專利名稱：劃線裝置以及劃線方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在由玻璃、半導體等脆性材料構成的薄板狀的工件上刻上 劃線的劃線裝置以及方法。
背景技術：
在切斷由脆性材料構成的薄板狀的工件時，預先在工件的表面刻上劃 線。在形成劃線后，若沿劃線彎曲工件，則劃線的裂縫到達工件的背面， 從而將工件切斷。
作為在工件上刻上劃線的方法已知有以下方法在劃線頭部設置算盤 珠狀的可旋轉的切斷輪，在將切斷輪按壓到工件的狀態(tài)下，使劃線頭部移 動而使切斷輪在工件的表面上滾轉；代替切斷輪將稱作單點金剛石的前端
尖的工具按壓到工件而刻上劃線。為了形成深的垂直裂縫，有時也對切斷 輪或單點金剛石等刀具施加振動。
如圖10所示，在現(xiàn)有的劃線裝置中，當在工件W刻劃線時，將工件 W的夾著要刻劃線L的預定的部分的兩側固定在工作臺61上。然后，使 刀具沿著要刻劃線L的預定的部分相對移動，在工件W的表面刻上垂直 裂縫(例如，參照專利文獻1)。通過將夾著劃線L的兩側固定在工作臺 61上，從而能夠穩(wěn)定地支承工件。
專利文獻h日本特開平9-315832號公報。
然而，若將工件的要刻劃線的預定的部分的兩側固定在工作臺上，則 力(2)發(fā)揮作用，該力(2)抑制使劃線時產(chǎn)生的垂直裂縫欲要生長的方 向的力(1)的矢量(在工件的表面內(nèi)與劃線正交的方向的力)。因此，垂 直裂縫難以生長，剩余的力使水平裂縫生長。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種減少工件的表面損傷、且能夠獲得深穿透的劃線裝置以及方法。
以下，對本發(fā)明進行說明。為了解決上述課題，第一發(fā)明的劃線裝置 具有工作臺，其將工件的夾著要刻劃線的預定的部分的一側的至少一部 分固定，且使所述工件的另一側處于浮在空中的狀態(tài)；相對移動機構，其 將刀具與處于浮在空中的狀態(tài)下的要刻所述劃線的預定的部分抵接，沿著 要刻所述劃線的預定的部分使所述刀具相對于所述工件相對移動，從而在 所述工件上刻上劃線。
第二發(fā)明的劃線裝置以第一發(fā)明所述的劃線裝置為基礎，其特征在 于，在所述刀具與所述工件抵接時，所述刀具將所述工件壓彎，以使在所 述刀具抵接的一側的所述工件的表面產(chǎn)生拉伸應力。
第三發(fā)明的劃線裝置以第二發(fā)明所述的劃線裝置為基礎，其特征在 于，具有工件彎曲機構，所述工件彎曲機構使所述工件撓曲，且使所述工 件的所述另一側從所述工作臺浮起。
第四發(fā)明的劃線裝置以第三發(fā)明所述的劃線裝置為基礎，其特征在 于，所述工件彎曲機構沿著所述工件的要刻所述劃線的預定的部分設置， 由介設在所述工件和所述工作臺之間的板構成，通過將所述工件的所述一 側固定在所述工作臺上，而以所述板為支點使所述工件撓曲。
第五發(fā)明的劃線裝置以第四發(fā)明所述的劃線裝置為基礎，其特征在 于，所述彎曲機構由設于所述工作臺的多個空氣通過孔構成，與所述工件 的所述一側對應的多個空氣通過孔將所述工件的一側真空吸附于所述工 作臺，并且與所述工件的所述另一側對應的多個空氣通過孔向所述工件的 所述另一側吹出空氣，由此使所述工件撓曲。
第六發(fā)明的劃線裝置以第五發(fā)明所述的劃線裝置為基礎，其特征在 于，所述多個空氣通過孔可切換地具有真空吸附所述工件的功能和向所述 工件吹出空氣的功能，能夠改變真空吸附所述工件的系統(tǒng)的多個空氣流通 孔的組合和向所述工件吹出空氣的系統(tǒng)的多個空氣流通孔的組合。
第七發(fā)明的劃線裝置以第一發(fā)明或第二發(fā)明所述的劃線裝置為基礎， 其特征在于，在所述工件的所述另一側從所述工作臺露出的狀態(tài)下，所述 工件的所述一側的至少一部分固定在所述工作臺上。
