本發(fā)明涉及加工用工具，特別是涉及被安裝于基板加工裝置的基板加工用工具。

背景技術(shù)：

為了在薄膜太陽電池用基板形成電池單體分離用的槽，使用了機(jī)械劃線裝置。并且，在這樣的裝置中，使用了在末端具有刃尖部的圓形工具(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

通過對(duì)圓桿的母材進(jìn)行研磨加工，從而制造出如上的工具。即，將圓桿的母材安裝于圓筒研磨盤的卡盤上，一邊使母材旋轉(zhuǎn)一邊對(duì)末端進(jìn)行研磨加工，形成刃尖。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2004-115356號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

基板加工用工具被安裝于劃線裝置的加工頭。具體而言，在劃線裝置設(shè)置有加工頭，該加工頭相對(duì)于載置基板的工作臺(tái)相對(duì)移動(dòng)自如。通常，在加工頭并排地配置有多個(gè)頭單元。進(jìn)而，工具通過工具保持器拆卸自如地被安裝在該多個(gè)頭單元中的各個(gè)單元。

在這樣的結(jié)構(gòu)中，工具被工具保持器的卡盤把持，但工具有可能由于加工中的振動(dòng)等而脫落。

本發(fā)明的課題在于，防止基板加工用工具從工具保持器脫落。

用于解決課題的手段

本發(fā)明的一個(gè)方面的基板加工用工具是被安裝于基板加工裝置的工具。該基板加工用工具具備工具主體、刃尖部和卡合部。在工具主體的至少一部分形成有保持部，該保持部被保持于基板加工裝置的卡盤部。刃尖部形成在工具主體的一端側(cè)?？ê喜啃纬稍诠ぞ咧黧w的另一端側(cè)，比工具主體的表面突出。

該工具的形成于工具主體的保持部被保持于基板加工裝置。此時(shí)，由于在工具主體的另一端側(cè)形成有卡合部，因此，通過將從下方與該卡合部卡合的部分設(shè)置于基板加工裝置側(cè)，從而能夠防止在加工中的振動(dòng)等時(shí)工具落到下方。

此外，在制造工具時(shí)，在對(duì)工具主體的保持部和刃尖部進(jìn)行加工的情況下，工具主體的與刃尖部相反一側(cè)(另一端側(cè))被安裝于對(duì)工具進(jìn)行加工的裝置的卡盤部。因此，在對(duì)保持部和刃尖部進(jìn)行加工后，未被加工的未加工部分留在工具主體的另一端側(cè)。該未加工部分從被切削加工的工具主體的表面突出，并與工具主體之間形成臺(tái)階。通過將該未加工部分留下而不削除，從而能夠作為卡合部。

在本發(fā)明的另一方面的基板加工用工具中，在卡合部印有文字，在工具主體未印有文字。

卡合部比被保持于基板加工裝置的保持部突出，由于與保持部被明確地區(qū)分開，因此，即使印字的部位隆起或變形，被保持于基板加工裝置的工具的位置精度也不會(huì)由于印字而變差。

在本發(fā)明的又一方面的基板加工用工具中，工具主體的截面為圓形。此外，卡合部的截面是具有比工具主體的外徑大的直徑的圓形。

在通過對(duì)圓桿的母材進(jìn)行研磨加工來制造工具的情況下，通常，母材被安裝于圓筒研磨盤等工具加工裝置上，工具主體被進(jìn)行研磨加工。在這樣的加工方法中，被安裝于工具加工裝置的母材的一部分未加工而留下，其直徑大于工具主體的直徑。

因此，通過將該未加工部分作為卡合部，從而無需進(jìn)行特別的加工就能夠構(gòu)成卡合部。

在本發(fā)明的又一方面的基板加工用工具中，保持部的截面是圓形。此外，刃尖部是截面為圓形、并且隨著從保持部到前端而變細(xì)的形狀。

在該情況下，在將母材安裝于圓筒研磨盤等工具加工裝置的卡盤上的狀態(tài)下，能夠在同一工序中對(duì)保持部和刃尖部這兩方進(jìn)行加工。因此，能夠防止工具的保持部的中心與刃尖部的中心錯(cuò)離。

