激光切割玻璃的方法
【專利摘要】本發(fā)明屬于激光切割加工領(lǐng)域，提供了一種激光切割玻璃的方法，意在解決切割玻璃過程中容易產(chǎn)生崩邊、微裂紋以及分層等損傷問題。該方法包括脈沖寬度范圍在皮秒至飛秒的激光器產(chǎn)生的激光束經(jīng)聚焦處理后入射至待切割的玻璃工件內(nèi)；激光束與玻璃工件按預(yù)先設(shè)定的路徑做相對移動，使焦點(diǎn)在玻璃工件的內(nèi)部形成由多個(gè)微裂點(diǎn)沿激光束掃射的路徑組成的切割層；以及施加外力于玻璃工件，使玻璃工件沿路徑撕開。本發(fā)明的激光切割玻璃的方法通過激光束聚焦于玻璃工件內(nèi)部并在玻璃工件內(nèi)部形成切割層，利用較小的脈沖寬度和極低的單點(diǎn)能量實(shí)現(xiàn)對玻璃工件的切割，以獲得無裂紋無損傷的玻璃工件，并避免了細(xì)小碎屑的產(chǎn)生，提高了切割效率。
【專利說明】激光切割玻璃的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于激光切割加工領(lǐng)域，尤其涉及一種激光切割玻璃的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著電子產(chǎn)品的迅猛發(fā)展，尤其是筆記本電腦、智能手機(jī)、液晶顯示器及平板電腦等都在朝著體積更薄、重量更輕以及制造成本更低的方向發(fā)展。而這些電子產(chǎn)品都離不開玻璃薄板，目前，電子產(chǎn)品上的玻璃薄板的厚度已經(jīng)由原來的1.1mm降低至0.6^0.7mm，手機(jī)屏幕的玻璃薄板已經(jīng)降低至0.3mm甚至更低。厚度越薄的玻璃薄板對作用力越敏感,越容易受沖擊后發(fā)生脆斷，這無疑增加了切割加工的難度。
[0003]現(xiàn)有的切割玻璃方法大致有機(jī)械切割法和CO2激光切割法。機(jī)械切割法是采用硬質(zhì)合金和金剛石刀具在玻璃表面劃刻一道裂紋，并使用機(jī)械手段將玻璃延裂紋分開。然而，這種機(jī)械切割法存在諸多問題，例如玻璃材料的去除會導(dǎo)致碎屑及微裂紋并需要增加清洗工序，切割邊緣的強(qiáng)度降低，產(chǎn)生的深裂紋通常不垂直于玻璃表面，降低了玻璃的利用率及產(chǎn)量。CO2激光切割法是利用玻璃處于軟化的溫度下具有較好的塑性和延展性，用聚焦的CO2激光照射待切割的玻璃工件的表面，通過超高的能量密度將玻璃融化，同時(shí)配合氣流吹走熔融的玻璃，從而直接將一整塊玻璃工件一分為二切割開來。由于CO2激光波長在10640nm，玻璃工件對該波長的激光是面吸收，因此，這種切割方法中要將玻璃工件熔融段裂開，需要非常高的激光能量才能實(shí)現(xiàn)。同時(shí)，這種切割方法的切割效果較差，切縫不整齊，極易在整個(gè)切縫斷面形成熱裂紋使玻璃強(qiáng)度大大降低，并且切割過程中產(chǎn)生的熔渣也會污染玻璃表面。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種激光切割玻璃的方法，旨在彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，解決切割玻璃過程中容易產(chǎn)生崩邊、微裂紋以及分層等損傷問題，并提高切割效率。
[0005]本發(fā)明實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種激光切割玻璃的方法，包括以下步驟:采用脈沖寬度范圍在皮秒至飛秒的激光器；所述激光器產(chǎn)生的激光束經(jīng)聚焦處理后入射至待切割的玻璃工件內(nèi)，使所述激光束的焦點(diǎn)位于所述玻璃工件的內(nèi)部；所述激光束與所述玻璃工件按預(yù)先設(shè)定的路徑做相對移動，使所述焦點(diǎn)在所述玻璃工件的內(nèi)部形成由多個(gè)微裂點(diǎn)沿激光束掃射的路徑組成的切割層；以及施加外力于所述玻璃工件，使所述玻璃工件沿所述切割路徑撕開。
[0006]進(jìn)一步地，所述激光束的波長范圍為355納米~1064納米以及平均功率的范圍為0.1 瓦、.7 瓦。
