圖。
[0034]圖2是圖1所示的臂的基端側(cè)部分以及臂支承部的剖視圖。
[0035]圖3是圖1所示的臂的剖視圖。
[0036]圖4是圖1所示的臂的剖視圖。
[0037]圖5是圖3的E部的放大圖。
[0038]圖6是圖3的F部的放大圖。
[0039]圖7(A)是圖5所示的蓋部件的剖視圖，(B)是自(A)的G-G方向示出蓋部件的圖。
[0040]圖8是圖4的H部的放大圖。[0041 ]圖9是圖4的J部的放大圖。
[0042]圖10是本發(fā)明的其他實(shí)施方式所涉及的工業(yè)用機(jī)器人的俯視圖。
[0043]圖11是本發(fā)明的其他實(shí)施方式所涉及的工業(yè)用機(jī)器人的圖，(A)為俯視圖，(B)為側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0044]以下參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0045](工業(yè)用機(jī)器人的示意結(jié)構(gòu))
[0046]圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的工業(yè)用機(jī)器人I的俯視圖。圖2是圖1所示的臂6、7的基端側(cè)部分以及臂支承部8的剖視圖。圖3是圖1所示的臂6的剖視圖。圖4是圖1所示的臂7的剖視圖。
[0047]本實(shí)施方式的工業(yè)用機(jī)器人I(以下稱作“機(jī)器人I”)是用于搬運(yùn)例如作為搬運(yùn)對(duì)象物的有機(jī)EL(Organic Electro-Luminescence:有機(jī)電致發(fā)光)顯示器用的玻璃基板2(以下稱作“基板2”)的機(jī)器人。該機(jī)器人I安裝于省略圖示的有機(jī)EL顯示器的製造系統(tǒng)而使用，搬運(yùn)高溫的基板2。
[0048]如圖1所示，機(jī)器人I具有:兩個(gè)手4、5，其裝載基板2;臂6，其在末端側(cè)能夠旋轉(zhuǎn)地連接手4;臂7，其在末端側(cè)能夠旋轉(zhuǎn)地連接手5;臂支承部8，其固定臂6、7的基端側(cè)；以及主體部9，其能夠旋轉(zhuǎn)地連接臂支承部8。手4、5、臂6、7以及臂支承部8配置在主體部9的上側(cè)。
[0049]手4、5、臂6、7、臂支承部8以及主體部9的上端側(cè)配置于構(gòu)成有機(jī)EL顯示器的製造系統(tǒng)的真空室的內(nèi)部。即，手4、5、臂6、7、臂支承部8以及主體部9的上端側(cè)配置在真空區(qū)域VR中(真空中)，主體部9的除上端側(cè)以外的部分配置在大氣區(qū)域AR中(大氣中)(參照?qǐng)D2)，機(jī)器人I在真空中搬運(yùn)裝載于手4、5的基板2。
[0050]手4、5具有連接于臂6、7的基部11以及裝載基板2的兩根叉架部12。叉架部12形成為直線狀。并且，兩根叉架部12是以相互隔開規(guī)定的間隔的狀態(tài)平行地配置。
[0051 ]主體部9具有:殼體13，其形成為中空狀；以及中空狀的旋轉(zhuǎn)軸14，其固定于臂支承部8的下表面，且形成為與臂支承部8的內(nèi)部連通。旋轉(zhuǎn)軸14形成為以上下方向作為軸向的細(xì)長的圓筒狀。旋轉(zhuǎn)軸14的上端固定于臂支承部8的下表面。旋轉(zhuǎn)軸14的上端側(cè)部分比殼體13的上端面向上側(cè)突出，且旋轉(zhuǎn)軸14的除上端側(cè)部分以外的部分容納于殼體13的內(nèi)部。
