主軸裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種主軸裝置，其提高了靜壓軸承的剛性。主軸裝置（1）具有：外殼（2）；設(shè)于外殼（2）的負(fù)載側(cè)的相反側(cè)的馬達(dá)（4）；主軸（3），其具有盤（10），并由馬達(dá)（4）旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及第一支承部件（15），其設(shè)于主軸（3）的負(fù)載側(cè)，第一支承部件（15）以非接觸的方式支承主軸（3），并具備從徑向方向?qū)χ鬏S（3）供給壓縮空氣的第一徑向供給口（21）和第二徑向供給口（22）、以及沿著推力方向從負(fù)載側(cè)的相反側(cè)對盤（10）供給壓縮空氣的第一推力供給口（23）。
【專利說明】主軸裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型公開的實(shí)施方式涉及主軸裝置。
[0002]【背景技術(shù)】
[0003]在專利文獻(xiàn)I中，記載了如下的主軸裝置:該主軸由沿徑向方向排出空氣的多孔質(zhì)徑向軸承、以及沿推力方向排出空氣的多孔質(zhì)推力軸承支承，且該主軸由在外殼的負(fù)載側(cè)的相反側(cè)配置的電動(dòng)馬達(dá)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。
[0004]專利文獻(xiàn)1:日本特開2009-68543號公報(bào)
[0005]然而，在專利文獻(xiàn)I所記載的主軸裝置中，徑向軸承及推力軸承相互作為單獨(dú)部件分離配置，因此從連結(jié)于主軸的負(fù)載側(cè)的負(fù)載至上述兩個(gè)部位的軸承之間的推力方向距離大，導(dǎo)致作為靜壓軸承的剛性的降低。
[0006]實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]本實(shí)用新型正是鑒于上述問題點(diǎn)而完成的，其目的在于，提供能夠提高作為靜壓軸承的剛性的主軸裝置。
[0008]為了解決上述殼體，根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)觀點(diǎn)，應(yīng)用如下的主軸裝置，該主軸裝置具有:外殼；設(shè)于所述外殼的負(fù)載側(cè)的相反側(cè)的馬達(dá)；主軸，其具有盤，并由所述馬達(dá)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及第一支承部件，其以非接觸的方式支承所述主軸，并具備從徑向方向?qū)λ鲋鬏S供給壓縮空氣的徑向供給口、以及沿著推力方向從負(fù)載側(cè)的相反側(cè)對所述盤供給壓縮空氣的第一推力供給口。
[0009]此外，在所述主軸裝置中，所述第一支承部件具備:位于所述主軸的外周部的軸套部；和設(shè)于所述軸套部的負(fù)載側(cè)的推力部，在所述徑向供給口中，第一徑向供給口和第二徑向供給口設(shè)于所述軸套部，所述第二徑向供給口位于比所述第一徑向供給口靠負(fù)載側(cè)的位置，所述第一推力供給口以軸向位置比所述第二徑向供給口的軸向位置靠負(fù)載側(cè)的方式設(shè)于所述推力部。
