基板裂斷裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是關(guān)于一種基板裂斷裝置，更詳細(xì)而言，關(guān)于一種裂斷裝置，在基板將沖擊荷重有效地進(jìn)行傳達(dá)而能夠使基板的分?jǐn)嗳菀走M(jìn)行。
【背景技術(shù)】
[0002]—般而言，做為脆性材料基板的分?jǐn)嘌b置，使用刻劃裝置及裂斷裝置?？虅澭b置是在基板形成刻劃線，裂斷裝置是將預(yù)先形成有刻劃線的基板進(jìn)行裂斷時使用。
[0003]裂斷是包含下述概念，在結(jié)晶性材料的基板，在容易分?jǐn)嗟慕Y(jié)晶的特定方位將基板分開劈開的情形；與結(jié)晶的方位無關(guān)將基板分開的情形；或是將對多結(jié)晶或非晶質(zhì)材料等特定方位的不具有結(jié)晶性的基板分開的情形。
[0004]在基板沿著分?jǐn)囝A(yù)定線形成刻劃線后，雖為了將基板完全分?jǐn)喽鴮嵤┝褦嗖襟E，但在基板的裂斷方法中，有著使用輥或推動器等而在基板施加沖擊的接觸式方法，以及使用激光或者蒸氣等而使基板加熱后使其冷卻的非接觸方法。
[0005]然而，現(xiàn)有習(xí)知的接觸式裂斷步驟中，存在下述問題點:在硬度較高的頂板及輸送帶上配置基板，且在基板施加物理性沖擊的方式，沖擊荷重的傳達(dá)效率較低，且因此在裂斷步驟時產(chǎn)生無法將基板完全分?jǐn)嗟那樾危蚴┝^多而產(chǎn)生表面不良。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明是為解決前述問題點，其目的在于提供一種基板裂斷裝置，在基板將沖擊荷重有效地進(jìn)行傳達(dá)而能夠使基板的分?jǐn)嗳菀走M(jìn)行。
[0007]為達(dá)成前述目的，本發(fā)明的基板裂斷裝置，包含:空氣軸承臺，自形成于與基板對向之面的多個噴射孔將空氣噴射而對前述基板進(jìn)行支持；裂斷單元，將前述基板夾持，設(shè)于與前述空氣軸承臺的相反側(cè)，將力施加于前述基板而將前述基板裂斷。
[0008]本發(fā)明的基板裂斷裝置，進(jìn)一步包含移送單元，設(shè)于前述空氣軸承臺的左右兩側(cè)，且一面支持前述基板一面進(jìn)行移送。
[0009]前述空氣軸承臺，亦可是以朝向于上下方向互相相異的方向的一對相鄰的方式配置。
[0010]前述裂斷單元亦可是銷裂斷單元。
[0011]與前述一對空氣軸承臺之中向上方的一個對向的前述裂斷單元亦可是銷裂斷單元；與前述一對空氣軸承臺之中向下方的另一個對向的前述裂斷單元亦可是棍裂斷單元。
[0012]借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明至少具有下列優(yōu)點:根據(jù)本發(fā)明的基板裂斷裝置，借由在基板將沖擊荷重有效地進(jìn)行傳達(dá)而能夠容易地將基板進(jìn)行分?jǐn)唷Ｓ?，借由在移送單元之間配置空氣軸承臺及裂斷單元，能夠使整體配置縮小。
【附圖說明】
[0013]圖1是表示本發(fā)明的一個實施例的基板裂斷裝置的構(gòu)成之圖。
[0014]圖2是表示圖1的主要部分的放大圖。
[0015]【主要元件符號說明】
[0016]1:基板裂斷裝置
[0017]10:基板
[0018]110:第1空氣臺
[0019]120:第2空氣臺
[0020]100:空氣軸承臺
[0021]200:裂斷單元
[0022]210:銷裂斷單元
[0023]220:輥裂斷單元
[0024]300:移送單元
【具體實施方式】
[0025]以下，對本發(fā)明的較佳實施例參照附加圖式進(jìn)行詳細(xì)說明。首先，在各圖的構(gòu)成要素附加的參照符號中，對于同一構(gòu)成要素，例如即使表視于其他圖上，亦盡可能地使其具有同一符號。又，以下雖對本發(fā)明的較佳實施例進(jìn)行說明，但本發(fā)明的技術(shù)思想不僅限定或限制于此，當(dāng)然能夠借由一般技術(shù)人員進(jìn)行變形、各種實施。
