專利名稱:劃線裝置及劃線方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及劃線裝置、以及使用了該劃線裝置的劃線方法,該劃線裝置用于在以 液晶顯示器為代表的FPD(平板顯示器)中使用的面板基板等脆性材料的面板基板上進(jìn)行 劃線。
背景技術(shù):
對(duì)于液晶顯示器等FPD中使用的面板基板,通常通過(guò)對(duì)大尺寸的母板進(jìn)行劃線并 截?cái)啵瑥亩瑫r(shí)形成多張獨(dú)立的單個(gè)顯示器基板。用于對(duì)面板基板進(jìn)行劃線的劃線裝置例 如在專利文獻(xiàn)1(日本特開(kāi)2002-20133號(hào)公報(bào))中有所公開(kāi)。圖7表示該公報(bào)中公開(kāi)的劃線裝置。圖7所示的劃線裝置具有工作臺(tái)81,以水 平狀態(tài)載置要形成劃線的面板基板70之后對(duì)該面板基板70進(jìn)行保持;多個(gè)劃線頭82,各 個(gè)劃線頭82上分別安裝有對(duì)保持于該工作臺(tái)81上的面板基板70進(jìn)行劃線的劃線輪;以及 架橋83,設(shè)置有導(dǎo)軌83a,各個(gè)劃線頭82以能夠分別獨(dú)立地進(jìn)行滑動(dòng)的方式安裝在該導(dǎo)軌 83a 上。對(duì)于將面板基板70保持為水平狀態(tài)的工作臺(tái)81,在將面板基板70保持成水平狀 態(tài)的情況下,可以繞垂直軸即繞圖7所示的θ方向進(jìn)行正反旋轉(zhuǎn)。架橋83以跨越工作臺(tái) 81的方式架設(shè),導(dǎo)軌83a以水平狀態(tài)配置在工作臺(tái)81上方。通過(guò)線性馬達(dá)機(jī)構(gòu),使安裝在 導(dǎo)軌83a上的各個(gè)劃線頭82能夠分別在沿著導(dǎo)軌83a的長(zhǎng)度方向的X方向上進(jìn)行滑動(dòng)。并 且,工作臺(tái)81能夠在正交于導(dǎo)軌83a的方向即Y方向上進(jìn)行滑動(dòng)。各個(gè)劃線頭82的下部分別設(shè)置有能夠進(jìn)行升降的劃線輪(刀輪刀片)82a。通過(guò) 使各個(gè)劃線輪82a壓接在保持于工作臺(tái)81上的面板基板70上,并相對(duì)于面板基板70進(jìn)行 相對(duì)移動(dòng),從而在面板基板70的預(yù)定部位上進(jìn)行劃線。由此,在面板基板70上形成劃線。另外,圖7所示的劃線裝置上設(shè)置有一對(duì)攝像機(jī)84,對(duì)設(shè)置于面板基板70上的 校準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行攝像;以及圖像顯示裝置85,顯示由各個(gè)攝像機(jī)84攝像到的圖像;等等。在這樣構(gòu)成的劃線裝置中,若在工作臺(tái)81上保持面板基板70,則根據(jù)由一對(duì)攝像 機(jī)84攝像到的校準(zhǔn)標(biāo)記,工作臺(tái)81沿θ方向旋轉(zhuǎn),對(duì)保持于工作臺(tái)81上的面板基板70 與架橋83的導(dǎo)軌83a之間的相對(duì)位置進(jìn)行定位。然后,各個(gè)劃線頭82分別在X方向上滑 動(dòng),使得各個(gè)劃線頭82的劃線輪82a與面板基板70上的預(yù)定的Y方向劃線起始位置相對(duì) 置。而且,若各個(gè)劃線頭82的劃線輪82a與面板基板70上的Y方向劃線起始位置相對(duì)置, 則各個(gè)劃線輪82a分別下降,壓接在面板基板70的Y方向劃線起始位置上。若處于這種狀態(tài),則架橋83整體在Y方向上移動(dòng),從而各個(gè)劃線頭82的劃線輪 82a同時(shí)形成多條沿Y方向的劃線。如上所述,通過(guò)設(shè)置多個(gè)劃線頭82,例如能夠沿Y方向同時(shí)形成多條平行的劃線。 因此,能夠高效率地實(shí)施用于從母面板基板截?cái)喑龆鄠€(gè)面板基板的劃線。另一方面,在FPD的制造工場(chǎng),存在采用更大尺寸的面板基板作為母板的趨勢(shì),為 了應(yīng)對(duì)此需求,要求劃線裝置的載置工作臺(tái)尺寸也增大。但是,若增大載置工作臺(tái)尺寸,則通過(guò)使工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)來(lái)維持母板兩端的劃線位置精度就會(huì)變得更加困難。即,由于采用的是 通過(guò)馬達(dá)使工作臺(tái)繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu),所以在提高旋轉(zhuǎn)角的分解能方面,存在某種程度 的機(jī)構(gòu)上的限制。并且,若載置工作臺(tái)的尺寸增大,則載置工作臺(tái)自身變重,其結(jié)果導(dǎo)致旋 轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)也要大型化。由于這些問(wèn)題,用于大尺寸母板的劃線裝置的載置工作臺(tái)沒(méi)有采用組 裝有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的機(jī)械設(shè)計(jì)。在劃線裝置的載置工作臺(tái)不旋轉(zhuǎn)的情況下,若母板在稍微傾斜地載置于載置工作 臺(tái)上的狀態(tài)下而被劃線,即使圖7的劃線裝置僅搭載一個(gè)劃線頭,仍出現(xiàn)如下問(wèn)題。即,使 劃線頭在X方向上移動(dòng)之后,從預(yù)定的X位置在Y方向上形成劃線時(shí),與被形成劃線的母板 傾斜量對(duì)應(yīng)地,劃線也傾斜地形成。為了解決該問(wèn)題,有采用專利文獻(xiàn)2(日本特公平6-2597號(hào)公報(bào))等中公開(kāi)的直 線插補(bǔ)方法。在搭載了一個(gè)劃線頭的圖7的劃線裝置的情況下,保持于工作臺(tái)81上的面 板基板 70與架橋83的導(dǎo)軌83a之間的相對(duì)位置關(guān)系,通過(guò)根據(jù)由一對(duì)攝像機(jī)84攝像到的校準(zhǔn)標(biāo) 記預(yù)先進(jìn)行圖像處理來(lái)運(yùn)算,所以根據(jù)該運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行直線插補(bǔ),使得安裝在劃線頭82正 下方的劃線輪82a沿著面板基板70上的沿Y方向的各個(gè)劃線預(yù)定線移動(dòng)。該直線插補(bǔ)通 過(guò)如下方式進(jìn)行,即,每當(dāng)架橋83整體在Y方向上移動(dòng)預(yù)定的微小距離,使各個(gè)劃線輪82a 在X方向上移動(dòng)預(yù)定的微小距離,從而進(jìn)行該直線插補(bǔ)。并且,還開(kāi)發(fā)出了在FPD用的母面板基板的上下表面同時(shí)進(jìn)行劃線并分離的上下 截?cái)嘌b置,但是,在這種裝置中,由于在基板被輸送來(lái)的狀態(tài)下直接對(duì)母板進(jìn)行劃線,因此 采用了上述的直線插補(bǔ)手法。