1.一種晶圓溢膠修邊設(shè)備，其特征在于：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓溢膠修邊設(shè)備，其特征在于：所述移動裝置為xy移動組件，xy移動組件用于帶動刀具裝置沿著xy方向進(jìn)行往復(fù)運動；所述旋轉(zhuǎn)吸附裝置還包括吸附平臺、載臺旋轉(zhuǎn)組件和真空吸附組件；所述晶圓載臺可轉(zhuǎn)動地安裝于吸附平臺頂部，所述載臺旋轉(zhuǎn)組件用于驅(qū)動晶圓載臺轉(zhuǎn)動；所述真空吸附組件包括連通于晶圓載臺頂面的真空管路。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓溢膠修邊設(shè)備，其特征在于：所述刀具裝置的旋轉(zhuǎn)組件包括安裝板、旋轉(zhuǎn)座、水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器、刀具安裝座和傾斜旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器；所述安裝板安裝連接于所述移動裝置，所述旋轉(zhuǎn)座和水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器均安裝于安裝板上，水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器驅(qū)動旋轉(zhuǎn)座在安裝板上水平轉(zhuǎn)動；所述傾斜旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器和刀具安裝座均安裝于旋轉(zhuǎn)座上，傾斜旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器驅(qū)動刀具安裝座在旋轉(zhuǎn)座上相對水平面傾斜轉(zhuǎn)動；所述浮動刀頭組件安裝于刀具安裝座上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓溢膠修邊設(shè)備，其特征在于：所述浮動刀頭組件包括刀頭、刀頭座和刀頭彈簧；所述刀頭可拆地安裝于刀頭座靠近晶圓載臺的一端，刀頭座的另一端能夠往復(fù)滑動地安裝限位于刀具安裝座上，并且刀頭座遠(yuǎn)離刀頭的端面和刀具安裝座之間設(shè)置所述刀頭彈簧。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓溢膠修邊設(shè)備，其特征在于：還包括抽屑裝置，該抽屑裝置包括擋屑罩、抽屑盒、抽吸組件和升降組件；所述擋屑罩罩設(shè)于浮動刀頭組件刀頭遠(yuǎn)離晶圓載臺的一側(cè)而形成導(dǎo)屑腔，并且所述導(dǎo)屑腔底部開口，同時刀頭內(nèi)部具有通孔連通導(dǎo)屑腔；所述抽屑盒頂部敞口形成集屑槽，集屑槽位于浮動刀頭組件和晶圓接觸的修邊點下方；所述抽吸組件具有連通于集屑槽的抽吸通道；所述升降組件驅(qū)動抽屑盒上下升降。
6.一種晶圓溢膠修邊方法，其特征在于：采用如權(quán)利要求1-5任一項所述的修邊設(shè)備對晶圓的溢膠進(jìn)行修邊，包括如下步驟：
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶圓溢膠修邊方法，其特征在于：所述修邊方法還包括步驟8：刀具磨損檢測；通過刀具裝置的旋轉(zhuǎn)組件調(diào)整浮動刀頭組件的角度，同時移動裝置將刀具裝置移動到視覺定位組件的上方，視覺定位組件對浮動刀頭組件的刀頭進(jìn)行視覺檢測，判斷刀頭的磨損程度；檢測結(jié)束后，移動裝置和刀具裝置復(fù)位到初始位置，并根據(jù)磨損程度提示是否需要對刀頭進(jìn)行更換。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶圓溢膠修邊方法，其特征在于：所述步驟2晶圓定位中，視覺定位組件對晶圓下表面無溢膠的邊緣進(jìn)行多次視覺檢測，以獲得多個晶圓圓心坐標(biāo)；具體的，每次視覺檢測后就利用晶圓載臺帶動晶圓轉(zhuǎn)動預(yù)定的角度后再進(jìn)行下一次的視覺檢測；最后，取多個晶圓圓心坐標(biāo)的平均值，作為最終的晶圓圓心坐標(biāo)。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶圓溢膠修邊方法，其特征在于：在執(zhí)行步驟6之前，調(diào)整浮動刀頭組件的傾斜角度，隨后重復(fù)步驟2到步驟5，實現(xiàn)對晶圓的邊緣溢膠的內(nèi)修；所述修邊設(shè)備還包括抽屑裝置；在步驟5和步驟6中，抽屑裝置同步工作對修除的膠屑進(jìn)行抽吸。