本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種避免真空腔腔門(mén)過(guò)沖的啟閉裝置及真空腔室。

背景技術(shù)：

真空腔在工作或維護(hù)時(shí)，需要將腔門(mén)關(guān)閉或開(kāi)啟。通常，真空腔腔門(mén)邊緣固定連接有接頭部件，真空腔外壁上連接有線性驅(qū)動(dòng)部件，接頭部件的一端具有連接孔，一栓銷穿過(guò)連接孔將接頭部件的一端與線性驅(qū)動(dòng)裝置的一端活動(dòng)連接，也即是，在開(kāi)啟或關(guān)閉腔門(mén)的過(guò)程中，栓銷抵靠在連接孔的上端，線性驅(qū)動(dòng)部件通過(guò)栓銷推動(dòng)接頭部件實(shí)現(xiàn)腔門(mén)打開(kāi)或閉合，接頭部件可以以該栓銷為支點(diǎn)相對(duì)線性驅(qū)動(dòng)部件而產(chǎn)生一個(gè)相對(duì)旋轉(zhuǎn)，從而將腔門(mén)開(kāi)啟或關(guān)閉。

當(dāng)腔門(mén)關(guān)閉后，對(duì)真空腔抽真空，此時(shí)，腔門(mén)會(huì)在真空吸力的作用下進(jìn)一步向下移動(dòng)，為避免連接孔中的栓銷與連接孔頂端發(fā)生硬性擠壓，可以設(shè)置連接孔尺寸大于栓銷外徑尺寸。當(dāng)真空腔門(mén)在抽真空過(guò)程中進(jìn)一步向下降落時(shí)，采用上述連接孔可以釋放施加于腔門(mén)上的力，使腔門(mén)在抽真空時(shí)可以向下移動(dòng)，避免腔門(mén)向下時(shí)與現(xiàn)行驅(qū)動(dòng)部件沖突干涉，以確保更高的真空度。

然而，由于連接孔尺寸大于栓銷外徑尺寸，當(dāng)需要腔門(mén)開(kāi)啟方向超過(guò)豎直方向或腔門(mén)重心超過(guò)豎直狀態(tài)時(shí)，腔門(mén)在自身的重力作用下會(huì)發(fā)生突然翻轉(zhuǎn)，迫使上述栓銷向連接孔的下端滑行，導(dǎo)致腔門(mén)產(chǎn)生相對(duì)于開(kāi)啟方向的相反方向的震動(dòng)或抖動(dòng)，特別是，在腔門(mén)完全開(kāi)啟且處于豎直狀態(tài)時(shí)，由于腔門(mén)自身的重力作用以及腔門(mén)旋轉(zhuǎn)的末速度，會(huì)使得腔門(mén)產(chǎn)生嚴(yán)重的過(guò)沖，導(dǎo)致腔門(mén)運(yùn)動(dòng)的不可控，并且，對(duì)易碎部件造成震動(dòng)而使其損壞，還會(huì)產(chǎn)生不需要的顆粒物，破壞機(jī)械支撐系統(tǒng)。

因此，亟需探索如何避免腔門(mén)開(kāi)啟時(shí)的過(guò)沖問(wèn)題的解決方案，以減小由于過(guò)沖帶來(lái)的上述影響和損失。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了克服以上問(wèn)題，本發(fā)明旨在提供一種避免真空腔腔門(mén)過(guò)沖的啟閉裝置，通過(guò)設(shè)置一擋板，來(lái)阻擋腔門(mén)開(kāi)啟時(shí)沿著連接孔產(chǎn)生相對(duì)滑動(dòng)。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了避免真空腔腔門(mén)過(guò)沖的啟閉裝置，其包 括接頭部件(1)和具有線性驅(qū)動(dòng)軸(6)的線性驅(qū)動(dòng)部件(202)，所述接頭部件(1)一端固定于所述腔門(mén)(201)邊緣，另一端設(shè)置一連接孔(7)；所述線性驅(qū)動(dòng)部件(202)通過(guò)所述連接孔(7)驅(qū)動(dòng)所述接頭部件(1)轉(zhuǎn)動(dòng)從而開(kāi)啟或關(guān)閉所述腔門(mén)(201)；所述啟閉裝置還包括：

