專利名稱：一種閘門及濕法刻蝕設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及薄膜晶體管液晶顯示器TFT-IXD生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種閘門及濕法刻蝕設(shè)備。
背景技術(shù)：
在TFT-IXD生產(chǎn)的濕法刻蝕設(shè)備中，玻璃基板都是通過閘門(Shutter)來進出每個刻蝕區(qū)間的。如圖I至圖3所示，圖I為現(xiàn)有技術(shù)中閘門的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中閘門前蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為現(xiàn)有技術(shù)中閘門后蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖?，F(xiàn)有技術(shù)中的閘門包括第一蓋板13、第二蓋板10以及位于第一蓋板13和第二蓋板10之間間隙的芯板1，第一蓋板13設(shè)置的第一門縫14和第二蓋板10與第一門縫14相對設(shè)置的第二門縫11形成用于基板通過的基板通道17 ;為描述方便，設(shè)定圖I中基板通道17的延伸方向為水平方向。第一蓋板13設(shè)有若干沿第一門縫14的延伸方向分布的第一軸承座15，第二蓋板10設(shè)有若干沿第二門縫11的延伸方向分布的第二軸承座12，第一軸承座15與第二軸承座12對應設(shè)置，且每對第一軸承座15與第二軸承座12之間設(shè)有一個軸承16 ;芯板I設(shè)有向右傾斜、且與軸承16滑動配合的腰形孔2。芯板I右端的連接頭3通過連接板4、傳動桿6與氣缸9的伸縮桿8實現(xiàn)傳動；連接頭3與連接板4固定連接。氣缸9的伸縮桿8沿水平方向伸縮，而芯板I中腰形孔2的傾斜方向以及與腰形孔2配合的軸承16決定了芯板I只能沿右上左下的方向位移，由此決定了傳動桿6的左端與連接板4通過銷軸5鉸接，右端通過鉸接件7與氣缸9的伸縮桿8鉸接。在具體操作中，當氣缸9的伸縮桿8外伸時，與伸縮桿8鉸接的傳動桿6將伸縮桿8向左的位移向量分解為向下位移和向左位移的分向量，并傳遞給與傳動桿6鉸接的連接板4，通過連接板4和連接頭3驅(qū)動芯板I向左下方位移，將基板通道17關(guān)閉；當開啟基板通道17時，氣缸9的伸縮桿8向右縮回，傳動桿6將伸縮桿8向右的位移向量分解為向上位移和向左位移的分向量，并傳遞給與傳動桿6鉸接的連接板4，通過連接板4和連接頭3驅(qū)動芯板I向右上方位移，將基板通道17開啟。如圖I所示，氣缸9通過伸縮桿8、與伸縮桿8的外端鉸接的傳動桿6、與傳動桿6鉸接的連接板4以及與連接板4固定連接的芯板I的連接頭3實現(xiàn)對芯板I位移的控制，進而實現(xiàn)對基板通道17開啟或者關(guān)閉的控制；由于氣缸9與芯板I之間的傳動部件較多，而且存在兩處鉸接關(guān)系，各個部件之間的連接關(guān)系不夠緊湊；閘門在運行一段時間后，傳動桿6與伸縮桿8之間的鉸接件7處以及傳動桿6與連接板4的銷軸5處很容易出現(xiàn)松動現(xiàn)象，從而影響氣缸9對芯板I行程控制的精確性，進而導致在基板通道17開啟時，經(jīng)常會出現(xiàn)芯板I向上的位移量比原設(shè)定的位移量小，芯板I實際的上升位置比原設(shè)定的上升位置低的情況；此時，當基板穿過閘門的基板通道17時，板芯I與基板之間會發(fā)生接觸，進而導致基板上的圖案被芯板I的下邊劃傷，出現(xiàn)工藝不良事故，嚴重時將導致原料報廢；而且，基板上的圖案被劃傷的現(xiàn)象不易被發(fā)現(xiàn)，加之生產(chǎn)過程中采取的是抽查檢驗的方式，等發(fā)現(xiàn)基板的劃傷不良時，已有許多基板的損傷已無法挽回，往往會造成很大的經(jīng)濟損失。