專(zhuān)利名稱(chēng)：工業(yè)用機(jī)器人的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)規(guī)定的搬運(yùn)對(duì)象物進(jìn)行搬運(yùn)的工業(yè)用機(jī)器人。
背景技術(shù)：
目前，作為對(duì)液晶顯示器用的玻璃基板進(jìn)行搬運(yùn)的工業(yè)用機(jī)器人，已知有一種具有供玻璃基板裝設(shè)的兩個(gè)手部和對(duì)兩個(gè)手部中的每一個(gè)手部進(jìn)行保持的兩個(gè)臂的所謂雙臂型機(jī)器人(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的機(jī)器人包括將臂的基端側(cè)支承成能轉(zhuǎn)動(dòng)的支承構(gòu)件；以及將支承構(gòu)件支承成能在上下方向上移動(dòng)的柱。在該機(jī)器人中，臂由第一臂和第二臂構(gòu)成。另外，柱的下端以能轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支承于基臺(tái)，該基臺(tái)支承于底座構(gòu)件?；_(tái)能相對(duì)于底座構(gòu)件在水平方向上直線狀地移動(dòng)。該機(jī)器人以手部在朝向規(guī)定方向的狀態(tài)下直線狀移動(dòng)的方式使手部伸縮，從而搬運(yùn)玻璃基板。被專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的機(jī)器人等搬運(yùn)的玻璃基板有時(shí)會(huì)在供該玻璃基板收納的盒子等收納部中相對(duì)于玻璃基板的搬出方向傾斜或位置偏移。因此，提出了一種用于對(duì)在傾斜或位置偏移的狀態(tài)下收納于收納部的玻璃基板的傾斜、位置偏移進(jìn)行修正并將玻璃基板搬運(yùn)至規(guī)定的作業(yè)位置的手部的對(duì)位方法(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)幻。若將該專(zhuān)利文獻(xiàn)2中記載的對(duì)位方法應(yīng)用于專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的機(jī)器人，能對(duì)在傾斜或位置偏移的狀態(tài)下收納于收納部的玻璃基板的傾斜、位置偏移進(jìn)行修正，并將玻璃基板搬入作業(yè)位置。例如，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的機(jī)器人中，在收納于收納部的玻璃基板的傾斜被設(shè)于手部的傳感器檢測(cè)到的情況下，若使基臺(tái)相對(duì)于底座構(gòu)件在規(guī)定方向上移動(dòng)，以修正被從收納部搬出并被搬入作業(yè)位置的玻璃基板的傾斜，并使柱相對(duì)于基臺(tái)旋轉(zhuǎn)規(guī)定量，在該狀態(tài)下，使臂伸縮以從收納部搬出玻璃基板，然后，使基臺(tái)朝相反的方向移動(dòng)并使柱朝相反的方向旋轉(zhuǎn)，來(lái)修正玻璃基板的傾斜，然后，將玻璃基板搬入作業(yè)位置，則能對(duì)以傾斜狀態(tài)收納于收納部的玻璃基板的傾斜進(jìn)行修正并將玻璃基板搬運(yùn)至作業(yè)位置。另外，若這樣搬運(yùn)玻璃基板，則能抑制被搬入作業(yè)位置的玻璃基板的在基臺(tái)相對(duì)于底座構(gòu)件的移動(dòng)方向上的位置偏移。也能在從收納部搬出玻璃基板后，修正玻璃基板的傾斜并將玻璃基板搬入作業(yè)位置。然而，在使用專(zhuān)利文獻(xiàn)2中記載的對(duì)位方法來(lái)對(duì)玻璃基板的傾斜、位置偏移進(jìn)行修正的情況下，由于基臺(tái)必須能相對(duì)于底座構(gòu)件在水平方向上移動(dòng)，因此，機(jī)器人變得大型化。另外，例如，在手部沿基臺(tái)相對(duì)于底座構(gòu)件的移動(dòng)方向直線狀地移動(dòng)以搬運(yùn)玻璃基板的情況下，即便能修正玻璃基板的傾斜，有時(shí)也難以抑制玻璃基板在與基臺(tái)相對(duì)于底座構(gòu)件的移動(dòng)方向正交的方向上的位置偏移。例如，在搬出玻璃基板時(shí)和搬入玻璃基板時(shí)中的任一情形下，當(dāng)手部在與基臺(tái)相對(duì)于底座構(gòu)件的移動(dòng)方向正交的方向上直線狀地移動(dòng)時(shí)，在該手部的移動(dòng)方向上，若預(yù)估基臺(tái)相對(duì)于底座構(gòu)件的移動(dòng)方向上的位置偏移來(lái)搬運(yùn)玻璃基板，則能修正位置偏移，但由于是在手部上將玻璃基板偏移地加以搬運(yùn)的，因此，不能充分地確保修正量。另外，在搬運(yùn)玻璃基板時(shí)和搬入玻璃基板時(shí)這兩種情形下，在手部沿基臺(tái)相對(duì)于底座構(gòu)件的移動(dòng)方向直線狀地移動(dòng)的情況下，不能修正玻璃基板的位置偏移。另一方面，目前，還已知有一種能解決這些問(wèn)題的機(jī)器人(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)3)。專(zhuān)利文獻(xiàn)3中記載的機(jī)器人包括固定于基臺(tái)的上表面的固定底座部；相對(duì)于固定底座部在上下方向上動(dòng)作的上下臂；能相對(duì)于上下臂自由旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臂；固定于旋轉(zhuǎn)臂的第一臂底座部；相對(duì)于第一臂底座部在水平方向上直線狀地移動(dòng)的第一平移臂(日文第1 O直動(dòng)7 — ；固定于第一平移臂的第二臂底座部；在與第一平移臂正交的方向上直線狀地移動(dòng)的第二平移臂(日文第2 O直動(dòng)7 — Λ )；以及固定于第二平移臂的手部。在該機(jī)器人中，由于在旋轉(zhuǎn)臂與第二臂底座部之間配置有第一臂底座部及第一平移臂，因此，可解決上述問(wèn)題，從而能抑制被搬入作業(yè)位置的搬運(yùn)對(duì)象物的位置偏移并能修正該搬運(yùn)對(duì)象物的傾斜。專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本專(zhuān)利特許第3973048號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2 日本專(zhuān)利特開(kāi)2003-117862號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)3 日本專(zhuān)利特開(kāi)2004-196438號(hào)公報(bào)然而，在將專(zhuān)利文獻(xiàn)3中記載的結(jié)構(gòu)直接應(yīng)用到如專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的機(jī)器人那樣的、具有將對(duì)臂進(jìn)行支承的支承構(gòu)件支承成能在上下方向上移動(dòng)的柱的機(jī)器人中的情況下，會(huì)產(chǎn)生以下問(wèn)題。