硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)及硅棒流水作業(yè)方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)及硅棒流水作業(yè)方法，硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)包括：送料設(shè)備，用于將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域；截?cái)嘣O(shè)備，銜接送料設(shè)備，用于對(duì)由送料設(shè)備自上料區(qū)域輸送過來的待切割的硅棒進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè)以切割為多段硅棒截段；硅棒傳送設(shè)備，銜接截?cái)嘣O(shè)備，用于傳送硅棒截段；硅棒組合加工機(jī)，設(shè)于硅棒傳送設(shè)備旁側(cè)，用于對(duì)從硅棒傳送設(shè)備上獲取的硅棒截段執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、滾圓及拋光作業(yè)。本發(fā)明的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)，待切割的硅棒通過送料設(shè)備輸送至待上料區(qū)域，通過截?cái)嘣O(shè)備將待切割的硅棒切割成多段硅棒截段，硅棒截段由硅棒傳送設(shè)備進(jìn)行依序卸料，通過硅棒組合加工機(jī)對(duì)硅棒截段執(zhí)行切方、磨面作業(yè)、滾圓及拋光作業(yè)。
【專利說明】
硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)及硅棒流水作業(yè)方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及硅棒截?cái)嗉夹g(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)及硅棒流水作 業(yè)方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 硅棒截?cái)嗉夹g(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的開方加工技術(shù)，它的原理是通過高速運(yùn)動(dòng) 的金剛線對(duì)待加工工件(例如:硅棒、藍(lán)寶石、或其他半導(dǎo)體硬脆材料)進(jìn)行摩擦，切出方錠， 從而達(dá)到切割目的。在對(duì)工件的切割過程中，金剛線通過導(dǎo)線輪的引導(dǎo)，在主線輥上形成一 張線網(wǎng)，而待加工工件通過工作臺(tái)的上升下降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給，在壓力栗的作用下，裝配在 設(shè)備上的冷卻水自動(dòng)噴灑裝置將冷卻水噴灑至金剛線和工件的切削部位，由金剛線往復(fù)運(yùn) 動(dòng)產(chǎn)生切削，以將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為多塊。線切割技術(shù)與傳統(tǒng)的刀鋸片、砂 輪片及內(nèi)圓切割相比具有效率高、產(chǎn)能高、精度高等優(yōu)點(diǎn)。
[0003] 但是，目前的硅棒截?cái)鄼C(jī)仍然存在不足，例如目前的硅棒截?cái)鄼C(jī)一次只能對(duì)一個(gè) 待切割物進(jìn)行切割，若要加工多個(gè)工件只能反復(fù)執(zhí)行多次，效率非常低下。再例如，現(xiàn)有的 硅棒截?cái)鄼C(jī)不能有效處理開方、磨圓等操作。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 有鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種可以依序?qū)⒍鄠€(gè)待 切割硅棒切割成多段硅棒截?cái)啵⑶铱梢詫?duì)硅棒截?cái)鄨?zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及 拋光作業(yè)的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)及硅棒流水作業(yè)方法。
[0005] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)，包括：
[0006] 送料設(shè)備，用于將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域；以及
[0007]截?cái)嘣O(shè)備，銜接所述送料設(shè)備，用于對(duì)由所述送料設(shè)備自所述上料區(qū)域輸送過來 的待切割的硅棒進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè)以切割為多段硅棒截段；
[0008] 硅棒傳送設(shè)備，銜接所述截?cái)嘣O(shè)備，用于傳送所述硅棒截段；以及
[0009] 硅棒組合加工機(jī)，設(shè)于所述硅棒傳送設(shè)備旁側(cè)，用于對(duì)從所述硅棒傳送設(shè)備上獲 取的所述硅棒截段執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。
[0010] 本發(fā)明的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)，待切割的硅棒可以通過送料設(shè)備輸送至待上料區(qū) 域，通過截?cái)嘣O(shè)備可以將待切割的硅棒切割成多段硅棒截段，切割速度快，還可以保證兩個(gè) 面的切割質(zhì)量，切割完不用剪線，切割完的硅棒截段由硅棒傳送設(shè)備分段移出到收料臺(tái)進(jìn) 行依序卸料，保證每個(gè)硅棒截段不碰撞，通過硅棒組合加工機(jī)對(duì)從所述硅棒傳送設(shè)備上獲 取的所述硅棒截段執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。
[0011] 本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述送料設(shè)備包括：
[0012] 上料機(jī)構(gòu)，位于所述上料區(qū)，用于將待切割的所述硅棒自所述上料區(qū)域輸送至所 述截?cái)嘣O(shè)備；以及
[0013]送料機(jī)構(gòu)，鄰設(shè)于所述上料機(jī)構(gòu)，用于將待切割的所述硅棒輸送至待上料區(qū)域的 所述上料機(jī)構(gòu)上。
[0014] 本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述截?cái)嘣O(shè)備包括：
[0015] 機(jī)座；
[0016] 硅棒輸送臺(tái)，設(shè)于所述機(jī)座，用于承載待切割的所述硅棒并驅(qū)動(dòng)所述硅棒沿著所 述娃棒的軸向進(jìn)行輸送；以及
[0017] 線切割單元，設(shè)于所述機(jī)座上且可升降地設(shè)于所述硅棒輸送臺(tái)的上方，用于將所 述硅棒切割為多段硅棒截段。
[0018] 本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述截?cái)嘣O(shè)備還包括:軸心調(diào)節(jié)機(jī) 構(gòu)，設(shè)于所述硅棒輸送臺(tái)上，用于將所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。
[0019] 本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述硅棒輸送臺(tái)包括用于承載待切 割的硅棒并驅(qū)動(dòng)切割后的多個(gè)所述硅棒截段沿軸向進(jìn)行輸送的滾輪組件以及用于控制所 述滾輪組件的電機(jī)組件，所述滾輪組件根據(jù)切割的硅棒截段而劃分為多個(gè)滾輪組件區(qū)段， 每一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)包括有多個(gè)滾輪對(duì)，每一個(gè)滾輪對(duì)包括有通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連的兩個(gè)滾 輪，所述電機(jī)組件包括多個(gè)電機(jī)，每一個(gè)所述滾輪對(duì)對(duì)應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者同屬于一個(gè)滾 輪組件區(qū)段中的多個(gè)滾輪對(duì)共用一個(gè)所述電機(jī)。
[0020] 本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的進(jìn)一步改進(jìn)在于，還包括:工作轉(zhuǎn)移設(shè)備，設(shè)于所述截 斷設(shè)備和所述硅棒傳送設(shè)備之間，用于將所述硅棒截段轉(zhuǎn)移至所述硅棒傳送設(shè)備。
[0021 ]本發(fā)明還提供了 一種硅棒組合加工機(jī)，包括：
[0022]機(jī)座；
[0023] 硅棒開方設(shè)備，設(shè)于所述機(jī)座上，用于對(duì)硅棒進(jìn)行開方作業(yè)形成截面呈具有倒角 的多邊形棒體；
[0024] 硅棒輸送設(shè)備，設(shè)于所述機(jī)座上，呈圓盤形或圓環(huán)形且能旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)以輸送經(jīng)開方 后的娃棒；
[0025] 磨面設(shè)備，設(shè)于所述機(jī)座上且位于所述硅棒輸送設(shè)備的輸送行程的第一區(qū)位上， 用于對(duì)所述硅棒進(jìn)行磨面作業(yè)；
[0026] 滾圓及拋光設(shè)備，設(shè)于所述機(jī)座上且位于所述硅棒輸送設(shè)備的輸送行程的第二區(qū) 位上，用于對(duì)經(jīng)所述磨面設(shè)備磨面后的所述硅棒進(jìn)行滾圓及拋光作業(yè)；以及
[0027] 硅棒移送設(shè)備，設(shè)于所述機(jī)座上，用于將經(jīng)所述硅棒開方設(shè)備開方后的所述硅棒 從所述硅棒開方設(shè)備移送至所述硅棒輸送設(shè)備以及將經(jīng)所述磨面設(shè)備及所述滾圓及拋光 設(shè)備進(jìn)行加工后的所述硅棒移出所述硅棒輸送設(shè)備。
[0028] 本發(fā)明的硅棒組合加工機(jī)，通過硅棒開方設(shè)備對(duì)硅棒進(jìn)行開方作業(yè)形成截面呈具 有倒角的多邊形棒體，通過硅棒輸送設(shè)備輸送經(jīng)開方后的硅棒，通過磨面設(shè)備對(duì)所述硅棒 進(jìn)行磨面作業(yè)。
[0029] 本發(fā)明硅棒組合加工機(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述硅棒開方設(shè)備包括：
[0030] 座體，具有一開方切割區(qū)；
[0031] 位于所述開方切割區(qū)的承載臺(tái)，用于承載豎直放置的硅棒；
[0032] 設(shè)于所述座體上切割機(jī)構(gòu)，包括：切割機(jī)架，設(shè)于所述機(jī)座上且鄰近于所述承載 臺(tái)；切割單元，設(shè)于所述切割機(jī)架且可升降地設(shè)于所述承載臺(tái)上方，所述切割單元中包括有 形成切割線網(wǎng)的切割線。
[0033] 本發(fā)明硅棒組合加工機(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述硅棒輸送設(shè)備的輸送行程上還設(shè) 置有中轉(zhuǎn)區(qū)位，所述中轉(zhuǎn)區(qū)位上設(shè)有測(cè)量及清洗設(shè)備；
[0034] 所述中轉(zhuǎn)區(qū)位，用于作為所述輸送行程的起點(diǎn)而接納硅棒移送設(shè)備所移送來的所 述硅棒并通過所述測(cè)量及清洗設(shè)備進(jìn)行清洗和測(cè)量，以供所述硅棒輸送設(shè)備將進(jìn)行清洗和 測(cè)量后的所述硅棒向第一區(qū)位的所述磨面設(shè)備輸送；
[0035] 所述中轉(zhuǎn)區(qū)位，還用于作為所述輸送行程的終點(diǎn)而接納經(jīng)所述滾圓及拋光設(shè)備進(jìn) 行滾圓及拋光作業(yè)的所述硅棒并通過所述測(cè)量及清洗設(shè)備進(jìn)行清洗和測(cè)量，以供所述硅棒 移送設(shè)備將進(jìn)行清洗和測(cè)量后的所述硅棒移出所述硅棒輸送設(shè)備。
[0036] 本發(fā)明還提供了一種應(yīng)用上述的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的硅棒流水作業(yè)方法，包括：
[0037] 由送料設(shè)備將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域并再由所述待上料區(qū)域輸送至截 斷設(shè)備上；
