斜端面光學(xué)元件透射波面誤差檢測的專用夾具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于專用夾具技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種斜端面光學(xué)元件的專用夾具,特別涉及一種斜端面光學(xué)元件透射波面誤差檢測的專用夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]目前,實驗室內(nèi)光學(xué)元件透射波面誤差的檢測均采用斐索型干涉儀實現(xiàn)。干涉儀系統(tǒng)出射的準(zhǔn)直激光束在通過前標(biāo)準(zhǔn)鏡的參考面時分為兩束激光束,其中一束激光束經(jīng)前標(biāo)準(zhǔn)鏡參考面反射后形成參考光束,而另一束激光束依次透過前標(biāo)準(zhǔn)鏡的參考面、被測元件后經(jīng)后標(biāo)準(zhǔn)鏡反射后形成測試光束。參考光束與測試光束干涉形成干涉條紋,從而得到待測元件的波面誤差信息。說明書附圖中圖1為垂直端面光學(xué)元件透射波面誤差檢測原理示意圖。然而,當(dāng)被測元件為斜端面光學(xué)元件時,測試光束將在被測的斜端面光學(xué)元件內(nèi)發(fā)生偏折,如說明書附圖中圖2所示。測試光束進入到被測元件后發(fā)生偏折,而此時若將被測的斜端面光學(xué)元件按照垂直端面光學(xué)元件透射波面檢測的夾持方法進行夾持,僅簡單將被測的斜端面光學(xué)元件的柱身與測試光束光軸調(diào)平行,那么,測試光束在透過被測的斜端面光學(xué)元件時會出現(xiàn)如圖3所示的現(xiàn)象,部分光束會射入到光學(xué)元件的柱壁內(nèi)側(cè),并經(jīng)由柱壁反射后再從光學(xué)元件的端面射出,但由于測試光束的出射方向各異,不能與參考光束發(fā)生干涉。此時,通過干涉儀測試得到的透射波面誤差等高分布圖如說明書附圖中圖4所示,致使部分檢測口徑受到遮擋,最終導(dǎo)致斜端面光學(xué)元件透射波面誤差檢測的誤差值較大。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的發(fā)明目的在于:針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題,提供一種斜端面光學(xué)元件擺放角度可調(diào)的斜端面光學(xué)元件透射波面誤差檢測的專用夾具。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案為:
[0005]一種斜端面光學(xué)元件透射波面誤差檢測的專用夾具,包括用于調(diào)節(jié)斜端面光學(xué)元件擺放角度的刻度盤,所述刻度盤可繞刻度盤的軸線轉(zhuǎn)動,所述刻度盤上設(shè)置有用于放置斜端面光學(xué)元件的V型槽,所述V型槽的左側(cè)面向內(nèi)凹陷形成容納腔,所述容納腔內(nèi)放置有調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸,且所述調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸的軸線與V型槽的左側(cè)面之間的距離小于調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸的半徑。
[0006]作為本實用新型的優(yōu)選方案,所述調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸的軸線與V型槽左側(cè)面之間的距離為調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸的半徑的3/4至4/5。
[0007]作為本實用新型的優(yōu)選方案,所述刻度盤底部設(shè)置有用于調(diào)整刻度盤俯仰角的俯仰角調(diào)節(jié)裝置。
[0008]作為本實用新型的優(yōu)選方案,所述俯仰角調(diào)節(jié)裝置包括地盤圈,所述地盤圈一側(cè)與固定連接在刻度盤底部的下支條鉸接,所述地盤圈另一側(cè)固定連接有U型卡,所述U型卡與外調(diào)節(jié)桿底端鉸接,所述外調(diào)節(jié)桿的管孔內(nèi)套設(shè)有內(nèi)調(diào)節(jié)桿,所述內(nèi)調(diào)節(jié)桿通過連接于外調(diào)節(jié)桿上的緊固裝置緊固,所述內(nèi)調(diào)節(jié)桿與固定連接在刻度盤底部的上支條鉸接。
[0009]作為本實用新型的優(yōu)選方案,所述俯仰角調(diào)節(jié)裝置包括固定連接在刻度盤底部的第一旋轉(zhuǎn)側(cè)壁,所述第一旋轉(zhuǎn)側(cè)壁通過俯仰角調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸與第二旋轉(zhuǎn)側(cè)壁鉸接,所述第二旋轉(zhuǎn)側(cè)壁上靠近刻度盤的一側(cè)設(shè)置有用于鎖緊第一旋轉(zhuǎn)側(cè)壁的固定螺栓,所述第二旋轉(zhuǎn)側(cè)壁底部連接有底座,所述底座與刻度盤之間還設(shè)置有俯仰角調(diào)節(jié)螺桿,所述俯仰角調(diào)節(jié)螺桿通過調(diào)節(jié)螺母與固定連接在底座的調(diào)節(jié)螺柱連接,并通過轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)螺母調(diào)節(jié)刻度盤的俯仰視角。
[0010]綜上所述,由于采用了上述技術(shù)方案,本實用新型的有益效果是:
