，以橫跨移動臺11與該移動臺11上部的工作臺16。
[0048]在橋接器19安裝有導件22，且刻劃頭21設置為被該導件22引導著在x軸方向上進行移動。在刻劃頭21，安裝有刀架安裝結構體23。
[0049]對于該刀架安裝結構體23的詳細情況，使用圖2?5進行說明。圖2是安裝在刻劃頭21的刀架安裝結構體23的前視圖。另外，在圖2中，一同地圖示了刻劃頭21所具備的軸承等。圖3是圖2所示的刀架安裝結構體23中以剖視圖表示軸承等的刀架安裝結構體23的前視圖。圖4是刀架安裝結構體23的分解圖。另外，在圖4中，對于構成刀架安裝結構體23的刀架單元40而言，一同地圖示了旋轉了 90°的刀架單元40。圖5是刀架安裝結構體23中以剖視圖表示刀架接頭30與殼體50的刀架安裝結構體23的前視圖。
[0050]刀架安裝結構體23如圖4所示地具備刀架接頭30、刀架單元40、及殼體50，且刀架單元40利用刀架接頭30與殼體50 —體化而成。
[0051]刀架接頭30具有圓柱狀的旋轉軸部31及接頭部32。該旋轉軸部31如圖3所示地通過插入至內(nèi)具于刻劃頭21的二個軸承24a、24b與圓筒形間隔片24c，而將刀架安裝結構體23安裝于刻劃頭21。而且，刀架安裝結構體23相對刻劃頭21旋轉自如地被保持。
[0052]在位于旋轉軸部31的下方的接頭部32，設置有下端側具有圓形開口 33的內(nèi)部空間34。而且，經(jīng)由開口部33，將刀架單元40插入至該內(nèi)部空間34。另外，對于刀架接頭30的內(nèi)部結構的詳細情況隨后描述。
[0053]刀架單元40具有刀架41、劃線刀輪42、及銷(未圖示)，且利用銷將劃線刀輪42可旋轉地安裝在刀架41而一體化。
[0054]刀架41含有磁性金屬，且包括位于上方的圓柱狀主體部43、位于下方的刀輪安裝部44、及位于導體部43與刀輪安裝部44之間的圓柱部45。另外，對于刀架41的主體部43的詳細情況隨后描述。
[0055]在刀輪安裝部44中，用以保持劃線刀輪42的保持槽46由二個支撐部47形成。接著，通過將銷插入至形成在劃線刀輪42的中心的銷孔(未圖示)與形成在支撐部47的支撐孔47a，而由保持槽46旋轉自如地保持劃線刀輪42。另外，刀架安裝結構體23為了在劃線刀輪42中產(chǎn)生主銷后傾效應，而如圖3所示地將支撐孔47a自以單點鏈線L表示的旋轉軸部31的軸中心錯開地設置。
[0056]而且，如圖4所示，支撐部47不僅將形成保持槽46的內(nèi)側面平坦地形成，而且也將外側面平坦地形成。在該外側的平坦面，可將用以管理刀架單元40的數(shù)據(jù)二維碼編碼，從而用于打印該二維碼等刀架單元40的管理。尤其，支撐部47在刀架安裝結構體23中，因自殼體50露出，所以即便組裝后也容易確認二維碼等。
[0057]劃線刀輪42是由燒結金剛石(Poly Crystalline Diamond(多晶金剛石))或超硬合金、單晶金剛石或多晶金剛石等所形成。而且，劃線刀輪42也可以使用在超硬合金等基材上涂布金剛石等硬質(zhì)材料膜而成者。而且，劃線刀輪42是消耗品，所以必須定期地更換，但由于構成為劃線刀輪42的更換是更換刀架單元40本身進行而并非自刀架41拆卸進行，所以，可迅速地進行劃線刀輪42的更換。
[0058]而且，可通過事先在刀架41設置圓柱部45，而例如在測定刀架安裝結構體23中的刀架單元40的同軸度時等，利用圓柱部45。因圓柱部45在刀架安裝結構體23中自殼體50露出，因此，通過使傳感器接觸于該部分，而即便在安裝后，也可以測定刀架單元40對于刀架接頭30的同軸度。
[0059]殼體50是六角螺母狀的金屬制構件。殼體50包括:內(nèi)螺紋部51,位于上部,且對內(nèi)側實施螺紋切削加工，以與刀架接頭30的接頭部32進行螺合；及底部53，位于下部，且設置有露出刀架單元40的貫通部52。
[0060]接著，以插入至內(nèi)部空間34的刀架單元40經(jīng)由貫通部52露出的方式，將殼體50自刀架單元40的下方插入，使內(nèi)螺紋部51與接頭部32螺合，由此，使刀架單元40相對刀架接頭30固定。
[0061]如以上所述，刀架安裝結構體23具備刀架接頭30、刀架單元40、及殼體50。而且，在本實施方式的刀架安裝結構體23，設置有用以固定刀架單元40的二個支撐部S1、S2，以在脆性材料基板17上形成高精度的劃線。