專利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2002-20133號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特公平6-2597號(hào)公報(bào)在圖7所示的劃線裝置中,搭載有多個(gè)劃線頭82。因此,在開(kāi)始劃線時(shí),需要將安 裝在各個(gè)劃線頭上的劃線輪82a的劃線起始位置在正確地定位為同一直線狀的狀態(tài)下進(jìn) 行配置。但是,由于所有的劃線頭82都安裝在架橋83上,所以一旦面板基板70與架橋83 的直線方向不一致,而與該方向保持一定角度地傾斜載置,則根本不可能使劃線起始位置 對(duì)齊。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決這種問(wèn)題而提出的,其目的在于,提供一種能夠?qū)⒍鄠€(gè)劃線頭 的各個(gè)劃線單元正確定位在面板基板等脆性材料基板的預(yù)定劃線起始位置上的劃線裝置 以及劃線方法。本發(fā)明的另一目的在于,提供一種能夠迅速且高精度地分別對(duì)多個(gè)劃線頭 的各個(gè)劃線單元進(jìn)行直線插補(bǔ)的劃線裝置以及劃線方法。本發(fā)明的劃線裝置,其特征在于,具有基板保持單元,將脆性材料基板保持為水 平狀態(tài);多個(gè)劃線頭,各個(gè)劃線頭分別具有對(duì)由該基板保持單元保持的所述脆性材料基板 進(jìn)行劃線的劃線單元;以及導(dǎo)軌,保持該多個(gè)劃線頭,使各個(gè)劃線頭能夠沿著導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方 向即X方向滑動(dòng);由所述基板保持單元保持的所述脆性材料基板和所述導(dǎo)軌能夠沿著與所 述X方向正交的Y方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng),所述各個(gè)劃線頭具有滑動(dòng)單元,該滑動(dòng)單元使設(shè)置于 各個(gè)劃線頭上的所述劃線單元沿著所述Y方向滑動(dòng)。
優(yōu)選所述基板保持單元能夠在所述Y方向上輸送所保持的所述脆性材料基板。優(yōu)選所述導(dǎo)軌設(shè)置于由所述基板保持單元保持的所述脆性材料基板的上方。優(yōu)選所述脆性材料基板是1張面板基板。優(yōu)選所述導(dǎo)軌分別設(shè)置于由所述基板保持單元保持的所述脆性材料基板 的上方 和下方,該導(dǎo)軌上分別設(shè)置有所述多個(gè)劃線頭。優(yōu)選所述脆性材料基板是由一對(duì)面板基板粘合而成的粘合面板基板。優(yōu)選在所述脆性材料基板上方的所述導(dǎo)軌上設(shè)置的所述劃線頭的任意一個(gè)上設(shè) 置有輥,該輥壓接在所述粘合面板基板的上表面上。優(yōu)選所述劃線單元是劃線輪。優(yōu)選所述各個(gè)劃線頭還具有使所述劃線輪壓接于所述脆性材料基板的單元。此外,本發(fā)明涉及劃線方法,該方法利用所述的劃線裝置對(duì)所述脆性材料基板進(jìn) 行劃線,所述劃線方法包括將所述導(dǎo)軌相對(duì)于由所述基板保持單元保持的所述脆性材料 基板進(jìn)行定位的工序;以及,接著使所述各個(gè)劃線頭沿著所述導(dǎo)軌在所述X方向上移動(dòng),并 且使所述各個(gè)劃線頭的所述劃線單元在所述Y方向上移動(dòng),使該劃線單元分別與所述脆性 材料基板上的劃線起始位置相對(duì)置的工序。優(yōu)選所述劃線方法還包括使分別與各個(gè)所述劃線起始位置相對(duì)置的所述各個(gè)劃 線頭分別壓接在各個(gè)所述劃線起始位置上,使由所述基板保持單元保持的所述脆性材料基 板和所述導(dǎo)軌沿著所述Y方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的工序。優(yōu)選所述劃線方法還包括使分別與各個(gè)所述劃線起始位置相對(duì)置的所述各個(gè)劃 線頭分別壓接在各個(gè)所述劃線起始位置上,使所述各個(gè)劃線頭分別沿著所述導(dǎo)軌在所述X 方向上移動(dòng)的工序。優(yōu)選所述劃線方法還包括在使所述各個(gè)劃線頭分別沿著所述導(dǎo)軌在所述X方向 上移動(dòng)的期間,使所述劃線單元在所述Y方向上移動(dòng),由此進(jìn)行直線插補(bǔ)的工序。發(fā)明效果在本發(fā)明的劃線裝置和劃線方法中,即使在脆性材料基板的劃線預(yù)定線相對(duì)于將 配置在長(zhǎng)度方向的多個(gè)劃線頭沿長(zhǎng)度方向可滑動(dòng)地保持的導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方向而配置在傾斜 方向(平行或垂直方向以外的方向)的情況下,通過(guò)在多個(gè)劃線頭上分別設(shè)置使劃線單元 在Y方向上獨(dú)立移動(dòng)的滑動(dòng)單元,從而能夠使各個(gè)劃線頭的劃線單元與脆性材料基板上的 各個(gè)劃線起始位置正確地對(duì)齊。即,在利用多個(gè)劃線單元同時(shí)在脆性材料基板上形成沿Y 方向的多個(gè)劃線時(shí),能夠使各個(gè)劃線單元的劃線起始位置在X方向(與劃線預(yù)定線平行的 方向)整齊排列。并且,利用多個(gè)劃線單元在脆性材料基板上將沿X方向的1條劃線進(jìn)行 分割而同時(shí)形成劃線(或同時(shí)形成排列在X方向的1條線上的多個(gè)劃線)時(shí),能夠使各個(gè) 劃線單元的劃線起始位置在X方向(劃線預(yù)定線上)上整齊排列。因此,能夠縮短從脆性 材料基板(母板)切出長(zhǎng)方形的截?cái)嗷逅璧臅r(shí)間。
圖1是表示本發(fā)明的劃線裝置的概要結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是將本發(fā)明的劃線裝置的主要部分的概要結(jié)構(gòu)放大表示的立體圖。圖3是本發(fā)明的劃線裝置中使用的滑動(dòng)頭部的立體圖。
圖4是本發(fā)明的劃線裝置中使用的滑動(dòng)頭部的正視圖。圖5是本發(fā)明的劃線裝置中使用的刀盤部的立體圖。圖6(a)、(b)分別是用于說(shuō)明本發(fā)明的劃線裝置的動(dòng)作的粘貼面板基板的俯視 圖。圖7是表示現(xiàn)有的劃線裝置的概要結(jié)構(gòu)的立體圖。
附圖標(biāo)記說(shuō)明10輸送支承機(jī)構(gòu)(基板支承機(jī)構(gòu));30劃線構(gòu)件;31上部導(dǎo)軌;32下部導(dǎo)軌;33 上部劃線頭;34上部滑動(dòng)頭部;34m伺服馬達(dá);34η同步輪;34ρ同步輪;34q同步帶;35上部 刀盤部;35a伺服馬達(dá);35m刀具部件;35η保持部件;35ρ劃線輪;36輥頭部;37攝像頭部; 38下部滑動(dòng)頭部;39下部刀盤部;40下部劃線頭