[0011 ] 1、本實用新型中,斜端面光學(xué)元件放置于V型槽上,并可通過V型槽上的調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)斜端面光學(xué)元件在V型槽上的放置姿態(tài);V型槽放置于刻度盤上,通過刻度盤可調(diào)節(jié)V型槽和斜端面光學(xué)元件的擺放角度,并最終通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸和刻度盤調(diào)節(jié)斜端面光學(xué)元件的放置姿態(tài)和角度,使測試光束透射如斜端面光學(xué)元件內(nèi)后不會入射到斜端面光學(xué)元件的柱壁內(nèi)側(cè),從而使得檢測口徑不被遮擋,提高斜端面光學(xué)元件透射波面誤差檢測精度。
[0012]2、本實用新型中,刻度盤底部設(shè)置有用于調(diào)整刻度盤俯仰角的俯仰角調(diào)節(jié)裝置,通過俯仰角調(diào)節(jié)裝置可調(diào)整刻度盤的俯仰角度,使測試光束透射如斜端面光學(xué)元件內(nèi)后不會入射到斜端面光學(xué)元件的柱壁內(nèi)側(cè),從而使得檢測口徑不被遮擋,提高斜端面光學(xué)元件透射波面誤差檢測精度。
【附圖說明】
[0013]圖1為垂直端面光學(xué)元件透射波面誤差檢測原理示意圖;
[0014]圖2為斜端面光學(xué)元件透射波面誤差檢測原理示意圖;
[0015]圖3為在圖2狀態(tài)下平行光束入射到斜端面光學(xué)元件內(nèi)部的傳播示意圖;
[0016]圖4為在圖3狀態(tài)下得到的斜端面光學(xué)元件透射波面誤差等高分布圖;
[0017]圖5為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0018]圖6a為被測釹玻璃棒按任意姿態(tài)放置時的干涉條紋圖;
[0019]圖6b為圖6a在旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸后的干涉條紋圖;
[0020]圖6c為圖6b在轉(zhuǎn)動刻度盤后的干涉條紋圖;
[0021]圖6d為圖6c的透射波面誤差等高分布圖;
[0022]圖7為本實用新型中俯仰角調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0023]圖8為本實用新型另一實施例中俯仰角調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0024]圖中標(biāo)記:1 一刻度盤、2— V型槽、3—調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸、41 一內(nèi)調(diào)節(jié)桿、42—外調(diào)節(jié)桿、43—緊固裝置、44一上支條、45—U型卡、47—地盤圈、48—下支條、410—固定螺栓、411 一俯仰角調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸、412—第二旋轉(zhuǎn)側(cè)壁、413—調(diào)節(jié)螺柱、414 一調(diào)節(jié)螺母、415—俯仰角調(diào)節(jié)螺桿、416—底座、417—第一旋轉(zhuǎn)側(cè)壁。
【具體實施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖,對本實用新型作詳細的說明。
[0026]為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實施例,對本實用新型進行進一步詳細說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實施例僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。
[0027]實施例1
[0028]—種斜端面光學(xué)元件透射波面誤差檢測的專用夾具,該專用夾具用于斜端面光學(xué)元件透射波面誤差檢測時裝夾并調(diào)整被測元件的斜端面光學(xué)元件的擺放姿態(tài)及角度。該專用夾具包括刻度盤1、V型槽2和調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸3。該刻度盤I可繞其自身的軸線自由轉(zhuǎn)動,且該刻度盤I主要用于調(diào)節(jié)斜端面光學(xué)元件的擺放角度。V型槽2設(shè)置于刻度盤I上,且該V型槽2主要用于放置斜端面光學(xué)元件。V型槽2的左側(cè)面向內(nèi)凹陷形成一個中空的容納腔,該容納腔的軸線與V型槽2的左側(cè)面平行,該容納腔主要用于放置調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸3。調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸3放置于V型槽2左側(cè)面的容納腔內(nèi),且該調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸3可在容納腔內(nèi)自由轉(zhuǎn)動。該調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸3的軸線與V型槽2的左側(cè)面之間的距離小于調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸3的半徑,因而當(dāng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸3放入容納腔后,調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸3的部分外圓柱面露在V型槽2的左側(cè)面外。本實施例中,調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸3的軸線與V型槽2左側(cè)面之間的距離為調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸3的半徑的3/4至4/5,優(yōu)選