在本發(fā)明的又一方面的基板加工用工具中，保持部和刃尖部在被卡緊于工具加工裝置的狀態(tài)下在同一工序中形成。

在該情況下，如前面所述，能夠防止工具的保持部的中心與刃尖部的中心錯(cuò)離。

發(fā)明效果

在如上的本發(fā)明中，能夠防止基板加工用工具由于加工中的振動(dòng)等而從工具保持器脫落。

附圖說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的方法制造的工具的外觀圖。

圖2是用于說明圖1中的工具的制造方法的示意圖。

圖3是安裝本發(fā)明的工具的劃線裝置的外觀立體圖。

圖4a是對(duì)本發(fā)明的工具進(jìn)行保持的工具保持器的側(cè)視圖。

圖4b是對(duì)本發(fā)明的工具進(jìn)行保持的工具保持器的主視圖。

圖5是工具保持器的局部放大圖。

圖6是工具的其它實(shí)施方式的外觀圖。

具體實(shí)施方式

圖1中示出了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的基板加工用工具1的外觀。該工具1被安裝于圖3所示的劃線裝置10(基板加工裝置)，用以在薄膜太陽電池用基板形成絕緣用槽。

工具1具有：工具主體2；刃尖部3，其形成于工具主體2的一端側(cè)；和加工支承部(卡合部)4，其形成于工具主體2的另一端側(cè)。利用圓筒研磨盤對(duì)圓桿的母材進(jìn)行研磨加工而形成該工具1。

工具主體2是圓柱狀，并且在全長范圍形成同一外徑。該工具主體2的一部分作為被保持于劃線裝置10的保持部而發(fā)揮作用(具體后述)。刃尖部3是從工具主體2朝向一端側(cè)而末端變細(xì)的圓錐形狀。另外，刃尖部3的末端形成為刃寬是例如40μm。因此，準(zhǔn)確地說，刃尖部3是圓錐臺(tái)形狀。加工支承部4是在利用圓筒研磨盤對(duì)工具1進(jìn)行研磨加工時(shí)被安裝在圓筒研磨盤的卡盤上的部分，其被卡盤的多個(gè)爪把持。該加工支承部4的直徑大于工具主體2的直徑，在工具主體2與加工支承部4之間形成有臺(tái)階。

[工具制造方法]

如前面所述，工具1被安裝于如圖2所示的圓筒研磨盤的卡盤5上而被加工。圖2(a)示意地示出了被設(shè)置于圓筒研磨盤的卡盤5上的多個(gè)爪5a。在圖2(a)中，c0是卡盤5的中心(圓筒研磨盤的旋轉(zhuǎn)軸線)。

如圖2(b)所示，在對(duì)工具1進(jìn)行加工時(shí)，將工具的母材b安裝于圓筒研磨盤的卡盤5。在圖2(b)中，利用cb示出了母材的中心(中心軸線)。在該示例中，在卡盤5的安裝有母材b的狀態(tài)下，卡盤5的中心c0與母材b的中心cb錯(cuò)離。

在如上的狀態(tài)下，使母材b旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行研磨加工，形成作為保持部的工具主體2和刃尖部3。即，在安裝于卡盤5的相同姿態(tài)的狀態(tài)下不將母材b從卡盤5上卸下而加工工具主體2和刃尖部3。在該加工時(shí)，工具主體2在全長范圍加工成相同直徑，并且，工具主體2和刃尖部3使用相同的磨石連續(xù)地進(jìn)行加工。并且，進(jìn)行加工，以使刃尖部3的末端的刃寬為例如40μm。

