技術(shù)編號：2313449
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種工作平臺，特別涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體制成設(shè)備、顯示裝置或測試裝置等需要抗靜電處理的工作平臺。背景技術(shù)在進行半導(dǎo)體制程時，晶圓基板設(shè)置于一工作平臺上，而工作平臺通常是由金屬材料所構(gòu)成，因此，在進行半導(dǎo)體制程的過程中，在工作平臺與晶圓基板之間會產(chǎn)生靜電摩擦。此外，在制造平面顯示器的點膠機或刻線機中，顯示基板通常是以真空吸附方式設(shè)置于工作平臺上，此工作平臺也通常是由金屬材料所構(gòu)成，如鋁，因此，當設(shè)置顯示基板于工作平臺時或當將顯示基板從工作平臺上移除時...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。