[0007]進(jìn)一步地，所述激光束的脈沖寬度范圍為100飛秒~100皮秒以及單點(diǎn)能量范圍為0.1μ-20μ J。
[0008]進(jìn)一步地，所述激光束經(jīng)聚焦后于玻璃工件內(nèi)部形成光斑，所述光斑的直徑范圍為0.1微米~10微米。[0009]進(jìn)一步地，所述切割層至少為一層。
[0010]進(jìn)一步地，對所述玻璃工件進(jìn)行多層切割，所述微裂點(diǎn)沿所述玻璃工件深度方向形成多層排布的切割層。
[0011]進(jìn)一步地，所述玻璃工件的厚度范圍為0.2毫米~1.1毫米。
[0012]進(jìn)一步地，所述玻璃工件為鈉鈣硅玻璃、鋁硅酸鹽玻璃或者硼酸鹽玻璃。
[0013]進(jìn)一步地，所述激光束的聚焦處理過程包括:所述激光束經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡擴(kuò)束處理；通過45度反射鏡反射至聚焦鏡；以及所述聚焦鏡將聚焦后的所述激光束垂直入射至位于所述工作平臺上的所述玻璃工件內(nèi)。
[0014]進(jìn)一步地，還包括以下步驟:將平面度檢測裝置電性連接于所述激光器；采用所述平面度檢測裝置檢測所述玻璃工件的平面度；所述平面度檢測裝置將所測的平面度以電信號傳送至所述激光器； 以及所述激光器根據(jù)接收的平面度信號帶動切割頭移動。
[0015]本發(fā)明的激光切割玻璃的方法是一種利用脈沖寬度范圍在皮秒至飛秒的激光器產(chǎn)生激光束，激光束經(jīng)聚焦處理后使其焦點(diǎn)位于玻璃工件內(nèi)部，并通過激光束與玻璃工件的相對移動于玻璃工件內(nèi)形成切割層。利用激光束較小的脈沖寬度和較低的單點(diǎn)能量實(shí)現(xiàn)對玻璃工件的切割，這樣，可以獲得高精密度和平整的切割加工質(zhì)量，也可以避免玻璃工件在切割加工過程中產(chǎn)生裂紋、碎屑等問題。而且，利用該激光束可以實(shí)現(xiàn)對不同厚度的玻璃工件進(jìn)行切割加工，以提高了切割效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的激光切割玻璃的方法的系統(tǒng)框架圖。
[0017]圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的激光切割玻璃的過程示意圖。
[0018]圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的按預(yù)先設(shè)定的路徑進(jìn)行切割加工的示意圖。
[0019]圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的施加外力與玻璃工件的示意圖。
[0020]圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的玻璃工件別沖開的示意圖。
[0021]圖6是本發(fā)明實(shí)施例提供的激光多層切割玻璃的過程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0023]請同時(shí)參照圖1和圖2，本發(fā)明的激光切割玻璃的方法，包括以下步驟:采用脈沖寬度范圍在皮秒至飛秒的激光器10 ;激光器10產(chǎn)生的激光束70經(jīng)聚焦處理后入射至待切割的玻璃工件60的內(nèi)部，使激光束70的焦點(diǎn)72位于玻璃工件60的內(nèi)部；激光束70與玻璃工件60按預(yù)先設(shè)定的路徑做相對移動，使焦點(diǎn)72在玻璃工件60的內(nèi)部形成由多個(gè)微裂點(diǎn)65沿激光束70掃射的路徑組成的切割層62 ;以及施加外力于玻璃工件60，使玻璃工件60沿切割層62撕開。該激光切割玻璃的方法利用激光束70以非接觸的方式在玻璃工件60內(nèi)部進(jìn)行掃描和切割，激光束70的能量對玻璃工件60指定部分進(jìn)行加熱時(shí)期達(dá)到預(yù)先定位溫度，從而在玻璃工件60內(nèi)部產(chǎn)生垂直方向的應(yīng)力帶，以形成一條無碎屑的裂紋。該激光切割玻璃的方法避免了現(xiàn)有技術(shù)中切割玻璃工件60時(shí)產(chǎn)生的裂痕、細(xì)小碎渣和易碎等問題，可以精確切割玻璃工件60并使玻璃工件60切割完后無裂紋和無損傷，并且無需進(jìn)行任何后續(xù)的清潔和磨削處理，提高了切割效率。