具體實(shí)施例方式下面,根據(jù)附圖,說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1是表示本發(fā)明的劃線裝置的概要結(jié)構(gòu)的立體圖,圖2是將其主要部分放大表 示的立體圖。該劃線裝置例如用于將液晶顯示面板中使用的粘合面板基板90截?cái)喑深A(yù)定 大小。粘合面板基板90由一對(duì)面板基板彼此以隔著預(yù)定間隔的狀態(tài)相互粘合且填充有液 晶而成。如圖1所示,本發(fā)明的劃線裝置具備一對(duì)基板支承機(jī)構(gòu)10,以水平狀態(tài)載置要被 截?cái)嗟恼澈厦姘寤?0 ;以及劃線構(gòu)件30,配置在兩個(gè)基板支承機(jī)構(gòu)之間。各個(gè)基板支承機(jī)構(gòu)10構(gòu)成為按照水平狀態(tài)輸送以水平狀態(tài)被載置的面板基板 90,并且,劃線構(gòu)件30對(duì)由兩個(gè)基板支承機(jī)構(gòu)保持為水平狀態(tài)的粘合面板基板90進(jìn)行截 斷?!獙?duì)基板支承機(jī)構(gòu)10分別由多個(gè)傳送帶11構(gòu)成,該傳送帶11將以水平狀態(tài)載置 的粘合面板基板90保持成水平狀態(tài),并在預(yù)定方向(與劃線構(gòu)件30的長(zhǎng)度方向正交的方 向)上對(duì)該粘合面板基板90進(jìn)行輸送。下面,如圖1所示,將通過(guò)基板支承機(jī)構(gòu)10輸送面板基板90的方向設(shè)為Y方向, 將與Y方向正交的水平方向(劃線構(gòu)件30的長(zhǎng)度方向)設(shè)為X方向,將與Y方向和X方向 正交的上下方向設(shè)為Z方向。如圖2所示,配置于一對(duì)基板支承機(jī)構(gòu)10之間的劃線構(gòu)件30具有上部導(dǎo)軌31和 下部導(dǎo)軌32,該上部導(dǎo)軌31和下部導(dǎo)軌32分別沿著與基板支承機(jī)構(gòu)10輸送粘合面板基板 90的方向正交的方向(X方向)以水平狀態(tài)配置。上部導(dǎo)軌31和下部導(dǎo)軌32以在上下方 向上隔著適當(dāng)間隔的狀態(tài)一體化。基板支承機(jī)構(gòu)10向+Y方向輸送的粘合面板基板90通 過(guò)上部導(dǎo)軌31和下部導(dǎo)軌32之間的間隙。上部導(dǎo)軌31上設(shè)置有一對(duì)上部劃線頭33,該一對(duì)上部劃線頭33能夠分別沿著上 部導(dǎo)軌31滑動(dòng)。各個(gè)上部劃線頭33分別具有上部滑動(dòng)頭部34,該上部滑動(dòng)頭部34能夠在 沿著上部導(dǎo)軌31的長(zhǎng)度方向的X方向上滑動(dòng)。各個(gè)上部滑動(dòng)頭部34構(gòu)成為能夠通過(guò)線性 馬達(dá)機(jī)構(gòu)在X方向上滑動(dòng),上部導(dǎo)軌31上分別設(shè)置有能夠沿著上部導(dǎo)軌31滑動(dòng)的線性馬 達(dá)機(jī)構(gòu)的滑塊31a。各個(gè)滑塊31a上分別以垂直狀態(tài)安裝有連結(jié)板31b,該連結(jié)板31b上分 別安裝有上部滑動(dòng)頭部34。通過(guò)一對(duì)上部劃線頭33,能夠在粘合面板基板90的上表面同 時(shí)形成在X方向上隔著預(yù)定間隔的Y方向上的一對(duì)平行劃線。并且,能夠同時(shí)形成在X方向位于1條線上的多個(gè)劃線(或?qū)?條劃線2分割而同時(shí)形成劃線)。并且,各個(gè)連結(jié)板31b上分別安裝有攝像頭部37,該攝像頭部37與各個(gè)上部滑動(dòng) 頭部34成一體,且能夠沿著上部導(dǎo)軌31滑動(dòng)。各個(gè)攝像頭部37上設(shè)置有對(duì)設(shè)置于粘合面 板基板90上的校準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行攝像的攝像機(jī),若粘合面板基板90被輸送到上部導(dǎo)軌31和下 部導(dǎo)軌32之間,則由各個(gè)攝像機(jī)分別對(duì)設(shè)置于粘合面板基板90上的校準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行攝像。 并且,各個(gè)上部滑動(dòng)頭部34上分別安裝有上部刀盤部(cutter head)35和輥頭部 (roller head) 36。對(duì)于輥頭部36,替代刀盤部上的劃線輪而安裝有形狀為即使被按壓在基 板上也不會(huì)形成劃線的輥,除此之外的結(jié)構(gòu)與刀盤部相同。下部導(dǎo)軌32上設(shè)置有一對(duì)下部劃線頭40,該一對(duì)下部劃線頭40能夠分別沿著下 部導(dǎo)軌32在X方向上滑動(dòng),各個(gè)下部劃線頭40上分別設(shè)置有下部滑動(dòng)頭部38。各個(gè)下部 滑動(dòng)頭部38安裝在能夠沿著下部導(dǎo)軌32的長(zhǎng)度方向滑動(dòng)的線性馬達(dá)機(jī)構(gòu)的滑塊(未圖 示)上。各個(gè)下部滑動(dòng)頭部38上分別安裝有下部刀盤部39。通過(guò)一對(duì)下部劃線頭40,能夠在粘合面板基板90的下表面同時(shí)形成在X方向上隔 著預(yù)定間隔的Y方向上的一對(duì)平行劃線。并且,能夠同時(shí)形成在X方向位于1條線上的多 個(gè)劃線(或?qū)?條劃線2分割而同時(shí)形成劃線)。并且,通過(guò)上部劃線頭33和下部劃線頭40,能夠在粘合面板基板90的上表面和下 表面同時(shí)形成劃線。該情況下,安裝在上部劃線頭33上的上部刀盤部35和安裝在下部劃 線頭40上的下部刀盤部39隔著粘合面板基板90相對(duì)置。安裝在上部劃線頭33上的輥頭部36在僅在粘合面板基板90的下表面形成劃線 的情況下,根據(jù)需要,按照以隔著粘合面板基板90與下部刀盤部39相對(duì)置的方式按壓粘合 面板基板的上表面的狀態(tài)而被使用。例如,僅在粘合面板基板90的下表面形成劃線時(shí),若 不使用安裝在上部劃線頭33上的輥頭部36,則根據(jù)粘合面板基板90的尺寸、厚度剛性等特 性,有時(shí)來(lái)自下部刀盤部39的按壓力會(huì)導(dǎo)致基板90彎曲而阻礙形成適當(dāng)?shù)膭澗€。通過(guò)使 用輥頭部36,使上部刀盤部35和下部刀盤部39隔著粘合面板基板90相對(duì)置,能夠在與在 粘合面板基板90的上表面和下表面同時(shí)形成劃線的情況相同的狀況下,僅在下表面形成 劃線。圖3是設(shè)置于上部導(dǎo)軌31上的一個(gè)上部劃線頭33上的上部滑動(dòng)頭部34 (配置在 與圖1所示的+X方向相反方向的-X方向側(cè))的立體圖,圖4是該上部滑動(dòng)頭部34的正視 圖。該上部滑動(dòng)頭部34具有在上下方向上隔著適當(dāng)?shù)拈g隔配置的上側(cè)模塊部34a和下側(cè) 模塊部34b,這些上側(cè)模塊部34a和下側(cè)模塊部34b安裝在連結(jié)板31b上,該連結(jié)板31b安 裝在線性馬達(dá)機(jī)構(gòu)的滑塊31a上。在上側(cè)模塊部34a的滑動(dòng)方向即X方向的兩側(cè),分別設(shè) 置有沿Y方向以水平狀態(tài)延伸的滑軌34c,各個(gè)滑軌34c上分別設(shè)置有能夠滑動(dòng)的上側(cè)導(dǎo)向 塊34d。在下側(cè)模塊部34b的滑動(dòng)方向即X方向的兩側(cè),也分別設(shè)置有沿Y方向以水平狀態(tài) 延伸的滑軌34e,各個(gè)滑軌34e上分別設(shè)置有能夠滑動(dòng)的下側(cè)導(dǎo)向塊34f。設(shè)置于上部滑動(dòng)頭部34兩側(cè)的上側(cè)導(dǎo)向塊34d和下側(cè)導(dǎo)向塊34f上分別以垂直 狀態(tài)安裝有安裝板34g。并且,在配置于該上部滑動(dòng)頭部34的與另一滑動(dòng)頭部34對(duì)置的一 側(cè)(圖2的+X方向側(cè))的安裝板34g上,安裝有上部刀盤部35 (參見(jiàn)圖2),在配置于該上 部滑動(dòng)頭部34的與另一滑動(dòng)頭部34的遠(yuǎn)離側(cè)(與圖2的+X方向側(cè)相反的一側(cè)、即-X方 向側(cè))的安裝板34g上,安裝有輥頭部36 (參見(jiàn)圖2)。
