工業(yè)用機器人的制作方法
【專利摘要】本申請?zhí)峁┮环N工業(yè)用機器人，該機器人即使在真空中搬運溫度較高的搬運對象的情況下，也能夠抑制軸承的磨損、損傷以及臂的變形。該工業(yè)用機器人例如具有在作為臂與主體部(7)的連接部的關(guān)節(jié)部(20)中支承臂的軸承(59)。在關(guān)節(jié)部(20)中，臂具有朝向主體部(7)突出的第一凸部(48)，主體部(7)具有第一容納部(49)，其形成有容納第一凸部(48)的第一凹部。第一凸部(48)以及第一容納部(49)由熱傳導(dǎo)率比軸承(59)高的材料形成，在第一凹部中，配置有熱傳導(dǎo)率比軸承(59)高的半固體狀的熱傳導(dǎo)性物質(zhì)。并且，主體部(7)具有：散熱部(51)，其由熱傳導(dǎo)率比軸承(59)高的材料形成且配置在大氣中；以及連接部(50)，其由熱傳導(dǎo)率比軸承(59)高的材料形成且連接第一容納部(49)與散熱部(51)。
【專利說明】工業(yè)用機器人
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種搬運指定搬運對象的工業(yè)用機器人。
【背景技術(shù)】
[0002]以往已知一種搬運液晶顯示器用玻璃基板的工業(yè)用機器人(例如，參照專利文獻I)。專利文獻I中所記載的工業(yè)用機器人包括:手部，其裝載玻璃基板；臂，手部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與其前端側(cè)連接；以及主體部，臂的基端側(cè)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與其連接。臂由第一臂部和第二臂部構(gòu)成，第一臂部的基端側(cè)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連接到主體部，第二臂部的基端側(cè)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連接到第一臂部的前端側(cè)。在作為主體部與第一臂部的連接部的關(guān)節(jié)部配置有將第一臂部支承為能夠旋轉(zhuǎn)的球軸承或滾子軸承等滾動軸承，在作為第一臂部與第二臂部的連接部的關(guān)節(jié)部配置有將第二臂部支承為能夠旋轉(zhuǎn)的滾動軸承。配置于關(guān)節(jié)部的滾動軸承具有球或滾子等滾動體和與滾動體點接觸或線接觸的內(nèi)圈以及外圈。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1:日本特開2010-23195號公報發(fā)明概要
[0006]發(fā)明所要解決的技術(shù)問題
[0007]近年來，由于利用工業(yè)用機器人搬運的玻璃基板不斷地大型化，且在搬運時玻璃基板的溫度變高，因此被搬運的玻璃基板所帶有的熱量增大。通過熱輻射或經(jīng)由手部的熱傳導(dǎo)而從玻璃基板向臂傳遞高熱，當(dāng)配置于關(guān)節(jié)部的軸承(滾動軸承)受到高熱時，會導(dǎo)致被淬火處理的軸承的硬度降低，或因軸承內(nèi)的油脂的粘度降低而導(dǎo)致油膜中斷的問題，因此容易導(dǎo)致軸承磨損、損傷的問題。另外，當(dāng)臂受到從玻璃基板傳遞而來的高熱時，會導(dǎo)致臂產(chǎn)生較大變形，其結(jié)果是降低了玻璃基板的搬運精度。
[0008]如果是在大氣中搬運玻璃基板的工業(yè)用機器人的情況，則從玻璃基板傳遞到臂的熱量能夠在關(guān)節(jié)部利用熱輻射傳遞到主體部，并能夠利用軸承的內(nèi)圈以及外圈與滾動體之間的熱傳導(dǎo)傳遞到主體部，除此之外還能夠利用空氣的熱傳導(dǎo)傳遞到主體部。因此，即使內(nèi)圈以及外圈與滾動體點接觸或線接觸，內(nèi)圈以及外圈與滾動體之間的接觸面積較小，也能夠借助關(guān)節(jié)部從臂將熱量釋放到主體部。因此，如果是在大氣中搬運玻璃基板的工業(yè)用機器人的情況，則不易因從玻璃基板傳遞到臂的熱量的影響，而導(dǎo)致軸承過度磨損、損傷或臂產(chǎn)生較大變形的問題。
[0009]然而，如果是在真空中搬運玻璃基板的工業(yè)用機器人的情況，則從玻璃基板傳遞到工業(yè)用機器人的熱量雖然能夠在關(guān)節(jié)部利用熱輻射而傳遞到主體部，并能夠利用接觸面積較小的內(nèi)圈以及外圈與滾動體之間的熱傳導(dǎo)傳遞到主體部，但無法利用空氣的熱傳導(dǎo)傳遞到主體部。因此，如果是在真空中搬運玻璃基板的工業(yè)用機器人的情況，則不易通過關(guān)節(jié)部使熱量從臂釋放到主體部，其結(jié)果是，容易因從玻璃基板傳遞到臂的熱量的影響，而導(dǎo)致軸承過度磨損、損傷或臂產(chǎn)生較大變形的問題。
[0010]因此，本發(fā)明的技術(shù)問題在于提供一種工業(yè)用機器人:即使是在真空中搬運溫度較高的搬運對象的情況，也能夠抑制因受到熱量的影響而導(dǎo)致軸承的磨損、損傷以及臂的變形。
[0011 ] 解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案
[0012]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的工業(yè)用機器人是在真空中搬運搬運對象的工業(yè)用機器人，其特征在于，具有:手部，其裝載搬運對象；臂，其前端側(cè)與手部連接；主體部，臂的基端側(cè)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與其連接；以及第一軸承，其在作為臂與主體部的連接部的第一關(guān)節(jié)部將臂支承為能夠旋轉(zhuǎn)，臂和主體部中的一方在第一關(guān)節(jié)部具有朝向臂和主體部中的另一方突出的第一凸部，壁和主體部中的另一方在第一關(guān)節(jié)部具有第一容納部，所述第一容納部形成有容納第一凸部的第一凹部，第一凸部以及第一容納部由熱傳導(dǎo)率比第一軸承高的材料形成，在第一凹部中配置有熱傳導(dǎo)率比第一軸承高的液狀、半固狀或凝膠狀的第一熱傳導(dǎo)性物質(zhì)，主體部具有:散熱部，其由熱傳導(dǎo)率比第一軸承高的材料形成，且配置于大氣中散發(fā)熱量；以及連接部，其由熱傳導(dǎo)率比第一軸承部高的材料形成，且連接主體部所具有的第一容納部或第一凸部與散熱部。
[0013]在本發(fā)明的工業(yè)用機器人中，臂和主體部中的一方在作為臂與主體部的連接部的第一關(guān)節(jié)部具有第一凸部，臂和主體部中的另一方在第一關(guān)節(jié)部具有第一容納部，所述第一容納部形成有容納第一凸部的第一凹部。另外，第一凸部以及第一容納部由熱傳導(dǎo)率比第一軸承高的材料形成，在第一凹部中配置有熱傳導(dǎo)率比第一軸承高的液狀、半固體狀或凝膠狀的第一熱傳導(dǎo)性物質(zhì)。因此，在本發(fā)明中，即使是工業(yè)用機器人在真空中搬運溫度較高的搬運對象的情況，也能夠?qū)陌徇\對象傳遞到臂的熱量在第一關(guān)節(jié)部中利用熱輻射傳遞到主體部，并利用第一軸承的熱傳導(dǎo)傳遞到主體部，除此之外還可利用第一凸部、第一熱傳導(dǎo)性物質(zhì)以及第一容納部的熱傳導(dǎo)高效地傳遞到主體部。因此，在本發(fā)明中，能夠?qū)陌徇\對象傳遞到臂的熱量高效地從臂釋放到主體部。
