一種用于大直徑石英外套管安裝的輔助夾具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種HVPE設(shè)備的安裝輔助工具，尤其是一種用于大直徑石英外套管安裝的輔助夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科技的發(fā)展，HVPE設(shè)備的容量從單片發(fā)展至三片，乃至21片，反應(yīng)腔的體積隨之而增大。其中石英外套管的直徑已達(dá)200mm以上，重量超過25kg，高度大于1.2米。在安裝時(shí)，僅靠安裝人員協(xié)作拆裝的維護(hù)方式顯然已不滿足，多人搬運(yùn)大直徑石英外套管的可控性差，安裝精度得不到保證，而且石英材質(zhì)易碎、表面光滑，在裝配過程中存在不可忽視的危險(xiǎn)性，安裝效率低下。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對以上問題，本實(shí)用新型提出一種用于大直徑石英外套管安裝的輔助夾具。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:
[0005]—種用于大直徑石英外套管安裝的輔助夾具，包括兩個(gè)U型支撐支架和一對弧面彈力夾子。利用U型支撐支架傳遞的夾持動(dòng)力，使弧形彈力夾子與圓柱形石英外套管的外表面緊密貼合，借助其間足夠的摩擦力，使不同直徑的石英外套管被穩(wěn)定加持而不掉落，保證在夾持、移動(dòng)、安裝過程中的穩(wěn)定性與安全性。而弧面彈力夾子所具有的彈性緩沖性能，確保被夾持的石英外套管不碎裂。
[0006]所述兩個(gè)U型支撐支架的各臂中段分別設(shè)有串連孔，其中相鄰兩孔用串聯(lián)螺柱作活動(dòng)鏈接，可使兩個(gè)U型支撐支架能夠旋轉(zhuǎn);在所述兩個(gè)U型支撐支架各臂末段分別設(shè)有上連接柱、下連接柱，在各上連接柱、下連接柱上均設(shè)有固定孔，通過固定孔分別與各自對應(yīng)的弧面彈力夾子的末段固定連接;在兩個(gè)U型支撐支架的弧形邊中段外側(cè)各設(shè)置把手，用于操作人員操控輔助夾具以夾持石英外套管。所述U型支撐支架，采用剛性材料，可以是但不限于用不銹鋼、鋁合金等。
[0007]所述弧面彈力夾子其兩頭末段，通過固定孔，分別與U型支撐支架兩個(gè)末段處的連接柱固定連接;所述弧面彈力夾子，其形狀為弧形曲面，其內(nèi)表面為非光滑糙面，具有彈性緩沖性能，因而易夾持不同直徑的圓柱形石英外套管不掉落，并確保被夾持石英外套管不碎裂。所述弧面彈力夾子，采用彈性材料，可以是但不限于用橡膠、硅膠。
[0008]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單、使用方便，借助弧面彈力夾子與圓柱形石英外套管外壁緊貼所形成的摩擦力，使得安裝人員搬運(yùn)石英外套管更為方便、穩(wěn)定，不僅提高安裝效率，也提升對安裝精度的控制，同時(shí)有效降低裝配過程中的危險(xiǎn)性。
【附圖說明】
[0009]圖1為實(shí)施例一的一種用于大直徑石英外套管安裝的輔助夾具結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖2為實(shí)施例二的一種用于大直徑石英外套管安裝的輔助夾具結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖中，1-U型支撐支架11-把手12-下連接柱13-上連接柱，2-弧面彈力夾子，3-串連螺柱。
【具體實(shí)施方式】
[0012]實(shí)施例1
[0013]如圖1所示，一種用于大直徑石英外套管安裝的輔助夾具，由2個(gè)U型支撐支架I和一對弧面彈力夾子2組裝而成。
[0014]在所述U型支撐支架I兩側(cè)末段設(shè)有下連接柱12，在下連接柱12上設(shè)有3個(gè)固定孔，與此相對應(yīng)的弧面彈力夾子2兩側(cè)末段也設(shè)有固定孔，其間安裝為固定連接;在兩個(gè)U型支撐支架I各臂中心位置設(shè)有串連孔，使用串連螺柱3，將兩個(gè)U型支撐支架I組合為夾具后，可以串連螺柱3為軸心能旋轉(zhuǎn);在U型支撐支架I的弧形中段外側(cè)設(shè)有兩個(gè)把手11，用于安裝人員托舉輔助夾具;所述弧面彈力夾子2牢牢固定在U型支撐支架I的下連接柱12上，其作用是與不同的相對較小直徑的圓形石英外套管的外表面均能緊密貼合，并提供足夠的摩擦力，保證安裝、搬運(yùn)過程中的穩(wěn)定性與安全性。
