專利名稱：抗靜電板及包含其的工作平臺(tái)組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種工作平臺(tái)，特別涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體制成設(shè)備、顯示裝置或測(cè)試裝置等需要抗靜電處理的工作平臺(tái)。
背景技術(shù)：
在進(jìn)行半導(dǎo)體制程時(shí)，晶圓基板設(shè)置于一工作平臺(tái)上，而工作平臺(tái)通常是由金屬材料所構(gòu)成，因此，在進(jìn)行半導(dǎo)體制程的過程中，在工作平臺(tái)與晶圓基板之間會(huì)產(chǎn)生靜電摩擦。此外，在制造平面顯示器的點(diǎn)膠機(jī)或刻線機(jī)中，顯示基板通常是以真空吸附方式設(shè)置于工作平臺(tái)上，此工作平臺(tái)也通常是由金屬材料所構(gòu)成，如鋁，因此，當(dāng)設(shè)置顯示基板于工作平臺(tái)時(shí)或當(dāng)將顯示基板從工作平臺(tái)上移除時(shí)，工作平臺(tái)上會(huì)產(chǎn)生靜電，因此顯示基板會(huì)被電氣化。近年來，由于顯示基板越來越大，所產(chǎn)生的電荷量亦隨之增加，因此靜電問題亦隨著越來越嚴(yán)重。在晶圓基板或顯示基板上會(huì)設(shè)置許多電子元件，如半導(dǎo)體裝置，因此，靜電可能流至這些電子元件并傳送至其內(nèi)部電路，而產(chǎn)生靜電時(shí)所導(dǎo)致的靜電電氣化會(huì)對(duì)這些電子元件的可靠度造成毀滅性的破壞。再者，基板上可能吸附顆粒，而且在提起基板時(shí)，可能會(huì)導(dǎo)致基板因靜電電氣化而破裂。在現(xiàn)有技術(shù)中，可以在工作平臺(tái)上設(shè)置一靜電消除機(jī)以電氣化電位，藉以防止靜電電氣化；然而，在這種情況下，可能無法提起基板，否則離子風(fēng)流可能無法順利吹至目的地，而且，即使可以順利提起基板，在離子風(fēng)流吹至需要修除靜電處之前，也可能產(chǎn)生靜電放電的問題。為解決上述問題，可以利用氟塑料涂布(或稱鐵氟龍涂布)作為工作平臺(tái)的抗靜電處理，由于氟塑料與其他材料的黏著力較低，且具有優(yōu)異的無黏著力特性及較低的摩擦系數(shù)，因此其與玻璃基板具有較弱的連結(jié)關(guān)系，進(jìn)而可以有效降低分離基板時(shí)產(chǎn)生的靜電。一般而言，氟具有電性隔離特性，因此在鐵氟龍涂布中可以將電氣化材料加入氟中，也即在電鍍工作平臺(tái)之后，進(jìn)行鐵氟龍涂布，藉以避免在工作平臺(tái)上產(chǎn)生靜電。然而，鐵氟龍涂布相對(duì)較昂貴，特別是針對(duì)顯示基板越來越大的情況下，工作平臺(tái)的尺寸亦隨之增大，因此，其制造成本亦大幅增加。另外，氟本身的硬度較低，所以由氟所構(gòu)成的涂布層的硬度相對(duì)較低，故容易在其上形成刮痕而此刮痕處不容易保持平坦，且可能會(huì)形成顆粒。此外，由于氟具有電性隔離特性，所以還必須添加填充劑，如碳黑或?qū)щ姼叻肿?，藉以提供抗靜電的表面電阻；然而由于碳黑為圓形，所以會(huì)產(chǎn)生灰塵，而導(dǎo)電高分子的溶劑耐度較弱，需要較大量的黏結(jié)劑，且不容易形成薄膜。除此之外，利用燒結(jié)超高分子量聚乙烯粉末以形成一超高分子量多孔膜，其可以應(yīng)用于刻線機(jī)的抗靜電；然而，此超高分子量多孔膜的吸振能力較弱，因此加工物件可能會(huì)容易受損，而且超高分子量多孔膜其的強(qiáng)度較低，所以其耐受度較低。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題，本發(fā)明的目的提供一種抗靜電板以及包括抗靜電板而具抗靜電處理的工作平臺(tái)，其能夠減少在工作平臺(tái)與基板的相對(duì)表面上產(chǎn)生的靜電，降低制造成本，適當(dāng)?shù)卣{(diào)整表面電阻，及較低的摩擦系數(shù)與較高的抗磨損度。