在上側(cè)模塊部34a和下側(cè)模塊部34b之間,沿Y方向以水平狀態(tài)配置有滾珠螺桿 34h,該滾珠螺桿34h上螺合有與各個(gè)安裝板34g成一體的滑塊34。通過(guò)滾珠螺桿34h的正 轉(zhuǎn)和反轉(zhuǎn),一體安裝在各個(gè)安裝板34g上的滑塊34i沿Y方向滑動(dòng),追隨滑塊34i沿Y方向 進(jìn)行的滑動(dòng),各個(gè)安裝板34g進(jìn)行滑動(dòng)。由此,安裝在各個(gè)安裝板34g上的上部刀盤部35 和輥頭部36成一體地沿Y方向滑動(dòng)。上側(cè)模塊部34a的上方設(shè)置有伺服馬達(dá)34m。伺服馬達(dá)34m的旋轉(zhuǎn)軸在與圖2所 示的+Y方向相反的方向(-Y方向)上以水平狀態(tài)延伸,伺服馬達(dá)34m的前端部一體安裝 有同步輪34η。同步輪34η的下方配置有被安裝在滾珠螺桿34h前端部的從動(dòng)側(cè)的同步輪 34p。并且,兩個(gè)同步輪34n、34p上能夠繞周移動(dòng)地卷繞有同步帶34q。伺服馬達(dá)34m能夠進(jìn)行正轉(zhuǎn)和反轉(zhuǎn),伺服馬達(dá)34m的旋轉(zhuǎn)通過(guò)同步帶34q從上側(cè) 同步輪34η傳遞到下側(cè)同步輪34ρ,使一體安裝在下側(cè)同步輪34ρ上的滾珠螺桿34h旋轉(zhuǎn)。 并且,通過(guò)滾珠螺桿34h旋轉(zhuǎn),滑塊34i沿Y方向滑動(dòng),安裝在滑 塊34i上的各個(gè)安裝板34g 分別沿Y方向滑動(dòng)。由此,設(shè)置于各個(gè)安裝板34g上的上部刀盤部35和輥頭部36沿Y方 向滑動(dòng)。圖5是上部刀盤部35的立體圖。在上部刀盤部35上,在設(shè)置于滑動(dòng)頭部34上的 一個(gè)安裝板34g的上部安裝有伺服馬達(dá)35a。伺服馬達(dá)35a按照旋轉(zhuǎn)軸向下側(cè)以垂直狀態(tài) 延伸的倒立狀態(tài)安裝在安裝板34g上。伺服馬達(dá)35a的旋轉(zhuǎn)軸上安裝有圓筒凸輪35b,該圓 筒凸輪35b與旋轉(zhuǎn)軸一體旋轉(zhuǎn)。圓筒凸輪35b的下表面為相對(duì)于水平狀態(tài)成傾斜狀態(tài)的凸 輪面35c。并且,上部刀盤部35具有設(shè)置于安裝板34g下部的線性軸承35k,該線性軸承35k 上以能夠向上下方向滑動(dòng)的方式保持有保持部件35η。保持部件35η的下端部保持有用于 在粘合面板基板90上形成劃線的刀具部件35m。刀具部件35m的下端部設(shè)置有劃線輪35p。 保持部件35η上保持著下端部設(shè)置有劃線輪35ρ的刀具部件35m,該刀具部件35能夠繞垂 直軸旋轉(zhuǎn)。保持部件35η和安裝板34g之間設(shè)置有作為彈性體的螺旋彈簧35s,該螺旋彈簧 35s對(duì)保持部件35η相對(duì)于安裝板34g朝向上方施力。另外,下端部設(shè)置有劃線輪35p的刀具部件35m構(gòu)成為能夠相對(duì)于保持部件(下 面,又稱為刀具保持部件。)35η進(jìn)行拆卸,例如,W02007/063979號(hào)公報(bào)中所公開(kāi),刀具部件 35m可以構(gòu)成為能夠通過(guò)磁石容易地相對(duì)于刀具保持部件35η進(jìn)行裝卸。并且,作為劃線 輪35ρ,也可以使用日本專利3074143號(hào)公報(bào)中公開(kāi)的刀輪、W02007/063979號(hào)公報(bào)中公開(kāi) 的劃線輪等。在刀具保持部件35η的上部,與圓筒凸輪35b的凸輪面35c抵接的凸輪隨動(dòng)件35d 與刀具保持部件35η —體設(shè)置。凸輪隨動(dòng)件35d形成為能夠旋轉(zhuǎn)的輥形狀,刀具保持部件 35η被螺旋彈簧35S向上方施力,從而與圓筒凸輪35b的凸輪面35c壓接。如圖2所示,上部滑動(dòng)頭部34的另一安裝板34g上設(shè)置有輥頭部36,該輥頭部 36與上部刀盤部35的結(jié)構(gòu)的不同之處僅在于,上部刀盤部35的保持部件35η保持刀具部 件35m,而輥頭部36的保持部件保持輥部件,其他結(jié)構(gòu)與上部刀盤部35的結(jié)構(gòu)相同。輥部 件的作用在于,例如,僅在面板基板的下表面形成劃線時(shí),以隔著面板基板與下部刀盤部39 相對(duì)置的方式對(duì)面板基板的上表面施加壓力。如圖2所示,能夠沿下部導(dǎo)軌32滑動(dòng)的各個(gè)下部劃線頭40上分別設(shè)置有下部滑動(dòng)頭部38。各個(gè)下部滑動(dòng)頭部38分別與上部滑動(dòng)頭部34上下方向顛倒地構(gòu)成,除此之外, 結(jié)構(gòu)與上部滑動(dòng)頭部34相同。并且,各個(gè)下部滑動(dòng)頭部38的各自外側(cè)(相對(duì)于另一下部滑動(dòng)頭部38的遠(yuǎn)離側(cè)) 分別僅安裝有下部刀盤部39。各個(gè)下部刀盤部39與上部刀盤部35上下方向顛倒,除此之 夕卜,結(jié)構(gòu)與上部刀盤部35相同在線性馬達(dá)機(jī)構(gòu)作用下的各個(gè)上部滑動(dòng)頭34和各個(gè)下部滑動(dòng)頭40的滑動(dòng)、各個(gè) 上部滑動(dòng)頭34中的伺服馬達(dá)34m和各個(gè)下部滑動(dòng)頭38中的伺服馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)、各個(gè)上部刀 盤部35中的伺服馬達(dá)35a、各個(gè)輥頭部36和各個(gè)下部滑動(dòng)頭39中的伺服馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)、基板 保持機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)等的控制由未圖示的運(yùn)算控制部進(jìn)行。對(duì)通過(guò)這樣構(gòu)成的本發(fā)明的劃線裝置在粘合面板基板90上進(jìn)行劃線的動(dòng)作進(jìn)行 說(shuō)明。下面,如圖6(a)、(b)所示,說(shuō)明通過(guò)本發(fā)明的劃線裝置,從1張粘合面板基板90截 斷出8張截?cái)嗾澈厦姘寤?1時(shí)的劃線方法。如圖6(a)所示,從大尺寸的粘合面板基板 90,截?cái)喑鲅卦撜澈厦姘寤?0的長(zhǎng)度方向(Y方向)4張、沿寬度方向(X方向)2張的粘合 面板基板91。該情況下,如圖6(a)所示,粘合面板基板90中的上側(cè)面板基板和下側(cè)面板基 板被沿著長(zhǎng)度方向的4條Y方向劃線預(yù)定線90a、90b、90c、90d截?cái)?。