)；以及至少一個(gè)第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其一端設(shè)置在真空粘合室內(nèi)部用來(lái)對(duì)準(zhǔn)第一基板和第二基板。
2.按照權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，第一和第二基板各自包括多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，而第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)面對(duì)各個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
3.按照權(quán)利要求2的裝置，其特征在于，第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)穿透真空粘合室的頂部。
4.按照權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的一端被設(shè)置在真空粘合室內(nèi)部并且與上平臺(tái)的一個(gè)部位鄰接。
5.按照權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)包括第一照相機(jī)接收部，其第一端穿透真空粘合室設(shè)置在真空粘合室的內(nèi)部，并且在照相機(jī)接收部中接收一個(gè)對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)，用來(lái)檢查第一和第二基板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
6.按照權(quán)利要求5的裝置，其特征在于，對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)的第一端被連接到平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)的平臺(tái)移動(dòng)軸。
7.按照權(quán)利要求5的裝置，其特征在于，第一對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)被接收在第一照相機(jī)接收部中，而第一照相機(jī)接收部的第一端對(duì)準(zhǔn)上平臺(tái)的第一通孔。
8.按照權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，還包括設(shè)在真空粘合室外部的至少一個(gè)第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。
9.按照權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，還包括設(shè)在真空粘合室內(nèi)部的至少一個(gè)第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。
10.一種液晶顯示器件的基板粘合裝置，包括真空粘合室；分別設(shè)在真空粘合室的下部和上部空間內(nèi)的下平臺(tái)和上平臺(tái)；一個(gè)平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)，它具有連接到上、下平臺(tái)之一的一個(gè)移動(dòng)軸和一個(gè)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)；至少一個(gè)第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，用來(lái)對(duì)準(zhǔn)第一基板和第二基板的第一位置上的第一組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記；以及至少一個(gè)第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，用來(lái)對(duì)準(zhǔn)第一基板和第二基板的第二位置上的第二組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
11.按照權(quán)利要求10的裝置，其特征在于，第一和第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)各自的第一端被設(shè)置在真空粘合室外部，并且被對(duì)準(zhǔn)第一和第二組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
12.按照權(quán)利要求10的裝置，其特征在于，第一和第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)各自的第一端被設(shè)置在真空粘合室內(nèi)部，并且被對(duì)準(zhǔn)第一和第二組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
13.按照權(quán)利要求10的裝置，其特征在于，第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的第一端被設(shè)置在真空粘合室內(nèi)部，并且被對(duì)準(zhǔn)第二組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，而第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的第一端被設(shè)置在真空粘合室外部，并且被對(duì)準(zhǔn)第一組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
14.按照權(quán)利要求10的裝置，其特征在于，第一和第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)聚焦在設(shè)置于第一和第二基板上各自的第一和第二組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記上檢查第一和第二組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置。
15.按照權(quán)利要求10的裝置，其特征在于，第一和第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)聚焦在設(shè)置于第一和第二基板上各自的第一和第二組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記上檢查第一和第二組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記之間的中間點(diǎn)位置。
16.按照權(quán)利要求10的裝置，其特征在于，第一和第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)讀出第一和第二組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置值。
17.按照權(quán)利要求10的裝置，其特征在于，第一和第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)讀出第一和第二基板之間中心點(diǎn)的位置值。
18.按照權(quán)利要求10的裝置，其特征在于，第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)檢查第一和第二組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記各自的位置，而第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)讀出第一和第二組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記之間中心點(diǎn)的位置值。
19.一種液晶顯示器件的基板粘合裝置，包括真空粘合室；以及分別設(shè)在真空粘合室的下部和上部空間內(nèi)的下平臺(tái)和上平臺(tái)，上、下平臺(tái)中的至少一個(gè)具有對(duì)準(zhǔn)第一基板和第二基板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的多個(gè)通孔。
20.一種液晶顯示器件的基板粘合裝置，包括真空粘合室；設(shè)在真空粘合室上部空間內(nèi)的上平臺(tái)；設(shè)在真空粘合室下部空間內(nèi)的下平臺(tái)， 下平臺(tái)具有至少一個(gè)第一通孔；以及設(shè)置在真空粘合室下部的至少一個(gè)第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，通過(guò)第一通孔對(duì)準(zhǔn)附著于下平臺(tái)上的第一基板和附著于上平臺(tái)上的第二基板。
21.按照權(quán)利要求20的裝置，其特征在于，第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)被設(shè)置在真空粘合室下部面對(duì)著第一和第二基板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
22.按照權(quán)利要求22的裝置，其特征在于，第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的第一端穿透真空粘合室的底部設(shè)置在真空粘合室的內(nèi)部。
23.按照權(quán)利要求22的裝置，其特征在于，真空粘合室包括用來(lái)接收第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的第一端的接收部。
24.按照權(quán)利要求20的裝置，其特征在于，第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)被對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板的第一組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
25.按照權(quán)利要求20的裝置，其特征在于，下平臺(tái)包括第二通孔。
26.按照權(quán)利要求25的裝置，其特征在于，還包括設(shè)置在真空粘合室下面的第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，通過(guò)第二通孔對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板。
27.按照權(quán)利要求26的裝置，其特征在于，第二通孔對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板的第二組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
28.按照權(quán)利要求20的裝置，其特征在于，上平臺(tái)包括第一通孔。
29.按照權(quán)利要求28的裝置，其特征在于，還包括設(shè)置在真空粘合室上面的第二對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，通過(guò)上平臺(tái)的第一通孔對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板。
全文摘要
一種液晶顯示器件的基板粘合裝置，包括真空粘合室，設(shè)在真空粘合室內(nèi)部的下平臺(tái)，設(shè)在真空粘合室內(nèi)部并具有至少一個(gè)第一通孔的上平臺(tái)，一個(gè)平臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)，它具有連接到上、下平臺(tái)之一的平臺(tái)移動(dòng)軸和一個(gè)移動(dòng)電動(dòng)機(jī)，以及有一端設(shè)置在真空粘合室內(nèi)部的至少一個(gè)第一對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，用來(lái)對(duì)準(zhǔn)第一基板和第二基板。
文檔編號(hào)B32B37/00GK1447167SQ0310540
公開(kāi)日2003年10月8日 申請(qǐng)日期2003年2月20日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月15日
發(fā)明者李相碩, 樸相昊 申請(qǐng)人:Lg.菲利浦Lcd株式會(huì)社