本發(fā)明的另一目的提供一種抗靜電板以及包括抗靜電板的具抗靜電處理的工作平臺(tái)組件，其具有優(yōu)異的吸振能力。本發(fā)明披露一種抗靜電板，其包括一多孔板、一中間層以及一靜電放電披覆層。其中，多孔板具有多孔性，中間層由高分子混合樹脂所構(gòu)成并形成于多孔板的至少一側(cè)面上，靜電放電披覆層設(shè)置于中間層上并包括多個(gè)納米碳管?？轨o電板可還包括一初始層，其用以增加靜電放電披覆層與中間層之間的黏著力，其中，初始層通過涂布一初始披覆劑于中間層上并使其硬化而形成，初始披覆劑通過混合氯化聚烯烴及改性橡膠于一溶劑中而形成，溶劑包括甲苯及二甲苯?？轨o電板可還包括一電暈處理層，其通過電暈處理中間層而形成于靜電放電披覆層與中間層之間。靜電放電披覆層通過涂布一靜電放電披覆劑而形成，其中，靜電放電披覆劑包括一溶劑、一樹脂以及多個(gè)納米碳管；樹脂混合加入溶劑中，并包括苯氧基樹脂、丙烯酸氨基甲酸酯、羧基修飾乙烯共聚物、水性聚氨酯、聚酯、及聚乙烯醇縮丁醛至少其中之一，其中樹脂占靜電放電披覆劑的重量百分比的10至20%，納米碳管占靜電放電披覆劑的重量百分比的0.1至5%。其中，靜電放電披覆層的表面電阻為IO6 liTQ/sq。多孔板為一不織布纖維板，其中不織布纖維板的原料纖維為聚對(duì)苯二甲酸乙二酯合成纖維。另外，本發(fā)明也披露一種工作平臺(tái)組件，其包括一工作平臺(tái)以及一抗靜電板；其中，工作平臺(tái)具有金屬制的至少一表面，且設(shè)置有多個(gè)黏著孔，其利用真空吸附以固定一加工物件，抗靜電板具有前述的結(jié)構(gòu)，并設(shè)置于工作平臺(tái)的該表面上。其中，多孔板覆蓋工作平臺(tái)的設(shè)有黏著孔的上表面及部分側(cè)面，另外，工作平臺(tái)可還包括一黏著劑，其用以將多孔板的一端固定于工作平臺(tái)的側(cè)面。其中，多孔板為一不織布纖維板，其原料纖維為聚對(duì)苯二甲酸乙二酯合成纖維。其中，不織布纖維板的空氣穿透率為80 160cm3/cm2.S。承上所述，本發(fā)明在工作平臺(tái)上涂布具有納米碳管的抗靜電劑，因此能夠降低工作平臺(tái)的摩擦系數(shù)，提供優(yōu)異的耐磨度，并改善其耐用度。此外，本發(fā)明采用不織布纖維板，其具有優(yōu)異的多孔性及彈性，藉以提供良好的吸振效果，因此能夠避免破壞加工物件。


圖1為本發(fā)明一示例性實(shí)施例的工作平臺(tái)組件的一分解圖；圖2為沿著圖1所示的線I1-1I的一剖面圖；圖3為本發(fā)明的一抗靜電板的一剖面圖4為圖3的一變化態(tài)樣的示意圖；圖5為圖3及圖4的一變化態(tài)樣的示意圖；圖6為本發(fā)明的抗靜電板的表面的顯微鏡照片；以及圖7a及圖7b為本發(fā)明的抗靜電板的剖面圖，其顯示抗靜電板的制造方法的步驟。主要元件符號(hào)說明1:工作平臺(tái)10、20:抗靜電板(納米碳管多孔板)11:多孔板12:連結(jié)層13:中間層14:初始層15、15a、15b:靜電放電披覆層24:電暈處理層5:黏著孔90:黏著劑130:復(fù)合層g:加工物件
具體實(shí)施例方式以下將參照相關(guān)圖式，說明依本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的一種抗靜電板及包含其的工作平臺(tái)組件，其中相同的元件將以相同的參照符號(hào)加以說明。需注意者，當(dāng)本文提到一元件“連接”或“耦接”另一元件時(shí)，其可以直接連接或耦接兩個(gè)元件，或通過一中間元件而達(dá)成；相反地，當(dāng)本文提到一元件“直接連接”或“直接耦接”另一元件時(shí)，則不存在有任何中間元件。圖1為本發(fā)明一示例性實(shí)施例的工作平臺(tái)組件的一立體圖，其中，工作平臺(tái)組件包括一工作平臺(tái)I以及一抗靜電板10。工作平臺(tái)I設(shè)置于一基座框架(圖未示)上，其中，工作平臺(tái)I與基座框架可以是一體成形或由分離元件組合而成。一加工物件g設(shè)置于工作平臺(tái)I上，其中加工物件g包括一電子元件，而此電子元件可能會(huì)被工作平臺(tái)1電氣化，加工物件g例如為一晶圓基板或一顯示基板。