另外?條劃線從-X 方向側(cè)依次為第1劃線預(yù)定線90a、第2劃線預(yù)定線90b、第3劃線預(yù)定線90c、第4劃線預(yù) 定線90d。另外,粘合面板基板90中的上側(cè)面板基板的第1劃線預(yù)定線90a和第3劃線預(yù)定 線90c的位置,與下側(cè)面板基板的第1劃線預(yù)定線90a和第3劃線預(yù)定線90c的位置,存在 些許不同。下側(cè)面板基板上的第1劃線預(yù)定線90a的位置相比于上側(cè)面板基板上的第1劃 線預(yù)定線90a靠?jī)?nèi)側(cè)(+X方向側(cè)),并且,下側(cè)面板基板上的第3劃線預(yù)定線90c的位置相 比于上側(cè)面板基板上的第3劃線預(yù)定線90c靠?jī)?nèi)側(cè)(+X方向側(cè))。這是因?yàn)?,在截?cái)嗾澈厦?板基板91中的上側(cè)面板基板上設(shè)置電極線時(shí),該電極線的端子等需要設(shè)置在上側(cè)面板基 板的一個(gè)側(cè)緣部上,所以要增大上側(cè)面板基板的面積。另外,在圖6(a)、(b)中,方便起見(jiàn), 上側(cè)面板基板和下側(cè)面板基板上的各個(gè)劃線預(yù)定線表示為一致。另外,粘合面板基板90上的沿寬度方向(X方向)的各個(gè)劃線預(yù)定線中,將最靠近 +Y方向側(cè)的劃線預(yù)定線從-X方向側(cè)起,分別設(shè)為第5劃線預(yù)定線90e和第6劃線預(yù)定線 90f,將相對(duì)于與該第5劃線預(yù)定線90e和第6劃線預(yù)定線90f在-Y方向側(cè)分別相鄰的劃 線預(yù)定線,分別設(shè)為第7劃線預(yù)定線90g和第8劃線預(yù)定線90h。在本發(fā)明的劃線裝置中,通過(guò)一對(duì)上部劃線頭34中的各個(gè)上部刀盤部35的各個(gè) 劃線輪(刀輪刀片)35p,沿著上側(cè)面板基板上的第1劃線預(yù)定線90a和第3劃線預(yù)定線90c 同時(shí)形成劃線,并且,通過(guò)一對(duì)下部劃線頭40中的各個(gè)下部刀盤部39的各個(gè)劃線輪,沿著 與上側(cè)面板基板上的第1劃線預(yù)定線90a和第3劃線預(yù)定線90c相對(duì)置的、下側(cè)面板基板 下表面上的未圖示的2條線同時(shí)形成劃線。此時(shí),在下側(cè)面板基板下表面上形成的劃線位 置,相比于下側(cè)面板基板上的第1劃線預(yù)定線90a和第3劃線預(yù)定線90c,向外側(cè)(-X方向 側(cè))偏移。這是因?yàn)?,如上所述,在上?cè)面板基板的一個(gè)側(cè)緣部上設(shè)置有電極線的端子等, 上側(cè)面板基板上的第1劃線預(yù)定線90a的位置和第3劃線預(yù)定線90c的位置,分別相比于 下側(cè)面板基板上的第1劃線預(yù)定線90a的位置和第3劃線預(yù)定線90c的位置,向外側(cè)(-X 方向側(cè))偏移。
接著,通過(guò)一對(duì)下部劃線頭40中的各個(gè)下部刀盤部39的各個(gè)劃線輪35p,沿著下 側(cè)面板基板上的第1劃線預(yù)定線90a和第3劃線預(yù)定線90c同時(shí)形成劃線。此時(shí),使各個(gè) 輥頭部36轉(zhuǎn)動(dòng),使得以隔著粘合面板基板與各個(gè)下部刀盤部39的各個(gè)劃線輪35p相對(duì)置 的方式從上側(cè)面板基板的上表面?zhèn)劝磯焊鱾€(gè)輥頭部36。之后,通過(guò)一對(duì) 上部刀盤部35的各個(gè)劃線輪35p,沿著上側(cè)面板基板上的第2劃 線預(yù)定線90b和第4劃線預(yù)定線90d同時(shí)形成劃線,并且,通過(guò)一對(duì)下部刀盤部39的各個(gè) 劃線輪,沿著下側(cè)面板基板上的第2劃線預(yù)定線90b和第4劃線預(yù)定線90d同時(shí)形成劃線。 此后,通過(guò)一對(duì)上部刀盤部35的各個(gè)劃線輪35p,沿著上側(cè)面板基板上的第5劃線預(yù)定線 90e和第6劃線預(yù)定線90f同時(shí)形成劃線,并且,通過(guò)一對(duì)下部刀盤部39的各個(gè)劃線輪,沿 著下側(cè)面板基板上的第5劃線預(yù)定線90e和第6劃線預(yù)定線90f同時(shí)形成劃線。然后,沿 著相對(duì)于第5劃線預(yù)定線90e和第6劃線預(yù)定線90f在-Y方向上分別相鄰的沿X方向的 第7劃線預(yù)定線90g和第7劃線預(yù)定線90h形成劃線,接著,沿著相對(duì)于所形成的劃線在-Y 方向上相鄰的沿X方向的各個(gè)劃線預(yù)定線依次形成劃線。下面對(duì)這種劃線方法進(jìn)一步進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。首先,若在位于-Y方向上的一個(gè)基板 支承機(jī)構(gòu)10上載置粘合面板基板90,則該基板支承機(jī)構(gòu)10將粘合面板基板90保持在水 平狀態(tài)。該情況下,基板支承機(jī)構(gòu)10未對(duì)粘合面板基板90在X方向和Y方向上進(jìn)行正確 地定位,而保持在粘合面板基板90的長(zhǎng)度方向基本沿Y方向的狀態(tài)。然后,基板支承機(jī)構(gòu) 10在+Y方向上輸送所保持的粘合面板基板90,將+Y方向側(cè)的端部插入到上部導(dǎo)軌31和 下部導(dǎo)軌32之間。若處于這種狀態(tài),則為了通過(guò)設(shè)置于各個(gè)攝像頭部37的攝像機(jī)攝像設(shè)置在粘合 面板基板90的預(yù)定位置上的校準(zhǔn)標(biāo)記,使設(shè)置于上部導(dǎo)軌31上的各個(gè)劃線頭33分別沿著 上部導(dǎo)軌31的長(zhǎng)度方向滑動(dòng)。該情況下,為了攝像到設(shè)置于粘合面板基板90上的校準(zhǔn)標(biāo) 記,根據(jù)需要,通過(guò)基板支承機(jī)構(gòu)10使粘合面板基板90在Y方向上移動(dòng)。然后,若通過(guò)各個(gè)劃線頭33的各個(gè)攝像頭部37上設(shè)置的攝像機(jī)分別攝像到設(shè)置 于粘合面板基板90上的校準(zhǔn)標(biāo)記,則根據(jù)攝像到的校準(zhǔn)標(biāo)記,通過(guò)基板支承機(jī)構(gòu)10移動(dòng)粘 合面板基板90,使得粘合面板基板90相對(duì)于劃線構(gòu)件30處于預(yù)定位置。并且,若粘合面板 基板90相對(duì)于劃線構(gòu)件30處于預(yù)定位置,則粘合面板基板90停止移動(dòng)。若處于這種狀態(tài),則通過(guò)運(yùn)算控制部運(yùn)算粘合面板基板90的寬度方向與上部導(dǎo) 軌31和下部導(dǎo)軌32的長(zhǎng)度方向、即X方向之間的傾斜角度,并且,運(yùn)算粘合面板基板90的 上側(cè)面板基板和下側(cè)面板基板上的各個(gè)劃線起始位置Si、S2 (第1劃線預(yù)定線90a和第1 劃線預(yù)定線90c上的+Y方向的端部的位置、參見(jiàn)圖6(a))。