刀架安裝結(jié)構(gòu)體、刻劃裝置、刀架單元及刀架接頭的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種可在脆性材料基板的表面上形成高精度劃線的刀架安裝結(jié)構(gòu)體、刻劃裝置、刀架單元及刀架接頭。
【背景技術(shù)】
[0002]已知如下刻劃裝置，將劃線刀輪與旋轉(zhuǎn)自如地保持劃線刀輪的刀架一體化，從而可容易地更換劃線刀輪。
[0003]作為像這樣的刻劃裝置，例如專利文獻(xiàn)I中記載如下:在刻劃裝置所具備的刀架接頭，安裝將刀片(劃線刀輪)一體化而成的刀片架。具體而言，該刀架接頭具有二個(gè)軸承、及將旋轉(zhuǎn)軸插入至二個(gè)軸承的保持部，且通過將刀片架插入至形成在該保持部的開口而保持刀片架。此時(shí)，該刀片架是由保持部的內(nèi)側(cè)的磁鐵與平行銷進(jìn)行定位固定。
[0004]而且，作為其他刻劃裝置，專利文獻(xiàn)2中記載如下:在劃線器(刻劃裝置)所具備的刻劃頭，隔著夾盤(chuck)安裝具有刀輪(劃線刀輪)的刀輪架。具體而言，該夾盤包含形成有固定在軸承中心的夾盤固定部、中空部及夾盤螺栓的軸、夾頭、及夾緊螺母，且通過在刀輪架的刀架軸安裝在夾頭而保持刀輪架。此時(shí)，刀輪架通過利用夾頭的緊固片將刀架軸緊固而固定。
[0005]而且，作為與使用的將劃線刀輪與旋轉(zhuǎn)自如地保持劃線刀輪的刀架一體化而成的專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2中的刻劃裝置不同的刻劃裝置，專利文獻(xiàn)3中記載有保持切割器刀輪(劃線刀輪)的切割器安裝部與插入至軸承的支撐軸(旋轉(zhuǎn)軸)成為一體的刻劃裝置。
[0006]在專利文獻(xiàn)3的刀片架中，存在單向地形成劃線時(shí)，最大20 μ m左右地偏離預(yù)定刻劃線的情況。而且，即便往復(fù)地形成劃線，雖不會(huì)較大地偏離預(yù)期的劃線，但劃線偏離也達(dá)至Ij 30 μ m左右。
[0007][【背景技術(shù)】文獻(xiàn)]
[0008][專利文獻(xiàn)]
[0009][專利文獻(xiàn)I]日本專利特開2011-213592號(hào)公報(bào)
[0010][專利文獻(xiàn)2]日本專利特開2007-145711號(hào)公報(bào)
[0011][專利文獻(xiàn)3]日本專利特開2012-232880號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012][發(fā)明所要解決的問題]
[0013]專利文獻(xiàn)I中揭示的刻劃裝置是插入至軸承的旋轉(zhuǎn)軸與具有劃線刀輪的刀片架成為可拆卸的單個(gè)零件。而且，刀片架成為由磁鐵與平行銷進(jìn)行定位固定的結(jié)構(gòu)，但因磁鐵僅在鉛垂方向上吸引刀片架，故在與脆性材料基板平行的方向上，刀片架僅能被平行銷抵壓在保持部而固定。
[0014]因此，專利文獻(xiàn)I中揭示的刻劃裝置與專利文獻(xiàn)3中揭示的切割器安裝部與插入至軸承的旋轉(zhuǎn)軸成為一體而成的刻劃裝置相比，存在當(dāng)每次進(jìn)行刻劃時(shí)，在插入至軸承的旋轉(zhuǎn)軸的中心與刀片架的位置中產(chǎn)生偏離的情況。
[0015]具體而言，專利文獻(xiàn)I的刻劃裝置存在如下情況:相對(duì)于預(yù)期的劃線，單向地進(jìn)行刻劃時(shí)的偏尚為20 μ m左右，而往復(fù)地進(jìn)彳丁刻劃時(shí)，最大可廣生100 μ m左右的偏尚。所以，專利文獻(xiàn)I的刻劃裝置在結(jié)構(gòu)方面不易以與專利文獻(xiàn)3那樣的刻劃裝置同等程度的精度進(jìn)行刻劃，而且，難以應(yīng)對(duì)日益提高的刻劃精度要求。