即，在將專(zhuān)利文獻(xiàn)3中記載的結(jié)構(gòu)直接應(yīng)用到具有對(duì)支承構(gòu)件進(jìn)行支承的柱的機(jī)器人的情況下，需在臂與支承構(gòu)件之間配置相當(dāng)于專(zhuān)利文獻(xiàn)3中記載的第一臂底座部及第一平移臂的結(jié)構(gòu)，但例如在機(jī)器人是雙臂型機(jī)器人的情況下，需要兩個(gè)相當(dāng)于第一臂底座部及第一平移臂的結(jié)構(gòu)，從而使機(jī)器人的結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜。另外，在臂與支承構(gòu)件之間配置相當(dāng)于第一臂底座部及第一平移臂的結(jié)構(gòu)的情況下，需防止相當(dāng)于第一平移臂的結(jié)構(gòu)直線狀地移動(dòng)時(shí)臂與柱的干涉，因此，可能會(huì)限制相當(dāng)于第一平移臂的結(jié)構(gòu)的移動(dòng)量。因此，當(dāng)將專(zhuān)利文獻(xiàn)3中記載的結(jié)構(gòu)直接應(yīng)用到具有對(duì)支承構(gòu)件進(jìn)行支承的柱的機(jī)器人時(shí)，根據(jù)玻璃基板的傾斜的情形，可能會(huì)難以恰當(dāng)?shù)匦拚搩A斜。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種即便在包括將對(duì)臂進(jìn)行支承的支承構(gòu)件支承成能在上下方向上移動(dòng)的柱狀構(gòu)件的情況下，也能以較簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)來(lái)抑制搬入的搬運(yùn)對(duì)象物的位置偏移并能恰當(dāng)?shù)匦拚摪徇\(yùn)對(duì)象物的傾斜的工業(yè)用機(jī)器人。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人的特征是，包括手部，該手部供搬運(yùn)對(duì)象物裝設(shè)；臂，該臂供手部連結(jié)；支承構(gòu)件，該支承構(gòu)件對(duì)臂進(jìn)行支承；柱狀構(gòu)件，該柱狀構(gòu)件將支承構(gòu)件支承成能在上下方向上移動(dòng)；基臺(tái)；旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，該旋轉(zhuǎn)構(gòu)件對(duì)柱狀構(gòu)件的下端進(jìn)行支承并能相對(duì)于基臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)使柱狀構(gòu)件相對(duì)于基臺(tái)在與上下方向正交的規(guī)定方向上相對(duì)移動(dòng)。本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)使柱狀構(gòu)件相對(duì)于基臺(tái)在與上下方向正交的規(guī)定方向上相對(duì)移動(dòng)。因此，若在檢測(cè)出搬運(yùn)對(duì)象物的傾斜時(shí)，使柱狀構(gòu)件相對(duì)于基臺(tái)相對(duì)移動(dòng)并使旋轉(zhuǎn)構(gòu)件相對(duì)于基臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，則能抑制搬入的搬運(yùn)對(duì)象物的位置偏移并能修正該搬運(yùn)對(duì)象物的傾斜。即，即使未包括用于使基臺(tái)在水平方向上移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，也能抑制搬入的搬運(yùn)對(duì)象物的位置偏移并能修正該搬運(yùn)對(duì)象物的傾斜。另外，在本發(fā)明中，由于移動(dòng)機(jī)構(gòu)使柱狀構(gòu)件相對(duì)于基臺(tái)相對(duì)移動(dòng)，因此，例如，即便工業(yè)用機(jī)器人是雙臂型機(jī)器人，也無(wú)需配置兩個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)。因此，能簡(jiǎn)化工業(yè)用機(jī)器人的結(jié)構(gòu)。此外，在本發(fā)明中，在支承構(gòu)件上支承有臂，移動(dòng)機(jī)構(gòu)使對(duì)支承構(gòu)件進(jìn)行支承的柱狀構(gòu)件相對(duì)于基臺(tái)相對(duì)移動(dòng)，因此，當(dāng)柱狀構(gòu)件相對(duì)于基臺(tái)相對(duì)移動(dòng)時(shí)，柱狀構(gòu)件與臂不會(huì)干涉。因此，能確保柱狀構(gòu)件的移動(dòng)量，即便要搬入的搬運(yùn)對(duì)象物的傾斜較大，也能恰當(dāng)?shù)匦拚徇\(yùn)對(duì)象物的傾斜。這樣，在本發(fā)明中，即使在工業(yè)用機(jī)器人包括能將對(duì)臂進(jìn)行支承的支承構(gòu)件支承成能在上下方向上移動(dòng)的柱狀構(gòu)件的情況下，也能以較簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)抑制搬入的搬運(yùn)對(duì)象物的位置偏移并能恰當(dāng)?shù)匦拚摪徇\(yùn)對(duì)象物的傾斜。另外，在本發(fā)明中，在搬運(yùn)對(duì)象物未傾斜但引起位置偏移的情況下，能通過(guò)利用移動(dòng)機(jī)構(gòu)使柱狀構(gòu)件相對(duì)于基臺(tái)移動(dòng)來(lái)修正該位置偏移。此外，在發(fā)明中，通過(guò)利用移動(dòng)機(jī)構(gòu)使柱狀構(gòu)件相對(duì)于基臺(tái)移動(dòng)，能修正工業(yè)用機(jī)器人的設(shè)置誤差、組裝誤差。在本發(fā)明中，例如，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件形成為從基臺(tái)朝柱狀構(gòu)件延伸的細(xì)長(zhǎng)塊狀，并包括以能轉(zhuǎn)動(dòng)的方式保持于基臺(tái)上的第一旋轉(zhuǎn)部；以及供柱狀構(gòu)件的下端固定的第二旋轉(zhuǎn)部，移動(dòng)機(jī)構(gòu)配置于第一旋轉(zhuǎn)部與第二旋轉(zhuǎn)部之間，第二旋轉(zhuǎn)部能相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)部直線狀地相對(duì)移動(dòng)。在該情況下，較為理想的是，支承構(gòu)件包括從柱狀構(gòu)件開(kāi)始與旋轉(zhuǎn)構(gòu)件大致平行地延伸的細(xì)長(zhǎng)塊狀的臂支承部，臂支承部的基端側(cè)配置于柱狀構(gòu)件側(cè)，臂支承于臂支承部的前端側(cè)。