而且,根據(jù)該運(yùn)算結(jié)果,分別運(yùn) 算為了使各個(gè)上部刀盤部35的劃線輪35p分別位于上側(cè)面板基板的劃線起始位置Si、S2 上方所需的、各個(gè)上部劃線頭33沿X方向和Y方向的移動(dòng)距離,并且,運(yùn)算為了使各個(gè)下部 刀盤部39的劃線輪位于下側(cè)面板基板的劃線起始位置S1、S2下方所需的、各個(gè)下部劃線頭 40沿X方向和Y方向的移動(dòng)距離。然后,根據(jù)各個(gè)運(yùn)算結(jié)果,通過(guò)線性馬達(dá)機(jī)構(gòu)使各個(gè)上部劃線頭33沿著上部導(dǎo)軌 31在X方向上移動(dòng)運(yùn)算出的移動(dòng)距離,并且,分別旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)設(shè)置于各個(gè)上部滑動(dòng)頭部34上 的伺服馬達(dá)34m,使得安裝在各個(gè)上部滑動(dòng)頭部34上的各個(gè)上部刀盤部35沿Y方向移動(dòng)運(yùn) 算出的移動(dòng)距離。伺服馬達(dá)34m的旋轉(zhuǎn)被一對(duì)同步輪34n、34p傳遞給滾珠螺桿34h,從而使得滾珠螺桿34h旋轉(zhuǎn)。由此,安裝在各個(gè)上部滑動(dòng)頭部34上的各個(gè)上部刀盤部35在Y方 向上移動(dòng)。由此,各個(gè)上部劃線頭33通過(guò)線性馬達(dá)機(jī)構(gòu)在X方向上移動(dòng),并且,各個(gè)上部劃線 頭33的上部刀盤部35在Y方向上移動(dòng),從而該上部刀盤部35的劃線輪35p分別正確地與 上側(cè)面板基板上的劃線起始位置Si、S2的上方相對(duì)置。同樣地,各個(gè)下部劃線頭40通過(guò)線性馬達(dá)機(jī)構(gòu)沿著下部導(dǎo)軌32移動(dòng),并且,各個(gè) 下部劃線頭40的下部刀盤部39沿著Y方向移動(dòng),從而下部刀盤部39的劃線輪分別正確地 與下側(cè)面板基板上的劃線起始位置Si、S2的下方相對(duì)置。若處于這種狀態(tài),則各個(gè)上部刀盤部35的伺服馬達(dá)35a旋轉(zhuǎn),從而圓筒凸輪35b 旋轉(zhuǎn),壓接在圓筒凸輪35b的凸輪面35c上的凸輪隨動(dòng)件35d下降。由此,保持部件35η抵 抗螺旋彈簧35s的施力向下方移動(dòng)。而且,保持部件35η下降預(yù)定量,從而各個(gè)劃線輪35ρ 分別以預(yù)定壓力壓接在粘合面板基板90中的上側(cè)面板基板的劃線起始位置Si、S2上。 同樣地,對(duì)于各個(gè)下部刀盤部38,通過(guò)伺服馬達(dá)旋轉(zhuǎn),保持部件向上方移動(dòng),各個(gè) 劃線輪分別以預(yù)定壓力壓接在粘合面板基板90中的下側(cè)面板基板的劃線起始位置Si、S2 上。若處于這種狀態(tài),則通過(guò)基板支承機(jī)構(gòu),粘合面板基板90向+Y方向上移動(dòng),通過(guò) 各個(gè)上部刀盤部35的劃線輪35ρ,沿著粘合面板基板90的上側(cè)面板基板上的第1劃線預(yù)定 線90a和第3劃線預(yù)定線90c形成劃線。同樣地,通過(guò)各個(gè)下部刀盤部39的劃線輪,沿著 與粘合面板基板90的上側(cè)面板基板上的第1劃線預(yù)定線90a和第3劃線預(yù)定線90c相對(duì) 置的、下側(cè)面板基板下表面上的未圖示的2條線形成劃線。此時(shí),下側(cè)面板基板下表面上形 成的劃線的位置,相比于下側(cè)面板基板上的第1劃線預(yù)定線90a和第3劃線預(yù)定線90c,向 外側(cè)(-χ方向側(cè))偏移。這是因?yàn)椋缟纤?,在上?cè)面板基板的一個(gè)側(cè)緣部設(shè)置有電極線 的端子等,所以上側(cè)面板基板上的第1劃線預(yù)定線90a的位置和第3劃線預(yù)定線90c的位 置,分別相比于下側(cè)面板基板上的第1劃線預(yù)定線90a的位置和第3劃線預(yù)定線90c的位 置,向外側(cè)(-χ方向側(cè))偏移。該情況下,由于運(yùn)算控制部預(yù)先運(yùn)算出了粘合面板基板90的寬度方向與上部導(dǎo) 軌31和下部導(dǎo)軌32的長(zhǎng)度方向即X方向之間的傾斜角度,所以根據(jù)該運(yùn)算出的傾斜角度, 運(yùn)算第1劃線預(yù)定線90a和第3劃線預(yù)定線90c相對(duì)于Y方向的傾斜角度,每當(dāng)向+Y方向 將粘合面板基板90輸送預(yù)定距離時(shí),各個(gè)上部劃線頭33在X方向上移動(dòng)預(yù)定距離,以使各 個(gè)上部刀盤部35的劃線輪35p分別沿著第1劃線預(yù)定線90a和第3劃線預(yù)定線90c移動(dòng)。 由此,在通過(guò)基板支承機(jī)構(gòu)10在Y方向上輸送粘合面板基板90的期間進(jìn)行直線插補(bǔ),以使 得各個(gè)上部刀盤部35的劃線輪35p分別沿著第1劃線預(yù)定線90a和第3劃線預(yù)定線90c 移動(dòng)。其結(jié)果,各個(gè)上部刀盤部35的劃線輪35p能夠沿著上側(cè)面板基板的第1劃線預(yù)定線 90a和第3劃線預(yù)定線90c正確地形成劃線。同樣地,在通過(guò)基板支承機(jī)構(gòu)10在Y方向上輸送粘合面板基板90的期間,各個(gè)下 部刀盤部39的劃線輪也通過(guò)線性馬達(dá)機(jī)構(gòu)在X方向上移動(dòng),從而進(jìn)行直線插補(bǔ),以便分別 沿著與上側(cè)面板基板上的第1劃線預(yù)定線90a和第3劃線預(yù)定線90c相對(duì)置的、下側(cè)面板 基板下表面上的未圖示的2條線進(jìn)行移動(dòng)。由此,各個(gè)下部刀盤部39的劃線輪也能夠沿著 下側(cè)面板基板的所述2條線正確地形成劃線。
接著,在各個(gè)下部刀盤部39的劃線輪沿著下側(cè)面板基板的第1劃線預(yù)定線90a進(jìn) 行劃線的期間,輥頭部36的輥壓接在上側(cè)面板基板的與該第1劃線預(yù)定線90a相對(duì)置的上 表面位置。該情況下,各個(gè)上部劃線頭33分別沿著X方向和Y方向移動(dòng)預(yù)定距離,從而各 個(gè)上部劃線頭33的輥頭部36也分別沿著X方向和Y方向移動(dòng)預(yù)定距離。由此,各個(gè)輥頭 部36的輥處于隔著上側(cè)面板基板和下側(cè)面板基板與各個(gè)下部刀盤部39的劃線輪相對(duì)置的 狀態(tài)。這樣,下部刀盤部35的劃線輪35p壓接在下側(cè)面板基板下表面上的第1劃線預(yù)定線 90a的+Y方向側(cè)端部上時(shí),通過(guò)伺服馬達(dá)旋轉(zhuǎn),輥頭部36的保持部件向下方移動(dòng),保持部件 所保持的輥壓接在粘合面板基板90的上表面上。該情況下,輥分別以預(yù)定壓力壓接在與下 側(cè)面板基板的劃線起始位置相對(duì)置的上側(cè)面板基板的上表面上。若如上所述這樣在上側(cè)面板基板和下側(cè)面板基板上沿著長(zhǎng)度方向上的第1劃線 預(yù)定線90a和第3劃線預(yù)定線90c形成劃線,則各個(gè)上部刀盤部35的劃線輪35p分別向上 方移動(dòng),處于離開(kāi)上側(cè)面板基板的上表面的狀態(tài)。同樣地,各個(gè)下部刀盤部39的劃線輪也 分別向下方移動(dòng),處于離開(kāi)下側(cè)面板基板的下表面的狀態(tài)。