[0052]在殼體13的內(nèi)部配置有用于使臂支承部8相對(duì)于殼體13旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)(省略圖示)。在該馬達(dá)例如經(jīng)由帶輪、傳動(dòng)帶以及減速機(jī)而連接旋轉(zhuǎn)軸14的下端側(cè)。并且，在殼體13的內(nèi)部配置有使旋轉(zhuǎn)軸14等升降的升降機(jī)構(gòu)(省略圖示)。殼體13的上端側(cè)部分配置在真空區(qū)域VR中，殼體13的除上端側(cè)部分以外的部分配置在大氣區(qū)域AR中。殼體13以及旋轉(zhuǎn)軸14的內(nèi)部成為大氣壓，在旋轉(zhuǎn)軸14的外周側(cè)配置有用于防止空氣向真空區(qū)域VR流出的磁性流體密封件以及波紋管(省略圖示)。
[0053]臂支承部8形成為中空狀，且具有支承部主體15以及三個(gè)蓋部件16。蓋部件16由鋁合金形成。并且，蓋部件16形成為圓板狀。支承部主體15由鋁合金形成。并且，支承部主體15具有:上表面部15a，其構(gòu)成支承部主體15的上表面;下表面部15b，其構(gòu)成支承部主體15的下表面且隔著規(guī)定的間隙與上表面部15a大致平行地相向配置；以及側(cè)面部15c，其使上表面部15a的外周端與下表面部15b的外周端相連。上表面部15a以及下表面部15b形成為細(xì)長的大致橢圓形的平板狀，且在上下方向上相向。側(cè)面部15c形成為自上下方向觀察時(shí)的形狀呈細(xì)長的大致橢圓形狀的筒狀。
[0054]在上表面部15a，以在上下方向上貫通的方式形成有圓形狀的三個(gè)開口部15d、15e。三個(gè)開口部15d、15e中的一個(gè)開口部15d形成于上表面部15a的中心，其余兩個(gè)開口部15e形成于形成為大致橢圓形的上表面部15a的長度方向上的兩端側(cè)。在下表面部15b，也以在上下方向上貫通的方式形成有圓形狀的三個(gè)開口部15f、15g。三個(gè)開口部15f、15g中的一個(gè)開口部15f形成于下表面部15b的中心，其余兩個(gè)開口部15g是形成于形成為大致橢圓形的下表面部15b的長度方向上的兩端側(cè)。
[0055]在下表面部15b的下表面固定旋轉(zhuǎn)軸14的上端。旋轉(zhuǎn)軸14以包圍開口部15f的方式固定于下表面部15b的下表面，旋轉(zhuǎn)軸14的內(nèi)周側(cè)與臂支承部8的內(nèi)部連通。即，臂支承部8的內(nèi)部經(jīng)由開口部15f而與主體部9的殼體13的內(nèi)部連通，從而臂支承部8的內(nèi)部成為大氣壓。如圖2所示，開口部15d被蓋部件16自上側(cè)封閉，兩個(gè)開口部15g被蓋部件16自下側(cè)封閉。在支承部主體15與蓋部件16之間配置有防止空氣向真空區(qū)域VR流出的環(huán)狀的密封部件(省略圖示)。
[0056]臂6由彼此能夠相對(duì)旋轉(zhuǎn)地連接的第一臂部20與第二臂部21這兩個(gè)臂部構(gòu)成。第一臂部20以及第二臂部21形成為中空狀。即，整個(gè)臂6形成為中空狀。第一臂部20的基端側(cè)固定于臂支承部8。在第一臂部20的末端側(cè)能夠旋轉(zhuǎn)地連接第二臂部21的基端側(cè)。在第二臂部21的末端側(cè)能夠旋轉(zhuǎn)地連接手4。
[0057]第一臂部20與第二臂部21的連接部成為關(guān)節(jié)部22。臂6與手4的連接部(S卩，第二臂部21與手4的連接部)成為關(guān)節(jié)部23。第二臂部21配置在比第一臂部20靠上側(cè)的位置，手4配置在比第二臂部21靠上側(cè)的位置。