[0010]此外，在所述主軸裝置中，所述主軸裝置還具有第一軸承部件，所述第一軸承部件設(shè)于所述外殼，并且所述第一支承部件的外周部固定在該第一軸承部件的內(nèi)周側(cè)，所述外殼具備沿推力方向貫通并使壓縮空氣流通的空氣流通路，所述第一軸承部件具備:徑向通路，其與所述空氣流通路和所述第一徑向供給口連通；和徑向.推力通路，其與所述空氣流通路、所述第二徑向供給口及所述第一推力供給口連通。
[0011]此外，在所述主軸裝置中，所述第一軸承部件在推力方向上的、所述徑向通路與所述徑向.推力通路的中間部具備冷卻液通路。
[0012]此外，在所述主軸裝置中，所述主軸裝置還具有:第二支承部件，其設(shè)于所述主軸的在所述盤的負(fù)載側(cè)的外周部，并具備沿推力方向從負(fù)載側(cè)對所述盤供給壓縮空氣的第二推力供給口 ；第二軸承部件，其具備與所述空氣流通路和所述第二推力供給口連通的轉(zhuǎn)向通路，并且，該第二軸承部件設(shè)于所述外殼且所述第二支承部件的外周部固定在該第二軸承部件的內(nèi)周側(cè)；以及間隔部件，其夾設(shè)配置于所述第一軸承部件和所述第二軸承部件之間，并具備與所述轉(zhuǎn)向通路連通的貫通孔。[0013]根據(jù)本實(shí)用新型的主軸裝置，能夠提高作為靜壓軸承的剛性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是示出實(shí)施方式的主軸裝置的整體結(jié)構(gòu)的軸向剖視圖。
[0015]圖2是示出主軸裝置的負(fù)載側(cè)徑向?推力軸承部的第一支承部件的軸向剖視圖和右側(cè)視圖。
[0016]圖3是第一支承部件的立體圖。
[0017]圖4是示出負(fù)載側(cè)徑向?推力軸承部的第一支承部件及第一軸承部件的軸向半剖視圖和右側(cè)視圖。
[0018]圖5是示出負(fù)載側(cè)徑向.推力軸承部的間隔部的一部分的軸向剖視圖和右側(cè)視圖。
[0019]圖6是示出比較例的主軸裝置的整體結(jié)構(gòu)的軸向剖視圖。
[0020]標(biāo)號說明
[0021]1:主軸裝置；
[0022]2:外殼；
[0023]3:主軸；
[0024]4:馬達(dá)；
[0025]5:負(fù)載側(cè)的相反側(cè)的徑向軸承部；
[0026]6:負(fù)載側(cè)徑向.推力軸承部；
[0027]7:空氣流通路；
[0028]9:刀具(負(fù)載)；
[0029]10:盤；
[0030]15:第一支承部件；
[0031]16:第二支承部件；
[0032]17:第一軸承部件；
[0033]18:第二軸承部件；
[0034]19:軸套部；
[0035]20:推力部；
[0036]21:第一供給口；
[0037]22:第二供給口；
[0038]23:第一推力供給口；
[0039]24:第二推力供給口；
[0040]25:凹槽；
[0041]26:間隔部件；
[0042]31:徑向通路；
[0043]32:徑向.推力通路；
[0044]33:貫通孔；
[0045]34:轉(zhuǎn)向通路；
[0046]35:冷卻液通路?！揪唧w實(shí)施方式】
[0047]以下，參照圖示對一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0048]<整體概要結(jié)構(gòu)>