[0014]并且，在本發(fā)明中，由于主體部具有:散熱部,其由熱傳導(dǎo)率比第一軸承高的材料形成，且配置在大氣中散發(fā)熱量；連接部，其由熱傳導(dǎo)率比第一軸承高的材料形成，且連接主體部所具有的第一容納部或第一凸部與散熱部，因此能夠?qū)谋蹅鬟f到主體部的熱量利用連接部的熱傳導(dǎo)高效地釋放到散熱部，并能夠從散熱部將熱量高效地散發(fā)到大氣中。如此，在本發(fā)明中，即使是工業(yè)用機器人在真空中搬運溫度較高的搬運對象的情況，也能夠?qū)陌徇\對象傳遞到臂的熱量高效地釋放到散熱部，再從散熱部散發(fā)。因此，在本發(fā)明的工業(yè)用機器人中，即使是在真空中搬運溫度較高的搬運對象的情況，也能夠抑制因熱量的影響而導(dǎo)致的第一軸承的磨損、損傷以及臂的變形。
[0015]在本發(fā)明中，優(yōu)選臂具有:第一臂部，其基端側(cè)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與主體部連接；以及第二臂部，其基端側(cè)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第一臂部的前端側(cè)連接，在作為第一臂部與第二臂部之間的連接部的第二關(guān)節(jié)部配置有將第二臂部支承為能夠旋轉(zhuǎn)的第二軸承，第一臂部和第二臂部中的一方在第二關(guān)節(jié)部具有朝向第一臂部和第二臂部中的另一方突出的第二凸部，第一臂部和第二臂部中的另一方在第二關(guān)節(jié)部具有第二容納部，該第二容納部形成有容納第二凸部的第二凹部，第二凸部以及第二容納部由熱傳導(dǎo)率比第二軸承高的材料形成，在第二凹部中配置有熱傳導(dǎo)率比第二軸承高的液狀、半固體狀或凝膠狀的第二熱傳導(dǎo)性物質(zhì)。
[0016]如果像這樣構(gòu)成，則即使是工業(yè)用機器人在真空中搬運溫度較高的搬運對象的情況，也能夠?qū)陌徇\對象傳遞到第二臂部的熱量在第二關(guān)節(jié)部利用熱輻射而傳遞到第一臂部，并利用第二軸承的熱傳導(dǎo)傳遞到第一臂部，除此之外還可利用第二凸部、第二熱傳導(dǎo)性物質(zhì)以及第二容納部的熱傳導(dǎo)高效地傳遞到第一臂部。因此，能夠?qū)陌徇\對象傳遞到第二臂部的熱量通過第一臂部高效地釋放到主體部。其結(jié)果是，即使是工業(yè)用機器人在真空中搬運溫度較高的搬運對象的情況，也能夠抑制因熱量的影響而導(dǎo)致第二軸承的磨損、損傷以及第二臂部的變形。
[0017]在本發(fā)明中，手部例如以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第二臂部的前端側(cè)連接。并且，在本實施方式中，例如，第一凸部形成于臂，且呈大致圓筒狀，第一凹部形成于主體部，且呈大致圓環(huán)狀。并且，在本發(fā)明中，第二凸部形成于第二臂部，且呈大致圓柱狀，第二容納部形成于第一臂部，且呈大致有底圓筒狀。
[0018]在本發(fā)明中，優(yōu)選第一熱傳導(dǎo)性物質(zhì)為油脂。如果像這樣構(gòu)成，則在臂相對于主體部旋轉(zhuǎn)時，即使第一凸部的側(cè)面等與第一凹部的側(cè)面等接觸，也能夠防止對臂相對于主體部的旋轉(zhuǎn)造成阻礙。另外，在臂相對于主體部旋轉(zhuǎn)時，即使第一凸部的側(cè)面等與第一凹部的側(cè)面等接觸，也能夠抑制第一凸部以及第一凹部的磨損、損傷。
[0019]在本發(fā)明中，優(yōu)選第二熱傳導(dǎo)性物質(zhì)為油脂。如果像這樣構(gòu)成，則在第二臂部相對于第一臂部旋轉(zhuǎn)時，即使第二凸部的側(cè)面等與第二凹部的側(cè)面等接觸，也能夠防止對第二臂部相對于第一臂部的旋轉(zhuǎn)造成阻礙。另外，在第二臂部相對于第一臂部旋轉(zhuǎn)時，即使第二凸部的側(cè)面等與第二凹部的側(cè)面等接觸，也能夠抑制第二凸部以及第二凹部的磨損、損傷。
[0020]在本發(fā)明中，優(yōu)選主體部具有散熱機構(gòu)，該散熱機構(gòu)配置在大氣中并散發(fā)散熱部的熱量。在這種情況下，散熱機構(gòu)例如具有:多個散熱用散熱片，所述多個散熱用散熱片形成或固定于散熱部；以及送風(fēng)機，其向散熱片輸送空氣。如果像這樣構(gòu)成，則能夠通過散熱機構(gòu)高效地散發(fā)散熱部的熱量。
[0021]在本發(fā)明中，優(yōu)選工業(yè)用機器人在第一關(guān)節(jié)部具有磁流體密封部，該磁流體密封部具有防止空氣流入真空區(qū)域的磁流體密封件和第一軸承，第一容納部呈大致筒狀，并在第一容納部的內(nèi)周側(cè)保持磁流體密封部。如果像這樣構(gòu)成，則能夠?qū)陌徇\對象或臂傳遞到磁流體密封部的熱量利用第一容納部以及連接部的熱傳導(dǎo)等高效地釋放到散熱部。因此，能夠防止因熱量的影響而導(dǎo)致磁流體密封部的損傷。
[0022]在本發(fā)明中，優(yōu)選工業(yè)用機器人在第一關(guān)節(jié)部具有磁流體密封部，其具有防止空氣流入真空區(qū)域的磁流體密封件和第一軸承，且工業(yè)用機器人具有冷卻機構(gòu)，其冷卻磁流體密封部。在這種情況下，冷卻機構(gòu)例如具有:冷卻用空氣的流路，其形成于磁流體密封部；以及供給機構(gòu)，其向流路提供冷卻用空氣。如果像這樣構(gòu)成，則能夠防止因熱量的影響而導(dǎo)致磁流體密封部的損傷。
[0023]在本發(fā)明中，工業(yè)用機器人例如具有使主體部升降的升降機構(gòu)，且在散熱部安裝有升降機構(gòu)的一部分。在這種情況下，能夠利用散熱部作為用于安裝升降機構(gòu)的一部分的部件。因此，與在工業(yè)用機器人中另外設(shè)置用于安裝升降機構(gòu)的一部分的部件的情況相比，能夠簡化工業(yè)用機器人的結(jié)構(gòu)。
[0024]在本發(fā)明中，搬運對象例如為液晶顯示器用的玻璃基板。如上文所述，近年來利用工業(yè)用機器人搬運的玻璃基板帶有的熱量不斷增大，但是在本發(fā)明中，即使在真空中搬運的玻璃基板帶有的熱量較大，也能夠抑制因熱量的影響而導(dǎo)致第一軸承磨損、損傷以及臂變形的問題。
[0025]發(fā)明效果
[0026]如上文所述，在本發(fā)明的工業(yè)機器人中，即使是在真空中搬運溫度較高的搬運對象的情況，也能夠抑制因熱量的影響而導(dǎo)致軸承磨損、損傷以及臂變形的問題。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1為本發(fā)明的實施方式所涉及的工業(yè)用機器人的俯視圖。
