專利名稱：旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)及工業(yè)用機(jī)器人的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)能相對(duì)于支承體旋轉(zhuǎn)360°以上的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍進(jìn)行限制的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)。此外，本發(fā)明涉及包括上述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)的工業(yè)用機(jī)器人。
背景技術(shù)：
以往，作為對(duì)半導(dǎo)體晶片等工件進(jìn)行搬運(yùn)的工業(yè)用機(jī)器人，已知有如下工業(yè)用機(jī)器人，該工業(yè)用機(jī)器人包括基部，該基部固定在地板上；主體，該主體能旋轉(zhuǎn)地安裝在基部上；第一臂，該第一臂的基端部固定在主體上；第二臂，該第二臂的基端部能旋轉(zhuǎn)地安裝在第一臂的前端部；以及手部，該手部的基端部能旋轉(zhuǎn)地安裝在第二臂的前端部(例如參照專利文獻(xiàn)I)。在專利文獻(xiàn)I記載的工業(yè)用機(jī)器人中，基部包括可升降的升降臺(tái)，主體包括供第一臂的基端部固定的主體框。在上述工業(yè)用機(jī)器人中，主體框能相對(duì)于升降臺(tái)旋轉(zhuǎn)360°以上，在升降臺(tái)與主體框之間設(shè)置有對(duì)主體框的旋轉(zhuǎn)范圍進(jìn)行限制的限位部。限位部包括L字形的限位構(gòu)件，該限位構(gòu)件能轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在升降臺(tái)上；限位銷，該限位銷固定在主體框上；兩個(gè)限位件，這兩個(gè)限位件對(duì)限位構(gòu)件的轉(zhuǎn)動(dòng)范圍進(jìn)行限制；以及限位輥，該限位輥用于保持限位構(gòu)件與限位件抵接的狀態(tài)。在對(duì)限位構(gòu)件進(jìn)行支承的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上形成有與限位輥卡合的兩個(gè)軸線方向槽，限位輥被彈簧朝向轉(zhuǎn)動(dòng)軸施力。在限位部中，若限位輥與一方的軸線方向槽卡合，則可保持限位構(gòu)件與一方的限位件抵接的狀態(tài)，若限位輥與另一方的軸線方向槽卡合，則可保持限位構(gòu)件與另一方的限位件抵接的狀態(tài)。在專利文獻(xiàn)I記載的工業(yè)用機(jī)器人中，當(dāng)主體框旋轉(zhuǎn)而使限位銷從L字形的限位構(gòu)件的內(nèi)側(cè)與限位構(gòu)件抵接時(shí)，限位銷推倒限位構(gòu)件而使主體框旋轉(zhuǎn)。另一方面，當(dāng)主體框旋轉(zhuǎn)而使限位銷從L字形的限位構(gòu)件的外側(cè)與限位構(gòu)件抵接時(shí)，限位銷與抵接在限位件上的限位構(gòu)件抵接,而使主體框停止?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2003 - 170384號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在專利文獻(xiàn)I記載的工業(yè)用機(jī)器人中，用于保持限位構(gòu)件與限位件抵接的狀態(tài)的限位輥被朝向?qū)ο尬粯?gòu)件進(jìn)行支承的轉(zhuǎn)動(dòng)軸施力，限位輥始終與轉(zhuǎn)動(dòng)軸接觸。因此，在該工業(yè)用機(jī)器人中，伴隨著轉(zhuǎn)動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，可能在限位輥與轉(zhuǎn)動(dòng)軸的接觸部分處產(chǎn)生塵埃。此夕卜，在該工業(yè)用機(jī)器人中，伴隨著轉(zhuǎn)動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，可能在限位輥與轉(zhuǎn)動(dòng)軸的接觸部分處產(chǎn)生噪聲。因此，本發(fā)明的技術(shù)問題在于提供一種旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)，其對(duì)能相對(duì)于支承體旋轉(zhuǎn)360°以上的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍進(jìn)行限制，并能抑制塵埃的產(chǎn)生或噪聲的產(chǎn)生。此外，本發(fā)明的技術(shù)問題在于提供一種包括上述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)的工業(yè)用機(jī)器人。 解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)對(duì)能相對(duì)于支承體旋轉(zhuǎn)360°以上的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍進(jìn)行限制，其特征是，包括擺動(dòng)構(gòu)件，該擺動(dòng)構(gòu)件能擺動(dòng)地安裝在支承體上；第一限制構(gòu)件，該第一限制構(gòu)件固定或形成于支承體，且與擺動(dòng)構(gòu)件抵接來對(duì)擺動(dòng)構(gòu)件朝一方側(cè)的擺動(dòng)范圍進(jìn)行限制；第二限制構(gòu)件，該第二限制構(gòu)件固定或形成于支承體，且與擺動(dòng)構(gòu)件抵接來對(duì)擺動(dòng)構(gòu)件朝另一方側(cè)的擺動(dòng)范圍進(jìn)行限制；卡合構(gòu)件，該卡合構(gòu)件固定或形成于旋轉(zhuǎn)體，且與擺動(dòng)構(gòu)件卡合來使擺動(dòng)構(gòu)件在第一限制位置與第二限制位置之間擺動(dòng)，其中，在上述第一限制位置上，擺動(dòng)構(gòu)件與第一限制構(gòu)件抵接，在上述第二限制位置上，擺動(dòng)構(gòu)件與第二限制構(gòu)件抵接；第一磁力保持機(jī)構(gòu)，該第一磁力保持機(jī)構(gòu)利用磁吸引力或磁斥力將擺動(dòng)構(gòu)件保持在第一限制位置上；以及第二磁力保持機(jī)構(gòu)，該第二磁力保持機(jī)構(gòu)利用磁吸引力或磁斥力將擺動(dòng)構(gòu)件保持在第二限制位置上。在本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)中，利用第一磁力保持機(jī)構(gòu)的磁吸引力或磁斥力，來將擺動(dòng)構(gòu)件保持在擺動(dòng)構(gòu)件與第一限制構(gòu)件抵接的第一限制位置上，利用第二磁力保持機(jī)構(gòu)的磁吸引力或磁斥力，來將擺動(dòng)構(gòu)件保持在擺動(dòng)構(gòu)件與第二限制構(gòu)件抵接的第二限制位置上。因此，即便為了使旋轉(zhuǎn)體相對(duì)于支承體適當(dāng)?shù)匦D(zhuǎn)360°以上，而需要將擺動(dòng)構(gòu)件保持在第一限制位置或第二限制位置上，也不需要使用于將擺動(dòng)構(gòu)件保持在第一限制位置或第二限制位置處的構(gòu)件與擺動(dòng)構(gòu)件接觸。