[0049]首先，使用圖1對本實(shí)施方式的主軸裝置的整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖1所示，主軸裝置I具備:主軸(spindle) 3，其收納于大致圓筒狀的外殼2內(nèi)；馬達(dá)4，其設(shè)置于外殼2的負(fù)載側(cè)的相反側(cè)(圖1的左側(cè))并旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)主軸3 ;負(fù)載側(cè)的相反側(cè)的徑向軸承部5，其利用壓縮空氣在徑向方向以非接觸的方式支承主軸3的負(fù)載側(cè)的相反側(cè)；負(fù)載側(cè)徑向.推力軸承部6，其利用壓縮空氣在徑向方向和推力方向以非接觸的方式支承主軸3的負(fù)載側(cè)(圖1的右側(cè))；以及空氣流通路7，其向徑向軸承部5和徑向.推力軸承部6供給壓縮空氣。
[0050]空氣流通路7以沿推力方向(圖1中的左右方向)貫通外殼2內(nèi)的方式進(jìn)行設(shè)置。在空氣流通路7的負(fù)載側(cè)的相反側(cè)位置處的外殼2設(shè)有空氣入口 7a。空氣流通路7的負(fù)載側(cè)貫通徑向.推力軸承部6的第一軸承部件17 (詳細(xì)地講為圓板部17b。后面敘述)以及第二軸承部件18，直到外殼2的負(fù)載側(cè)末端。在空氣入口 7a連接有未圖示的壓縮機(jī)等空氣供給源，從空氣供給源供給來的壓縮空氣被導(dǎo)入空氣流通路7。
[0051]馬達(dá)4具備:固定于主軸3的負(fù)載側(cè)的相反側(cè)的磁鐵轉(zhuǎn)子4a ；以包圍磁鐵轉(zhuǎn)子4a的方式設(shè)于外殼2的內(nèi)側(cè)的筒狀的定子4b ；以及馬達(dá)輸出軸4c。而且，在馬達(dá)輸出軸4c連結(jié)有上述主軸3。主軸3的負(fù)載側(cè)端部從徑向.推力軸承6向軸向外方伸出。在主軸3的該伸出的負(fù)載側(cè)端部，經(jīng)由凸緣8安裝有例如工具等適當(dāng)?shù)呢?fù)載(在本例中為刀具9)。刀具9具有例如蒸鍍了非晶金剛石的刀刃9a，并且利用馬達(dá)4對主軸3的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。由此，該主軸裝置I應(yīng)用在例如將半導(dǎo)體晶片切割成半導(dǎo)體芯片的切割工序中。
[0052]徑向軸承部5具備:設(shè)于主軸3的負(fù)載側(cè)的相反側(cè)的直圓筒形狀的筒狀部件11(軸套);和軸承部件12，其設(shè)于外殼2，并且筒狀部件11的外周部固定于該軸承部件12的內(nèi)周偵U。筒狀部件11具有:從徑向方向向主軸3供給壓縮空氣的徑向供給口 13 ;和位于比徑向供給口 13靠負(fù)載側(cè)的徑向供給口 14。徑向供給口 13、14沿著筒狀部件11的周向分別設(shè)有多個(gè)。
[0053]軸承部件12具有徑向通路30、30，該徑向通路30、30與空氣流通路7連通并且在徑向分別與徑向供給口 13、14連通。徑向通路30、30將從空氣流通路7導(dǎo)入的壓縮空氣導(dǎo)入徑向供給口 13、14。被導(dǎo)入徑向供給口 13、14的壓縮空氣從徑向方向被供給于主軸3，且在徑向方向以非接觸的方式支承主軸3的負(fù)載側(cè)的相反側(cè)。而且，在徑向供給口 13、14的內(nèi)側(cè)設(shè)有控制朝向主軸3供給的壓縮空氣的流量的未圖示的節(jié)流部(節(jié)流孔)。
[0054]〈徑向.推力軸承部的詳細(xì)情況>
[0055]徑向.推力軸承部6具備:第一支承部件15和第二支承部件16，它們設(shè)于主軸3的負(fù)載側(cè)的外周部；第一軸承部件17，其設(shè)于外殼2，并且第一支承部件15的外周部固定在該第一軸承部件17的內(nèi)周側(cè)；以及第二軸承部件18，其設(shè)于外殼2，并且第二支承部件16的外周部固定在該第二軸承部件18的內(nèi)周側(cè)。
