本實(shí)用新型涉及一種夾具。

背景技術(shù)：

硅片加工前，要先將硅晶板切割分體成塊狀?，F(xiàn)有的硅片切割設(shè)備中，對硅晶板的夾緊方式，普遍采用固定氣缸夾緊、移動氣缸夾緊或無桿氣缸夾緊等方式。上述夾緊方式中，固定夾緊方式應(yīng)用最為普遍，但其成本高；無桿氣缸移動速度慢，且由于是單邊夾緊，夾緊力不均勻，容易使硅晶板劃損，且出現(xiàn)加工的硅晶塊不規(guī)范，如切縫與表面不垂直等現(xiàn)象；移動氣缸夾緊雖然克服了上述現(xiàn)象，但存在成本高的問題。

有鑒于上述的缺陷，本設(shè)計人，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的切割硅片用夾具，使其更具有產(chǎn)業(yè)上的利用價值。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種切割硅片用夾具。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

一種切割硅片用夾具，其特征在于：包括上夾具(1)和下夾具(2)，所述上夾具(1)和下夾具(2)用于夾緊待切割硅片，所述上夾具(1)中均有間距設(shè)置有多個夾緊裝置，所述夾緊裝置用于和所述下夾具(2)配合夾緊硅片；所述夾緊裝置為氣缸(11)，所述氣缸(11)設(shè)置有氣缸桿(111)，所述氣缸桿(111)連接壓板(112)；所述下夾具(2)設(shè)置有中間層(22)和下柔性層(21)，所述下柔性層 位于所述下夾具(2)上部，所述中間層(22)位于所述下柔性層(21)下方，所述中間層(22)內(nèi)設(shè)置有多個彈簧(221)。

進(jìn)一步的，所述上夾具(1)外側(cè)還設(shè)置有一層上柔性層(12)。

進(jìn)一步的，所述壓板(112)上還設(shè)置有一層橡膠(113)。

借由上述方案，本實(shí)用新型至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：

本實(shí)用新型裝置用于夾緊硅片，由于硅片較為精密，在切割過程中容易由于切割力度大會損壞硅片，本實(shí)用新型上夾具和下夾具均設(shè)置了柔性層，同時壓板上也設(shè)置了橡膠，能夠夾緊硅片的同時，能夠保證硅片在外力切割下有形變不會損傷硅片。

上述說明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1-上夾具；11-氣缸；111-氣缸桿；112-壓板；113-橡膠；12-上柔性層；2-下夾具；21-下柔性層；22-中間層；221-彈簧。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。

參見圖1，本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例所述的一種切割硅片用夾具，包括上夾具1和下夾具2，所述上夾具1和下夾具2用于夾緊待切割硅片，所述上夾具1中均有間距設(shè)置有多個夾緊裝置，所述夾緊裝置 用于和所述下夾具2配合夾緊硅片；所述夾緊裝置為氣缸11，所述氣缸11設(shè)置有氣缸桿111，所述氣缸桿111連接壓板112；所述下夾具2設(shè)置有中間層22和下柔性層21，所述下柔性層位于所述下夾具2上部，所述中間層22位于所述下柔性層21下方，所述中間層22內(nèi)設(shè)置有多個彈簧221。

-所述上夾具1外側(cè)還設(shè)置有一層上柔性層12。

-所述壓板112上還設(shè)置有一層橡膠113。

本實(shí)用新型至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：

本實(shí)用新型裝置用于夾緊硅片，由于硅片較為精密，在切割過程中容易由于切割力度大會損壞硅片，本實(shí)用新型上夾具和下夾具均設(shè)置了柔性層，同時壓板上也設(shè)置了橡膠，能夠夾緊硅片的同時，能夠保證硅片在外力切割下有形變不會損傷硅片。

以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，并不用于限制本實(shí)用新型，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和變型，這些改進(jìn)和變型也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。