而且，芯板I也可能被損傷，對芯板I的更換以及對閘門的維修會導致長時間停機現(xiàn)象，從而造成更大的損失。因此，如何提供一種濕法刻蝕設(shè)備的閘門，以增強芯板驅(qū)動的穩(wěn)定性，避免基板因芯板劃傷而造成的工藝不良事故的發(fā)生，是本領(lǐng)域技術(shù)人員需要解決的技術(shù)問題之一。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種濕法刻蝕設(shè)備的閘門，以增強芯板驅(qū)動的穩(wěn)定性，避免基板因芯板劃傷而造成的工藝不良事故的發(fā)生。為達到上述目的，本實用新型提供以下技術(shù)方案一種濕法刻蝕設(shè)備的閘門，包括分別具有門縫并通過兩個門縫形成基板通道的兩個蓋板、位于兩個蓋板之間的芯板、以及驅(qū)動所述芯板打開或關(guān)閉所述基板通道的驅(qū)動裝置；其中一個蓋板和芯板通過至少一對相互配合的滑槽和滑軌可滑動連接；所述驅(qū)動裝置包括傳動軸、驅(qū)動傳動軸動作的動力設(shè)備、與傳動軸同軸固定的至少一個傳動齒輪，位于芯板上與每一個傳動齒輪嚙合的齒條。優(yōu)選地，所述滑槽的延伸方向垂直于所述基板通道的延伸方向。優(yōu)選地，所述傳動軸樞裝于其中一個蓋板，且所述傳動軸軸心線的延伸方向與所述基板通道的延伸方向平行。優(yōu)選地，所述與傳動軸樞裝的蓋板上具有貫穿其厚度方向的傳動軸觀察槽，所述傳動軸觀察槽的延伸方向與所述基板通道的延伸方向平行。優(yōu)選地，所述滑槽的兩個側(cè)面之間的寬度由所述滑槽開口向所述滑槽的槽底方向逐漸增大，所述滑軌的兩個側(cè)面之間的寬度由所述滑軌的頂面向所述芯板的第一側(cè)面方向逐漸減??；且所述滑槽的兩個側(cè)面與所述滑軌的兩個側(cè)面滑動配合。優(yōu)選地，所述滑槽的兩個側(cè)面沿直線設(shè)置有多個滾珠，且所述直線的延伸方向與所述滑槽的延伸方向一致；所述滑軌的兩個側(cè)面設(shè)置有與所述滾珠配合的限位槽。優(yōu)選地，所述滑軌可拆卸地安裝于所述芯板的第一側(cè)面；所述齒條可拆卸地安裝于所述芯板的第二側(cè)面。優(yōu)選地，每一個蓋板上安裝有檢測基板位置信息的擺動傳感器，所述擺動傳感器安裝在門縫中。優(yōu)選地，每一個蓋板的門縫中具有擺動傳感器的安裝槽，所述傳感器安裝在安裝槽中。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實用新型還提供了一種濕法刻蝕設(shè)備，包括上述技術(shù)方案中提到的閘門。本實用新型提供的濕法刻蝕設(shè)備的閘門，包括分別具有門縫并通過兩個門縫形成基板通道的兩個蓋板、位于兩個蓋板之間的芯板、以及驅(qū)動所述芯板打開或關(guān)閉所述基板通道的驅(qū)動裝置；其中一個蓋板和芯板通過至少一對相互配合的滑槽和滑軌可滑動連接；所述驅(qū)動裝置包括傳動軸、驅(qū)動傳動軸動作的動力設(shè)備、與傳動軸同軸固定的至少一個傳動齒輪，位于芯板上與每一個傳動齒輪嚙合的齒條。本實用新型提供的閘門的使用原理如下所述當閘門的基板通道需要打開時，驅(qū)動裝置的動力設(shè)備驅(qū)動傳動軸旋轉(zhuǎn)，由于傳動軸同軸固定的傳動齒輪與設(shè)置于芯板的齒條相互嚙合，因此傳動齒輪驅(qū)動齒條運動，進而齒條帶動芯板相對于沿滑槽的延伸方向指向滑槽的一端滑動，直至芯板讓開閘門殼體的基板通道，此時閘門的基板通道打開；閘門的基板通道需要關(guān)閉時，驅(qū)動裝置驅(qū)動傳動軸反向旋轉(zhuǎn)，傳動軸設(shè)置的傳動齒輪帶動芯板設(shè)置的齒條，齒條帶動芯板沿滑槽的延伸方向指向滑槽的另一端滑動，直至芯板將殼體的基板通道擋住，此時閘門的門縫關(guān)閉。