[0056]<第一支承部件及第一軸承部件>
[0057]如圖2的(a)、圖2的(b)及圖3所示，第一支承部件15由位于主軸3的外周部的直圓筒形狀的軸套部19、和在軸套部19的負(fù)載側(cè)以相同軸心一體設(shè)置的大致圓板形狀的推力部20構(gòu)成。
[0058]軸套部19具有:從徑向方向向主軸3供給壓縮空氣的第一徑向供給口 21 ;和位于比第一徑向供給口 21靠負(fù)載側(cè)的第二徑向供給口 22。第一及第二徑向供給口 21、22分別沿著軸套部19的周向設(shè)有多個(gè)。[0059]推力部20構(gòu)成為直徑比上述軸套部19的直徑大。在推力部20的負(fù)載側(cè)的相反側(cè)的面的周緣部設(shè)有環(huán)狀的凹槽25。在推力部20的周向多個(gè)部位具備第一推力供給口 23，該第一推力供給口 23用于沿推力方向從負(fù)載側(cè)的相反側(cè)對固定于主軸3的盤10供給壓縮空氣。各第一推力供給口 23以軸向位置比上述第二徑向供給口 22的軸向位置靠負(fù)載側(cè)的方式設(shè)于推力部20，并與上述凹槽25連通。
[0060]如圖4的(a)、圖4的(b)及上述圖1所示，第一軸承部件17由包圍軸套部19的外周部的直圓筒形狀部17a和包圍推力部20的外周部的圓板部17b構(gòu)成，圓板部17b—體設(shè)置于直圓筒形狀部17a的負(fù)載側(cè)。圓板部17b是直徑比直圓筒形狀部17a的直徑大的圓形狀，并形成為其下部被水平地切口的異形的圓板。
[0061]此時(shí)，在直圓筒形狀部17a設(shè)有徑向通路31，該徑向通路31與空氣流通路7連通并與上述第一徑向供給口 21連通。另外，在圓板部17b設(shè)有徑向?推力通路32，該徑向?推力通路32經(jīng)由推力流路41與空氣流通路7連通，并且經(jīng)由上述第二徑向供給口 22和凹槽25與上述第一推力供給口 23連通。
[0062]徑向通路31將從空氣流通路7導(dǎo)入的壓縮空氣導(dǎo)入上述第一徑向供給口 21。徑向?推力通路32將從空氣流通路7導(dǎo)入的壓縮空氣沿徑向方向?qū)氩⑹蛊浞至?。而且，分流后的一方的壓縮空氣被導(dǎo)入在徑向方向與徑向?推力通路32連通的第二徑向供給口 22，分流后的另一方的壓縮空氣被導(dǎo)入在推力方向與徑向.推力通路32連通的第一推力供給Π 23。
[0063]被導(dǎo)入上述第一及第二徑向供給口 21、22的壓縮空氣從徑向方向被供給于主軸3，并在徑向方向以非接觸的方式支承主軸3的負(fù)載側(cè)。而且，在第一及第二徑向供給口 21、22的內(nèi)側(cè)設(shè)有控制朝向主軸3供給的壓縮空氣的流量的未圖示的節(jié)流部。被導(dǎo)入上述第一推力供給口 23的壓縮空氣沿著推力方向從負(fù)載側(cè)的相反側(cè)被供給于在主軸3的負(fù)載側(cè)固定的盤10，并在推力方向以非接觸的方式支承主軸3的負(fù)載側(cè)。
[0064]而且，在第一軸承部件17中的推力方向上的徑向通路21與徑向?推力通路32的中間部具備冷卻液通路35。冷卻液通路35使在其與未圖示的冷卻液供給源之間循環(huán)的冷卻液流過，能夠?qū)Φ谝惠S承部17的周圍區(qū)域進(jìn)行冷卻。
[0065]<第二支承部件及第二軸承部件>