[0026]圖1是表示本發(fā)明的一個實施例的基板裂斷裝置的構(gòu)成之圖，且圖2是表示圖1的主要部分的放大圖。
[0027]圖1及圖2是為了使本發(fā)明有概念地明確理解，因此僅將主要特征部分明確地圖示，其結(jié)果，預(yù)想圖解的各種變形，不需以圖示的特定形狀線至本發(fā)明的范圍。
[0028]參照圖1及圖2，本發(fā)明的一個實施例的基板裂斷裝置1，包含空氣軸承臺100、裂斷單元200及移送單元300。
[0029]空氣軸承臺100，是自形成上面的多個噴射孔將空氣噴射而對基板10進(jìn)行支持。在本實施例，空氣軸承臺100是借由使用樹脂、陶瓷等多孔質(zhì)材料而使自噴射孔噴射的空氣分布均一化，且能夠防止氣流的變動。但，本發(fā)明的權(quán)利范圍不需僅限制于此，亦存在使用下述一般的方式，空氣軸承臺100是在金屬素材的上面板形成多個噴射孔而將空氣進(jìn)行噴射。
[0030]裂斷單元200，是設(shè)于與空氣軸承臺100對向的位置，且將力施加于位置于軸承臺之間的基板10而將基板10裂斷。裂斷單元200，包含:加壓部，直接接觸于基板10而施加力；驅(qū)動部，與加壓部連接而使加壓部向基板10以接近或相離的方式驅(qū)動。
[0031]裂斷單元200，是能夠例如由銷裂斷單元210與輥裂斷單元構(gòu)成。銷裂斷單元210，是將形成于基板10的刻劃線交叉的部分，由尖銳的銷形狀的加壓部施加沖擊而將基板10分?jǐn)?，且輥裂斷單?20，是由輥形狀的加壓部對基板10的板面進(jìn)行加壓而將基板10分?jǐn)唷?br>[0032]移送單元300，是設(shè)于空氣軸承臺100的左右兩側(cè)，且一面支持基板10 —面進(jìn)行移送。移送單元300，是由高度相同的一對輸送帶構(gòu)成，且將自輸送帶的一端側(cè)流入的基板10以形成有刻劃線的部分來至與裂斷單元200對面的位置的方式進(jìn)行移送。
[0033]另一方面，在本實施例，空氣軸承臺100，是以朝向于上下方向互相相異的方向的一對相鄰的方式配置。即，借由移送單元300被移送的基板10，位置于一對的輸送帶之間的部分之中的一部分是借由第1空氣臺110支持下面，且相鄰的另外的部分是借由第2空氣臺120支持上面。借此，基板10的上下面分別借由空氣軸承臺100支持，且裂斷步驟時能夠有效率地抑制基板10的變動。
[0034]在本實施例，一對空氣軸承臺100之中向上方的與第1空氣臺110對向的裂斷單元200是銷裂斷單元210，且與一對空氣軸承臺100之中向下方的與第2空氣臺120對向的裂斷單元200是輥裂斷單元220。借由如此構(gòu)成，裂斷單元200進(jìn)行的沖擊荷重能夠更加有效率地進(jìn)行傳達(dá)，且基板10的分?jǐn)嗄軌蛴行У剡M(jìn)行。但，本發(fā)明的權(quán)利范圍不須限制于此，分別使用的裂斷單元200的種類、配置、個數(shù)等，能夠因應(yīng)需要而變更使用。
[0035]若對具有如此構(gòu)成的基板裂斷裝置1的作用進(jìn)行說明，則如下所示。
[0036]首先，將刻劃步驟完成后的基板10借由移送單元300進(jìn)行移送而進(jìn)入基板刻劃裝置1內(nèi)。借由移送單元300將形成有刻劃線的部分置于與裂斷單元200對向的位置后，作動空氣軸承臺100而借由空氣噴射支持基板10。
[0037]以借由空氣軸承臺100將基板10支持的狀態(tài)，作動裂斷單元200而在基板10施加沖擊，借此基板10沿著刻劃線被分?jǐn)?。此時，裂斷單元200將基板10夾持而與空氣軸承臺100對向，且在基板10施加沖擊時，基板10借由空氣軸承臺100被支持，因此在基板10的沖擊荷重極有效地被傳達(dá)。