芯板設(shè)置的齒條與驅(qū)動裝置的傳動軸之間通過齒輪嚙合實現(xiàn)傳動，且芯板與其中一個蓋板之間直接通過滑槽與滑軌之間的配合實現(xiàn)對芯板位移方向的限定，從而保證芯板 位移時的穩(wěn)定性；同時，在傳動軸不旋轉(zhuǎn)時，即驅(qū)動系統(tǒng)未對芯板進行驅(qū)動時，傳動齒輪的哨合齒與齒條的哨合齒相互咬合，芯板不能產(chǎn)生位移，保證芯板在靜止時的穩(wěn)定性。由于芯板直接與驅(qū)動裝置的傳動軸配合，較之上述背景技術(shù)中提到的多件連接件系統(tǒng)，芯板與驅(qū)動裝置之間的連接件較少；而且，芯板設(shè)置的齒條與傳動軸之間通過齒輪嚙合實現(xiàn)傳動，較之上述背景技術(shù)中提到的雙鉸接傳動關(guān)系，本實用新型提供的閘門的芯板與驅(qū)動裝置之間的傳動關(guān)系更加穩(wěn)定。因此，本實用新型提供的濕法刻蝕設(shè)備的閘門能夠增強芯板驅(qū)動的穩(wěn)定性，避免基板因芯板劃傷而造成的工藝不良事故的發(fā)生，減少經(jīng)濟損失。另外，本實用新型還提供了一種使用了上述閘門的濕法刻蝕設(shè)備，該設(shè)備也具有上述閘門的有益效果。

圖I為現(xiàn)有技術(shù)中閘門的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中閘門前蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為現(xiàn)有技術(shù)中閘門后蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型提供的濕法刻蝕設(shè)備的閘門的爆炸結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實用新型提供的濕法刻蝕設(shè)備的閘門中芯板與傳動軸以及前蓋板的配合結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本實用新型提供的濕法刻蝕設(shè)備的閘門中后蓋板的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。請參考圖4和圖5，圖4為本實用新型提供的濕法刻蝕設(shè)備的閘門的爆炸結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實用新型提供的濕法刻蝕設(shè)備的閘門中芯板與傳動軸以及前蓋板的配合結(jié)構(gòu)示意圖。本實用新型提供的濕法刻蝕設(shè)備的閘門，包括分別具有門縫并通過兩個門縫形成基板通道的兩個蓋板、位于兩個蓋板之間的芯板24、以及驅(qū)動芯板24打開或關(guān)閉基板通道的驅(qū)動裝置；其中一個蓋板和芯板24通過至少一對相互配合的滑槽和滑軌可滑動連接；驅(qū)動裝置包括傳動軸27、驅(qū)動傳動軸27動作的動力設(shè)備、與傳動軸27同軸固定的至少一個傳動齒輪28,位于芯板24上與每一個傳動齒輪28哨合的齒條25。為便于描述,上述的兩個蓋板分別稱為第一蓋板20和第二蓋板31,第一蓋板20上的門縫稱為第一門縫23，第二蓋板31上的門縫稱為第二門縫33 ;其中，與芯板24滑動配合的為第一蓋板20。