[0066]如圖1所示，第二支承部件16設(shè)于主軸3的在盤10的負(fù)載側(cè)的外周部，并具備直徑與上述推力部20的直徑大致相同的大致圓板形狀。在該第二支承部件16的周向多個(gè)部位具備第二推力供給口 24，該第二推力供給口 24用于沿推力方向從負(fù)載側(cè)對盤10供給壓縮空氣。被導(dǎo)入這些第二推力供給口 24的壓縮空氣沿推力方向從負(fù)載側(cè)被供給于在主軸3的負(fù)載側(cè)固定的上述盤10，并在推力方向以非接觸的方式支承主軸3的負(fù)載側(cè)。
[0067]第二軸承部件18具備包圍第二支承部件16的外周部的、直徑與第一軸承部件17的圓板部17b的直徑大致相同的大致圓板形狀。在第二軸承部件18具備轉(zhuǎn)向通路34，該轉(zhuǎn)向通路34經(jīng)由推力流路41 (參照圖4)與空氣流通路7在徑向方向連通，并且與上述第二推力供給口 24在推力方向連通。
[0068]此時(shí)，如圖5的(a)、圖5的(b)及上述圖1所示，在第一軸承部件17的上述圓板部17b和第二軸承部件18之間，夾設(shè)配置有大致圓板狀或大致平板狀的間隔部件26。間隔部件26具備與盤10的軸向厚度尺寸大致相同的軸向厚度尺寸。另外，在間隔部件26具備推力方向的貫通孔33，該貫通孔33經(jīng)由上述推力流路41 (參照圖4)與空氣流通路7連通。貫通孔33將從空氣流通路7及推力流路41沿推力方向?qū)氲膲嚎s空氣導(dǎo)入上述轉(zhuǎn)向通路34。而且，上述轉(zhuǎn)向通路34將來自上述貫通孔33的壓縮空氣沿徑向方向?qū)牒螅乖搶?dǎo)入的壓縮空氣向朝著負(fù)載側(cè)的相反側(cè)的推力方向轉(zhuǎn)向，然后導(dǎo)入上述第二推力供給口24。被導(dǎo)入第二推力供給口 24的壓縮空氣通過沿推力方向從負(fù)載側(cè)被供給至主軸3的盤10，從而在推力方向以非接觸的方式支承主軸3的負(fù)載側(cè) 。
[0069]<實(shí)施方式的效果>
[0070]如以上說明的那樣，在本實(shí)施方式的主軸裝置I中，在外殼2的負(fù)載側(cè)的相反側(cè)設(shè)有馬達(dá)4，通過將驅(qū)動(dòng)力傳遞至主軸3，使主軸3旋轉(zhuǎn)。由此，能夠利用馬達(dá)4的驅(qū)動(dòng)力使與主軸3的負(fù)載側(cè)連結(jié)的適當(dāng)?shù)呢?fù)載(在本例中為刀具9)旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，主軸3由所謂的靜壓軸承非接觸地支承。即，在支承主軸3的負(fù)載側(cè)的負(fù)載側(cè)徑向?推力軸承部6中，通過從第一及第二徑向供給口 21、22向主軸3供給壓縮空氣來進(jìn)行主軸3的徑向方向的支承。另外，通過從第一及第二推力供給孔23、24向固定于主軸3的盤10供給壓縮空氣來進(jìn)行主軸3的推力方向的支承。
[0071]這里，在本實(shí)施方式中，上述第一及第二徑向供給口 21、22和第一推力供給口 23設(shè)于位于主軸3的外周部的共用的一個(gè)第一支承部件15。由此，與將這兩個(gè)徑向供給口 21、22和第一推力供給口 23分別設(shè)于單獨(dú)的部件的情況相比，能夠減小從連結(jié)于上述負(fù)載側(cè)的負(fù)載(在本例中為刀具9)至上述徑向供給口之間的推力方向距離。以下，利用比較例對該效果更詳細(xì)地進(jìn)行說明。
[0072]<比較例>
[0073]這里，利用圖6對如下比較例進(jìn)行說明:將分別設(shè)于兩個(gè)部位的軸向位置的上述徑向供給口 21、22、和設(shè)于一個(gè)部位的軸向位置的上述第一推力供給口 23分別設(shè)于單獨(dú)的部件。對與圖1相同的部分標(biāo)以相同的標(biāo)號，并省略或簡化說明。