若這樣構(gòu)成，則能將移動(dòng)機(jī)構(gòu)配置于由第二旋轉(zhuǎn)部、柱狀構(gòu)件、支承構(gòu)件、臂及手部等構(gòu)成的結(jié)構(gòu)體的重心的下側(cè)。所以，能抑制對(duì)移動(dòng)機(jī)構(gòu)作用過(guò)大的外力。另外，在該情況下，較為理想的是，從上下方向觀察時(shí)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)在臂支承部的長(zhǎng)邊方向上配置于柱狀構(gòu)件與臂的基端之間。若這樣構(gòu)成，則能將移動(dòng)機(jī)構(gòu)配置于容易成為死角的柱狀構(gòu)件與臂的基端之間。因此，即便在工業(yè)用機(jī)器人包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)的情況下，也能使工業(yè)用機(jī)器人小型化。在本發(fā)明中，移動(dòng)機(jī)構(gòu)也可配置于柱狀構(gòu)件的下端與旋轉(zhuǎn)構(gòu)件之間。在本發(fā)明中，移動(dòng)機(jī)構(gòu)例如包括電動(dòng)機(jī)；與電動(dòng)機(jī)的輸出軸連結(jié)的螺釘構(gòu)件；具有與螺釘構(gòu)件的陽(yáng)螺紋部螺合的陰螺紋部的螺母構(gòu)件；以及直線引導(dǎo)件。在本發(fā)明中，工業(yè)用機(jī)器人也可包括水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)使基臺(tái)在與上下方向正交的規(guī)定方向上移動(dòng)。如上所述，在本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人中，即便是在包括能將對(duì)臂進(jìn)行支承的支承構(gòu)件支承成能在上下方向上移動(dòng)的柱狀構(gòu)件的情況下，也能以較簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)抑制搬入的搬運(yùn)對(duì)象物的位置偏移并能恰當(dāng)?shù)匦拚摪徇\(yùn)對(duì)象物的傾斜。


圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的工業(yè)用機(jī)器人的俯視圖。圖2是從圖1的E-E方向表示工業(yè)用機(jī)器人的側(cè)視圖。圖3是從圖1的F-F方向表示工業(yè)用機(jī)器人的主視圖。圖4是用于對(duì)圖2所示的移動(dòng)機(jī)構(gòu)及其周邊部的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。圖5是用于從圖4的G-G方向?qū)σ苿?dòng)機(jī)構(gòu)及其周邊部的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖6是圖4的H部的放大圖。圖7是用于從圖6的J-J方向?qū)σ苿?dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的圖。
圖8是用于對(duì)圖1所示的基板以傾斜狀態(tài)被收容時(shí)的工業(yè)用機(jī)器人的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。圖9是用于對(duì)本發(fā)明另一實(shí)施方式的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的配置進(jìn)行說(shuō)明的圖，圖9(A)是俯視圖，圖9(B)是側(cè)視圖。圖10是用于對(duì)本發(fā)明另一實(shí)施方式的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的配置進(jìn)行說(shuō)明的圖，圖10(A)是俯視圖，圖10(B)是側(cè)視圖。圖11是用于對(duì)本發(fā)明另一實(shí)施方式的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的配置進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。圖12是用于對(duì)本發(fā)明另一實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。圖13是本發(fā)明另一實(shí)施方式的工業(yè)用機(jī)器人的俯視圖。圖14是本發(fā)明另一實(shí)施方式的工業(yè)用機(jī)器人的側(cè)視圖。(符號(hào)說(shuō)明)1機(jī)器人(工業(yè)用機(jī)器人)2基板(玻璃基板、搬運(yùn)對(duì)象物)3 手部(hand)4 臂6支承構(gòu)件7柱狀構(gòu)件8 基臺(tái)9旋轉(zhuǎn)構(gòu)件10移動(dòng)機(jī)構(gòu)16臂支承部20第一旋轉(zhuǎn)部21第二旋轉(zhuǎn)部25電動(dòng)機(jī)26滾珠螺桿(螺釘構(gòu)件)27螺母構(gòu)件28直線引導(dǎo)件
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。(工業(yè)用機(jī)器人的概略結(jié)構(gòu))圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的工業(yè)用機(jī)器人1的俯視圖。圖2是從圖1的E-E方向表示工業(yè)用機(jī)器人1的側(cè)視圖。圖3是從圖1的F-F方向表示工業(yè)用機(jī)器人1的主視圖。在以下的說(shuō)明中，將彼此正交的三個(gè)方向分別設(shè)為X方向、Y方向及Z方向。在本實(shí)施方式中，Z方向與上下方向一致。另外，在以下的說(shuō)明中，將X方向設(shè)為前后方向，將Y方向設(shè)為左右方向。本實(shí)施方式的工業(yè)用機(jī)器人1 (以下，稱(chēng)為“機(jī)器人1”。)是用于對(duì)搬運(yùn)對(duì)象物即液晶顯示器用的玻璃基板2(以下，稱(chēng)為“基板2”。)進(jìn)行搬運(yùn)的搬運(yùn)用多關(guān)節(jié)型機(jī)器人。如圖1 圖3所示，機(jī)器人1包括供基板2裝設(shè)的兩個(gè)手部3 ；前端側(cè)與兩個(gè)手部3中的每一個(gè)手部3連結(jié)的兩個(gè)臂4 ；以及對(duì)兩個(gè)臂4進(jìn)行支承的主體部5。