[0024]本發(fā)明的激光器10為皮秒激光器或者飛秒激光器。皮秒激光器是指沖脈寬度為皮秒的激光器，使用聲光調(diào)制鎖模的二極管泵浦Nd =YAG或者Nd =YLF激光器是產(chǎn)生皮秒脈沖的標(biāo)準(zhǔn)光源，I皮秒為10_12秒。飛秒激光器是指脈沖寬度為飛秒的激光器，通常是利用鎖模技術(shù)實(shí)現(xiàn)，飛秒，也叫做毫微微秒，即I飛秒為10_15秒。在加工過程中，皮秒激光器或者飛秒激光器可以在激光振蕩時(shí)獲得很高振蕩密度的激光能量，而且在加工過程中不會產(chǎn)生碎屑積聚現(xiàn)象。例如，當(dāng)皮秒激光器或者飛秒激光器產(chǎn)生的激光光能為lmj，脈沖照射周期在100飛秒或者以下時(shí)，所產(chǎn)生的激光能量密度可以達(dá)到約10千兆瓦的等級，因此，可以用于加工任何材料。
[0025]以飛秒激光器為例進(jìn)行說明。通常，飛秒激光器包括振動器、展寬器、放大器和壓縮器，以獲得飛秒激光脈沖。展寬器用于將振動器產(chǎn)生的飛秒種子脈沖按不同波長在時(shí)間上拉開，放大器用于使展寬的脈沖獲得充分能量，壓縮器用于將不同成分的光譜聚集在一起以恢復(fù)到飛秒寬度，從而形成具有極高瞬時(shí)功率的飛秒激光脈沖。
[0026]表述激光束特性的參數(shù)很多，常見的參數(shù)包括波長、平均功率、功率密度或者能量密度、光斑大小和 脈沖寬度等。連續(xù)激光用功率密度表示，脈沖激光用能量密度表示。
[0027]由于激光束70具 有極短的脈沖寬度和極高的峰值功率，在與物質(zhì)相互作用時(shí)呈現(xiàn)強(qiáng)烈的非線性效應(yīng)，例如與金屬材料、半導(dǎo)體材料、透明絕緣材料等作用的機(jī)制各不相同。金屬材料存在大量的自由電子，具有良好的導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性，它對可見光和近紅外光均具有吸收作用；半導(dǎo)體材料和透明絕緣材料原本不會吸收這一波段的光，但是當(dāng)激光束70的功率密度足夠大時(shí)，便會因多光子電離而產(chǎn)生大量的電子氣體，變成類似金屬的光吸收體。
[0028]以下對本發(fā)明采用的激光束70的參數(shù)進(jìn)行說明。
[0029]進(jìn)一步地，激光束70的波長范圍為355納米~1064納米以及平均功率的范圍為0.1瓦、.7瓦，由此可知，該激光束70所含能量大，并且利用較小平均功率的激光束70就可以達(dá)到切割之目的。
[0030]進(jìn)一步地，激光束70的脈沖寬度范圍為100飛秒~100皮秒以及單點(diǎn)能量范圍為
0.1 μ 20 μ J,由脈沖寬度的數(shù)值范圍可以看出該激光束70各個(gè)脈沖的持續(xù)時(shí)間非常短，而且單點(diǎn)能量極低，這樣，在加工過程中可以減小激光束70對待加工玻璃工件60的損傷，保證玻璃工件60的完好，而且也不會對周邊物體造成損害。
[0031]進(jìn)一步地，激光束70經(jīng)聚焦后于玻璃工件60內(nèi)部形成光斑，光斑的直徑范圍為
0.1微米~10微米，通過細(xì)小光斑的設(shè)計(jì)使激光束70在玻璃工件60內(nèi)的作用點(diǎn)減小，一方面可以達(dá)到加工玻璃工件60之目的，另一方面可以降低激光束70對玻璃工件60的破壞，而且不會產(chǎn)生玻璃碎屑以避免碎屑飛濺。
[0032]從上述激光束70的參數(shù)可以看出，運(yùn)用極低的單點(diǎn)能量，形成極小的光斑，實(shí)現(xiàn)在玻璃工件60內(nèi)部無裂紋無損傷的精確加工，一方面提高了加工效率，另一方面也提高了玻璃工件60的利用率，并降低成本。