第八發(fā)明的劃線裝置具有工作臺，其將工件的夾著要刻劃線的預定的部分的一側的至少一部分固定，且與所述工件的另一側接觸但不固定； 相對移動機構，其將刀具與所述工件的要刻所述劃線的預定的部分抵接， 沿著要刻所述劃線的預定的部分使所述刀具相對于所述工件相對移動，從 而在所述工件上刻上劃線。
第九發(fā)明的劃線裝置以第一到第八發(fā)明中任一項所述的劃線裝置為 基礎，其特征在于，所述劃線為閉合曲線，在所述工作臺固定所述工件的 所述一側、即所述工件的要刻所述劃線的預定的部分的內(nèi)側的至少一部 分，而不固定所述工件的所述另一側、即所述工件的要刻所述劃線的預定 的部分的外側。
第十發(fā)明的劃線方法包括工序將工件的夾著要刻劃線的預定的部分 的一側的至少一部分固定在工作臺上，且使所述工件的另一側處于浮在空 中的狀態(tài)，從而將所述工件安裝在所述工作臺上；將刀具與處于浮在空中 的狀態(tài)下的要刻所述劃線的預定的部分抵接，沿著要刻所述劃線的預定的 部分將所述刀具相對于所述工件相對移動，從而在所述工件上刻上劃線。
第十一發(fā)明的劃線方法包括工序將工件的夾著要刻劃線的預定的部 分的一側的至少一部分固定在工作臺上，且使其另一側與所述工作臺接觸 但不固定在所述工作臺上，從而將所述工件安裝在所述工作臺上；將刀具 與所述工件的要刻所述劃線的預定的部分抵接，沿著要刻所述劃線的預定 的部分將所述刀具相對于所述工件相對移動，從而在所述工件上刻上劃 線。
根據(jù)第一發(fā)明，抑制用于使垂直裂縫生長所需要的力的矢量(在工件 的表面內(nèi)與劃線正交的方向的力)的力通過解除工件的另一側的固定而不 發(fā)揮作用。因此，垂直裂縫易于生長，且水平裂縫的生長也能夠受到抑制。 另外，在工作臺上對工件進行劃線的方法中，當由于工作臺的平面度、工 件的厚度的變化等外在主要原因而產(chǎn)生剩余的力時，該力直接對工件產(chǎn)生 影響，可能會對工件造成損傷。通過使工件浮在空中，由于能夠在工件的 撓曲變形的作用下避開該剩余的力，從而能夠防止劃線后的工件的品質惡 化。
根據(jù)第二發(fā)明，在工件的表面產(chǎn)生的拉伸應力進一步使垂直裂縫生長。
6根據(jù)第三發(fā)明，能夠使工件的另一側從工作臺浮在空中。 根據(jù)第四發(fā)明，能夠以設于工作臺上的板為支點使工件撓曲。 根據(jù)第五發(fā)明，通過從設于工作臺的空氣通過孔向工件的另一側吹出
空氣，而使工件撓曲。
根據(jù)第六發(fā)明，通過改變吸附工件的系統(tǒng)的空氣流通孔的組合和向工
件吹出空氣的系統(tǒng)的空氣流通孔的組合，而能夠在一個工作臺上形成多條劃線。
根據(jù)第七發(fā)明，能夠使工件的另一側浮在空中。
根據(jù)第八發(fā)明，抑制用于使垂直裂縫生長所需要的力的矢量(在工件 的表面內(nèi)與劃線正交的方向的力)的力通過解除工件的另一側的固定而不 發(fā)揮作用。因此，'垂直裂縫易于生長，水平裂縫的生長也能夠受到抑制。
當在工件上刻上閉合曲線的劃線而將工件切斷時，為了獲得穩(wěn)定的截 面形狀，必須具有以下必要條件，即，在劃線時使垂直裂縫深深地穿透。
根據(jù)第九發(fā)明，能夠沿著閉合曲線的劃線而使垂直裂縫深深地穿透。
根據(jù)第十發(fā)明，抑制用于使垂直裂縫生長所需要的力的矢量(在工件 的表面內(nèi)與劃線正交的方向的力)的力通過解除工件的另一側的固定而不 發(fā)揮作用。因此，垂直裂縫易于生長，水平裂縫的生長也能夠受到抑制。 另外，在工作臺上對工件進行劃線的方法中，當由于工作臺的平面度、工 件的厚度的變化等外在主要原因而產(chǎn)生剩余的力的情況時，該力直接對工 件產(chǎn)生影響，可能會對工件造成損傷。通過使工件浮在空中，由于能夠在 工件的撓曲變形的作用下避開該剩余的力，從而能夠防止劃線后的工件的 品質惡化。