主體部5包括支承構(gòu)件6，該支承構(gòu)件6對(duì)兩個(gè)臂4的基端側(cè)進(jìn)行支承；柱狀構(gòu)件7，該柱狀構(gòu)件7將支承構(gòu)件6支承成能在上下方向上移動(dòng)；基臺(tái)8，該基臺(tái)8構(gòu)成主體部5的下端部分；旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9，該旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9對(duì)柱狀構(gòu)件7的下端進(jìn)行支承并能相對(duì)于基臺(tái)8轉(zhuǎn)動(dòng)；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)10，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)10使柱狀構(gòu)件7相對(duì)于基臺(tái)8在水平方向上相對(duì)移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，基板2的位置偏移是指基板2相對(duì)于以正確的姿勢(shì)配置于規(guī)定的基準(zhǔn)位置時(shí)的基板2在前后方向和/或左右方向上平行地偏移的狀態(tài)。另外，基板2的傾斜是指基板2在傾斜時(shí)的中心〇與以正確的姿勢(shì)配置于規(guī)定的基準(zhǔn)位置時(shí)的中心〇(參照?qǐng)D1) 一致，但以中心〇為中心傾斜規(guī)定角度的狀態(tài)。手部3的基端側(cè)以能轉(zhuǎn)動(dòng)的方式與臂4的前端側(cè)連結(jié)。與上述專(zhuān)利文獻(xiàn)2中記載的工業(yè)用機(jī)器人相同，在該手部3上安裝有傳感器(未圖示)，該傳感器用于對(duì)收納于規(guī)定的收納位置的基板2的傾斜(具體而言，是基板2相對(duì)于前后方向等基板2的搬出方向的傾斜)進(jìn)行檢測(cè)。與上述專(zhuān)利文獻(xiàn)2中記載的工業(yè)用機(jī)器人相同，在支承構(gòu)件6上安裝有用于對(duì)基板2的端面進(jìn)行檢測(cè)的邊緣傳感器。另外，用于對(duì)基板2的傾斜進(jìn)行檢測(cè)的傳感器除了安裝于機(jī)器人1之外，有時(shí)也可安裝于基板2的收納位置。臂4包括第一臂部13和第二臂部14這兩個(gè)臂部。第一臂部13的基端側(cè)以能轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支承于支承構(gòu)件6的前端側(cè)。第二臂部14的基端側(cè)以能轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支承于第一臂部13的前端側(cè)。在第二臂部14的前端側(cè)，以能轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支承有手部3的基端側(cè)。本實(shí)施方式的機(jī)器人1具有用于使臂4相對(duì)于主體部5伸縮的驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)(未圖示)，當(dāng)該驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)啟動(dòng)時(shí)，臂4會(huì)伸縮，以使手部3在朝向規(guī)定方向的狀態(tài)下直線狀地移動(dòng)。支承構(gòu)件6包括構(gòu)成支承構(gòu)件6的基端側(cè)部分的升降部15 ；以及對(duì)兩個(gè)臂4分別進(jìn)行支承的兩個(gè)臂支承部16。升降部15以能上下移動(dòng)的方式保持于柱狀構(gòu)件7。臂支承部16形成為將與手部3的移動(dòng)方向正交的方向作為長(zhǎng)邊方向的細(xì)長(zhǎng)扁平的塊狀。兩個(gè)臂支承部16的基端固定于升降部15。在臂支承部16的前端側(cè)以能轉(zhuǎn)動(dòng)的方式保持有第二臂部14的基端側(cè)。在本實(shí)施方式中，兩個(gè)手部3、兩個(gè)臂4及兩個(gè)臂支承部16被配置成在上下方向上重疊。即，本實(shí)施方式的機(jī)器人1是雙臂型機(jī)器人。柱狀構(gòu)件7包括固定于旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9的第一柱部17 ；以及將升降部15保持成能在上下方向上移動(dòng)的第二柱部18。第二柱部18能相對(duì)于第一柱部17在上下方向上移動(dòng)。旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9形成為從基臺(tái)8朝柱狀構(gòu)件7延伸的細(xì)長(zhǎng)扁平的塊狀。如圖1所示，該旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9被配置成與臂支承部16大致平行。即，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9與臂支承部16大致平行地延伸。在本實(shí)施方式中，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9的長(zhǎng)邊方向相對(duì)于臂支承部16的長(zhǎng)邊方向略微傾斜。具體而言，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9的長(zhǎng)邊方向相對(duì)于臂支承部16的長(zhǎng)邊方向略微傾斜，以使臂支承部16與旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9之間的距離隨著從柱狀構(gòu)件7朝向基臺(tái)8而變小。因此，在本實(shí)施方式中，能使在臂4收縮的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)的機(jī)器人1的旋轉(zhuǎn)半徑變小。另外，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9包括以能轉(zhuǎn)動(dòng)的方式保持于基臺(tái)8上的第一旋轉(zhuǎn)部20 ；以及供柱狀構(gòu)件7的下端固定的第二旋轉(zhuǎn)部21，第一旋轉(zhuǎn)部20的前端側(cè)與第二旋轉(zhuǎn)部21的基端側(cè)連結(jié)。另外，第一旋轉(zhuǎn)部20的基端側(cè)與基臺(tái)8連結(jié)，在第二旋轉(zhuǎn)部21的前端側(cè)固定有第一柱部17的下端。第二旋轉(zhuǎn)部21能相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)部20在與臂支承部16的長(zhǎng)邊方向平行的方向(即，與手部3的移動(dòng)方向正交的方向)上直線狀地相對(duì)移動(dòng)。第一旋轉(zhuǎn)部20及第二旋轉(zhuǎn)部21形成為中空狀。如圖2所示，移動(dòng)機(jī)構(gòu)10配置于第一旋轉(zhuǎn)部20與第二旋轉(zhuǎn)部21之間。