[0038] 由截?cái)嘣O(shè)備對(duì)由所述送料設(shè)備自所述上料區(qū)域輸送過來的待切割的硅棒進(jìn)行截 斷作業(yè)以；
[0039] 由硅棒傳送設(shè)備將所述截?cái)嘣O(shè)備切割的多段所述硅棒截段予以傳送；
[0040] 由硅棒組合加工機(jī)從所述硅棒傳送設(shè)備上獲取所述硅棒截段并對(duì)所述硅棒截段 執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。
[0041] 本發(fā)明的硅棒流水作業(yè)方法，待切割的硅棒可以通過送料設(shè)備輸送至待上料區(qū) 域，通過截?cái)嘣O(shè)備可以將待切割的硅棒切割成多段硅棒截段，切割速度快，還可以保證兩個(gè) 面的切割質(zhì)量，切割完不用剪線，切割完的硅棒截段由硅棒傳送設(shè)備分段移出到收料臺(tái)進(jìn) 行依序卸料，保證每個(gè)硅棒截段不碰撞，通過硅棒組合加工機(jī)對(duì)從所述硅棒傳送設(shè)備上獲 取的所述硅棒截段執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。
【附圖說明】
[0042] 圖1是本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的立體圖。
[0043] 圖2是本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的送料設(shè)備和截?cái)嘣O(shè)備的立體圖。
[0044] 圖3是本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的截?cái)嘣O(shè)備釋去保護(hù)罩的立體圖。
[0045] 圖4是本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的送料設(shè)備的側(cè)視圖。
[0046] 圖5是本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)將硅棒切割為多段硅棒截段后的示意圖。
[0047] 圖6是本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0048] 圖7是本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的截?cái)嘣O(shè)備的側(cè)視圖。
[0049] 圖8是圖7中壓制件的局部放大示意圖。
[0050] 圖9是圖8中壓制件壓制待切割的娃棒后的不意圖。
[0051 ]圖10為本發(fā)明硅棒組合加工機(jī)在第一視角下的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0052]圖11為本發(fā)明硅棒組合加工機(jī)的俯視圖。
[0053]圖12為本發(fā)明硅棒組合加工機(jī)中硅棒開方設(shè)備的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0054]圖13為本發(fā)明硅棒組合加工機(jī)中硅棒開方設(shè)備的定位結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0055] 圖14為本發(fā)明硅棒組合加工機(jī)中硅棒開方設(shè)備的定位結(jié)構(gòu)中底部定位件的結(jié)構(gòu) 示意圖。
[0056] 圖15為本發(fā)明硅棒組合加工機(jī)中磨面設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0057]圖16為本發(fā)明硅棒組合加工機(jī)中滾圓及拋光設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0058]圖17是本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)另一種較佳實(shí)施例的單段式硅棒截?cái)鄼C(jī)的立體 圖。
【具體實(shí)施方式】
[0059] 以下由特定的具體實(shí)施例說明本發(fā)明的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明 書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0060] 請(qǐng)參閱圖1至圖17。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用 以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本發(fā)明可 實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào) 整，在不影響本發(fā)明所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本發(fā)明所揭示的技 術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說明書中所引用的如"上"、"下"、"左"、"右"、"中間"及 "一"等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的 改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本發(fā)明可實(shí)施的范疇。
[0061 ]參見圖1至圖3所示，圖1是本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的立體圖。圖2是本發(fā)明硅棒 流水作業(yè)系統(tǒng)的送料設(shè)備和截?cái)嘣O(shè)備的立體圖。圖3是本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的截?cái)嘣O(shè) 備釋去保護(hù)罩的立體圖。本發(fā)明的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)，包括：
[0062]送料設(shè)備1，用于將待切割的硅棒90輸送至待上料區(qū)域2。
[0063] 截?cái)嘣O(shè)備3,銜接送料設(shè)備1，用于對(duì)由送料設(shè)備1自待上料區(qū)域2輸送過來的待切 割的硅棒90進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè)以切割為多段硅棒截段910。如圖2與圖3所示，截?cái)嘣O(shè)備3的外部 設(shè)置有保護(hù)罩4,起到保護(hù)截?cái)嘣O(shè)備3以及待切割的硅棒90在截?cái)噙^程不受外界干擾的作 用，保護(hù)罩4上設(shè)有多個(gè)監(jiān)控窗口 5，可供工作人員對(duì)硅棒截?cái)噙^程進(jìn)行監(jiān)控。
[0064] 硅棒傳送設(shè)備6,銜接截?cái)嘣O(shè)備3,用于傳送硅棒截段910。優(yōu)選地，硅棒傳送設(shè)備6 即為傳送帶設(shè)備。
[0065] 娃棒組合加工機(jī)7，設(shè)于娃棒傳送設(shè)備6旁側(cè)，用于對(duì)從娃棒傳送設(shè)備6上獲取的娃 棒截段910執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。優(yōu)選地，硅棒傳送設(shè)備6上的硅 棒截段910均通過機(jī)械手傳輸?shù)焦璋艚M合加工機(jī)7,以執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及 拋光作業(yè)。
[0066] 優(yōu)選地，還包括邊料輸送設(shè)備8,用于將多余或是切割損壞的邊料進(jìn)行輸送，以進(jìn) 行二次利用。
[0067] 還包括工作轉(zhuǎn)移設(shè)備9,設(shè)于截?cái)嘣O(shè)備3和硅棒傳送設(shè)備6之間，用于將硅棒截段 910轉(zhuǎn)移至硅棒傳送設(shè)備6。優(yōu)選地，該工件轉(zhuǎn)移設(shè)備9為機(jī)械手，能將截段設(shè)備3輸出的橫向 放置的硅棒截段910抓起并以豎直放置的方式置放到硅棒傳送設(shè)備6上。
[0068] 其中，再次參見圖2與圖3所示，其中，送料設(shè)備1包括：
[0069] 上料機(jī)構(gòu)，位于待上料區(qū)域2，用于將待切割的硅棒90自待上料區(qū)域2輸送至截?cái)?設(shè)備3。
[0070] 送料機(jī)構(gòu)13,鄰設(shè)于所述上料機(jī)構(gòu)，用于將待切割的硅棒90輸送至待上料區(qū)域2的 所述上料機(jī)構(gòu)上。
[0071 ]具體地，參見圖4所示，圖4是本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的送料設(shè)備的側(cè)視圖。所述 上料機(jī)構(gòu)包括:座體11、承載臺(tái)12、以及娃棒輸送單元14，娃棒輸送單元14設(shè)于承載臺(tái)12上， 具有供承托待切割的硅棒90的滾輪組件（或輸送帶）以及用于控制所述滾輪組件(或輸送 帶）的電機(jī)組件。優(yōu)選地，承載臺(tái)12上還設(shè)有硅棒提升機(jī)構(gòu)15,可以將待切割的硅棒90進(jìn)行 提升后運(yùn)輸至待上料區(qū)域2。
[0072 ] 進(jìn)一步地，參見圖3所示，截?cái)嘣O(shè)備3，包括：
[0073]機(jī)座 10。
[0074] 硅棒輸送臺(tái)20,設(shè)于機(jī)座10,用于承載待切割的硅棒90并驅(qū)動(dòng)硅棒90沿著硅棒90 的軸向進(jìn)行輸送。
[0075]軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，設(shè)于硅棒輸送臺(tái)20上，用于將待切割的硅棒90的軸心調(diào)成水平狀 ??τ 〇
[0076] 多個(gè)線切割單元320,設(shè)于機(jī)座10上的一個(gè)機(jī)架310上且通過一升降機(jī)構(gòu)40可升降 地設(shè)于硅棒輸送臺(tái)20的上方，用于將待切割的硅棒90切割為多段硅棒截段910。多個(gè)線切割 單元320在升降機(jī)構(gòu)40的控制下同步下降至娃棒輸送臺(tái)20并同時(shí)對(duì)娃棒90進(jìn)行切割以將娃 棒90切割為多段硅棒截段910(如圖5所示，圖5是本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)將硅棒切割為多 段硅棒截段后的示意圖。將硅棒90切割為四個(gè)硅棒截段，可分別標(biāo)識(shí)為910a、910b、910c、 910d )，切割后的多段硅棒截段910再通過硅棒輸送臺(tái)20進(jìn)行依序卸料。
[0077] 更進(jìn)一步地，參見圖6所示，圖6是本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的側(cè) 視圖。所述軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括：
[0078]兩個(gè)調(diào)整墊塊，分別設(shè)于硅棒輸送臺(tái)20的首尾兩端，用于承托待切割的硅棒90。 [0079]水平檢測(cè)單元，用于檢測(cè)兩個(gè)所述調(diào)整墊塊所承托的待切割的硅棒90的水平度。 [0080]驅(qū)動(dòng)電機(jī)16,與兩個(gè)所述調(diào)整墊塊中的至少一者關(guān)聯(lián)，用于控制所關(guān)聯(lián)的至少一 個(gè)所述調(diào)整墊塊作升降運(yùn)動(dòng)以確保將待切割的硅棒90的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。
[0081] 參見圖7所示，圖7是本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的截?cái)嘣O(shè)備的側(cè)視圖。線切割單元 320包括設(shè)于機(jī)架310且傳動(dòng)連接于升降機(jī)構(gòu)40的支架以及對(duì)稱設(shè)置于所述支架底部的兩 個(gè)切割輪321，兩個(gè)切割輪321之間設(shè)有切割線322。進(jìn)一步地，所述支架包括設(shè)于機(jī)架310且 傳動(dòng)連接于升降機(jī)構(gòu)40的水平框架323以及對(duì)稱設(shè)置于水平框架323底部的兩個(gè)豎直框架 324,切割輪321設(shè)于豎直框架324上。優(yōu)選地，兩個(gè)豎直框架324分別設(shè)于水平框架323的底 部?jī)啥耍娇蚣?23與兩個(gè)豎直框架324拼接形成倒凹字型支架。優(yōu)選地，多個(gè)線切割單元 320沿著硅棒輸送臺(tái)20間隔排列，且位于最前列的第一個(gè)線切割單元320獨(dú)立于其他線切割 單元320，進(jìn)行娃棒頭部取樣片。