擋板套筒(5)，環(huán)繞在所述線性驅(qū)動(dòng)軸(6)的端部；

擋板(3)，位于所述連接孔(7)一側(cè)，通過(guò)一栓銷(4)實(shí)現(xiàn)與所述連接孔(7)和所述擋板套筒(5)的依次連接；

擋板阻件(8)，位于所述接頭部件(1)上，當(dāng)所述腔門(mén)(201)開(kāi)啟至豎直方向或腔門(mén)(201)重心至豎直方向時(shí)，所述擋板(3)與所述擋板組件(8)互相抵靠。

優(yōu)選地，所述擋板(3)、所述擋板套筒(5)及所述線性驅(qū)動(dòng)軸(6)在腔門(mén)(201)開(kāi)啟或關(guān)閉過(guò)程中保持同步轉(zhuǎn)動(dòng)。

優(yōu)選地，所述連接孔(7)的尺寸大于所述栓銷(4)的外徑。

優(yōu)選地，所述連接孔(7)的形狀為長(zhǎng)槽型或橢圓形。

優(yōu)選地，所述長(zhǎng)槽型連接孔(7)靠近所述線性驅(qū)動(dòng)部件(202)的一端呈圓弧狀；所述擋板(3)的所述截止端(3a)也呈圓弧狀；當(dāng)所述腔門(mén)(201)處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，所述擋板(3)的所述截止端(3a)的弧線內(nèi)切于所述長(zhǎng)槽型連接孔(7)靠近所述線性驅(qū)動(dòng)部件(202)的一端的弧線；且所述長(zhǎng)槽型連接孔(7)的中心線與所述線性驅(qū)動(dòng)軸(6)的中心線重合。

優(yōu)選地，所述擋板(3)靠近所述線性驅(qū)動(dòng)部件(202)的一端包括一截止端(3a)，所述擋板阻件(8)為一凸起的弧形面；所述弧形面靠近所述擋板的所述截止端(8a)設(shè)置；當(dāng)所述腔門(mén)(201)開(kāi)啟至豎直方向或腔門(mén)(201)重心至豎直方向時(shí)，所述擋板(3)的所述截止端(3a)與所述弧形面互相抵靠。

優(yōu)選地，所述弧形面為1/4圓。

優(yōu)選地，所述擋板阻件(8)與所述接頭部件(1)一體設(shè)置或可拆卸安裝設(shè)置。

優(yōu)選地，所述擋板(3)中心位置具有與所述栓銷(4)配合的第一栓銷孔，用于與所述栓銷(4)的一端固定連接；所述擋板套筒(5)上具有與所述栓銷(4)配合的第二栓銷孔，用于與所述栓銷(4)的另一端固定連接。

優(yōu)選地，所述啟閉裝置還包括一傳感器(2)；所述傳感器(2)連接于一聯(lián)鎖系統(tǒng)，所述聯(lián)鎖系統(tǒng)用于控制所述線性驅(qū)動(dòng)部件(202)的運(yùn)動(dòng)。

優(yōu)選地，所述傳感器(2)的一端活動(dòng)連接于所述接頭部件(1)上，另一端夾在所述擋板(3)的邊緣兩側(cè)且不與所述擋板(3)接觸。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供了一種具有防止腔門(mén)過(guò)沖啟閉裝置的真 空腔室，包括圍成真空反應(yīng)腔的腔門(mén)及側(cè)壁，所述真空腔室設(shè)置一防止腔門(mén)過(guò)沖的啟閉裝置，所述啟閉裝置具有上述特征。