工作平臺(tái)1所適用的設(shè)備包括半導(dǎo)體制程設(shè)備、刻線機(jī)及點(diǎn)膠機(jī)，其中，半導(dǎo)體制程設(shè)備的工作平臺(tái)1用以承載晶圓基板，而刻線機(jī)的工作平臺(tái)I用以承載顯示基板，但本發(fā)明并不限于此，其可以應(yīng)用于任何需要抗靜電程序的工作平臺(tái)。工作平臺(tái)I具有多個(gè)黏著孔5，其黏著并支撐加工物件g于工作平臺(tái)I上，其中加工物件g可以是一顯示基板或一晶圓。工作平臺(tái)I的材料可以包括鋁、鎂、鋅、鈦、鉭、鉿、或鈮。在本實(shí)施例中，工作平臺(tái)I的材料為鋁合金，其由于鋁材料很輕，且具有一定的強(qiáng)度及優(yōu)異的加工能力。抗靜電板10設(shè)置于工作平臺(tái)I是表面與加工物件g之間，換言之，抗靜電板10固定設(shè)置于工作平臺(tái)I是表面上，且抗靜電板10承載加工物件g。抗靜電板10可以是貼設(shè)于工作平臺(tái)I上。此外，抗靜電板10也可以未貼設(shè)于工作平臺(tái)I上，而是通過黏著孔固定抗靜電板10，因此，可以容易地更換抗靜電板，且可以避免造成工作平臺(tái)的臟污。承上所述，抗靜電板10覆蓋形成有黏著孔5的工作平臺(tái)I的上表面及工作平臺(tái)I的部分側(cè)面，此外，抗靜電板10可還包括一黏著劑90，用以將抗靜電板10的一端固定于工作平臺(tái)I的側(cè)面上。如圖2所不,抗靜電板10包括一多孔板11、一中間層13以及一靜電放電披覆層15。多孔板11具有彈性且其空氣穿透率為80 160cm3/cm2.S，其中，多孔板11可以是一不織布纖維板。不織布纖維板由不織布纖維所構(gòu)成，且形成一板狀，其中，不織布纖維指將纖維以平行或不定向方式設(shè)置，并利用一合成樹脂黏著劑結(jié)合纖維以形成毛毯狀，而非使用編織方式。不織布纖維板可以經(jīng)過一浸泡或干燥程序，其中，浸泡程序指將纖維浸泡于合成樹脂黏著劑瓶中，然后進(jìn)行紙過濾，接著進(jìn)行干燥或加熱，此時(shí)，不織布纖維板近似于一紙張，其中干燥程序指將合成樹脂旋轉(zhuǎn)涂布于薄棉狀纖維上，然后加熱干燥。不織布纖維板為毛毯狀，以提高其吸振效能，此外，由于所采用的纖維及黏著劑幾乎皆為合成高分子，所以其具有良好的防皺效能及高形狀穩(wěn)定度，而且其耐用度高、低溫穩(wěn)定度高、熱阻能力高、熱沖擊強(qiáng)、且耐潮濕性高。多孔板具有多孔性，因此，當(dāng)工作平臺(tái)I設(shè)置并支撐加工物件g時(shí)，工作平臺(tái)I的吸收能力可以傳遞至加工物件g。從黏著孔5所提供的負(fù)壓可以散布至整個(gè)多孔板11的表面，藉以適當(dāng)?shù)毓潭ㄈ我獬叽绲募庸の锛?，其中，多孔?1的空氣穿透率優(yōu)選為80 160cm3/cm2.S ;若多孔板11的空氣穿透率小于80cm3/cm2.S，則從黏著孔5所提供的負(fù)壓可能無法散布至整個(gè)多孔板11的表面，另外，多孔板11的空氣穿透率大于160cm3/cm2.S，則會(huì)減弱不織布纖維板的拉伸強(qiáng)度及張力，因此無法順利地涂布納米碳管以提供足夠的抗靜電能力。本發(fā)明的多孔板具有前述的空氣穿透率，所以能夠?qū)酿ぶ?提供的負(fù)壓均勻地散布，因此，即使加工物件僅設(shè)置于工作平臺(tái)的一部份上，仍然能夠?qū)⒓庸の锛N附于工作平臺(tái)上。