[0082] 結(jié)合圖8與圖9所示，圖8是圖7中壓制件的局部放大示意圖。圖9是圖8中壓制件壓 制待切割的硅棒后的示意圖。本發(fā)明的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)，還包括壓制件，所述壓制件包括 通過一壓緊氣缸60而可升降地設(shè)于線切割單元320的所述支架上的升降塊610以及對(duì)稱設(shè) 于升降塊610上的兩個(gè)用于壓制待切割的硅棒90的壓制板620。結(jié)合圖9所示，當(dāng)升降機(jī)構(gòu)40 驅(qū)動(dòng)線切割單元320下降時(shí)，兩個(gè)壓制板620共同壓制待切割的硅棒90,將待切割的硅棒90 壓持穩(wěn)定，以防止待切割的硅棒90在切割時(shí)發(fā)生移動(dòng)。
[0083] 再次參見圖3所示，優(yōu)選地，機(jī)座10上的機(jī)架310的相對(duì)兩側(cè)分別設(shè)有滑槽，多個(gè)線 切割單元320之間通過一連桿50而相互連接，連桿50上固設(shè)有滑設(shè)于機(jī)架310的所述滑槽的 滑塊。連桿50可以在升降機(jī)構(gòu)40驅(qū)動(dòng)下而帶動(dòng)多個(gè)線切割單元320進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng) 多個(gè)線切割單元320對(duì)待切割的硅棒90進(jìn)行切割。
[0084]再次參見圖5所示，優(yōu)選地，硅棒輸送臺(tái)20包括用于承載待切割的硅棒90并驅(qū)動(dòng)切 割后的多段硅棒截段910沿軸向進(jìn)行輸送的滾輪組件210以及用于控制滾輪組件210的電機(jī) 組件，滾輪組件210根據(jù)切割的硅棒截段而劃分為多個(gè)滾輪組件區(qū)段211(如圖5所示，劃分 為四個(gè)滾輪組件區(qū)段，可分別標(biāo)識(shí)為211 &、21113、211(：、211(1)，每一個(gè)滾輪組件區(qū)段211內(nèi)包 括有多個(gè)滾輪對(duì)，每一個(gè)滾輪對(duì)包括有通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸212相連的兩個(gè)滾輪213,所述電機(jī)組件 包括多個(gè)電機(jī)，每一個(gè)所述滾輪對(duì)對(duì)應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者同屬于一個(gè)滾輪組件區(qū)段211中 的多個(gè)滾輪對(duì)共用一個(gè)所述電機(jī)。當(dāng)待切割的硅棒90被切割為多段硅棒截段910后，每一個(gè) 滾輪組件區(qū)段211中的每一個(gè)所述滾輪對(duì)在對(duì)應(yīng)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)下進(jìn)行滾動(dòng)，以驅(qū)動(dòng)該滾輪組 件區(qū)段211中的硅棒截段910沿著硅棒截段910的軸向進(jìn)行輸送，以此實(shí)現(xiàn)多段硅棒截段910 進(jìn)行依序卸料。
[0085] 再次結(jié)合圖3所示，本發(fā)明的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)，還包括打印清洗機(jī)構(gòu)920,具有打 印頭和清洗頭，可以對(duì)截?cái)嗤瓿傻墓璋艚囟?10進(jìn)行打印和清洗作業(yè)。
[0086] 本發(fā)明的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)，待切割的硅棒可以通過送料設(shè)備輸送至待上料區(qū) 域，通過截?cái)嘣O(shè)備可以將待切割的硅棒切割成多段硅棒截段，切割速度快，還可以保證兩個(gè) 面的切割質(zhì)量，切割完不用剪線，切割完的硅棒截段由硅棒傳送設(shè)備分段移出到收料臺(tái)進(jìn) 行依序卸料，保證每個(gè)娃棒截段不碰撞，通過打印清洗機(jī)構(gòu)對(duì)截?cái)嗤瓿傻耐薨艚囟芜M(jìn)行打 印和清洗作業(yè)，通過工作轉(zhuǎn)移設(shè)備將截段設(shè)備輸出的橫向放置的硅棒截段抓起并以豎直放 置的方式置放到硅棒傳送設(shè)備上，通過硅棒組合加工機(jī)對(duì)從所述硅棒傳送設(shè)備上獲取的所 述硅棒截段執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。還可以通過邊料輸送設(shè)備將多 余或是切割損壞的邊料進(jìn)行輸送，以進(jìn)行二次利用。
[0087] 以下介紹應(yīng)用上述的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的硅棒流水作業(yè)方法，包括：
[0088] 步驟S1:由送料設(shè)備將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域并再由所述待上料區(qū)域輸 送至截?cái)嘣O(shè)備上；
[0089] 步驟S2:由截?cái)嘣O(shè)備對(duì)由所述送料設(shè)備自所述上料區(qū)域輸送過來的待切割的硅棒 進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè)以；
[0090] 步驟S3:由硅棒傳送設(shè)備將所述截?cái)嘣O(shè)備切割的多段所述硅棒截段予以傳送；
[0091 ]步驟S4:由硅棒組合加工機(jī)從所述硅棒傳送設(shè)備上獲取所述硅棒截段并對(duì)所述硅 棒截段執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。
[0092] 以下介紹上述的硅棒流水作業(yè)方法中，對(duì)于硅棒的截?cái)喾椒?，包括?br>[0093] 步驟S10:由送料設(shè)備將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域并再由待上料區(qū)域輸送 至截?cái)嘣O(shè)備的娃棒輸送臺(tái)上；
[0094] 步驟S20:通過所示軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)而將硅棒輸送臺(tái)承載的待切割的硅棒的軸心調(diào) 成水平狀態(tài)；
[0095] 步驟S30:同步下降多個(gè)線切割單元，同時(shí)對(duì)娃棒輸送臺(tái)上的待切割的娃棒進(jìn)行切 割以將硅棒切割為多段硅棒截段；
[0096]步驟S40:由硅棒輸送臺(tái)將切割后的多段所述硅棒截段依序運(yùn)離出去。
[0097]優(yōu)選地，在同步下降多個(gè)線切割單元之前，還包括:下降多個(gè)所述線切割單元中位 于最前列的第一個(gè)線切割單元，由第一個(gè)所述線切割單元切割所述硅棒的頭部以進(jìn)行硅棒 頭部取樣片。
[0098] 其中，在上述步驟S10中，將待切割的硅棒由待上料區(qū)域輸送至截?cái)嘣O(shè)備的硅棒輸 送臺(tái)上，包括：
[0099] 步驟S11:將待切割的硅棒放置于所述滾輪組件上；
[0100] 步驟S12:通過所述電機(jī)組件控制所述滾輪組件驅(qū)動(dòng)待切割的硅棒沿著所述硅棒 的軸向進(jìn)行輸送；
[0101] 步驟S13:待切割的硅棒輸送到位后，通過所述電機(jī)組件控制所述滾輪組件停止運(yùn) 動(dòng)。
[0102] 其中，在上述步驟S30中，同步下降多個(gè)線切割單元，同時(shí)對(duì)娃棒輸送臺(tái)上的待切 割的硅棒進(jìn)行切割以將硅棒切割為多段硅棒截段，包括：
[0103] 步驟S31:在所述硅棒輸送臺(tái)上通過所述升降機(jī)構(gòu)可升降地設(shè)置多個(gè)所述線切割 單元；
[0104] 步驟S32:將多個(gè)所述線切割單元通過所述連桿而相互連接，將所述連桿傳動(dòng)連接 于所述升降機(jī)構(gòu)上；
[0105] 步驟S33:通過所述升降機(jī)構(gòu)控制所述連桿向下移動(dòng)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)多個(gè)線切割單元同 步下降，同時(shí)對(duì)所述硅棒輸送臺(tái)上的所述硅棒進(jìn)行切割以將所述硅棒切割為多段硅棒截 段。
[0106] 其中，在上述步驟S40中，由硅棒輸送臺(tái)將切割后的多段所述硅棒截段依序運(yùn)離出 去，包括：
[0107] 步驟S41:將所述電機(jī)組件分為多個(gè)電機(jī)，將所述滾輪組件劃分為與切割后的多個(gè) 所述硅棒截段的數(shù)量對(duì)應(yīng)的多個(gè)滾輪組件區(qū)段，每一個(gè)所述滾輪對(duì)對(duì)應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者 同屬于一個(gè)滾輪組件區(qū)段中的多個(gè)滾輪對(duì)共用一個(gè)所述電機(jī)；
[0108] 步驟S42:啟動(dòng)最接近卸貨區(qū)的第一個(gè)硅棒截段所對(duì)應(yīng)的第一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi) 的全部電機(jī)，控制所述第一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部滾輪，驅(qū)動(dòng)所述第一個(gè)硅棒截段朝向 所述卸貨區(qū)輸送以進(jìn)行卸料；
[0109] 步驟S43:當(dāng)所述第一個(gè)硅棒截段輸送后與相鄰的第二個(gè)硅棒截段達(dá)到一安全距 離之后，啟動(dòng)對(duì)應(yīng)所述第二個(gè)硅棒截段的第二個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部電機(jī)，控制所述第 二個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部滾輪，驅(qū)動(dòng)所述第二個(gè)硅棒截段輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料；
[0110] 步驟S44:重復(fù)上述步驟，即，當(dāng)前一個(gè)硅棒截段輸送后與相鄰的后一個(gè)硅棒截段 達(dá)到一安全距離之后，啟動(dòng)對(duì)應(yīng)所述后一個(gè)硅棒截段的后一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部電 機(jī)，控制所述后一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部滾輪，驅(qū)動(dòng)所述后一個(gè)硅棒截段輸送至所述卸 貨區(qū)進(jìn)行卸料，直至將最后一個(gè)硅棒截段輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料。
[0111] 現(xiàn)以圖5中的各個(gè)硅棒截段910的卸料過程為例進(jìn)行說明，在圖5中，將硅棒90切割 為四個(gè)硅棒截段910(圖中所示為910a、910b、910c以及910d)。在卸料時(shí)，先啟動(dòng)最接近卸貨 區(qū)（假設(shè)卸貨區(qū)是位于左側(cè)）的第一個(gè)硅棒截段910a所對(duì)應(yīng)的第一個(gè)滾輪組件區(qū)段211a內(nèi) 的全部電機(jī)，控制第一個(gè)滾輪組件區(qū)段211a內(nèi)的全部滾輪，驅(qū)動(dòng)第一個(gè)硅棒截段910a朝向 所述卸貨區(qū)輸送以進(jìn)行卸料；當(dāng)?shù)谝粋€(gè)硅棒截段910a輸送后與相鄰的第二個(gè)硅棒截段910b 達(dá)到一安全距離之后，啟動(dòng)對(duì)應(yīng)第二個(gè)硅棒截段910b的第二個(gè)滾輪組件區(qū)段211b內(nèi)的全部 電機(jī)，控制第二個(gè)滾輪組件區(qū)段211b內(nèi)的全部滾輪，驅(qū)動(dòng)第二個(gè)硅棒截段910b輸送至所述 卸貨區(qū)進(jìn)行卸料；當(dāng)?shù)诙€(gè)硅棒截段910b輸送后與相鄰的第三個(gè)硅棒截段910c達(dá)到一安全 距離之后，啟動(dòng)對(duì)應(yīng)第三個(gè)硅棒截段910c的第三個(gè)滾輪組件區(qū)段211c內(nèi)的全部電機(jī)，控制 第三個(gè)滾輪組件區(qū)段211c內(nèi)的全部滾輪，驅(qū)動(dòng)第三個(gè)硅棒截段910c輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行 卸料；當(dāng)?shù)谌齻€(gè)硅棒截段910c輸送后與相鄰的第四個(gè)硅棒截段910d達(dá)到一安全距離之后， 啟動(dòng)對(duì)應(yīng)第四個(gè)硅棒截段910d的第四個(gè)滾輪組件區(qū)段211d內(nèi)的全部電機(jī)，控制第四個(gè)滾輪 組件區(qū)段211d內(nèi)的全部滾輪，驅(qū)動(dòng)第四個(gè)硅棒截段910d輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料，從而 完成所有四個(gè)硅棒截段910的依序卸料。
