專利名稱：：劃線裝置及劃線方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明特別是關(guān)于用于低溫?zé)商沾苫宓却嘈圆牧匣宓那袛嗟膭澗€裝置及劃線方法。
背景技術(shù)：
：低溫?zé)商沾?以下稱為LTCC)，是于混合氧化鋁的骨材與玻璃材料的薄板進(jìn)行導(dǎo)體配線而成多層膜，以80(TC程度的低溫加以燒成的基板。LTCC基板是用于在一片母基板上多個機(jī)能區(qū)域同時形成多個格子狀，將該等機(jī)能區(qū)域分割為小基板。以往，于母基板的分割是使用切斷工具，以機(jī)械式進(jìn)行切斷以使其斷開。于以往的對脆性材料基板劃線的劃線方法之一，如專利文獻(xiàn)1所示從脆性材料基板的外側(cè)至外側(cè)劃線的劃線方法。其如圖1所示，使劃線輪2(有時亦稱為刀輪)于比脆性材料基板1的端部稍外側(cè)的點(diǎn)下降至劃線輪2的最下端位于脆性材料基板1的上面的稍下方。且在對劃線輪2施加既定的劃線壓的狀態(tài)下使其往圖中的右方向水平移動而從脆性材料基板1的緣開始劃線，劃線至脆性材料基板1另一方的緣。以下將其稱為外切劃線。于外切劃線時由于線到達(dá)基板的兩端，故劃線后的斷開(折斷)容易，又，在劃線開始位置的滑動問題雖不會發(fā)生，但有劃線輪容易消耗的缺點(diǎn)。特別在對LTCC等陶瓷進(jìn)行劃線時，外切導(dǎo)致的劃線輪消耗更顯著。又，亦有一種從脆性材料基板的內(nèi)側(cè)劃線至內(nèi)側(cè)而外側(cè)不劃線的劃線方法。其如圖2所示，使劃線輪2下降至脆性基板1的緣的稍內(nèi)側(cè)，之后在對劃線輪2施加向下的既定劃線壓的狀態(tài)下，使向圖中右方水平移動，借此從脆性材料基板1的內(nèi)側(cè)開始劃線，劃至另一端的內(nèi)側(cè)。以下將其稱為內(nèi)切劃線。于內(nèi)切劃線時，劃線輪雖比外切劃線的狀況不易消耗，但由于劃線未達(dá)基板的兩端，故有劃線后的斷開(折斷)變難的傾向。特別是對LTCC等陶瓷劃線時，以內(nèi)切難以分割。又，基板與制品基板較小時(例如分割縱橫200mm以下(特別是100mm以下)的基版時、以分割獲得縱橫10ram以下(特別是5mm以下)的制品時)以內(nèi)切分割顯著變難。另外，本說明書所稱的劃線，是指使劃線輪于脆性材料基板上為壓接狀態(tài)并使其轉(zhuǎn)動，借此刻出劃線(切痕)，并沿劃線使垂直裂痕(于板厚方向伸展的裂痕)發(fā)生。專利文獻(xiàn)1日本專利第3710495號公報
發(fā)明內(nèi)容為了克服以往的劃線裝置，劃線是僅以前述外切及內(nèi)切中的一方進(jìn)行，無法使該等組合以形成劃線的缺點(diǎn)，本發(fā)明提供一種劃線裝置及劃線方法，其能將外切及內(nèi)切劃線等加以組合進(jìn)行劃線。為解決此課題，本發(fā)明的劃線裝置是將形成于脆性材料基板上的機(jī)能區(qū)域依各機(jī)能區(qū)域分割以制成制品基板而劃線的劃線裝置，具備使前述劃線的種類分為從前述脆性材料基板的一邊的內(nèi)側(cè)至另一邊的內(nèi)側(cè)的內(nèi)切劃線、從前述脆性材料基板的一邊的外側(cè)至另一邊的外側(cè)的外切劃線，前述劃線裝置具備設(shè)置前述脆性材料基板的平臺、被設(shè)為可對向于前述平臺上的脆性材料基板升降且于其前端保持劃線輪的劃線頭、在將前述劃線輪按壓于前述脆性材料基板的表面的狀態(tài)下使前述劃線頭及脆性材料基板相對移動的移動手段、先保持顯示包含劃的線與其種類的劃線內(nèi)容的配方資料表再基于前述配方資料表以前述移動手段使前述劃線頭及脆性材料基板相對移動且使前述劃線頭升降以進(jìn)行對應(yīng)于劃線種類的劃線的控制器。