本發(fā)明涉及波紋管安裝，尤其涉及一種波紋管輔助安裝裝置和波紋管。

背景技術(shù)：

1、目前，半導(dǎo)體反應(yīng)腔內(nèi)有升降動作的部件都需要通過金屬波紋管連接，由于金屬波紋管是柔性的，在自由狀態(tài)下不能保持豎直狀態(tài)和固定的長度，波紋管在安裝過程中會發(fā)生任意長度的伸縮，尤其是波紋管在進(jìn)行豎向安裝的情況下，有時候需要至少兩個人互相配合才能完成安裝，即其中一人負(fù)責(zé)將波紋管扶穩(wěn)，使波紋管保持穩(wěn)定狀態(tài)和固定的長度，另一人負(fù)責(zé)將緊固螺釘，整個波紋管的安裝非常不便。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明實施例提供一種波紋管輔助安裝裝置和波紋管，解決波紋管安裝不便的問題。

2、第一方面，本發(fā)明實施例提供了一種波紋管輔助安裝裝置，其包括：

3、第一支撐件，其兩端分別為第一端和第二端，所述第一端上設(shè)有波紋管上端固定部；

4、第二支撐件，其兩端分別為第三端和第四端，所述第三端上設(shè)有波紋管下端固定部，所述第四端與所述第二端可拆卸連接，所述第三端與所述第一端彼此遠(yuǎn)離。

5、在本發(fā)明實施例提供的波紋管輔助安裝裝置中，所述波紋管輔助安裝裝置還包括調(diào)節(jié)組件，所述第一支撐件的第二端沿軸向設(shè)有伸縮通道，所述第二支撐件的第四端可活動地穿設(shè)于所述伸縮通道中，所述調(diào)節(jié)組件設(shè)于所述第一支撐件的第二端且與所述第二支撐件的第四端連接。

6、在本發(fā)明實施例提供的波紋管輔助安裝裝置中，所述調(diào)節(jié)組件包括調(diào)節(jié)螺母，所述調(diào)節(jié)螺母套設(shè)于所述第一支撐件的第二端且相對于所述第一支撐件的第二端可轉(zhuǎn)動，所述第二支撐件的第四端穿設(shè)于所述調(diào)節(jié)螺母與其螺紋連接。

7、在本發(fā)明實施例提供的波紋管輔助安裝裝置中，所述調(diào)節(jié)組件還包括鎖緊件，所述調(diào)節(jié)螺母朝向所述第一支撐件的一側(cè)凹設(shè)有活動槽，所述第一支撐件的第二端收容于所述活動槽中，所述調(diào)節(jié)螺母沿其徑向設(shè)有貫穿至所述活動槽的調(diào)節(jié)孔，所述鎖緊件可活動地穿設(shè)于所述調(diào)節(jié)孔內(nèi)且延伸至所述活動槽中與第一支撐件的第二端的側(cè)壁抵接。

8、在本發(fā)明實施例提供的波紋管輔助安裝裝置中，所述第一支撐件的第二端的側(cè)壁上凹設(shè)有限位凹緣，所述鎖緊件延伸至所述限位凹緣中。

9、在本發(fā)明實施例提供的波紋管輔助安裝裝置中，所述鎖緊件與所述調(diào)節(jié)孔螺紋連接。

10、在本發(fā)明實施例提供的波紋管輔助安裝裝置中，所述波紋管輔助安裝裝置還包括擋圈，所述擋圈分別環(huán)設(shè)于所述波紋管上固定部和所述波紋管下固定部。

11、在本發(fā)明實施例提供的波紋管輔助安裝裝置中，所述波紋管上固定部和所述波紋管下固定部兩者的側(cè)壁上均設(shè)有環(huán)槽，所述擋圈的內(nèi)側(cè)嵌設(shè)于所述環(huán)槽中且相對于所述環(huán)槽可轉(zhuǎn)動。

12、第二方面，本發(fā)明實施例提供了一種波紋管，該波紋管包括本發(fā)明實施例提供的任意一種所述的波紋管輔助安裝裝置。

13、在本發(fā)明實施例提供的波紋管中，所述波紋管的兩端均設(shè)有安裝法蘭，所述安裝法蘭上設(shè)有過孔，所述波紋管上固定部可活動地穿設(shè)于所述波紋管一端的所述安裝法蘭的所述過孔并伸出所述過孔外，所述波紋管下固定部可活動地穿設(shè)于所述波紋管另一端的所述安裝法蘭的所述過孔并伸出所述過孔外，所述第一支撐件的第一端與所述波紋管上固定部螺紋連接，所述第二支撐件的第三端與所述波紋管下固定部螺紋連接。