[0112] 本發(fā)明的硅棒流水作業(yè)方法，待切割的硅棒可以通過送料設(shè)備輸送至待上料區(qū) 域，通過截?cái)嘣O(shè)備可以將待切割的硅棒切割成多段硅棒截段，切割速度快，還可以保證兩個(gè) 面的切割質(zhì)量，切割完不用剪線，切割完的硅棒截段由硅棒傳送設(shè)備分段移出到收料臺(tái)進(jìn) 行依序卸料，保證每個(gè)硅棒截段不碰撞，通過硅棒組合加工機(jī)對(duì)從所述硅棒傳送設(shè)備上獲 取的所述硅棒截段執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。
[0113] 以下結(jié)合圖10至圖16,對(duì)上述本發(fā)明的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的硅棒組合加工機(jī)進(jìn)行 詳細(xì)介紹。
[0114] 請(qǐng)參閱圖10和圖11，顯示了本發(fā)明硅棒組合加工機(jī)在一個(gè)實(shí)施方式中的結(jié)構(gòu)示意 圖，其中，圖10為本發(fā)明硅棒組合加工機(jī)在第一視角下的立體結(jié)構(gòu)示意圖，圖11為本發(fā)明硅 棒組合加工機(jī)的俯視圖。
[0115] 如圖10和圖11所不，本發(fā)明娃棒組合加工機(jī)包括:座體1'、娃棒開方設(shè)備2'、娃棒 輸送設(shè)備3'、磨面設(shè)備4'、滾圓及拋光設(shè)備5'、以及硅棒移送設(shè)備。
[0116] 以下對(duì)本發(fā)明硅棒組合加工機(jī)進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0117] 座體Γ，作為本發(fā)明硅棒組合加工機(jī)的主體框架，各個(gè)作業(yè)設(shè)備(例如:硅棒開方 設(shè)備2'、硅棒輸送設(shè)備3'、磨面設(shè)備4'、滾圓及拋光設(shè)備5'）均設(shè)于座體Γ上。
[0118] 硅棒開方設(shè)備2 '，設(shè)于座體Γ上，用于對(duì)硅棒進(jìn)行開方作業(yè)形成截面呈具有倒角 的多邊形硅棒。由于一般晶棒為圓柱形，所述硅棒開方設(shè)備2'的作用是將其切割成截面為 多邊形（例如為類矩形）的形狀，而硅棒整體呈類長(zhǎng)方體形，包括四個(gè)豎切面和位于相鄰兩 個(gè)豎切面之間的倒角面，以供后續(xù)各作業(yè)設(shè)備將對(duì)豎切面和倒角面進(jìn)行研磨及拋光以保證 平整；當(dāng)然需說明的是，在其他實(shí)施例中，所述截面可不必為類矩形，可以是更多邊或更少 邊的形狀，并非以本實(shí)施例為限。
[0119] 請(qǐng)繼續(xù)參閱圖12，為本發(fā)明硅棒組合加工機(jī)中硅棒開方設(shè)備的立體結(jié)構(gòu)示意圖。 如圖12所示，硅棒開方設(shè)備2'更具體包括機(jī)座21'、承載臺(tái)22'、以及線切割設(shè)備24'。
[0120] 機(jī)座21'，作為本發(fā)明硅棒開方機(jī)的主體框架，承載臺(tái)22'和線切割設(shè)備24'等均設(shè) 于機(jī)座21'上。在本實(shí)施例中，機(jī)座21'的前部具有一開方切割區(qū)。
[0121 ]承載臺(tái)22 '，設(shè)于機(jī)座2Γ上且位于所述開方切割區(qū)的承載臺(tái)，用于承載硅棒20 '。 在本實(shí)施例中，所述承載臺(tái)22'為矩形的臺(tái)面結(jié)構(gòu)，其截面大致呈^型，枕于機(jī)座21'上。硅 棒20'是由多晶硅脆狀材料提拉而成單晶硅棒，一般為圓柱形結(jié)構(gòu)，在實(shí)際應(yīng)用中，呈圓柱 形結(jié)構(gòu)的硅棒20'是圓形截面接觸的方式豎直放置于承載臺(tái)22'上。
[0122] 另外，為使得豎直放置的硅棒20'能穩(wěn)固于承載臺(tái)22'，本發(fā)明硅棒開方機(jī)還包括 有定位結(jié)構(gòu)。
[0123] 所述定位結(jié)構(gòu)包括供定位硅棒20'底部的底部定位件，較佳地，在一實(shí)際應(yīng)用中， 所述底部定位件可以是固設(shè)于承載臺(tái)22'上的硅棒夾具，該硅棒夾具包括底托251'和設(shè)于 底托251'外周的夾爪253'（請(qǐng)參閱圖13和圖14)，底托251'與需限位的硅棒20'相適配，夾爪 253'為多個(gè)(在本實(shí)施例中，由于是需要將硅棒由初始的圓形截面切割為類矩形截面，如 此，要將硅棒沿著硅棒長(zhǎng)度方向切割出四個(gè)兩兩平行的切割平面，因此，各個(gè)夾爪253'的數(shù) 量?jī)?yōu)選為四個(gè)，分別自底托251'的底部向上延伸出）。在一種情形下，對(duì)于夾爪253'的設(shè)置， 夾爪253'可設(shè)計(jì)為具有彈性的彈性夾爪且夾爪253'是嚙合連接于底托251'的底部(夾爪 253 '的連接端設(shè)置有齒盤2531'，底托251'的底部設(shè)有與齒盤2531'嚙合的齒盤調(diào)節(jié)柱 2532 '，齒盤調(diào)節(jié)柱2532 '上設(shè)計(jì)有多節(jié)調(diào)節(jié)齒。通過齒盤調(diào)節(jié)柱2532 '的上下運(yùn)動(dòng)即可控制 夾爪253 '的開合）。如此，當(dāng)硅棒20 '置放于底托251'時(shí)，硅棒20 '抵靠于底托25Γ且確保硅 棒20 '與底托25Γ同心，這時(shí)，夾爪253 '可很好地夾固住硅棒20 '底部。再有，為了防止夾爪 253'剮蹭劃傷硅棒20'，夾爪253'與硅棒20'接觸的部位為圓滑設(shè)計(jì)或者在夾爪253'中要與 硅棒接觸的內(nèi)表面增設(shè)緩沖墊。當(dāng)然，硅棒夾具僅是一種較佳實(shí)施例，但底部定位件并不以 此為限，在其他實(shí)施例中，底部定位件也可以是氣動(dòng)吸盤或者涂覆有粘結(jié)劑的粘結(jié)連接面， 應(yīng)同樣具有將硅棒20 '穩(wěn)固于承載臺(tái)22 '上的效果。
[0124] 此外，所述定位結(jié)構(gòu)還可包括頂部壓緊件，用于壓緊硅棒20 '的頂部。在本實(shí)施中， 頂部壓緊件可包括:活動(dòng)設(shè)置的軸承261'以及設(shè)置于軸承261'底部的壓緊塊263'，軸承 261'受一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)(未在圖式中予以標(biāo)示)而上下活動(dòng)，壓緊塊263'與硅棒20'適配(壓 緊塊263'可以是與硅棒20'的截面尺寸相適配的圓餅形壓塊）。
[0125] 這樣，通過所述定位結(jié)構(gòu)中的底部定位件和頂部壓緊件的相互配合，可將待切割 的硅棒20'穩(wěn)固于承載臺(tái)22'上，確保了硅棒20'在開方切割作業(yè)中的穩(wěn)定性及切割面的平 整度。
[0126] 線切割設(shè)備24 '，設(shè)于機(jī)座21'上，包括:切割機(jī)架241'和線切割單元。
[0127] 切割機(jī)架241'設(shè)于機(jī)座21'的后部且鄰近于承載臺(tái)22 '。
[0128] 線切割單元，設(shè)于切割機(jī)架且可升降地設(shè)于承載臺(tái)22'上方。進(jìn)一步地，線切割單 元包括:支架243'和至少一對(duì)切割輪組。支架243'通過一升降機(jī)構(gòu)可升降地設(shè)于切割機(jī)架 241'，在一實(shí)施例中，所述升降機(jī)構(gòu)可設(shè)于切割機(jī)架241'和對(duì)應(yīng)的支架243'的左右兩側(cè)，所 述升降機(jī)構(gòu)可包括:上下設(shè)置的滑軌、設(shè)于所述切割機(jī)架24Γ上且順著所述滑軌的導(dǎo)向柱、 以及設(shè)于支架243'上導(dǎo)向板，所述導(dǎo)線板帶有供穿設(shè)于導(dǎo)向柱的導(dǎo)向孔。所述導(dǎo)向柱可以 起到導(dǎo)向的作用，保證了支架243'在進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)時(shí)的運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定度及豎直精度。
[0129] 所述至少一對(duì)切割輪組，對(duì)向設(shè)置于支架243'的相對(duì)兩側(cè)。每一個(gè)切割輪組包括 相對(duì)設(shè)置的至少兩個(gè)切割輪245'和纏繞于至少兩個(gè)切割輪245'上的切割線246'，一對(duì)切割 輪組中分屬不同所述切割輪組中的兩條切割線246'相互平行。每一個(gè)切割輪組中的兩個(gè)切 割輪245'之間的間距與硅棒20'的截面尺寸相對(duì)應(yīng)。具體來講，在一種情形下，線切割單元 包括第一對(duì)切割輪組，所述第一對(duì)切割輪組包括第一切割輪組和第二切割輪組，分列于支 架243 '的左右兩側(cè)，第一切割輪組包括前后設(shè)置的兩個(gè)切割輪245 '，兩個(gè)切割輪245 '之間 纏繞有第一切割線246'，第二切割輪組也包括前后設(shè)置的兩個(gè)切割輪245'，兩個(gè)切割輪 245 '之間纏繞有第二切割線246 '，第一切割線246 '與第二切割線246 '相互平行;在另一種 情形下，線切割單元包括第二對(duì)切割輪組，所述第二對(duì)切割輪組包括第三切割輪組和第四 切割輪組，分列于支架243 '的前后兩側(cè)，第三切割輪組包括左右設(shè)置的兩個(gè)切割輪245 '，兩 個(gè)切割輪245'之間纏繞有第三切割線246'，第四切割輪組也包括左右設(shè)置的兩個(gè)切割輪 245'，兩個(gè)切割輪245'之間纏繞有第四切割線246'，第三切割線246'與第四切割線246'相 互平行。在又一種情形下，線切割單元包括兩對(duì)切割輪組，即，第一對(duì)切割輪組和第二對(duì)切 割輪組。所述第一對(duì)切割輪組包括第一切割輪組和第二切割輪組，分列于支架243'的左右 兩側(cè)，第一切割輪組包括前后設(shè)置的兩個(gè)切割輪245'，兩個(gè)切割輪245'之間纏繞有第一切 割線246'，第二切割輪組也包括前后設(shè)置的兩個(gè)切割輪245'，兩個(gè)切割輪245'之間纏繞有 第二切割線246 '，第一切割線246 '與第二切割線246 '相互平行;所述第二對(duì)切割輪組包括 第三切割輪組和第四切割輪組，分列于支架243 '的前后兩側(cè)，第三切割輪組包括左右設(shè)置 的兩個(gè)切割輪245'，兩個(gè)切割輪245'之間纏繞有第三切割線246'，第四切割輪組也包括左 右設(shè)置的兩個(gè)切割輪245'，兩個(gè)切割輪245'之間纏繞有第四切割線246'，第三切割線246' 與第四切割線246 '相互平行。這樣，第一切割輪組中的第一切割線246 '、第二切割線246 '和 第二切割輪組中的第三切割線、第四切割線中的任意相鄰兩條切割線相互垂直，四條切割 線所圈定就是矩形形狀。
[0130]需特別說明的是，在前述說明中，線切割單元中既可以包括一對(duì)切割輪組(左右設(shè) 置的第一對(duì)切割輪組或者前后設(shè)置的第二對(duì)切割輪組)也可以包括兩對(duì)切割輪組（左右設(shè) 置的第一對(duì)切割輪組和前后設(shè)置的第二對(duì)切割輪組），不過，針對(duì)一對(duì)切割輪組和兩對(duì)切割 輪組而言，承載臺(tái)22'以及定位結(jié)構(gòu)的設(shè)置略有不同。特別地，針對(duì)一對(duì)切割輪組，要將硅棒 20 '進(jìn)行開方就需要兩次切割步驟，且在第一次切割之后，再次調(diào)整硅棒20 '的切割位置。在 一較佳實(shí)施例中，可將承載臺(tái)及定位結(jié)構(gòu)設(shè)置為旋轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)，例如:所述承載臺(tái)為可旋轉(zhuǎn)的 轉(zhuǎn)盤，所述定位結(jié)構(gòu)中的底部定位件固定于所述承載臺(tái)并跟隨所述承載臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述定位 結(jié)構(gòu)中的頂部壓緊件中的軸承可受控而旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)壓緊塊旋轉(zhuǎn)。這樣，通過將承載臺(tái)及 定位結(jié)構(gòu)設(shè)置為旋轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)，就可順利地將硅棒20 '進(jìn)行旋轉(zhuǎn)(例如旋轉(zhuǎn)90° )，從而使得那 一對(duì)切割輪組中的兩條切割線能對(duì)旋轉(zhuǎn)后的硅棒20'進(jìn)行第二次切割，完成硅棒20'的開 方。