S卩，移動(dòng)機(jī)構(gòu)10配置于第一旋轉(zhuǎn)部20與第二旋轉(zhuǎn)部21的連結(jié)部。以下，對(duì)移動(dòng)機(jī)構(gòu)10及其周邊部的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。如上所述，第二柱部18能相對(duì)于第一柱部17在上下方向上移動(dòng)，另外，升降部15能相對(duì)于第二柱部18在上下方向上移動(dòng)。即，機(jī)器人1包括使第二柱部18及升降部15升降的升降機(jī)構(gòu)(未圖示)。另外，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9能相對(duì)于基臺(tái)8轉(zhuǎn)動(dòng)。即，機(jī)器人1包括使旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(未圖示)。(移動(dòng)機(jī)構(gòu)及其周邊部的結(jié)構(gòu))圖4是用于對(duì)圖2所示的移動(dòng)機(jī)構(gòu)10及其周邊部的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。圖5是用于從圖4的G-G方向?qū)σ苿?dòng)機(jī)構(gòu)10及其周邊部的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖6是圖4的H部的放大圖。圖7是用于從圖6的J-J方向?qū)σ苿?dòng)機(jī)構(gòu)10進(jìn)行說(shuō)明的圖。如圖5所示，第二旋轉(zhuǎn)部21的從側(cè)面觀察時(shí)的形狀為兩次折曲的臺(tái)階狀，包括供第一柱部17的下端固定的固定部21a和與第一旋轉(zhuǎn)部20連結(jié)的連結(jié)部21b。固定部21a和連結(jié)部21b彼此大致平行地配置，且連結(jié)部21b配置于固定部21a的上側(cè)。另外，連結(jié)部21b與第一旋轉(zhuǎn)部20的前端側(cè)在上下方向上重疊。具體而言，連結(jié)部21b配置于第一旋轉(zhuǎn)部20的前端側(cè)的上側(cè)。此外，固定部21配置在與第一旋轉(zhuǎn)部20的高度大致相同的高度。如圖4所示，從上下方向觀察時(shí)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)10在臂支承部16的長(zhǎng)邊方向上配置于對(duì)臂4的基端側(cè)進(jìn)行支承的臂支承部16的前端側(cè)與柱狀構(gòu)件7之間。即，從上下方向觀察時(shí)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)10在臂支承部16的長(zhǎng)邊方向上配置于臂4的基端與柱狀構(gòu)件7之間。另外，移動(dòng)機(jī)構(gòu)10包括作為驅(qū)動(dòng)源的旋轉(zhuǎn)型電動(dòng)機(jī)25 ；與電動(dòng)機(jī)25的輸出軸連結(jié)的作為螺釘構(gòu)件的滾珠螺桿26 ；具有與滾珠螺桿沈的陽(yáng)螺紋部螺合的陰螺紋部的螺母構(gòu)件27 ；以及直線引導(dǎo)件觀。如圖5所示，電動(dòng)機(jī)25配置于第二旋轉(zhuǎn)部21的連結(jié)部21b的內(nèi)部。另外，電動(dòng)機(jī)25固定于連結(jié)部21b的內(nèi)部。在電動(dòng)機(jī)25的輸出軸上安裝有減速機(jī)四。在減速機(jī)四的輸出軸上通過(guò)連接器30而安裝有滾珠螺桿26。S卩，滾珠螺桿沈通過(guò)減速機(jī)四及連接器30而與電動(dòng)機(jī)25的輸出軸連結(jié)。另外，滾珠螺桿沈被固定于第二旋轉(zhuǎn)部21的軸承31支承成能旋轉(zhuǎn)。如圖5所示，螺母構(gòu)件27固定于支架32上，并配置于連結(jié)部21b的內(nèi)部。支架32固定于第一旋轉(zhuǎn)部20的前端側(cè)的上表面。直線引導(dǎo)件觀包括導(dǎo)軌33和與導(dǎo)軌33卡合并沿著導(dǎo)軌33滑動(dòng)的引導(dǎo)體34。如圖7所示，導(dǎo)軌33固定于第一旋轉(zhuǎn)部20的前端側(cè)的上表面。引導(dǎo)體34固定于第二旋轉(zhuǎn)部21的連結(jié)部21b的下表面。如圖6所示，從上下方向觀察時(shí)，直線引導(dǎo)件觀配置于電動(dòng)機(jī)25、滾珠螺桿沈及螺母構(gòu)件27等的兩側(cè)。在移動(dòng)機(jī)構(gòu)10中，當(dāng)電動(dòng)機(jī)25啟動(dòng)時(shí)，滾珠螺桿沈旋轉(zhuǎn)，如圖4的雙點(diǎn)劃線所示，第二旋轉(zhuǎn)部21相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)部20在臂支承部16的長(zhǎng)邊方向上移動(dòng)。(工業(yè)用機(jī)器人的概略動(dòng)作)圖8是用于對(duì)圖1所示的基板2以傾斜狀態(tài)被收容時(shí)的工業(yè)用機(jī)器人1的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。在如上構(gòu)成的機(jī)器人1中，第二柱部18相對(duì)于第一柱部17上下移動(dòng)，且支承構(gòu)件16相對(duì)于第二柱部18與手部3及臂4等一起上下移動(dòng)。另外，臂4相對(duì)于主體部5伸縮。具體而言，臂4伸縮以使手部3在朝向規(guī)定方向的狀態(tài)下直線狀地移動(dòng)。此外，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9相對(duì)于基臺(tái)8轉(zhuǎn)動(dòng)。通過(guò)這些動(dòng)作的組合，機(jī)器人1將基板2從供基板2收納的收納位置朝對(duì)基板2進(jìn)行規(guī)定作業(yè)的作業(yè)位置搬運(yùn)。此處，在本實(shí)施方式中，機(jī)器人1在搬出收納于收納位置的基板2時(shí)，首先，使手部3伸縮，并利用設(shè)于手部3的傳感器對(duì)基板2相對(duì)于基板2的搬出方向的傾斜進(jìn)行檢測(cè)。若通過(guò)該基板2的傾斜檢測(cè)動(dòng)作未檢測(cè)出基板2的傾斜(或者基板2的傾斜在規(guī)定值以下)，則機(jī)器人1再次使手部3伸縮，以將基板2從收納位置搬出并將搬出的基板2搬入規(guī)定的作業(yè)位置。此時(shí)，在收納位置裝設(shè)基板2時(shí)的機(jī)器人1的狀態(tài)處于如圖8的雙點(diǎn)劃線所示的狀態(tài)。即，此時(shí)，手部3與基板2的搬出方向大致平行。