[0015]實(shí)施例2
[0016]如圖2所示，一種用于大直徑石英外套管安裝的輔助夾具，由2個(gè)U型支撐支架I和一對弧面彈力夾子2組裝而成。
[0017]在所述U型支撐支架I兩側(cè)末段設(shè)有上連接柱13，在上連接柱13上設(shè)有3個(gè)固定孔，與此相對應(yīng)的弧面彈力夾子2兩側(cè)末段也設(shè)有固定孔，其間安裝為固定連接;在兩個(gè)U型支撐支架I各臂中心位置設(shè)有串連孔，使用串連螺柱3，將兩個(gè)U型支撐支架I組合為夾具后，可以串連螺柱3為軸心能旋轉(zhuǎn);在U型支撐支架I的弧形中段外側(cè)設(shè)有兩個(gè)把手11，用于安裝人員托舉輔助夾具;所述弧面彈力夾子2牢牢固定在U型支撐支架I的上連接柱13上，其作用是與不同的相對較大直徑的圓形石英外套管的外表面均能緊密貼合，并提供足夠的摩擦力，保證安裝、搬運(yùn)過程中的穩(wěn)定性與安全性。
[0018]本實(shí)用新型是一種用于大直徑石英外套管安裝的輔助夾具，所述U型支撐支架I為U型結(jié)構(gòu)，在其U型結(jié)構(gòu)的各臂中部各有一個(gè)串連孔，用串連螺柱3把兩個(gè)U型支撐支架組裝成整體夾具。
[0019]本實(shí)用新型是一種大直徑石英外套管安裝的輔助夾具，所述U型支撐支架I采用剛性材料，其材質(zhì)可以是但不限于用不銹鋼、鋁合金;所述弧面彈力夾子2采用彈性材料，其材質(zhì)可以是但不限于用橡膠、硅膠。
[0020]本實(shí)用新型一種用于大直徑石英外套管安裝的輔助夾具，其操作步驟:(I)施力撐開兩組把手11使其間距增加，使兩個(gè)弧面彈力夾子2間距適度增加；(2)把夾具套在待夾持的石英外套管上，上下移動(dòng)夾具，使弧面彈力夾子2到達(dá)被夾持石英外套管的中部位置；(3)施力靠攏兩組把手11使其間距減小，拉近至弧面彈力夾子2緊緊夾持被夾石英外套管；(4)移動(dòng)夾具及被夾持石英外套管到所需位置；(5)撐開兩組把手11使其間距加大，使兩個(gè)弧面彈力夾子2間距加大，至其與石英外套管分離，之后取出夾具。完成操作。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于大直徑石英外套管安裝的輔助夾具，其特征在于，該夾具包括兩個(gè)U型支撐支架(1)、一對弧面彈力夾子(2);在所述兩個(gè)U型支撐支架(I)的各臂中段分別設(shè)有串連孔，其中相鄰兩孔用串連螺柱(3)作活動(dòng)連接，使兩個(gè)U型支撐支架能旋轉(zhuǎn);在所述兩個(gè)U型支撐支架(I)的各臂末段分別設(shè)有下連接柱(12)、上連接柱(13)，在各下連接柱(12)、上連接柱(13)上均設(shè)有固定孔，通過固定孔分別與各自對應(yīng)的弧面彈力夾子(2)的末段固定連接;在兩個(gè)U型支撐支架(I)的弧形邊中段外側(cè)各設(shè)有把手(11);所述弧面彈力夾子(2)具有的彈性緩沖性能，其形狀為弧形曲面，其內(nèi)表面為非光滑糙面。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于大直徑石英外套管安裝的輔助夾具，其特征在于:所述U型支撐支架(I)采用剛性材料;所述弧面彈力夾子(2)采用彈性材料。
【專利摘要】本實(shí)用新型一種用于大直徑石英外套筒安裝的輔助夾具，包括兩個(gè)U型支撐支架、一對弧面彈力夾子。通過U型支撐支架與弧面彈力夾子間的聯(lián)動(dòng)，密切夾持著石英外套管移動(dòng)，可提高安裝的準(zhǔn)確度和便利性。而弧面彈力夾子的彈性及緩沖功能，可確保對不同尺寸的石英外套管均能穩(wěn)定加持、移動(dòng)，從而提高安裝過程中的安全性。本實(shí)用新型具有一定的實(shí)用價(jià)值。
【IPC分類】B25B11/00
【公開號(hào)】CN205184585
【申請?zhí)枴緾N201520962682
【發(fā)明人】麥嘉豪, 王健輝, 劉鵬, 莫國杰, 張茶根, 童玉珍, 張國義
【申請人】東莞市中鎵半導(dǎo)體科技有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2015年11月26日