[0131]線切割單元還包括:繞線輪2471'，設(shè)于切割機(jī)架241'上，用于纏繞切割線;張力輪 2472 '，設(shè)于切割機(jī)架24Γ上，用于進(jìn)行切割線的張力調(diào)整;導(dǎo)線輪2473 '，設(shè)于支架243 '上， 用于實(shí)現(xiàn)切割線的導(dǎo)向。
[0132] 工作轉(zhuǎn)移設(shè)備，用于完成硅棒20'的轉(zhuǎn)移工作。具體地，所述工作轉(zhuǎn)移設(shè)備用于將 硅棒20 '轉(zhuǎn)移至承載臺(tái)22 '以及將硅棒20 '從承載臺(tái)22 '轉(zhuǎn)移出。在一實(shí)施例中，所述工作轉(zhuǎn) 移設(shè)備為一體式機(jī)械手。例如，所述一體式機(jī)械手包括:設(shè)于機(jī)座21'或機(jī)座21'殼體上的安 裝柱(所述安裝柱在必要時(shí)可設(shè)計(jì)為上下活動(dòng)式），轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)于所述安裝柱上的轉(zhuǎn)動(dòng)臂，轉(zhuǎn)動(dòng) 連接于所述轉(zhuǎn)動(dòng)臂的延伸臂，所述延伸臂的末端設(shè)有機(jī)械抓具。所述機(jī)械抓具，用于抓住待 轉(zhuǎn)移的硅棒。在一實(shí)施例中，機(jī)械抓具為機(jī)械抓手，具有用于夾住硅棒的夾手，為防止機(jī)械 抓手剮蹭劃傷硅棒，機(jī)械抓手與硅棒接觸的部位為圓滑設(shè)計(jì)或者在機(jī)械抓手中要與硅棒接 觸的內(nèi)表面增設(shè)緩沖墊。在一實(shí)施例中，機(jī)械抓具的端部具有真空吸附腔，據(jù)此吸附住待轉(zhuǎn) 移的硅棒（例如，機(jī)械抓具中的真空吸附腔正對(duì)硅棒20'的其中一個(gè)豎切面并吸附住硅棒 20'以硅棒豎直放置的方式進(jìn)行轉(zhuǎn)移）。
[0133] 為提升切割的精準(zhǔn)度，本發(fā)明硅棒開方機(jī)還包括硅棒檢位設(shè)備，用于對(duì)承載臺(tái)上 承載的所述硅棒進(jìn)行檢位。優(yōu)選地，所述硅棒檢位設(shè)備包括CCD攝像單元及圖像識(shí)別單元。 所述CCD攝像單元，用于采集硅棒20 '的圖像;所述圖像識(shí)別單元，與所述CCD攝像單元連接， 用于識(shí)別所述CCD攝像單元采集到的硅棒圖像中的棱線（硅棒20'上設(shè)有棱線）。線切割單 元，則可沿所述硅棒圖像中的棱線而切割硅棒20 '并將硅棒20 '切割為截面為具有倒角的類 矩形。具體地，所述圖像識(shí)別單元可通過例如微處理器系統(tǒng)(如單片機(jī)系統(tǒng)等)實(shí)現(xiàn)。
[0134] 還有，本發(fā)明硅棒開方機(jī)還可包括硅棒清洗設(shè)備（未在圖式中予以顯示），用于對(duì) 經(jīng)線切割設(shè)備24'切割開方后的硅棒20'進(jìn)行清洗。一般，硅棒20'經(jīng)線切割設(shè)備24'切割開 方后，在切割過程中產(chǎn)生的切割碎肩會(huì)附著于硅棒20'表面，因此，需要對(duì)硅棒20'進(jìn)行必要 的清洗。一般地，所述硅棒清洗設(shè)備包括有清洗刷頭及與所述清洗刷頭配合的清洗液噴灑 裝置，在清洗時(shí)，由所述清洗液噴灑裝置對(duì)著硅棒20 '噴灑清洗液(例如為純水），同時(shí)，由電 機(jī)驅(qū)動(dòng)清洗刷頭(優(yōu)選為旋轉(zhuǎn)式刷頭)作用于硅棒20'，完成清洗作業(yè)。
[0135] 以下針對(duì)該硅棒開方機(jī)在實(shí)際應(yīng)用中的操作流程進(jìn)行詳細(xì)描述。在以下描述中， 假定線切割單元是包括有兩對(duì)切割輪組。
[0136] 首先，利用工作轉(zhuǎn)移設(shè)備將硅棒20'轉(zhuǎn)移至承載臺(tái)12'上(將硅棒豎直放置于承載 臺(tái)12'上），并由底部定位件和頂部壓緊件相互配合而將待切割的硅棒20'穩(wěn)固于承載臺(tái)12' 上(將硅棒20'插入硅棒夾具，硅棒20'抵靠于底托151'且與底托151'同心，利用夾爪153'牢 牢地夾固住硅棒20 '底部。），利用硅棒檢位設(shè)備對(duì)承載臺(tái)上承載的所述硅棒進(jìn)行檢位以確 保硅棒20 '處于預(yù)定的放置位置；
[0137] 然后，下降線切割單元中的支架143'，使得支架143'上的兩對(duì)切割輪組所形成的 切割網(wǎng)（四條兩兩平行交叉的切割線146'）以沿著硅棒20'的長(zhǎng)度方向（由于硅棒20'是豎直 放置于承載臺(tái)12 '的，故，硅棒20 '的長(zhǎng)度方向即為豎直方向）對(duì)硅棒20 '進(jìn)行切割，形成四個(gè) 切割面（四個(gè)切割面中相對(duì)的兩個(gè)切割面相互平行，相鄰的兩個(gè)切割面相互垂直），直至支 架143'上的兩對(duì)切割輪組所形成的切割網(wǎng)切割刀硅棒20 '的底部，使得圓柱形的硅棒20 '經(jīng) 開方后形成截面為類矩形的類長(zhǎng)方體硅棒(包括四個(gè)豎切面和位于相鄰兩個(gè)豎切面之間的 倒角面）。
[0138] 接著，上升線切割單元中的支架143'，使得支架143'及其上的兩對(duì)切割輪組回退 歸位。
[0139] 在完成切割開方后，利用硅棒清洗設(shè)備對(duì)硅棒20'進(jìn)行清洗作業(yè)，即，由硅棒清洗 設(shè)備中的清洗液噴灑裝置對(duì)著硅棒20'噴灑清洗液(例如為純水），同時(shí)，由電機(jī)驅(qū)動(dòng)清洗刷 頭作用于硅棒20'進(jìn)行洗刷。
[0140]最后，利用工作轉(zhuǎn)移設(shè)備將完成開方作業(yè)的硅棒20'由承載臺(tái)12'轉(zhuǎn)移出去。
[0141] 該硅棒開方機(jī)，包括機(jī)座、位于開方切割區(qū)的承載臺(tái)、以及線切割設(shè)備，利用承載 臺(tái)承載豎直放置的硅棒，通過線切割設(shè)備直線向下來切割下方的硅棒，能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化切割 而完成硅錠開方作業(yè)，節(jié)省人工成本且提高生產(chǎn)效率。
[0142] 另外，該硅棒開方機(jī)，單次僅切割一個(gè)單晶棒，相比于現(xiàn)有技術(shù)，可以大幅度縮短 切割導(dǎo)輪的間距，不用剪線，崩邊率大大降低，極大地提高切割效率。
[0143] 娃棒轉(zhuǎn)移設(shè)備6 '設(shè)于所述機(jī)座上，用于完成娃棒20 '的轉(zhuǎn)移工作。具體地，娃棒轉(zhuǎn) 移設(shè)備6 '用于將經(jīng)娃棒開方設(shè)備2 '開方后的娃棒20 '從娃棒開方設(shè)備2 '移送至娃棒輸送設(shè) 備3'以及將經(jīng)磨面設(shè)備4'及滾圓及拋光設(shè)備5'進(jìn)行加工后的硅棒20'移出硅棒輸送設(shè)備 3'。在一實(shí)施例中，所述娃棒轉(zhuǎn)移設(shè)備6'為一體式機(jī)械手。例如，所述一體式機(jī)械手包括:設(shè) 于機(jī)座21'或機(jī)座21'殼體上的安裝柱(所述安裝柱在必要時(shí)可設(shè)計(jì)為上下活動(dòng)式），轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè) 于所述安裝柱上的轉(zhuǎn)動(dòng)臂，轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述轉(zhuǎn)動(dòng)臂的延伸臂，所述延伸臂的末端設(shè)有機(jī)械 抓具。所述機(jī)械抓具，用于抓住待轉(zhuǎn)移的硅棒。在一實(shí)施例中，機(jī)械抓具為機(jī)械抓手，具有用 于夾住硅棒的夾手，為防止機(jī)械抓手剮蹭劃傷硅棒，機(jī)械抓手與硅棒接觸的部位為圓滑設(shè) 計(jì)或者在機(jī)械抓手中要與硅棒接觸的內(nèi)表面增設(shè)緩沖墊。在一實(shí)施例中，機(jī)械抓具的端部 具有真空吸附腔，據(jù)此吸附住待轉(zhuǎn)移的硅棒(例如，機(jī)械抓具中的真空吸附腔正對(duì)硅棒20' 的其中一個(gè)豎切面并吸附住硅棒20'以硅棒豎直放置的方式進(jìn)行轉(zhuǎn)移）。
[0144] 硅棒輸送設(shè)備3'，設(shè)于機(jī)座21'上，用于輸送經(jīng)開方后的硅棒。
[0145] 在本實(shí)施例中，硅棒輸送設(shè)備3'更具體包括:圓盤形或圓環(huán)形輸送本體(優(yōu)選為圓 環(huán)形）、驅(qū)動(dòng)電機(jī)及連接所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)聯(lián)動(dòng)于所述圓盤形或圓環(huán) 形輸送本體，如此，所述聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)聯(lián)動(dòng)在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)所述圓盤形或圓環(huán)形輸 送本體旋轉(zhuǎn)以輸送硅棒20'。關(guān)于硅棒輸送設(shè)備3'的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，在一實(shí)例中，硅棒輸送設(shè)備 3'在其圓盤形或圓環(huán)形輸送本體的圓弧形的周側(cè)表面（若為圓環(huán)形則可為內(nèi)表面或外表 面，若為圓盤形則為外表面)設(shè)有齒帶，所述齒帶與聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)連接;所述聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括嚙合 所述齒帶的轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪，且還可包括與該轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪嚙合的齒輪組。所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)可受例如電 機(jī)驅(qū)動(dòng)從而帶動(dòng)圓盤形或圓環(huán)形輸送本體轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，硅棒輸送設(shè)備3'還可包括鎖止機(jī)構(gòu)， 用于鎖定圓盤形或圓環(huán)形輸送本體。在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述鎖止機(jī)構(gòu)可包括鎖止插銷和 與鎖止插銷連接的鎖止氣缸，其中，鎖止插銷的數(shù)量可以是多個(gè)，均勻分布于鎖定圓盤形或 圓環(huán)形輸送本體邊緣(例如，鎖止插銷的數(shù)量為三個(gè)，以120°角的方式均勻分布），在實(shí)際應(yīng) 用中，當(dāng)需要鎖定圓盤形或圓環(huán)形輸送本體時(shí)(例如：當(dāng)需要通過硅棒轉(zhuǎn)移設(shè)備6'將經(jīng)硅棒 開方設(shè)備2 '開方后的硅棒20 '從硅棒開方設(shè)備2 '移送至硅棒輸送設(shè)備3 '的時(shí)候，或者是當(dāng) 需要通過硅棒轉(zhuǎn)移設(shè)備6 '將經(jīng)磨面設(shè)備4 '及滾圓及拋光設(shè)備5 '進(jìn)行加工后的硅棒20 '移出 硅棒輸送設(shè)備3 '的時(shí)候，或者是各個(gè)硅棒20 '在相對(duì)應(yīng)的腔室內(nèi)被各個(gè)作業(yè)設(shè)備執(zhí)行作業(yè) 的過程中），所述鎖止機(jī)構(gòu)中的鎖止氣缸就驅(qū)動(dòng)鎖止插銷伸出并作用于圓盤形或圓環(huán)形輸 送本體，鎖定圓盤形或圓環(huán)形輸送本體，確保硅棒20 '轉(zhuǎn)移的穩(wěn)定進(jìn)行;待硅棒20 '轉(zhuǎn)移完成 后，再由鎖止氣缸驅(qū)動(dòng)鎖止插銷收縮，解鎖圓盤形或圓環(huán)形輸送本體，從而使得圓盤形或圓 環(huán)形輸送本體能旋轉(zhuǎn)。