另一方面，當(dāng)通過(guò)基板2的傾斜檢測(cè)動(dòng)作檢測(cè)出基板2的傾斜時(shí)(或者檢測(cè)出的基板2的傾斜超過(guò)規(guī)定值時(shí))，為了抑制基板2在與基板2的搬出方向大致正交的方向上的位置偏移，并對(duì)基板2的傾斜進(jìn)行修正，機(jī)器人1使旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9相對(duì)于基臺(tái)8轉(zhuǎn)動(dòng)規(guī)定量，并使電動(dòng)機(jī)25啟動(dòng)，以使第二旋轉(zhuǎn)部21相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)部20在臂支承部16的長(zhǎng)邊方向上移動(dòng)。即，使柱狀構(gòu)件7相對(duì)于基臺(tái)8在臂支承部16的長(zhǎng)邊方向上移動(dòng)。然后，機(jī)器人1使手部3伸縮以將基板2從收納位置搬出。此時(shí)，在收納位置裝設(shè)基板2時(shí)的機(jī)器人1的狀態(tài)處于如圖8的實(shí)線所示的狀態(tài)。即，此時(shí)，手部3相對(duì)于基板2的搬出方向與基板2的傾斜相同程度地傾斜。另外，機(jī)器人1在搬出基板2后，使電動(dòng)機(jī)25啟動(dòng)，以使第二旋轉(zhuǎn)部21朝與剛才的移動(dòng)方向相反的方向移動(dòng)，并使旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9朝與剛才的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反的方向轉(zhuǎn)動(dòng)規(guī)定量。然后，機(jī)器人1使手部3伸縮以將基板2搬入作業(yè)位置。這樣，在本實(shí)施方式中，根據(jù)基板2的傾斜使旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9相對(duì)于基臺(tái)8轉(zhuǎn)動(dòng)規(guī)定量，并在使第二旋轉(zhuǎn)部21相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)部20移動(dòng)的狀態(tài)下，從收納位置搬出基板2，然后，在使旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9朝相反的方向轉(zhuǎn)動(dòng)規(guī)定量，并使第二旋轉(zhuǎn)部21朝相反的方向移動(dòng)后，將基板2搬入作業(yè)位置，因此，在與基板2的搬出方向正交的方向上的位置偏移被抑制的狀態(tài)下將基板2搬入作業(yè)位置時(shí)，收納于收納位置的基板2的傾斜被修正了。在通過(guò)基板2的傾斜檢測(cè)動(dòng)作檢測(cè)出基板2的傾斜的情況下，使旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9相對(duì)于基臺(tái)8轉(zhuǎn)動(dòng)，另外，也可使第二旋轉(zhuǎn)部21相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)部20轉(zhuǎn)動(dòng)并使臂4伸縮。(本實(shí)施方式的主要效果)如上所述，本實(shí)施方式的機(jī)器人1包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)10，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)10使柱狀構(gòu)件7相對(duì)于基臺(tái)8在與手部3的移動(dòng)方向正交的方向上相對(duì)移動(dòng)。因此，當(dāng)檢測(cè)出基板2的傾斜時(shí)，若使柱狀構(gòu)件7相對(duì)于基臺(tái)8相對(duì)移動(dòng)并使旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9相對(duì)于基臺(tái)8轉(zhuǎn)動(dòng)，則能抑制搬入的基板2的位置偏移并能修正該基板2的傾斜。即，即使未包括用于使基臺(tái)8在水平方向上移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，也能抑制搬入的基板2的位置偏移并能修正該基板2的傾斜。另外，在本實(shí)施方式中，由于移動(dòng)機(jī)構(gòu)10使柱狀構(gòu)件7相對(duì)于基臺(tái)8相對(duì)移動(dòng)，因此，即便機(jī)器人1是雙臂型機(jī)器人，也無(wú)需配置兩個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)10。因此，能簡(jiǎn)化機(jī)器人1的結(jié)構(gòu)。此外，在本實(shí)施方式中，在支承構(gòu)件6上支承有臂4，移動(dòng)機(jī)構(gòu)10使對(duì)支承構(gòu)件6進(jìn)行支承的柱狀構(gòu)件7相對(duì)于基臺(tái)8相對(duì)移動(dòng)，因此，當(dāng)柱狀構(gòu)件7相對(duì)于基臺(tái)8相對(duì)移動(dòng)時(shí)，柱狀構(gòu)件7與臂4不會(huì)干涉。因此，在本實(shí)施方式中，能確保柱狀構(gòu)件7的移動(dòng)量，且即便要搬入的基板2的傾斜較大，也能恰當(dāng)?shù)匦拚?的傾斜。
這樣，在本實(shí)施方式中，即使在機(jī)器人1包括能將對(duì)臂4進(jìn)行支承的支承構(gòu)件6支承成能在上下方向上移動(dòng)的柱狀構(gòu)件7的情況下，也能以較簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)抑制要搬入的基板2的位置偏移并能恰當(dāng)?shù)匦拚摶?的傾斜。另外，在本實(shí)施方式中，在基板2未傾斜但在與基板2的搬出方向正交的方向上引起位置偏移的情況下，能通過(guò)使柱狀構(gòu)件7相對(duì)于基臺(tái)8移動(dòng)來(lái)修正該位置偏移。此外，在本實(shí)施方式中，通過(guò)利用移動(dòng)機(jī)構(gòu)10使柱狀構(gòu)件7相對(duì)于基臺(tái)8移動(dòng)，能修正機(jī)器人1的設(shè)置誤差、組裝誤差。因此，能容易地進(jìn)行機(jī)器人1的設(shè)置、組裝。在本實(shí)施方式中，移動(dòng)機(jī)構(gòu)10配置于第一旋轉(zhuǎn)部20與第二旋轉(zhuǎn)部21之間。另外，從柱狀構(gòu)件7開(kāi)始與旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9大致平行地延伸的臂支承部16的基端側(cè)配置于柱狀構(gòu)件7側(cè)，臂4支承于臂支承部16的前端側(cè)。因此，能將移動(dòng)機(jī)構(gòu)10配置于由第二旋轉(zhuǎn)部21、柱狀構(gòu)件7、支承構(gòu)件6、臂4及手部3等構(gòu)成的結(jié)構(gòu)體的重心的下側(cè)。