因此，在本發(fā)明中，能抑制伴隨著在第一限制位置與第二限制位置間擺動(dòng)的擺動(dòng)構(gòu)件的擺動(dòng)而導(dǎo)致塵埃的產(chǎn)生及噪聲的產(chǎn)生。在本發(fā)明中，例如，第一磁力保持機(jī)構(gòu)及第二磁力保持機(jī)構(gòu)包括固定在擺動(dòng)構(gòu)件和支承體中的一方上的永磁體；以及固定在擺動(dòng)構(gòu)件和支承體中的另一方上的磁性構(gòu)件或永磁體。在本發(fā)明中，較為理想的是，從旋轉(zhuǎn)體的轉(zhuǎn)軸的軸向觀察時(shí)，擺動(dòng)構(gòu)件的擺動(dòng)中心配置在與旋轉(zhuǎn)體一起旋轉(zhuǎn)的卡合構(gòu)件的軌跡即假想圓的外側(cè)。若這樣構(gòu)成，則與從旋轉(zhuǎn)體的轉(zhuǎn)軸的軸向觀察時(shí)擺動(dòng)構(gòu)件的擺動(dòng)中心配置在假想圓的內(nèi)側(cè)的情況相比，即便縮短了從旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)中心到卡合構(gòu)件的距離，也能利用卡合構(gòu)件使擺動(dòng)構(gòu)件適當(dāng)?shù)財(cái)[動(dòng)。因此，能減小卡合構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)半徑，其結(jié)果是，能使旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)小型化。在本發(fā)明中，在擺動(dòng)構(gòu)件上形成有卡合槽，當(dāng)擺動(dòng)構(gòu)件在第一限制位置與第二限制位置之間擺動(dòng)時(shí)，上述卡合槽與卡合構(gòu)件卡合，卡合構(gòu)件形成為大致圓柱狀，在卡合槽的側(cè)面形成有大致半圓弧狀的凹曲面，該凹曲面的內(nèi)徑與卡合構(gòu)件的外徑大致相等。若在擺動(dòng)構(gòu)件位于第一限制位置與第二限制位置間時(shí)旋轉(zhuǎn)體停止，則第一磁力保持機(jī)構(gòu)對(duì)擺動(dòng)構(gòu)件的保持力及第二磁力保持機(jī)構(gòu)對(duì)擺動(dòng)構(gòu)件的保持力不發(fā)揮作用，因此，盡管旋轉(zhuǎn)體停止，擺動(dòng)構(gòu)件也可能會(huì)晃動(dòng)，但若這樣構(gòu)成，則在擺動(dòng)構(gòu)件位于第一限制位置與第二限制位置之間時(shí)，能使卡合構(gòu)件的外周面與大致半圓弧狀的凹曲面的較寬范圍接觸，因此，即便在擺動(dòng)構(gòu)件位于第一限制位置與第二限制位置間時(shí)旋轉(zhuǎn)體停止，也可以使用卡合構(gòu)件來防止擺動(dòng)構(gòu)件的晃動(dòng)。本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)能用于包括主體部、基端側(cè)能轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在主體部上的第一臂、基端側(cè)能轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在第一臂的前端側(cè)的第二臂、基端側(cè)能旋轉(zhuǎn)地安裝在第二臂的前端側(cè)的第三臂以及基端側(cè)能旋轉(zhuǎn)地安裝在第三臂的前端側(cè)的手部的工業(yè)用機(jī)器人，其中，例如，旋轉(zhuǎn)體是第三臂，支承體是第二臂。在上述工業(yè)用機(jī)器人中，能抑制伴隨著擺動(dòng)構(gòu)件的擺動(dòng)而導(dǎo)致塵埃的產(chǎn)生及噪聲的產(chǎn)生。發(fā)明效果如上所述，在本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)及工業(yè)用機(jī)器人中，能抑制伴隨著擺動(dòng)構(gòu)件的擺動(dòng)而導(dǎo)致塵埃的產(chǎn)生及噪聲的產(chǎn)生。


圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的工業(yè)用機(jī)器人的示意側(cè)視圖。圖2是使用圖1所示的工業(yè)用機(jī)器人的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的示意俯視圖。圖3是用于對(duì)圖1所示的第三臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明的縱剖視圖。圖4是用于從圖3的E — E方向?qū)Φ谌垓?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明的圖。圖5是用于對(duì)圖3所示的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)的動(dòng)作進(jìn)行說明的圖。圖6是用于對(duì)使用圖3所示的非接觸式傳感器檢測(cè)到磁性構(gòu)件時(shí)的第三臂的狀態(tài)進(jìn)行說明的圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。(工業(yè)用機(jī)器人的示意結(jié)構(gòu))圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的工業(yè)用機(jī)器人I的示意側(cè)視圖。圖2是使用圖1所示的工業(yè)用機(jī)器人I的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)16的示意俯視圖。本實(shí)施方式的工業(yè)用機(jī)器人I是用于對(duì)半導(dǎo)體晶片2 (參照?qǐng)D2)進(jìn)行搬運(yùn)的多關(guān)節(jié)型機(jī)器人。如圖1所示，該工業(yè)用機(jī)器人I包括主體部3 ;第一臂4，該第一臂4能轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在主體部3上；第二臂5，該第二臂5能轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在第一臂4上；第三臂6，該第三臂6能旋轉(zhuǎn)地安裝在第二臂5上；以及手部7、8，該手部7、8能旋轉(zhuǎn)地安裝在第三臂6上。另外，在以下的說明中，將工業(yè)用機(jī)器人I稱為“機(jī)器人1”，將半導(dǎo)體晶片2稱為“晶片2”。此外，機(jī)器人I包括臂部驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)11，該臂部驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)11使第一臂4及第二臂5轉(zhuǎn)動(dòng)來使由第一臂4和第二臂5構(gòu)成的臂部9伸縮；第三臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12，該第三臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12驅(qū)動(dòng)第三臂6旋轉(zhuǎn)；手部驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13，該手部驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13驅(qū)動(dòng)手部7旋轉(zhuǎn)；以及手部驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)14，該手部驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)14驅(qū)動(dòng)手部8旋轉(zhuǎn)。