工業(yè)用機(jī)器人的制作方法
【專利說明】工業(yè)用機(jī)器人
[0001]本發(fā)明專利申請是國際申請?zhí)枮镻CT/JP2008/002319，國際申請日為2008年8月27日，進(jìn)入中國國家階段的申請?zhí)枮?00880105098.X，名稱為“工業(yè)用機(jī)器人”的發(fā)明專利申請的分案申請。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明涉及一種搬運規(guī)定搬運對象物的工業(yè)用機(jī)器人。
【背景技術(shù)】
[0003]一直以來，從收納有搬運對象物的收納部搬出搬運對象物、并朝收納部搬入搬運對象物的工業(yè)用機(jī)器人得到了廣泛使用。作為這種工業(yè)用機(jī)器人，已知有從作為收納部的真空室搬出作為搬運對象物的半導(dǎo)體晶片等基板、并朝真空室搬入基板的基板搬運機(jī)器人(例如參照專利文獻(xiàn)I和2)。
[0004]專利文獻(xiàn)I所記載的基板搬運機(jī)器人包括:大致L形的第一臂，其頂點部分能轉(zhuǎn)動地保持于收納有驅(qū)動部的驅(qū)動箱；第二臂和第三臂，其一端側(cè)分別能轉(zhuǎn)動地保持于第一臂的兩端；以及基板保持部(手)，其能轉(zhuǎn)動地保持于第二臂和第三臂各自的另一端側(cè)。
[0005]上述基板搬運機(jī)器人包括用于單獨地驅(qū)動第一臂?第三臂的三個電動機(jī)，在手相對于第二臂轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動中心與手相對于第三臂轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動中心重疊的狀態(tài)下，第一臂?第三臂相對于驅(qū)動箱回轉(zhuǎn)。因此，上述基板搬運機(jī)器人可減小回轉(zhuǎn)直徑。另外，上述基板搬運機(jī)器人構(gòu)成為一個手只裝載一片基板，在一次搬入動作或搬出動作中只搬運一片基板。
[0006]另外，專利文獻(xiàn)2所記載的基板搬運機(jī)器人也與專利文獻(xiàn)I所記載的基板搬運機(jī)器人大致同樣地構(gòu)成。
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開平10 - 163296號公報
[0008]專利文獻(xiàn)2:日本專利特開平7 - 171778號公報
[0009]發(fā)明的公開
[0010]發(fā)明所要解決的技術(shù)問題
[0011]近年來，為了實現(xiàn)生產(chǎn)率的提高，要求工業(yè)用機(jī)器人在一次搬入動作或搬出動作中搬運多片基板。然而，專利文獻(xiàn)I或2所記載的基板搬運機(jī)器人在一次搬入動作或搬出動作中只搬運一片基板。即，在專利文獻(xiàn)I或2中未公開能減小回轉(zhuǎn)直徑并能在一次搬入動作或搬出動作中搬運多片基板的工業(yè)用機(jī)器人的具體結(jié)構(gòu)。
[0012]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能減小回轉(zhuǎn)直徑、并能在一次搬入動作或搬出動作中搬運多個搬運對象物的工業(yè)用機(jī)器人的具體結(jié)構(gòu)。
[0013]解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案
[0014]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明工業(yè)用機(jī)器人從收納有搬運對象物的收納部搬出搬運對象物和朝收納部搬入搬運對象物，其特征是，包括:裝載多個搬運對象物的第一手和第二手、將第一手能轉(zhuǎn)動地保持于一端側(cè)的第一臂和將第二手能轉(zhuǎn)動地保持于一端側(cè)的第二臂、將第一臂的另一端側(cè)和第二臂的另一端側(cè)能轉(zhuǎn)動地保持的共用臂、作為第一臂相對于共用臂轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動中心的第一轉(zhuǎn)動中心部和作為第二臂相對于共用臂轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動中心的第二轉(zhuǎn)動中心部、以及將共用臂能轉(zhuǎn)動地保持的主體部，在第一臂和第二臂相對于主體部收縮的狀態(tài)、即第一手和第二手的待機(jī)狀態(tài)下，第一手與第二手重疊配置，并且，在第一手和第二手上形成有用于防止轉(zhuǎn)動時與第一轉(zhuǎn)動中心部和第二轉(zhuǎn)動中心部產(chǎn)生干涉的避讓部。
[0015]本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人包括:第一手，該第一手保持在另一端側(cè)保持于共用臂的第一臂的一端側(cè)；以及第二手，該第二手保持在另一端側(cè)保持于共用臂的第二臂的一端側(cè)，在第一手和第二手的待機(jī)狀態(tài)下，第一手與第二手重疊配置。因此，本發(fā)明中，通過設(shè)置分別單獨驅(qū)動共用臂、第一臂和第二臂的驅(qū)動源，并在第一手和第二手的待機(jī)狀態(tài)下進(jìn)行工業(yè)用機(jī)器人的回轉(zhuǎn)動作，可減小共用臂、第一臂和第二臂等的回轉(zhuǎn)直徑(即工業(yè)用機(jī)器人的回轉(zhuǎn)直徑)。
[0016]另外，本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人包括裝載多個搬運對象物的第一手和第二手，在第一手和第二手上形成有用于防止轉(zhuǎn)動時與第一轉(zhuǎn)動中心部和第二轉(zhuǎn)動中心部產(chǎn)生干涉的避讓部。因此，即使為了在一次搬入動作或搬出動作中搬運多個搬運對象物而使第一手和第二手大型化時，也能順利地進(jìn)行第一手和第二手等的動作。其結(jié)果是，本發(fā)明中，可在一次搬入動作或搬出動作中搬運多個搬運對象物。