所以，能抑制對(duì)直線引導(dǎo)件觀作用過(guò)大的外力。在本實(shí)施方式中，從上下方向觀察時(shí)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)10在臂支承部16的長(zhǎng)邊方向上配置于柱狀構(gòu)件7與臂4的基端之間。因此，能在容易成為死角的柱狀構(gòu)件7與臂4的基端之間沿上下方向重疊地配置第一旋轉(zhuǎn)部20的基端側(cè)和第二旋轉(zhuǎn)部21的連結(jié)部21b，并能配置移動(dòng)機(jī)構(gòu)10。因此，第一旋轉(zhuǎn)部20的基端側(cè)和第二旋轉(zhuǎn)部21的連結(jié)部21b被配置成在上下方向上重疊，另外，即使在第一旋轉(zhuǎn)部20與第二旋轉(zhuǎn)部21之間配置有移動(dòng)機(jī)構(gòu)10，也能使機(jī)器人1小型化。(其他實(shí)施方式)上述實(shí)施方式是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的一例，但并不限定于此，能在不改變本發(fā)明思想的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形。在上述實(shí)施方式中，電動(dòng)機(jī)25固定于第二旋轉(zhuǎn)部21的連結(jié)部21b的內(nèi)部，螺母構(gòu)件27通過(guò)支架32固定于第一旋轉(zhuǎn)部20。除此之外，例如圖9所示，也可在第一旋轉(zhuǎn)部20的前端側(cè)的內(nèi)部固定有電動(dòng)機(jī)25，在第二旋轉(zhuǎn)部21的內(nèi)部固定有螺母構(gòu)件27。在上述實(shí)施方式中，移動(dòng)機(jī)構(gòu)10配置于第一旋轉(zhuǎn)部20與第二旋轉(zhuǎn)部21之間。除此之外，例如圖10所示，移動(dòng)機(jī)構(gòu)10也可配置于柱狀構(gòu)件7的下端(即第一柱部17的下端)與旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9之間。S卩，移動(dòng)機(jī)構(gòu)10也可配置于柱狀構(gòu)件7與旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9的連結(jié)部。在該情況下，無(wú)需由第一旋轉(zhuǎn)部20和第二旋轉(zhuǎn)部21這兩個(gè)構(gòu)件構(gòu)成旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9如圖10所示由一個(gè)構(gòu)件構(gòu)成。另外，在該情況下，例如，電動(dòng)機(jī)25固定于旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9的內(nèi)部，螺母構(gòu)件27固定于第一柱部17的下端。此外，例如，導(dǎo)軌33固定于旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9的前端側(cè)上表面，引導(dǎo)體34固定于第一柱部17的下端。在上述實(shí)施方式中，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9的長(zhǎng)邊方向相對(duì)于臂支承部16的長(zhǎng)邊方向略微傾斜，第二旋轉(zhuǎn)部21相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)部20在臂支承部16的長(zhǎng)邊方向上直線狀地相對(duì)移動(dòng)。除此之外，例如圖11所示，也可將移動(dòng)機(jī)構(gòu)10配置成使第二旋轉(zhuǎn)部21相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)部20朝與臂支承部16的長(zhǎng)邊方向略微傾斜的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9的長(zhǎng)邊方向(箭頭V的方向)相對(duì)移動(dòng)。另外，還可將移動(dòng)機(jī)構(gòu)10配置成使第二旋轉(zhuǎn)部21相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)部20朝旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9的長(zhǎng)邊方向以外的方向且與手部3的移動(dòng)方向不一致的方向(例如，相對(duì)于手部3的移動(dòng)方向傾斜規(guī)定角度的方向)相對(duì)移動(dòng)。在上述實(shí)施方式中，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9的長(zhǎng)邊方向相對(duì)于臂支承部16的長(zhǎng)邊方向略微傾斜。除此之外，例如圖12所示，從上下方向觀察時(shí)，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9的第一旋轉(zhuǎn)部20形成為將與臂支承部16的長(zhǎng)邊方向平行的方向作為長(zhǎng)邊方向的大致長(zhǎng)方形。在該情況下，第二旋轉(zhuǎn)部21的從上下方向觀察時(shí)的形狀例如為兩次折曲的臺(tái)階狀，連結(jié)部21b配置于第一旋轉(zhuǎn)部20的前端側(cè)的上側(cè)。也可以旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9整體的長(zhǎng)邊方向與臂支承部16的長(zhǎng)邊方向平行的方式形成旋轉(zhuǎn)構(gòu)件9。在上述實(shí)施方式中，主體部5不能在水平方向上移動(dòng)，但主體部5也可形成為能在水平方向上移動(dòng)。即，如圖13、圖14所示，機(jī)器人1也可包括將基臺(tái)8支承成能在水平方向(例如左右方向)上移動(dòng)的底座構(gòu)件40 ；以及使基臺(tái)8相對(duì)于底座構(gòu)件40在水平方向上移動(dòng)的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)。在上述實(shí)施方式中，支承構(gòu)件6包括臂支承部16，臂4的基端側(cè)支承于臂支承部16的前端側(cè)。除此之外，例如，也可使支承構(gòu)件6由升降部15構(gòu)成，使臂4的基端側(cè)支承于升降部15。另外，在上述實(shí)施方式中，移動(dòng)機(jī)構(gòu)10包括旋轉(zhuǎn)型電動(dòng)機(jī)25、滾珠螺桿沈及螺母構(gòu)件27，但移動(dòng)機(jī)構(gòu)10也可以是線性電動(dòng)機(jī)。在上述實(shí)施方式中，第二柱部18能相對(duì)于第一柱部17在上下方向上移動(dòng)。除此之外，例如，也可在第一柱部17的規(guī)定位置固定第二柱部18。在該情況下，只有保持于第二柱部18的升降部15在上下方向上移動(dòng)。另外，在上述實(shí)施方式中，柱狀構(gòu)件7包括第一柱部17和第二柱部18，但柱狀構(gòu)件7也可由一個(gè)柱部構(gòu)成。在該情況下，升降部15以能在上下方向上移動(dòng)的方式保持于該柱部。在上述實(shí)施方式中，臂4由第一臂部13和第二臂部14這兩個(gè)臂部構(gòu)成，但臂4也可由三個(gè)以上的臂部構(gòu)成。另外，在上述實(shí)施方式中，機(jī)器人1是包括兩個(gè)手部3及兩個(gè)臂4等的所謂雙臂型機(jī)器人，但機(jī)器人1也可以是包括一個(gè)手部3及一個(gè)臂4等的單臂型機(jī)器人。另外，在上述實(shí)施方式中，被機(jī)器人1搬運(yùn)的搬運(yùn)對(duì)象物是基板2，但被機(jī)器人1搬運(yùn)的搬運(yùn)對(duì)象物也可以是基板2以外的半導(dǎo)體薄片等。