[0058]臂7由彼此能夠相對(duì)旋轉(zhuǎn)地連接的第一臂部25與第二臂部26這兩個(gè)臂部構(gòu)成。第一臂部25以及第二臂部26形成為中空狀。即，整個(gè)臂7形成為中空狀。第一臂部25的基端側(cè)固定于臂支承部8。在第一臂部25的末端側(cè)能夠旋轉(zhuǎn)地連接第二臂部26的基端側(cè)。在第二臂部26的末端側(cè)能夠旋轉(zhuǎn)地連接手5。
[0059]第一臂部25與第二臂部26的連接部成為關(guān)節(jié)部27。臂7與手5的連接部(S卩，第二臂部26與手5的連接部)成為關(guān)節(jié)部28。第二臂部26配置在比第一臂部25靠上側(cè)的位置。手5配置在比第二臂部26靠下側(cè)且比第一臂部25靠上側(cè)的位置。
[0060](臂的結(jié)構(gòu)、臂的內(nèi)部結(jié)構(gòu)以及關(guān)節(jié)部的結(jié)構(gòu))
[0061]圖5是圖3的E部的放大圖。圖6是圖3的F部的放大圖。圖7(A)是圖5所示的蓋部件32的剖視圖，圖7(B)是自圖7(A)的G-G方向示出蓋部件32的圖。圖8是圖4的H部的放大圖。圖9是圖4的J部的放大圖。
[0062]第一臂部20具有臂部主體31、三個(gè)蓋部件32以及一個(gè)蓋部件33。臂部主體31由鋁合金形成。并且，臂部主體31具有:上表面部31a，其構(gòu)成臂部主體31的上表面；下表面部31b，其構(gòu)成臂部主體31的下表面且隔著規(guī)定的間隙與上表面部31a大致平行地相向配置；以及側(cè)面部31c，其使上表面部31a的外周端與下表面部31b的外周端相連。上表面部31a以及下表面部31b形成為細(xì)長的大致橢圓形的平板狀，且在上下方向上相向。上表面部31a構(gòu)成第一臂部20的上表面的一部分，下表面部31b構(gòu)成第一臂部20的下表面的一部分。側(cè)面部31c形成為自上下方向觀察時(shí)的形狀呈細(xì)長的大致橢圓形狀的筒狀。
[0063]在上表面部31a，以在上下方向上貫通的方式形成有圓形狀的四個(gè)開口部31d、31e。即，在上表面部31a形成有通向第一臂部20的內(nèi)部的開口部31d、31e。四個(gè)開口部31d、31e在形成為大致橢圓形的上表面部31a的長度方向上以規(guī)定的間隔形成。在本實(shí)施方式中，在上表面部31a的最末端側(cè)形成開口部31e，其余三個(gè)開口部31d形成于比開口部31e靠上表面部31a的基端側(cè)的位置。在下表面部31b，也以在上下方向上貫通的方式形成有圓形狀的兩個(gè)開口部31f、31g。即，在下表面部31b形成有通向第一臂部20的內(nèi)部的開口部31f、31g。開口部31f形成于下表面部31b的末端側(cè)，開口部31g形成于下表面部31b的基端側(cè)。
[0064]第二臂部21具有臂部主體34、兩個(gè)蓋部件32以及兩個(gè)蓋部件33。臂部主體34由鋁合金形成。并且，臂部主體34具有:上表面部34a，其構(gòu)成臂部主體34的上表面；下表面部34b，其構(gòu)成臂部主體34的下表面且隔著規(guī)定的間隙與上表面部34a大致平行地相向配置；以及側(cè)面部34c，其使上表面部34a的外周端與下表面部34b的外周端相連。上表面部34a以及下表面部34b形成為細(xì)長的大致橢圓形的平板狀，且在上下方向上相向。上表面部34a構(gòu)成第二臂部21的上表面的一部分，下表面部34b構(gòu)成第二臂部21的下表面的一部分。側(cè)面部34c形成為自上下方向觀察時(shí)的形狀呈細(xì)長的大致橢圓形狀的筒狀。
