內(nèi)部個別地冷卻。
[0120]在上述的實施方式中，以如下的方式將第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的內(nèi)部個別地冷卻:第一臂部20的內(nèi)部的溫度與第二臂部21的內(nèi)部的溫度變得大致相同，且第一臂部25的內(nèi)部的溫度與第二臂部26的內(nèi)部的溫度變得大致相同。除此以外，例如也可以以如下方式將第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的內(nèi)部個別地冷卻:第一臂部20的內(nèi)部的溫度與第二臂部21的內(nèi)部的溫度不同，且第一臂部25的內(nèi)部的溫度與第二臂部26的內(nèi)部的溫度不同，且第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的內(nèi)部的溫度成為規(guī)定的溫度。
[0121]在上述的實施方式中，將檢測溫度不同的多個溫度傳感器80成組配置在馬達(dá)35、65以及關(guān)節(jié)部22、23、27、28的附近。除此以外，例如也可以在馬達(dá)35、65以及關(guān)節(jié)部22、23、27、28的附近配置一個溫度傳感器80。并且，在上述的實施方式中，在馬達(dá)35、65以及關(guān)節(jié)部
22、23、27、28的附近配置溫度傳感器80，但也可以在第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的內(nèi)部的任意位置配置溫度傳感器80。
[0122]在上述的實施方式中，臂6、7由第一臂部20、25與第二臂部21、26這兩個臂部構(gòu)成，但臂6、7也可以由三個以上的臂部構(gòu)成。在該情況下，在所有臂部的內(nèi)部分別配置溫度傳感器80，在所有臂部的內(nèi)部分別配置供給冷卻用空氣的空氣配管的供給口。并且，在該情況下，例如在所有臂部的內(nèi)部分別配置風(fēng)扇91。并且，臂6、7也可以由一個臂部構(gòu)成。
[0123]在上述的實施方式中，機(jī)器人I通過I臺馬達(dá)35使第二臂部21相對于第一臂部20旋轉(zhuǎn)，且使手4相對于第二臂部21旋轉(zhuǎn)。除此以外，例如也可以個別地設(shè)置使第二臂部21相對于第一臂部20旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)以及使手4相對于第二臂部21旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)。同樣，在上述的實施方式中，通過I臺馬達(dá)65使第二臂部26相對于第一臂部25旋轉(zhuǎn)，且使手5相對于第二臂部26旋轉(zhuǎn)，但也可以個別地設(shè)置使第二臂部26相對于第一臂部25旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)以及使手5相對于第二臂部26旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)。
[0124]在上述的實施方式中，在第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的內(nèi)部配置風(fēng)扇91，但也可以不配置風(fēng)扇91。并且，在上述的實施方式中，在蓋部件32形成散熱片32a，但也可不在蓋部件32形成散熱片32a。并且，在上述的實施方式中，由機(jī)器人I搬運(yùn)的搬運(yùn)對象物是有機(jī)EL顯示器用的基板2，但由機(jī)器人I搬運(yùn)的搬運(yùn)對象物既可以是液晶顯示器用的玻璃基板，也可以是半導(dǎo)體晶圓等。
[0125]在上述的實施方式中，將兩個風(fēng)扇91配置在第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的內(nèi)部，但配置在第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的內(nèi)部的風(fēng)扇91的數(shù)量既可以是一個，也可以是三個以上。并且，在上述的實施方式中，在第一臂部20以及第二臂部21各自的內(nèi)部配置風(fēng)扇91，但也可以僅在第一臂部20的內(nèi)部或第二臂部21的內(nèi)部配置風(fēng)扇91。同樣，也可以僅在第一臂部25的內(nèi)部或第二臂部26的內(nèi)部配置風(fēng)扇91。
[0126]在上述的實施方式中，風(fēng)扇91是根據(jù)溫度傳感器80所得的檢測結(jié)果而旋轉(zhuǎn)或停止。除此以外，例如既可以與溫度傳感器80所得的檢測結(jié)果無關(guān)，而在機(jī)器人I進(jìn)行驅(qū)動時使風(fēng)扇91連續(xù)地旋轉(zhuǎn)，也可以在機(jī)器人I的規(guī)定的動作時刻使風(fēng)扇91旋轉(zhuǎn)。
[0127]在上述的實施方式中，風(fēng)扇91配置在蓋部件32的下側(cè)，向形成于蓋部件32的多個散熱片32a輸送冷卻用空氣。除此以外，例如風(fēng)扇91也可以配置在自蓋部件32的下側(cè)偏離的位置，而向上表面部31a、34a的下表面輸送冷卻用空氣。并且，在上述的實施方式中，在蓋部件32形成散熱片32a，但也可以在上表面部31a、34a的下表面形成散熱片32a。并且，在上述的實施方式中，在蓋部件32形成散熱片32a，但也可以不在蓋部件32形成散熱片32a。