[0033]玻璃工件60為超薄玻璃，其厚度范圍為0.1毫米~1.1毫米。超薄玻璃按照其化學(xué)成分的不同，可以分為含堿超薄玻璃和無堿玻璃。含堿玻璃是指化學(xué)組成中含有堿金屬氧化物的超薄玻璃，即含有鈉鈣硅超薄玻璃或者鋁硅酸鹽超薄玻璃。無堿玻璃是指硬質(zhì)硼酸鹽超薄玻璃，含有氧化硼(B2O3),具有透光率高以及光學(xué)性能好等特點(diǎn)，通常作為液晶顯不器的基材。
[0034]進(jìn)一步地，玻璃工件60的厚度范圍為0.2毫米~1.1毫米，便于激光器10之激光束70對其進(jìn)行切割，而且有效保證加工質(zhì)量。待加工的玻璃工件60的材質(zhì)可以是為鈉鈣硅玻璃、鋁硅酸鹽玻璃或者硼酸鹽玻璃，即利用激光器10切割不同材質(zhì)的玻璃工件60，可以使切割加工后的玻璃工件60廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品的顯示屏或者彩色液晶顯示器中，從而增加了利用激光器10切割加工的范圍。
[0035]待切割玻璃工件60的厚度越厚，所需激光束70的平均功率越高。一般而言，針對厚度范圍為0.2毫米~1.1毫米的玻璃工件60，需要平均功率范圍為0.1瓦、.7瓦的激光束70。具體而言，以厚度為0.2毫米材質(zhì)為硼酸鹽的玻璃工件60作為示例進(jìn)行說明,激光束70的平均功率不低于0.1w即可。當(dāng)激光束70的平均功率為0.1瓦以及聚集后激光束70的光斑直徑為10微米時(shí)，聚集后激光束70的功率密度為1.67X 107ff/cm2,即大于硼酸鹽玻璃工件60的破壞閾值(其破壞閾值為105~106W/cm2)。如果不考慮激光束70的功率損耗，用更高平均功率的激光束70來進(jìn)行切割也是可以的，這樣切割效率將更快。
[0036]請參照圖1， 對于激光器10產(chǎn)生的激光束70經(jīng)聚焦處理后入射至待切割的玻璃工件60的內(nèi)部的步驟中，激光束70的聚焦處理過程包括:激光器10產(chǎn)生的激光束70經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡20擴(kuò)束處理；通過45度反射鏡30反射至聚焦鏡40 ；以及聚焦鏡40將聚焦后的激光束70垂直入射至位于工作平臺50上的玻璃工件60內(nèi)。通過聚焦處理，使激光器10產(chǎn)生的激光能量增強(qiáng)，一方面有利于提高切割精度和切割速度，從而提高切割效率，另一方面可以有效地利用激光器10產(chǎn)生的激光能量，減小能量損失。
[0037]為了保證獲得較高的激光束質(zhì)量，可以在激光器10與擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡20之間增設(shè)一個(gè)針孔濾波器，以減小激光束70的直徑，也可以減小其他干擾因素的影響并濾除雜散光。例如，激光器10發(fā)出的激光束70的直徑為8mm時(shí)，經(jīng)該針孔濾波器過濾后的直徑減小至5mm。而且，激光束70通過聚焦鏡40的聚集處理后，聚集后的激光束70形成的光斑直徑為3微米左右。
[0038]請同時(shí)參照圖1至圖5，將玻璃工件60放置在加工平臺50上，該工作平臺50是利用計(jì)算機(jī)控制的三維電動平臺，即該工作平臺50可以沿X軸、Y軸和Z軸移動。這樣，方便加工，不僅可以加工放置平面方向，而且還能加工工件的深度(或者高度)方向。
[0039]啟動激光器10后，所產(chǎn)生的激光束70經(jīng)聚焦鏡40聚集處理后入射至玻璃工件60的內(nèi)部，而非該玻璃工件60的外表面。