如圖2所示，機(jī)器人I例如可組裝在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)16中使用。具體來說，機(jī)器人I配置在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)16的入口處，將收納在盒17中的晶片2取出并將該晶片2收納在處理裝置18中。主體部3形成為圓筒狀。在主體部3的內(nèi)部收納有使第一臂4升降的升降機(jī)構(gòu)(未圖示)。第一臂4、第二臂5及第三臂6形成為中空狀。第一臂4的基端側(cè)能轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在主體部3上。第二臂5的基端側(cè)能轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在第一臂4的前端側(cè)。第三臂6的基端側(cè)能旋轉(zhuǎn)地安裝在第二臂5的前端側(cè)。在本實(shí)施方式中，在上下方向上，將主體部3、第一臂4、第二臂5及第三臂6從下側(cè)依次配置。
如圖2所示，手部7形成為從上下方向觀察時(shí)的形狀為大致Y形狀，在呈雙叉狀的手部7的前端部裝載晶片2。手部8形成為與手部7的形狀相同的形狀，在呈雙叉狀的手部8的前端部裝載晶片2。手部7、8的基端側(cè)能旋轉(zhuǎn)地安裝在第三臂6的前端側(cè)。手部7、8以在上下方向上重疊的方式配置。此外，手部7、8配置在第三臂6的上側(cè)。另外，在圖2中，省略了手部8的圖示。此外，在本實(shí)施方式的機(jī)器人I動(dòng)作時(shí)，雖然手部7和手部8也有在上下方向上重疊的情況，但在大多數(shù)情況下，手部7和手部8在上下方向上不重疊。例如，如圖2的雙點(diǎn)劃線所示，當(dāng)手部7伸入盒17中時(shí)，手部8朝主體部3側(cè)旋轉(zhuǎn)，不進(jìn)入盒17中。此時(shí)，手部8相對(duì)于手部7的旋轉(zhuǎn)角度例如為120° 150°。臂部驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)11包括:作為驅(qū)動(dòng)源的第一驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)20 ;用于將第一驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)20的動(dòng)力減速并傳遞至第一臂4的第一減速器21 ;用于將第一驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)20的動(dòng)力減速并傳遞至第二臂5的第二減速器22 ；以及將第一減速器21與第二減速器22連接的帶輪及傳動(dòng)帶(未圖示)。第一減速器21例如是作為波動(dòng)齒輪裝置的HARMONIC DRIVE(注冊(cè)商標(biāo)，日文名"、一* 二〃々K 7 7')，其構(gòu)成將主體部3與第一臂4連接的第一關(guān)節(jié)部。第二減速器22例如是HARMONIC DRIVE (注冊(cè)商標(biāo)，日文名:^、一壬二'7 K 7 7')，其構(gòu)成將第一臂4與第二臂5連接的第二關(guān)節(jié)部。第三臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12包括:作為驅(qū)動(dòng)源的第二驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)24 ;以及用于將第二驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)24的動(dòng)力減速并傳遞至第三臂6的第三減速器25。對(duì)于第三臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12的詳細(xì)結(jié)構(gòu)，將在后面敘述。手部驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13包括:作為驅(qū)動(dòng)源的手部驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)27 ;用于將手部驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)27的動(dòng)力減速并傳遞至手部7的手部用減速器(未圖示);以及將手部7與手部用減速器連接的帶輪及傳動(dòng)帶(未圖示)。手部驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)14與手部驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13同樣，包括:作為驅(qū)動(dòng)源的手部驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)28 ;用于將手部驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)28的動(dòng)力減速并傳遞至手部8的手部用減速器(未圖示)；以及將手部8與手部用減速器連接的帶輪及傳動(dòng)帶(未圖示)。手部用減速器例如是HARMONIC DRIVE (注冊(cè)商標(biāo)，日文名:？、一壬二 々K 7 歹)。

在如上所述構(gòu)成的機(jī)器人I中，當(dāng)?shù)谝或?qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)20驅(qū)動(dòng)后，如圖2所示，臂部9伸縮，而使第三減速器25的中心在直線L上移動(dòng)。此外，當(dāng)?shù)诙?qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)24驅(qū)動(dòng)后，第三臂6以第三減速器25為中心相對(duì)于臂部9相對(duì)旋轉(zhuǎn)。另外，在手部驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)27驅(qū)動(dòng)后，手部7相對(duì)于第三臂6相對(duì)旋轉(zhuǎn)，在手部驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)28驅(qū)動(dòng)后，手部8相對(duì)于第三臂6相對(duì)旋轉(zhuǎn)。通過將以上動(dòng)作組合，機(jī)器人I將收納在盒17中的晶片2取出并將晶片2收納在處理裝置18中。