[0016]另一方面，專利文獻(xiàn)2的刻劃裝置是利用構(gòu)成夾盤的夾頭的緊固片將刀架軸自身緊固固定，因此，刀架軸始終位于夾頭的中心。
[0017]然而，由于專利文獻(xiàn)2的刻劃裝置構(gòu)成為僅利用緊固片將刀架軸的軸周圍整體固定，所以，用以固定刀輪架的支撐部?jī)H為一處，當(dāng)實(shí)際進(jìn)行刻劃時(shí)，將導(dǎo)致刀輪架中產(chǎn)生晃動(dòng)。
[0018]因此，即便專利文獻(xiàn)2的刻劃裝置，也難以應(yīng)對(duì)日益提高的刻劃精度要求。
[0019]所以，本發(fā)明的目的在于提供一種可進(jìn)行高精度刻劃的刀架安裝結(jié)構(gòu)體、刻劃裝置、刀架單元及刀架接頭。
[0020][解決問題的技術(shù)手段]
[0021]為達(dá)成所述目的，本發(fā)明的刀架安裝結(jié)構(gòu)體的特征在于包括:刀架單元，具有劃線刀輪；刀架接頭，具有旋轉(zhuǎn)軸部、及供所述刀架單元插入的接頭部；及殼體，在對(duì)所述刀架接頭安裝所述刀架單元時(shí)，與所述刀架接頭結(jié)合；在所述刀架安裝結(jié)構(gòu)體，與旋轉(zhuǎn)軸部同軸地設(shè)置有用以固定所述刀架單元的2個(gè)支撐部，第I所述支撐部是設(shè)置在所述刀架單元與所述刀架接頭之間，且第2所述支撐部是設(shè)置在所述刀架單元與所述殼體之間。
[0022]本發(fā)明的刀架安裝結(jié)構(gòu)體因設(shè)置有用以固定刀架單元的2個(gè)支撐部，所以，能夠相對(duì)于刀架接頭的軸準(zhǔn)確地確定刀架單元的位置，從而可不易晃動(dòng)地進(jìn)行高精度的刻劃。
[0023]而且，本發(fā)明的刀架安裝結(jié)構(gòu)體的特征在于:所述第I支撐部包括在所述刀架接頭的內(nèi)側(cè)露出的鋼球、及設(shè)置在所述刀架單元的所述鋼球的承托部。
[0024]而且，本發(fā)明的刀架安裝結(jié)構(gòu)體的特征在于:所述第2支撐部包括形成在所述刀架單元的圓錐臺(tái)部、及與形成在所述殼體的所述圓錐臺(tái)部接觸的錐形部。
[0025]而且，本發(fā)明的刀架安裝結(jié)構(gòu)體的特征在于:在自所述殼體露出的所述刀架單元的側(cè)面，設(shè)置有圓柱部。
[0026]根據(jù)本發(fā)明的刀架安裝結(jié)構(gòu)體，可利用圓柱部測(cè)定刀架安裝結(jié)構(gòu)體中的刀架單元的同軸度。
[0027]而且，本發(fā)明的刀架安裝結(jié)構(gòu)體的特征在于:在所述刀架接頭的所述旋轉(zhuǎn)軸部的內(nèi)部設(shè)有空洞部，且在所述空洞部?jī)?nèi)配置有磁鐵。
[0028]根據(jù)本發(fā)明的刀架安裝結(jié)構(gòu)體，由于可利用磁鐵預(yù)先吸引刀架單元，因此，在更換刀架單元時(shí)，可防止刀架單元墜落，從而可有效地進(jìn)行更換作業(yè)。
[0029]而且，本發(fā)明的刻劃裝置的特征在于包含所述刀架安裝結(jié)構(gòu)體。
[0030]根據(jù)本發(fā)明的刻劃裝置，可進(jìn)行高精度的刻劃。
[0031]而且，本發(fā)明的刀架單元的特征在于:其是具有劃線刀輪，且安裝在刀架接頭的接頭部的刀架單元，且以與所述刀架單元之軸同軸的方式在2個(gè)部位設(shè)置有支撐形成部，所述支撐形成部形成所述刀架單元被安裝于所述接頭部時(shí)用以進(jìn)行固定的支撐部。
[0032]根據(jù)本發(fā)明的刀架單元，由于在刀架單元，將支撐形成部設(shè)置在2個(gè)部位，所以，可通過與在2個(gè)部位具備支撐形成部的刀架接頭一同地使用，而形成用以進(jìn)行固定的2個(gè)支撐部，能夠相對(duì)于刀架接頭準(zhǔn)確地確定刀架單元的位置，從而可進(jìn)行高精度的刻劃。