[0128]在上述的實施方式中，手4配置在比第二臂部21靠上側(cè)的位置，但手4也可以配置在比第二臂部21靠下側(cè)的位置。并且，在上述的實施方式中，手5配置在比第二臂部26靠下側(cè)的位置，但手5也可以配置在比第二臂部26靠上側(cè)的位置。
[0129]在上述的實施方式中，罩蓋部件81?85覆蓋大致整個臂6、7以及臂支承部8，但罩蓋部件81?85也可以僅覆蓋臂6、7以及臂支承部8的上端側(cè)。并且，在上述的實施方式中，機(jī)器人I具有罩蓋部件81?85，但機(jī)器人I也可以不具有罩蓋部件81?85。
[0130]符號說明
[0131]I機(jī)器人(工業(yè)用機(jī)器人)；
[0132]2基板(玻璃基板、搬運(yùn)對象物)；
[0133]4、5 手；
[0134]6、7 臂；
[0135]20,25第一臂部(臂部)；
[0136]21,26第二臂部(臂部)；
[0137]22、23、27、28 關(guān)節(jié)部；
[0138]31a,34a 上表面部；
[0139]31d、34d 開口部；
[0140]32蓋部件；
[0141]32a 散熱片；
[0142]35、65 馬達(dá);
[0143]80溫度傳感器；
[0144]81?85罩蓋部件；
[0145]87?90空氣配管(冷卻機(jī)構(gòu)的一部分)；
[0146]91風(fēng)扇(冷卻機(jī)構(gòu)的一部分)。
【主權(quán)項】
1.一種工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，其具有: 手，其裝載搬運(yùn)對象物； 臂，其形成為中空狀且在末端側(cè)連接所述手；以及 冷卻機(jī)構(gòu)，其用于將所述臂的內(nèi)部冷卻， 所述手及所述臂配置在真空中， 所述臂具有形成為中空狀且彼此能夠相對旋轉(zhuǎn)地連接的多個臂部， 多個所述臂部的內(nèi)部成為大氣壓， 在多個所述臂部各自的內(nèi)部配置有用于檢測所述臂部的內(nèi)部的溫度的溫度傳感器， 所述冷卻機(jī)構(gòu)能夠?qū)⒍鄠€所述臂部各自的內(nèi)部個別地冷卻，根據(jù)所述溫度傳感器所得的檢測結(jié)果，將多個所述臂部各自的內(nèi)部個別地冷卻。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 所述冷卻機(jī)構(gòu)具有配置在多個所述臂部各自的內(nèi)部的冷卻用空氣的供給口，根據(jù)所述溫度傳感器所得的檢測結(jié)果，調(diào)整來自所述供給口的冷卻用空氣的供給量，由此將多個所述臂部各自的內(nèi)部個別地冷卻。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 將多個所述臂部支承為能夠旋轉(zhuǎn)的主體部配置在大氣中而其內(nèi)部成為大氣壓，各自形成為中空狀的多個所述臂部的內(nèi)部經(jīng)由設(shè)置于多個所述臂部的開口部而與所述主體部的內(nèi)部連通，由此保持為大氣壓， 所述冷卻機(jī)構(gòu)具有自所述主體部的內(nèi)部引繞至多個所述臂部各自的內(nèi)部的空氣配管，經(jīng)由所述空氣配管向多個所述臂部各自的內(nèi)部供給所述冷卻用空氣。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 多個所述臂部具有:第一臂部，其能夠旋轉(zhuǎn)地連接于所述主體部側(cè)；以及第二臂部，其能夠旋轉(zhuǎn)地連接于所述第一臂部的末端側(cè)，且在末端側(cè)連接所述手， 在經(jīng)由分別設(shè)置于所述第一臂部與所述第二臂部的所述開口部而連接的關(guān)節(jié)部，設(shè)置在中心形成有貫通孔的中空減速機(jī)，經(jīng)由所述貫通孔，所述第二臂部的內(nèi)部與所述第一臂部的內(nèi)部連通，且所述空氣配管自所述第一臂部的內(nèi)部被引繞至所述第二臂部的內(nèi)部，在所述關(guān)節(jié)部設(shè)置有防止空氣自所述第一臂部與所述第二臂部的連接部分向真空區(qū)域流出的密封部。5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 所述冷卻機(jī)構(gòu)根據(jù)所述溫度傳感器所得的檢測結(jié)果，以多個所述臂部的內(nèi)部溫度變得大致相同的方式，將多個所述臂部各自的內(nèi)部個別地冷卻。6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 所述溫度傳感器配置在使所述臂部彼此相連的關(guān)節(jié)部的附近以及使所述臂與所述手相連的關(guān)節(jié)部的附近。7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 所述工業(yè)用機(jī)器人具有使多個所述臂部及所述手中的至少任一者旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)， 所述溫度傳感器配置在所述馬達(dá)的附近。8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 在多個所述臂部各自的內(nèi)部，成組配置有檢測溫度不同的多個所述溫度傳感器。9.