圖2(c)中示出了如上被加工的狀態(tài)。通過進(jìn)行這樣的加工，被保持于劃線裝置10的保持部(工具主體2的一部分)的中心和對(duì)基板進(jìn)行加工的刃尖部3的中心均一致為cb。因此，通過使用根據(jù)該方法加工的工具，從而，即使更換工具，在更換前后刃尖的位置也大致不變。

若進(jìn)行如上的加工，被安裝在圓筒研磨盤的卡盤5上的未加工的加工支承部4的直徑大于工具主體2的外徑。因此，在將該加工支承部4安裝于劃線裝置10時(shí)能夠作為與劃線裝置10側(cè)的一部分卡合的卡合部。

[劃線裝置10]

關(guān)于安裝如上制造的工具1的劃線裝置10，使用圖3來簡單地進(jìn)行說明。

劃線裝置10具備載置薄膜太陽電池基板w的臺(tái)11。臺(tái)11能夠在水平面(xy平面)內(nèi)在圖3中的y方向上移動(dòng)，并能夠在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)到任意角度。在臺(tái)11的上方，在兩個(gè)底座12中分別安裝有照相機(jī)13。各底座12能夠沿引導(dǎo)件15移動(dòng)，該引導(dǎo)件15被設(shè)置于支承座14并沿x方向延伸。兩個(gè)照相機(jī)13能夠上下移動(dòng)，各照相機(jī)13拍攝的圖像被顯示在對(duì)應(yīng)的監(jiān)視器16上。

在臺(tái)11的上方設(shè)置有橋17。橋17具有一對(duì)支承柱18a、18b、導(dǎo)桿19和馬達(dá)21。導(dǎo)桿19沿x方向設(shè)置在一對(duì)支承柱18a、18b之間。馬達(dá)21對(duì)形成于導(dǎo)桿19的引導(dǎo)件20進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。此外，橋17對(duì)能夠沿著引導(dǎo)件20在水平面內(nèi)在x方向上移動(dòng)的加工頭30進(jìn)行保持。

[工具1向劃線裝置10的安裝]

本實(shí)施方式的工具1拆卸自如地被安裝于圖4a和圖4b所示的工具保持器32的下端。另外，省略具體情況，工具保持器32被安裝于頭單元，多個(gè)頭單元按固定的間隔并排地配置在劃線裝置10的加工頭30。圖4a是工具保持器32的側(cè)視圖，圖4b是其主視圖。

工具保持器32形成為細(xì)長的長方體狀。工具保持器32具有：基礎(chǔ)板34，其一部分被切口；和罩板35，其被安裝于基礎(chǔ)板34的切口部。

基礎(chǔ)板34具有上部的加工頭安裝部34a和工具安裝部34b，工具1被固定于工具安裝部34b的下端。工具安裝部34b如圖4a所示地下方被較薄地切口。并且，在該被切口的部分的上部，兩根基準(zhǔn)銷38、39被插入到基礎(chǔ)板34和罩板35中?；A(chǔ)板34和罩板35被兩根基準(zhǔn)銷38、39定位，并通過螺紋部件40被固定。

在圖5中放大地示出了圖4a的一部分的截面。如圖5所示，在基礎(chǔ)板34和罩板35分別形成有與工具主體2的一部分(保持部)接觸地對(duì)工具1進(jìn)行保持的部分34c、35c。此外，在基礎(chǔ)板34和罩板35，分別在工具保持部34c、35c的上方形成有避讓部34d、35d，以免與工具1的加工支承部4接觸。

避讓部34d、35d的下表面34e、35e形成為，與工具1的加工支承部4的下表面4a(臺(tái)階部)卡合。因此，在將工具1以通過基礎(chǔ)板34和罩板35夾住的方式固定的情況下，能夠可靠地防止工具1由于振動(dòng)等落到下方。