本實用新型提供的閘門的使用原理如下所述當閘門的基板通道需要打開時，驅(qū)動裝置的動力設(shè)備驅(qū)動傳動軸27旋轉(zhuǎn)，由于傳動軸27同軸固定的傳動齒輪28與設(shè)置于芯板24的齒條25相互嚙合，因此傳動齒輪28驅(qū)動齒條25運動，進而齒條25帶動芯板24相對于第一蓋板20沿滑槽22的延伸方向指向滑槽22的一端滑動，直至芯板24讓開閘門殼體的基板通道，此時閘門的基板通道打開；閘門的基板通道需要關(guān)閉時，驅(qū)動裝置的動力設(shè) 備驅(qū)動傳動軸27反向旋轉(zhuǎn)，傳動軸27設(shè)置的傳動齒輪28帶動芯板24設(shè)置的齒條25，齒條25帶動芯板24相對于第一蓋板20沿滑槽22的延伸方向指向滑槽22的另一端滑動，直至芯板24將殼體的基板通道擋住，此時閘門的門縫關(guān)閉。芯板24設(shè)置的齒條25與傳動軸27之間通過齒輪嚙合實現(xiàn)傳動，且芯板24與第一蓋板20之間直接通過滑槽22與滑軌26之間的配合實現(xiàn)對芯板24位移方向的限定，從而保證芯板24位移時的穩(wěn)定性；同時，在傳動軸27不旋轉(zhuǎn)時，即驅(qū)動系統(tǒng)未對芯板24進行驅(qū)動時，傳動齒輪28的嚙合齒與齒條25的嚙合齒相互咬合，芯板24不能產(chǎn)生位移，保證芯板24在靜止時的穩(wěn)定性。由于芯板24直接與驅(qū)動裝置的傳動軸27配合，因此芯板24與驅(qū)動裝置之間的連接件較少；而且，芯板24設(shè)置的齒條25與傳動軸27之間通過齒輪嚙合實現(xiàn)傳動，較之上述背景技術(shù)中提到的雙鉸接傳動關(guān)系，本實用新型提供的閘門的芯板24與驅(qū)動裝置之間的傳動關(guān)系更加穩(wěn)定。因此，本實用新型提供的濕法刻蝕設(shè)備的閘門能夠增強芯板24驅(qū)動的穩(wěn)定性，避免基板因芯板24劃傷而造成的工藝不良事故的發(fā)生，減少經(jīng)濟損失.進一步的，如圖4所示，上述技術(shù)方案中提到的滑槽22與滑軌26可以為三對，且沿芯板24的長度方向均勻分布；滑槽22和滑軌26設(shè)置為均勻分布的多對可以增強芯板24在前蓋板20滑動時的穩(wěn)定性。更進一步的，上述技術(shù)方案中提到的驅(qū)動裝置可以由多種選擇如，驅(qū)動裝置的動力設(shè)備可以為氣缸29，如圖4所示，氣缸29的輸出軸通過聯(lián)軸器30與傳動軸27傳動連接；驅(qū)動裝置還可以為電機，電機的輸出軸通過聯(lián)軸器與傳動軸27傳動連接。如圖4和圖5所示，優(yōu)選地，滑槽22具體設(shè)置于第一蓋板20，滑軌26設(shè)置于芯板24的第一側(cè)面。另外，上述技術(shù)方案中提到的滑軌26與滑槽22，其中，滑軌26與滑槽22的延伸方向與閘門的基板通道之間的夾角可以由多種選擇，如45°、° 60以及80°，只要芯板24的位移方向與基板通道的延伸方向具有垂直于基板通道延伸方向的位移分向量即可。為了最大限度地利用芯板24的位移，優(yōu)選地，滑槽22的延伸方向垂直于基板通道的延伸方向。[0050]為了增加傳動軸27對芯板24驅(qū)動時，芯板24位移的穩(wěn)定性，優(yōu)選地，傳動軸27樞裝于第一蓋板20或者第二蓋板31中的一個，且傳動軸27的軸心線的延伸方向與基板通道的延伸方向平行。這樣，傳動軸27與設(shè)置于芯板24上齒條25之間嚙合時不會產(chǎn)生晃動等不穩(wěn)定現(xiàn)象。優(yōu)選地，傳動軸27樞裝于第二蓋板31，這樣，傳動齒輪28與齒條25嚙合時會對芯板24產(chǎn)生壓向第一蓋板20的壓力，從而增強滑槽22與滑軌26之間配合時的穩(wěn)定性。