[0146] 所述硅棒20 '在硅棒輸送設(shè)備3 '上是至少可自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)地設(shè)置的（當(dāng)然還可以升降、 平移等，此處不作展開），在本實(shí)施例中，硅棒輸送設(shè)備3'中的圓盤形或圓環(huán)形輸送本體在 對(duì)應(yīng)硅棒20'的承載表面（向上表面)上設(shè)有供承載各個(gè)硅棒20'且與各個(gè)區(qū)位（如第一區(qū) 位，第二區(qū)位等)一一對(duì)應(yīng)的多個(gè)承載臺(tái)22'，即若如圖10和圖11所示，本發(fā)明硅棒組合加工 機(jī)設(shè)計(jì)了有三個(gè)區(qū)位，則圓盤形或圓環(huán)形輸送本體可有三個(gè)承載臺(tái)22'，從而同時(shí)可進(jìn)行三 個(gè)硅棒20'中的兩個(gè)進(jìn)行加工作業(yè)，剩下的一個(gè)則為待加工，當(dāng)然，承載臺(tái)22'的數(shù)量可根據(jù) 實(shí)際需求加以變化并非以此為限。另外，承載臺(tái)22'還可設(shè)計(jì)為能自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)(例如固定軸為 受驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的轉(zhuǎn)軸等來實(shí)現(xiàn)），承載臺(tái)22'與硅棒20'的接觸面具有阻尼，以提供帶動(dòng)硅 棒20'自轉(zhuǎn)的摩擦力。
[0147] 再有，為使得承載的硅棒20'更好地穩(wěn)固于承載臺(tái)22'，承載臺(tái)22'上還可設(shè)計(jì)有相 應(yīng)的硅棒限位結(jié)構(gòu)，所述限位結(jié)構(gòu)至少包括有類似于前述硅棒開方設(shè)備2'的定位結(jié)構(gòu)中的 頂部壓緊件，在本實(shí)施中，頂部壓緊件可包括:活動(dòng)設(shè)置的軸承以及設(shè)置于軸承底部的壓緊 塊，軸承受一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)(未在圖式中予以標(biāo)示)而上下活動(dòng)，壓緊塊與硅棒適配(壓緊塊 可以是與硅棒的截面尺寸相適配的圓餅形壓塊）。更進(jìn)一步地，所述頂部件中的壓緊塊活動(dòng) 連接于所述軸承并可相對(duì)所述軸承而能自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，因此，所述壓緊塊聯(lián)動(dòng)于一旋轉(zhuǎn)電機(jī)。在 實(shí)際應(yīng)用中，所述壓緊塊可與其下的承載臺(tái)22 '相互配合，具體地，所述壓緊塊受控于所述 旋轉(zhuǎn)電機(jī)而轉(zhuǎn)動(dòng)并順勢(shì)帶動(dòng)硅棒20 '及承載臺(tái)22 '也一并旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)硅棒20 '的調(diào)整。另外， 必要時(shí)，所述限位結(jié)構(gòu)還可包括類似于前述硅棒開方設(shè)備2'的定位結(jié)構(gòu)中的頂部定位件， 具體可參見前述硅棒開方設(shè)備2'的定位結(jié)構(gòu)中的頂部定位件，在此不再贅述。
[0148] 硅棒輸送設(shè)備3'的輸送行程上設(shè)有第一區(qū)位和第二區(qū)位，即可例如沿圓周方向設(shè) 置。具體地，磨面設(shè)備4'設(shè)置于所述第一區(qū)位中，滾圓及拋光設(shè)備5'設(shè)于所述第二區(qū)位中， 硅棒輸送設(shè)備3'的輸送行程上還可設(shè)有中轉(zhuǎn)區(qū)位，對(duì)應(yīng)所述中轉(zhuǎn)區(qū)位設(shè)有測(cè)量及清洗設(shè)備 7'。所述中轉(zhuǎn)區(qū)位，用于作為所述輸送行程的起點(diǎn)而接納硅棒移送設(shè)備所移送來的硅棒20' 并通過測(cè)量及清洗設(shè)備7 '進(jìn)行清洗和測(cè)量，以供硅棒輸送設(shè)備3 '將進(jìn)行清洗和測(cè)量后的硅 棒20'向第一區(qū)位的磨面設(shè)備4'輸送;所述中轉(zhuǎn)區(qū)位，還用于作為所述輸送行程的終點(diǎn)而接 納經(jīng)滾圓及拋光設(shè)備5 '進(jìn)行滾圓及拋光作業(yè)的硅棒20 '并通過測(cè)量及清洗設(shè)備7 '進(jìn)行清洗 和測(cè)量，以供硅棒移送設(shè)備將進(jìn)行清洗和測(cè)量后的硅棒20'移出硅棒輸送設(shè)備3'。
[0149] 測(cè)量及清洗設(shè)備7'，設(shè)于機(jī)座21'上且位于硅棒輸送設(shè)備3'的輸送行程的中轉(zhuǎn)區(qū) 位上，用于對(duì)娃棒20 '進(jìn)行測(cè)量及清洗。因此，測(cè)量及清洗設(shè)備7 '中包括有娃棒定位測(cè)量裝 置及硅棒清洗裝置。
[0150] 現(xiàn)對(duì)娃棒定位測(cè)量裝置及娃棒清洗裝置分別進(jìn)行詳述。
[0151] 現(xiàn)有的硅棒在進(jìn)行加工作業(yè)(例如切割、表面研磨、拋光等)之前和/或之后，均需 要定位娃棒及測(cè)量娃棒的尺寸，因此，娃棒定位測(cè)量裝置可進(jìn)一步分為娃棒定位機(jī)構(gòu)和娃 棒測(cè)量機(jī)構(gòu)。
[0152] 所述娃棒定位機(jī)構(gòu)包括一次定位機(jī)構(gòu)和二次定位機(jī)構(gòu)，所述一次定位機(jī)構(gòu)包括一 次定位件和與所述一次定位件連接的一次定位氣缸，所述二次定位機(jī)構(gòu)包括二次定位件和 與所述二次定位件連接的二次定位氣缸。在一優(yōu)選實(shí)施例中：一次定位件為一定位限框，一 次定位件位于硅棒輸送設(shè)備中的圓盤形或圓環(huán)形輸送本體上方且對(duì)應(yīng)于放置于圓盤形或 圓環(huán)形輸送本體上的娃棒20'的底部;二次定位件為由一對(duì)氣腳構(gòu)成的氣夾，二次定位件可 進(jìn)行上下滑移。在實(shí)際應(yīng)用中，首先，一次定位機(jī)構(gòu)中的一次定位氣缸驅(qū)動(dòng)一次定位件(例 如定位線框)伸出，然后，娃棒轉(zhuǎn)移設(shè)備將經(jīng)娃棒開方設(shè)備2 '開方后的娃棒20 '從娃棒開方 設(shè)備2 '移送至硅棒輸送設(shè)備3 '中的圓盤形或圓環(huán)形輸送本體上(例如，硅棒開方設(shè)備2 '中 的機(jī)械抓具的真空吸附腔正對(duì)硅棒20'的其中一個(gè)豎切面并吸附住硅棒20'以硅棒豎直放 置的方式進(jìn)行轉(zhuǎn)移），由于一次定位機(jī)構(gòu)的定位作用，可確保硅棒開方設(shè)備2'能可靠地放置 于圓盤形或圓環(huán)形輸送本體的承載臺(tái)22 '上;接著，一次定位機(jī)構(gòu)中的一次定位氣缸驅(qū)動(dòng)一 次定位件收縮，二次定位機(jī)構(gòu)中的二次定位件(例如一對(duì)氣腳)沿著支撐立柱下移直至一預(yù) 定位置(該預(yù)定位置的高度設(shè)定為相當(dāng)于硅棒20'的中部區(qū)域），由二次定位機(jī)構(gòu)中二次定 位氣缸驅(qū)動(dòng)二次定位件作用于硅棒20'以使得硅棒20'在二次定位件的作用下進(jìn)行微調(diào)（例 如驅(qū)動(dòng)一對(duì)氣腳收縮并帶動(dòng)硅棒20 '微調(diào)位置），從而確保硅棒20 '調(diào)整到位;最后，二次定 位機(jī)構(gòu)中二次定位氣缸驅(qū)動(dòng)二次定位件退位(例如驅(qū)動(dòng)一對(duì)氣腳張開），二次定位機(jī)構(gòu)中的 二次定位件(例如一對(duì)氣腳)沿著支撐立柱上移至初始位置。
[0153] 娃棒測(cè)量機(jī)構(gòu)，用于測(cè)量娃棒20 '的尺寸以判定是否符合要求。具體地，娃棒測(cè)量 機(jī)構(gòu)，包括:驅(qū)動(dòng)裝置;沿一水平方向設(shè)置的轉(zhuǎn)軸，連接所述驅(qū)動(dòng)裝置并受其驅(qū)動(dòng)而能進(jìn)行 正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng);一對(duì)測(cè)量臂，固定連接所述轉(zhuǎn)軸，每一個(gè)測(cè)量臂的端部彎折形成有一測(cè)量 段，一對(duì)所述測(cè)量臂中的一對(duì)測(cè)量段之間形成有供設(shè)置工件的容納空間；所述一對(duì)測(cè)量臂 的一對(duì)測(cè)量段至少能隨所述轉(zhuǎn)軸的正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)而運(yùn)動(dòng)至抵觸于硅棒20 '而令所述轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn) 矩變化。進(jìn)一步地，所述驅(qū)動(dòng)裝置中至少設(shè)有伺服電機(jī)、轉(zhuǎn)矩傳感器、運(yùn)動(dòng)量檢測(cè)器及控制 器。所述伺服電機(jī)，連接并驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)軸。所述轉(zhuǎn)矩傳感器，用于采集所述轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)矩值。所 述運(yùn)動(dòng)量檢測(cè)器，用于采集所述轉(zhuǎn)軸從初始位置轉(zhuǎn)動(dòng)至目標(biāo)位置的運(yùn)動(dòng)量值。所述控制器， 連接所述轉(zhuǎn)矩傳感器和運(yùn)動(dòng)量檢測(cè)器，用于接收所述轉(zhuǎn)矩傳感器采集的轉(zhuǎn)矩值并將所述轉(zhuǎn) 矩值和預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)矩閾值比較:在比較結(jié)果為所采集轉(zhuǎn)矩值大于所述預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)矩閾值時(shí)，控制所 述運(yùn)動(dòng)量檢測(cè)器采集所述轉(zhuǎn)軸從初始位置到達(dá)當(dāng)前位置的運(yùn)動(dòng)量值。所述控制器用于將所 述運(yùn)動(dòng)量值與預(yù)設(shè)運(yùn)動(dòng)量下限閾值和預(yù)設(shè)運(yùn)動(dòng)量上限閾值比較以分別輸出對(duì)應(yīng)信息，包 括:若所述運(yùn)動(dòng)量值在預(yù)設(shè)運(yùn)動(dòng)量下限閾值和預(yù)設(shè)運(yùn)動(dòng)量上限閾值之間，則輸出表示工件 尺寸正常的信息；若所述運(yùn)動(dòng)量值小于所述預(yù)設(shè)運(yùn)動(dòng)量下限閾值，則輸出表示所述工件尺 寸過大的第一錯(cuò)誤信息；若所述運(yùn)動(dòng)量值大于所述預(yù)設(shè)運(yùn)動(dòng)量上限閾值，則輸出表示所述 工件尺寸過小的第二錯(cuò)誤信息。
[0154] 針對(duì)硅棒清洗裝置而言，一般，硅棒20 '經(jīng)磨面設(shè)備4 '的磨面作業(yè)和滾圓及拋光設(shè) 備5'的滾圓及拋光作業(yè)后，作業(yè)過程中產(chǎn)生的切割碎肩會(huì)附著于硅棒20'表面，因此，需要 對(duì)硅棒20 '進(jìn)行必要的清洗。一般地，所述硅棒清洗設(shè)備包括有清洗刷頭及與所述清洗刷頭 配合的清洗液噴灑裝置，在清洗時(shí)，由所述清洗液噴灑裝置對(duì)著硅棒20'噴灑清洗液(例如 為純水），同時(shí)，由電機(jī)驅(qū)動(dòng)清洗刷頭(優(yōu)選為旋轉(zhuǎn)式刷頭)作用于硅棒20'，完成清洗作業(yè)。
[0155] 磨面設(shè)備4'，設(shè)于機(jī)座21'上且位于硅棒輸送設(shè)備3'的輸送行程的第一區(qū)位上，用 于對(duì)硅棒20 '進(jìn)行磨面（即，表面研磨）作業(yè)。在本實(shí)施例中，磨面設(shè)備4 '，具有第一容納空 間，用于接納通過硅棒輸送設(shè)備3'中的圓盤形或圓環(huán)形輸送本體輸送來的硅棒20'。磨面設(shè) 備4'，還包括至少一砂輪組件（如圖15)，于所述第一容納空間中至少可縱向上下運(yùn)動(dòng)地設(shè) 置，且可旋轉(zhuǎn)以研磨所述第一容納空間中硅棒20'的各個(gè)豎切面。在本實(shí)施例中，硅棒20'為 類矩形，具有四個(gè)豎切面，因此，所述砂輪組件優(yōu)選為相對(duì)設(shè)置的至少一對(duì)，兩者間留有供 容納所述硅棒的第一容納空間，當(dāng)硅棒20'被送至所述第一容納空間中的一對(duì)砂輪組件之 間后，砂輪組件即可接觸硅棒20 '中相對(duì)的一對(duì)豎切面，然后上、下活動(dòng)進(jìn)行研磨。