當(dāng)多孔板11為一不織布纖維板時(shí)，其原料纖維為聚對(duì)苯二甲酸乙二酯、聚乙烯、或聚丙烯合成纖維。以下以多孔板11為一不織布纖維板為例進(jìn)行說明。不織布纖維板的原料纖維優(yōu)選為聚對(duì)苯二甲酸乙二酯合成纖維，其本身具有比天然的聚對(duì)苯二甲酸乙二酯材料更好的多孔性特性。由于不織布纖維板具有毛毯外型，所以其不具有平滑表面，因此，不容易在不織布纖維板上進(jìn)行涂布。因此，可以將一中間層13形成于多孔板11的一側(cè)面上，此中間層13可以改善靜電放電披覆層15與多孔板11之間的黏著力，進(jìn)而可以減少其厚度并改善涂布效率，其中，靜電放電披覆層15將于后續(xù)說明之。中間層13優(yōu)選由聚乙烯或聚對(duì)苯二甲酸乙二酯所構(gòu)成。
當(dāng)利用聚乙烯形成中間層13時(shí)，可以利用貼附一高密度聚乙烯膜或薄薄地涂布一層聚乙烯樹脂，然后將其硬化而形成。需特別說明的是，當(dāng)利用聚對(duì)苯二甲酸乙二酯形成中間層13時(shí)，中間層13可以容易地貼附于不織布纖維板上，并具有高剪切應(yīng)力，另外，利用聚對(duì)苯二甲酸乙二酯形成中間層13的制造過程中的體積較小，所以由聚對(duì)苯二甲酸乙二酯所形成的中間層13比由聚乙烯所形成的中間層13更容易清洗。中間層13可以僅形成于多孔板的一側(cè)面，此時(shí)，中間層13優(yōu)選形成于工作平臺(tái)的表面及提供加工物件抗靜電的相對(duì)表面。如圖3所示，中間層13可以設(shè)置于多孔板的兩側(cè)面，此時(shí)，當(dāng)靜電放電披覆層14a到達(dá)使用期限時(shí)，可以將多孔板11翻面，以便利用設(shè)置于多孔板11另一側(cè)的靜電放電披覆層14b來接觸加工物件，因此，可以延長(zhǎng)納米碳管多孔板10的使用壽命。同時(shí)，中間層13可以是直接貼附于多孔板11，然而，一般而言，中間層13無法輕易地直接貼附于多孔板11，因此，可以形成一連結(jié)層12于多孔板11與中間層13之間。連結(jié)層12可以是由聚乙烯所構(gòu)成，其中，聚乙烯的密度優(yōu)選為小于0.9。連結(jié)層12熱固于至少多孔板11與中間層13其中之一，因此，當(dāng)多孔板11與中間層13于上述程序后互相接觸時(shí)，多孔板11與中間層13可以通過連結(jié)層12而互相連接。靜電放電披覆層15可以通過將靜電放電披覆劑涂布于初始層然后硬化而成，其中，靜電放電披覆劑通過混合一樹脂及導(dǎo)電納米碳管于一溶劑中而形成，且溶劑包括乙醇及去離子水。上述的溶劑可為水性溶劑，而上述的樹脂可為苯氧基樹脂、丙烯酸氨基甲酸酯、羧基修飾乙烯共聚物、水性聚氨酯、聚酯、及聚乙烯醇縮丁醛至少其中之一。承上所述，水性聚氨酯可以是市售的Sancure 12954或Sancure 898,聚酯可以是市售的Vylon200，305, 3200，聚乙烯醇縮丁醛可以是市售的BM_2，60H, 08HX，樹脂可以占靜電放電披覆劑的重量百分比的10至20%，上述化合物混合加入溶劑中，由于靜電放電披覆劑的黏著力較弱，且納米碳管可能無法均勻地混合及散布于其中，所以在利用包含少于10%重量百分比的樹脂的靜電放電披覆劑形成納米碳管多孔板時(shí)，納米碳管可以利用涂抹方式形成。相反地，當(dāng)靜電放電披覆劑包含大于20%重量百分比的樹脂時(shí)，雖可增加黏著力，但其高黏度及需長(zhǎng)時(shí)間干燥的特性導(dǎo)致操作效率不彰。靜電放電披覆劑可包括0.1至5%重量百分比的納米碳管；當(dāng)使用少于0.1%重量百分比的納米碳管時(shí)，會(huì)導(dǎo)致納米碳管多孔板的導(dǎo)電性能下降，然而，當(dāng)使用大于5%重量百分比的納米碳管時(shí)，則會(huì)增加納米碳管多孔板的制造時(shí)間及成本，進(jìn)而降低其經(jīng)濟(jì)效益。為有效減少成本，可以采用多壁納米碳管(MWCNT)取代單壁納米碳管(SWCNT)。