為解決此課題，本發(fā)明的劃線裝置是將形成于脆性材料基板上的機(jī)能區(qū)域依各機(jī)能區(qū)域分割以制成制品基板而劃線的劃線裝置，具備使前述劃線的種類分為從前述脆性材料基板的一邊的內(nèi)側(cè)至另一邊的內(nèi)側(cè)的內(nèi)切劃線、從前述脆性材料基板的一邊的外側(cè)至另一邊的外側(cè)的外切劃線、從前述脆性材料基板的一邊的內(nèi)側(cè)至另一邊的外側(cè)的內(nèi)外切劃線、從前述脆性材料基板的一邊的外側(cè)至另一邊的內(nèi)側(cè)的外內(nèi)切劃線，前述劃線裝置是具備設(shè)置前述脆性材料基板的平臺、被設(shè)為可對向于前述平臺上的脆性材料基板升降且于其前端保持劃線輪的劃線頭、在將前述劃線輪按壓于前述脆性材料基板的表面的狀態(tài)下使前述劃線頭及脆性材料基板相對移動的移動手段、先保持顯示包含劃的線與其種類的劃線內(nèi)容的配方資料表再基于前述配方資料表以前述移動手段使前述劃線頭及脆性材料基板相對移動且使前述劃線頭升降以進(jìn)行對應(yīng)于劃線種類的劃線的控制器。在此前述劃線輪可為高滲透型的劃線輪。由于高滲透型的劃線輪容易咬入基板，故即使內(nèi)切，亦具有在劃線開始位置的滑動的問題不易發(fā)生的優(yōu)點(diǎn)。為解決此課題，本發(fā)明的劃線方法，是將形成于脆性材料基板上的機(jī)能區(qū)域依各機(jī)能區(qū)域分割以制成制品基板而使用可升降的劃線頭劃線的劃線方法，在使前述劃線的種類為從前述脆性材料基板的一邊的內(nèi)側(cè)至另一邊的內(nèi)側(cè)的內(nèi)切劃線、從前述脆性材料基板的一邊的外側(cè)至另一邊的外側(cè)的外切劃線時，先保持顯示包含劃的線與其種類的劃線內(nèi)容的配方資料表，再基于前述配方資料表使前述劃線頭及脆性材料基板相對移動且使基于前述配方資料表前述劃線頭升降以對應(yīng)于劃線的種類劃線。為解決此課題，本發(fā)明的劃線裝置是將形成于脆性材料基板上的機(jī)能區(qū)域依各機(jī)能區(qū)域分割以制成制品基板而使用可升降的劃線頭劃線的劃線方法，在使前述劃線的種類為從前述脆性材料基板的一邊的內(nèi)側(cè)至另一邊的內(nèi)側(cè)的內(nèi)切劃線、從前述脆性材料基板的一邊的外側(cè)至另一邊的外側(cè)的外切劃線、從前述脆性材料基板的一邊的內(nèi)側(cè)至另一邊的外側(cè)的內(nèi)外切劃線、從前述脆性材料基板的一邊的外側(cè)至另一邊的內(nèi)側(cè)的外內(nèi)切劃線時，先保持顯示包含劃的線與其種類的劃線內(nèi)容的配方資料表，再基于前述配方資料表使前述劃線頭及脆性材料基板相對移動且使基于前述配方資料表前述劃線頭升降以對應(yīng)于劃線的種類劃線。在此前述脆性材料基板可以格子狀形成有機(jī)能區(qū)域，以格子狀進(jìn)行前述內(nèi)切劃線以于前述脆性材料基板的各機(jī)能區(qū)域分割，沿對向的平行2邊的邊緣部外切劃線。在此前述脆性材料基板可形成有數(shù)個機(jī)能區(qū)域，在進(jìn)行劃線以將前述脆性材料基板依各機(jī)能區(qū)域分割時，使沿前述脆性材料基板的對向的2邊的最外側(cè)的劃線為外切劃線，使其余劃線為內(nèi)切劃線。在此前述脆性材料基板可形成有數(shù)個機(jī)能區(qū)域，在進(jìn)行劃線以將前述脆性材料基板依各機(jī)能區(qū)域分割時，使沿前述脆性材料基板的對向的2邊的最外側(cè)之中的一方的劃線為外切劃線，使其余劃線為內(nèi)切劃線，并沿前述2邊之中的另一邊于前述內(nèi)切劃線的外側(cè)進(jìn)行外切劃線。在此前述外切劃線的劃線可形成為與前述內(nèi)切劃線的劃線中與該外切劃線正交的方向的劃線交叉。在此前述劃線輪可為高滲透型的劃線輪。利用具有此種特征的本發(fā)明，可于所欲的各劃線任意選擇內(nèi)切劃線、外切劃線、或加上內(nèi)外切劃線、外內(nèi)切劃線，劃線的自由度提高。因此可選擇適合劃線后的分割加工的劃線。