[0028]圖2為表示從圖1⑶的E-E方向觀察工業(yè)用機器人的側(cè)視圖。
[0029]圖3為用于說明圖1所示的工業(yè)用機器人的簡要結(jié)構(gòu)的剖視圖。
[0030]圖4為圖3的F部的放大圖。
[0031]圖5為圖3的G部的放大圖。
[0032]圖6為圖3的H部的放大圖。
[0033]圖7為圖6的J部的放大圖。
[0034]圖8為圖6的K部的放大圖。
[0035]圖9為表示從圖6的L-L方向觀察主體部的下端側(cè)以及升降機構(gòu)的下端側(cè)的簡要結(jié)構(gòu)的俯視圖。
【具體實施方式】
[0036]以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。
[0037]工業(yè)用機器人的簡要結(jié)構(gòu)
[0038]圖1為本發(fā)明的實施方式所涉及的工業(yè)用機器人I的俯視圖。圖2為表示從圖1(B)的E-E方向觀察工業(yè)用機器人I的側(cè)視圖。圖3為用于說明圖1所示的工業(yè)用機器人I的簡要結(jié)構(gòu)的剖視圖。
[0039]本實施方式的工業(yè)用機器人I (以下稱為“機器人I”)為用于搬運作為搬運對象的液晶顯示器用的玻璃基板2 (以下稱為“基板2”)的機器人。本實施方式的機器人I為特別適于搬運大型基板2的大型機器人，例如搬運一邊的邊長為2.5m左右的矩形的基板2。并且，機器人I為適于搬運溫度較高的基板2的機器人，例如搬運500°C左右的基板2。并且，機器人I在真空中搬運基板2。
[0040]如圖1至圖3所示，機器人I具有:兩個手部3、4，所述兩個手部3、4裝載基板2 ；臂5，手部3以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與所述臂5的前端側(cè)連接；臂6，手部4以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與所述臂6的前端側(cè)連接；主體部7，臂5、6的基端側(cè)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與所述主體部7連接；以及升降機構(gòu)，其使主體部7升降。手部3、4具有裝載基板2的多個叉子11。主體部7以及升降機構(gòu)8被容納在大致有底圓筒狀的殼體中，所述大致有底圓筒狀的殼體由呈大致圓板狀的底板12和呈大致圓筒狀的殼體13構(gòu)成。在殼體13的上端固定有呈圓板狀的凸緣14。在凸緣14中形成有貫通孔，所述貫通孔配置有主體部7的上端側(cè)部分。
[0041]手部3、4以及臂5、6配置在主體部7的上側(cè)。并且，手部3、4以及臂5、6配置于凸緣14的上側(cè)。機器人I如上文所述，為用于在真空中搬運基板2的機器人，如圖2所示，機器人I的比凸緣14的下端面靠上側(cè)的部分配置在真空區(qū)域VR中(真空中)。另一方面，機器人I的比凸緣14的下端面靠下側(cè)的部分配置在大氣區(qū)域AR中(大氣中)。
[0042]臂5由第一臂部16和第二臂部17構(gòu)成。并且，臂6由與臂5共用的第一臂部16和第二臂部18構(gòu)成。第一臂部16呈雙叉狀。具體地說，第一臂部16呈大致V形狀。第一臂部16以及第二臂部17、18呈空心狀。并且，第一臂部16以及第二臂部17、18由鋁合金形成。
[0043]第一臂部16的基端側(cè)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與主體部7連接。第二臂部17以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與呈雙叉狀的第一臂部16的一個前端側(cè)連接，第二臂部18以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第一臂部16的另一個前端側(cè)連接。手部3以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第二臂部17的前端側(cè)連接，手部4以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第二臂部18的前端側(cè)連接。臂5、6與主體部7之間的連接部(即第一臂部16與主體部7的連接部)作為第一關(guān)節(jié)部20。第一臂部16與第二臂部17之間的連接部作為第二關(guān)節(jié)部21，第一臂部16與第二臂部18之間的連接部作為第二關(guān)節(jié)部22。
[0044]在本實施方式中，如圖2所示，從水平方向觀察時，第二臂部17、18配置在比第一臂部16靠上側(cè)的位置。并且，第二臂部18配置在比第二臂部17靠上側(cè)的位置。并且，從水平方向觀察時，手部3、4配置于第二臂部17與第二臂部18之間。具體地說，手部3與第二臂部17的上表面?zhèn)冗B接，手部4與第二臂部18的下表面?zhèn)冗B接，從水平方向觀察時，手部4配置在手部3的上側(cè)。另外，當(dāng)臂5、6收縮時，從上側(cè)觀察機器人I的話，如圖1 (B)所示，手部3與手部4重疊。
[0045]第二關(guān)節(jié)部的結(jié)構(gòu)
[0046]圖4為圖3的F部的放大圖。圖5為圖3的G部的放大圖。
[0047]在第二關(guān)節(jié)部21配置有將第二臂部17支承為能夠旋轉(zhuǎn)的作為第二軸承的軸承23。并且，在第二關(guān)節(jié)部21中，帶輪24配置在第一臂部16的內(nèi)部，帶輪25配置在第二臂部17的內(nèi)部。第二臂部17在第二關(guān)節(jié)部21具有朝向第一臂部16(即朝向下側(cè))突出的作為第二凸部的軸部件26。第一臂部16在第二關(guān)節(jié)部21具有容納軸部件26的作為第二容納部的筒部件27。
[0048]軸承23為滾動軸承，且具有外圈和內(nèi)圈。軸承23的外圈的外周面固定于呈大致圓筒狀的筒部件76的內(nèi)周面。軸承23的內(nèi)圈的內(nèi)周面固定于呈大致圓筒狀的筒部件77的外周面。在本實施方式中，四個軸承23配置在第二關(guān)節(jié)部21，四個軸承23中的兩個軸承23配置在筒部件76、77的上端側(cè)，余下的兩個軸承23配置在筒部件76、77的下端側(cè)。軸承23以及筒部件76、77由鐵系的金屬形成。具體地說，軸承23以及筒部件76、77由不銹鋼形成。筒部件76的上端固定在第二臂部17的基端側(cè)。筒部件77的下端固定在第一臂部16的前端側(cè)。
[0049]帶輪24固定在筒部件76的下端側(cè)。在第一關(guān)節(jié)部20中，傳送帶28被架設(shè)于配置在第一臂部16的內(nèi)部的后文所述的帶輪46與帶輪24。