[0156]如圖15所示，磨面設(shè)備4'中的每個(gè)砂輪組件設(shè)計(jì)為雙頭結(jié)構(gòu)，具體地，每個(gè)砂輪組 件包括:轉(zhuǎn)動(dòng)式底盤41'（優(yōu)選為圓形底盤）；設(shè)置于轉(zhuǎn)動(dòng)式底盤41'上的雙頭主軸42'，雙頭 主軸42 '的第一端設(shè)有粗磨砂輪43'，雙頭主軸42 '的第二端設(shè)有精磨砂輪44'；驅(qū)動(dòng)電機(jī)，用 于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)式底盤41'進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)以使雙頭主軸42 '中的粗磨砂輪43 '和精磨砂輪44 '調(diào)換位 置。在實(shí)際應(yīng)用中，在研磨時(shí)，先使得一對(duì)砂輪組件中雙頭主軸42 '的粗磨砂輪43 '正對(duì)于硅 棒20 '的豎切面并進(jìn)入作業(yè)區(qū)；使用粗磨砂輪43 '旋轉(zhuǎn)來進(jìn)行粗磨(粗磨作業(yè)可例如為:先提 供一進(jìn)給量，驅(qū)動(dòng)一對(duì)砂輪組件從上往下運(yùn)動(dòng)來研磨娃棒20' ； 一對(duì)砂輪組件研磨到娃棒 20'底部之后并穿過硅棒20'之后停留于下限位，再增加一進(jìn)給量，驅(qū)動(dòng)一對(duì)砂輪組件從下 往上運(yùn)動(dòng)來研磨硅棒20 '； 一對(duì)砂輪組件研磨到硅棒20 '頂部之后并穿過硅棒20 '之后停留 于上限位，繼續(xù)增加一進(jìn)給量，驅(qū)動(dòng)一對(duì)砂輪組件從上往下運(yùn)動(dòng)來研磨硅棒20 ' ；……；如 此，研磨，增加進(jìn)給量，反向研磨，增加進(jìn)給量，反復(fù)數(shù)次之后，即可將硅棒20 '的豎切面研磨 至預(yù)設(shè)的尺寸）；粗磨完成后，將砂輪組件停留于上限位使得粗磨砂輪43'回退以退出作業(yè) 區(qū)，由驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)式底盤41'進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)（例如為轉(zhuǎn)動(dòng)180°角），使得雙頭主軸42'中的 粗磨砂輪43 '和精磨砂輪44 '調(diào)換位置，這樣，雙頭主軸42 '中的精磨砂輪44 '正對(duì)于硅棒20 ' 的豎切面;驅(qū)動(dòng)雙頭主軸42'，精磨砂輪44'進(jìn)入作業(yè)區(qū)；使用精磨砂輪44'旋轉(zhuǎn)來進(jìn)行精磨 (精磨作業(yè)可例如為:先提供一進(jìn)給量，驅(qū)動(dòng)一對(duì)砂輪組件從上往下運(yùn)動(dòng)來研磨硅棒20 '； 一 對(duì)砂輪組件研磨到硅棒20'底部之后并穿過硅棒20'之后停留于下限位，再增加一進(jìn)給量， 驅(qū)動(dòng)一對(duì)砂輪組件從下往上運(yùn)動(dòng)來研磨硅棒20 一對(duì)砂輪組件研磨到硅棒20 '頂部之后并 穿過硅棒20'之后停留于上限位，繼續(xù)增加一進(jìn)給量，驅(qū)動(dòng)一對(duì)砂輪組件從上往下運(yùn)動(dòng)來研 磨娃棒20 ' ； ；如此，研磨，增加進(jìn)給量，反向研磨，增加進(jìn)給量，反復(fù)數(shù)次之后，即可將娃 棒20'的豎切面研磨至預(yù)設(shè)的尺寸）；精磨完成后，將砂輪組件停留于上限位使得精磨砂輪 44'回退以退出作業(yè)區(qū)。更進(jìn)一步地，砂輪組件的可研磨面的寬度至少要大于硅棒20'，如 此，砂輪組件僅需相對(duì)硅棒20'的豎切面上、下活動(dòng)（縱向）而無需左、右活動(dòng)即可完成磨面 作業(yè)。
[0157] 上述僅為一較佳實(shí)施例，但砂輪組件的結(jié)構(gòu)并不以此為限，在其他實(shí)施例中，砂輪 組件的結(jié)構(gòu)仍可有其他變化。例如，在另一變化例中，砂輪組件設(shè)計(jì)為能旋轉(zhuǎn)的單軸結(jié)構(gòu)， 所述單軸與所述第一容納空間的豎側(cè)壁設(shè)有的縱向滑動(dòng)導(dǎo)引結(jié)構(gòu)(例如滑軌、滑道等，未圖 示）間能相對(duì)滑動(dòng)地結(jié)合以令各個(gè)砂輪組件能縱向運(yùn)動(dòng)。具體地，每個(gè)砂輪組件包括：內(nèi)外 套接在所述單軸的粗磨砂輪及精磨砂輪(并不限定哪一者在外或在內(nèi)），所述粗磨砂輪和精 磨砂輪中的至少一者是可以相對(duì)另一者沿軸向運(yùn)動(dòng)的。舉例來說，在研磨時(shí)，先使用粗磨砂 輪旋轉(zhuǎn)來進(jìn)行粗磨(粗磨作業(yè)可例如為:先提供一進(jìn)給量，驅(qū)動(dòng)一對(duì)砂輪組件從上往下運(yùn)動(dòng) 來研磨硅棒20 '； 一對(duì)砂輪組件研磨到硅棒20 '底部之后并穿過硅棒20 '之后停留于下限位， 再增加一進(jìn)給量，驅(qū)動(dòng)一對(duì)砂輪組件從下往上運(yùn)動(dòng)來研磨硅棒20 一對(duì)砂輪組件研磨到硅 棒20 '頂部之后并穿過硅棒20 '之后停留于上限位，繼續(xù)增加一進(jìn)給量，驅(qū)動(dòng)一對(duì)砂輪組件 從上往下運(yùn)動(dòng)來研磨娃棒20 ' ； ；如此，研磨，增加進(jìn)給量，反向研磨，增加進(jìn)給量，反復(fù) 數(shù)次之后，即可將硅棒20'的豎切面研磨至預(yù)設(shè)的尺寸），粗磨完成后，再令粗磨砂輪后縮而 露出精磨砂輪，令精磨砂輪旋轉(zhuǎn)進(jìn)行精磨(精磨作業(yè)基本類似于粗磨作業(yè)，即，精磨作業(yè)可 例如為:先提供一進(jìn)給量，驅(qū)動(dòng)一對(duì)砂輪組件從上往下運(yùn)動(dòng)來研磨硅棒20 '； 一對(duì)砂輪組件 研磨到硅棒20'底部之后并穿過硅棒20'之后停留于下限位，再增加一進(jìn)給量，驅(qū)動(dòng)一對(duì)砂 輪組件從下往上運(yùn)動(dòng)來研磨硅棒20 '； 一對(duì)砂輪組件研磨到硅棒20 '頂部之后并穿過硅棒 20'之后停留于上限位，繼續(xù)增加一進(jìn)給量，驅(qū)動(dòng)一對(duì)砂輪組件從上往下運(yùn)動(dòng)來研磨硅棒 20 ' ； ；如此，研磨，增加進(jìn)給量，反向研磨，增加進(jìn)給量，反復(fù)數(shù)次之后，即可將娃棒20 ' 的豎切面研磨至預(yù)設(shè)的尺寸）。更進(jìn)一步地，砂輪組件的可研磨面的寬度至少要大于硅棒 20'，如此，砂輪組件僅需相對(duì)硅棒20'的豎切面上、下活動(dòng)（縱向）而無需左、右活動(dòng)即可完 成磨面作業(yè)。
[0158] 為了可以通過較少的砂輪組件即可完成較多硅棒20'豎切面的研磨，可配合所述 硅棒20 '的自轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)，仍以硅棒20 '為類矩形為例，硅棒20 '具有四個(gè)豎切面，在研磨完相對(duì) 兩個(gè)豎切面之后，令所述硅棒20 '自轉(zhuǎn)90°角（如前所述，頂部壓緊件中的壓緊塊受控于旋轉(zhuǎn) 電機(jī)而轉(zhuǎn)動(dòng)并順勢(shì)帶動(dòng)硅棒20'及承載臺(tái)22'也一并旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)硅棒20'的調(diào)整)而使得另外 兩個(gè)豎切面對(duì)應(yīng)于所述一對(duì)砂輪組件，然后再進(jìn)行研磨，以完成整個(gè)表面研磨過程。當(dāng)然， 在其他實(shí)施例中，所述砂輪組件亦可僅需一個(gè)，而類矩形的硅棒20'執(zhí)行自轉(zhuǎn)90°角三次即 可研磨各個(gè)豎切面，也是可以實(shí)施但效率相對(duì)低一些。需說明的是，此處加以舉例只為了說 明砂輪組件的數(shù)量可以根據(jù)實(shí)際需求設(shè)定，而非以本實(shí)施例為限。
[0159]滾圓及拋光設(shè)備5'，設(shè)于機(jī)座21'上且位于硅棒輸送設(shè)備3'的輸送行程的第二區(qū) 位上，用于對(duì)經(jīng)磨面設(shè)備4'磨面后的硅棒20'進(jìn)行滾圓及拋光作業(yè)。
[0160] 滾圓及拋光設(shè)備5 '，包括:第二容納空間，用于接納通過硅棒輸送設(shè)備3 '中的圓盤 形或圓環(huán)形輸送本體輸送來的硅棒20'。硅棒滾圓設(shè)備，還包括滾圓及拋光組件，設(shè)置于所 述第二容納空間中。在本實(shí)施例中，硅棒20'為類矩形，具有四個(gè)豎切面及四個(gè)倒角面，因 此，所述滾圓及拋光組件優(yōu)選為相對(duì)設(shè)置的至少一對(duì)，兩者間留有供容納所述硅棒的第二 容納空間，當(dāng)硅棒20'被送至所述第二容納空間中的一對(duì)滾圓及拋光組件之間后，滾圓及拋 光組件上、下活動(dòng)以對(duì)硅棒20 '的各個(gè)倒角面進(jìn)行研磨滾圓以及對(duì)硅棒20 '整個(gè)表面進(jìn)行拋 光。
[0161] 如圖16所示，滾圓及拋光設(shè)備5'中的每個(gè)滾圓及拋光組件設(shè)計(jì)為雙頭結(jié)構(gòu)，具體 地，每個(gè)滾圓及拋光組件包括:轉(zhuǎn)動(dòng)式底盤51'（優(yōu)選為圓形底盤）；設(shè)置于轉(zhuǎn)動(dòng)式底盤51'上 的雙頭主軸52'，雙頭主軸52'的第一端設(shè)有磨削輪，雙頭主軸52'的第二端設(shè)有拋光機(jī)54' ； 驅(qū)動(dòng)電機(jī)，用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)式底盤51'進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)以使雙頭主軸52'中的磨削輪和拋光機(jī)54'調(diào) 換位置。
[0162] 在實(shí)際應(yīng)用中，在滾圓時(shí)，先使得一對(duì)滾圓及拋光組件中雙頭主軸52'的磨削輪 53'正對(duì)于硅棒20'的豎切面并進(jìn)入作業(yè)區(qū)；所述至少一對(duì)磨削輪53'下降至磨削位置(此 時(shí)，至少一對(duì)磨削輪53'之間的間距是要小于硅棒20'當(dāng)前的對(duì)角間距，這兩個(gè)間距的差距 即為這至少一對(duì)磨削輪53'的進(jìn)給量），硅棒20'在所述第二容納空間中被驅(qū)動(dòng)自轉(zhuǎn)，至少一 對(duì)磨削輪53'將所述旋轉(zhuǎn)中的硅棒20'截面的一對(duì)倒角對(duì)應(yīng)的一對(duì)倒角面磨削成圓弧狀(硅 棒20 '在被磨削輪53 '接觸磨削時(shí)轉(zhuǎn)速較慢，硅棒20 '在其倒角面被磨削輪53 '磨削后通過磨 削輪53'后轉(zhuǎn)速較快），并且，硅棒20'繼續(xù)旋轉(zhuǎn)并使得其另一對(duì)倒角對(duì)應(yīng)的另一對(duì)倒角面接 觸磨削輪53'并被磨削輪53'磨削成圓弧狀;至少一對(duì)磨削輪53'繼續(xù)向下，，如同前述步驟， 對(duì)硅棒20'的下一段的各個(gè)倒角面進(jìn)行磨削滾圓，直至磨削滾圓到硅棒20'的底部，完成硅 棒20'的單次倒角面磨削滾圓；繼續(xù)增加一進(jìn)給量，驅(qū)動(dòng)一對(duì)滾圓及拋光組件從上往下運(yùn) 動(dòng)，由磨削輪53'磨削硅棒20'的各個(gè)倒角面；……；如此，磨削，增加進(jìn)給量，反向磨削，增加 進(jìn)給量，反復(fù)數(shù)次之后，即可將硅棒20'的倒角面研磨至預(yù)設(shè)的尺寸并整體磨圓（倒角面與 豎切面圓滑過渡）。磨削完成后，將滾圓及拋光組件停留于上限位使得磨削輪53'回退以退 出作業(yè)區(qū)，由驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)式底盤51'進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)（例如為轉(zhuǎn)動(dòng)180°角），使得雙頭主軸 52 '中的磨削輪和拋光機(jī)54 '調(diào)換位置，這樣，雙頭主軸52 '中的拋光機(jī)54 '正對(duì)于硅棒20 '的 豎切面;驅(qū)動(dòng)雙頭主軸52'，拋光機(jī)54'進(jìn)入作業(yè)區(qū)；使用拋光機(jī)54'（包括能自轉(zhuǎn)的圓盤及設(shè) 于所述圓盤上的毛刷)來進(jìn)行拋光，拋光時(shí)，硅棒20'受控旋轉(zhuǎn)(如前所述，頂部壓緊件中的 壓緊塊受控于旋轉(zhuǎn)電機(jī)而轉(zhuǎn)動(dòng)并順勢(shì)帶動(dòng)硅棒20 '及承載臺(tái)22 '也一并旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)硅棒20 ' 的調(diào)整），拋光機(jī)54'中的圓盤轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)毛刷持續(xù)地接觸并拋光硅棒20'的整體表面(包括被 磨面后的各個(gè)豎切面和被滾圓后的各個(gè)倒角面）。
[0163] 以下針對(duì)本發(fā)明硅棒組合加工機(jī)在實(shí)際應(yīng)用中的操作流程進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0164] 首先，將圓柱形娃棒轉(zhuǎn)移至娃棒開方設(shè)備內(nèi)，由娃棒開方設(shè)備對(duì)娃棒進(jìn)行開方作 業(yè)形成截面呈具有倒角的類矩形硅棒，所述類矩形硅棒包括有四個(gè)豎切面和位于相鄰兩個(gè) 豎切面之間的倒角面；