如圖6所示，為增強傳動軸27樞裝的穩(wěn)定性，第二蓋板31的兩個側(cè)邊上分別設(shè)置有用于樞裝傳動軸27的安裝孔35，安裝孔35中可設(shè)置軸承等。當然，為了能夠隨時對傳動齒輪28與齒條25之間的嚙合關(guān)系進行觀察，以便及時掌握芯板24以及傳動軸27的配合以及損傷狀況，第二·蓋板31還設(shè)置有貫穿其厚度方向的傳動軸觀察槽36，傳動軸觀察槽36的延伸方向與基板通道的延伸方向平行。如圖4和圖6所示。為了增強滑槽22與滑軌26之間配合的緊密性，同時增強芯板24與第一蓋板20之間相對位置的穩(wěn)定性，滑槽22的兩個側(cè)面之間的寬度由滑槽22的開口向滑槽22的槽底方向逐漸增大，而滑軌26的兩個側(cè)面之間的寬度由滑軌26的頂面向芯板24的第一側(cè)面方向逐漸減?。磺一?2的兩個側(cè)面與滑軌26的兩個側(cè)面滑動配合。具體安裝時，設(shè)置于芯板24的滑軌26沿滑槽22的一端滑入，并且通過滑槽22的兩個側(cè)面與滑軌26的兩個側(cè)面之間的配合關(guān)系，實現(xiàn)對滑軌26在垂直于滑槽22的延伸方向的方向上的限位。請參考圖5，為了在保證滑槽22與滑軌26兩者之間限位關(guān)系的同時，減小滑槽22與滑軌26之間位移時的摩擦，滑槽22的兩個側(cè)面沿直線設(shè)置有多個滾珠221，且直線的延伸方向與滑槽22的延伸方向一致；滑軌26的兩個側(cè)面設(shè)置有與滾珠221配合的限位槽。在傳動軸27帶動芯板24沿滑槽22位移時，滾珠221在滑軌26設(shè)置的限位槽內(nèi)滾動，滑軌26的兩個側(cè)面與滑槽22的兩個側(cè)面之間由滑動摩擦變?yōu)闈L動摩擦，大大減小了滑槽22與滑軌26之間的摩擦力。另外，滑軌26可拆卸地安裝于芯板24的第一側(cè)面；齒條25可拆卸地安裝于芯板24的第二側(cè)面。這樣，若芯板24的滑軌26或者齒條25損壞時，只需更換受損的滑軌26或者齒條25即可，無需同現(xiàn)有設(shè)備一樣必須換掉整個芯板，降低了芯板24的維修成本。為了防止芯板24誤操作的發(fā)生，第一蓋板20和第二蓋板31上分別設(shè)有檢測基板位置信息的擺動傳感器，且擺動傳感器分別設(shè)置于第一蓋板20的第一門縫23和第二蓋板31的第二門縫33中。當基板通過閘門的基板通道時，安裝于第一門縫23的擺動傳感器對基板相對于第一蓋板20的位置信息進行采集，安裝于第二門縫33的擺動傳感器對基板相對于第二蓋板31的位置信息進行采集，并傳送給相應的處理顯示系統(tǒng)，便于工作人員對芯板24的控制，防止芯板24誤操作的發(fā)生。具體的，第一門縫23設(shè)有第一擺動傳感器安裝槽21，第二門縫33設(shè)有第二擺動傳感器安裝槽34，上述的擺動傳感器分別安裝于第一擺動傳感器安裝槽21和第二擺動傳感器安裝槽34中。本實用新型還提供了一種包括上述技術(shù)方案中提到的閘門的濕法刻蝕設(shè)備，該濕法刻蝕設(shè)備具有上述閘門具有的有益效果，這里不再贅述。[0061]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型實施例進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。 ·