又，在內(nèi)切為格子狀且進(jìn)行平行于從其外周部向?qū)ο虻?邊平行外切的外切劃線時，借由對被外切劃線的線施力可容易將周邊部分離。且在除去周邊部后可沿被內(nèi)切劃線的劃線將各機(jī)能區(qū)域容易分割為制品基板。又，借由使外切劃線的線為必要最低限度，故可將劃線輪的劣化減至最低。下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明。圖1為脆性材料基板的外切劃線的示意圖。圖2為脆性材料基板的內(nèi)切劃線的示意圖。圖3為本發(fā)明實施形態(tài)的劃線裝置的立體示意圖。圖4為本發(fā)明實施形態(tài)的控制器的方塊圖。圖5為本發(fā)明實施形態(tài)的劃線前的脆性材料基板的示意圖。圖6為劃線前的外伸量及配方資料表的作成的流程圖。圖7為本發(fā)明實施形態(tài)的劃線裝置的劃線動作的流程圖。圖8A為劃線后的脆性材料基板的分割方法圖一。圖8B為劃線后的脆性材料基板的分割方法圖二。圖9A為本發(fā)明實施形態(tài)的劃線前的脆性材料基板的其它例的示意圖圖9B為本發(fā)明實施形態(tài)的劃線前的脆性材料基板的其它例的示意圖主要組件符號說明100劃線裝置101移動臺102a、102b導(dǎo)軌103滾珠螺桿104、105馬達(dá)106平臺107、107a、107b脆性材料基板108a、108bCCD攝影機(jī)109a、109b定位銷110橋llla、lllb支柱112劃線頭113線性馬達(dá)114保持具115劃線輪120控制器121影像處理部122控制部123輸入部124Y馬達(dá)驅(qū)動部126旋轉(zhuǎn)用馬達(dá)驅(qū)動部127劃線頭驅(qū)動部128監(jiān)視器129配方資料保持部具體實施例方式圖3為本發(fā)明實施形態(tài)的劃線裝置之一例的立體示意圖。此劃線裝置100移動臺101被保持為可沿一對導(dǎo)軌102a、102b于y軸方向移動。滾珠螺桿103與移動臺101螺合。滾珠螺桿103由馬達(dá)104的驅(qū)動而旋轉(zhuǎn)，使移動臺101沿導(dǎo)軌102a、102b于y軸方向移動。于移動臺101上面設(shè)有馬達(dá)105。馬達(dá)105是使平臺106在xy平面旋轉(zhuǎn)以定位于既定角度。此處，設(shè)脆性材料基板107是低溫?zé)商沾苫濉４舜嘈圆牧匣?07被載置于平臺106上，受未圖示的真空吸引手段等保持。于劃線裝置上部設(shè)有拍攝脆性材料基板107的對準(zhǔn)標(biāo)記的2臺的CCD攝影機(jī)108a、108b。此外，于平臺106上的周邊部2處設(shè)有用以定位脆性材料基板107的定位銷109a、109b。于劃線裝置100沿x軸方向以支柱llla、111b架設(shè)有橋110跨越移動臺101與其上部的平臺106。橋110是借由線性馬達(dá)113將劃線頭112保持為可移動。線性馬達(dá)113沿x軸方向直線驅(qū)動劃線頭112。于劃線頭112的前端部通過保持具114安裝有劃線輪115。劃線頭112是以適當(dāng)?shù)暮芍貙澗€輪115壓接于脆性材料基板107的表面上并使其轉(zhuǎn)動，以形成劃線。劃線輪115使用日本發(fā)明專利第3074153號所示的高滲透型的劃線輪較理想，于實施形態(tài)中亦使用此劃線輪。例如，可借由于一般所使用的通常的劃線輪的刃前端以既定節(jié)距形成既定深度的槽形成高滲透的劃線輪。一般所使用的通常的劃線輪，例如沿盤狀輪的圓周部形成V字型的刃。V字型刃的收束角通常為鈍角，例如可使其為90160度，較理想為95150度，更理想為100140度。例如，V字型的刃是將盤狀輪沿其圓周部研削形成外圓周部而形成。例如，借由研削形成的V字型的刃呈因研削條痕造成的微小鋸齒狀。高滲透型的劃線輪，可借由規(guī)律形成大于通常劃線輪的刃前端的鋸齒狀的谷的凹部(槽)來加以制造。槽的深度例如可使其為2100um，較理想為350um，更理想為520um。