另外，當(dāng)機(jī)器人I對(duì)晶片2進(jìn)行搬運(yùn)時(shí)，利用配置在主體部3內(nèi)部的升降機(jī)構(gòu)，根據(jù)需要使臂部9、第三臂6及手部7、8升降。(第三臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu))圖3是用于對(duì)圖1所示的第三臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明的縱剖視圖。圖4是用于從圖3的E — E方向?qū)Φ谌垓?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明的圖。圖5是用于對(duì)圖3所示的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)31的動(dòng)作進(jìn)行說明的圖。圖6是用于對(duì)使用圖3所示的非接觸式傳感器59檢測(cè)到磁性構(gòu)件60時(shí)的第三臂6的狀態(tài)進(jìn)行說明的圖。第三臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12除了上述第二驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)24及第三減速器25之外，還包括對(duì)第三臂6相對(duì)于第二臂5的旋轉(zhuǎn)范圍進(jìn)行限制的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)31和用于使第三臂6復(fù)位至原點(diǎn)位置的第一檢測(cè)機(jī)構(gòu)32及第二檢測(cè)機(jī)構(gòu)33。第二驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)24是伺服電動(dòng)機(jī)。該第二驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)24安裝在第二臂5的前端側(cè)。具體來說，第二驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)24固定在第二臂5的比配置有第三減速器25的部位更靠前端側(cè)的部位。在第二驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)24的輸出軸上固定有帶輪34。第三減速器25構(gòu)成將第二臂5與第三臂6連接的第三關(guān)節(jié)部。該第三減速器25是HARMONIC DRIVE (注冊(cè)商標(biāo)，日文名？、一壬二 々K 7 7')，如圖3所示，其包括波形發(fā)生器35、剛性齒輪36和柔性齒輪37。柔性齒輪37固定在第三臂6上。剛性齒輪36固定在第二臂5的前端側(cè)。在波形發(fā)生器35的下端固定有帶輪38。在該帶輪38與固定于第二驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)24的輸出軸的帶輪34間架設(shè)有傳動(dòng)帶39。這樣，在本實(shí)施方式中，波形發(fā)生器35構(gòu)成第三減速器25的輸入軸，柔性齒輪37構(gòu)成第三減速器25的輸出軸。在第二臂5的前端側(cè)，以上下方向?yàn)檩S向固定有中空軸40，該中空軸40配置成穿過第三減速器25的中心。波形發(fā)生器35能旋轉(zhuǎn)地配置在中空軸40的外周側(cè)。在本實(shí)施方式中，利用中空軸40的內(nèi)周側(cè)來拉繞規(guī)定的布線。旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)31包括擺動(dòng)構(gòu)件(擺動(dòng)件)45,該擺動(dòng)構(gòu)件45能擺動(dòng)地安裝在第二臂5上；作為第一限制構(gòu)件的限位件46，該限位件46與擺動(dòng)構(gòu)件45抵接而限制擺動(dòng)構(gòu)件45朝一側(cè)擺動(dòng)的范圍；作為第二限制構(gòu)件的限位件47，該限位件47與擺動(dòng)構(gòu)件45抵接而限制擺動(dòng)構(gòu)件45朝另一側(cè)擺動(dòng)的范圍；以及作為卡合構(gòu)件的卡合銷48，該卡合銷48與擺動(dòng)構(gòu)件45卡合而使擺動(dòng)構(gòu)件45擺動(dòng)。在本實(shí)施方式中，第三臂6能相對(duì)于第二臂5旋轉(zhuǎn)360°以上，旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)31對(duì)旋轉(zhuǎn)360°以上的第三臂6的旋轉(zhuǎn)范圍進(jìn)行限制。另外，本實(shí)施方式的第三臂6例如能旋轉(zhuǎn)700°左右。此外,旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)31包括第一磁力保持機(jī)構(gòu)51,該第一磁力保持機(jī)構(gòu)51在擺動(dòng)構(gòu)件45與限位件46抵接的第一限制位置45A (參照?qǐng)D5 (A))處，利用磁吸引力對(duì)擺動(dòng)構(gòu)件45進(jìn)行保持；以及第二磁力保持機(jī)構(gòu)52,該第二磁力保持機(jī)構(gòu)52在擺動(dòng)構(gòu)件45與限位件47抵接的第二限制位置45B (參照?qǐng)D5 (E))處，利用磁吸引力對(duì)擺動(dòng)構(gòu)件45進(jìn)行保持?？ê箱N48形成為大致圓柱狀。上述卡合銷48通過規(guī)定的構(gòu)件而固定在柔性齒輪37的下表面。即，卡合銷48經(jīng)由柔性齒輪37等而固定在第三臂6上?？ê箱N48與形成于擺動(dòng)構(gòu)件45的后述的卡合槽45a卡合，而使擺動(dòng)構(gòu)件45在第一限制位置45A與第二限制位置45B之間擺動(dòng)。擺動(dòng)構(gòu)件45由非磁性材料形成，并形成為塊狀。該擺動(dòng)構(gòu)件45被固定于第二臂5的支承軸53支承成能擺動(dòng)，并能以支承軸53為中心擺動(dòng)。支承軸53以上下方向?yàn)檩S向而固定在第二臂5上。此外，支承軸53在第三減速器25的徑向外側(cè)固定在第二臂5上。SP，如圖4所示,從上下方向觀察時(shí),擺動(dòng)構(gòu)件45的擺動(dòng)中心配置在與第三臂6—起旋轉(zhuǎn)的卡合銷48的中心的軌跡即假想圓C的外側(cè)。此外，支承軸53配置在比第三減速器25更靠第二臂5的基端側(cè)的位置。在擺動(dòng)構(gòu)件45上形成有卡合槽45a，當(dāng)擺動(dòng)構(gòu)件45在第一限制位置45A與第二限制位置45B之間擺動(dòng)時(shí),上述卡合槽45a與卡合銷48卡合。卡合槽45a形成為從上下方向觀察時(shí)的形狀呈大致U形狀，在卡合槽45a的側(cè)面上形成有大致半圓弧狀的凹曲面45b。凹曲面45b的內(nèi)徑與卡合銷的外徑大致相等。另外，由于從上下方向觀察時(shí)的卡合槽45a形成為大致U形狀，因此，本實(shí)施方式的擺動(dòng)構(gòu)件45形成為從上下方向觀察時(shí)的形狀呈大致U形狀。限位件46、47形成為大致圓柱狀。限位件46以能與擺動(dòng)構(gòu)件45在擺動(dòng)構(gòu)件45的擺動(dòng)方向上的一個(gè)側(cè)面抵接的方式固定在第二臂5上，限位件47以能與擺動(dòng)構(gòu)件45在擺動(dòng)構(gòu)件45的擺動(dòng)方向上的另一個(gè)側(cè)面抵接的方式固定在第二臂5上。