根據(jù)第十一發(fā)明，抑制用于使垂直裂縫生長所需要的力的矢量(在工 件的表面內(nèi)與劃線正交的方向的力)的力通過解除工件的另一側的固定而 不發(fā)揮作用。因此，垂直裂縫易于生長，水平裂縫的生長也能夠受到抑制。


圖1是本發(fā)明的第一實施方式的劃線裝置的立體圖。 圖2是吸附在工作臺上的工件的俯視圖。
圖3是吸附在工作臺上的工件的剖面圖(圖中(A)表示吸附固定時，圖中(B)表示施加載荷時)。
圖4是表示本發(fā)明的第一實施方式的劃線裝置的工作臺的另一例的剖面圖。
圖5是表示本發(fā)明的第一實施方式的劃線裝置的工作臺的又一例的俯 視圖。
圖6是表示本發(fā)明的第一實施方式的劃線裝置的工作臺的再一例的剖 面圖。
圖7是本發(fā)明的第二實施方式的劃線裝置的工作臺的剖面圖。 圖8是表示本發(fā)明的第二實施方式的劃線裝置的工作臺的另一例的剖 面圖。
圖9是表示本發(fā)明的第二實施方式的劃線裝置的工作臺的又一例的剖 面圖。
圖IO是表示現(xiàn)有的劃線裝置的工作臺的剖面圖。
符號說明l-工作臺，3-Y軸移動機構(相對移動機構)，6-X軸移動 機構，8-劃線頭部，10-刀具，11-板，12-支點，21-工作臺，22-工作臺， 24-工作臺，31-工作臺，32-空氣通過孔，41-工作臺，42a 42g-空氣流通 孔，L-劃線，W-工件。
具體實施例方式
以下，參照附圖對本發(fā)明的第一實施方式的劃線裝置進行說明。圖1 表示劃線裝置的立體圖。由玻璃、半導體等脆性材料構成的薄板狀的工件 載置在劃線裝置的工作臺1上。在平坦的工作臺1上開口有多個吸附孔， 從而將載置在工作臺1上的工件W吸附。工作臺1通過設于基礎架2上 的作為移動機構的Y軸移動機構3而在水平面內(nèi)的Y方向進行移動。在Y 軸移動機構3的載物臺3a上設置對準(定位)用的e軸旋轉機構4。在該 6軸旋轉機構4上安裝有工作臺1。
在基礎架2上設有柱5。柱5向劃線頭部8的移動方向即X軸方向延 伸。作為移動機構的X軸移動機構6使劃線頭部8向水平方向內(nèi)的X軸 方向移動。劃線頭部8安裝在X軸移動機構6的載物臺上。通過Z軸移動 機構使劃線頭部8沿上下方向移動。在劃線頭部8經(jīng)由在水平面內(nèi)360度旋轉的旋轉軸承9安裝刀具10。刀具10是算盤珠狀且能夠在垂直面內(nèi)旋 轉的切斷輪或者在前端埋入金剛石的單點金剛石。
在開始劃線時，在工作臺i上載置工件w，通過e軸旋轉機構4來進
行工件w的e軸的定位，并通過X軸移動機構6以及Y軸移動機構3來 進行工件W的X、 Y坐標的定位。在完成工件W的定位后，通過Z軸移 動機構使劃線頭部8的刀具10下降，從而使刀具10與工件W的表面抵 接。對刀具10施加載荷，獲得規(guī)定的進刀量，若通過X軸移動機構6使 劃線頭部8沿X方向移動，與此同時通過Y軸移動機構3使工作臺1向Y 方向移動，則能夠在工件W的表面在水平面內(nèi)刻上任意的劃線。在本實 施方式中，在工件W的表面形成四邊形的角為圓弧狀的閉合曲線的劃線 L。
圖2是表示吸附在工作臺1上的工件W的俯視圖，圖3是表示吸附 在工作臺1上的工件W的剖面圖。在將工件W吸附在工作臺l之前，將 板11介設在工作臺1和工件W之間。板11沿著工件W的要刻劃線L的 預定的部分形成為四邊形的框狀。而且，將工件W的夾著要刻劃線L的 預定的部分的一側(框狀的板11的內(nèi)側)在真空吸附的作用下與工作臺1 接觸、固定。若這樣如圖3 (A)所示，板11的內(nèi)周緣變?yōu)楣ぜ的撓 曲變形的支點12而工件W發(fā)生撓曲，且工件W的夾著要刻劃線L的預 定的部分的另一側(框狀的板11的外側)的整體處于從工作臺1浮在空 中的懸臂狀態(tài)。要刻劃線L的預定的部分從支點12配置在板11的外側， 在要刻劃線L的預定的部分的正下方存在中空部分。在將工件W周定在 工作臺1的狀態(tài)下，不向工件W的浮在空中的部分施加彎矩和載荷。