納米碳管可以通過其優(yōu)異的導(dǎo)電性而帶來抗靜電效果，因此，包括納米碳管的納米碳管多孔板具有限制靜電產(chǎn)生及容易與玻璃基板(如LCD面板)分離等優(yōu)點(diǎn)，因此，可以加速制程，并減少材料污染。與其他由導(dǎo)電高分子所制成的抗靜電膜相比，本發(fā)明的靜電放電披覆層15具有相對(duì)較粗糙的表面，因此，可以減少加工物件黏著于納米碳管多孔板上的可能性。另外，在形成靜電放電披覆劑時(shí)，還可加入少量的整平劑及消光劑于上述的水性溶劑，其中，整平劑可以改善靜電放電披覆劑的性能，因此靜電放電披覆劑能夠更薄更平整地涂布。其中，整平劑例如為市售的Dynol 604607或Dynol 604607，其占靜電放電披覆劑的重量百分比的0.04 0.08%。同時(shí)，初始層14可以形成于中間層13與靜電放電披覆層15之間。初始層14用以改善靜電放電披覆層15的黏著力，以便順利黏著中間層13與靜電放電披覆層15，而初始層14通過涂布薄薄一層初始披覆劑于中間層13上并使其硬化而形成。其中，初始披覆劑通過混合氯化聚烯烴及改性橡膠于一溶劑中而形成，且溶劑混合甲苯及二甲苯而成。圖4為本發(fā)明另一示例性實(shí)施例的抗靜電板的示意圖，如圖4所示，抗靜電板20包括一多孔板11、一中間層13、一電暈處理層24及一靜電放電披覆層15，其中，中間層13由聚乙烯或聚對(duì)苯二甲酸乙二酯所形成、并形成于不織布纖維板的至少一側(cè)，電暈處理層24形成于中間層13的表面，而靜電放電披覆層15包括納米碳管并形成于電暈處理層24上。此時(shí)，中間層13與多孔板11可以通過一連結(jié)層12而互相連接。上述的多孔板11、中間層13、靜電放電披覆層15及連結(jié)層12的各組件及制造方法與圖2所示的多孔板11、中間層13、靜電放電披覆層15及連結(jié)層12相同，故及其使用相同元件符號(hào)，因此于此不再贅述。承上所述，電暈處理指通過施加高頻高壓輸出于一放電電極與一滾輪之間，藉以產(chǎn)生電暈放電，然后將一物件通過電暈放電以進(jìn)行表面處理。電暈處理層24為中間層13的一個(gè)表面，其通過電暈放電環(huán)境的電暈處理，此電暈處理層24可以增加靜電放電披覆劑的黏著力，改善涂布污染的情況，并減少堆疊的靜電放電披覆層15的厚度。另外，請(qǐng)參照?qǐng)D5所示，多孔板11的表面可以進(jìn)行浮雕加工，以形成多個(gè)凹凸；由于多孔板11具有許多凹凸，所以中間層13、初始層14(或電暈處理層24)、及靜電放電披覆層15可以配合不織布纖維板上的凹凸形狀，而依序堆疊于多孔板11的兩側(cè)面。亦即，在完成的抗靜電板的表面上也會(huì)形成多個(gè)凹凸，因此，上述的抗靜電板的吸振效能可以提高并大于圖2至圖4所示的任一種抗靜電板。在本實(shí)施例中，在制備靜電放電披覆劑以形成靜電放電披覆層時(shí)，添加整平劑的動(dòng)作變得非常重要，其能夠使得不織布纖維板上的凹凸形狀復(fù)制呈現(xiàn)于靜電放電披覆層。圖6為本發(fā)明的抗靜電板的表面的顯微鏡照片，其為放大200倍的圖像，如圖6所示，不織布纖維板具有許多數(shù)百微米大小的氣泡，而不織布纖維板的空氣穿透率為80 160cm3/cm2.S。具有上述結(jié)構(gòu)的抗靜電板的制造方法包括下列步驟:形成一靜電放電披覆層15于一中間層13上，其中靜電放電披覆層15包括納米碳管，而中間層13由高分子復(fù)合板所構(gòu)成；以及將形成有靜電放電披覆層15的中間層13貼附于一不織布纖維板11的一側(cè)或優(yōu)選于其兩側(cè)。以下將參照?qǐng)D7a及圖7b所示，說明抗靜電板的制造方法。在本實(shí)施例中，靜電放電披覆層15形成于多孔板11的兩側(cè)，而初始層14形成于中間層13與靜電放電披覆層15之間；首先，如圖7a所示，制備個(gè)別的兩個(gè)復(fù)合層130，在復(fù)合層130中，靜電放電披覆層15涂布于中間層13上。