另外，設(shè)置有與工具1的加工支承部4的上表面接觸的磁鐵42，以便在將工具1向工具保持器32安裝時(shí)將螺紋部件40緊固前，工具1在被插入到兩板34、35之間的狀態(tài)下被臨時(shí)固定。

此外，在圖5所示的工具1的加工支承部4的側(cè)面使用激光打標(biāo)或墨印有形式號(hào)碼等，在工具主體2的保持部沒有任何印字。被印字的部位由于激光加工或墨而變形或隆起，但由于未在與工具保持部34c、35c接觸的工具主體2上印字，因此，向工具印字不會(huì)影響工具的安裝位置。并且，由于加工支承部4比工具主體2突出，因此，工具的位置不會(huì)以加工支承部4與工具保持部34c、35c接觸的方式發(fā)生錯(cuò)離，能夠防止由向工具印字導(dǎo)致的工具安裝位置的變化。

[其它實(shí)施方式]

本發(fā)明不限于如上的實(shí)施方式，可在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下進(jìn)行各種變形或修改。

(a)在上述實(shí)施方式中，為了制造工具，利用圓筒研磨盤使用磨石進(jìn)行研磨加工，但用于工具制造的加工裝置和加工工具不限于這些，例如，也可以利用車床使用切削工具來進(jìn)行切削加工。

(b)形成保持部2和刃尖部3的順序不特別限定。既可以在形成保持部2后形成刃尖部3，也可以在形成刃尖部3后形成保持部。

(c)在上述實(shí)施方式中，使用相同的磨石連續(xù)地形成保持部2和刃尖部3，但不限于此。既可以使用分別不同的加工工具形成保持部2和刃尖部3，也可以使用多個(gè)磨石對(duì)保持部2和刃尖部3同時(shí)進(jìn)行加工。

(d)在上述實(shí)施方式中，以刃尖部3的末端的刃寬為所希望的寬度的方式進(jìn)行了刃尖部3的加工，但也可以這樣：在刃尖部3的末端的寬度形成得足夠細(xì)后，對(duì)末端部進(jìn)行加工，以使刃尖部3的末端的刃寬成為所希望的值。

(e)在上述實(shí)施方式中，對(duì)圓桿的母材進(jìn)行研磨加工以形成工具，但母材的形狀不限于圓桿。

(f)在上述實(shí)施方式中，使工具主體2在全長范圍為相同直徑，但也可以在工具主體2的一部分形成直徑與其它部分不同的保持部。在該情況下，加工支承部4比保持部的表面突出即可。

(g)工具的形狀不限于所述實(shí)施方式，也可以是例如如圖6所示的矩形的工具。該實(shí)施方式的工具41具有：矩形的工具主體42；形成于工具主體42的一端側(cè)的刃尖部43；形成于工具主體42的另一端側(cè)的矩形的卡合部44。該工具41利用銑床等加工裝置形成矩形的母材。

與上述實(shí)施方式同樣地，工具主體42的一部分(保持部)被保持于劃線裝置10的工具保持器。刃尖部43與工具主體42的x方向上的寬度(刃寬)相同，但與刃寬正交的y方向上的厚度朝向末端逐漸變薄，末端的一部分形成為相同厚度?？ê喜?4與工具主體42的y方向上的厚度相同，但x方向上的寬度以從工具主體42的兩側(cè)面向外側(cè)突出的方式形成為寬度較寬。

該卡合部44的臺(tái)階、即突出部的下表面44a從上方與未圖示的工具保持器側(cè)的突出部抵接。由此，在將工具41固定于工具保持器時(shí)，能夠可靠地防止工具41由于振動(dòng)等而落到下方。

產(chǎn)業(yè)上的可利用性

本發(fā)明的基板加工用工具能夠防止由于加工中的振動(dòng)等而從工具保持器脫落。

標(biāo)號(hào)說明

1、41工具

2、42工具主體(保持部)

3、43刃尖部

4加工支承部(卡合部)

44卡合部