權(quán)利要求
1.一種工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，包括手部，該手部供搬運(yùn)對(duì)象物裝設(shè)；臂，該臂供所述手部連結(jié)；支承構(gòu)件，該支承構(gòu)件對(duì)所述臂進(jìn)行支承；柱狀構(gòu)件，該柱狀構(gòu)件將所述支承構(gòu)件支承成能在上下方向上移動(dòng)；基臺(tái)；旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，該旋轉(zhuǎn)構(gòu)件對(duì)所述柱狀構(gòu)件的下端進(jìn)行支承并能相對(duì)于所述基臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述柱狀構(gòu)件相對(duì)于所述基臺(tái)在與上下方向正交的規(guī)定方向上相對(duì)移動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件形成為從所述基臺(tái)朝所述柱狀構(gòu)件延伸的細(xì)長(zhǎng)塊狀，并包括以能轉(zhuǎn)動(dòng)的方式保持于所述基臺(tái)上的第一旋轉(zhuǎn)部；以及供所述柱狀構(gòu)件的下端固定的第二旋轉(zhuǎn)部，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)配置于所述第一旋轉(zhuǎn)部與所述第二旋轉(zhuǎn)部之間，所述第二旋轉(zhuǎn)部能相對(duì)于所述第一旋轉(zhuǎn)部直線狀地相對(duì)移動(dòng)。
3.如權(quán)利要求2所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，所述支承構(gòu)件包括從所述柱狀構(gòu)件開(kāi)始與所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件大致平行地延伸的細(xì)長(zhǎng)塊狀的臂支承部，所述臂支承部的基端側(cè)配置于所述柱狀構(gòu)件側(cè)，所述臂支承于所述臂支承部的前端側(cè)。
4.如權(quán)利要求3所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，從上下方向觀察時(shí)，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)在所述臂支承部的長(zhǎng)邊方向上配置于所述柱狀構(gòu)件與所述臂的基端之間。
5.如權(quán)利要求1所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)配置于所述柱狀構(gòu)件的下端與所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件之間。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電動(dòng)機(jī)；與所述電動(dòng)機(jī)的輸出軸連結(jié)的螺釘構(gòu)件；具有與所述螺釘構(gòu)件的陽(yáng)螺紋部螺合的陰螺紋部的螺母構(gòu)件；以及直線引導(dǎo)件。
7.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，所述工業(yè)用機(jī)器人包括水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述基臺(tái)在與上下方向正交的規(guī)定方向上移動(dòng)。
8.如權(quán)利要求6所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，所述工業(yè)用機(jī)器人包括水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述基臺(tái)在與上下方向正交的規(guī)定方向上移動(dòng)。
全文摘要
一種工業(yè)用機(jī)器人，即便在包括將對(duì)臂進(jìn)行支承的支承構(gòu)件支承成能在上下方向上移動(dòng)的柱狀構(gòu)件的情況下，也能以較簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)來(lái)抑制搬入的搬運(yùn)對(duì)象物的位置偏移并恰當(dāng)?shù)匦拚摪徇\(yùn)對(duì)象物的傾斜。工業(yè)用機(jī)器人(1)包括手部(3)，該手部(3)供搬運(yùn)對(duì)象物裝設(shè)；臂(4)，該臂(4)供手部(3)連結(jié)；支承構(gòu)件(6)，該支承構(gòu)件(6)對(duì)臂(4)進(jìn)行支承；柱狀構(gòu)件(7)，該柱狀構(gòu)件(7)將支承構(gòu)件(6)支承成能在上下方向上移動(dòng)；基臺(tái)(8)；旋轉(zhuǎn)構(gòu)件(9)，該旋轉(zhuǎn)構(gòu)件(9)對(duì)柱狀構(gòu)件(7)的下端進(jìn)行支承并能相對(duì)于基臺(tái)(8)轉(zhuǎn)動(dòng)；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)(10)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)(10)使柱狀構(gòu)件(7)相對(duì)于基臺(tái)(8)在與上下方向正交的規(guī)定方向上相對(duì)移動(dòng)。
文檔編號(hào)B25J9/08GK102380872SQ20111020639
公開(kāi)日2012年3月21日 申請(qǐng)日期2011年7月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月16日
發(fā)明者矢澤隆之, 荒川洋 申請(qǐng)人:日本電產(chǎn)三協(xié)株式會(huì)社