1.一種切割硅片用夾具，其特征在于：包括上夾具(1)和下夾具(2)，所述上夾具(1)和下夾具(2)用于夾緊待切割硅片，所述上夾具(1)中均有間距設置有多個夾緊裝置，所述夾緊裝置用于和所述下夾具(2)配合夾緊硅片；所述夾緊裝置為氣缸(11)，所述氣缸(11)設置有氣缸桿(111)，所述氣缸桿(111)連接壓板(112)；所述下夾具(2)設置有中間層(22)和下柔性層(21)，所述下柔性層位于所述下夾具(2)上部，所述中間層(22)位于所述下柔性層(21)下方，所述中間層(22)內設置有多個彈簧(221)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種切割硅片用夾具，其特征在于：所述上夾具(1)外側還設置有一層上柔性層(12)。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種切割硅片用夾具，其特征在于：所述壓板(112)上還設置有一層橡膠(113)。