本發(fā)明的避免真空腔腔門(mén)過(guò)沖的啟閉裝置，通過(guò)設(shè)置擋板套筒與擋板固定連接，可以使擋板與線性驅(qū)動(dòng)部件同步旋轉(zhuǎn)；通過(guò)將擋板、擋板套筒分別設(shè)置于連接孔兩側(cè)以實(shí)現(xiàn)擋板、擋板套筒相對(duì)于接頭部件的活動(dòng)連接，從而使接頭部件產(chǎn)生相對(duì)于擋板的旋轉(zhuǎn)而為擋板與擋板阻件相接觸創(chuàng)造了條件；通過(guò)擋板以及與擋板相配合的擋板阻件，在腔門(mén)開(kāi)啟時(shí)，利用擋板阻件與擋板之間相互接觸且卡住的位置關(guān)系，來(lái)阻礙腔門(mén)繼續(xù)運(yùn)動(dòng)，從而避免了腔門(mén)開(kāi)啟時(shí)產(chǎn)生過(guò)沖現(xiàn)象。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的啟閉裝置與真空腔、腔門(mén)的相對(duì)位置關(guān)系示意圖

圖2為本發(fā)明的上述較佳實(shí)施例的接頭部件的結(jié)構(gòu)示意圖

圖3為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的避免真空腔腔門(mén)過(guò)沖的啟閉裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖

圖4為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的保持擋板與擋板套筒位置相對(duì)固定的方式的結(jié)構(gòu)關(guān)系示意圖

圖5為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的在腔門(mén)與垂直方向呈85°時(shí)的擋板與圓弧面相接觸時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖

圖6為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的在腔門(mén)與垂直方向呈90°時(shí)的擋板與圓弧面相接觸時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖

圖7為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的在腔門(mén)與垂直方向呈120°時(shí)的擋板與圓弧面相接觸時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖

圖8a為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的腔門(mén)處于自然關(guān)閉時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖

圖8b為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的腔門(mén)處于自然關(guān)閉時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖，對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說(shuō)明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式、使用非精準(zhǔn)的比例，且僅用以方便、清晰地達(dá)到輔助說(shuō)明本實(shí)施 例的目的。

圖1示出本發(fā)明的避免真空腔腔門(mén)過(guò)沖的啟閉裝置在真空反應(yīng)腔上的具體安裝示意圖，啟閉裝置包括線性驅(qū)動(dòng)部件202和接頭部件1。在圖1中，真空腔包括一真空腔腔門(mén)201及一反應(yīng)腔側(cè)壁200。線性驅(qū)動(dòng)部件202的一端安裝在真空腔的外壁200上，通過(guò)一栓銷206實(shí)現(xiàn)在外壁200的表面轉(zhuǎn)動(dòng)；另一端設(shè)置一可伸縮線性驅(qū)動(dòng)軸6。請(qǐng)結(jié)合圖1和圖2，接頭部件1一端固定于腔門(mén)邊緣，另一端設(shè)置一連接孔7；連接孔7內(nèi)設(shè)置一栓銷4，線性驅(qū)動(dòng)軸6與栓銷4連接，并通過(guò)驅(qū)動(dòng)栓銷4實(shí)現(xiàn)對(duì)接頭部件1的驅(qū)動(dòng)。