[0040]將經(jīng)聚焦鏡40聚集處理后的激光束70的焦點(diǎn)70位于玻璃工件60內(nèi)部，具體而言，該激光束70以接近垂直入射至玻璃工件60內(nèi)，并且焦點(diǎn)72于玻璃工件60內(nèi)形成多個(gè)微裂點(diǎn)65，微裂點(diǎn)65形成切割層62，即內(nèi)切割。焦點(diǎn)72的大小即為激光束70形成的光斑大小，直徑范圍為0.1微米~10微米。通過沿A方向(X軸方向或者/和Y軸方向)勻速移動工作平臺50，玻璃工件60與工作平臺50保持相對靜止，而使得激光束70與玻璃工件60發(fā)生相對移動。當(dāng)激光束70按預(yù)先設(shè)定的路徑相對移動時(shí)，激光束70將于玻璃工件60內(nèi)部形成一切割道，也就是說，微裂點(diǎn)65組成一個(gè)預(yù)先設(shè)定的切割圖形。例如，如果需在待加工玻璃工件60上切割形成一個(gè)圓孔，則所設(shè)定的路徑為圓形；如果需要在玻璃工件60上切割形成一個(gè)方形孔，則所設(shè)定的路徑為方形；即所設(shè)定的路徑根據(jù)需要加工的形狀而異。
[0041]進(jìn)一步地，切割層62至少為一層，即切割的深度方向是可以分層排布的。具體而言，根據(jù)玻璃工件60的厚度，可進(jìn)行多層切割，即在玻璃工件60內(nèi)部切割多個(gè)切割層62，所述切割層62在深度方向?yàn)槎鄬优挪?。切割時(shí)，每次切割一層，N次切割后到達(dá)第N層。這樣，既可以保證不損傷玻璃材質(zhì)，又保證對不同厚度的玻璃工件60進(jìn)行加工。例如，當(dāng)玻璃工件60的厚度D范圍為400微米飛00微米時(shí)，可以對該玻璃工件60進(jìn)行單層切割，即形成的切割層62為一層，該切割層62與玻璃工件60表面之間的距離為Tl，O < Tl < D，如圖
2所示。當(dāng)玻璃工件60的厚度D范圍為600微米~1000微米時(shí)，可以對該玻璃工件60進(jìn)行多次切割，即每次切割一層切割層62-1，該切割層62-1與玻璃工件60表面之間的距離為Tl，O < Tl < D，經(jīng)過N次切割后到達(dá)第N層切割層62-n，該切割層62_n與玻璃工件60表面之間的距離為Tn，0 < Tn < D，也就是說，不論經(jīng)過多次切割，都未達(dá)到玻璃工件60的表面上，即非傳統(tǒng)加工中的“切到底”模式，如圖6所示。
[0042]施加外力于玻璃工件60，使玻璃工件60沿切割層62處被沖開。具體請同時(shí)參照圖4和圖5，將已經(jīng)形成切割層62的玻璃工件60放置于下沖頭92上，利用上沖頭90對準(zhǔn)該具有切割線80的玻璃工件60，施加外力作用于上沖頭90使該上沖頭90沖擊該玻璃工件60使部分玻璃工件60沿切割線80被沖開，形成內(nèi)孔68。這樣便完成玻璃工件60的切割加工，所切割的內(nèi)孔68之內(nèi)壁光滑，精度高。
[0043]進(jìn)一步地，該激光切割玻璃的方法還包括步驟:將平面度檢測裝置電性連接于所述激光器10 ;采用平面度檢測裝置檢測玻璃工件60的平面度；平面度檢測裝置將所測的平面度以電信號傳送至所述激光器10 ;以及激光器10根據(jù)接收的平面度信號帶動切割頭移動。具體而言，由于玻璃工件60存在平面度誤差，為了保證切割深度一致，首先利用電性連接于激光器10的平面度檢測裝置檢測玻璃工件60的平面度，該平面度檢測裝置將所檢測的平面度信號以電信號傳送至激光器10，激光器10根據(jù)接收的平面度信號帶動切割頭縱向(沿Z軸方向)移動，即做上下移動，以調(diào)整焦點(diǎn)72的深度位置，使焦點(diǎn)72位于玻璃工件60的同一切割深度上。在本實(shí)施方式中，平面度檢測裝置為激光測距儀器。
[0044]激光切割系統(tǒng)用于切割玻璃工件60以使玻璃工件60形成內(nèi)空，并包括產(chǎn)生激光束70的激光器10、對激光束70進(jìn)行擴(kuò)束處理的擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡20、對擴(kuò)束處理后的激光束70進(jìn)行反射處理的45度反射鏡30、對反射后的激光束70進(jìn)行聚焦的聚焦鏡40以及放置待加工玻璃工件60 的工作平臺。