此外，將限位件46、47固定在第二臂5上，而使擺動(dòng)構(gòu)件45的擺動(dòng)角度例如為20° 30°左右。如圖5 (A)所示，卡合銷48能以將擺動(dòng)構(gòu)件45的一個(gè)側(cè)面按壓到限位件46的方式與位于第一限制位置45A的擺動(dòng)構(gòu)件45的另一個(gè)側(cè)面抵接，一旦卡合銷48以將擺動(dòng)構(gòu)件45的一個(gè)側(cè)面按壓到限位件46的方式與位于第一限制位置45A的擺動(dòng)構(gòu)件45的另一個(gè)側(cè)面抵接，則可限制經(jīng)由柔性齒輪37等固定有卡合銷48的第三臂6朝一側(cè)旋轉(zhuǎn)的范圍。此外，如圖5 (E)所示，卡合銷48能以將擺動(dòng)構(gòu)件45的另一個(gè)側(cè)面按壓到限位件47的方式與位于第二限制位置45B的擺動(dòng)構(gòu)件45的一個(gè)側(cè)面抵接，一旦卡合銷48以將擺動(dòng)構(gòu)件45的另一個(gè)側(cè)面按壓到限位件47的方式與位于第二限制位置45B的擺動(dòng)構(gòu)件45的一個(gè)側(cè)面抵接，則可限制第三臂6朝另一側(cè)旋轉(zhuǎn)的范圍。一旦第三臂6從圖5 (A)所示狀態(tài)朝圖5的順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，而使卡合銷48相對(duì)于第三減速器25的中心旋轉(zhuǎn)例如330°左右，則如圖5 (B)所示，卡合銷48與卡合槽45a的側(cè)面抵接，然后如圖5 (C)所示，卡合銷48與卡合槽45a卡合。一旦卡合銷48與卡合槽45a的側(cè)面抵接并與卡合槽45a卡合，則如圖5 (B) 圖5 (D)所示，伴隨著第三臂6的旋轉(zhuǎn)，擺動(dòng)構(gòu)件45從第一限制位置45A朝第二限制位置45B轉(zhuǎn)動(dòng)。此外，在擺動(dòng)構(gòu)件45從第一限制位置45A朝第二限制位置45B轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，如圖5 (D)所示，卡合銷48從卡合槽45a脫開。另外，在第三臂6進(jìn)一步朝圖5的順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)例如330°左右時(shí)，如圖5(E)所示，卡合銷48與擺動(dòng)構(gòu)件45的一個(gè)側(cè)面抵接，第三臂6朝順時(shí)針方向的旋轉(zhuǎn)被限制。同樣地，一旦第三臂6從圖5 (E)所示狀態(tài)朝圖5的逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，而使卡合銷48相對(duì)于第三減速器25的中心旋轉(zhuǎn)例如330°左右，則卡合銷48與卡合槽45a的側(cè)面抵接，然后，如圖5 (C)所示，卡合銷48與卡合槽45a卡合。一旦卡合銷48與卡合槽45a的側(cè)面抵接并與卡合槽45a卡合，則如圖5 (D) 圖5 (B)所示，伴隨著第三臂6的旋轉(zhuǎn)，擺動(dòng)構(gòu)件45從第二限制位置45B朝第一限制位置45A轉(zhuǎn)動(dòng)。此外，在擺動(dòng)構(gòu)件45從第二限制位置45B朝第一限制位置45A轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，如圖5 (B)所示，卡合銷48從卡合槽45a脫開。另外，在第三臂6進(jìn)一步朝圖5的逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)例如330°左右時(shí)，如圖5 (A)所示，卡合銷48與擺動(dòng)構(gòu)件45的另一個(gè)側(cè)面抵接，第三臂6朝逆時(shí)針方向的旋轉(zhuǎn)被限制。這樣，在本實(shí)施方式中，在第三臂6朝圖5的順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，只要擺動(dòng)構(gòu)件45位于第一限制位置45A，即便卡合銷48到達(dá)擺動(dòng)構(gòu)件45的配置部位，由于卡合銷48能一邊使擺動(dòng)構(gòu)件45朝第二限制位置45B轉(zhuǎn)動(dòng)，一邊經(jīng)過擺動(dòng)構(gòu)件45的配置部位，因此，第三臂6能進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)。另一方面，在第三臂6朝圖5的順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，只要擺動(dòng)構(gòu)件45位于第二限制位置45B，則一旦卡合銷48到達(dá)擺動(dòng)構(gòu)件45的配置部位，卡合銷48便會(huì)與抵接在限位件47上的擺動(dòng)構(gòu)件45抵接，第三臂6便無法進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)。此外，在第三臂6朝圖5的逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，只要擺動(dòng)構(gòu)件45位于第二限制位置45B，即便卡合銷48到達(dá)擺動(dòng)構(gòu)件45的配置部位，由于卡合銷48能一邊使擺動(dòng)構(gòu)件45朝第一限制位置45A轉(zhuǎn)動(dòng)，一邊經(jīng)過擺動(dòng)構(gòu)件45的配置部位，因此，第三臂6能進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)。另一方面，在第三臂6朝圖5的逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，只要擺動(dòng)構(gòu)件45位于第一限制位置45A，則一旦卡合銷48到達(dá)擺動(dòng)構(gòu)件45的配置部位，卡合銷48便會(huì)與抵接在限位件46上的擺動(dòng)構(gòu)件45抵接，第三臂6便無法進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)。另外，在本實(shí)施方式中，當(dāng)擺動(dòng)構(gòu)件45位于第一限制位置45A與第二限制位置45B之間時(shí)，如圖5 (C)所示，擺動(dòng)構(gòu)件45與卡合銷48以卡合銷48的外周面與凹曲面45b的比較寬的范圍接觸的方式卡合，從上下方向觀察時(shí)，凹曲面45b的曲率中心與卡合銷48的中心大致一致。此外，在本實(shí)施方式中，第二臂5是對(duì)能旋轉(zhuǎn)360°以上的第三臂6進(jìn)行支承的支承體，第三臂6是能旋轉(zhuǎn)360°以上的旋轉(zhuǎn)體。第一磁力保持機(jī)構(gòu)51由固定在擺動(dòng)構(gòu)件45上的磁性構(gòu)件55和固定在第二臂5上的永磁體56構(gòu)成。第二磁力保持機(jī)構(gòu)52與第一磁力保持機(jī)構(gòu)51同樣，由固定在擺動(dòng)構(gòu)件45上的磁性構(gòu)件57和固定在第二臂5上的永磁體58構(gòu)成。磁性構(gòu)件55、57形成為大致圓柱狀,并固定在擺動(dòng)構(gòu)件45的下表面上。