槽的寬度例如可使其為10100um，較理想為15100um，更理想為2050um。形成槽的節(jié)距在例如直徑為110mm(特別是1.57mm)的劃線輪時，可使其為20250um，較理想為30180um，更理想為4080Pm。此處，節(jié)距為劃線輪的圓周方向的槽l個的長度、與因槽的形成而殘存的突起1個的長度。通常，在高滲透型的劃線輪中，劃線輪的圓周方向的槽1個的長度大于突起1個的長度。劃線輪的材質(zhì)雖可使用燒結(jié)金剛石(PCD)、超硬合金等，但考慮劃線輪壽命因素，以燒結(jié)金剛石(PCD)較理想。此處，移動臺101、導(dǎo)軌102a、102b或平臺106及驅(qū)動該等的馬達(dá)104、105及使劃線頭112移動的線性馬達(dá)113，構(gòu)成使劃線頭與脆性材料基板在該基板的面內(nèi)相對移動的移動手段。以下，以方塊圖說明本發(fā)明實施形態(tài)的劃線裝置100的控制器構(gòu)成。圖4為劃線裝置100的控制器120的方塊圖。于本圖中從2臺的CCD攝影機(jī)108a、108b的輸出通過控制器120的影像處理部121傳至控制部122。輸入部123是如后述輸入關(guān)于脆性材料基板107的劃線的配方資料。于控制部122連接Y馬達(dá)驅(qū)動部125、旋轉(zhuǎn)用馬達(dá)驅(qū)動部126及劃線頭驅(qū)動部127。Y馬達(dá)驅(qū)動部125是驅(qū)動馬達(dá)104，旋轉(zhuǎn)用馬達(dá)驅(qū)動部126是驅(qū)動馬達(dá)105?？刂撇?22根據(jù)配方資料控制平臺106的y軸方向的位置，旋轉(zhuǎn)控制平臺106。又，控制部122通過劃線頭驅(qū)動部127于x軸方向驅(qū)動劃線頭，并于劃線輪115的轉(zhuǎn)動時驅(qū)動為劃線輪115以適當(dāng)?shù)暮芍貕航哟嘈圆牧匣宓谋砻嫔?。此外，于控制?22連接監(jiān)視器128及配方資料保持部129。配方資料保持部129是保持后述的劃線用的配方資料。配方資料是在監(jiān)視器128確認(rèn)輸入并由輸入部123輸入。以下，說明本發(fā)明實施形態(tài)的劃線裝置的劃線方法。此實施形態(tài)是于各劃線設(shè)定圖1所示的外切劃線與圖2所示的內(nèi)切劃線以進(jìn)行劃線。由于外切劃線的狀況于劃線開始時使劃線輪沖擊脆性材料基板的端部，故有劃線輪容易劣化的缺點(diǎn)。但因外切劃線是從基板的端部至端部形成劃線及從劃線形成往基板的厚度方向伸展的垂直裂痕，故涵蓋脆性材料基板的全寬度形成劃線及垂直裂痕，分割較容易。其次由于圖2所示的內(nèi)切劃線的狀況是使劃線輪下降至脆性材料基板107的端部的內(nèi)側(cè)，故劃線造成的垂直裂痕常較淺。在此，本實施形態(tài)中是使用高滲透型的刃前端做為劃線輪115。因此即使為內(nèi)切劃線亦可使垂直裂痕滲透至邊緣部。本實施形態(tài)可于各劃線適當(dāng)切換外切劃線與內(nèi)切劃線以劃線。以下基于圖面說明劃線的實施例。圖5是顯示脆性材料基板107與于其面形成為格子狀的20塊機(jī)能區(qū)域。又于各機(jī)能區(qū)域的中間如圖所示事先形成有對準(zhǔn)標(biāo)記。令其中外周的對準(zhǔn)標(biāo)記為ar。以下參照流程圖說明本實施形態(tài)的劃線裝置的動作。首先如圖6所示于劃線前先設(shè)定外伸量，作成配方資料表。劃線的種類如前述有內(nèi)切及外切劃線，事先設(shè)定外切與內(nèi)切的外伸量。于Sll是如圖1所示，設(shè)定外切的開始時的外伸量0H1及終端的外伸量0H2。在此所謂外伸量是指從基板的端部至劃線頭的降下位置或上升位置的距離。于外切時使外伸量為正值。例如將開始外伸量、終端外伸量分別設(shè)定為+5mm時，從離基板的端部5mm外側(cè)之處使劃線輪降下，在基板端部的5mm的外側(cè)使劃線輪上升，可使其為外切。