若將刀具10與浮在空中的狀態(tài)下的工件W抵接，而對刀具10施加 載荷，則如圖3 (B)所示，在刀具10抵接的一側的工件W的表面產(chǎn)生 拉伸應力(換言之，工件W變成向上凸的曲面)，由此刀具10將工件W 壓彎。此時，對工件W的浮在空中的部分僅施加來自刀具IO的載荷。
在該狀態(tài)下，若X軸移動機構6以及Y軸移動機構3沿著要刻劃線L 的預定的部分使刀具10相對于工件W相對移動，則在工件W上刻上劃 線L。在工件W的另一側，由于抑制用于使垂直裂縫生長所需要的力的力 不發(fā)揮作用，因此垂直裂縫易于生長。進而，由于在玻璃的表面產(chǎn)生的拉伸應力發(fā)揮作用而使產(chǎn)生的垂直裂縫生長，因此能夠使垂直裂縫一直生長 到工件W的內(nèi)部。
刀具10在位于板上方的工件W上刻上劃線L。在將刀具10向工件 W壓緊時，由于板11承受發(fā)生了撓曲的工件W，因此能夠使劃線L穩(wěn)定。
在形成劃線L后，沿劃線L斷開工件W。在該斷開工序中，將工件 W沿劃線L折彎，使工件W的表面的垂直裂縫到達工件W的背面，從而 切斷工件W。在沿著閉合曲線的劃線L切斷工件W時，從基樣玻璃除去 閉合曲線的模型而進行切斷。為了容易地進行工件W的切斷，在劃線工 序中，可以形成從基樣玻璃的端部到達劃線L的費線(捨線)。通過將工 件W沿劃線L以及費線多次切斷，從而使工件W的切斷變得容易。
在將板狀的脆性材料以直線以外的軌跡(異形)切斷時，為了獲得穩(wěn) 定的截面形狀，必須具有以下必要條件，即，在劃線時使垂直裂縫深深地 穿透。例如在將玻璃以圓弧形狀切斷時，如果不能使垂直裂縫深深地穿透， 則由于切斷成長的垂直裂縫將要直線前進，因此不會追隨圓弧形狀的劃線 L。因此，與形成有劃線L的工件W的表面相反的一側的工件W的背面
的玻璃形狀不能形成圓弧形狀。另外，如果劃線時的垂直裂縫較淺，在切 斷時需要較大的彎曲力，則切斷時玻璃彼此摩擦，而對產(chǎn)品部分產(chǎn)生較大 的損傷。
為了使垂直裂縫高穿透，目前僅使用施加特殊工具或振動等的方法， 僅憑普通輪難以使垂直裂縫深深地穿透。然而，通過在工件W和工作臺1 之間夾持板11，即使使用普通輪也能夠容易地獲得垂直裂縫深的劃線L。 即使在以閉合曲線進行劃線時，也能夠獲得垂直裂縫深的劃線L，因此能 夠實現(xiàn)盡可能減少產(chǎn)品損傷的切斷。
圖4表示工作臺1的另一實例。在該實例中，在工作臺31上設置多 個空氣通過孔32。配置在夾著劃線L的工件W的一側的至少一部分上的 多個空氣通過孔將工件W的一側真空吸附，而將工件W的一側固定在工 作臺31上。配置在工件W的另一側的多個空氣通過孔32通過向工件W 的另一側吹出空氣，而使工件W的另一側撓曲，使工件W的另一側浮在 空中。這樣，通過組合真空吸附和正壓空氣噴出，而能夠在不使用板11 的情況下使工件W撓曲。在該實例中，刀具IO位于與工件W抵接的位置，為了使工件W從工作臺31浮起，工件W從工作臺31浮起的位置33 配置在比刀具10與工件W抵接的位置靠吸附固定側(圖中左側)的位置。 在浮起位置33和刀具10與工件W抵接的位置之間配置的空氣通過孔32 向工件W吹出空氣。