之后,通過(guò)基板支承機(jī)構(gòu)10,在 Y方向上輸送粘合面板基板90,并且,在X方向上移動(dòng)各個(gè)上部劃線頭33和各個(gè)下部劃線 頭40,以使各個(gè)上部刀盤部35的劃線輪35p和各個(gè)下部刀盤部39的劃線輪分別與粘合面 板基板90上的第2劃線預(yù)定線90b和第4劃線預(yù)定線90d的劃線起始位置S3、S4相對(duì)置。而且,若各個(gè)上部刀盤部35的劃線輪35p和各個(gè)下部刀盤部39的劃線輪分別與 粘合面板 基板90上的第2劃線預(yù)定線90b和第4劃線預(yù)定線90d的劃線起始位置S3、S4相 對(duì)置,則與上述的劃線動(dòng)作相同地,各個(gè)上部刀盤部35的劃線輪35p和各個(gè)下部刀盤部39 的劃線輪沿著上側(cè)面板基板和下側(cè)面板基板的第2劃線預(yù)定線90b和第4劃線預(yù)定線90d 以壓接狀態(tài)移動(dòng)(轉(zhuǎn)動(dòng)),從而同時(shí)形成沿著第2劃線預(yù)定線90b和第4劃線預(yù)定線90d的 各個(gè)劃線。若如上所述這樣形成完粘合面板基板90上的沿著長(zhǎng)度方向的全部劃線,則輸送 粘合面板基板90,并且在X方向上移動(dòng)各個(gè)上部劃線頭33和各個(gè)下部劃線頭40,此外在Y 方向上移動(dòng)各個(gè)上部刀盤部35和下部刀盤部39,以使各個(gè)上部刀盤部35的劃線輪35p分 別與粘合面板基板90的第5劃線預(yù)定線90e的劃線起始位置S 1和第6劃線預(yù)定線90f 的劃線起始位置S2相對(duì)置,并且各個(gè)下部刀盤部39的劃線輪也同樣地分別與劃線起始位 置Si、S2相對(duì)置。然后,各個(gè)上部刀盤部35的劃線輪35p和各個(gè)下部刀盤部39的劃線輪分別壓接 在劃線起始位置Si、S2上,分別沿著第5劃線預(yù)定線90e和第6劃線預(yù)定線90f移動(dòng)。該 情況下,每當(dāng)各個(gè)上部劃線頭33和各個(gè)下部劃線頭40在X方向上移動(dòng)預(yù)定距離時(shí),通過(guò)基 板支承機(jī)構(gòu)10,在Y方向上將粘合面板基板90輸送預(yù)定距離,或者使設(shè)置于各個(gè)上部劃線 頭33和各個(gè)下部劃線頭40上的各個(gè)上部刀盤部35和下部刀盤部39在Y方向上移動(dòng)預(yù)定 距離,由此進(jìn)行由基板支承機(jī)構(gòu)10進(jìn)行的粘合面板基板90輸送、各個(gè)上部刀盤部35的劃 線輪35p和各個(gè)下部刀盤部39的劃線輪在X方向上的直線插補(bǔ)。由此,各個(gè)上部刀盤部35 的劃線輪35p和各個(gè)下部刀盤部39的劃線輪能夠正確地形成被進(jìn)行直線插補(bǔ)而沿著第5 劃線預(yù)定線90e和第6劃線預(yù)定線90f的劃線。若沿著上側(cè)面板基板和下側(cè)面板基板的各個(gè)劃線預(yù)定線90e、90f形成劃線,則對(duì) 粘合面板基板90的輸送、各個(gè)上部劃線頭33和各個(gè)下部劃線頭40在X方向上的移動(dòng)、各個(gè)上部刀盤部35和下部刀盤部39在Y方向上的移動(dòng)進(jìn)行控制,使得各個(gè)上部刀盤部35的 劃線輪35p和各個(gè)下部刀盤部39的劃線輪分別與粘合面板基板90上的沿著寬度方向的第 7劃線預(yù)定線90g和第8劃線預(yù)定線90h的劃線起始位置S5、S6相對(duì)置。然后,各個(gè)上部刀盤部35的劃線輪35p和各個(gè)下部刀盤部39的劃線輪分別壓接 在劃線起始位置S5、S6上,分別沿著第7劃線預(yù)定線90g和第8劃線預(yù)定線90h移動(dòng)。該 情況下的劃線動(dòng)作與沿著第5劃線預(yù)定線90e和第6劃線預(yù)定線90f的劃線動(dòng)作相同。之后,反復(fù)進(jìn)行相同動(dòng)作,從而沿著在粘合面板基板90的寬度方向上延伸的各個(gè) 劃線預(yù)定線實(shí)施劃線動(dòng)作。而且,通過(guò)沿著在粘合面板基板90的寬度方向上延伸的全部劃 線預(yù)定線形成劃線,從而結(jié)束劃線工序。
若如上所述這樣沿著粘合面板基板90上的全部劃線預(yù)定線形成劃線,則粘合面 板基板90被輸送到預(yù)定的截?cái)喙ば?,截?cái)喑筛鱾€(gè)截?cái)嗾澈厦姘寤?1。該情況下,沿著下側(cè)面板基板上的第1劃線預(yù)定線90a和第3劃線預(yù)定線90c形 成的劃線,相比于沿著上側(cè)面板基板上的第1劃線預(yù)定線90a和第3劃線預(yù)定線90d形成 的劃線,靠近內(nèi)側(cè)(+X方向),所以例如通過(guò)吸附單元從各個(gè)截?cái)嗝姘寤宓纳蟼?cè)面板基板 上表面?zhèn)缺3只宀⑾蛏戏教崞穑瑥亩軌驅(qū)⒉恍枰牟糠直A粼诨灞3謫卧?0上,能 夠容易地將不需要的部分除去。如上所述,在本發(fā)明的劃線裝置中,通過(guò)設(shè)置一對(duì)上部劃線頭33和一對(duì)下部劃線 頭40,能夠分別在粘合面板基板90的上側(cè)面板基板和下側(cè)面板基板上同時(shí)形成一對(duì)劃線, 所以能夠顯著提高劃線作業(yè)效率。并且,在一對(duì)上部劃線頭33和一對(duì)下部劃線頭40上分別設(shè)置使各個(gè)上部刀盤部 35和各個(gè)下部刀盤部39在Y方向上移動(dòng)的單元,從而即使在粘合面板基板相對(duì)于將配置在 長(zhǎng)度方向(X方向)上的一對(duì)上部劃線頭33沿X方向可滑動(dòng)地保持的導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方向(X 方向)、以及將配置在長(zhǎng)度方向(X方向)上的一對(duì)下部劃線頭40沿X方向可滑動(dòng)地保持的 導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方向(X方向)傾斜配置,也能夠使刀盤的各個(gè)上部刀盤部35和各個(gè)下部刀盤 部39正確地與粘合面板基板90上的劃線起始位置相對(duì)置。因此,能夠正確地形成沿著各 個(gè)劃線預(yù)定線的劃線。此外,在進(jìn)行使各個(gè)上部刀盤部35和各個(gè)下部刀盤部39在X方向 上移動(dòng)而形成劃線時(shí)的直線插補(bǔ)時(shí),通過(guò)僅使各個(gè)上部刀盤部35和各個(gè)下部刀盤部39在 Y方向上移動(dòng),從而即使不使上部導(dǎo)軌31和下部導(dǎo)軌32整體在Y方向上移動(dòng),即使不移動(dòng) 粘合面板基板,也能夠迅速且高精度地進(jìn)行沿著X方向的直線插補(bǔ),能夠根據(jù)情況選擇適 當(dāng)?shù)闹本€插補(bǔ)單元。另外,在上述實(shí)施方式中,在上部導(dǎo)軌31和下部導(dǎo)軌32上分別設(shè)置一對(duì)上部劃線 頭33和一對(duì)下部劃線頭40,但也可以在上部導(dǎo)軌31和下部導(dǎo)軌32上分別設(shè)置3個(gè)以上的 劃線頭。并且,也可以僅在上部導(dǎo)軌31上設(shè)置2個(gè)以上劃線頭,形成用于從1張大尺寸的 母面板基板截?cái)喑龆鄠€(gè)截?cái)嗝姘寤宓膭澗€。