[0033]而且，本發(fā)明的刀架接頭的特征在于:其是用以安裝具有劃線刀輪的刀架單元的刀架接頭，且具備旋轉(zhuǎn)軸部、供所述刀架單元插入的接頭部、及所述刀架單元的安裝用的殼體，且以與所述旋轉(zhuǎn)軸部的軸中心同軸的方式在2個(gè)部位設(shè)置有支撐形成部，所述支撐形成部形成所述刀架單元被安裝時(shí)用以進(jìn)行固定的支撐部。
[0034]根據(jù)本發(fā)明的刀架接頭，由于在刀架接頭，將支撐形成部設(shè)置在2個(gè)部位，所以，可通過與在2個(gè)部位具備支撐形成部的刀架單元一同地使用，而形成用以進(jìn)行固定的2個(gè)支撐部，能夠相對(duì)于刀架接頭準(zhǔn)確地確定刀架單元的位置，從而可進(jìn)行高精度的刻劃。
【附圖說明】
[0035]圖1是實(shí)施方式I的刻劃裝置的概略圖。
[0036]圖2是實(shí)施方式I的刀架安裝結(jié)構(gòu)體的前視圖。
[0037]圖3是局部以剖視圖表示的實(shí)施方式I的刀架安裝結(jié)構(gòu)體的前視圖。
[0038]圖4是實(shí)施方式I的刀架安裝結(jié)構(gòu)體的分解圖。
[0039]圖5是刀架接頭與殼體以剖視表示的實(shí)施方式I的刀架安裝結(jié)構(gòu)體的前視圖。
[0040]圖6(A)是表示實(shí)施方式I的刀架安裝結(jié)構(gòu)體中的第I支撐部的剖視圖，圖6(B)是表示實(shí)施方式I的刀架安裝結(jié)構(gòu)體中的第2支撐部的前視圖。
[0041]圖7是實(shí)施方式2的刀架安裝結(jié)構(gòu)體的前視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0042]以下，使用【附圖說明】本發(fā)明的實(shí)施方式。但，以下所示的實(shí)施方式是表示用以將本發(fā)明的技術(shù)思想具體化的一例，而并非意圖將本發(fā)明特別指定為該實(shí)施方式。本發(fā)明也適合權(quán)利要求范圍中所含的其他實(shí)施方式。
[0043][實(shí)施方式I]
[0044]圖1是本發(fā)明實(shí)施方式I的刻劃裝置10的概略圖?？虅澭b置10具有移動(dòng)臺(tái)11。移動(dòng)臺(tái)11是與滾珠絲杠13螺合，且該滾珠絲杠13因電機(jī)14驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)，由此，移動(dòng)臺(tái)11沿著一對(duì)導(dǎo)軌12a、12b在y軸方向上移動(dòng)。
[0045]在移動(dòng)臺(tái)11的上表面設(shè)置有電機(jī)15。電機(jī)15是使位于上部的工作臺(tái)16在xy平面上旋轉(zhuǎn)，從而定位于規(guī)定角度。作為斷裂(刻劃)對(duì)象物的脆性材料基板17是載置在工作臺(tái)16上，且由未圖示的真空抽吸機(jī)構(gòu)等所保持。
[0046]該脆性材料基板17是玻璃基板、包含低溫煅燒陶瓷或高溫煅燒陶瓷的陶瓷基板、硅基板、化合物半導(dǎo)體基板、藍(lán)寶石基板、及石英基板等。而且，脆性材料基板17可使薄膜或半導(dǎo)體材料附著或包含于基板的表面或者內(nèi)部。而且，脆性材料基板17也可以使不屬于脆性材料的薄膜等附著在其表面。
[0047]刻劃裝置10是在載置于工作臺(tái)16上的脆性材料基板17的上方，具備對(duì)形成在該脆性材料基板17的表面上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝的二臺(tái)CXD攝像機(jī)18。橋接器19以沿著X軸方向的方式架設(shè)于支架20a、20b