本發(fā)明涉及能夠在表面和背面保持板狀工件的機(jī)器人手臂。

背景技術(shù)：
在加工板狀工件的加工裝置中，在將板狀工件搬入裝置的加工工作臺(tái)或者將板狀工件從加工工作臺(tái)搬出時(shí)，例如使用專利文獻(xiàn)1記載的具備機(jī)器人手臂的機(jī)器人。該機(jī)器人手臂能夠?qū)⒕占{在凹部來進(jìn)行保持和搬送，所述凹部在形成為板狀的托盤部的單面形成。作為搭載有如此構(gòu)成的機(jī)器人手臂的加工裝置，存在例如磨削裝置，在磨削裝置中，使用機(jī)器人手臂進(jìn)行磨削加工前和磨削加工后的板狀工件的搬送。專利文獻(xiàn)1：日本特開2005-260065號(hào)公報(bào)然而，由于在加工前的搬送和加工后的搬送中使用同一個(gè)機(jī)器人手臂的同一個(gè)面，因此在保持加工后的板狀工件時(shí)加工屑附著到機(jī)器人手臂的話，此后，在保持加工前的板狀工件時(shí)，附著于機(jī)器人手臂的加工屑附著到加工前的板狀工件，存在著由于附著的加工屑而發(fā)生加工不合格的危險(xiǎn)。而且，即使在利用機(jī)器人手臂保持加工后的板狀工件之前使用加工裝置所具備的清洗構(gòu)件清洗該加工后的板狀工件，由于機(jī)器人手臂與板狀工件的單側(cè)的面接觸，所以存在著在板狀工件的被保持面留有接觸痕跡的情況。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明正是鑒于這樣的問題而完成的，其課題在于，在使用機(jī)器人手臂搬送加工前和加工后的板狀工件的情況下，使加工屑不會(huì)附著到加工前的板狀工件，并且在加工后的板狀工件的面也不會(huì)形成接觸痕跡。本發(fā)明為一種機(jī)器人手臂，其用于保持板狀工件，所述機(jī)器人手臂在一個(gè)面具備用于對(duì)板狀工件進(jìn)行抽吸保持的抽吸保持構(gòu)件，并且所述機(jī)器人手臂在另一個(gè)面具備用于保持板狀工件的外周緣的外周保持構(gòu)件，外周保持構(gòu)件包括：抵接部，所述抵接部與板狀工件的外周緣接觸；按壓部，所述按壓部配置于與抵接部對(duì)置的位置，并且所述按壓部具備移動(dòng)構(gòu)件，所述移動(dòng)構(gòu)件用于使按壓部件相對(duì)于抵接部進(jìn)退；以及臨時(shí)承托部，所述臨時(shí)承托部配置在抵接部與按壓部之間并臨時(shí)承托板狀工件的外周部，通過利用移動(dòng)構(gòu)件使按壓部件朝向抵接部移動(dòng)，使在臨時(shí)承托部被臨時(shí)承托的板狀工件朝向抵接部移動(dòng)，從而由抵接部和按壓部夾緊保持板狀工件的外周緣。在本發(fā)明涉及的機(jī)器人手臂中，在機(jī)器人手臂的一個(gè)面設(shè)置的抽吸保持構(gòu)件抽吸保持板狀工件，在機(jī)器人手臂的另一個(gè)面設(shè)置的外周保持構(gòu)件保持板狀工件的外周緣且不與板狀工件的面接觸，因此，通過利用抽吸保持構(gòu)件保持加工前的板狀工件、利用外周保持構(gòu)件保持加工后的板狀工件這樣地分開使用，能夠防止加工屑附著到加工前的板狀工件，并且防止發(fā)生加工不合格。而且，通過利用外周保持構(gòu)件保持加工后的板狀工件，機(jī)器人手臂不會(huì)接觸到加工后的板狀工件的面，因此不會(huì)在板狀工件的面形成接觸痕跡。附圖說明圖1是示出機(jī)器人手臂的表面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。圖2是示出機(jī)器人手臂的背面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。圖3是示出機(jī)器人手臂的表面?zhèn)鹊难鲆晥D。圖4是示出在機(jī)器人手臂的表面?zhèn)瘸槲３职鍫罟ぜ臓顟B(tài)的主視圖。圖5是示出在機(jī)器人手臂的背面?zhèn)扰R時(shí)承托板狀工件的狀態(tài)的俯視圖。圖6是示出在機(jī)器人手臂的背面?zhèn)葕A緊保持板狀工件的狀態(tài)的俯視圖。圖7是沿圖6的a-a線的剖視圖。圖8是沿圖6的b-b線的剖視圖。