此外,磁性構(gòu)件55、57在卡合槽45a的兩側(cè)分別被固定在擺動(dòng)構(gòu)件45上，以利用磁性構(gòu)件55和磁性構(gòu)件57夾著卡合槽45a。永磁體56、58形成為大致圓柱狀。永磁體56以與限位件46相鄰的方式固定在第二臂5上，永磁體58以與限位件47相鄰的方式固定在第二臂5上。此夕卜，在上下方向上，以在磁性構(gòu)件55、57的下表面與永磁體56、58的上表面之間形成間隙的方式，將永磁體56、58固定在第二臂5上。如圖5 (A)、圖5 (B)所示，當(dāng)擺動(dòng)構(gòu)件45位于第一限制位置45A時(shí)，從上下方向觀察時(shí)，磁性構(gòu)件55的一部分與永磁體56的一部分重疊,利用磁性構(gòu)件55與永磁體56間產(chǎn)生的磁吸引力，來將擺動(dòng)構(gòu)件45保持在第一限制位置45A處。另外，當(dāng)擺動(dòng)構(gòu)件45位于第一限制位置45A時(shí),從上下方向觀察時(shí)的磁性構(gòu)件55的中心與永磁體56的中心錯(cuò)開，以便產(chǎn)生將擺動(dòng)構(gòu)件45的一個(gè)側(cè)面按壓到限位件46這樣的磁吸引力。此外，如圖5 (D)、圖5 (E)所示，當(dāng)擺動(dòng)構(gòu)件45位于第二限制位置45B時(shí)，從上下方向觀察時(shí)，磁性構(gòu)件57的一部分與永磁體58的一部分重疊,利用磁性構(gòu)件57與永磁體58間產(chǎn)生的磁吸引力，來將擺動(dòng)構(gòu)件45保持在第二限制位置45B處。另外，當(dāng)擺動(dòng)構(gòu)件45位于第二限制位置45B時(shí)，從上下方向觀察時(shí)的磁性構(gòu)件57的中心與永磁體58的中心錯(cuò)開，以便產(chǎn)生將擺動(dòng)構(gòu)件45的另一個(gè)側(cè)面按壓到限位件47這樣的磁吸引力。第一檢測(cè)機(jī)構(gòu)32包括固定在第二臂5上的非接觸式傳感器59和固定在第三臂6上的磁性構(gòu)件60。非接觸式傳感器59以利用擺動(dòng)構(gòu)件45和非接觸式傳感器59夾著第三減速器25的方式固定在第二臂5上。即，非接觸式傳感器59在比第三減速器25更靠第二臂5的前端側(cè)的位置固定在第二臂5上。此外，非接觸式傳感器59以使其檢測(cè)面朝向上側(cè)的方式固定在第二臂5上。磁性構(gòu)件60形成為平板狀，并以經(jīng)過非接觸式傳感器59的檢測(cè)面的上側(cè)的方式固定在第三臂6上。本實(shí)施方式中的第三臂6由鋁等非磁性材料形成，并通過利用非接觸式傳感器59檢測(cè)到磁性構(gòu)件60，來檢測(cè)出第三臂6相對(duì)于第二臂5處于規(guī)定的狀態(tài)。第二檢測(cè)機(jī)構(gòu)33包括光學(xué)式傳感器61,該光學(xué)式傳感器61以使發(fā)光兀件與受光兀件相對(duì)的方式配置；以及遮光構(gòu)件62,該遮光構(gòu)件62固定在擺動(dòng)構(gòu)件45上。光學(xué)式傳感器61固定在第二臂5上。遮光構(gòu)件62以能遮住光學(xué)式傳感器61的發(fā)光兀件和受光元件間的方式固定在擺動(dòng)構(gòu)件45上。在本實(shí)施方式中，如圖5 (A)所示，當(dāng)擺動(dòng)構(gòu)件45位于第一限制位置45A時(shí),遮光構(gòu)件62將光學(xué)式傳感器61的發(fā)光兀件與受光兀件間遮住,如圖5 (E)所示，當(dāng)擺動(dòng)構(gòu)件45位于第二限制位置45B時(shí)，遮光構(gòu)件62從光學(xué)式傳感器61的發(fā)光元件與受光元件間脫開。如上所述，第三臂6能相對(duì)于第二臂5旋轉(zhuǎn)360°以上。因此，作為利用非接觸式傳感器59檢測(cè)到磁性構(gòu)件60時(shí)第三臂6相對(duì)于第二臂5的狀態(tài)，存在如下兩種狀態(tài)如圖
6(A)所示，僅允許第三臂6朝順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)；如圖6 (B)所示，允許第三臂6朝兩個(gè)方向旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)。即，在本實(shí)施方式中，僅使用第一檢測(cè)機(jī)構(gòu)32，無法準(zhǔn)確地檢測(cè)出第三臂6相對(duì)于第二臂5的狀態(tài)。因此，在本實(shí)施方式中，當(dāng)對(duì)第二驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)24進(jìn)行控制的控制部失去第三臂6相對(duì)于第二臂5的相對(duì)旋轉(zhuǎn)角度時(shí)，僅使用第一檢測(cè)機(jī)構(gòu)32，無法使第三臂6復(fù)位至原點(diǎn)位置。因此，在本實(shí)施方式中，使用第一檢測(cè)機(jī)構(gòu)32和第二檢測(cè)機(jī)構(gòu)33，來使第三臂6復(fù)位至原點(diǎn)位置。具體來說，例如，如圖6 (A)所示，以在第三臂6處于原點(diǎn)位置時(shí)能利用非接觸式傳感器59檢測(cè)到磁性構(gòu)件60且遮光構(gòu)件62將光學(xué)式傳感器61的發(fā)光兀件與受光元件之間遮住的方式設(shè)置第一檢測(cè)機(jī)構(gòu)32及第二檢測(cè)機(jī)構(gòu)33，從而使用第一檢測(cè)機(jī)構(gòu)32和第二檢測(cè)機(jī)構(gòu)33來使第三臂6復(fù)位至原點(diǎn)位置?；蛘?，以在第三臂6處于原點(diǎn)位置時(shí)能利用非接觸式傳感器59檢測(cè)到磁性構(gòu)件60且遮光構(gòu)件62從光學(xué)式傳感器61的發(fā)光兀件與受光元件之間脫離的方式設(shè)置第一檢測(cè)機(jī)構(gòu)32及第二檢測(cè)機(jī)構(gòu)33，從而使用第一檢測(cè)機(jī)構(gòu)32和第二檢測(cè)機(jī)構(gòu)33來使第三臂6復(fù)位至原點(diǎn)位置。(本實(shí)施方式的主要效果)如以上所說明的，在本實(shí)施方式中，利用第一磁力保持機(jī)構(gòu)51的磁吸引力，來將擺動(dòng)構(gòu)件45保持在第一限制位置45A，利用第二磁力保持機(jī)構(gòu)52的磁吸引力，來將擺動(dòng)構(gòu)件45保持在第二限制位置45B。因此，即便為了使第三臂6相對(duì)于第二臂5適當(dāng)?shù)匦D(zhuǎn)360°以上，而需要將擺動(dòng)構(gòu)件45保持在第一限制位置45A及第二限制位置45B，也不需要使用于將擺動(dòng)構(gòu)件45保持在第一限制位置45A及第二限制位置45B處的構(gòu)件與擺動(dòng)構(gòu)件45接觸。因此，在本實(shí)施方式中，能抑制伴隨著在第一限制位置45A與第二限制位置45B間擺動(dòng)的擺動(dòng)構(gòu)件45的擺動(dòng)而導(dǎo)致塵埃的產(chǎn)生及噪聲的產(chǎn)生。在本實(shí)施方式中，當(dāng)從上下方向觀察時(shí)，擺動(dòng)構(gòu)件45的擺動(dòng)中心配置在作為卡合銷48的中心軌跡的假想圓C的外側(cè)。