[0062]對于該支撐部S1、支撐部S2，使用圖6，詳細地進行說明。圖6(A)是表示設置在刀架接頭30與刀架單元40之間的支撐部SI的剖視圖，圖6 (B)是表示設置在刀架單元40與殼體50之間的支撐部S2的前視圖。另外，在圖6(B)中，以剖視圖表示殼體50。
[0063]用以固定刀架單元40的第I支撐部SI是設置在刀架接頭30與刀架單元40之間。具體而言，支撐部SI包含在刀架接頭30的內(nèi)部空間34露出的鋼球35、及形成在刀架單元40的主體部43的上表面43a的鋼球承托部48。S卩，支撐部SI包含作為刀架接頭30的支撐形成部的鋼球35、及作為刀架單元40的支撐形成部的鋼球承托部48。
[0064]鋼球35是壓入固定于形成在內(nèi)部空間34的上表面的壓入孔36。具體而言,鋼球35是例如直徑2.0mm的球體，且壓入孔36是比鋼球35的直徑略小例如直徑1.9mm的圓形孔。該壓入孔36形成為中心與旋轉軸部31的軸中心(圖3的單點鏈線L) 一致，且鋼球35的中心也與旋轉軸部31的軸中心L 一致。
[0065]另外，如圖5所示，在旋轉軸部31的內(nèi)部，利用自旋轉軸部31的前端起的沖孔加工而形成有空洞部37。而且，空洞部37在下端具有更細的空洞，且與壓入孔36相連。刀架接頭30因在該空洞部37預先配置有磁鐵(未圖示)，而即便在未安裝殼體50的狀態(tài)下，也可將包含磁性金屬的刀架41吸引到內(nèi)部空間34。因此，刀架安裝結構體23在更換刀架單元40時，可防止刀架單元40墜落，所以，可有效地進行更換作業(yè)。
[0066]鋼球承托部48是形成在圓柱狀的主體部43的上表面43a，且朝向上表面43a的中心以錐形狀傾斜的圓形狀凹處。該鋼球承托部48形成為上表面43a處的直徑為例如1.6mm左右,且深度為例如0.2mm左右。
[0067]該鋼球承托部48的中心形成為與圓筒狀刀架單元40的軸中心一致。因此，刀架安裝結構體23可僅通過將刀架單元40插入至內(nèi)部空間34，而將鋼球35嵌入至鋼球承托部48，從而簡單地使刀架單元40的中心與旋轉軸部31的軸中心L 一致。另外，在鋼球承托部48的底部，形成有與保持槽46相連的貫通孔49。
[0068]可通過以這樣的方式，將刀架接頭30的鋼球35與刀架單元40的鋼球承托部48嵌合，而形成用以固定刀架單元40的第I支撐部SI。該支撐部SI成為防止刀架單元40相對于刀架接頭30朝向水平方向(圖1的xy平面)移動的支點。
[0069]用以固定刀架單元40的第2支撐部S2是設置在刀架單元40與殼體50之間。具體而言，支撐部S2在刀架單元40的主體部43下側的圓錐臺部43b與殼體50的底部53，包含設置在貫通部52的錐形部54。即，支撐部S2包括作為刀架單元40的支撐形成部的圓錐臺部43b、及作為殼體50的支撐形成部的錐形部54。
[0070]圓錐臺部43b是側面朝向直徑比主體部43小的圓柱部45傾斜的部分，且圓錐臺部43b的中心形成為與鋼球承托部48的中心同軸、即與刀架單元40的中心一致。錐形部54在與該圓錐臺部43b的傾斜方向相反的方向上，以內(nèi)徑朝向底部52變小的方式傾斜。
[0071]在刀架接頭30的接頭部32的側面，如圖4所示地利用螺紋切削加工，形成有外螺紋38。通過使殼體50的內(nèi)螺紋部51螺合于該外螺紋38，而使圓錐臺部43b與錐形部54接觸，將刀架單元40頂?shù)缴戏?，從而將刀架單?0強固地固定于刀架接頭30。此時，在安裝于刀架接頭30的狀態(tài)下，使錐形部54的中心與旋轉軸部的中心一致。
[0072]通過刀架單元40的圓錐臺部43b與殼體的錐形部54以此方式接觸，而形成用以固定刀架單元40的第2支撐部S2，從而該支撐部S2成為防止刀架單元40相對于刀架接頭30朝向水平方向(圖1的xy平面)移動的支點。即，利用第I支撐部SI，使旋轉軸部的軸中心與鋼球承托部48的中心一致，且利用第2支撐部S2，使錐形部54的中心與旋轉軸部的中心一致，由此，圓錐臺部43b的中心與旋轉軸部的中心一致，所以，刀架單元的中心成為與旋轉軸部的軸中心一致。
[0073]如以上所述，本實施方式的刀架安裝結構體23包含:鋼球35，配置在刀架接頭30的內(nèi)側；第I支撐部SI，包括形成在刀架單元40的上表面43a上的鋼球承托部48 ;刀架單元40的圓錐臺部43b、及第2支撐部S2，包括與圓錐臺部43b接觸的殼體50的錐形部54。
[0074]因此，本實施方式的刻劃裝置10是防止刀架單元40相對刀架接頭30移動的支點存在于2個部位，故可相對于刀架接頭30準確地確定刀架單元40的位置，從而進行高精度的刻劃。接著，以與專利文獻3