圖2示出接頭部件的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示，線性驅(qū)動(dòng)軸6靠近連接部件1的一端設(shè)置一孔狀結(jié)構(gòu)(圖中未示出)，栓銷4貫穿連接孔7和線性驅(qū)動(dòng)軸6上的孔狀結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)線性驅(qū)動(dòng)軸6對(duì)接頭部件1的驅(qū)動(dòng)。為了保證腔門(mén)201在完全閉合后由于抽真空吸力的作用腔門(mén)201向下移動(dòng)不受阻礙，連接孔7的尺寸設(shè)置為大于栓銷4的尺寸，使得栓銷4可以在連接孔7內(nèi)發(fā)生位置的移動(dòng)，釋放施加于腔門(mén)201上的真空吸力，一種可選的實(shí)施方式中，連接孔7的形狀為長(zhǎng)槽型。圖2顯示長(zhǎng)槽型連接孔7包括上端7a和下端7b，當(dāng)打開(kāi)或關(guān)閉腔門(mén)201過(guò)程中，線性驅(qū)動(dòng)軸6推動(dòng)栓銷4抵住長(zhǎng)槽型連接孔7的上端7a，控制線性驅(qū)動(dòng)軸6在線性驅(qū)動(dòng)部件202向外拉伸或向內(nèi)收縮，通過(guò)抵靠在接頭部件1上的力及腔門(mén)201重力的相互配合，實(shí)現(xiàn)腔門(mén)201平穩(wěn)的打開(kāi)或關(guān)閉；當(dāng)腔門(mén)201開(kāi)啟至腔門(mén)201方向或腔門(mén)201重心超過(guò)豎直方向時(shí)，腔門(mén)201會(huì)有向后翻轉(zhuǎn)的動(dòng)作，并拉動(dòng)栓銷4從長(zhǎng)槽型連接孔7的上端7a向下端7b移動(dòng)；如果不加以制止，失去線性驅(qū)動(dòng)軸6支撐的腔門(mén)201在重力作用下會(huì)反方向向下降落，產(chǎn)生較大的震動(dòng)或抖動(dòng)，不僅會(huì)造成安全隱患，還會(huì)減少設(shè)備及啟閉裝置的使用壽命。此外線性驅(qū)動(dòng)軸6向回收縮時(shí)，也會(huì)拉動(dòng)栓銷4從長(zhǎng)槽型連接孔7的上端7a向下端7b移動(dòng)，產(chǎn)生不必要的震動(dòng)或抖動(dòng)。為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明通過(guò)在長(zhǎng)槽型連接孔7處設(shè)置一擋板并在接頭部件1上設(shè)置與擋板匹配的阻擋部件，當(dāng)外力拉動(dòng)栓銷4自連接孔上端7a向下端7b移動(dòng)時(shí)，擋板3與擋板組件相互抵靠，避免上述問(wèn)題的產(chǎn)生。

圖3示出本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例的避免真空腔腔門(mén)過(guò)沖啟閉裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖，本實(shí)施例的啟閉裝置包括：

接頭部件1，其上端可以通過(guò)螺栓固定于腔門(mén)201邊緣一側(cè)，其下端設(shè)置擋板阻件，本實(shí)施例設(shè)置擋板組件為有凸起的弧形面8。凸起的弧形面8可以與接頭部件1一體設(shè)置，也可以可拆卸的安裝在接頭部件1上，位于弧形面8下方 設(shè)置長(zhǎng)槽型連接孔7；長(zhǎng)槽型連接孔7的兩端為圓弧形。長(zhǎng)槽型連接孔7外側(cè)設(shè)置一擋板3，其具有靠近弧形面8的截止端3a，弧形面8由于要接受擋板3的作用力，因此，弧形面8可以采用耐沖擊耐磨損材料來(lái)制備，例如，整個(gè)接頭部件1為耐沖擊耐磨損材料即可；

該啟閉裝置進(jìn)一步還包括：環(huán)繞在線性驅(qū)動(dòng)軸6的端部的擋板套筒5；栓銷4依次穿過(guò)擋板3、長(zhǎng)槽型連接孔7及擋板套筒5，將擋板3與擋板套套筒5固定連接，且將擋板3與接頭部件1活動(dòng)連接；本實(shí)施例中，擋板3的截止端3a的寬度小于擋板3的另一端3b的寬度，以提高擋板3的靈活性；擋板3中心位置具有與栓銷4配合的第一栓銷孔，用于與栓銷4的一端固定連接；擋板3的材料可以為現(xiàn)有的耐沖擊耐磨損材料，例如，可以為有機(jī)塑料擋塊，合金擋塊等。