[0074]在圖6中，在該比較例的主軸裝置IA中，在非接觸地支承主軸3的負(fù)載側(cè)的徑向.推力軸承部6中，在第一支承部件15的軸套部19設(shè)有上述徑向供給口 21、22。另一方面，在隔著小口部19a而與軸套部19呈分體設(shè)置的推力部27，設(shè)有上述第一推力供給口23。
[0075]利用上述這樣的結(jié)構(gòu)，在該比較例中，在第一軸承部17，除了在徑向方向與第一徑向供給口 21連通的徑向通路31之外，還設(shè)有在徑向方向與第二徑向供給口 22連通的專用的徑向通路36。同樣地，在推力部27設(shè)有在推力方向與第一推力供給口 23連通的專用的徑向通路37。其結(jié)果為，從上述負(fù)載(刀具9)至上述兩個(gè)部位的軸向位置的徑向供給口 21、22之間的推力方向距離L1、L2比較大。
[0076]〈實(shí)施方式的推力方向距離降低效果〉
[0077]相對于如上所述的比較例，在本實(shí)施方式中，上述第一及第二徑向供給口 21、22和第一推力供給口 23設(shè)于位于主軸3的外周部的共用的一個(gè)第一支承部件15。具體地講，第一支承部件15具備直圓筒形狀的軸套部19和位于其負(fù)載側(cè)的大致圓板形狀的推力部20。在兩個(gè)部位的軸向位置設(shè)置的上述第一及第二徑向供給口 21、22配置于上述軸套部19，并且設(shè)于一個(gè)部位的軸向位置的上述第一推力供給口 23配置于上述推力部20。
[0078]而且，在設(shè)于負(fù)載側(cè)的相反側(cè)的軸向位置的上述第一徑向供給口 21，沿徑向方向連通有設(shè)于第一軸承部件17的徑向通路31。被導(dǎo)入外殼2內(nèi)的壓縮空氣從空氣流通路7經(jīng)由上述徑向通路31被導(dǎo)入上述第一徑向供給口 21，并從徑向方向被供給至主軸3。另一方面，在負(fù)載側(cè)的軸向位置設(shè)置的上述第二徑向供給口 22和設(shè)于推力部20的上述第一推力供給口 23，連通有設(shè)于第一軸承部件17的共用的徑向.推力通路32。被導(dǎo)入外殼2內(nèi)的壓縮空氣在從空氣流通路7被導(dǎo)入徑向.推力通路32后，向徑向方向和推力方向分流。向徑向方向分流的壓縮空氣被導(dǎo)入沿徑向方向與徑向.推力通路32連通的上述第二徑向供給口 22，與上述同樣地，從徑向方向被供給至主軸3。向推力方向分流的壓縮空氣被導(dǎo)入沿推力方向與徑向?推力通路32連通的上述第一推力供給口 23，并從推力方向被供給至盤10。
[0079]通過形成如上所述的結(jié)構(gòu)及壓縮空氣的流動(dòng)結(jié)構(gòu)，在本實(shí)施方式中，如圖1所示，能夠減小從上述負(fù)載(刀具9)至上述兩個(gè)部位的軸向位置的第一及第二徑向供給口 21、22之間的推力方向距離LI '、L2 '。特別地，通過使在共用的一個(gè)徑向.推力通路32的壓縮空氣的流動(dòng)向徑向方向和推力方向分流后導(dǎo)入供給口，能夠分別可靠地使上述推力方向距離LI'、L2'比在使用單獨(dú)的通路的上述比較例中的推力方向距離LI '、L2'小。其結(jié)果為，能夠縮短從上述第一及第二徑向供給口 21、22至上述負(fù)載(刀具9)的支承跨距，提高作為靜壓軸承的剛性。因此，能夠提高主軸3的旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定性，能夠降低旋轉(zhuǎn)時(shí)的振動(dòng)和噪
曰?