圖5表示工作臺1的又一實例。在該實例中，多個空氣流通孔42a 42g可切換地具有真空吸附工件W的功能和向工件W吹出空氣的功能。 將排列為縱向一排的多個空氣流通孔42a 42g統(tǒng)稱為一個系統(tǒng)， 一個系 統(tǒng)的空氣流通孔42a 42g橫向設置多排。與工件的劃線L的位置一致而 改變真空吸附系統(tǒng)的排數(shù)和吹出空氣的系統(tǒng)的排數(shù)。通過改變真空吸附工 件W的系統(tǒng)的多個空氣流通孔42a 42g的組合和向工件W吹出空氣的系 統(tǒng)的多個空氣流通孔42a 42g的組合，能夠相對于多條劃線L實現(xiàn)吸附 工件W的一側且向另一側吹出空氣的狀態(tài)。S卩，能夠在一個工作臺41上 形成多條劃線L。進而，通過組合真空吸附和正壓空氣噴出而能夠隨意地 獲得玻璃的凸形狀。
圖6表示工作臺1的再一實例。在該實例中，沒有使工件W在工作 臺51上撓曲，而是使工件W從工作臺51露出，從而使工件W處于浮在 空中的狀態(tài)。即，在夾著劃線L的工件W的另一側從工作臺51露出的狀 態(tài)下，工件W的一側的至少一部分固定在工作臺51上。工件W懸臂支 承在工作臺51上，且刀具IO與工件W抵接的位置浮在空中。在刀具IO 與工件W抵接時，刀具10壓彎工件W，以使在刀具10抵接的一側的工 件W的表面上產(chǎn)生拉伸引力。
圖7表示本發(fā)明的第二實施方式的劃線裝置的工作臺。在該實施方式 中，工件W的整體(夾著要刻劃線L的預定的部分的兩側)載置在平坦 的工作臺21的上表面，工件W的整體與工作臺21的上表面接觸。而且， 僅將夾著要刻劃線L的預定的部分的工件W的一側固定在工作臺21上， 且另一側的整體不固定在工作臺21上。即使在該實例的工作臺21中，抑 制用于使垂直裂縫生長所需要的力的矢量(在工件W的表面內(nèi)與劃線L 正交的方向的力)的力通過解除工件W的另一側的固定而不發(fā)揮作用。 因此，垂直裂縫易于生長，且水平裂縫的生長也能夠受到抑制。其中，由 于是在工作臺21上對工件W進行劃線的方法，因此當由于工作臺21的平面度、工件W的厚度的變化等外在主要原因而產(chǎn)生剩余的力時，該力 直接對工件W產(chǎn)生影響，可能會對工件W造成損傷。
圖8以及圖9表示第二實施方式的劃線裝置的工作臺21的另一實例。 如圖8所示，可以在工作臺22的要刻劃線L的預定的部分的下方形成槽 23。另外，如圖9所示，也可以使工件W的另一側的局部從工作臺24露 出。
需要說明的是，本發(fā)明并不局限于所述實施方式，在不改變本發(fā)明的 要點的范圍可以進行各種變更。例如，劃線并不局限于閉合曲線，也可以 形成為直線狀。
刀具相對于工件的移動是相對的，也可以固定刀具或工件的任意一 個，僅移動另一個。
在所述實施方式中從工件的上側抵接刀具，也可以從工件的下側抵接 刀具。
在所述實施方式中，為了使工件撓曲使用了板，但只要是能夠使工件 撓曲的機構都可以。例如，也可以使用壓電驅動器代替板的頂起。
本說明書根據(jù)2007年3月30日申請的專利2007-095047。其內(nèi)容全 部包含于此。
1權利要求
1.一種劃線裝置，其具有工作臺，其將工件的夾著要刻劃線的預定的部分的一側的至少一部分固定，且使所述工件的另一側處于浮在空中的狀態(tài)；相對移動機構，其將刀具與處于浮在空中的狀態(tài)下的要刻所述劃線的預定的部分抵接，沿著要刻所述劃線的預定的部分使所述刀具相對于所述工件相對移動，從而在所述工件上刻上劃線。
2. 根據(jù)權利要求l所述的劃線裝置，其特征在于， 在所述刀具與所述工件抵接時，所述刀具將所述工件壓彎，以使在所述刀具抵接的一側的所述工件的表面產(chǎn)生拉伸應力。
3. 根據(jù)權利要求或2所述的劃線裝置，其特征在于， 具有工件彎曲機構，所述工件彎曲機構使所述工件撓曲，且使所述工件的所述另一側從所述工作臺浮起。