長(zhǎng)槽型連接孔7靠近線性驅(qū)動(dòng)軸6的一端呈圓弧狀；擋板3的截止端3a也呈圓弧狀；弧形面8為1/4圓，其靠近擋板3的截止端3a設(shè)置；這里，弧形面8靠近線性驅(qū)動(dòng)部件202的一端為截止起始端8a；當(dāng)腔門(mén)201開(kāi)啟方向超過(guò)豎直狀態(tài)或腔門(mén)201重心超過(guò)豎直狀態(tài)，或者線性驅(qū)動(dòng)軸6的伸縮運(yùn)動(dòng)，引起受力方向的改變時(shí)，擋板3的截止端3a與弧形面8(擋板組件)會(huì)相互抵靠，避免真空腔門(mén)201發(fā)生震動(dòng)或抖動(dòng)。當(dāng)腔門(mén)201處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，擋板3的截止端3a的弧線內(nèi)切于長(zhǎng)槽型連接孔7靠近線性驅(qū)動(dòng)部件202的一端的弧線；且長(zhǎng)槽型連接孔7的中心線與線性驅(qū)動(dòng)軸6的中心線重合

線性驅(qū)動(dòng)部件202，其底部活動(dòng)連接于真空腔外壁200偏下位置，頂端的線性驅(qū)動(dòng)軸6外表面套置有擋板套筒5，擋板套筒5的材料可以為耐磨損材料，例如金屬銅等；擋板套筒5上具有與長(zhǎng)槽型連接孔7中的栓銷4配合的第二栓銷孔，用于與長(zhǎng)槽型連接孔7中的栓銷的另一端固定連接，從而使擋板3與擋板套筒5固定連接，以確保在線性驅(qū)動(dòng)軸6運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，擋板3、擋板套筒5與線性驅(qū)動(dòng)軸6在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中始終保持同步轉(zhuǎn)動(dòng)；以便于控制擋板3與擋板組件的相互抵靠。本實(shí)施例中，請(qǐng)結(jié)合附圖1和3，線性驅(qū)動(dòng)部件202底部的連接部分205具有四個(gè)孔，其中三個(gè)為螺栓孔，通過(guò)配合螺栓將線性驅(qū)動(dòng)部件202底部固定連接于真空腔側(cè)壁200上；另一個(gè)孔為活動(dòng)連接孔，通過(guò)配合栓銷206使得線性驅(qū)動(dòng)部件202及線性驅(qū)動(dòng)軸6沿著側(cè)壁200進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)線性驅(qū)動(dòng)部件202的轉(zhuǎn)動(dòng)以及線性驅(qū)動(dòng)軸6的伸縮運(yùn)動(dòng)來(lái)驅(qū)動(dòng)接頭部件1從而打開(kāi)或關(guān)閉腔門(mén)201。

在腔門(mén)201開(kāi)啟或關(guān)閉過(guò)程中，栓銷4可以在長(zhǎng)槽型連接孔7內(nèi)旋轉(zhuǎn)，以 實(shí)現(xiàn)線性驅(qū)動(dòng)軸6對(duì)接頭部件1的推動(dòng)。栓銷4在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，栓銷4始終保持與擋板3和擋板套筒5位置相對(duì)固定，從而確保擋板3、擋板套筒5和線性驅(qū)動(dòng)軸6保持同步轉(zhuǎn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)當(dāng)線性驅(qū)動(dòng)軸6支撐腔門(mén)開(kāi)啟腔門(mén)201超過(guò)豎直方向反方向下落瞬間，擋板3能與與阻擋組件相互抵靠。圖4示例性的示出一種保持擋板與擋板套筒位置相對(duì)固定的方式，在圖4中，栓銷4貫穿擋板3，擋板套筒5及線性驅(qū)動(dòng)軸6末端的栓銷孔，在大致為圓柱狀的栓銷4表面切割出至少一平面卡接面14，在擋板3和擋板套筒5與栓銷4的卡接面14接觸的位置同時(shí)設(shè)置對(duì)應(yīng)的卡接面(圖中未示出)，保證擋板3、擋板套筒5和線性驅(qū)動(dòng)軸6保持同步轉(zhuǎn)動(dòng)因此。

