1.一種三自由度混合柔性鉸鏈微動(dòng)平臺(tái),其特征在于:包括動(dòng)平臺(tái)、定平臺(tái)、設(shè)置在定平臺(tái)上的驅(qū)動(dòng)裝置和三條用于連接定平臺(tái)和動(dòng)平臺(tái)的柔性支鏈;每條所述柔性支鏈由具有正圓雙柔性鉸鏈一的柔性支鏈一和具有正圓雙柔性鉸鏈二的柔性支鏈二通過直角柔性鉸鏈連接組成;所述柔性支鏈一遠(yuǎn)離柔性支鏈二的一端與動(dòng)平臺(tái)連接,柔性支鏈二遠(yuǎn)離柔性支鏈一的一端與定平臺(tái)連接;所述驅(qū)動(dòng)裝置與柔性支鏈一連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三自由度混合柔性鉸鏈微動(dòng)平臺(tái),其特征在于:所述柔性支鏈一與柔性支鏈二垂直連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三自由度混合柔性鉸鏈微動(dòng)平臺(tái),其特征在于:所述柔性支鏈一由支鏈體一和正圓雙柔性鉸鏈一連接組成;所述正圓雙柔性鉸鏈一與動(dòng)平臺(tái)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的三自由度混合柔性鉸鏈微動(dòng)平臺(tái),其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)裝置與支鏈體一連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的三自由度混合柔性鉸鏈微動(dòng)平臺(tái),其特征在于:所述柔性支鏈二由支鏈體二和正圓雙柔性鉸鏈二連接組成;所述正圓雙柔性鉸鏈二與定平臺(tái)連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三自由度混合柔性鉸鏈微動(dòng)平臺(tái),其特征在于:所述支鏈體一通過直角柔性鉸鏈與支鏈體二連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三自由度混合柔性鉸鏈微動(dòng)平臺(tái),其特征在于:所述正圓雙柔性鉸鏈一和正圓雙柔性鉸鏈二均為對(duì)稱型正圓雙柔性鉸鏈。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三自由度混合柔性鉸鏈微動(dòng)平臺(tái),其特征在于:所述正圓雙柔性鉸鏈一和正圓雙柔性鉸鏈二均由兩個(gè)相同的半圓形單柔性鉸鏈組成,兩個(gè)半圓形單柔性鉸鏈背對(duì)對(duì)稱設(shè)置。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三自由度混合柔性鉸鏈微動(dòng)平臺(tái),其特征在于:三條所述柔性支鏈呈120°對(duì)稱分布在動(dòng)平臺(tái)的外圍。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三自由度混合柔性鉸鏈微動(dòng)平臺(tái),其特征在于:所述動(dòng)平臺(tái)和定平臺(tái)均為鋁材料制成的平臺(tái);所述驅(qū)動(dòng)裝置為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)裝置。