[0017]在本發(fā)明中，較為理想的是，共用臂形成為從第一臂或第二臂相對于共用臂轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動中心的軸向觀察時呈大致三角形，第一轉(zhuǎn)動中心部和第二轉(zhuǎn)動中心部分別配置在共用臂的不同角部的附近。這樣構(gòu)成時，可提高共用臂的剛性，并可在共用臂上平衡地配置第一臂和第二臂。
[0018]在本發(fā)明中，較為理想的是，第一手和第二手在待機(jī)狀態(tài)下靠近地相對。這樣構(gòu)成時，可實現(xiàn)工業(yè)用機(jī)器人的薄型化。
[0019]在本發(fā)明中，較為理想的是，第一手和第二手包括:用于逐片裝載搬運對象物的第一裝載部和第二裝載部、以及固定第一裝載部的基端側(cè)和第二裝載部的基端側(cè)的固定部，第一裝載部和第二裝載部以在與搬運對象物的搬運方向正交的正交方向上空開規(guī)定間隔的狀態(tài)固定于固定部，在正交方向上的第一裝載部和第二裝載部的外側(cè)形成有避讓部。這樣構(gòu)成時，第一裝載部和第二裝載部以在正交方向上空開規(guī)定間隔的狀態(tài)固定于固定部，因此，即使在收納有裝載(或要裝載)在第一裝載部上的搬運對象物的收納部與收納有裝載(或要裝載)在第二裝載部上的搬運對象物的收納部之間存在分隔物時，也能適當(dāng)?shù)匕岢龌虬崛氚徇\對象物。
[0020]另外，為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人從收納有搬運對象物的收納部搬出搬運對象物和朝收納部搬入搬運對象物，其特征是，包括:裝載多個搬運對象物的第一手和第二手、將第一手能轉(zhuǎn)動地保持于一端側(cè)的第一臂和將第二手能轉(zhuǎn)動地保持于一端側(cè)的第二臂、將第一臂的另一端側(cè)和第二臂的另一端側(cè)能轉(zhuǎn)動地保持的共用臂、作為第一臂相對于共用臂轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動中心的第一轉(zhuǎn)動中心部和作為第二臂相對于共用臂轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動中心的第二轉(zhuǎn)動中心部、以及將共用臂能轉(zhuǎn)動地保持的主體部，在第一臂和第二臂相對于主體部收縮的狀態(tài)、即第一手和第二手的待機(jī)狀態(tài)下，第一手和第二手從上側(cè)起依次重疊配置，并且，在第二手上形成有用于防止轉(zhuǎn)動時與第一轉(zhuǎn)動中心部產(chǎn)生干涉的避讓部。
[0021]本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人包括:第一手，該第一手保持在另一端側(cè)保持于共用臂的第一臂的一端側(cè)；以及第二手，該第二手保持在另一端側(cè)保持于共用臂的第二臂的一端側(cè)，在第一手和第二手的待機(jī)狀態(tài)下，第一手與第二手重疊配置。因此，通過設(shè)置分別單獨驅(qū)動共用臂、第一臂和第二臂的驅(qū)動源，并在第一手和第二手的待機(jī)狀態(tài)下進(jìn)行工業(yè)用機(jī)器人的回轉(zhuǎn)動作，可減小共用臂、第一臂和第二臂等的回轉(zhuǎn)直徑。
[0022]另外，本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人包括裝載多個搬運對象物的第一手和第二手，第一手和第二手從上側(cè)起依次重疊。另外，在配置于下側(cè)的第二手上形成有用于防止轉(zhuǎn)動時與第一轉(zhuǎn)動中心部產(chǎn)生干涉的避讓部。因此，即使為了在一次搬入動作或搬出動作中搬運多個搬運對象物而使第一手和第二手大型化時，也能順利地進(jìn)行第一手和第二手等的動作。其結(jié)果是，本發(fā)明中，可在一次搬入動作或搬出動作中搬運多個搬運對象物。
[0023]發(fā)明效果
[0024]如上所述，本發(fā)明所涉及的工業(yè)用機(jī)器人能減小回轉(zhuǎn)直徑，并能在一次搬入動作或搬出動作中搬運多個搬運對象物。
【附圖說明】
[0025]圖1是表示本發(fā)明的實施方式所涉及的工業(yè)用機(jī)器人的俯視圖。
[0026]圖2是從圖1的E — E方向表示工業(yè)用機(jī)器人的側(cè)視圖。
[0027]圖3是從圖1的F — F方向表示工業(yè)用機(jī)器人的側(cè)視圖。
[0028]圖4是表示裝有圖1所示的工業(yè)用機(jī)器人的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0029]圖5是圖1所示的共用臂的俯視圖。
[0030]圖6是用于說明圖1所示的工業(yè)用機(jī)器人的動力傳遞機(jī)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)的概念圖。
[0031]圖7是圖1所示的第一手的俯視圖。
[0032]圖8是用于說明圖1所示的工業(yè)用機(jī)器人的概略動作的圖，圖8(A)表示工業(yè)用機(jī)器人的返回原點狀態(tài)，圖8(B)表示工業(yè)用機(jī)器人的第一臂部伸縮動作時的狀態(tài)。
[0033](符號說明)
[0034]I機(jī)器人(工業(yè)用機(jī)器人)
[0035]2晶片(搬運對象物)
[0036]3 第一手
[0037]4 第二手
[0038]5 第一臂
[0039]6 第二臂
[0040]7共用臂
[0041]7b 角部
[0042]8主體部
[0043]13交接室(收納部)
[0044]14處理室(收納部)
[0045]18第一裝載部
[0046]19第二裝載部
[0047]20固定部
[0048]31第一轉(zhuǎn)動中心部
[0049]41第二轉(zhuǎn)