[0050]帶輪25固定在筒部件77的上端。在手部3與第二臂部17間的連接部中，傳送帶30被架設(shè)于配置在第二臂部17的內(nèi)部的帶輪29 (參照圖3)與帶輪25。帶輪29固定在手部3的基端側(cè)。并且，在第二臂部17的前端側(cè)的內(nèi)部固定有固定軸31 (參照圖3)，帶輪29借助軸承被固定軸31支承為能夠旋轉(zhuǎn)。[0051]軸部件26呈帶有臺階的大致圓柱狀。并且，軸部件26由熱傳導(dǎo)率比軸承23高的材料形成。具體地說，軸部件26由鋁合金形成。軸部件26的上端側(cè)固定在第二臂部17的主體的基端側(cè)。軸部件26以其軸中心與軸承23的軸中心大致一致的方式配置，在軸部件26的上端側(cè)部分的外周側(cè)配置有帶輪25。軸部件26的下端側(cè)進入到第一臂部16的前端側(cè)的內(nèi)部。
[0052]筒部件27呈具有底部27a和筒部27b的大致有底圓筒狀。并且，筒部件27由熱傳導(dǎo)率比軸承23高的材料形成。具體地說，筒部件27由鋁合金形成。底部27a固定在第一臂部16的主體的前端側(cè)。筒部件27以其軸中心與軸承23的軸中心大致一致的方式配置在筒部件77的內(nèi)周側(cè)。
[0053]在筒部件27的內(nèi)周側(cè)(即筒部27b的內(nèi)周側(cè))容納有軸部件26的下端側(cè)。在筒部27b的內(nèi)周面的上端側(cè)安裝有軸承32。軸承32將軸部件26的下端側(cè)支承為能夠旋轉(zhuǎn)。筒部27b的內(nèi)徑比所容納的軸部件26的下端側(cè)的外徑稍大，在筒部27b的內(nèi)周面與軸部件26的下端側(cè)的外周面之間形成有微小的間隙。例如，在筒部27b的內(nèi)周面與軸部件26的下端側(cè)的外周面之間遍及整周而形成有0.1mm左右的間隙。在本實施方式中，筒部件27的內(nèi)周側(cè)成為第二凹部，所述第二凹部容納作為第二凸部的軸部件26。
[0054]在筒部件27的內(nèi)周側(cè)配置有作為第二熱傳導(dǎo)性物質(zhì)的半固體狀的油脂。也就是說，在筒部27b的內(nèi)周面與軸部件26的下端側(cè)的外周面之間填充有油脂。該油脂為導(dǎo)熱性良好的熱傳導(dǎo)性油脂，該油脂的熱傳導(dǎo)率比軸承23的熱傳導(dǎo)率高。另外，該油脂在真空中的蒸汽壓較低。例如，該油脂為“Nye Lubricants”公司的品名為“NyeTorr5386”的產(chǎn)品。
[0055]在筒部件27的底部27a形成有用于向筒部件27的內(nèi)周側(cè)提供油脂的供給孔。在該供給孔中安裝有油脂嘴，通過油脂嘴以及與油脂嘴連接的軟管等配管部件，向筒部件27的內(nèi)周側(cè)提供油脂。并且，在筒部件27的筒部27b的內(nèi)周面的上端側(cè)形成有油脂積存部27c。油脂積存部27c形成在軸承32的下側(cè)。油脂積存部27c的內(nèi)徑形成得比筒部27b的其他部分的內(nèi)徑大。
[0056]在第二關(guān)節(jié)部22配置有將第二臂部18支承為能夠旋轉(zhuǎn)的作為第二軸承的軸承33。并且，在第二關(guān)節(jié)部22中，帶輪34配置于第一臂部16的內(nèi)部，帶輪35配置于第二臂部18的內(nèi)部。第二臂部18在第二關(guān)節(jié)部22具有朝向第一臂部16 (即朝向下側(cè))突出的作為第二凸部的軸部件36。第一臂部16在第二關(guān)節(jié)部22具有容納軸部件36的作為容納部件的筒部件37。
[0057]軸承33與軸承23相同，為滾動軸承，且具有外圈和內(nèi)圈。軸承33的外圈的外周面固定在呈大致圓筒狀的筒部件86的內(nèi)周面。軸承33的內(nèi)圈的內(nèi)周面固定于呈大致圓筒狀的筒部件87的外周面。在本實施方式中，四個軸承33配置于第二關(guān)節(jié)部22，四個軸承33中的兩個軸承33配置在筒部件86、87的上端側(cè)，余下的兩個軸承33配置在筒部件86、87的下端側(cè)。軸承33以及筒部件86、87與軸承23以及筒部件76、77相同，為鐵系的金屬，由不銹鋼形成。筒部件86的上端固定在第二臂部18的基端側(cè)，筒部件87的下端固定在第一臂部16的前端側(cè)。
[0058]帶輪34固定在筒部件86的下端側(cè)。在第一關(guān)節(jié)部20中，傳送帶38被架設(shè)于配置在第一臂部16的內(nèi)部的后文所述的帶輪47與帶輪34。
[0059]帶輪35固定在筒部件87的上端。在手部4與第二臂部18間的連接部中，傳送帶40被架設(shè)于配置在第二臂部18的內(nèi)部的帶輪39 (參照圖3)與帶輪35。帶輪39固定在手部3的基端側(cè)。并且，在第二臂部18的前端側(cè)的內(nèi)部固定有固定軸41 (參照圖3)，帶輪39借助軸承被固定軸41支承能夠旋轉(zhuǎn)。
[0060]軸部件36與軸部件26相同，呈帶有臺階的大致圓柱狀。并且，軸部件36與軸部件26相同，由熱傳導(dǎo)率比軸承23高的材料形成，具體地說，由鋁合金形成。軸部件36的上端側(cè)固定在第二臂部18的主體的基端側(cè)。軸部件36以其軸中心與軸承33的軸中心大致一致的方式配置，在軸部件36的上端側(cè)部分的外周側(cè)配置有帶輪35。軸部件36的下端側(cè)進入到第一臂部16的前端側(cè)的內(nèi)部。
[0061]筒部件37與筒部件27相同，呈具有底部37a和筒部37b的大致有底圓筒狀。并且，筒部件37與筒部件27相同，由熱傳導(dǎo)率比軸承23高的材料形成，即由鋁合金形成。底部37a固定在第一臂部16的主體的前端側(cè)。筒部件37以其軸中心與軸承33的軸中心大致一致的方式配置在筒部件87的內(nèi)周側(cè)。
[0062]在筒部件37的內(nèi)周側(cè)(即筒部37b的內(nèi)周側(cè))容納有軸部件36的下端側(cè)。在筒部37b的內(nèi)周面的上端側(cè)安裝有軸承42。軸承42將軸部件36的下端側(cè)支承為能夠旋轉(zhuǎn)。筒部37b的內(nèi)徑形成得比所容納的軸部件36的下端側(cè)的外徑稍大，在筒部37b的內(nèi)周面與軸部件36的下端側(cè)的外周面之間形成有微小的間隙。例如，在筒部37b的內(nèi)周面與軸部件36的下端側(cè)的外周面之間遍及整周而形成有0.1mm左右的間隙。在本實施方式中，筒部件37的內(nèi)周側(cè)成為第二凹部，該第二凹部容納作為第二凸部的軸部件36。
[0063]在筒部件37的內(nèi)周側(cè)配置有作為第二熱傳導(dǎo)性物質(zhì)的半固體狀的油脂。也就是說，在筒部37b的內(nèi)周面與軸部件36的下端側(cè)的外周面之間填充有油脂。該油脂與被填充到筒部27b的內(nèi)周面與軸部件26的下端側(cè)的外周面之間的油脂相同，該油脂的熱傳導(dǎo)率比軸承33的熱傳導(dǎo)率高。并且，該油脂在真空中的蒸汽壓較低。
[0064]在筒部件37的底部37a形成有用于向筒部件37的內(nèi)周側(cè)提供油脂的供給孔。在該供給孔中安裝有油脂嘴，通過油脂嘴以及與油脂嘴連接的軟管等配管部件向筒部件37的內(nèi)周側(cè)提供油脂。并且，在筒部件37的筒部37b的內(nèi)周面的上端側(cè)形成有油脂積存部37c。油脂積存部37c形成于軸承42的下側(cè)。油脂積存部37c的內(nèi)徑形成得比筒部37b的其他部分的內(nèi)徑大。