一種工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，其具有: 手，其裝載搬運(yùn)對象物；以及臂，其在末端側(cè)連接所述手， 所述手及所述臂配置在真空中， 所述臂形成為中空狀，且所述臂的內(nèi)部成為大氣壓， 在所述臂的內(nèi)部配置有朝向上側(cè)輸送空氣的風(fēng)扇。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 在所述臂的內(nèi)部的上表面形成有散熱用的散熱片。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 所述臂具有構(gòu)成所述臂的上表面的一部分的平板狀的上表面部， 在所述上表面部形成有在上下方向上貫通的開口部， 所述臂還具有固定于所述上表面部且自上側(cè)封閉所述開口部的蓋部件， 所述散熱片形成于所述蓋部件的下表面。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 所述蓋部件形成為圓板狀， 在所述蓋部件，呈同心狀形成有直徑不同的圓環(huán)狀的多個所述散熱片。13.根據(jù)權(quán)利要求9至12中任一項所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 所述臂具有彼此能夠相對旋轉(zhuǎn)地連接的多個臂部， 在多個所述臂部的內(nèi)部分別配置有所述風(fēng)扇。14.根據(jù)權(quán)利要求9至12中任一項所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 所述工業(yè)用機(jī)器人具有覆蓋大致整個所述臂的罩蓋部件， 所述罩蓋部件的導(dǎo)熱率低于所述臂的導(dǎo)熱率。15.根據(jù)權(quán)利要求9至12中任一項所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 將多個所述臂部支承為能夠旋轉(zhuǎn)的主體部配置在大氣中而其內(nèi)部成為大氣壓，各自形成為中空狀的多個所述臂部的內(nèi)部經(jīng)由設(shè)置于多個所述臂部的連通開口部而與所述主體部的內(nèi)部連通，由此保持為大氣壓。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 所述工業(yè)用機(jī)器人具有用于將所述臂的內(nèi)部冷卻的冷卻機(jī)構(gòu)，所述冷卻機(jī)構(gòu)具有自所述主體部的內(nèi)部引繞至多個所述臂部各自的內(nèi)部的空氣配管，且所述空氣配管配置于多個所述臂部內(nèi)，向多個所述臂部各自的內(nèi)部供給所述冷卻用空氣。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 多個所述臂部具有:第一臂部，其能夠旋轉(zhuǎn)地連接于所述主體部側(cè)；以及第二臂部，其能夠旋轉(zhuǎn)地連接于所述第一臂部的末端側(cè)且在末端側(cè)連接所述手， 在經(jīng)由分別設(shè)置于所述第一臂部與所述第二臂部的所述開口部而連接的關(guān)節(jié)部，設(shè)置在中心形成有貫通孔的中空減速機(jī)，經(jīng)由所述貫通孔，所述第二臂部的內(nèi)部與所述第一臂部的內(nèi)部連通，且所述空氣配管自所述第一臂部的內(nèi)部被引繞至所述第二臂部的內(nèi)部，在所述關(guān)節(jié)部設(shè)置有防止空氣自所述第一臂部與所述第二臂部的連接部分向真空區(qū)域流出的密封部。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 在多個所述臂部各自的內(nèi)部，配置有用于檢測所述臂部的內(nèi)部的溫度的溫度傳感器， 所述冷卻機(jī)構(gòu)根據(jù)所述溫度傳感器所得的檢測結(jié)果，將多個所述臂部各自的內(nèi)部個別地冷卻，且所述風(fēng)扇根據(jù)所述溫度傳感器所得的檢測結(jié)果而旋轉(zhuǎn)或停止。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種工業(yè)用機(jī)器人，即使臂由彼此能夠相對旋轉(zhuǎn)地連接的多個臂部構(gòu)成，當(dāng)在真空中搬運(yùn)高溫的搬運(yùn)對象物時，也能夠使手恰當(dāng)?shù)貏幼鳌Ｔ摴I(yè)用機(jī)器人具有用于將形成為中空狀的臂(6)的內(nèi)部冷卻的冷卻機(jī)構(gòu)，手(4)及臂(6)配置在真空中。臂(6)具有彼此能夠相對旋轉(zhuǎn)地連接的臂部(20、21)，且臂部(20、21)的內(nèi)部成為大氣壓。在臂部(20、21)各自的內(nèi)部配置有用于檢測臂部(20、21)的內(nèi)部的溫度的溫度傳感器(80)。冷卻機(jī)構(gòu)能夠?qū)⒈鄄?20、21)各自的內(nèi)部個別地冷卻，且根據(jù)溫度傳感器(80)所得的檢測結(jié)果，將臂部(20、21)各自的內(nèi)部個別地冷卻。
【IPC分類】B25J9/06, B65G49/06, H01L21/677, B25J19/00, B25J17/00
【公開號】CN105531086
【申請?zhí)枴緾N201480050154
【發(fā)明人】矢澤隆之, 增澤佳久
【申請人】日本電產(chǎn)三協(xié)株式會社
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2014年9月12日
【公告號】WO2015037701A1