本發(fā)明通過(guò)對(duì)擋板截止端3a與弧形面8的公差控制，使得腔門(mén)201旋轉(zhuǎn)到一定程度時(shí)，擋板3的截止端3a與弧形面8部分重疊但不接觸，當(dāng)腔門(mén)201進(jìn)一步打開(kāi)并出現(xiàn)腔門(mén)201開(kāi)啟方向超過(guò)豎直狀態(tài)或腔門(mén)重心超過(guò)豎直狀態(tài)，或者線性驅(qū)動(dòng)軸6的伸縮運(yùn)動(dòng)，引起受力方向的改變時(shí)，擋板3的截止端3a與弧形面8就接觸抵靠，防止腔門(mén)201發(fā)生沖擊和震動(dòng)。具體工作過(guò)程可參照下文及附圖描述：

請(qǐng)參閱圖5，當(dāng)線性驅(qū)動(dòng)軸6推動(dòng)腔門(mén)201打開(kāi)至與水平方向的夾角大于80°且小于90°即尚未達(dá)到豎直方向時(shí)，擋板3的截止端3a與擋板阻件的弧形面8部分重合但不接觸；請(qǐng)參閱圖6，當(dāng)線性驅(qū)動(dòng)軸6繼續(xù)推動(dòng)腔門(mén)201打開(kāi)至與水平方向的夾角不小于90度且不大于120°時(shí)，擋板3的截止端3a與擋板阻件的弧形面8(擋板阻件)相互卡住。較佳的，請(qǐng)參閱圖5，擋板3的截止端3a和弧形面8以及長(zhǎng)槽型連接孔7靠近線性驅(qū)動(dòng)部件202的一端的弧線之間的配合關(guān)系應(yīng)當(dāng)使腔門(mén)201在旋轉(zhuǎn)到接近90°(與豎直方向的夾角)時(shí)，例如85°，擋板3的截止端3a接觸到弧形面8的截止起始端8a，在隨著腔門(mén)201進(jìn)一步的旋轉(zhuǎn)打開(kāi)，擋板3的截止端3a與弧形面8的接觸面積越來(lái)越大，當(dāng)腔門(mén)201在旋轉(zhuǎn)到與水平方向夾角為90°(豎直方向)時(shí)，擋板3的截止端3a表面完全與弧形面8接觸，擋板3的截止端3a卡在弧形面8的某一個(gè)位置，致使接頭部件1不能相對(duì)于擋板3作相對(duì)旋轉(zhuǎn)；當(dāng)腔門(mén)201進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)到大于90°(與豎直方向的夾角)或者腔門(mén)201的重心超過(guò)豎直方向時(shí)，由于擋板3的截止端3a與擋板組件的弧形面8相互抵靠，在關(guān)閉腔門(mén)201的過(guò)程中，線性驅(qū)動(dòng)軸6拉動(dòng)腔門(mén)201越過(guò)豎直方向的瞬間，避免了現(xiàn)有技術(shù)中由于腔門(mén)失去線性驅(qū)動(dòng)軸的支持在自身重力作用下發(fā)生的震動(dòng)。腔門(mén)201越過(guò)豎直方向后，腔門(mén)201在自身重力的作用下會(huì)加速落下，為了保證腔門(mén)201的平穩(wěn)關(guān)閉，線性驅(qū)動(dòng)軸6繼續(xù)驅(qū)動(dòng) 栓銷4在長(zhǎng)槽型連接孔7內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，將腔門(mén)201緩慢平穩(wěn)關(guān)閉。本發(fā)明的啟閉裝置還包括一傳感器2，連接于一聯(lián)鎖系統(tǒng)(圖中未示出)，聯(lián)鎖系統(tǒng)用于控制線性驅(qū)動(dòng)部件202的運(yùn)動(dòng)；傳感器2可以為光學(xué)傳感器也可以為機(jī)械傳感器，其可以根據(jù)擋板3的位置移動(dòng)判斷腔門(mén)201是否到達(dá)所需位置。示例性的，圖8a和圖8b示出一種實(shí)施例的傳感器2的工作過(guò)程，在圖8a中，線性驅(qū)動(dòng)軸6拉動(dòng)腔門(mén)201至關(guān)閉狀態(tài)，此時(shí)，真空腔內(nèi)尚未進(jìn)行抽真空過(guò)程，在此之前，擋板3的一端3b一直不接觸的夾在傳感器2的鏤空夾內(nèi)，傳感器2感應(yīng)到擋板3的位置，并驅(qū)動(dòng)線性驅(qū)動(dòng)軸6控制腔門(mén)201的平穩(wěn)下落；圖8b中，真空腔室內(nèi)抽真空，栓銷4帶動(dòng)擋板3從長(zhǎng)槽型連接孔7的上端7a移動(dòng)到下端7b，以釋放作用在腔門(mén)201上的真空壓力，此時(shí)，擋板3的一端3b脫離傳感器2的鏤空夾，傳感器2探測(cè)不到擋板3后，向聯(lián)鎖系統(tǒng)發(fā)送停止信號(hào)，聯(lián)鎖系統(tǒng)控制線性驅(qū)動(dòng)部件202處于停止運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。