[0065]第一關(guān)節(jié)部、主體部以及升降機構(gòu)的結(jié)構(gòu)
[0066]圖6為圖3的H部的放大圖。圖7為圖6的J部的放大圖。圖8為圖6的K部的放大圖。圖9為表示從圖6的L-L方向觀察主體部7的下端側(cè)以及升降機構(gòu)8的下端側(cè)的簡要結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0067]在第一關(guān)節(jié)部20配置有磁流體密封部45，其具有防止空氣流入到真空區(qū)域VR的磁流體密封件81至83。在第一關(guān)節(jié)部20中，帶輪46、47以在上下方向上重疊的方式配置于第一臂部16的內(nèi)部。具體地說，帶輪46配置在下側(cè)，帶輪47配置在上側(cè)。第一臂部16在第一關(guān)節(jié)部20具有朝向主體部7(即朝向下側(cè))突出的作為第一凸部的筒部件48。主體部7在第一關(guān)節(jié)部20具有容納筒部件48的作為第一容納部的筒部件49。并且，主體部7具有:側(cè)面部件50，其構(gòu)成主體部7的外周面且呈大致圓筒狀；底面部件51，其構(gòu)成主體部7的下端側(cè)部分；以及散熱機構(gòu)52，其散發(fā)底面部件51的熱量。
[0068]磁流體密封部45以其軸中心與主體部7的軸中心大致一致的方式配置。并且，磁流體密封部45如圖7所示，具有:實心旋轉(zhuǎn)軸53，其配置于磁流體密封部45的徑向中心；空心旋轉(zhuǎn)軸54，其以覆蓋實心旋轉(zhuǎn)軸53的外周面的方式與實心旋轉(zhuǎn)軸53呈同心狀配置；空心旋轉(zhuǎn)軸55，其以覆蓋空心旋轉(zhuǎn)軸54的外周面的方式與實心旋轉(zhuǎn)軸53以及空心旋轉(zhuǎn)軸54呈同心狀配置；以及側(cè)面部56，其構(gòu)成磁流體密封部45的外周面。
[0069]在主體部7的徑向上，軸承57配置在實心旋轉(zhuǎn)軸53與空心旋轉(zhuǎn)軸54之間，軸承58配置在空心旋轉(zhuǎn)軸54與空心旋轉(zhuǎn)軸55之間，作為第一軸承的軸承59配置在空心旋轉(zhuǎn)軸55與側(cè)面部56之間。并且，在主體部7的徑向上，磁流體密封件81配置在實心旋轉(zhuǎn)軸53與空心旋轉(zhuǎn)軸54之間的上端側(cè)，磁流體密封件82配置在空心旋轉(zhuǎn)軸54與空心旋轉(zhuǎn)軸55之間的上端側(cè)，磁流體密封件83配置在空心旋轉(zhuǎn)軸55與側(cè)面部56之間的上端側(cè)。
[0070]軸承57至59為滾動軸承。軸承57的內(nèi)圈固定在實心旋轉(zhuǎn)軸53的外周面。軸承57的外圈固定在空心旋轉(zhuǎn)軸54的內(nèi)周面，軸承58的內(nèi)圈固定在空心旋轉(zhuǎn)軸54的外周面。軸承58的外圈固定在空心旋轉(zhuǎn)軸55的內(nèi)周面，軸承59的內(nèi)圈固定在空心旋轉(zhuǎn)軸55的外周面。軸承59的外圈固定在側(cè)面部56。實心旋轉(zhuǎn)軸53、空心旋轉(zhuǎn)軸54、55、側(cè)面部56以及軸承57至59由鐵系的金屬形成。具體地說，實心旋轉(zhuǎn)軸53、空心旋轉(zhuǎn)軸54、55、側(cè)面部56以及軸承57至59由不銹鋼形成。
[0071]在實心旋轉(zhuǎn)軸53的上端側(cè)固定有帶輪47。如上文所述，傳送帶38被架設(shè)于帶輪34與帶輪47。馬達60與實心旋轉(zhuǎn)軸53的下端連接。在空心旋轉(zhuǎn)軸54的上端側(cè)固定有帶輪46。如上文所述，傳送帶28被架設(shè)于帶輪24與帶輪46。馬達61通過齒輪等動力傳遞機構(gòu)與空心旋轉(zhuǎn)軸54的下端側(cè)連接。在空心旋轉(zhuǎn)軸55的上端側(cè)固定有第一臂部16的基端側(cè)。馬達62利用齒輪等動力傳遞機構(gòu)與空心旋轉(zhuǎn)軸55的下端側(cè)連接。
[0072]如圖7所示，在磁流體密封部45的內(nèi)部形成有流路63，該流路63供用于冷卻磁流體密封部45的冷卻用空氣流通。向流路63提供冷卻用空氣的壓縮機等供給機構(gòu)(省略圖示)經(jīng)由軟管等指定的配管部件連接到流路63。由供給機構(gòu)提供的冷卻用空氣從磁流體密封部45的下端側(cè)流入磁流體密封部45的內(nèi)部，在經(jīng)過磁流體密封部45的上端側(cè)后，從磁流體密封部45的下端側(cè)流出。例如，冷卻用空氣朝向圖7的箭頭V的方向流動，從而冷卻磁流體密封部45。在本實施方式中，由流路63以及供給機構(gòu)等構(gòu)成用于冷卻磁流體密封部45的冷卻機構(gòu)。
[0073]筒部件48呈大致圓筒狀。并且，筒部件48由熱傳導(dǎo)率比實心旋轉(zhuǎn)軸53、空心旋轉(zhuǎn)軸54、55、側(cè)面部56以及軸承57至59高的材料形成。具體地說，筒部件48由鋁合金形成。筒部件48的上端側(cè)固定在第一臂部16的主體的基端側(cè)。筒部件48以其軸中心與磁流體密封部45的軸中心大致一致的方式配置。筒部件48的下端側(cè)進入到主體部7的內(nèi)部。
[0074]筒部件49呈帶有沿部49a的有沿大致圓筒狀。并且，筒部件49由熱傳導(dǎo)率比實心旋轉(zhuǎn)軸53、空心旋轉(zhuǎn)軸54、55、側(cè)面部56以及軸承57至59高的材料形成，具體地說，由鋁合金形成。筒部件49以沿部49a的下表面與側(cè)面部件50的上端抵接的狀態(tài)固定于側(cè)面部件50的上端側(cè)。沿部49a配置在比凸緣14靠上側(cè)的位置。并且，筒部件49以其軸中心與磁流體密封部45的軸中心大致一致的方式配置。在筒部件49的內(nèi)周側(cè)配置有磁流體密封部45，磁流體密封部45的側(cè)面部56固定于筒部件49。也就是說，筒部件49在其內(nèi)周側(cè)保持磁流體密封部45。側(cè)面部56的外周面與筒部件49的內(nèi)周面接觸。
[0075]在筒部件49的沿部49a中，容納筒部件48的作為第一凹部的凹部49b以從沿部49a的上表面朝向下側(cè)凹陷的方式形成。凹部49b形成為其軸中心與磁流體密封部45的軸中心大致一致的大致圓環(huán)狀。主體部7的徑向上的筒部件48的厚度形成得比凹部49b的寬度稍小，在凹部49b的側(cè)面與筒部件48的側(cè)面之間形成有微小的間隙。例如，在凹部49b的側(cè)面與筒部件48的側(cè)面之間遍及整周而形成有的0.5mm左右的間隙。
[0076]在凹部49b配置有作為第一熱傳導(dǎo)性物質(zhì)的半固體狀的油脂。也就是說，在凹部49b的側(cè)面與筒部件48的側(cè)面之間填充有油脂。該油脂與填充到筒部27b的內(nèi)周面與軸部件26的下端側(cè)的外周面之間的油脂相同，該油脂的熱傳導(dǎo)率比軸承59的熱傳導(dǎo)率高。并且，該油脂在真空中的蒸汽壓較低。