14、本發(fā)明實施例提供一種波紋管輔助安裝裝置和波紋管，所述波紋管輔助安裝裝置包括第一支撐件和第二支撐件；所述第一支撐件其兩端分別為第一端和第二端，所述第一端上設(shè)有波紋管上端固定部；所述第二支撐件其兩端分別為第三端和第四端，所述第三端上設(shè)有波紋管下端固定部，所述第四端與所述第二端可拆卸連接，所述第三端與所述第一端彼此遠(yuǎn)離。本申請?zhí)峁┑牟y管輔助安裝裝置通過第一支撐件的波紋管上端固定部和第二支撐件的波紋管下端固定部分別各自與波紋管的兩端進(jìn)行連接固定，將第一支撐件與第二支撐件設(shè)置為可拆卸連接，通過第二支撐件第四端與第一支撐件第二端進(jìn)行連接，使第一支撐件的第一端和第二支撐件第三端分別支撐著波紋管兩端，進(jìn)而使波紋管兩端的相對位置保持固定，限制了波紋管的伸縮，使得波紋管的安裝更加便捷。

技術(shù)特征：

1.一種波紋管輔助安裝裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波紋管輔助安裝裝置，其特征在于，所述波紋管輔助安裝裝置還包括調(diào)節(jié)組件，所述第一支撐件的第二端沿軸向設(shè)有伸縮通道，所述第二支撐件的第四端可活動地穿設(shè)于所述伸縮通道中，所述調(diào)節(jié)組件設(shè)于所述第一支撐件的第二端且與所述第二支撐件的第四端連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的波紋管輔助安裝裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)組件包括調(diào)節(jié)螺母，所述調(diào)節(jié)螺母套設(shè)于所述第一支撐件的第二端且相對于所述第一支撐件的第二端可轉(zhuǎn)動，所述第二支撐件的第四端穿設(shè)于所述調(diào)節(jié)螺母與其螺紋連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的波紋管輔助安裝裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)組件還包括鎖緊件，所述調(diào)節(jié)螺母朝向所述第一支撐件的一側(cè)凹設(shè)有活動槽，所述第一支撐件的第二端收容于所述活動槽中，所述調(diào)節(jié)螺母沿其徑向設(shè)有貫穿至所述活動槽的調(diào)節(jié)孔，所述鎖緊件可活動地穿設(shè)于所述調(diào)節(jié)孔內(nèi)且延伸至所述活動槽中與第一支撐件的第二端的側(cè)壁抵接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的波紋管輔助安裝裝置，其特征在于，所述第一支撐件的第二端的側(cè)壁上凹設(shè)有限位凹緣，所述鎖緊件延伸至所述限位凹緣中。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的波紋管輔助安裝裝置，其特征在于，所述鎖緊件與所述調(diào)節(jié)孔螺紋連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的波紋管輔助安裝裝置，其特征在于，所述波紋管輔助安裝裝置還包括擋圈，所述擋圈分別環(huán)設(shè)于所述波紋管上固定部和所述波紋管下固定部。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的波紋管輔助安裝裝置，其特征在于，所述波紋管上固定部和所述波紋管下固定部兩者的側(cè)壁上均設(shè)有環(huán)槽，所述擋圈的內(nèi)側(cè)嵌設(shè)于所述環(huán)槽中且相對于所述環(huán)槽可轉(zhuǎn)動。

9.一種波紋管，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-8任一項所述的波紋管輔助安裝裝置。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的波紋管，其特征在于，所述波紋管的兩端均設(shè)有安裝法蘭，所述安裝法蘭上設(shè)有過孔，所述波紋管上固定部可活動地穿設(shè)于所述波紋管一端的所述安裝法蘭的所述過孔并伸出所述過孔外，所述波紋管下固定部可活動地穿設(shè)于所述波紋管另一端的所述安裝法蘭的所述過孔并伸出所述過孔外，所述第一支撐件的第一端與所述波紋管上固定部螺紋連接，所述第二支撐件的第三端與所述波紋管下固定部螺紋連接。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種波紋管輔助安裝裝置和波紋管，波紋管輔助安裝裝置包括第一支撐件和第二支撐件；第一支撐件其兩端分別為第一端和第二端，第一端上設(shè)有波紋管上端固定部；第二支撐件其兩端分別為第三端和第四端，第三端上設(shè)有波紋管下端固定部，第四端與第二端可拆卸連接，第三端與第一端彼此遠(yuǎn)離，通過第二支撐件的第四端與第一支撐件第二端進(jìn)行連接，使第一支撐件第一端與第二支撐件的第三端分別支撐著波紋管兩端，進(jìn)而使波紋管兩端的相對位置保持固定，以此限制了波紋管的伸縮，使得波紋管的安裝變得更加便捷。

技術(shù)研發(fā)人員：卜奪奪,劉振,楊天奇,喻雙喜,張啟輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：拓荊科技（上海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19