因此，與擺動(dòng)構(gòu)件45的擺動(dòng)中心配置在假想圓C的內(nèi)側(cè)的情況相比，即便縮短從第三減速器25的中心到卡合銷48的距離，也能使與第三臂6一起旋轉(zhuǎn)的卡合銷48與卡合槽45a適當(dāng)?shù)乜ê?，并且能使與卡合槽45a卡合的卡合銷48適當(dāng)?shù)孛撾x卡合槽45a。即，在本實(shí)施方式中，即便縮短從第三減速器25的中心到卡合銷48的距離，也能使擺動(dòng)構(gòu)件45適當(dāng)?shù)財(cái)[動(dòng)。因此，在本實(shí)施方式中，能減小卡合銷48的旋轉(zhuǎn)半徑，其結(jié)果是，能使旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)31小型化，以使將第二臂5與第三臂6連接的第三關(guān)節(jié)部小型化。在本實(shí)施方式中，在卡合槽45a的側(cè)面形成有大致半圓弧狀的凹曲面45b,凹曲面45b的內(nèi)徑與卡合銷48的外徑大致相等。此外，在本實(shí)施方式中，當(dāng)擺動(dòng)構(gòu)件45位于第一限制位置45A與第二限制位置45B之間時(shí)，擺動(dòng)構(gòu)件45與卡合銷48以卡合銷48的外周面與凹曲面45b的比較寬的范圍接觸的方式卡合。因此，即便當(dāng)擺動(dòng)構(gòu)件45位于第一限制位置45A與第二限制位置45B之間時(shí)第二驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)24停止，也能利用與卡合槽45a卡合的卡合銷48來防止擺動(dòng)構(gòu)件45的晃動(dòng)。即，若在擺動(dòng)構(gòu)件45位于第一限制位置45A與第二限制位置45B之間時(shí)第二驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)24停止，則第一磁力保持構(gòu)件51對(duì)擺動(dòng)構(gòu)件45的保持力及第二磁力保持機(jī)構(gòu)52對(duì)擺動(dòng)構(gòu)件45的保持力不發(fā)揮作用，因此，盡管第二驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)24停止而使卡合銷48停止，擺動(dòng)構(gòu)件45仍有可能晃動(dòng)，但在本實(shí)施方式中，能使用卡合銷48來防止擺動(dòng)構(gòu)件45晃動(dòng)。(其它實(shí)施方式)上述實(shí)施方式為本發(fā)明的較為理想的實(shí)施方式中的一例，但本發(fā)明不限定于此，能在不變更本發(fā)明要點(diǎn)的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形來實(shí)施。在上述實(shí)施方式中，將磁性構(gòu)件55固定在擺動(dòng)構(gòu)件45上,并將永磁體56固定在第二臂5上，但也可以將磁性構(gòu)件55固定在第二臂5上，并將永磁體56固定在擺動(dòng)構(gòu)件45上。同樣地，在上述實(shí)施方式中，將磁性構(gòu)件57固定在擺動(dòng)構(gòu)件45上，并將永磁體58固定在第二臂5上，但也可以將磁性構(gòu)件57固定在第二臂5上，并將永磁體58固定在擺動(dòng)構(gòu)件45上。此外，只要擺動(dòng)構(gòu)件45由磁性材料形成，也可以不將磁性構(gòu)件55、57固定在擺動(dòng)構(gòu)件45上。另外，與擺動(dòng)構(gòu)件45由磁性材料形成的情況相比，由非磁性材料形成的擺動(dòng)構(gòu)件45固定有磁性構(gòu)件55、57更容易提高第一磁力保持機(jī)構(gòu)51及第二磁力保持機(jī)構(gòu)52的磁吸引力。此外，第一磁力保持機(jī)構(gòu)51及第二磁力保持機(jī)構(gòu)52還可以包括固定在擺動(dòng)構(gòu)件45上的永磁體，以代替磁性構(gòu)件55、57。在這種情況下，例如，對(duì)固定在擺動(dòng)構(gòu)件45上的永磁體進(jìn)行磁化并將其配置成利用在固定在擺動(dòng)構(gòu)件45上的永磁體與永磁體56、58間產(chǎn)生的磁吸引力，來將擺動(dòng)構(gòu)件45保持在第一限制位置45A及第二限制位置45B。或是，對(duì)固定在擺動(dòng)構(gòu)件45上的永磁體進(jìn)行磁化并將其配置成利用在固定在擺動(dòng)構(gòu)件45上的永磁體與永磁體56、58間產(chǎn)生的磁斥力，來將擺動(dòng)構(gòu)件45保持在第一限制位置45A及第二限制位置45B。在上述實(shí)施方式中，當(dāng)從上下方向觀察時(shí)，擺動(dòng)構(gòu)件45的擺動(dòng)中心配置在作為卡合銷48的中心軌跡的假想圓C的外側(cè)。除此之外，例如，擺動(dòng)構(gòu)件45的擺動(dòng)中心也可以在從上下方向觀察時(shí)配置在假想圓C的內(nèi)側(cè)。在這種情況下，擺動(dòng)構(gòu)件45等例如配置在第三減速器25的下側(cè)。此外，在上述實(shí)施方式中，擺動(dòng)構(gòu)件45形成為從上下方向觀察時(shí)的形狀呈大致U形，但擺動(dòng)構(gòu)件45也可以形成為從上下方向觀察時(shí)的形狀呈大致L形。在上述實(shí)施方式中，第三減速器25是HARMONIC DRIVE (注冊(cè)商標(biāo)，日文名"、一七二” K 7 A 7')，但第三減速器25也可以是HARMONIC DRIVE (注冊(cè)商標(biāo))以外的中空結(jié)構(gòu)的齒輪裝置。例如，第三減速器25既可以是寸4々口減速機(jī)(注冊(cè)商標(biāo))，也可以是RV(Rotor Vector)減速器或行星齒輪減速器等。此外，第三減速器25也可以是包括第一雙曲線齒輪和與第一雙曲線齒輪嚙合的第二雙曲線齒輪的減速器。此外，第三減速器25也可以不是中空結(jié)構(gòu)。在上述實(shí)施方式中，旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)31對(duì)第三臂6相對(duì)于第二臂5的旋轉(zhuǎn)范圍進(jìn)行限制。除此之外，例如，在第一臂4相對(duì)于主體部3旋轉(zhuǎn)360°以上的情況下，也可以使用旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)31來限制第一臂4相對(duì)于主體部3的旋轉(zhuǎn)范圍。此外，在第二臂5相對(duì)于第一臂4旋轉(zhuǎn)360°以上的情況下，也可以使用旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)31來限制第二臂5相對(duì)于第一臂4的旋轉(zhuǎn)范圍。此外，在手部7、8相對(duì)于第三臂6旋轉(zhuǎn)360°以上的情況下，也可以使用旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)31來限制手部7、8相對(duì)于第三臂6的旋轉(zhuǎn)范圍。在上述實(shí)施方式中，機(jī)器人I是用于對(duì)半導(dǎo)體晶片2進(jìn)行搬運(yùn)的機(jī)器人，但機(jī)器人I既可以是對(duì)液晶用的玻璃基板等其它搬運(yùn)對(duì)象物進(jìn)行搬運(yùn)的搬運(yùn)用機(jī)器人，也可以是組裝用機(jī)器人等搬運(yùn)用機(jī)器人之外的工業(yè)用機(jī)器人。