[0080]另外，在如上所述地旋轉(zhuǎn)支承主軸3時(shí)，在固定側(cè)即第一支承部件15和旋轉(zhuǎn)的主軸3之間產(chǎn)生熱。特別地，第一支承部件15中的、在推力方向上與主軸3面對的距離長的軸套部19有容易產(chǎn)生熱的傾向。因此，在本實(shí)施方式中，特別地，在第一軸承部件17中的成為位于上述軸套部19的外周側(cè)位置的區(qū)域的、徑向通路31和徑向?推力通路32的中間部設(shè)有冷卻液通路35。由此，利用流過該冷卻液通路35的冷卻液，能夠比較均等地冷卻該通路35的徑向通路31側(cè)(換言之為負(fù)載側(cè)的相反側(cè))和徑向?推力通路32側(cè)(換言之為負(fù)載側(cè))。其結(jié)果為，對位于該第一軸承部件17的內(nèi)周側(cè)的軸套部19，能夠以遍及推力方向的廣闊區(qū)域的方式，無遺漏地進(jìn)行冷卻。
[0081]另外，在本實(shí)施方式中，特別地，在外殼2的負(fù)載側(cè)設(shè)有第二軸承部件18，在其內(nèi)周側(cè)設(shè)有第二支承部件16。此時(shí)，在第二軸承部件18和第一軸承部件17之間，夾設(shè)配置有間隔部件26。由此，能夠可靠地進(jìn)行該第一軸承部件17和第二軸承部件18的沿著推力方向的相對位置的定位，并且通過將軸承部件形成為軸承部件17、18的分割結(jié)構(gòu)，能夠提高組裝性。
[0082]另外，除了上述已經(jīng)說明的以外，也可以適當(dāng)組合利用上述實(shí)施方式的方法。
[0083]此外，雖未逐一舉例示出，但上述實(shí)施方式在不脫離其主旨的范圍內(nèi)，可以施加各種變更來實(shí)施。
【權(quán)利要求】
1.一種主軸裝置，其特征在于， 所述主軸裝置具備: 外殼; 馬達(dá)，其設(shè)于所述外殼的負(fù)載側(cè)的相反側(cè)； 主軸，其具有盤，并由所述馬達(dá)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及 第一支承部件，其以非接觸的方式支承所述主軸，該第一支承部件具備:從徑向方向?qū)λ鲋鬏S供給壓縮空氣 的徑向供給口 ；以及沿著推力方向從負(fù)載側(cè)的相反側(cè)對所述盤供給壓縮空氣的第一推力供給口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的主軸裝置，其特征在于， 所述第一支承部件具備: 位于所述主軸的外周部的軸套部；和 設(shè)于所述軸套部的負(fù)載側(cè)的推力部， 在所述徑向供給口中，第一徑向供給口和第二徑向供給口設(shè)于所述軸套部，所述第二徑向供給口位于比所述第一徑向供給口靠負(fù)載側(cè)的位置， 所述第一推力供給口以軸向位置比所述第二徑向供給口的軸向位置靠負(fù)載側(cè)的方式設(shè)于所述推力部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的主軸裝置，其特征在于， 所述主軸裝置還具有第一軸承部件，所述第一軸承部件設(shè)于所述外殼，并且所述第一支承部件的外周部固定在該第一軸承部件的內(nèi)周側(cè)， 所述外殼具備沿推力方向貫通并使壓縮空氣流通的空氣流通路， 所述第一軸承部件具備: 徑向通路，其與所述空氣流通路和所述第一徑向供給口連通；和 徑向?推力通路，其與所述空氣流通路、所述第二徑向供給口及所述第一推力供給口連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的主軸裝置，其特征在于， 所述第一軸承部件在推力方向上的、所述徑向通路與所述徑向.推力通路的中間部具備冷卻液通路。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的主軸裝置，其特征在于， 所述主軸裝置還具有: 第二支承部件，其設(shè)于所述主軸的在所述盤的負(fù)載側(cè)的外周部，并具備沿推力方向從負(fù)載側(cè)對所述盤供給壓縮空氣的第二推力供給口； 第二軸承部件，其具備與所述空氣流通路和所述第二推力供給口連通的轉(zhuǎn)向通路，并且，該第二軸承部件設(shè)于所述外殼且所述第二支承部件的外周部固定在該第二軸承部件的內(nèi)周側(cè)；以及 間隔部件，其夾設(shè)配置于所述第一軸承部件和所述第二軸承部件之間，并具備與所述轉(zhuǎn)向通路連通的貫通孔。
【文檔編號】B23B19/02GK203390211SQ201320317533
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年6月4日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月5日
【發(fā)明者】荒牧健三 申請人:株式會(huì)社安川電機(jī)