并且,也可以僅設(shè)置上部導(dǎo)軌31或下部導(dǎo)軌32,在該上部導(dǎo)軌31或下部導(dǎo)軌32 上設(shè)置多個(gè)上部劃線頭33。并且,作為形成劃線的脆性材料基板,不限于粘合面板基板,可以是1張面板基 板,并且也可以不是面板基板。如上所述,使用本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式例示了本發(fā)明,但本發(fā)明不應(yīng)被限定解釋為該實(shí)施方式。本發(fā)明的范圍應(yīng)根據(jù)權(quán)利要求范圍進(jìn)行解釋。本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠由本 發(fā)明的具體的優(yōu)選實(shí)施方式的記載,根據(jù)本發(fā)明的記載以及技術(shù)常識(shí),在等價(jià)范圍內(nèi)實(shí)施。 對(duì)于本說(shuō)明書(shū)中引用的專利、專利申請(qǐng)以及文獻(xiàn),如同其內(nèi)容本身具體記載在本說(shuō)明書(shū)中 那樣,援引其內(nèi)容作為本說(shuō)明書(shū)的參考。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明涉及的用于在液晶面板等中使用的面板基板等脆性材料基板上進(jìn)行劃線 的劃線裝置以及劃線方法,能夠容易地使多個(gè)劃線頭的劃線單元分別與預(yù)定的劃線起始位 置對(duì)齊。
權(quán)利要求
一種劃線裝置,其特征在于,具有基板保持單元,將脆性材料基板保持為水平狀態(tài);多個(gè)劃線頭,各個(gè)劃線頭分別具有對(duì)由該基板保持單元保持的所述脆性材料基板進(jìn)行劃線的劃線單元;以及導(dǎo)軌,以使各個(gè)劃線頭能夠沿著導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方向即X方向滑動(dòng)的方式保持該多個(gè)劃線頭,;由所述基板保持單元保持的所述脆性材料基板和所述導(dǎo)軌能夠沿著與所述X方向正交的Y方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng),所述各個(gè)劃線頭具有滑動(dòng)單元,該滑動(dòng)單元使設(shè)置于各個(gè)劃線頭上的所述劃線單元沿著所述Y方向滑動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃線裝置,其中,所述基板保持單元能夠在所述Y方向上輸送所保持的所述脆性材料基板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃線裝置,其中,所述導(dǎo)軌設(shè)置于由所述基板保持單元保持的所述脆性材料基板的上方。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的劃線裝置,其中, 所述脆性材料基板是1張面板基板。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃線裝置,其中,所述導(dǎo)軌分別設(shè)置于由所述基板保持單元保持的所述脆性材料基板的上方和下方,該 導(dǎo)軌上分別設(shè)置有所述多個(gè)劃線頭。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的劃線裝置,其中,所述脆性材料基板是由一對(duì)面板基板粘合而成的粘合面板基板。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的劃線裝置,其中,在設(shè)置在所述脆性材料基板的上方的所述導(dǎo)軌上的所述劃線頭的任意一個(gè)上,設(shè)置有 壓接在所述粘合面板基板的上表面上的輥。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃線裝置,其中, 所述劃線單元是劃線輪。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的劃線裝置,其中,所述各個(gè)劃線頭還具有使所述劃線輪壓接在所述脆性材料基板上的單元。
10.一種劃線方法,該方法通過(guò)權(quán)利要求1所述的劃線裝置對(duì)所述脆性材料基板進(jìn)行 劃線,其中,所述劃線方法包括將所述導(dǎo)軌相對(duì)于由所述基板保持單元保持的所述脆性材料基板進(jìn)行定位的工序;接使所述各個(gè)劃線頭沿著所述導(dǎo)軌在所述X方向上移動(dòng),并且使所述各個(gè)劃線頭的所述 劃線單元在所述Y方向上移動(dòng),使該劃線單元分別與所述脆性材料基板上的劃線起始位置 相對(duì)置的工序。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的劃線方法,其中, 還包括使分別與各個(gè)所述劃線起始位置相對(duì)置的所述各個(gè)劃線頭分別壓接在各個(gè)所述劃線 起始位置上,使由所述基板保持單元保持的所述脆性材料基板和所述導(dǎo)軌沿著所述Y方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的工序。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的劃線方法,其中, 還包括使分別與各個(gè)所述劃線起始位置相對(duì)置的所述各個(gè)劃線頭分別壓接在各個(gè)所述劃線 起始位置上,使所述各個(gè)劃線頭分別沿著所述導(dǎo)軌在所述X方向上移動(dòng)的工序。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的劃線方法,其中,在使所述各個(gè)劃線頭分別沿著所述導(dǎo)軌在所述X方向上移動(dòng)的期間,使所述劃線單元 在所述Y方向上移動(dòng),由此進(jìn)行直線插補(bǔ)。
全文摘要
將多個(gè)劃線頭的各個(gè)劃線輪正確定位在面板基板上的預(yù)定劃線起始位置上,并且高精度地進(jìn)行插補(bǔ)處理。沿著與由基板保持機(jī)構(gòu)保持的粘合面板基板(90)的輸送方向即Y方向正交的X方向,設(shè)置有上部導(dǎo)軌(31)和下部導(dǎo)軌(32),在上部導(dǎo)軌(31)和下部導(dǎo)軌(32)上分別以能夠滑動(dòng)的方式設(shè)置有一對(duì)上部劃線頭(33)和一對(duì)下部劃線頭(40)。在各個(gè)上部劃線頭(33)和下部劃線頭(40)上分別設(shè)置有上部滑動(dòng)頭部(34)和下部滑動(dòng)頭部(38),該上部滑動(dòng)頭部(34)和下部滑動(dòng)頭部(38)分別使設(shè)置有劃線輪的上部刀盤(35)和下部刀盤(39)在Y方向上滑動(dòng)。
文檔編號(hào)C03B33/027GK101970363SQ200980102948
公開(kāi)日2011年2月9日 申請(qǐng)日期2009年1月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月23日
發(fā)明者中田勝喜, 西尾仁孝 申請(qǐng)人:三星寶石工業(yè)株式會(huì)社