[0077]在筒部件49的沿部49a形成有供給孔，該供給孔用于從沿部49b的外周側(cè)向凹部49b提供油脂。在該供給孔中安裝有油脂嘴44，利用油脂嘴44以及與油脂嘴44連接的軟管等配管部件向凹部49b提供油脂。并且，在凹部49b的側(cè)面的上端側(cè)形成有油脂積存部49c。油脂積存部49c形成為從凹部49b的側(cè)面朝向徑向內(nèi)側(cè)以及外側(cè)凹陷。
[0078]側(cè)面部件50如上文所述呈大致圓筒狀。在側(cè)面部件50的下端形成有朝向徑向外側(cè)擴展的圓環(huán)狀的沿部50a。并且，側(cè)面部件50由熱傳導(dǎo)率比實心旋轉(zhuǎn)軸53、空心旋轉(zhuǎn)軸54、55、側(cè)面部56以及軸承57至59高的材料形成，具體地說，由鋁合金形成。在側(cè)面部件50的內(nèi)周側(cè)配置有:筒部件49的下端側(cè)、磁流體密封部45的下端側(cè)、連接空心旋轉(zhuǎn)軸54與馬達61的動力傳遞機構(gòu)、以及連接空心旋轉(zhuǎn)軸55與馬達62的動力傳遞機構(gòu)等。筒部件49的外周面與側(cè)面部件50的上端側(cè)的內(nèi)周面接觸。
[0079]底面部件51呈大致長方體的塊狀，如圖9所示，從上下方向觀察時的形狀為大致正方形。并且，底面部件51由熱傳導(dǎo)率比實心旋轉(zhuǎn)軸53、空心旋轉(zhuǎn)軸54、55、側(cè)面部56以及軸承57至59高的材料形成，具體地說，由鋁合金形成。底面部件51即使在主體部7上升到最高時也配置在大氣區(qū)域AR中(大氣中)。即，底面部件51始終配置在大氣中。
[0080]在底面部件51的中心形成有在上下方向上貫通的貫通孔，在該貫通孔中配置有馬達60至62。在底面部件51的上表面固定有側(cè)面部件50的沿部50a的下表面。沿部50a的下表面與底面部件51的上表面接觸。另外，在圖9中省略了馬達60至62、實心旋轉(zhuǎn)軸53、空心旋轉(zhuǎn)軸54、連接空心旋轉(zhuǎn)軸54與馬達61的動力傳遞機構(gòu)、以及連接空心旋轉(zhuǎn)軸55與馬達62的動力傳遞機構(gòu)等的圖示。
[0081]升降機構(gòu)8具有:以上下方向為軸向進行配置的螺絲部件66、與螺絲部件66卡合的螺母部件67、使螺絲部件66旋轉(zhuǎn)的馬達68。螺絲部件66、螺母部件67以及馬達68配置在底面部件51的四個側(cè)面中的彼此平行的兩個側(cè)面各自的外側(cè)。并且，升降機構(gòu)8具有:導(dǎo)向軸69，其用于在上下方向上引導(dǎo)主體部7 ;以及導(dǎo)向塊70，其與導(dǎo)向軸69卡合并朝向上下方向滑動。導(dǎo)向軸69以及導(dǎo)向塊70分別配置在底面部件51的四個角處。
[0082]螺絲部件66的下端側(cè)被底板12支承為能夠旋轉(zhuǎn)，螺絲部件66的上端側(cè)借助軸承被凸緣14支承為能夠旋轉(zhuǎn)。螺母部件67被固定于或形成于底面部件51的側(cè)面的螺母保持部件71保持。馬達68的輸出軸借助帶輪以及傳送帶等連接到螺絲部件66的下端側(cè)。導(dǎo)向軸69的下端側(cè)固定于底板12,導(dǎo)向軸69的上端側(cè)固定于凸緣14。導(dǎo)向塊70被形成于底面部件51的四個角的導(dǎo)向塊保持部51a保持。當(dāng)馬達68旋轉(zhuǎn)時，螺絲部件66旋轉(zhuǎn)從而使螺母部件67升降。當(dāng)螺母部件67升降時，隨著被導(dǎo)向軸69以及導(dǎo)向塊70引導(dǎo)的底面部件51的升降，主體部7與臂5、6以及手部3—同升降。[0083]另外，在側(cè)面部件50的外周側(cè)，配置有用于防止空氣流入真空區(qū)域VR的波紋管72。波紋管72的下端固定于側(cè)面部件50的沿部50a，波紋管72的上端固定于凸緣14。當(dāng)馬達68旋轉(zhuǎn)而使主體部7升降時，波紋管72進行伸縮。
[0084]散熱機構(gòu)52如圖9所示，具有:散熱部件73，其具有多個散熱片73a ;以及送風(fēng)機(風(fēng)扇)74，其向散熱片73a輸送空氣。散熱部件73分別形成于或固定于底面部件51的四個側(cè)面。送風(fēng)機74例如安裝在散熱片73a的前端。
[0085]本實施方式的主要效果
[0086]如上文所述，在本實施方式中，第一臂部16以及第二臂部17、18由鋁合金形成，且固定于第二臂部17、18的主體的軸部件26、36以及固定于第一臂部16的主體的筒部件27、37由鋁合金形成。并且，在筒部件27、37的內(nèi)周面與軸部件26、36的下端側(cè)的外周面之間填充有熱傳導(dǎo)性良好的油脂。因此，在本實施方式中，即使是機器人I在真空中搬運溫度較高的基板2的情況，也能將通過熱輻射或經(jīng)由手部3、4的熱傳導(dǎo)而從基板2傳遞到第二臂部17、18的熱量在第二關(guān)節(jié)部21、22中利用熱輻射傳遞到第一臂部16，并利用軸承23、33以及筒部件76、77、86、87的熱傳導(dǎo)傳遞到第一臂部16，除此之外還能利用軸部件26、36、油脂以及筒部件27、37的熱傳導(dǎo)而高效地傳遞到第一臂部16。因此，在本實施方式中，能夠?qū)幕?傳遞到第二臂部17、18的熱量高效地釋放到第一臂部16。
[0087]并且，在本實施方式中，固定于第一臂部16的主體的筒部件48由鋁合金形成，而且，構(gòu)成主體部7的筒部件49由鋁合金形成，在筒部件49的凹部49b的側(cè)面與筒部件48的側(cè)面之間填充有熱傳導(dǎo)性良好的油脂。因此，在本實施方式中，即使是機器人I在真空中搬運溫度較高的基板2的情況，也能將從基板2以及第二臂部17、18傳遞到第一臂部16的熱量在第一關(guān)節(jié)部20中利用熱輻射傳遞到主體部7，并利用磁流體密封部45的熱傳導(dǎo)進行傳遞，除此之外還能利用筒部件48、49以及油脂的熱傳導(dǎo)高效地傳遞到主體部7。因此，在本實施方式中，能夠?qū)鬟f到第一臂部16的熱量高效地釋放到主體部7。
[0088]而且，在本實施方式中，由于側(cè)面部件50以及底面部件51由鋁合金形成，因此利用側(cè)面部件50的熱傳導(dǎo)，能夠?qū)牡谝槐鄄?6傳遞到主體部7的熱量高效地釋放到配置于大氣中的底面部件51，其結(jié)果是能夠通過底面部件51向大氣中散熱。尤其在本實施方式中，由于具有多個散熱片73a的散熱部件73形成于或固定于底面部件51的側(cè)面,且在散熱片73a的前端安裝有送風(fēng)機74，因此能夠?qū)鬟f到底面部件51的熱量高效地釋放到大氣中。