權(quán)利要求1.一種濕法刻蝕設(shè)備的閘門，包括分別具有門縫并通過兩個門縫形成基板通道的兩個蓋板、位于兩個蓋板之間的芯板、以及驅(qū)動所述芯板打開或關(guān)閉所述基板通道的驅(qū)動裝置；其特征在于 其中一個蓋板和芯板通過至少一對相互配合的滑槽和滑軌可滑動連接； 所述驅(qū)動裝置包括傳動軸、驅(qū)動傳動軸動作的動力設(shè)備、與傳動軸同軸固定的至少一個傳動齒輪，位于芯板上與每一個傳動齒輪嚙合的齒條。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的閘門，其特征在于，所述滑槽的延伸方向垂直于所述基板通道的延伸方向。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的閘門，其特征在于，所述傳動軸樞裝于其中一個蓋板，且所述傳動軸軸心線的延伸方向與所述基板通道的延伸方向平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的閘門，其特征在于，所述與傳動軸樞裝的蓋板上具有貫穿其厚度方向的傳動軸觀察槽，所述傳動軸觀察槽的延伸方向與所述基板通道的延伸方向平行。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的閘門，其特征在于，所述滑槽的兩個側(cè)面之間的寬度由所述滑槽開口向所述滑槽的槽底方向逐漸增大，所述滑軌的兩個側(cè)面之間的寬度由所述滑軌的頂面向所述芯板的第一側(cè)面方向逐漸減?。磺宜龌鄣膬蓚€側(cè)面與所述滑軌的兩個側(cè)面滑動配合。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的閘門，其特征在于，所述滑槽的兩個側(cè)面沿直線設(shè)置有多個滾珠，且所述直線的延伸方向與所述滑槽的延伸方向一致；所述滑軌的兩個側(cè)面設(shè)置有與所述滾珠配合的限位槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的閘門，其特征在于，所述滑軌可拆卸地安裝于所述芯板的第一側(cè)面；所述齒條可拆卸地安裝于所述芯板的第二側(cè)面。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的閘門，其特征在于，每一個蓋板上安裝有檢測基板位置信息的擺動傳感器，所述擺動傳感器安裝在門縫中。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的閘門，其特征在于，每一個蓋板的門縫中具有擺動傳感器的安裝槽，傳感器安裝在所述安裝槽中。
10.一種濕法刻蝕設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9任一項所述的閘門。
專利摘要本實用新型公開了一種閘門及濕法刻蝕設(shè)備，其中濕法刻蝕設(shè)備的閘門，包括兩個蓋板、位于兩個蓋板之間的芯板、以及驅(qū)動芯板打開或關(guān)閉基板通道的驅(qū)動裝置；其中一個蓋板和芯板通過至少一對滑槽和滑軌可滑動連接；驅(qū)動裝置包括傳動軸、驅(qū)動傳動軸動作的動力設(shè)備、與傳動軸同軸固定的至少一個傳動齒輪，位于芯板上與每一個傳動齒輪嚙合的齒條。芯板的位移通過驅(qū)動裝置的傳動軸設(shè)有的傳動齒輪和設(shè)置于芯板的齒條嚙合傳動實現(xiàn)，由于芯板與驅(qū)動裝置之間的傳動部件結(jié)構(gòu)緊湊，且傳動齒輪與齒條之間嚙合的關(guān)系更加穩(wěn)定，所以本實用新型提供的濕法刻蝕設(shè)備的閘門能夠增強芯板驅(qū)動的穩(wěn)定性，降低了芯板破損幾率，同時避免基板因芯板劃傷而造成的工藝不良的發(fā)生。
文檔編號C03C15/00GK202729999SQ201220381240
公開日2013年2月13日 申請日期2012年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月2日
發(fā)明者陳小偉, 郭坤 申請人:北京京東方光電科技有限公司