標(biāo)號(hào)說明1：機(jī)器人手臂；A：表面；B：背面；2：平板部；3：叉部；3a、3b：指部；4：進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部；5：抽吸保持構(gòu)件；50：抽吸部；51：抽吸通路；52：抽吸源；53：檢測(cè)部；6：外周保持構(gòu)件；60：抵接部；600：側(cè)面；601：臨時(shí)承托部；61：按壓部；62：臨時(shí)承托部；63：引導(dǎo)部件；630：突起部；64：按壓部件；640：側(cè)面；65：連接部件；66：活塞；67：缸；68：移動(dòng)構(gòu)件；W：板狀工件；Wa：上表面；Wb：下表面；Wl：外周緣；W2：外周部。具體實(shí)施方式圖1和圖2所示的機(jī)器人手臂1由平板部2和叉部3構(gòu)成，所述平板部2形成為板狀，所述叉部3具有兩個(gè)指部3a、3b，所述兩個(gè)指部3a、3b從平板部2起朝向末端方向分支而成，該機(jī)器人手臂1在一個(gè)面即表面A和另一個(gè)面即背面B的雙方具有保持板狀工件的功能。平板部2由進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部4支承成能夠進(jìn)退，所述進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部4用于使平板部2和叉部3沿長(zhǎng)度方向進(jìn)退。如圖1所示，在平板部2的表面A側(cè)具備用于抽吸保持板狀工件的抽吸保持構(gòu)件5。抽吸保持構(gòu)件5具備：抽吸部50，其具備多個(gè)抽吸孔；抽吸通路51，其如圖3所示地形成于平板部2和進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部4的內(nèi)部；以及外部的抽吸源52，其與抽吸通路51連通。而且，在平板部2的表面A側(cè)埋入有檢測(cè)部53，所述檢測(cè)部53用于檢測(cè)應(yīng)保持的板狀工件是否存在。檢測(cè)部53例如由靜電傳感器構(gòu)成。如圖2所示，在平板部2的背面B具備用于保持板狀工件的外周緣的外周保持構(gòu)件6。外周保持構(gòu)件6由下述部件構(gòu)成：抵接部60，其形成于指部3a、3b的背面B側(cè)的末端并用于與板狀工件的外周緣接觸；按壓部61，其配置在與抵接部60相對(duì)置的位置并且用于朝向抵接部60按壓板狀工件；以及臨時(shí)承托部601、62，所述臨時(shí)承托部601、62配設(shè)在抵接部60與按壓部61之間，用于從下方支承板狀工件。抵接部60從背面B沿指部3a、3b的厚度方向突出形成，所述抵接部60形成為與在平板部2和指部3載置的板狀工件的外周形狀配合的形狀，在圖2的例子中，抵接部60的側(cè)面600形成為與圓形的板狀工件的外周的圓弧對(duì)應(yīng)的形狀。如圖4中放大示出地，抵接部60的側(cè)面600沿大致鉛直方向立起。而且，在比抵接部60靠近按壓部61的一側(cè)形成有由平緩的傾斜面構(gòu)成的臨時(shí)承托部601，所述臨時(shí)承托部601從側(cè)面600的下端部朝向平板部2側(cè)下降。如圖2所示，在平板部2的背面B，在抵接部60與按壓部61之間的位置且比保持對(duì)象即板狀工件的中心靠近進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部4的位置，設(shè)有兩個(gè)引導(dǎo)部件63。在各個(gè)引導(dǎo)部件63的中心部形成有形成為圓柱狀的突起部630，在突起部630的外周側(cè)形成有由傾斜面構(gòu)成的臨時(shí)承托部62，所述臨時(shí)承托部62從突起部630的根部朝向外周側(cè)平緩地下降。另外，在圖示的例子中設(shè)有兩個(gè)引導(dǎo)部件63，但也可以設(shè)置三個(gè)以上引導(dǎo)部件63。而且，引導(dǎo)部件63也可以為一個(gè)。在圖示的例子中，通過由兩個(gè)臨時(shí)承托部601和兩個(gè)臨時(shí)承托部62構(gòu)成的共計(jì)四個(gè)臨時(shí)承托部對(duì)定位前的板狀工件W進(jìn)行支承，但也可以通過例如兩個(gè)臨時(shí)承托部601和一個(gè)臨時(shí)承托部62、或者一個(gè)臨時(shí)承托部601和兩個(gè)臨時(shí)承托部62這樣至少三個(gè)臨時(shí)承托部來對(duì)板狀工件W進(jìn)行支承。