需要說(shuō)明的是，上述實(shí)施例中，擋板阻件為接頭部件1的凸起的弧形面8，這不用于限制本發(fā)明的范圍，本發(fā)明中，擋板阻件還可以設(shè)置為靠近擋板的截止端的拐角，例如直角、鈍角等，還可以為一凸起平面或其它凸起形狀，只要設(shè)置該凸起平面的位置與擋板的截止端位置可以使兩者相互卡住即可。

應(yīng)當(dāng)注意到，由于傳感器一端固定于接頭部件上，且傳感器的另一端活動(dòng)連接于擋板上，因此，在腔門(mén)旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中，傳感器隨著接頭部件一起旋轉(zhuǎn)，傳感器與擋板之間是相對(duì)旋轉(zhuǎn)的。

還需要說(shuō)明的是，擋板的形狀可以為任意形狀，擋板的截止端的形狀也可以為任意形狀，較佳的，為圓弧形，因?yàn)閳A弧形可以使擋板的截止端易于與擋板阻件光滑接觸，減少材料的磨損。此外，擋板與擋板阻件的相互接觸后至相互卡住為止，是有一個(gè)緩沖時(shí)間的，這樣可以避免擋板與擋板阻件突然接觸并停止產(chǎn)生強(qiáng)度較大的碰撞而帶來(lái)的不良影響。

此外，本發(fā)明還提供了一種具有防止腔門(mén)過(guò)沖啟閉裝置的真空腔室，包括圍成真空反應(yīng)腔的腔門(mén)及側(cè)壁，該真空腔室設(shè)置有上述的防止腔門(mén)過(guò)沖的啟閉裝置。

綜上所述，本發(fā)明的避免真空腔腔門(mén)過(guò)沖的啟閉裝置，通過(guò)設(shè)置擋板套筒與擋板固定連接，可以使擋板與線性驅(qū)動(dòng)部件同步旋轉(zhuǎn)；通過(guò)將擋板、擋板套筒分別設(shè)置于連接孔兩側(cè)以實(shí)現(xiàn)擋板、擋板套筒相對(duì)于接頭部件的活動(dòng)連接，從而使接頭部件產(chǎn)生相對(duì)于擋板的旋轉(zhuǎn)而為擋板與擋板阻件相接觸創(chuàng)造了條件；通過(guò)擋板以及與擋板相配合的擋板阻件，在腔門(mén)開(kāi)啟時(shí)，利用擋板阻件與 擋板之間相互接觸且卡住的位置關(guān)系，來(lái)阻礙腔門(mén)繼續(xù)運(yùn)動(dòng)，從而避免了腔門(mén)開(kāi)啟時(shí)產(chǎn)生過(guò)沖現(xiàn)象。

雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然所述實(shí)施例僅為了便于說(shuō)明而舉例而已，并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作若干的更動(dòng)與潤(rùn)飾，本發(fā)明所主張的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求書(shū)所述為準(zhǔn)。