于S12是如圖2所示，設(shè)定內(nèi)切的開始外伸量0H3及終端外伸量0H4。于內(nèi)切時使外伸量為負(fù)值。例如將開始外伸量、終端外伸量分別設(shè)定為-2mm時，從離基板的端部2ram內(nèi)側(cè)之處開始劃線，在基板端部的2mm的內(nèi)側(cè)劃線結(jié)束，可使其為內(nèi)切劃線。其后推進(jìn)至S13作成配方資料表。配方資料表例如圖7所示設(shè)定劃線與劃線方法及節(jié)距。此配方資料表中設(shè)定有圖5所示的脆性材料基板107的對準(zhǔn)標(biāo)記a-f間及與其平行的對準(zhǔn)標(biāo)記r-g間、q-h間、p-i間、0-j間的內(nèi)切劃線。又，設(shè)定有沿劃線0S1的外切劃線、對準(zhǔn)標(biāo)記a-o、b-n…f-j間的內(nèi)切劃線、沿劃線0S2的外切劃線。又，劃線方法設(shè)定為0、1、2之一。此處劃線方法O是指內(nèi)切，對準(zhǔn)標(biāo)記a-f間的劃線及與其平行的對準(zhǔn)標(biāo)記r-g間、q-h間、p-i間、o_j間的劃線等是設(shè)為劃線方法0。劃線方法1為外切，是表示不使用對準(zhǔn)標(biāo)記的狀況。劃線方法2為外切，是基于對準(zhǔn)標(biāo)記獨(dú)自對準(zhǔn)的狀況。如后述，對于外切亦事先設(shè)有對準(zhǔn)標(biāo)記的脆性材料基板可在外切時設(shè)定方法2。此外，節(jié)距是以咖為單位表示離劃線的基準(zhǔn)線的平行移動量。所謂基準(zhǔn)線是指連結(jié)一對的對準(zhǔn)標(biāo)記的線或基板的端邊。通常在內(nèi)切劃線中，連結(jié)一對的對準(zhǔn)標(biāo)記的線直接成為劃線時的基準(zhǔn)線，故節(jié)距為0即可。因此對準(zhǔn)標(biāo)記a-f、r-g…o-j、a-o、b-n…f-j間的內(nèi)切劃線中，是使節(jié)距為0。又，關(guān)于劃線方法l的外切是以例如mm表示離基準(zhǔn)線即基板的端邊的偏移量。于表1所示的配方資料表對外切用的劃線0S1設(shè)為劃線方法1，使節(jié)距為離基準(zhǔn)線的偏移量即5mm。又，對外切的劃線0S2亦^:^5"足巨為5mm。表l:配方資料表<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>在此使內(nèi)切的外伸量的絕對值小于外切的節(jié)距的絕對值，借此，可使與外切劃線正交的內(nèi)切劃線與外切劃線交叉。例如于前述的狀況內(nèi)切劃線的外伸量的絕對值為2，外切劃線的節(jié)距的絕對值為5，故可如圖5所示使a-f間、r-g間…的劃線與劃線0Sl、劃線0S2交叉。以下以圖7的流程圖說明在如上述作成劃線實行用配方資料表后劃線的動作。首先將脆性材料基板107配合平臺106上的定位銷109a、10%至于平臺106上。且在劃線開始后于S21從事先已保持的配方資料表讀出1劃線的資料。例如表1所示的配方資料表時，讀出通過對準(zhǔn)標(biāo)記a-f的線。之后于S22于基準(zhǔn)線+節(jié)距的位置設(shè)定此劃線。此時由于連結(jié)對準(zhǔn)標(biāo)記的線為基準(zhǔn)線，節(jié)距為O，故連結(jié)對準(zhǔn)標(biāo)記的線直接成為劃線。因此以控制部122使平臺106于y軸方向移動，根據(jù)需要使平臺106旋轉(zhuǎn)。之后定位以使在以線性馬達(dá)113使此劃線頭112于x軸移動時能形成劃線。此設(shè)定結(jié)束后，于S23讀出劃線方法，選擇內(nèi)切或外切。內(nèi)切時前進(jìn)至步驟S24進(jìn)行內(nèi)切。此時是從已設(shè)定的內(nèi)切劃線的開始外伸量0H3的位置開始劃線。