[0165] 利用硅棒移送設(shè)備將類矩形硅棒轉(zhuǎn)移至硅棒輸送設(shè)備的中轉(zhuǎn)區(qū)位的承載臺(tái)上，鎖 定硅棒輸送設(shè)備，由測(cè)量及清洗設(shè)備對(duì)類矩形硅棒進(jìn)行測(cè)量；
[0166] 完成測(cè)量，解鎖硅棒輸送設(shè)備，利用硅棒輸送設(shè)備將通過測(cè)量的類矩形硅棒由中 轉(zhuǎn)區(qū)位轉(zhuǎn)移至第一區(qū)位上的磨面設(shè)備，鎖定硅棒輸送設(shè)備，由磨面設(shè)備對(duì)類矩形硅棒進(jìn)行 磨面作業(yè);此時(shí)，在中轉(zhuǎn)區(qū)位上，測(cè)量及清洗設(shè)備正在對(duì)下一個(gè)類矩形硅棒進(jìn)行測(cè)量；
[0167] 完成磨面作業(yè)，解鎖硅棒輸送設(shè)備，利用硅棒輸送設(shè)備將經(jīng)過磨面的類矩形硅棒 由第一區(qū)位轉(zhuǎn)移至第二區(qū)位上的滾圓及拋光設(shè)備，鎖定硅棒輸送設(shè)備，由磨面設(shè)備對(duì)類矩 形硅棒進(jìn)行滾圓及拋光作業(yè);此時(shí)，在第一區(qū)位上，由磨面設(shè)備正在對(duì)下一個(gè)類矩形硅棒進(jìn) 行磨面作業(yè);在中轉(zhuǎn)區(qū)位上，測(cè)量及清洗設(shè)備正在對(duì)下下一個(gè)類矩形硅棒進(jìn)行測(cè)量；
[0168] 完成滾圓及拋光作業(yè)，解鎖硅棒輸送設(shè)備，利用硅棒移送設(shè)備將類矩形硅棒移出 娃棒輸送設(shè)備。
[0169] 本發(fā)明的硅棒組合加工機(jī)，集合了多個(gè)作業(yè)設(shè)備，包括有相互鄰近的硅棒開方設(shè) 備、磨面設(shè)備、滾圓及拋光設(shè)備，并可利用硅棒移送設(shè)備將待加工的硅棒在各個(gè)作業(yè)設(shè)備之 間進(jìn)行轉(zhuǎn)移，能自動(dòng)化實(shí)現(xiàn)硅棒加工的的多個(gè)工序作業(yè)，節(jié)省人工成本且提高生產(chǎn)效率。
[0170] 特別地，在之前的實(shí)施例中介紹的硅棒截?cái)鄼C(jī)，是可以同時(shí)將待切割的硅棒切割 成多段硅棒截?cái)唷Ｒ韵陆榻B另一種單段式硅棒截?cái)鄼C(jī)，可以將待切割的硅棒按任意切割長(zhǎng) 度進(jìn)行切割，該單段式硅棒截?cái)鄼C(jī)同樣也可以應(yīng)用在本發(fā)明的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)中。
[0171] 具體地，參見圖17所示，圖17是本發(fā)明硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)另一種較佳實(shí)施例的單 段式硅棒截?cái)鄼C(jī)的立體圖。該單段式硅棒截?cái)鄼C(jī)，包括：
[0172] 機(jī)座 10。
[0173] 硅棒輸送臺(tái)20,設(shè)于機(jī)座10的切割區(qū)，用于承載待切割的硅棒90并驅(qū)動(dòng)硅棒90沿 著硅棒90的軸向進(jìn)行輸送。
[0174]單段切割設(shè)備30包括:移動(dòng)切割架301，沿著硅棒輸送臺(tái)20滑設(shè)于機(jī)座10;單段線 切割單元302,設(shè)于移動(dòng)切割架301且通過一升降機(jī)構(gòu)40可升降地設(shè)于硅棒輸送臺(tái)20的上 方，用于將待切割的硅棒90切割進(jìn)行單段切割，獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段930。優(yōu) 選地，單段切割設(shè)備30上還配置有測(cè)距單元，用于測(cè)量移動(dòng)切割架301沿著硅棒輸送臺(tái)20的 滑移距離。
[0175] 該單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，先根據(jù)規(guī)定的硅棒尺寸調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置，再通過單段 線切割單元將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割，使待切割的硅棒符合規(guī)定的切割長(zhǎng)度，獲得符 合工件規(guī)格的單段硅棒截段。并且，調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置，可以滿足任意尺寸的硅棒的切 割工作。
[0176] 本發(fā)明有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
[0177] 上述實(shí)施例僅例示性說明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。任何熟 悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因 此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本發(fā)明所揭示的精神與技術(shù)思想下所完 成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)，其特征在于，包括： 送料設(shè)備，用于將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域；以及 截?cái)嘣O(shè)備，銜接所述送料設(shè)備，用于對(duì)由所述送料設(shè)備自所述上料區(qū)域輸送過來的待 切割的硅棒進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè)以切割為多段硅棒截段； 硅棒傳送設(shè)備，銜接所述截?cái)嘣O(shè)備，用于傳送所述硅棒截段；以及 硅棒組合加工機(jī)，設(shè)于所述硅棒傳送設(shè)備旁側(cè)，用于對(duì)從所述硅棒傳送設(shè)備上獲取的 所述硅棒截段執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)，其特征在于，所述送料設(shè)備包括： 上料機(jī)構(gòu)，位于所述上料區(qū)，用于將待切割的所述硅棒自所述上料區(qū)域輸送至所述截 斷設(shè)備；以及 送料機(jī)構(gòu)，鄰設(shè)于所述上料機(jī)構(gòu)，用于將待切割的所述硅棒輸送至待上料區(qū)域的所述 上料機(jī)構(gòu)上。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)，其特征在于，所述截?cái)嘣O(shè)備包括： 機(jī)座； 硅棒輸送臺(tái)，設(shè)于所述機(jī)座，用于承載待切割的所述硅棒并驅(qū)動(dòng)所述硅棒沿著所述硅 棒的軸向進(jìn)行輸送;以及 線切割單元，設(shè)于所述機(jī)座上且可升降地設(shè)于所述硅棒輸送臺(tái)的上方，用于將所述硅 棒切割為多段硅棒截段。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)，其特征在于，所述截?cái)嘣O(shè)備還包括:軸心 調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述硅棒輸送臺(tái)上，用于將所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)，其特征在于，所述硅棒輸送臺(tái)包括用于承 載待切割的硅棒并驅(qū)動(dòng)切割后的多個(gè)所述硅棒截段沿軸向進(jìn)行輸送的滾輪組件以及用于 控制所述滾輪組件的電機(jī)組件，所述滾輪組件根據(jù)切割的硅棒截段而劃分為多個(gè)滾輪組件 區(qū)段，每一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)包括有多個(gè)滾輪對(duì)，每一個(gè)滾輪對(duì)包括有通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連的 兩個(gè)滾輪，所述電機(jī)組件包括多個(gè)電機(jī)，每一個(gè)所述滾輪對(duì)對(duì)應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者同屬于 一個(gè)滾輪組件區(qū)段中的多個(gè)滾輪對(duì)共用一個(gè)所述電機(jī)。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)，其特征在于，還包括:工作轉(zhuǎn)移設(shè)備，設(shè)于 所述截?cái)嘣O(shè)備和所述硅棒傳送設(shè)備之間，用于將所述硅棒截段轉(zhuǎn)移至所述硅棒傳送設(shè)備。7. -種硅棒組合加工機(jī)，其特征在于，包括： 機(jī)座； 硅棒開方設(shè)備，設(shè)于所述機(jī)座上，用于對(duì)硅棒進(jìn)行開方作業(yè)形成截面呈具有倒角的多 邊形棒體； 硅棒輸送設(shè)備，設(shè)于所述機(jī)座上，呈圓盤形或圓環(huán)形且能旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)以輸送經(jīng)開方后的 娃棒； 磨面設(shè)備，設(shè)于所述機(jī)座上且位于所述硅棒輸送設(shè)備的輸送行程的第一區(qū)位上，用于 對(duì)所述硅棒進(jìn)行磨面作業(yè)； 滾圓及拋光設(shè)備，設(shè)于所述機(jī)座上且位于所述硅棒輸送設(shè)備的輸送行程的第二區(qū)位 上，用于對(duì)經(jīng)所述磨面設(shè)備磨面后的所述硅棒進(jìn)行滾圓及拋光作業(yè)；以及 硅棒移送設(shè)備，設(shè)于所述機(jī)座上，用于將經(jīng)所述硅棒開方設(shè)備開方后的所述硅棒從所 述硅棒開方設(shè)備移送至所述硅棒輸送設(shè)備以及將經(jīng)所述磨面設(shè)備及所述滾圓及拋光設(shè)備 進(jìn)行加工后的所述硅棒移出所述硅棒輸送設(shè)備。8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅棒組合加工機(jī)，其特征在于，所述硅棒開方設(shè)備包括： 座體，具有一開方切割區(qū)； 位于所述開方切割區(qū)的承載臺(tái)，用于承載豎直放置的硅棒； 設(shè)于所述座體上切割機(jī)構(gòu)，包括:切割機(jī)架，設(shè)于所述機(jī)座上且鄰近于所述承載臺(tái)；切 割單元，設(shè)于所述切割機(jī)架且可升降地設(shè)于所述承載臺(tái)上方，所述切割單元中包括有形成 切割線網(wǎng)的切割線。9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅棒組合加工機(jī)，其特征在于，所述硅棒輸送設(shè)備的輸送行程 上還設(shè)置有中轉(zhuǎn)區(qū)位，所述中轉(zhuǎn)區(qū)位上設(shè)有測(cè)量及清洗設(shè)備； 所述中轉(zhuǎn)區(qū)位，用于作為所述輸送行程的起點(diǎn)而接納硅棒移送設(shè)備所移送來的所述硅 棒并通過所述測(cè)量及清洗設(shè)備進(jìn)行清洗和測(cè)量，以供所述硅棒輸送設(shè)備將進(jìn)行清洗和測(cè)量 后的所述硅棒向第一區(qū)位的所述磨面設(shè)備輸送； 所述中轉(zhuǎn)區(qū)位，還用于作為所述輸送行程的終點(diǎn)而接納經(jīng)所述滾圓及拋光設(shè)備進(jìn)行滾 圓及拋光作業(yè)的所述硅棒并通過所述測(cè)量及清洗設(shè)備進(jìn)行清洗和測(cè)量，以供所述硅棒移送 設(shè)備將進(jìn)行清洗和測(cè)量后的所述硅棒移出所述硅棒輸送設(shè)備。10. -種應(yīng)用如權(quán)利要求1所述的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的硅棒流水作業(yè)方法，其特征在 于，包括： 由送料設(shè)備將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域并再由所述待上料區(qū)域輸送至截?cái)嘣O(shè) 備上； 由截?cái)嘣O(shè)備對(duì)由所述送料設(shè)備自所述上料區(qū)域輸送過來的待切割的硅棒進(jìn)行截?cái)嘧?業(yè)以； 由硅棒傳送設(shè)備將所述截?cái)嘣O(shè)備切割的多段所述硅棒截段予以傳送； 由硅棒組合加工機(jī)從所述硅棒傳送設(shè)備上獲取所述硅棒截段并對(duì)所述硅棒截段執(zhí)行 切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。
【文檔編號(hào)】B28D5/00GK105946126SQ201610345641
【公開日】2016年9月21日
【申請(qǐng)日】2016年5月23日
【發(fā)明人】盧建偉
【申請(qǐng)人】上海日進(jìn)機(jī)床有限公司