技術(shù)編號：11187370
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及微動平臺裝置，更具體地說，涉及一種三自由度混合柔性鉸鏈微動平臺。背景技術(shù)在微機電系統(tǒng)、掃描探測顯微鏡、超精密加工、光學(xué)元件制造以及生物醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域中，具有納米精度的微動平臺是核心部件。目前，在各種各類的微動平臺結(jié)構(gòu)中，不同柔性鉸鏈構(gòu)成的微動平臺具有不同的性能。正圓柔性鉸鏈構(gòu)成的微動平臺較其他缺口類型鉸鏈構(gòu)成的微動平臺轉(zhuǎn)角大，各方向具有較高的靈敏度。而直角柔性鉸鏈構(gòu)成的微動平臺比其他鉸鏈構(gòu)成的微動平臺來說柔度大。然而，在現(xiàn)有平面柔順微動平臺設(shè)計中，所運用的微動平臺都是由單一的同一種...
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