并且，也可以將各臨時(shí)承托部形成為沿著板狀工件的外周形狀的形狀。例如，在圖示那樣的圓形的板狀工件的情況下，可以將各臨時(shí)承托部形成為沿著所述板狀工件的外周的圓弧的形狀。如圖2和圖4所示，在平板部2的背面B中相對(duì)于抵接部60在長(zhǎng)度方向?qū)χ玫奈恢迷O(shè)有一對(duì)按壓部件64。按壓部件64通過連接部件65與活塞66連接在一起?；钊?6由缸67支承成能夠進(jìn)退，并且隨著活塞66的進(jìn)退，按壓部件64也能夠進(jìn)退。缸67和活塞66作為使按壓部件64相對(duì)于抵接部60進(jìn)退的移動(dòng)構(gòu)件68發(fā)揮作用。而且，由按壓部件64、連接部件65和移動(dòng)構(gòu)件68構(gòu)成按壓部61。當(dāng)在機(jī)器人手臂1的表面A保持板狀工件W的情況下，如圖3和圖4所示，使表面A朝下并壓在板狀工件W的上表面Wa，使抽吸部50作用抽吸力，通過抽吸保持構(gòu)件5來抽吸保持板狀工件W。接著，當(dāng)在該狀態(tài)下使機(jī)器人手臂1上升時(shí)，能夠搬送板狀工件W。另一方面，當(dāng)在機(jī)器人手臂1的背面B保持板狀工件W的情況下，如圖5所示，移動(dòng)構(gòu)件68使按壓部件64向進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部4側(cè)（箭頭-X方向）退下，在該狀態(tài)下將板狀工件W按壓在背面B。此時(shí)，板狀工件W的外周緣W1位于比抵接部60靠按壓部61的一側(cè)，并且外周緣W1不會(huì)與側(cè)面600接觸。接著，通過移動(dòng)構(gòu)件68使按壓部件64向抵接部60側(cè)（箭頭+X方向）伸出，如圖6所示，使按壓部件64與板狀工件W的外周緣W1接觸，再繼續(xù)使按壓部件64向+X方向移動(dòng)，將板狀工件W向+X方向推出。這樣的話，如圖6所示，板狀工件W的外周緣W1與抵接部60的側(cè)面600接觸，板狀工件W成為由抵接部60和按壓部件64夾持的狀態(tài)。在由移動(dòng)構(gòu)件68按壓板狀工件W而使其向+X方向移動(dòng)的過程中，如圖7所示，在抵接部60側(cè)，由臨時(shí)承托部601臨時(shí)承托的板狀工件W的外周部W2在由臨時(shí)承托部601引導(dǎo)的同時(shí)上升，并且在板狀工件W的外周緣W1抵到抵接部60的時(shí)刻停止移動(dòng)。另外，臨時(shí)承托指的是板狀工件W在最終定位之前在臨時(shí)位置受到支承的狀態(tài)。而且，在板狀工件W向+X方向移動(dòng)的過程中，如圖8所示，在按壓部件64側(cè)，通過在板狀工件W的外周緣W1與按壓部件64的側(cè)面640接觸的狀態(tài)下向+X方向按壓板狀工件W，由臨時(shí)承托部62臨時(shí)承托的板狀工件W的外周部W2由臨時(shí)承托部62引導(dǎo)而下降。接著，如圖7所示，在板狀工件W的外周緣W1抵到抵接部60的時(shí)刻停止移動(dòng)。當(dāng)板狀工件W的移動(dòng)停止時(shí)，通過抵接部60和按壓部61夾緊板狀工件W的外周緣W1。這樣，板狀工件W的外周部W2由臨時(shí)承托部601、62支承并且板狀工件W的外周緣W1被從兩端夾持，因此在比外周部W2靠中心部側(cè)，板狀工件W的面不與任何部分接觸。因此，在這樣的保持狀態(tài)下搬送板狀工件的話，不會(huì)在板狀工件W的面形成接觸痕跡。例如，在板狀工件為半導(dǎo)體晶片，外周部W2為未形成器件的剩余區(qū)域的情況下，不會(huì)損傷到器件。而且，在機(jī)器人手臂1中，能夠在機(jī)器人手臂1的一個(gè)面利用抽吸保持構(gòu)件5抽吸保持板狀工件，并且在機(jī)器人手臂1的另一個(gè)面利用外周保持構(gòu)件6保持板狀工件的外周緣，因此，通過利用抽吸保持構(gòu)件5保持加工前的未附著加工屑的板狀工件、利用外周保持構(gòu)件6保持加工后的附著有加工屑的板狀工件這樣地分開使用，能夠防止加工屑附著到加工前的板狀工件，并且防止發(fā)生加工不合格。