借此可如前述圖2所示從脆性材料基板的內(nèi)側(cè)開始劃線。之后進(jìn)行劃線至以終端外伸量0H4設(shè)定的終端位置，使劃線頭上升以結(jié)束劃線。之后前進(jìn)至步驟S26檢査是否完成配方資料表中的所有劃線，若劃線未完成便返回步驟S21重復(fù)同樣的處理。借此可基于事先設(shè)定的配方資料表依序進(jìn)行劃線。在基于配方資料表完成a-f、r-g、…o-j的內(nèi)切劃線后，前進(jìn)至外切的劃線0S1。此時驅(qū)動馬達(dá)105將平臺106旋轉(zhuǎn)90度。此時設(shè)平行于基板的邊5mm內(nèi)側(cè)的線為外切的劃線0S1。且由于劃線方法為1，故離脆性材料基板的外側(cè)外切的開始外伸量0H1的量開始劃線動作(劃線頭的降下)，進(jìn)行外切劃線動作至脆性材料基板的外側(cè)終端外伸量0H2的量，使劃線頭上升。之后同樣進(jìn)行劃線a-o、b-n、…f-j間的內(nèi)切劃線動作。此外，對劃線0S2與0S1同樣進(jìn)行外切劃線。借此可對圖5所示的脆性材料基板107沿所欲的線劃線。以下說明如上述形成圖5所示的劃線后的分割。首先如圖8A所示，沿2條的外切劃線0S1、0S2除去基板的邊緣部。如此劃線a-f、r-g、…0-j成為被劃線至基板的端部，故如圖8B所示可容易沿此線將脆性材料基板分割為細(xì)長的形狀。且如此分割后再沿劃線a-o、b-n、…f-j分割，可使其為正方形狀的制品脆性材料基板(制品LTCC基板)。另外，此實施形態(tài)中，雖于外切劃線以平行于基板的邊緣偏離節(jié)距的量的線為劃線，但在如劃線0S2有前一內(nèi)切劃線f-j時，可設(shè)定從此線的間隔決定外切劃線的位置。又，對外切亦可事先于脆性材料基板設(shè)置對準(zhǔn)標(biāo)記，基于此對準(zhǔn)標(biāo)記實行外切。又，此實施形態(tài)中是使外切的劃線0S1、0S2和與其垂直的內(nèi)切劃線交叉。因此，在沿外切的劃線分割外側(cè)的邊緣后，可容易沿與其垂直的劃線分割基板。由于外切及內(nèi)切可于各劃線設(shè)定，故可考慮使劃線后容易分割、延長劃線輪的壽命等而適當(dāng)選擇。例如可使一方向的外線全為外切劃線。但若將外切劃線抑制于最小限度可使刃前端的損傷減少。例如圖9A所示，對具有9個機(jī)能區(qū)域的脆性材料基板107a可使分割各機(jī)能區(qū)域的劃線中平行于脆性材料基板107a的左右的對向2邊的2條外側(cè)的劃線0S3、0S4為外切劃線。圖9A中，可根據(jù)格子狀的內(nèi)切劃線與平行于2邊的2條外切劃線OS3、0S4分割脆性材料基板107a，亦可省略2條內(nèi)切劃線。又，如于圖9B顯示其它脆性材料基板107b，可使分割機(jī)能區(qū)域的劃線中平行于對向的2邊的劃線之一，此時為僅右側(cè)為外切劃線0S3，沿另一方的邊于內(nèi)切劃線的外側(cè)設(shè)置其它外切劃線0S5。另外，此實施形態(tài)中是以移動手段使平臺于y軸方向移動且使平臺轉(zhuǎn)動，使劃線頭于x軸方向移動。取而代之，移動手段可使平臺于x軸及y軸方向移動，且使劃線頭于x軸及y軸方向移動。另外，此實施形態(tài)中是使脆性材料基板為低溫?zé)商沾苫?，但即使為用于液晶面板等的玻璃基板、其它的基板亦可適用于本發(fā)明。又，本實施形態(tài)中雖可于各1條的劃線選擇內(nèi)切劃線與外切劃線，但并不限于此。亦可使用使1條的劃線的開始部分為內(nèi)切而終端部分為外切的內(nèi)外切劃線。同樣亦可使用使1條的劃線的開始部分為外切而終端部分為內(nèi)切的外內(nèi)切劃線。此時可選擇內(nèi)切、外切、內(nèi)外切、外內(nèi)切劃線4種劃線方法。此外，本實施形態(tài)中雖于各內(nèi)切劃線使用對準(zhǔn)標(biāo)記對準(zhǔn)，但亦可設(shè)定離1個對準(zhǔn)標(biāo)記的節(jié)距或離前一劃線的節(jié)距以決定劃線的位置。