即，旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)31也可以用于機(jī)器人I之外的機(jī)器人中。此外，旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)31也可以用于具有能相對(duì)于支承體旋轉(zhuǎn)360°以上的旋轉(zhuǎn)體的、除機(jī)器人之外的各種裝置中。(符號(hào)說明)I機(jī)器人(工業(yè)用機(jī)器人)3主體部4 第一臂5第二臂(支承體)6第三臂(旋轉(zhuǎn)體)7、8 手部31旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)(旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu))45擺動(dòng)構(gòu)件45a卡合槽45b 凹曲面45A第一限制位置45B第二限制位置46限位件(第一限制構(gòu)件)47限位件(第二限制構(gòu)件)48卡合銷(卡合構(gòu)件)51第一磁力保持機(jī)構(gòu)52第二磁力保持機(jī)構(gòu)55、57磁性構(gòu)件56、58 永磁體C假想圓
權(quán)利要求
1.一種旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)，對(duì)能相對(duì)于支承體旋轉(zhuǎn)360°以上的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍進(jìn)行限制，其特征在于，包括: 擺動(dòng)構(gòu)件，該擺動(dòng)構(gòu)件能擺動(dòng)地安裝在所述支承體上； 第一限制構(gòu)件，該第一限制構(gòu)件固定或形成于所述支承體，且與所述擺動(dòng)構(gòu)件抵接來對(duì)所述擺動(dòng)構(gòu)件朝一側(cè)的擺動(dòng)范圍進(jìn)行限制； 第二限制構(gòu)件，該第二限制構(gòu)件固定或形成于所述支承體，且與所述擺動(dòng)構(gòu)件抵接來對(duì)所述擺動(dòng)構(gòu)件朝另一側(cè)的擺動(dòng)范圍進(jìn)行限制； 卡合構(gòu)件，該卡合構(gòu)件固定或形成于所述旋轉(zhuǎn)體，且與所述擺動(dòng)構(gòu)件卡合，以使所述擺動(dòng)構(gòu)件在第一限制位置與第二限制位置之間擺動(dòng)，其中，在所述第一限制位置上，所述擺動(dòng)構(gòu)件與所述第一限制構(gòu)件抵接，在所述第二限制位置上，所述擺動(dòng)構(gòu)件與所述第二限制構(gòu)件抵接； 第一磁力保持機(jī)構(gòu)，該第一磁力保持機(jī)構(gòu)利用磁吸引力或磁斥力將所述擺動(dòng)構(gòu)件保持在所述第一限制位置上；以及 第二磁力保持機(jī)構(gòu)，該第二磁力保持機(jī)構(gòu)利用磁吸引力或磁斥力將所述擺動(dòng)構(gòu)件保持在所述第二限制位置上。
2.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一磁力保持機(jī)構(gòu)及所述第二磁力保持機(jī)構(gòu)包括固定在所述擺動(dòng)構(gòu)件和所述支承體中的一方上的永磁體以及固定在所述擺動(dòng)構(gòu)件和所述支承體中另一方上的磁性構(gòu)件或永磁體。
3.如權(quán)利要求1或2所述的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)，其特征在于，從所述旋轉(zhuǎn)體的轉(zhuǎn)軸的軸向觀察時(shí)，所述擺動(dòng)構(gòu)件的擺動(dòng)中心配置在與所述旋轉(zhuǎn)體一起旋轉(zhuǎn)的所述卡合構(gòu)件的軌跡即假想圓的外側(cè)。
4.如權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)，其特征在于， 在所述擺動(dòng)構(gòu)件上形成有卡合槽，當(dāng)所述擺動(dòng)構(gòu)件在所述第一限制位置與所述第二限制位置之間擺動(dòng)時(shí)，所述卡合槽與所述卡合構(gòu)件卡合， 所述卡合構(gòu)件形成為大致圓柱狀， 在所述卡合槽的側(cè)面形成有大致半圓弧狀的凹曲面，該凹曲面的內(nèi)徑與所述卡合構(gòu)件的外徑大致相等。
5.一種工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，包括: 權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)； 主體部； 第一臂，該第一臂的基端側(cè)能轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述主體部； 第二臂，該第二臂的基端側(cè)能轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述第一臂的前端側(cè)； 第三臂，該第三臂的基端側(cè)能旋轉(zhuǎn)地安裝在所述第二臂的前端側(cè)；以及 手部，該手部的基端側(cè)能旋轉(zhuǎn)地安裝在所述第三臂的前端側(cè)， 所述旋轉(zhuǎn)體是所述第三臂，所述支承體是所述第二臂。
全文摘要
一種旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)，能抑制塵埃產(chǎn)生及噪聲產(chǎn)生。對(duì)能相對(duì)支承體(5)旋轉(zhuǎn)360°以上的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍進(jìn)行限制的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)(31)包括能擺動(dòng)地安裝于支承體的擺動(dòng)構(gòu)件(45)；與擺動(dòng)構(gòu)件(45)抵接以限制擺動(dòng)構(gòu)件(45)朝一側(cè)的擺動(dòng)范圍的第一限制構(gòu)件(46)；與擺動(dòng)構(gòu)件(45)抵接以限制擺動(dòng)構(gòu)件(45)朝另一側(cè)的擺動(dòng)范圍的第二限制構(gòu)件(47)；卡合構(gòu)件(48)，其固定于旋轉(zhuǎn)體且與擺動(dòng)構(gòu)件(45)卡合以使擺動(dòng)構(gòu)件(45)在第一限制位置與第二限制位置間擺動(dòng)，在第一限制位置上擺動(dòng)構(gòu)件(45)與第一限制構(gòu)件(46)抵接，在第二限制位置上擺動(dòng)構(gòu)件(45)與第二限制構(gòu)件(47)抵接；利用磁吸引力將擺動(dòng)構(gòu)件(45)保持于第一限制位置的第一磁力保持機(jī)構(gòu)(51)；以及利用磁吸引力將擺動(dòng)構(gòu)件(45)保持于第二限制位置的第二磁力保持機(jī)構(gòu)(52)。
文檔編號(hào)B25J19/00GK103079777SQ201280002410
公開日2013年5月1日 申請(qǐng)日期2012年4月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月27日
發(fā)明者北原康行, 改野重幸 申請(qǐng)人:日本電產(chǎn)三協(xié)株式會(huì)社