技術(shù)編號(hào)：12814985
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種避免真空腔腔門過沖的啟閉裝置及真空腔室。背景技術(shù)真空腔在工作或維護(hù)時(shí)，需要將腔門關(guān)閉或開啟。通常，真空腔腔門邊緣固定連接有接頭部件，真空腔外壁上連接有線性驅(qū)動(dòng)部件，接頭部件的一端具有連接孔，一栓銷穿過連接孔將接頭部件的一端與線性驅(qū)動(dòng)裝置的一端活動(dòng)連接，也即是，在開啟或關(guān)閉腔門的過程中，栓銷抵靠在連接孔的上端，線性驅(qū)動(dòng)部件通過栓銷推動(dòng)接頭部件實(shí)現(xiàn)腔門打開或閉合，接頭部件可以以該栓銷為支點(diǎn)相對(duì)線性驅(qū)動(dòng)部件而產(chǎn)生一個(gè)相對(duì)旋轉(zhuǎn)，從而將腔門開啟或關(guān)閉。當(dāng)腔門關(guān)閉后，對(duì)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。