此時(shí)，中間層13可以是由聚乙烯或聚對(duì)苯二甲酸乙二酯所構(gòu)成。另外，初始層14形成于中間層13與靜電放電披覆層15之間，藉以提高形成靜電放電披覆層15于中間層13上的涂布效能。接著，如圖7b所示，將復(fù)合層130貼附于多孔板11的兩側(cè)，其中，復(fù)合層130用于連接多孔板11的表面未形成靜電放電披覆層15,而一連結(jié)層12形成于復(fù)合層130與多孔板11之間。上述步驟包括下列程序，首先通過一拆卷機(jī)的一導(dǎo)引滾輪或近似機(jī)構(gòu)將卷筒狀的復(fù)合層130及多孔板11分別傳送至黏貼處，然后通過滾輪施壓并連結(jié)傳送至黏貼處的復(fù)合層130與不織布纖維板。上述的制造方法還包含一步驟:在上述連結(jié)步驟之前，快速涂布連結(jié)層12的一媒介于復(fù)合層130及多孔板11的一側(cè)，此連結(jié)層12的媒介由一擠壓機(jī)(T形?？?輸出，并于加熱狀態(tài)下設(shè)置于復(fù)合層130及多孔板11的至少一側(cè)，然后，冷卻媒介并于黏貼處壓合于復(fù)合層130與多孔板11之間，進(jìn)而連結(jié)復(fù)合層130與多孔板11。最后，進(jìn)行多孔板11的其他側(cè)面(也可未與復(fù)合層130貼合)與復(fù)合層130的連結(jié)程序；此步驟與上述的連結(jié)復(fù)合層130與多孔板11的一側(cè)面的步驟相同，故于此不再贅述。以上所述僅為舉例性，而非為限制性者。任何未脫離本發(fā)明的精神與范疇，而對(duì)其進(jìn)行的等效修改或變更，均應(yīng)包含于后附的申請(qǐng)專利范圍中。
權(quán)利要求
1.一種抗靜電板，插設(shè)于一工作平臺(tái)及待設(shè)置于所述工作平臺(tái)上的一加工物件之間，以避免所述加工物件的電氣化，所述抗靜電板包括: 一多孔板； 一中間層，由高分子混合樹脂所構(gòu)成并形成于所述多孔板的至少一側(cè)面上；以及 一靜電放電披覆層，設(shè)置于所述中間層上并包括多個(gè)納米碳管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗靜電板，其中，所述抗靜電板還包括一初始層，用以增加所述靜電放電披覆層與所述中間層之間的黏著力； 其中，所述初始層通過涂布一初始披覆劑于所述中間層上并使其硬化而形成；以及其中，所述初始披覆劑通過混合氯化聚烯烴及改性橡膠于一溶劑中而形成，且所述溶劑包括甲苯及二甲苯。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗靜電板，其中，所述抗靜電板還包括一電暈處理層，通過電暈處理所述中間層而形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗靜電板，其中，所述靜電放電披覆層通過涂布一靜電放電披覆劑而形成； 其中，所述靜電放電披覆劑包括: 一溶劑； 一樹脂，混合加入所述溶劑中，并包括苯氧基樹脂、丙烯酸氨基甲酸酯、羧基修飾乙烯共聚物、水性聚氨酯、聚酯、及聚乙烯醇縮丁醛至少其中之一，其中所述樹脂占所述靜電放電披覆劑的重量百分比的10至20% ;以及 多個(gè)納米碳管，占所述靜電放電披覆劑的重量百分比的0.1至5%。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗靜電板，其中，所述靜電放電披覆層的表面電阻為IO6 IO10 Ω /sq。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的抗靜電板，其中，所述多孔板為一不織布纖維板。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的抗靜電板，其中，所述不織布纖維板的原料纖維為聚對(duì)苯二甲酸乙二酯合成纖維。