[0089]如此，在本實施方式中，即使是機器人I在真空中搬運溫度較高的基板2的情況，也能夠?qū)幕?傳遞到第二臂部17、18以及第一臂部16的熱量高效地釋放到底面部件51，從而能夠高效地從底面部件51散發(fā)到大氣中。因此，在本實施方式中，即使是機器人I在真空中搬運溫度較高的搬運對象的情況，也能抑制因熱量的影響而導(dǎo)致第一臂部16以及第二臂部17、18的變形，并能抑制因熱量的影響而導(dǎo)致軸承23、33、57至59的磨損、損傷。并且，在本實施方式中，即使是機器人I在真空中搬運溫度較高的搬運對象的情況，也能夠抑制因熱量的影響而導(dǎo)致傳送帶28、30、38、40的損傷。另外，在本實施方式中，底面部件51配置在大氣中，且作為散發(fā)熱量的散熱部，側(cè)面部件50為連接作為第一容納部的筒部件49與作為散熱部的底面部件51的連接部。
[0090]在本實施方式中，磁流體密封部45被保持在筒部件49的內(nèi)周側(cè)。因此，能夠?qū)幕?等傳遞到磁流體密封部45的熱量利用筒部件49、側(cè)面部件50以及底面部件51的熱傳導(dǎo)等高效地釋放到底面部件51。因此，在本實施方式中，能夠防止包含軸承57至59的磁流體密封部45因熱量的影響而損傷。尤其在本實施方式中，在磁流體密封部45的內(nèi)部形成有供冷卻用空氣流通的流路63，向流路63提供冷卻用空氣的供給機構(gòu)與流路63連接。因此，在本實施方式中，能夠有效地防止因熱量的影響而導(dǎo)致磁流體密封部45損傷。
[0091]在本實施方式中，在筒部件27、37的內(nèi)周面與軸部件26、36的下端側(cè)的外周面之間填充有油脂。因此，當(dāng)?shù)诙鄄?7、18相對于第一臂部16旋轉(zhuǎn)時，即使筒部件27、37的內(nèi)周面與軸部件26、36的下端側(cè)的外周面接觸，也能防止對第二臂部17、18相對于第一臂部16的旋轉(zhuǎn)造成阻礙。并且，在本實施方式中，當(dāng)?shù)诙鄄?7、18相對于第一臂部16旋轉(zhuǎn)時，即使筒部件27、37的內(nèi)周面與軸部件26、36的下端側(cè)的外周面接觸，也能抑制筒部件27,37以及軸部件26、36的磨損、損傷。
[0092]同樣，在本實施方式中，由于在筒部件49的凹部49b的側(cè)面與筒部件48的側(cè)面之間填充有油脂，因此，當(dāng)?shù)谝槐鄄?6相對于主體部7旋轉(zhuǎn)時，即使筒部件49的凹部49b的側(cè)面與筒部件48的側(cè)面接觸，也能防止對第一臂部16相對于主體部7的旋轉(zhuǎn)造成阻礙。并且，在本實施方式中，在第一臂部16相對于主體部7旋轉(zhuǎn)時，即使筒部件49的凹部49b的側(cè)面與筒部件48的側(cè)面接觸，也能抑制筒部件48、49的磨損、損傷。
[0093]在本實施方式中，螺母部件67由固定于或形成于底面部件51的側(cè)面的螺母保持部件71保持，導(dǎo)向塊70由形成于底面部件51的四個角的導(dǎo)向塊保持部51a保持。也就是說，在本實施方式中，將從第一臂部16以及第二臂部17、18傳遞來的熱量散發(fā)到大氣中的底面部件51被用作安裝升降機構(gòu)8的一部分的部件。因此，在本實施方式中，與另外在機器人I設(shè)置用于安裝升降機構(gòu)8的一部分的部件的情況相比，能夠簡化機器人I的結(jié)構(gòu)。
[0094]其他實施方式
[0095]上述實施方式為本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的一例，但本發(fā)明并不限定于此，可以在不變更本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進行各種變形。
[0096]在上述實施方式中，軸部件26、36固定于第二臂部17、18的主體，筒部件27、37固定于第一臂部16的主體。除此之外，也可以是相當(dāng)于筒部件27、37的筒部件固定于第二臂部17、18的主體，相當(dāng)于軸部件26、36的軸部件固定于第一臂部16的主體。并且，在上述的實施方式中，筒部件48固定于第一臂部16的主體，筒部件49固定于側(cè)面部件50，但也可以是相當(dāng)于筒部件49的筒部件固定于第一臂部16的主體，而相當(dāng)于筒部件48的筒部件固定于側(cè)面部件50。
[0097]在上述實施方式中，在筒部27b、37b的內(nèi)周面與軸部件26、36的下端側(cè)的外周面之間填充有熱傳導(dǎo)性良好的熱傳導(dǎo)性油脂。除此之外，如果熱傳導(dǎo)性良好且在真空中的蒸汽壓較低的話，則也可在筒部27b、37b的內(nèi)周面與軸部件26、36的下端側(cè)的外周面之間填充油脂以外的熱傳導(dǎo)性物質(zhì)。在這種情況下，該熱傳導(dǎo)性物質(zhì)既可具有潤滑性也可不具潤滑性。
[0098]同理，在上述實施方式中，在筒部件49的凹部49b的側(cè)面與筒部件48的側(cè)面之間填充有熱傳導(dǎo)性良好的油脂，但如果熱傳導(dǎo)性良好且在真空中蒸汽壓較低的話，則也可在筒部件49的凹部49b的側(cè)面與筒部件48的側(cè)面之間填充除油脂以外的熱傳導(dǎo)性物質(zhì)。在這種情況下，該熱傳導(dǎo)性物質(zhì)既可具有潤滑性也可不具潤滑性。[0099]在上述實施方式中，散熱機構(gòu)52分別配置在底面部件51的四個側(cè)面。除此之外，散熱機構(gòu)52還可分別配置在底面部件51的四個側(cè)面中的三個側(cè)面，或分別配置在兩個側(cè)面，也可配置在一個側(cè)面。另外，在上述實施方式中，散熱機構(gòu)52具有送風(fēng)機74,但是如果利用散熱片73a能夠充分地散發(fā)底面部件51的熱量的話，散熱機構(gòu)52也可不具有送風(fēng)機74。另外，如果通過送風(fēng)機74能夠充分地散發(fā)底面部件51的熱量的話，散熱機構(gòu)52也可不具散熱部件73。
[0100]在上述實施方式中，筒部件49與側(cè)面部件50形成為分體，但筒部件49與側(cè)面部件50也可形成為一體。另外，在上述實施方式中，側(cè)面部件50與底面部件51形成為分體，但側(cè)面部件50與底面部件51也可形成為一體。
[0101]在上述實施方式中，臂6由與臂5共用的第一臂部16和第二臂部18構(gòu)成，但臂6也可由與第一臂部16分體設(shè)置的第一臂部和第二臂部18構(gòu)成。另外，在上述實施方式中，臂5、6由第一臂部16和第二臂部17、18這兩個臂部構(gòu)成，但臂5、6既可由一個臂部構(gòu)成也可由三個以上的臂部構(gòu)成。
[0102]在上述實施方式中，軸承23、33、57至59為滾動軸承，但軸承23、33、57至59也可以是滑動軸承。另外，在上述實施方式中，由機器人I搬運的搬運對象為基板2，但由機器人I搬運的搬運對象也可以是半導(dǎo)體晶圓等。
[0103]符號說明
[0104]I機器人(工業(yè)用機器人)
[0105]2基板(玻璃基板、搬運對象)
[0106]3、4 手部
[0107]5、6 臂
[0108]7主體部
[0109]8升降機構(gòu)
[0110]16第一臂部
[0111]17,18 第二臂部
[0112]20第一關(guān)節(jié)部
[0113]21,22第二關(guān)節(jié)部
[0114]23,33軸承(第二軸承)
[0115]26,36軸部件(第二凸部)
[0116]27,37筒部件(第二容納部)