此外，本實施形態(tài)雖是于各內(nèi)切劃線與外切劃線設(shè)定開始外伸量、結(jié)束外伸量并基于該資料決定外伸量，但亦可于各劃線設(shè)定外伸量并基于此決定外伸量。本發(fā)明可廣泛利用于對低溫?zé)商沾苫宓奶沾苫寤虿ＡЩ宓却嘈圆牧匣逍纬蓜澗€的流程。權(quán)利要求1、一種劃線裝置，是將形成于脆性材料基板上的機(jī)能區(qū)域依各機(jī)能區(qū)域分割以制成制品基板而劃線，其特征在于將前述劃線的種類，分為從前述脆性材料基板的一邊內(nèi)側(cè)至另一邊內(nèi)側(cè)的內(nèi)切劃線、以及從前述脆性材料基板的一邊外側(cè)至另一邊外側(cè)的外切劃線；前述劃線裝置，具備設(shè)置前述脆性材料基板的平臺；設(shè)為可對向于前述平臺上的脆性材料基板升降自如，且于其前端保持劃線輪的劃線頭；在將前述劃線輪按壓于前述脆性材料基板表面的狀態(tài)下，使前述劃線頭及脆性材料基板相對移動的移動手段；以及預(yù)先保持顯示含欲劃的線與其種類的劃線內(nèi)容的配方資料表，根據(jù)前述配方資料表以前述移動手段使前述劃線頭及脆性材料基板相對移動，且使前述劃線頭升降以進(jìn)行對應(yīng)劃線種類的劃線的控制器。2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃線裝置，其特征在于前述劃線輪是高滲透型的劃線輪。3、一種劃線裝置，是將形成于脆性材料基板上的機(jī)能區(qū)域依各機(jī)能區(qū)域分割以制成制品基板而劃線，其特征在于將前述劃線的種類，分為從前述脆性材料基板的一邊內(nèi)側(cè)至另一邊內(nèi)側(cè)的內(nèi)切劃線、以及從前述脆性材料基板的一邊外側(cè)至另一邊外側(cè)的外切劃線、從前述脆性材料基板的一邊內(nèi)側(cè)至另一邊外側(cè)的內(nèi)外切劃線、從前述脆性材料基板的一邊外側(cè)至另一邊內(nèi)側(cè)的外內(nèi)切劃線；前述劃線裝置，具備設(shè)置前述脆性材料基板的平臺；設(shè)為可對向于前述平臺上的脆性材料基板升降自如，且于其前端保持劃線輪的劃線頭；在將前述劃線輪按壓于前述脆性材料基板表面的狀態(tài)下，使前述劃線頭及脆性材料基板相對移動的移動手段；以及預(yù)先保持顯示含欲劃的線與其種類的劃線內(nèi)容的配方資料表，根據(jù)前述配方資料表以前述移動手段使前述劃線頭及脆性材料基板相對移動，且使前述劃線頭升降以進(jìn)行對應(yīng)于劃線種類的劃線的控制器。4、根據(jù)權(quán)利要求3所述的劃線裝置，其特征在于前述劃線輪是高滲透型的劃線輪。5、一種劃線方法，是將形成于脆性材料基板上的機(jī)能區(qū)域依各機(jī)能區(qū)域分割以制成制品基板而使用可升降的劃線頭劃線，其特征在于在將前述劃線的種類，分為從前述脆性材料基板的一邊內(nèi)側(cè)至另一邊內(nèi)側(cè)的內(nèi)切劃線、以及從前述脆性材料基板的一邊外側(cè)至另一邊外側(cè)的外切劃線時，預(yù)先保持顯示含欲劃的線與其種類的劃線內(nèi)容的配方資料表，根據(jù)前述配方資料表使前述劃線頭及脆性材料基板相對移動，且根據(jù)前述配方資料表使前述劃線頭升降以對應(yīng)劃線種類進(jìn)行劃線。6、根據(jù)權(quán)利要求5所述的劃線方法，其特征在于前述脆性材料基板是將機(jī)能區(qū)域形成為格子狀，以格子狀進(jìn)行前述內(nèi)切劃線以將前述脆性材料基板就各機(jī)能區(qū)域加以分割，沿對向的平行2邊的邊緣部進(jìn)行外切劃線。7、根據(jù)權(quán)利要求5所述的劃線方法，其特征在于前述脆性材料基板形成有數(shù)個機(jī)能區(qū)域，在進(jìn)行將前述脆性材料基板就各機(jī)能區(qū)域加以分割的劃線時，沿前述脆性材料基板的對向2邊的最外側(cè)的劃線為外切劃線，其余劃線為內(nèi)切劃線。