8.一種工作平臺(tái)組件，包括: 一工作平臺(tái)，具有金屬制的一表面；以及 一抗靜電板，設(shè)置于所述工作平臺(tái)的所述表面上； 其中，所述抗靜電板包括: 一多孔板； 一中間層，由高分子混合樹脂所構(gòu)成并形成于所述多孔板的至少一表面上；以及 一靜電放電披覆層，設(shè)置于所述中間層上并包括多個(gè)納米碳管。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工作平臺(tái)組件，其中，所述工作平臺(tái)還包括多個(gè)黏著孔； 其中，所述多孔板覆蓋所述工作平臺(tái)的上表面及部分側(cè)面；以及 其中，所述工作平臺(tái)還包括一黏著劑，用以將所述多孔板的一端固定于所述工作平臺(tái)的側(cè)面。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的工作平臺(tái)組件，其中，所述多孔板為一不織布纖維板。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的工作平臺(tái)組件，其中，所述不織布纖維板的原料纖維為聚對(duì)苯二甲酸乙二酯合成纖維。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工作平臺(tái)組件，其中，所述工作平臺(tái)應(yīng)用于一刻線機(jī)。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工作平臺(tái)組件，其中，所述多孔板的空氣穿透率為80 160cm3/cm2.S。
14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工作平臺(tái)組件，其中，所述抗靜電板還包括一初始層，用以增加所述靜電放電披覆層與所述中間層之間的黏著力；其中，所述初始層通過涂布一初始披覆劑于所述中間層上并使其硬化而形成；以及 其中，所述初始披覆劑通過混合氯化聚烯烴及改性橡膠于一溶劑中而形成，且所述溶劑包括甲苯及二甲苯。
15.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工作平臺(tái)組件，其中，所述抗靜電板還包括一電暈處理層，通過電暈處理所述中間層而形成。
16.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工作平臺(tái)組件，其中，所述靜電放電披覆層通過涂布一靜電放電披覆劑而形成，所述靜電放電披覆劑包括: 一溶劑； 一樹脂，混合加入所述溶劑中，并包括苯氧基樹脂、丙烯酸氨基甲酸酯、羧基修飾乙烯共聚物、水性聚氨酯、聚酯、及聚乙烯醇縮丁醛至少其中之一，其中所述樹脂占所述靜電放電披覆劑的重量百分比的10至20% ;以及 多個(gè)納米碳管，占所述靜電放電披覆劑的重量百分比的0.1至5%。
17.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工作平臺(tái)組件，其中，所述靜電放電披覆層的表面電阻為IO6 1010Q/sq。
全文摘要
本發(fā)明披露一種抗靜電板及包含其的工作平臺(tái)組件，抗靜電板插設(shè)于一工作平臺(tái)及待設(shè)置于工作平臺(tái)上的一加工物件之間，以避免加工物件的電氣化，所述抗靜電板包括一多孔板、一中間層、以及一靜電放電披覆層，其中，多孔板具有多孔性，中間層由高分子混合樹脂所構(gòu)成并形成于多孔板之至少一表面上，靜電放電披覆層設(shè)置于中間層上并包括多個(gè)納米碳管。
文檔編號(hào)B25H1/00GK103171215SQ201210562568
公開日2013年6月26日 申請(qǐng)日期2012年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月21日
發(fā)明者吳尚根, 朱泰奎, 崔漢鉉 申請(qǐng)人:塔工程有限公司, 拓普納諾斯株式會(huì)社