[0117]45磁流體密封部
[0118]48筒部件(第一凸部)
[0119]49筒部件(第一容納部)
[0120]49b凹部(第一凹部)
[0121]50側(cè)面部件(連接部)
[0122]51底面部件(散熱部)
[0123]52散熱機構(gòu)
[0124]59軸承(第一軸承)
[0125]63流路(冷卻機構(gòu)的一部分)[0126]73a散熱片
[0127]74送風(fēng)機
[0128]81?83磁流體密封件
【權(quán)利要求】
1.一種工業(yè)用機器人，其在真空中搬運搬運對象，其特征在于，具有: 手部，其裝載所述搬運對象； 臂，所述手部與所述臂的前端側(cè)連接； 主體部，所述臂的基端側(cè)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連接到所述主體部；以及第一軸承，其在作為所述臂與所述主體部的連接部的第一關(guān)節(jié)部將所述臂支承為能夠旋轉(zhuǎn)， 所述臂和所述主體部中的一方在所述第一關(guān)節(jié)部具有朝向所述臂和所述主體部中的另一方突出的第一凸部， 所述臂和所述主體部中的另一方在所述第一關(guān)節(jié)部具有第一容納部，所述第一容納部形成有容納所述第一凸部的第一凹部， 所述第一凸部以及所述第一容納部由熱傳導(dǎo)率比所述第一軸承高的材料形成， 在所述第一凹部中配置有熱傳導(dǎo)率比所述第一軸承高的液狀、半固體狀或凝膠狀的第一熱傳導(dǎo)性物質(zhì)， 所述主體部具有: 散熱部，其由熱傳導(dǎo)率比所述第一軸承高的材料形成，且配置在大氣中散發(fā)熱量；以及連接部，其由熱傳導(dǎo)率比所述第一軸承高的材料形成，且連接所述主體部所具有的所述第一容納部或所述第一凸部與所述散熱部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工業(yè)用機器人，其特征在于， 所述臂具有: 第一臂部，其基端側(cè)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連接到所述主體部；以及 第二臂部，其基端側(cè)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連接到所述第一臂部的前端側(cè)， 在作為所述第一臂部與所述第二臂部的連接部的第二關(guān)節(jié)部，配置有將所述第二臂部支承為能夠旋轉(zhuǎn)的第二軸承， 所述第一臂部和所述第二臂部中的一方在所述第二關(guān)節(jié)部具有朝向所述第一臂部和所述第二臂部中的另一方突出的第二凸部， 所述第一臂部和所述第二臂部中的另一方在所述第二關(guān)節(jié)部具有第二容納部，所述第二容納部形成有容納所述第二凸部的第二凹部， 所述第二凸部以及所述第二容納部由熱傳導(dǎo)率比所述第二軸承高的材料形成， 在所述第二凹部中配置有熱傳導(dǎo)率比所述第二軸承高的液狀、半固體狀或凝膠狀的第二熱傳導(dǎo)性物質(zhì)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工業(yè)用機器人，其特征在于， 所述手部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連接到所述第二臂部的前端側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的工業(yè)用機器人，其特征在于， 所述第一凸部形成于所述臂，且呈大致圓筒狀， 所述第一凹部形成于所述主體部，且呈大致圓環(huán)狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的工業(yè)用機器人，其特征在于， 所述第二凸部形成于所述第二臂部，且呈大致圓柱狀， 所述第二容納部形成于所述第一臂部，且呈大致有底圓筒狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項所述的工業(yè)用機器人，其特征在于，所述第一熱傳導(dǎo)性物質(zhì)為油脂。
7.根據(jù)權(quán)利要求2、3或5所述的工業(yè)用機器人，其特征在于， 所述第二熱傳導(dǎo)性物質(zhì)為油脂。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中的任一項所述的工業(yè)用機器人，其特征在于， 所述主體部具有散熱機構(gòu)，所述散熱機構(gòu)配置于大氣中散發(fā)所述散熱部的熱量。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工業(yè)用機器人，其特征在于， 所述散熱機構(gòu)具有: 多個散熱用散熱片，所述多個散熱用散熱片形成于或固定于所述散熱部；以及 送風(fēng)機，其朝向所述散熱片輸送空氣。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中的任一項所述的工業(yè)用機器人，其特征在于， 在所述第一關(guān)節(jié)部具有磁流體密封部，所述磁流體密封部具有防止空氣流入真空區(qū)域的磁流體密封件和所述第一軸承， 所述第一容納部呈大致筒狀，并在所述第一容納部的內(nèi)周側(cè)保持所述磁流體密封部。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中的任一項所述的工業(yè)用機器人，其特征在于， 在所述第一關(guān)節(jié)部具有磁流體密封部，所述磁流體密封部具有防止空氣流入真空區(qū)域的磁流體密封件和所述第一軸承， 還具有冷卻機構(gòu)，所述冷卻機構(gòu)冷卻所述磁流體密封部。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的工業(yè)用機器人，其特征在于， 所述冷卻機構(gòu)具有: 冷卻用空氣的流路，其形成于所述磁流體密封部；以及 供給機構(gòu)，其向所述流路提供冷卻用空氣。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至12中的任一項所述的工業(yè)用機器人，其特征在于， 具有使所述主體部升降的升降機構(gòu)， 在所述散熱部安裝有所述升降機構(gòu)的一部分。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至13中的任一項所述的工業(yè)用機器人，其特征在于， 所述搬運對象為液晶顯示器用的玻璃基板。
【文檔編號】B25J19/00GK103917339SQ201280054298
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2012年11月1日 優(yōu)先權(quán)日:2011年11月16日
【發(fā)明者】矢澤隆之, 柴真砂, 中島弘登, 藤原真志 申請人:日本電產(chǎn)三協(xié)株式會社