8、根據(jù)權(quán)利要求5所述的劃線方法，其特征在于前述脆性材料基板形成有數(shù)個機(jī)能區(qū)域，在進(jìn)行將前述脆性材料基板就各機(jī)能區(qū)域加以分割的劃線時，沿前述脆性材料基板的對向2邊的最外側(cè)中的一方的劃線為外切劃線，其余劃線為內(nèi)切劃線，并沿前述2邊中的另一邊于前述內(nèi)切劃線的外側(cè)進(jìn)行外切劃線。9、根據(jù)權(quán)利要求6至8中任一項所述的劃線方法，其特征在于前述外切劃線的劃線，是形成為與前述內(nèi)切劃線的劃線中、與該外切劃線正交的方向的劃線交叉。10、根據(jù)權(quán)利要求5至8中任一項所述的劃線方法，其特征在于前述劃線輪是高滲透型的劃線輪。11、一種劃線方法，是將形成于脆性材料基板上的機(jī)能區(qū)域依各機(jī)能區(qū)域分割以制成制品基板而使用可升降的劃線頭劃線，其特征在于在將前述劃線的種類，分為從前述脆性材料基板的一邊內(nèi)側(cè)至另一邊內(nèi)側(cè)的內(nèi)切劃線、從前述脆性材料基板的一邊外側(cè)至另一邊外側(cè)的外切劃線、從前述脆性材料基板的一邊內(nèi)側(cè)至另一邊外側(cè)的內(nèi)外切劃線、以及從前述脆性材料基板的一邊外側(cè)至另一邊內(nèi)側(cè)的外內(nèi)切劃線時，預(yù)先保持顯示含欲劃的線與其種類的劃線內(nèi)容的配方資料表，根據(jù)前述配方資料表使前述劃線頭及脆性材料基板相對移動，且根據(jù)前述配方資料表使前述劃線頭升降以對應(yīng)劃線種類進(jìn)行劃線。12、根據(jù)權(quán)利要求ll所述的劃線方法，其特征在于前述脆性材料基板是將機(jī)能區(qū)域形成為格子狀，以格子狀進(jìn)行前述內(nèi)切劃線以將前述脆性材料基板就各機(jī)能區(qū)域加以分割，沿對向的平行2邊的邊緣部進(jìn)行外切劃線。13、根據(jù)權(quán)利要求ll所述的劃線方法，其特征在于前述脆性材料基板形成有數(shù)個機(jī)能區(qū)域，在進(jìn)行將前述脆性材料基板就各機(jī)能區(qū)域加以分割的劃線時，沿前述脆性材料基板的對向2邊的最外側(cè)的劃線為外切劃線，其余劃線為內(nèi)切劃線。14、根據(jù)權(quán)利要求ll所述的劃線方法，其特征在于:前述脆性材料基板形成有數(shù)個機(jī)能區(qū)域，在進(jìn)行將前述脆性材料基板就各機(jī)能區(qū)域加以分割的劃線時，沿前述脆性材料基板的對向2邊的最外側(cè)中的一方的劃線為外切劃線，其余劃線為內(nèi)切劃線，并沿前述2邊中的另一邊于前述內(nèi)切劃線的外側(cè)進(jìn)行外切劃線。15、根據(jù)權(quán)利要求12至14中任一項所述的劃線方法，其特征在于:前述外切劃線的劃線，是形成為與前述內(nèi)切劃線的劃線中、與該外切劃線正交的方向的劃線交叉。16、根據(jù)權(quán)利要求11至14中任一項所述的劃線方法，其特征在于:前述劃線輪是高滲透型的劃線輪。全文摘要一種劃線裝置及劃線方法，于脆性材料基板的劃線，能就各劃線設(shè)定內(nèi)切劃線、外切劃線等。于平臺上配置脆性材料基板，使平臺于Y軸方向移動自如且借由馬達(dá)而為旋轉(zhuǎn)自如。又，使劃線頭沿X軸方向移動自如。保持已就各劃線設(shè)定內(nèi)切劃線及外切劃線種類的配方資料表。如此，即能根據(jù)配方資料表就各劃線進(jìn)行內(nèi)切劃線或外切劃線。文檔編號B25H7/04GK101579854SQ20091011993公開日2009年11月18日申請日期2009年2月27日優(yōu)先權(quán)日2008年2月29日發(fā)明者曾山正信申請人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司