[0045]本發(fā)明的激光切割玻璃的方法采用脈沖寬度范圍在皮秒至飛秒的激光器10，該激光器10產(chǎn)生的激光束70聚焦于玻璃工件60內(nèi)部，利用該激光束70對玻璃工件60進(jìn)行切割加工，由于該激光束70具有較小的單點(diǎn)能量和極小的光斑直徑，在玻璃工件60進(jìn)行切割加工時(shí)可以獲得高精密度和平整的切割表面。而且，該方法不會在切割過程中產(chǎn)生裂痕、碎屑等，可以有效地保證加工質(zhì)量，提高切割效率。
[0046]以上僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種激光切割玻璃的方法，其特征在于，包括以下步驟: 采用脈沖寬度范圍在皮秒至飛秒的激光器； 所述激光器產(chǎn)生的激光束經(jīng)聚焦處理后入射至待切割的玻璃工件內(nèi)，使所述激光束的焦點(diǎn)位于所述玻璃工件的內(nèi)部； 所述激光束與所述玻璃工件按預(yù)先設(shè)定的路徑做相對移動，使所述焦點(diǎn)在所述玻璃工件的內(nèi)部形成由多個(gè)微裂點(diǎn)沿激光束掃射的路徑組成的切割層；以及施加外力于所述玻璃工件，使所述玻璃工件沿所述切割路徑撕開。
2.如權(quán)利要求1所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，所述激光束的波長范圍為355納米~1064納米以及平均功率的范圍為0.1瓦~0.7瓦。
3.如權(quán)利要求1所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，所述激光束的脈沖寬度范圍為100飛秒~100皮秒以及單點(diǎn)能量范圍為0.1 μj-20μ J0
4.如權(quán)利要求1所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，所述激光束經(jīng)聚焦后于玻璃工件內(nèi)部形成光斑，所述光斑的直徑范圍為0.1微米~10微米。
5.如權(quán)利要求1所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，所述切割層至少為一層。
6.如權(quán)利要求5所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，對所述玻璃工件進(jìn)行多層切割，所述微裂點(diǎn)沿所述玻璃 工件深度方向形成多層排布的切割層。
7.如權(quán)利要求1所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，所述玻璃工件的厚度范圍為0.2毫米~1.1毫米。
8.如權(quán)利要求1的激光切割玻璃的方法，其特征在于，所述玻璃工件為鈉鈣硅玻璃、鋁硅酸鹽玻璃或者硼酸鹽玻璃。
9.如權(quán)利要求1至8任意一項(xiàng)所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，所述激光束的聚焦處理過程包括: 所述激光束經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡擴(kuò)束處理； 通過45度反射鏡反射至聚焦鏡；以及 所述聚焦鏡將聚焦后的所述激光束垂直入射至位于所述工作平臺上的所述玻璃工件內(nèi)。
10.如權(quán)利要求1至8任意一項(xiàng)所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，還包括以下步驟: 將平面度檢測裝置電性連接于所述激光器； 采用所述平面度檢測裝置檢測所述玻璃工件的平面度； 所述平面度檢測裝置將所測的平面度以電信號傳送至所述激光器；以及 所述激光器根據(jù)接收的平面度信號帶動切割頭移動。
【文檔編號】C03B33/08GK103964682SQ201310032200
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2013年1月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月28日
【發(fā)明者】尹建剛, 高昆, 葉樹鈴, 李瑜, 王焱華, 潘丹, 高云峰 申請人:深圳市大族激光科技股份有限公司