4. 根據(jù)權利要求3所述的劃線裝置，其特征在于， 所述工件彎曲機構沿著所述工件的要刻所述劃線的預定的部分設置，由介設在所述工件和所述工作臺之間的板構成，通過將所述工件的所述一側固定在所述工作臺上，而以所述板為支點 使所述工件撓曲。
5. 根據(jù)權利要求4所述的劃線裝置，其特征在于， 所述工件彎曲機構由設于所述工作臺的多個空氣通過孔構成， 與所述工件的所述一側對應的多個空氣通過孔將所述工件的一側真空吸附于所述工作臺，并且與所述工件的所述另一側對應的多個空氣通過 孔向所述工件的所述另一側吹出空氣，由此使所述工件撓曲。
6. 根據(jù)權利要求5所述的劃線裝置，其特征在于， 所述多個空氣通過孔可切換地具有真空吸附所述工件的功能和向所述工件吹出空氣的功能，所述劃線裝置能夠改變真空吸附所述工件的系統(tǒng)的多個空氣流通孔 的組合和向所述工件吹出空氣的系統(tǒng)的多個空氣流通孔的組合。
7. 根據(jù)權利要求1或2所述的劃線裝置，其特征在于，在所述工件的所述另一側從所述工作臺露出的狀態(tài)下，所述工件的所 述一側的至少一部分固定在所述工作臺上。
8. —種劃線裝置，其具有工作臺，其將工件的夾著要刻劃線的預定的部分的一側的至少一部分 固定，且與其另一側接觸但不固定；相對移動機構，其將刀具與所述工件的要刻所述劃線的預定的部分抵 接，沿著要刻所述劃線的預定的部分使所述刀具相對于所述工件相對移 動，從而在所述工件上刻上劃線。
9. 根據(jù)權利要求1 8中任一項所述的劃線裝置，其特征在于，所述劃線為閉合曲線，在所述工作臺固定所述工件的所述一側、即所述工件的要刻所述劃線 的預定的部分的內(nèi)側的至少一部分，而不固定所述工件的所述另一側、即 所述工件的要刻所述劃線的預定的部分的外側。
10. —種劃線方法，其包括如下工序將工件的夾著要刻劃線的預定的部分的一側的至少一部分固定在工 作臺上，且使所述工件的另一側處于浮在空中的狀態(tài)，從而將所述工件安 裝在所述工作臺上；將刀具與處于浮在空中的狀態(tài)下的要刻所述劃線的預定的部分抵接， 沿著要刻所述劃線的預定的部分將所述刀具相對于所述工件相對移動，從 而在所述工件上刻上劃線。
11. 一種劃線方法，其包括如下工序將工件的夾著要刻劃線的預定的部分的一側的至少一部分固定在工 作臺上，且使其另一側與所述工作臺接觸但不固定在所述工作臺上，從而 將所述工件安裝在所述工作臺上；將刀具與所述工件的要刻所述劃線的預定的部分抵接，沿著要刻所述 劃線的預定的部分將所述刀具相對于所述工件相對移動，從而在所述工件 上刻上劃線。
全文摘要
本發(fā)明提供一種減少工件的表面損傷、且能夠獲得深穿透的劃線裝置以及方法。本發(fā)明的劃線裝置具有工作臺(1)，所述工作臺(1)將工件(W)的夾著要刻劃線(L)的預定的部分的一側的至少一部分固定，且使工件(W)的另一側處于浮在空中的懸臂狀態(tài)；相對移動機構(3、6)，所述相對移動機構(3、6)將刀具(10)與處于浮在空中的狀態(tài)下的要刻劃線(L)的預定的部分抵接，沿著要刻劃線的預定的部分使刀具(10)相對于工件(W)相對移動，從而在工件(W)上刻上劃線(L)。抑制用于使垂直裂縫生長所需要的力的矢量(在工件(W)的表面內(nèi)與劃線正交的方向的力)的力通過解除工件(W)的另一側的固定而不發(fā)揮作用。因此，垂直裂縫易于生長，且水平裂縫的生長也能夠受到抑制。
文檔編號C03B33/02GK101663246SQ20088001013
公開日2010年3月3日 申請日期2008年2月29日 優(yōu)先權日2007年3月30日
發(fā)明者三戶雅德, 中村雅彥, 星野京延, 榊原雅弘, 河野貴哉, 羽生明夫, 肉戶善明 申請人:Thk株式會社;Thk英特克斯股份有限公司