[0038]又，空氣軸承臺100及裂斷單元200借由在上下方向配置有一對，能夠使基板10的分?jǐn)噙M(jìn)一步有效地進(jìn)行。
[0039]如此，若根據(jù)本發(fā)明的基板裂斷裝置1，借由在基板10將沖擊荷重有效地傳達(dá)而能夠容易地將基板10進(jìn)行分?jǐn)?。借此，即使在基?0形成較淺的刻劃線的情形，基板10的分?jǐn)嘁酁榭赡埽医栌尚纬奢^淺的刻劃線而進(jìn)行基板10的分?jǐn)?，能夠使分?jǐn)嗝娴钠焚|(zhì)及剛性提升。又，借由在移送單元300之間配置空氣軸承臺100及裂斷單元200能夠使整體配置縮小。
[0040]以上說明，僅為將本發(fā)明的技術(shù)思想以示例性地說明，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的具有一般知識的技術(shù)人員，可在不脫離本發(fā)明本質(zhì)的特性的范圍內(nèi)進(jìn)行各種修正、變更及置換。故，本發(fā)明所揭示的實施例及附圖，并非僅用于限定本發(fā)明的技術(shù)思想，是用于作為一例而進(jìn)行說明者，并非借由如此的實施例及附圖而限定本發(fā)明的權(quán)利范圍。本發(fā)明的權(quán)利范圍，是應(yīng)借由專利要求的保護(hù)范圍解釋，與其同等的范圍內(nèi)所有的技術(shù)思想，應(yīng)做為包含于本發(fā)明的權(quán)利范圍內(nèi)者而被解釋。
【主權(quán)項】
1.一種基板裂斷裝置，其特征在于，包含: 空氣軸承臺，自形成于與基板對向之面的多個噴射孔將空氣噴射而對前述基板進(jìn)行支持; 裂斷單元，將前述基板夾持，設(shè)于與前述空氣軸承臺的相反側(cè)，將力施加于前述基板而將前述基板裂斷。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板裂斷裝置，其特征在于:其中進(jìn)一步包含移送單元，設(shè)于前述空氣軸承臺的左右兩側(cè)，且一面支持前述基板一面進(jìn)行移送。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板裂斷裝置，其特征在于:其中前述空氣軸承臺，是以朝向于上下方向互相相異的方向的一對相鄰的方式配置。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板裂斷裝置，其特征在于:其中前述裂斷單元是銷裂斷單元。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板裂斷裝置，其特征在于:其中與前述一對空氣軸承臺之中向上方的一個對向的前述裂斷單元是銷裂斷單元； 與前述一對空氣軸承臺之中向下方的另一個對向的前述裂斷單元是棍裂斷單元。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種基板裂斷裝置，在基板將沖擊荷重有效地進(jìn)行傳達(dá)。該基板裂斷裝置設(shè)有：空氣軸承臺，自形成于與基板對向之面的多個噴射孔將空氣噴射而對前述基板進(jìn)行支持；裂斷單元，將前述基板夾持，設(shè)于與前述空氣軸承臺的相反側(cè)，將力施加于前述基板而將前述基板裂斷。本發(fā)明提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點：借由在基板將沖擊荷重有效地進(jìn)行傳達(dá)而能夠容易地將基板進(jìn)行分?jǐn)?；又，借由在移送單元之間配置空氣軸承臺及裂斷單元，能夠使整體配置縮小。
【IPC分類】B28D5/00
【公開號】CN105382944
【申請?zhí)枴緾N201510416456
【發(fā)明人】朱阮鏞, 張成云
【申請人】三星鉆石工業(yè)股份有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請日】2015年7月15日