[0065]在上表面部34a，以在上下方向上貫通的方式形成有圓形狀的四個(gè)開口部34d、346、34匕即，在上表面部34&形成有通向第二臂部21的內(nèi)部的開口部34(1?34匕四個(gè)開口部34d?34f在形成為大致橢圓形的上表面部34a的長度方向上以規(guī)定的間隔形成。在本實(shí)施方式中，在上表面部34a的最末端側(cè)形成有開口部34e，在上表面部34a的最基端側(cè)形成有開口部34f，其余兩個(gè)開口部34d形成于開口部34e與開口部34f之間。在下表面部34b，也以在上下方向上貫通的方式形成有圓形狀的兩個(gè)開口部34g、34h。即，在下表面部34b形成有通向第二臂部21的內(nèi)部的開口部34g、34h。開口部34g形成于下表面部34b的末端側(cè)，開口部34h形成于下表面部34b的基端側(cè)。
[0066]如上所述，第一臂部20的基端側(cè)固定于臂支承部8。具體地說，第一臂部20的基端側(cè)以臂部主體31的下表面部31b的下表面緊貼于支承部主體15的上表面部15a的上表面的狀態(tài)固定于臂支承部8。并且，第一臂部20的基端側(cè)以如下的方式固定于臂支承部8:在自上下方向觀察時(shí)，上表面部15a的開口部15e的中心與下表面部31b的開口部31g的中心大致一致。因此，第一臂部20的內(nèi)部經(jīng)由開口部15e以及開口部31g而與臂支承部8的內(nèi)部連通，從而第一臂部20的內(nèi)部成為大氣壓。另外，在支承部主體15與臂部主體31之間配置有防止空氣向真空區(qū)域VR流出的環(huán)狀的密封部件(省略圖示)。
[0067]在第一臂部20的基端側(cè)的內(nèi)部以及臂支承部8的內(nèi)部配置有馬達(dá)35，該馬達(dá)35使第二臂部21相對(duì)于第一臂部20旋轉(zhuǎn)且使手4相對(duì)于第二臂部21旋轉(zhuǎn)。馬達(dá)35的上下方向上的中心部分配置于開口部15e以及開口部31g，馬達(dá)35的上端側(cè)配置于第一臂部20的基端側(cè)的內(nèi)部，馬達(dá)35的下端側(cè)配置于臂支承部8的內(nèi)部。馬達(dá)35的輸出軸向上側(cè)突出，且在該輸出軸固定有帶輪36。
[0068]關(guān)節(jié)部22具有使馬達(dá)35的旋轉(zhuǎn)減速并將其傳遞至第二臂部21的減速機(jī)37。減速機(jī)37是在其徑向的中心形成有貫通孔的中空減速機(jī)。因此，第二臂部21的內(nèi)部經(jīng)由中空減速機(jī)的貫通孔而與第一臂部20的內(nèi)部連通，從而第二臂部21的內(nèi)部成為大氣壓。即，在本實(shí)施方式中，臂6的內(nèi)部成為大氣壓。關(guān)節(jié)部23具有使馬達(dá)35的旋轉(zhuǎn)減速并將其傳遞至手4的減速機(jī)38。減速機(jī)38是在其徑向的中心形成有貫通孔的中空減速機(jī)。
[0069]并且，關(guān)節(jié)部22具有防止空氣自第一臂部20與第二臂部21的連接部分向真空區(qū)域VR流出的磁性流體密封件39。磁性流體密封件39具有構(gòu)成其外周側(cè)部分的大致圓筒狀的殼體40以及能夠旋轉(zhuǎn)地保持于殼體40的內(nèi)周側(cè)的大致圓筒狀的內(nèi)周側(cè)部件41。在徑向上的殼體40與內(nèi)周側(cè)部件41之間，配置有具有軸承、永磁鐵以及磁性流體的軸承密封部42。同樣，關(guān)節(jié)部23具有防止空氣自第二臂部21與手4的連接部分向真空區(qū)域VR流出的磁性流體密封件43。磁性流體密封件43與磁性流體密封件39同樣地構(gòu)成，且具有殼體44、內(nèi)周側(cè)部件45以及